WO2018043870A1 - 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저 - Google Patents

방사선 차폐형 엑스선 이오나이저 Download PDF

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WO2018043870A1
WO2018043870A1 PCT/KR2017/005325 KR2017005325W WO2018043870A1 WO 2018043870 A1 WO2018043870 A1 WO 2018043870A1 KR 2017005325 W KR2017005325 W KR 2017005325W WO 2018043870 A1 WO2018043870 A1 WO 2018043870A1
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WO
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air
tube
ray
guide
hole
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PCT/KR2017/005325
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English (en)
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이동훈
김상효
김은민
이재현
허시환
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(주)선재하이테크
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/16Vessels; Containers; Shields associated therewith
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05FSTATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/06Carrying-off electrostatic charges by means of ionising radiation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00X-ray tubes
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    • H01J2235/165Shielding arrangements
    • H01J2235/166Shielding arrangements against electromagnetic radiation
    • HELECTRICITY
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    • H01J2235/00X-ray tubes
    • H01J2235/16Vessels
    • H01J2235/165Shielding arrangements
    • H01J2235/168Shielding arrangements against charged particles

Definitions

  • the present invention relates to a radiation shielding X-ray ionizer, and more particularly, to X-ray shielding radiated from an X-ray tube and to supply air to a plurality of X-ray tubes by a simple path even when a plurality of X-ray tubes are configured.
  • a radiation shielding x-ray ionizer is configured to a radiation shielding x-ray ionizer.
  • the energy of lead X-rays is about tenths lower than that of light X-rays, and much less by direct irradiation.
  • Table 1 shows the characteristics of the soft X-ray and light X-ray separately.
  • the soft x-ray generator Since the soft x-ray of the soft x-ray generator is generated when the accelerated electrons collide with the metal target (Be), the soft x-ray generator is composed of a high voltage generator and a target for accelerating the electron at high speed.
  • the energy E is expressed by the following equation in the motion of electrons when colliding.
  • Z is the atomic number of the target material.
  • the soft X-ray irradiation formula generates ions and electrons necessary for neutralization of the whole charge by generating photons of gas molecules and atoms around the charged object and generates ions. It can generate static electricity in a short time and maintain the residual constant voltage at almost 0 V, and it is possible to remove static electricity in inert gas atmosphere (N 2 , Ar, etc.) at atmospheric pressure. It is utilized.
  • the soft X-ray irradiated type static eliminator has an advantage of being able to discharge in an atmosphere without a wind condition.
  • the soft X-ray radiation type static eliminator has a high energy (wavelength is about 1.3 kW or less), oxygen molecules or atoms can be ionized quickly, and thus, there is an advantage that almost no ozone is generated.
  • FIG. 1 is a schematic view showing a conventional soft X-ray ionizer.
  • the soft x-ray ionizer of the prior art Korean Patent No. 10-0680760 shown in Figure 1 is a technology filed by the applicant, the head portion 10 for generating a soft x-ray having a wavelength of 1.2 ⁇ 1.5kHz; Soft X-ray protection unit 70 for shielding the leakage of the soft X-rays from the head portion 10; A control unit (not shown) for supplying a control signal and a control voltage to the head unit, and connecting the head unit and the control unit so that the user can bend the head direction of the head unit at an arbitrary angle toward the charging object, if necessary.
  • Flexible tube 40 First connecting means (50) connecting one end of the flexible tube to the head to release ions generated from a window located inside the head to a charged object; And second connection means 60 connected between the other end of the flexible tube and the control unit to connect the high voltage generator 20 to supply the high voltage to the head.
  • the prior art has a risk of exposing the human body to X-rays emitted from the head part 10 because the head part 10 is exposed in a direct contact with the outside air.
  • the above-described conventional X-ray tube or soft X-ray ionizer has a problem that can be used only in a clean room in which automated semiconductors, LCD lines, etc., in which an operator's access is controlled, are installed.
  • the present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention can minimize the amount of X-rays emitted from the X-ray tube to the outside of the X-ray tube, even if a plurality of X-ray tube is configured It is to provide a radiation shielded X-ray ionizer that can supply air to an X-ray tube in a simple path.
