KR101492791B1 - 코로나 방전과 연x선 조사 방식이 결합된 이오나이저 - Google Patents

Abstract

본 발명은 바형(또는 막대형) 이오나이저에 관한 것으로 보다 구체적으로 코로나 방전과 연X 선 방전 방식을 융합 내지 결합하여 제전 면적 및 그 효율을 개선시킨 이오나이저에 관한 것이다.
본 발명에서 제안하는 코로나 방전과 연X선 조사 방식이 결합된 이오나이저로는 방전침과 상기 방전침을 주변에 형성되는 노즐로 이루어지는 복수개의 코로나 방전전극소켓과, 연X선 조사가 가능한 복수개의 연X선 튜브관을 구비하며, 상기 복수개의 코로나 방전전극소켓은 일정 간격으로 이격되면서 일렬 배치되고, 상기 복수개의 연X선 튜브관은 일정 간격 이격되면서 상기 복수개의 코로나 방전전극소켓 사이 사이에 교대로 일렬 배치되는 것이 바람직하다
본 발명에 따른 이오나이저를 사용하는 경우 (1) 장시간 사용으로 인한 코로바 방전전극소켓의 제전 성능 저하를 보완할 수 있는 이점, (2) 코로나 방전전극소켓에서 방출되는 +이온과 -이온의 불균형으로 인한 불균일한 제전 성능 저하를 연X선 튜브관을 이용하여 보완할 수 있는 이점과 더불어 (3) 코로나 방전전극소켓으로 이용하는 경우와 대비하여 보다 넓은 공간에 대한 제전 효과 개선을 기대할 수 있다.

Description

코로나 방전과 연X선 조사 방식이 결합된 이오나이저{Ionizer with corona discharging and soft X-ray radiating function}

본 발명은 바형(또는 막대형) 이오나이저에 관한 것으로 보다 구체적으로 코로나 방전과 연X 선 방전 방식을 융합 내지 결합하여 제전 면적 및 그 효율을 개선시킨 이오나이저에 관한 것이다.

일반적으로 반도체, 액정디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 유기EL, 다중레이어 세라믹 콘덴서(MLCC; Multi-Layer Ceramic Condenser)등을 제작함에 있어서는 고도의 청정한 작업공간을 요하는데, 이들에 대한 인쇄, 도포 및 세정 공정시 정전기로 인한 먼지 등의 이물질 부착 등으로 인하여 수율의 저하, 패턴의 파괴, 인쇄불량 등의 문제가 빈번하게 발생한다.

따라서, 반도체 등의 공정 수행시에는 대전체의 주변의 정전기 제거가 필수적이며, 이러한 정전기를 제거하기 위한 장치 중의 하나로 코로나 방전식 정전기 제거장치가 사용되고 있다.

알려진 바와 같이, 코로나 방전식 정전기 제거장치는 교류 또는 직류 고전압을 방전침에 인가하여 방전침의 끝부분에서 코로나 방전을 일으켜서 주위 공기중의 산소 및 질소 등을 전리하여 양이온 및 음이온을 생성한 후 팬에 의한 강제대류로 이들 양이온 및 음이온을 정전기 제거 대상물체로 송풍하여 정전기를 제거한다.

이러한 코로나방전식 정전기 제거장치는 인가되는 전압방식에 따라 크게 교류고전압을 이용하는 방식과 직류고전압을 이용하는 방식의 2가지로 나눌 수 있는데, 교류고전압 코로나방전식 정전기제거장치는 주로 상용 주파수(60Hz) 및 고주파(약 10kHz~18kHz)를 사용하며, 직류고전압 방식은 (± 7kV)정도의 직류고전압을 사용한다.

교류고전압 방식은 대전체(정전기 제거 대상물체)로부터 근거리(약 50mm ~ 300mm 정도)에서 정전기를 제거하는 데 적합한 반면 멀리 떨어진 대전체의 정전기를 제거하기에는 부적합하다. 또한 고주파를 이용하는 경우 고속으로 이동하는 대전물체(charged body)의 정전기를 제거하는데 효과적이지만, 이 역시 +이온과 -이온의 발생량의 차이로 인해 정전기제거장치로부터 생성되는 +이온의 이온량과 -이온의 이온량간의 불균형(Unbalance) 문제가 발생하고, 이에 따라 잔류 정전기를 완벽히 제거할 수 없는 단점이 있다.

