JP2001155894A

JP2001155894A - イオナイザー

Info

Publication number: JP2001155894A
Application number: JP34162799A
Authority: JP
Inventors: Yasuo Mizokoshi; 泰男溝腰; Akira Sasakura; 朗笹倉
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1999-12-01
Filing date: 1999-12-01
Publication date: 2001-06-08

Abstract

(57)【要約】【課題】被除電物に与えるイオンの量を短時間で正確
かつ容易に調節することができるイオナイザーを提供す
る。【解決手段】除電用のイオンを射出する放電部２と、
この放電部２と被除電物Ｗの間に配置され、放電部２か
ら射出されるイオンを捉えるグリッド５と、このグリッ
ド５を挟んで被除電物Ｗと対向するように配置され、グ
リッド５に向けて気体を吹き付けるノズル３と、このノ
ズル３から噴出する気体の量を調節する手段とを備えた
ことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板、液晶パ
ネル、実装基板、Ｓｉウェアー、その他の電子部品の製
造時において静電気を除去するために使用されるイオナ
イザーに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種のイオナイザーの代表的な先行技
術例としては、例えば、図６に示すようなＡＣ型イオナ
イザー、図７に示すようなＤＣパルス型イオナイザー等
が挙げられる。

【０００３】これらのイオナイザーでは、ケーシング１
０１上に取り付けられた放電針１０２、１０２、・・・
に高圧電源１０４により高電圧を印加すると、放電針１
０２、１０２、・・・からイオンが射出され、このイオ
ンによって被除電物Ｗが除電される。なお、図７のもの
では、一方の放電針１０２がプラス放電針、他方の放電
針１０２がマイナス放電針となっている。

【０００４】また、図６のものでは、被除電物Ｗに気体
を吹き付けるノズル１０３、１０３、・・・が設けられ
ており、このノズル１０３、１０３、・・・から噴出す
る気体の量を調節できるようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、被除電物に
常にイオンを与えていると、被除電物の状態によって
は、かえって被除電物を帯電させてしまう場合が有る。
そのため、被除電物の状態により被除電物に与えるイオ
ンの量を調節する必要が有るが、従来は、電源をＯＮ−
ＯＦＦするという方法か、被除電物に吹き付ける気体の
量を変えるという方法が採られていた。

【０００６】しかしながら、前者の方法の場合、電源を
ＯＦＦにすることにより、イオンが被除電物に到達する
のを完全に無くすことができるものの、再度電源をＯＮ
にしてからイオンの射出量が安定するまで数十秒から数
分を要するため、自動化ラインに適用するのが難しいと
いう問題点が有る。

【０００７】また、後者の方法の場合、気体量の調節の
みでは、被除電物にイオンが到達するのを無くすことが
難しいという問題点が有る。

【０００８】本発明は、上述した課題を解決するイオナ
イザーを提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ために、本発明のイオナイザーは、除電用のイオンを射
出する放電部と、この放電部と被除電物の間に配置さ
れ、前記放電部から射出されるイオンを捉えるグリッド
と、このグリッドを挟んで前記被除電物と対向するよう
に配置され、前記グリッドに向けて気体を吹き付けるノ
ズルと、このノズルから噴出する気体の量を調節する手
段とを備えたことを特徴とするものである。

【００１０】このような構成によれば、被除電物にイオ
ンを与えたくない場合には、グリッドへの気体の吹き付
けを停止することにより、イオンは殆どグリッドに捉え
られて被除電物に到達しなくなる。また、この状態から
再び被除電物にイオンを与えるようにする場合には、グ
リッドへの気体の吹き付けを再開することにより、短時
間で被除電物に所望量のイオンを与えることができるよ
うになる。また、被除電物に与えられるイオンの量は、
グリッドに吹き付けられる気体の量を変えることにより
容易に調節することができる。

【００１１】なお、前記放電部が、前記ノズルと同軸状
に配置された針状のものである場合には、放電部に塵埃
が付着しにくくなる。

【００１２】また、前記放電部が前記ノズルを兼ねるよ
うにした場合には、構造が簡素化し、部品点数及び製造
コストが低減する。

【００１３】また、前記放電部が、イオンの射出方向に
対して直交する方向に延びる細長い線状のものである場
合には、放電部が針状のものである場合に比べて被除電
物全体にイオンを均一に与えることが可能となる。

【００１４】また、前記放電部が、所定間隔をおいて配
置されたプラス電極とマイナス電極とから成り、これら
の間に直流電圧を印加してイオンを射出するようにした
ものである場合には、放電部と被除電物の間の距離が大
きい場合でも、被除電物にイオンを与えることが可能と
なる。