  • Radiation shielding X-ray ionizer is a guide bar which is formed in the left and right direction a plurality of insertion grooves arranged on the lower surface; A voltage generation module installed inside the guide bar and generating a high voltage; A plurality of tube bodies respectively inserted into the plurality of insertion grooves, each having a tube inlet hole and a tube outlet hole formed at both sides in the left and right directions; A plurality of guide bodies having upper portions respectively inserted through the lower portions of the plurality of tube bodies and having guide passages communicating with the tube inlet holes and the tube outlet holes on an outer circumferential surface thereof; A protective nozzle surrounding a lower portion of the guide body and having a protective passage communicating with the guide passage; An X-ray tube installed in the guide body and having a lower surface protruding toward the lower side of the guide body; And an air nozzle surrounding a lower portion of the protective nozzle and having an air hole communicating with the protective passage on a lower surface thereof.
  • the radiation shielding X-ray ionizer is a series supply pipe for supplying air to the tube inlet hole located at one end in the left and right directions of the plurality of tube bodies, the tube outlet hole and the tube inlet hole It characterized in that it further comprises a; serial connection assembly comprising a plurality of serial connection pipes connected by an intermediate.
  • the series connection assembly may further include an air fitting adjusting member installed to adjust an air flow amount between the air supply pipe and the tube inlet hole.
  • the air nozzle is formed of a horizontal plate, a pair of inclined plates that are connected to the left and right surfaces of the horizontal plate and inclined upward, respectively, and the air holes are formed in the horizontal plate; And, characterized in that it comprises a pair of inclined discharge holes formed in the pair of inclined plate, respectively.
  • the air nozzle is characterized in that a plurality of the air discharge hole is formed in the horizontal plate, the inclined discharge hole is formed in a plurality of the inclined plate.
  • a radiation shielding type X-ray ionizer includes: a guide bar having a plurality of insertion grooves arranged in a left and right direction on a lower surface thereof; A voltage generation module installed inside the guide bar and generating a high voltage; A plurality of tube bodies which are respectively inserted into the plurality of insertion grooves, tube inlet holes are formed on one side in a left and right direction, and are connected in parallel to each other through the tube inlet holes; A plurality of guide bodies having upper portions respectively inserted through lower portions of the plurality of tube bodies, and guide flow passages communicating with the tube inlet holes on an outer circumferential surface of a lower surface thereof; A protective nozzle surrounding a lower portion of the guide body and having a protective passage communicating with the guide passage; An X-ray tube installed in the guide body and having a lower surface protruding into the protective nozzle; And an air nozzle surrounding a lower portion of the protective nozzle and having an air hole communicating with the protective passage on a lower
  • the radiation shielding x-ray ionizer may further include a parallel connection assembly including a plurality of parallel supply pipes respectively supplying air to the tube inlet holes of the plurality of tube bodies.
  • the parallel connection assembly may further include an air fitting control member installed to adjust an air flow amount between the parallel supply pipe and the tube inlet hole.
  • the air nozzle is formed of a horizontal plate, a pair of inclined plates that are connected to the left and right surfaces of the horizontal plate and inclined upward, respectively, and the air holes are formed in the horizontal plate; And, characterized in that it comprises a pair of inclined discharge holes formed in the pair of inclined plate, respectively.
  • the air nozzle is characterized in that a plurality of the air discharge hole is formed in the horizontal plate, the inclined discharge hole is formed in a plurality of the inclined plate.
  • the radiation shielding X-ray ionizer according to the present invention includes a protective nozzle surrounding the lower portion of the guide body in which the X-ray tube is installed, thereby minimizing the amount of X-rays emitted from the X-ray tube to the outside of the X-ray tube.
  • the radiation shielding X-ray ionizer according to the present invention has a plurality of tube bodies are connected in series with each other via a tube inlet hole and a tube outlet hole, so that even if a plurality of X-ray tubes are configured, air is simply routed to the plurality of X-ray tubes. There is an advantage to supply.
  • FIG. 1 is a schematic view showing a conventional soft x-ray ionizer.
  • Figure 2 is a schematic diagram showing a radiation shielding X-ray ionizer according to Example 1 of the present invention.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of a radiation shielding X-ray ionizer according to Embodiment 1 of the present invention.
  • Figure 4 is a bottom view of the air nozzle of the radiation shielding X-ray ionizer according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the radiation shielding X-ray ionizer according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 to 7 are bottom views showing various examples of the air nozzle of the radiation shielding X-ray ionizer according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a schematic view showing a radiation shielding X-ray ionizer of a radiation shielding X-ray ionizer according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of a radiation shielding X-ray ionizer according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 10 is a bottom view of the air nozzle of the radiation shielding X-ray ionizer according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view of a radiation shielding X-ray ionizer according to Embodiment 4 of the present invention.