한편, 직류고전압 방식은 정전기 제거 대상물체로부터 1,000mm 이상의 원거리에 설치하여 정전기를 제거할 수 있어 설치거리가 원거리인 경우에 주로 사용되고 근거리의 설치거리에서는 적합하지 않다고 알려져 있다.

이러한 코로나 방전식 정전기 제거장치의 일예는 특허출원번호 제 10-2007-0089914 호(발명의 명칭: 출력전압 조절이 가능한 막대형 이오나이저)에 개시되어 있다(도 1 참조).

도 1 에 도시된 바와 같이, 막대(200)의 양끝에는 슬롯 홀(210)이 설치되어 막대가 볼트에 의하여 벽체 등에 고정될 수 있도록 하며, 막대의 가운데에는 막대가 길어도 중간 부분이 아래로 쳐지지 않도록 미들 브래킷(300)이 설치되어 있으며 상기 미들 브래킷에도 벽체 등에의 고정을 위한 슬롯 홀(310)이 설치되며, 막대의 아래쪽에는 이온이 나오는 방전침(100)이 다수 개 설치되어 있으며, 코로나 방전에 의하여 방전침에서 발생하는 양이온 및 음이온으로 대전물체의 정전기를 제거하게 된다. 한편, 필요에 따라 막대(200)를 회전시킬 수 있어서 대전물체의 위치에 맞게 상기 팁(100)의 방향을 조절할 수도 있다.

한편, 코로나 방전식 정전기 제거장치에 사용되는 방전전극소켓에 대하여는 특허출원번호 제 10-2011-0037660 호(발명의 명칭: 방전전극소켓)에 개시되어 있다(도 2 참조)

도 2는 종래의 방전전극소켓(10) 단면의 일례로, 이와 같은 종래의 방전전극소켓(10)은 소켓의 중앙에 방전침(20)이 삽입 고정되고, 그 주위에는 압축 공기를 통과시키는 노즐(30)이 구비되어 있다.

도 3은 코로나 방전식 정전기 제거장치의 또 다른 일예로, 특허출원번호 제 10-2004-0064064 호(발명의 명칭: 공기통을 갖춘 펄스 교류고전압 코로나방전식 막대형정전기 제거장치)에 개시되어 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 코로나 방전식 정전기 제거장치는, 방전침(10), 방전전극소켓(20), 접지전극(30), 고전압발생부(40), 제어기(50), 공기통(60), 보호저항 R을 포함하여 구성된다.

여기서, 방전침(10)은 코로나 방전을 발생시키는 기능, 즉 +이온과 -이온을 생성시키는 기능을 한다.

방전전극소켓(20)은 방전침(10)을 외부충격으로부터 보호하는 한편, 공기를 분사시키기 위한 에어노즐(22)이 형성되어 있다. 에어노즐(22)은 방전침(10)에서 생성한 이온을 정전기 제거의 대상물체인 피대전체측으로 이동시키기 위해 일정압력으로 분사되는 공기의 통로역할을 하는 부분이다.

도 4는 도 3의 방전전극소켓(20)에 대한 일예이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 방전전극소켓(20) 내부의 중앙에는 방전침(10)이 삽입되어 있고, 방전침(10)을 중심으로 양측에 방전전극소켓(20)을 관통하는 원기둥형태의 에어노즐(22)이 형성되어 있다.

에어노즐(22)은 필요에 따라 방전침(10)의 양측 또는 그 주위를 따라 다수개 형성할 수 있으며, 강한 압력의 공기가 분사되도록 그 직경을 가늘게 할 필요가 있는데, 바람직하게는 ø1mm 이하로 하고, 더욱 바람직하게는 약 ø0.3mm 로 할 수 있다.

한편, 상기 에어노즐(22)을 통해 분사되는 공기는 일정압력의 공기가 유입되는 별도의 공기통(60)을 거쳐서 공급된다. 즉 공기주입부(61,62)는 일정 압력의 공기를 발생시키는 송풍장치(도시하지 않음)에 각각 연결되어 있어서 공기통(60)에 항상 일정압력의 공기가 주입되도록 하며, 따라서 방전전극소켓(20)에 형성된 에어노즐(22)에서 분사되는 공기 역시 일정압력을 유지할 수가 있다.

한편, 방전전극(10)에는 저항 R이 연결되어 있는데, 이는 코로나방전을 안정적으로 발생시키는 한편, 전류량을 감소시킴으로써 방전 전극에 인체가 접촉하였을 때 감전에 의한 충격을 최대한 감소시키기 위한 수단으로서 구비된 것이다.