【００１５】また、前記グリッドに所望の電圧を印加す
る手段を設けた場合には、グリッドに捉えられるプラス
またはマイナスのイオンの量を被除電物に応じて調節す
ることが可能となる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施形態
を図面を参照しながら説明する。図１は本発明の第１の
実施形態のイオナイザーの概略構成図である。同図にお
いて、１は例えば合成樹脂等により形成されたケーシン
グであり、その一側面には、複数個の針状の放電部２、
２、・・・と複数個のノズル３、３、・・・・とが所定
間隔をおいて交互に直線状に配置されている。

【００１７】放電部２、２、・・・は高圧電源４に接続
されており、この高圧電源４により放電部２、２、・・
・に電圧を印加すると、放電部２、２、・・・に放電が
生じ、放電部２、２、・・・に対向して配置された被除
電物Ｗに向けて除電用のイオンが射出されるようになっ
ている。

【００１８】放電部２、２、・・・に印加される電圧
は、高電圧の交流電圧または直流電圧（パルス型または
スタチック型）であり、直流電圧の場合には、後述する
第５の実施形態で説明するように、プラスの放電部とマ
イナスの放電部を交互に配置する。

【００１９】ノズル３、３、・・・は高圧の気体源（不
図示）に接続されており、ノズル３、３、・・・から被
除電物Ｗに向けて高圧の気体（空気や窒素等）が吹き付
けられるようになっている。なお、ノズル３、３、・・
・から噴出する気体の量は、ノズル３、３、・・・と高
圧の気体源の間に設けられた電磁弁（不図示）により調
節することができるようになっている。

【００２０】ケーシング１と被除電物Ｗの間には、放電
部２、２、・・・から射出されるイオンを捉えるグリッ
ド５が配置されている。このグリッド５としては、例え
ば、表面にＳＵＳメッキが施された直径０．１〜数ｍｍ
程度の金属線により網状や線状等に形成されたもの等が
用いられる。なお、グリッド５はグランド電位に接続さ
れている。

【００２１】放電部２、２、・・・から射出されたイオ
ンがグリッド５を通過する量は、グリッド５と被除電物
Ｗの距離及び被除電物Ｗの表面電位により決まる。グリ
ッド５と被除電物Ｗの距離を大きくすると、イオンは殆
どグリッド５に捉えられ、被除電物Ｗに到達するイオン
の量は非常に少なくなる。

【００２２】ここで、ノズル３、３、・・・からグリッ
ド５に気体を吹き付けると、通常ならグリッド５に捉え
られるイオンがグリッド５を通過し、被除電物Ｗに到達
することになる。その到達量は、ノズル３、３、・・・
から噴出する気体の量を変えることによって調節するこ
とができる。

【００２３】なお、通常、グリッド５は接地されている
が、グリッド５に所望の交流電圧や直流電圧を印加する
手段を設け、グリッド５に捉えられるプラスまたはマイ
ナスのイオンの量を被除電物に応じて調節するようにし
てもよい。

【００２４】次に、上記のように構成されたイオナイザ
ーの作用を説明する。高圧電源４により放電部２、２、
・・・に電圧を印加すると、放電部２、２、・・・に放
電が生じ、放電部２、２、・・・に対向して配置された
グリッド５及び被除電物Ｗに向けてイオンが射出され
る。

【００２５】また、これと同時に、ノズル３、３、・・
・から高圧の気体がグリッド５に吹き付けられる。これ
により、放電部２、２、・・・から射出されたイオンの
一部はグリッド５を通過して被除電物Ｗに到達し、この
イオンにより被除電物Ｗが除電される。

【００２６】なお、被除電物Ｗにイオンを与えたくない
場合は、グリッド５への気体の吹き付けを停止する。す
ると、イオンは殆どグリッド５に捉えられ、被除電物Ｗ
に到達しなくなる。また、この状態から、再び被除電物
Ｗにイオンを与えるようにする場合には、グリッド５へ
の気体の吹き付けを再開することにより、短時間で被除
電物Ｗに所望量のイオンを与えることができるようにな
る。

【００２７】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。図２は本発明の第２の実施形態のイオナイザー
の概略構成図である。なお、以下の各実施形態におい
て、第１の実施形態と対応する部分には同一の符号を付
してあり、重複する説明は省略してある。

【００２８】図２に示すように、本実施形態では、放電
部２、２、・・・がそれぞれノズル３、３、・・・と同
軸状に設けられており、ノズル３から噴出する気体が放
電部２の外周面に沿って流れるため、放電部２に塵埃が
付着しにくく、放電部２の清掃の手間が省けるという利
点が有る。

【００２９】次に、本発明の第３の実施形態について説
明する。図３は本発明の第３の実施形態のイオナイザー
の概略構成図である。本実施形態では、パイプ状のノズ
ル３、３、・・・が放電部２、２、・・・を兼ねてお
り、ノズル３、３、・・・の先端部からグリッド５及び
被除電物Ｗに向けてイオンが射出されるようになってい
る。このように構成することで、構造が簡素化し、部品
点数及び製造コストが低減するという利点が有る。