  • FIGS. 12 to 13 are bottom views showing various examples of the air nozzle of the radiation shielding X-ray ionizer according to the fourth embodiment of the present invention.
  • Figure 2 is a schematic diagram showing a radiation shielding X-ray ionizer according to a first embodiment of the present invention
  • Figure 3 is a cross-sectional view of a radiation shielding x-ray ionizer according to a first embodiment of the present invention
  • Figure 4 is a first embodiment of the present invention Is a spray nozzle of a radiation shielding x-ray ionizer according to the present invention.
  • the radiation shielding X-ray ionizer 1000 may include a guide bar 100, a voltage generating module (not shown), and a plurality of tube bodies 210. , A plurality of guide body 220, protective nozzle 300, X-ray tube 400, air nozzle 500.
  • the guide bar 100 is formed with a plurality of insertion grooves (not shown) arranged in the left and right directions on the lower surface, the inside is hollow.
  • the voltage generating module is installed in a plurality of the guide bar 100 and generates a high voltage.
  • the radiation shielding X-ray ionizer 1000 is installed in the guide bar 100 and controls a control PCB (not shown) for controlling the voltage level of the high voltage, and the inside of the guide bar 100. It may further include a power PCB (not shown) installed to electrically connect the voltage generating modules to each other.
  • Each of the plurality of tube bodies 210 is respectively inserted into the plurality of insertion grooves, and tube inlet holes 211 and tube outlet holes 212 are formed on both sides in the left and right directions, respectively. It is connected in series via the tube outlet hole.
  • the tube body 210 may be formed with a tube inlet hole 211 and a tube outlet hole 212 on both sides of the lower left and right directions, but the present invention is not limited thereto.
  • the tube body 210 may be screwed with the guide bar 100 in a state of being inserted into the insertion groove, but the present invention is not limited thereto.
  • the plurality of guide bodies 220 are respectively inserted through the upper portion of the lower portion of the plurality of tube bodies 210, and guide passages communicating with the tube inlet hole 211 and the tube outlet hole 212 on the outer circumferential surface thereof. 221 is formed.
  • the protective nozzle 300 surrounds a lower portion of the guide body 220 and has a protective passage 301 communicating with the guide passage 221 on a lower surface thereof.
  • the plate 310 is further installed.
  • the protective nozzle 300 may be made of a lead material in order to shield the X-ray, but the present invention is not limited thereto.
  • the X-ray tube 400 is installed inside the guide body 220 and the bottom surface of the guide body 220 protrudes downward, and the X-rays are radiated by the high voltage transmitted from the voltage generating module.
  • the air nozzle 500 surrounds a lower portion of the protective nozzle 300 and has an air hole communicating with the protective passage 301 on a lower surface thereof.
  • Air is supplied to the tube inlet hole 211 of the tube body 210.
  • the radiation shielding X-ray ionizer according to the present invention includes a protective nozzle surrounding the lower portion of the guide body in which the X-ray tube is installed, thereby minimizing the amount of X-rays emitted from the X-ray tube to the outside of the X-ray tube.
  • the radiation shielding X-ray ionizer according to the present invention has a plurality of tube bodies are connected in series with each other via a tube inlet hole and a tube outlet hole, so that even if a plurality of X-ray tubes are configured, air is simply routed to the plurality of X-ray tubes. There is an advantage to supply.
  • the radiation shielding X-ray ionizer 1000 may further include a series connection assembly 600.
  • the series connection assembly 600 is to connect the plurality of tube bodies 210 in series with each other to supply air to the plurality of tube bodies 210 as a whole, a series supply pipe 610 and a plurality of series connection tubes ( 620).
  • the series supply pipe 610 supplies air to the tube inlet hole 211 located at the leftmost side of the plurality of tube bodies 210, wherein the air may be generated in a separate compressor.
  • the plurality of series connection pipes 620 connects the plurality of tube bodies 210 to each other through the tube outlet hole 212 and the tube inlet hole 211.
  • the series connection assembly 600 may further include an air fitting control member 630 which is installed to adjust the amount of air flow between the air supply pipe and the tube inlet hole 211.