그리고 상기 제어기(50)는 펄스교류의 주파수 및 듀티비를 조절하기 위한 조절부, 데이터 통신(RS-485)을 이용하여 외부의 컴퓨터에서 제어기(50)의 상태를 확인하기 위한 데이터 통신모듈 및 주파수와 듀티비를 원격조정기로써 조절하기 위한 리모컨 수신 모듈을 포함하여 구성될 수 있다.

접지전극(30)은 전압이 인가된 방전전극(10)으로부터 이온생성을 유도하는 역할을 한다.

도 1 내지 도 4에서 설명한 코로나 방전식 정전기 제거장치는 바형(또는 막대형) 정전기 제거장치의 일예들로 바(막대)의 형상과 방전전극소켓의 구조 등은 위에서 언급한 것 이외에 매우 다양할 수 있으나 기본적인 동작 원리는 교류 또는 직류 고전압을 방전침에 인가하여 코로나 방전을 일으켜 정전기를 제거한다는 것이다.

그러나 이와 같은 코로나 방전식 정전기 제거장치는 방전전극에 고전압이 인가되므로 그 자체가 전기 집진기로 작용하여 주위 공간에 존재하는 모든 미립자가 부착되는 문제점이 있다.

즉, 코로나 방전식 정전기 제거장치는 장시간 사용시 방전전극에 부착되는 파티클(금속미립자 등)로 인해 코로나 방전이 약화되어 양음이온의 생성수가 줄어들게 되므로 정전기 제거능력이 저하되는 것이다.

이를 방지하기 위해 현장에서는 주 1회 내지 2회 정도 반드시 방전전극을 청소하고 있지만, 이 작업은 어렵고 작업시간이 많이 소요되는 문제점이 있다.

또한, 종래의 바형 코로나 방전식 정전기 제거장치 중에서 교류 방식의 경우, 고속으로 이동하는 대전물체(charged body)의 정전기를 제거하는데 효과적이지만, +이온과 -이온의 이온량 불균형(Unbalance) 문제로 인하여 잔류 정전기를 완벽히 제거할 수 없는 단점이 있다.

1. 특허출원번호 : 10-2004-0064064, 발명의 명칭: 공기통을 갖춘 펄스 교류고전압 코로나방전식 막대형 정전기 제거장치 2. 특허출원번호: 10-2007-0089914, 발명의 명칭: 출력전압 조절이 가능한 막대형 이오나이저 3. 특허출원번호: 10-2011-0037660, 발명의 명칭: 방전전극소켓

본 발명은 이러한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로 코로나 방전식 정전기 제거 장치의 단점을 보완하기 위하여 연X선 튜브관을 동시에 사용하는 방식의 이오나이저를 제안하고자 한다.

이를 위하여 본 발명에서는 일렬로 배치된 코로나 방전식 정전기 제거장치 사이 사이에 교대로 연X선 튜브관을 배치시켜 제전 효율을 개선시킨 이오나이저를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에서 제안하는 코로나 방전과 연X선 조사 방식이 결합된 이오나이저로는 방전침과 상기 방전침을 주변에 형성되는 노즐로 이루어지는 복수개의 코로나 방전전극소켓과, 연X선 조사가 가능한 복수개의 연X선 튜브관을 구비하며, 상기 복수개의 코로나 방전전극소켓은 일정 간격으로 이격되면서 일렬 배치되고, 상기 복수개의 연X선 튜브관은 일정 간격 이격되면서 상기 복수개의 코로나 방전전극소켓 사이 사이에 교대로 일렬 배치되는 것이 바람직하다

본 발명에 있어서, 상기 복수개의 코로나 방전전극소켓과 상기 연X선 튜브관이 결합되는 공기통을 더 구비하며, 상기 공기통을 통하여 유입되는 압축 공기는 상기 코로나 방전전극소켓의 상기 노즐을 통하여 토출된다.

본 발명에 있어서, 상기 공기통에는 상기 복수개의 연X선 튜브관 각각의 탈부착을 가능하게 하는 복수개의 소켓이 형성되어 있다.

본 발명에 따른 이오나이저는 상기 복수개의 코로나 방전전극소켓으로 제 1 고전압을 공급하는 제 1 고전압 발생부와, 상기 복수개의 연X선 튜브관으로 제 2 고전압을 공급하는 제 2 고전압 발생부를 더 구비한다.