【００３０】次に、本発明の第４の実施形態について説
明する。図４は本発明の第４の実施形態のイオナイザー
の概略構成図である。本実施形態では、放電部２が細長
い線状の部材により構成され、ノズル３、３、・・・の
前方に間隔をおいて、イオンの射出方向に対して直交す
る方向に延びるように配置されている。本実施形態で
は、放電部２が全長に亙って均一にイオンを射出するた
め、放電部２が針状の場合に比べて被除電物Ｗ全体に均
一にイオンを与えることができる。

【００３１】次に、本発明の第５の実施形態について説
明する。図５は本発明の第５の実施形態のイオナイザー
の概略構成図である。本実施形態では、放電部が所定間
隔をおいて交互に配置されたプラス電極２Ａとマイナス
電極２Ｂとから成っており、各電極２Ａ、２Ｂはそれぞ
れノズル３と同軸状に配置され、高圧電源４により電極
２Ａと電極２Ｂの間に直流電圧を印加するとイオンが射
出されるようになっている。本実施形態の構造によれ
ば、放電部と被除電物の距離が大きい場合でも、被除電
物にイオンを与えることができる。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、被
除電物にイオンを与えたくない場合には、グリッドへの
気体の吹き付けを停止することにより、イオンは殆どグ
リッドに捉えられて被除電物に到達しなくなる。また、
この状態から再び被除電物にイオンを与えるようにする
場合には、グリッドへの気体の吹き付けを再開すること
により、短時間で被除電物に所望量のイオンを与えるこ
とができるようになる。また、被除電物に与えられるイ
オンの量は、グリッドに吹き付けられる気体の量を変え
ることにより容易に調節することができる。さらに、グ
リッドを設けたことにより、高電圧が印加される放電部
のワークへの電磁誘導の影響を低減することができる。

【００３３】また、放電部が、ノズルと同軸状に配置さ
れた針状のものである場合には、放電部に塵埃が付着し
にくくなるため、清掃の手間が低減する。

【００３４】また、放電部がノズルを兼ねるようにした
場合には、構造が簡素化し、部品点数及び製造コストが
低減する。

【００３５】また、放電部が、イオンの射出方向に対し
て直交する方向に延びる細長い線状のものである場合に
は、放電部が針状のものである場合に比べて被除電物全
体にイオンを均一に与えることが可能となり、被除電物
をより均一に除電することができる。

【００３６】また、放電部が、所定間隔をおいて配置さ
れたプラス電極とマイナス電極とから成り、これらの間
に直流電圧を印加してイオンを射出するようにしたもの
である場合には、放電部と被除電物の間の距離が大きい
場合でも、被除電物にイオンを与えることが可能とな
る。

【００３７】また、グリッドに所望の電圧を印加する手
段を設けた場合には、グリッドに捉えられるプラスまた
はマイナスのイオンの量を被除電物に応じて調節するこ
とが可能となるため、被除電物を効率良く除電すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態のイオナイザーの概
略構成図。

【図２】本発明の第２の実施形態のイオナイザーの概
略構成図。

【図３】本発明の第３の実施形態のイオナイザーの概
略構成図。

【図４】本発明の第４の実施形態のイオナイザーの概
略構成図。

【図５】本発明の第５の実施形態のイオナイザーの概
略構成図。

【図６】従来のイオナイザーの概略構成図。

【図７】従来のイオナイザーの概略構成図。

【符号の説明】

１ケーシング２放電部３ノズル４高圧電源５グリッド

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】除電用のイオンを射出する放電部と、こ
の放電部と被除電物の間に配置され、前記放電部から射
出されるイオンを捉えるグリッドと、このグリッドを挟
んで前記被除電物と対向するように配置され、前記グリ
ッドに向けて気体を吹き付けるノズルと、このノズルか
ら噴出する気体の量を調節する手段とを備えたことを特
徴とするイオナイザー。
【請求項２】前記放電部が、前記ノズルと同軸状に配
置された針状のものであることを特徴とする請求項１に
記載のイオナイザー。
【請求項３】前記ノズルが前記放電部を兼ねることを
特徴とする請求項１に記載のイオナイザー。
【請求項４】前記放電部が、イオンの射出方向に対し
て直交する方向に延びる細長い線状のものであることを
特徴とする請求項１に記載のイオナイザー。
【請求項５】前記放電部が、所定間隔をおいて配置さ
れたプラス電極とマイナス電極とから成り、これらの間
に直流電圧を印加してイオンを射出するようにしたもの
であることを特徴とする請求項１に記載のイオナイザ
ー。
【請求項６】前記グリッドに所望の電圧を印加する手
段を設けたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一
項に記載のイオナイザー。