  • the air fitting adjusting member 630 may be configured as a hydraulic valve capable of adjusting the amount of air flow, but the present invention is not limited thereto.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the radiation shielding X-ray ionizer according to the second embodiment of the present invention.
  • a bottom surface of the air nozzle 500 is a horizontal plate 510 and a left side of the horizontal plate 510. And a pair of inclined plates 520 connected to the surface and the right side, respectively, and inclined upward, wherein the air holes 511 and 512 are formed in the horizontal plate 510. It includes a pair of inclined discharge hole 521 formed in the pair of inclined plate 520, respectively.
  • the radiation shielding type X-ray ionizer 1000 according to the second embodiment of the present invention has an injection range of air discharged from the air nozzle 500 by the air discharge hole 511 and the inclined discharge hole 521. Has the advantage of being wider.
  • FIG. 6 to 7 are bottom views showing various examples of the air nozzle of the radiation shielding X-ray ionizer according to the second embodiment of the present invention.
  • the air nozzle 500 has the air discharge hole 511 such that the air injection range is further widened. ) May be formed in the horizontal plate 510, and the inclined discharge hole 521 may be formed in the inclined plate 520.
  • FIG. 8 is a schematic view showing a radiation shielding X-ray ionizer of a radiation shielding X-ray ionizer according to Embodiment 3 of the present invention
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the radiation shielding X-ray ionizer according to Embodiment 3 of the present invention
  • FIG. 10. Is a bottom view of an air nozzle of a radiation shielding x-ray ionizer according to Embodiment 3 of the present invention.
  • the radiation shielding X-ray ionizer 1000 may include a guide bar 100, a voltage generation module (not shown), and a plurality of tube bodies 210. , A plurality of guide body 220, protective nozzle 300, X-ray tube 400, air nozzle 500.
  • the guide bar 100 has a plurality of insertion grooves arranged in the left and right directions on the lower surface thereof, and the inside thereof is hollow.
  • the voltage generating module is installed in a plurality of the guide bar 100 and generates a high voltage.
  • the radiation shielding X-ray ionizer 1000 is installed in the guide bar 100 and controls a control PCB (not shown) for controlling the voltage level of the high voltage, and the inside of the guide bar 100. It may further include a power PCB (not shown) installed to electrically connect the voltage generating modules to each other.
  • Each of the plurality of tube bodies 210 is respectively inserted into the plurality of insertion grooves, and a tube inlet hole 211 is formed on one side in a left and right direction.
  • the tube body 210 may be formed in each of the tube inlet hole 211 on one side of the lower left and right direction, but the present invention is not limited thereto.
  • the tube body 210 may be screwed with the guide bar 100 in a state of being inserted into the insertion groove, but the present invention is not limited thereto.
  • the plurality of guide bodies 220 are respectively inserted through the upper portion of the lower portion of the plurality of tube bodies 210, and guide passages communicating with the tube inlet hole 211 and the tube outlet hole 212 on the outer circumferential surface thereof. 221 is formed.
  • the protective nozzle 300 surrounds a lower portion of the guide body 220 and has a protective passage 301 communicating with the guide passage 221 on a lower surface thereof.
  • the plate 310 is further installed.
  • the protective nozzle 300 may be made of a lead material in order to shield the X-ray, but the present invention is not limited thereto.
  • the X-ray tube 400 is installed inside the guide body 220 and the bottom surface of the guide body 220 protrudes downward, and the X-rays are radiated by the high voltage transmitted from the voltage generating module.
  • the air nozzle 500 surrounds a lower portion of the protective nozzle 300 and has an air hole communicating with the protective passage 301 on a lower surface thereof.
  • Air is supplied to each of the tube inlet holes 211 of the plurality of tube bodies 210.
  • the radiation shielding X-ray ionizer according to the third embodiment of the present invention includes a protective nozzle surrounding the lower portion of the guide body in which the X-ray tube is embedded, whereby X-rays generated from the X-ray tube are emitted to the outside of the X-ray tube.
  • a protective nozzle surrounding the lower portion of the guide body in which the X-ray tube is embedded, whereby X-rays generated from the X-ray tube are emitted to the outside of the X-ray tube.
  • a plurality of tube bodies are connected in parallel to each other through a tube inlet hole, so that even if a plurality of X-ray tubes are configured, air is simply routed to the plurality of X-ray tubes. There is an advantage to supply.