본 발명에 있어서, 상기 제 1 고전압 발생부와 상기 제 2 고전압 발생부는 각기 독립적으로 온 또는 오프 가능하다.

본 발명에 따른 이오나이저를 사용하는 경우 다음과 같은 효과가 있다.

(1) 장시간 사용으로 인한 코로바 방전전극소켓의 제전 성능 저하를 보완할 수 있는 이점이 있다.

(2) 코로나 방전전극소켓에서 방출되는 +이온과 -이온의 불균형으로 인한 불균일한 제전 성능 저하를 연X선 튜브관을 이용하여 보완할 수 있다.

(3) 코로나 방전전극소켓으로 이용하는 경우와 대비하여 보다 넓은 공간에 대한 제전 효과 개선을 기대할 수 있다.

도 1은 종래의 바형(막대형) 코로나 방전식 정전기 제거장치의 일예이다.
도 2는 종래의 코로나 방전식 정전기 제거장치에 사용되는 방전전극소켓의 일예이다.
도 3 및 도 4는 종래의 바형(막대형) 코로나 방전식 정전기 제거장치의 또 다른 일예이다.
도 5a~도 5c는 본 발명에서 제안하는 코로나 방전과 연X선 조사 방식이 결합된 이오나이저의 구성도이다.
도 6은 본 출원인이 생산하여 시판중인 연X선 튜브관의 일예이다
도 7 및 도 8은 도 6에 도시된 연X선 튜브관 제품의 정면도 및 배면도의 구체적인 일예이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에서 제안하는 이오나이저에 대하여 설명하기로 한다.

도 5a 내지 도 5c는 본 발명에 따른 코로나 방전과 연X선 조사 방식이 결합된 이오나이저의 구성도로서, 도 5a는 본 발명에 따른 이오나이저의 기본 개념을 설명하는 블록도이고, 도 5b는 도 5a의 코로나 방전전극소켓(51)의 일예이고, 도 5c는 도 5a의 연X선 튜브관(52)의 일예이다.

참고로, 본 발명에서 설명하는 이오나이저는 종래 기술과 관련하여 설명된 바형(또는 막대형이라고도 함) 이오나이저를 의미하며, 바형 이오나이저인 경우 그 외형의 차이와 무관하게 후술되는 기술적 사상을 적용하는 경우 본 발명에서 제안하는 이오나이저에 모두 포함되는 것으로 해석하여야 한다.

도 5a~도 5c에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 이오나이저는 바형 이오나이저의 기본 구조와 같이 복수개의 코로나 방전전극소켓(51)이 소정 간격으로 이격되면서 일렬로 배치되어 있는 상태에서, 연X선 조사가 가능한 복수개의 연X선 튜브관(52)이 상기 복수개의 코로나 방전전극소켓(51) 사이 사이에 교대로 일렬 배치되는 있다.

본 발명에 따른 코로나 방전전극소켓(51) 각각의 구조는 사용 상태에 따라 달라질 수는 있으나, 고전압이 인가되는 방전침 및 방전침 주변에 형성되어 압축 공기가 이동할 수 있도록 한 노즐(도 5b의 공기가 이동하는 경로)을 갖추는 구조인 경우 본 발명의 기술적 사상에 모두 부합하는 것으로 해석하여야 한다.

즉, 본 발명에 따른 코로나 방전전극소켓은 방전침과 이 방전침 주변에 형성되는 노즐로 이루어지는 모두 구조를 다 포함한다.

도면에서 알 수 있듯이, 본 발명의 이오나이저는 바형의 케이스내에 전술한 복수개의 코로나 방전전극소켓(51)과 연X선 튜브관(52)이 교대로 일렬 배치된다.

본 발명에 있어서, 바형의 케이스 내부에는 바형 케이스의 길이 방향으로 수평 연장되는 공기통(530)이 구비되어 있다.

공기통(530)의 단면 구조는 원통형 사각형 등 다양하게 구현할 수 있으며, 공기통(530)의 기본적인 기능은 외부의 콤프레서 등을 통하여 공급되는 압축 공기의 이동 통로 역할과 함께 코로나 방전전극소켓(51)과 연X선 튜브관(52)의 장착을 가능하게 하는 역할을 한다.

즉, 공기통(530)에는 원통 형상의 공기관(s1, s3)가 형성되어 있으며 공기관(s1, s3)를 통하여 공급되는 압축 공기는 공기관(s1, s3)에 장착된 코로나 방전전극소켓(51)의 노즐을 통하여 자연스럽게 토출된다.