  • the radiation shielding X-ray ionizer 1000 may further include a parallel connection assembly 700.
  • the parallel connection assembly 700 connects the plurality of tube bodies 210 to each other in parallel to supply air for each of the plurality of tube bodies 210, and includes a plurality of parallel supply pipes 710.
  • the plurality of parallel supply pipes 710 respectively supply air to the tube inlet holes 211 of the plurality of tube bodies 210, and may be connected to the compressor 600 to supply air.
  • the parallel connection assembly 700 may further include an air fitting adjusting member 720 for adjusting the air flow amount between the air supply pipe and the tube inlet hole 211.
  • the air fitting adjusting member 720 may be configured as a hydraulic valve capable of adjusting the amount of air flow, but the present invention is not limited thereto.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view of a radiation shielding X-ray ionizer according to Embodiment 4 of the present invention.
  • a bottom surface of the air nozzle 500 is a horizontal plate 510 and a left side of the horizontal plate 510.
  • a pair of inclined plates 520 connected to a surface and a right side, respectively, and inclined upward, the air holes include an air discharge hole 511 formed in the horizontal plate 510, and the pair of inclined plates 520. It includes a pair of inclined discharge hole 521 formed in each.
  • the radiation shielding X-ray ionizer 1000 according to the fourth embodiment of the present invention has an injection range of air discharged from the air nozzle 500 by the air discharge hole 511 and the inclined discharge hole 521. Has the advantage of being wider.
  • FIGS. 12 to 13 are bottom views illustrating various examples of the air nozzle of the radiation shielding X-ray ionizer according to the fourth embodiment of the present invention.
  • the air nozzle 500 has the air discharge hole 511 such that the air injection range is further widened. ) May be formed in the horizontal plate 510, and the inclined discharge hole 521 may be formed in the inclined plate 520.
  • the size of the air discharge hole 511 is also changed to allow the air discharge.
  • the air discharge range of the hole 511 also changes, making it difficult to specify the air discharge range of the air discharge hole 511 as accurately as possible.
  • the air nozzle 500 is accommodated between the inner circumferential surface and the outer circumferential surface to accommodate a phase change material for preventing the temperature change of the air nozzle 500 to the maximum, thereby preventing the size of the air discharge hole 511 from changing. can do.

Abstract

본 발명은 하면에 다수의 삽입홈이 좌우방향으로 배열 형성되는 가이드바; 상기 가이드바의 내부에 설치되며 고전압이 발생하는 전압 발생 모듈; 상기 다수의 삽입홈에 각각 삽입되며, 좌우방향 양면에 각각 튜브유입홀 및 튜브유출홀이 형성되며, 서로 직렬 연결되는 다수의 튜브바디; 상기 다수의 튜브바디의 하부에 각각 상부가 관통 삽입되며, 하면 외주면에 상기 튜브유입홀 및 튜브유출홀과 연통되는 가이드유통로가 형성되 다수의 가이드바디; 상기 가이드바디의 하부를 둘러싸며 하면에 상기 가이드유통로와 연통되는 방호유통로가 형성되는 방호노즐; 상기 가이드바디의 내부에 설치되며 하면이 상기 가이드바디의 하측으로 돌출되는 X선관; 및 상기 방호노즐의 하부를 둘러싸며 하면에 상기 방호유통로와 연통되는 에어홀이 형성되는 에어노즐;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

방사선 차폐형 엑스선 이오나이저
본 발명은 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저에 관한 것으로서, 좀 더 상세하게는 X선관에서 방사되는 X선 차폐를 할 수 있고 다수의 X선관이 구성되어도 다수의 X선관에 에어를 단순한 경로로 공급할 수 있는 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저에 관한 것이다.
일반적으로, 물질투과성에 따라서 얇은 공기층에 의해서도 쉽게 흡수되는 투과성이 낮은 방사선을 연엑스선이라 하고, 륀트겐 등에 사용하는 투과성이 높은 것을 경엑스선이라 한다.
연엑스선의 에너지는 경엑스선에 비해 수십분의 일 정도로 낮고, 직접 조사에 의한 영향 또한 훨씬 적다.
구분 파장 에너지 용도
연X선 1 내지 10Å 1 내지 10 kev 분석용, 정전기 제거
경X선 0.01 내지 1Å 10 내지 1000 kev 의료용, 공업용
이러한 연엑스선과 경엑스선의 특성을 구분하여 설명하면 표 1과 같다.
연엑스선 발생기의 연엑스선은 가속된 전자가 금속 타겟(Be)에 충돌하면 발생되는 것이므로, 연엑스선 발생기는 전자를 고속으로 가속시키는 고전압 발생장치와 타켓으로 구성되어있다.
전극에 인가되는 전압을 가속전압(target voltage) 이라고 하면, 충돌할 때의 전자의 운동에 에너지 E는 다음과 같은 식으로 표시된다.
E=eV=(1/2)mv2
단, e: 전자전하량(-1.602X10-19C), m: 전자질량(9.109X10-31kg), V: 가속전압, v:전자속도.
전자의 운동에너지는 타켓과 충돌할 때 대부분 열로 변하고 약 1% 정도의 에너지만이 연엑스선으로 발산되고, 연엑스선 발생 효율은 다음과 같은 식으로 표시된다.
발생 효율=1.1X10-9ZV
단, Z 는 타겟 물질의 원자 번호.
이러한 연엑스선 조사식은 대전체 중화에 필요한 이온 및 전자를 대전 물체 주위의 가스분자 및 원자의 광자흡수에 의하며 이온을 생성하는 방식으로 이루어지며, 이러한 연엑스선 조사식의 특징은 고농도의 이온 및 전자를 생성할 수 있기 때문에 단시간 내에 정전기 제거가 가능하고 또한 잔류 정전압을 거의 0 V로 유지할 수 있으며, 대기압 상태의 불활성 가스 분위기(N2, Ar 등)에서도 정전기 제거가 가능하다는 장점이 있어 정전기 제거로 널리 활용되고 있다.
코로나 방전식 정전기 제거장치에서는 이온의 이송을 위하여 별도의 송풍장치가 필요하나, 연엑스선 조사식 정전기 제거장치는 무풍 상태의 분위기 속에서도 제전할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 연엑스선 조사식 정전기 제거장치는 에너지가 높기 때문에(파장은 약 1.3Å 이하) 산소분자 또는 원자도 신속히 이온화할 수 있어 오존의 발생을 거의 유발하지 않는다는 이점도 있다.
도 1은 종래의 연엑스선 이오나이저를 나타낸 개략도이다.
도 1에 도시된 종래기술 한국등록특허 제10-0680760호의 연엑스선 이오나이저는 본 출원인이 출원한 기술로서, 1.2 ~ 1.5Å의 파장을 갖는 연엑스선을 발생시키는 헤드부(10); 상기 헤드부(10)로 부터 연엑스선이 누출되는 것을 차폐하기 위한 연엑스선 보호부(70); 제어신호 및 제어전압을 상기 헤드부로 공급하는 제어부(미도시)와, 상기 헤드부와 상기 제어부를 연결하며 필요에 따라 사용자가 상기 헤드부의 헤드방향을 대전물체를 향해 임의의 각도로 구부릴 수 있도록 해주는 가요관(40); 상기 가요관의 한쪽 끝단과 상기 헤드부를 연결하여 상기 헤드부 내부에 위치한 창에서 발생되는 이온을 대전물체로 방출하도록 해주는 제 1 연결수단(50); 및 상기 가요관의 다른 한쪽 끝단과 상기 제어부와의 사이에 연결되어 상기 헤드부로 고전압을 공급하는 고전압발생부(20)를 연결하는 제 2 연결수단(60)을 구비하는 것을 특징으로 한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래기술은 헤드부(10)가 외부 공기와 직접 맞닿는 방식으로 노출되어 있는 까닭에 헤드부(10)에서 방사되는 X선에 인체가 노출될 위험성이 있었다.