한편, 공기통(530)에는 복수개의 소켓(s2, s4)이 추가로 장착되며, 복수개의 소켓(s2, s4)은 복수개의 연X선 튜브관(52) 각각의 탈부착을 가능하게 하기 위한 것이다.

도시된 바와 같이, 복수개의 소켓(s2, s4)은 공기통(530) 외측에 소정 간격 이격되면서 일렬 배치 형식으로 설치되어 있으며 이들 각 소켓(s2, s4)에 연X선 튜브관(52)이 탈부착 가능하게 결합된다.

본 발명에 있어서 복수개의 소켓(s2, s4)은 공기통(530)의 외측에 형성되는 것으로 하였으나 이는 예시적인 것으로 이오나이저의 외관 케이스에 형성하는 것도 가능하며, 이러한 소켓(s2, s4)의 설치 위치는 다양하게 선택할 수 있을 것이다.(참고로, 소켓(s2, s4)에는 제 2 고전압 발생기(520)에서 출력되는 전압을 전달하는 도선(a와 b)과 연결되는 도전 접촉부가 형성되어 있다).

본 발명에 있어서, 소켓(s2, s4)을 이용하여 연X선 튜브관을 결합시키는 이유는 연X선 튜브관(52) 중의 어느 하나가 고장난 경우 용이하게 교체할 수 있기 때문이다.

또한, 도시된 바와 같이, 본 발명에 있어서는 복수개의 코로나 방전전극소켓(51)으로 제 1 고전압을 공급하는 제 1 고전압 발생부(510)와, 복수개의 연X선 튜브관(52)으로 제 2 고전압을 공급하는 제 2 고전압 발생부(520)를 더 구비한다.

참고로, 도면에서, a와 b 제 2 고전압을 전송하는 도선이고, c는 제 1 고전압을 전송하는 도선을 의미한다. 이러한 도선의 연결은 당업계에 공지된 기술이므로 부가적인 설명은 생략하기로 한다.

본 발명의 경우 제 1 및 제 2 고전압 발생부(510, 520)를 분리하여 설명하였지만, 이오나이저 제작시 제 1 고전압 발생부(510)와 제 2 고전압 발생부(520)를 하나의 전장부로 통합하여 제작하는 것도 가능하다. 그러나, 이 경우에도 하나의 전장부에서는 제 1 고전압과 제 2 고전압 출력단자를 독립적으로 형성하는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 전술한 제 1 고전압 발생부(510)와 제 2 고전압 발생부(520)는 각기 독립적으로 온 또는 오프 가능하도록 구성되는 것이 바람직하다.

이하 본 발명에 따른 이오나이저의 동작에 대하여 설명하기로 한다.

본 발명에서 제안하는 이오나이저는 제 1 고전압 발생부(510)로부터 출력되는 제 1 고전압을 복수개의 코로나 방전전극소켓(51)의 방전침에 공급하며, 방전침에서는 정전기 제거용 이온이 발생되고 공기통(530)을 통하여 유입되는 압축공기가 노즐을 통하여 배출되면서 제전효과를 발생시킨다.

한편, 제 2 고전압 발생부(520)로부터 출력되는 제 2 고전압이 공급되는 복수개의 연X선 튜브관(52)에서는 연X선을 방출하면서 주변의 공기를 이온화시키면서 제전효과를 일으기킨다.

다음, 도 6 ~ 도 8은 본 발명에 따른 이오나이저에 사용될 수 있는 연X선 튜브관)의 구체적인 일예가 도시되어 있다.

도 6은 본 출원인이 생산하여 시판중인 연X선 튜브관의 일예이고, 도 7 및 도 8은 도 6에 도시된 연X선 튜브관 제품의 정면도 및 배면도의 구체적인 일예이다.(참고로, 집속관 역할을 하는 원통형의 캐소드 내부에는 코바 와이어와 연결되는 필라멘트가 존재하지만 본 도 7 및 도 8에서는 도시되지 아니하였다).

도 6에 도시된 바와 같이, 연X선 튜브관은 유리관(100)과, 유리관의 일측 종단부에 결합되는 X선 방사부(200: Be 등의 타겟 포함), 유리관(100)의 타측 종단부에 결합되는 유리로된 스템(300)을 포함한다.

또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 연X선 튜브관는 유리관 내부에 위치하여 전자를 집속시키는 역할을 수행하는 원통형의 캐소드(110: 집속관이라고도 함), 고전압 발생기(도시되지 않음)에서 출력되는 약 -11kV의 전압이 인가되는 도전 와이어(120: 코바 와이어(kovar wire)), 유리관(100) 내부로 삽입된 도전 와이어(120)를 상호 연결시키는 유리 재질의 클립부(130), 일측이 원통 형상의 캐소드(110) 외측에 부착되고 타측이 유리관(100) 내벽에 밀착되어 캐소드(110)를 지지하는 가이드 스프링(140), 유리관(100) 내부의 진공 상태를 유지하기 위한 게터(150: getter) 등과 같은 구성 요소를 더 포함한다.

이러한 연X선 튜브관의 기본 구조는 당업계에 널리 알려져 있으며, 일부 구조의 차이가 있더라도 본 발명에 따른 이오나이저의 일 구성 요소로 채책하여 사용하는 경우에는 그 주조의 일부 변형에도 불구하고 본 발명에 따른 기술적 사상을 이용하는 경우 모두 본 발명에서 보호받고자 하는 연X선 튜브관의 일 구성 요소로 포섭되어야 할 것이다.

지금까지 설명한 바와 같이, 본 발명의 경우, 일렬로 배치된 복수개의 코로나 방전전극소켓에서 정전기 제거용 이온이 방출됨과 동시에 일렬로 배치된 복수개의 코로나 방전전극소켓 사이 사이에 교대로 배치된 복수개의 연X선 튜브관으로 통하여 정전기 제거용 연X선이 조사됨으로써 복수개의 코로나 방전전극소켓으로 구성된 경우와 대비하여 정전기 제거 면적이 더욱 더 넓어져 데드 존을 보다 효율적으로 제거할 수 있다.

또한, 단속적인 제전 효과를 갖는 복수개의 코로나 방전전극소켓에 연속적인 제전효과를 갖는 연X선 튜브관을 이용하기 때문에 코로나 방전전극소켓으로만 구성된 종래의 바형 이오나이저 대비 제전 효율이 더욱 더 개선되는 효과가 있다.

또한, 코로나 방전전극소켓만을 사용하는 바형 이오나이저의 경우, 장시간 사용시 방전침에 누적적으로 부착되는 불순물로 인하여 제전 효과가 떨어지는 문제점이 있었으나, 본 발명에서와 같이 연X선 튜브관을 함께 사용함으로 경우 이러한 제전 효율 저하를 보상하는 효과도 있다.

Claims (5)

1. 코로나 방전과 연X선 조사 방식이 결합된 이오나이저로서,
   방전침과 상기 방전침을 주변에 형성되는 노즐로 이루어지는 복수개의 코로나 방전전극소켓과,
   연X선 조사가 가능한 복수개의 연X선 튜브관을 구비하며,
   상기 복수개의 코로나 방전전극소켓은 일정 간격으로 이격되면서 일렬 배치되고,
   상기 복수개의 연X선 튜브관은 일정 간격 이격되면서 상기 복수개의 코로나 방전전극소켓 사이 사이에 교대로 일렬 배치되는 것을 특징으로 하는 코로나 방전과 연X선 조사 방식이 결합된 이오나이저.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 복수개의 코로나 방전전극소켓과 상기 연X선 튜브관이 결합되는 공기통을 더 구비하며,
   상기 공기통을 통하여 유입되는 압축 공기는 상기 코로나 방전전극소켓의 상기 노즐을 통하여 토출되는 것을 특징으로 하는 코로나 방전과 연X선 조사 방식이 결합된 이오나이저.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 공기통에는 상기 복수개의 연X선 튜브관 각각의 탈부착을 가능하게 하는 복수개의 소켓이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 코로나 방전과 연X선 조사 방식이 결합된 이오나이저.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 복수개의 코로나 방전전극소켓으로 제 1 고전압을 공급하는 제 1 고전압 발생부와,
   상기 복수개의 연X선 튜브관으로 제 2 고전압을 공급하는 제 2 고전압 발생부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 코로나 방전과 연X선 조사 방식이 결합된 이오나이저.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 제 1 고전압 발생부와 상기 제 2 고전압 발생부는 각기 독립적으로 온 또는 오프 가능한 것을 특징으로 하는 코로나 방전과 연X선 조사 방식이 결합된 이오나이저.
   

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