이러한 이유로 인하여 전술한 종래의 X선관이나 연엑스선 이오나이저의 경우 작업자의 출입이 통제된 자동화된 반도체, LCD 라인 등이 설치된 클린룸내부에서만 사용이 가능한 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 X선관에서 발생하는 X선이 X선관의 외부로 방출되는 양을 최소화할 수 있으며, 다수의 X선관이 구성되어도 다수의 X선관에 에어를 단순한 경로로 공급할 수 있는방사선 차폐형 엑스선 이오나이저를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 예 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저는 하면에 다수의 삽입홈이 좌우방향으로 배열 형성되는 가이드바; 상기 가이드바의 내부에 설치되며 고전압이 발생하는 전압 발생 모듈; 상기 다수의 삽입홈에 각각 삽입되며, 좌우방향 양면에 각각 튜브유입홀 및 튜브유출홀이 형성되며, 서로 직렬 연결되는 다수의 튜브바디; 상기 다수의 튜브바디의 하부에 각각 상부가 관통 삽입되며, 하면 외주면에 상기 튜브유입홀 및 튜브유출홀과 연통되는 가이드유통로가 형성되 다수의 가이드바디; 상기 가이드바디의 하부를 둘러싸며 하면에 상기 가이드유통로와 연통되는 방호유통로가 형성되는 방호노즐; 상기 가이드바디의 내부에 설치되며 하면이 상기 가이드바디의 하측으로 돌출되는 X선관; 및 상기 방호노즐의 하부를 둘러싸며 하면에 상기 방호유통로와 연통되는 에어홀이 형성되는 에어노즐;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저는 상기 다수의 튜브바디의 좌우방향 일단에 위치하는 튜브유입홀에 에어를 공급하는 직렬공급관과, 상기 다수의 튜브바디를 서로 상기 튜브유출홀과 튜브유입홀을 매개로 연결하는 다수의 직렬연결관을 포함하는 직렬연결어셈블리;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 직렬연결어셈블리는 상기 에어공급관과 튜브유입홀 사이에 에어 유동량을 조절하기 위하여 설치되는 에어피팅조절부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 에어노즐은 하면이 수평판과, 상기 수평판의 좌측면 및 우측면과 각각 연결되며 상측으로 경사진 한 쌍의 경사판으로 형성되며, 상기 에어홀은 상기 수평판에 형성되는 에어토출홀과, 상기 한 쌍의 경사판에 각각 형성되는 한 쌍의 경사토출홀을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 에어노즐은 상기 에어토출홀이 상기 수평판에 다수 형성되며, 상기 경사토출홀이 상기 경사판에 다수 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 예에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저는 하면에 다수의 삽입홈이 좌우방향으로 배열 형성되는 가이드바; 상기 가이드바의 내부에 설치되며 고전압이 발생하는 전압 발생 모듈; 상기 다수의 삽입홈에 각각 삽입되며, 좌우방향 일면에 각각 튜브유입홀이 형성되며, 서로 상기 튜브유입홀을 매개로 병렬 연결되는 다수의 튜브바디; 상기 다수의 튜브바디의 하부에 각각 상부가 관통 삽입되며, 하면 외주면에 상기 튜브유입홀과 연통되는 가이드유통로가 형성되는 다수의 가이드바디; 상기 가이드바디의 하부를 둘러싸며 하면에 상기 가이드유통로와 연통되는 방호유통로가 형성되는 방호노즐; 상기 가이드바디의 내부에 설치되며 하면이 상기 방호노즐의 내부로 돌출되는 X선관; 및 상기 방호노즐의 하부를 둘러싸며 하면에 상기 방호유통로와 연통되는 에어홀이 형성되는 에어노즐;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저는 상기 다수의 튜브바디의 튜브유입홀에 각각 에어를 공급하는 다수의 병렬공급관을 포함하는 병렬연결어셈블리;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 병렬연결어셈블리는 상기 병렬공급관과 튜브유입홀 사이에 에어 유동량을 조절하기 위하여 설치되는 에어피팅조절부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 에어노즐은 하면이 수평판과, 상기 수평판의 좌측면 및 우측면과 각각 연결되며 상측으로 경사진 한 쌍의 경사판으로 형성되며, 상기 에어홀은 상기 수평판에 형성되는 에어토출홀과, 상기 한 쌍의 경사판에 각각 형성되는 한 쌍의 경사토출홀을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 에어노즐은 상기 에어토출홀이 상기 수평판에 다수 형성되며, 상기 경사토출홀이 상기 경사판에 다수 형성되는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 본 발명에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저는 X선관이 내설된 가이드바디의 하부를 둘러싸는 방호노즐을 포함함으로써, X선관에서 발생하는 X선이 X선관의 외부로 방출되는 양을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저는 다수의 튜브바디가 서로 튜브유입홀과 튜브유출홀을 매개로 직렬 연결됨으로써, 다수의 X선관이 구성되어도 다수의 X선관에 에어를 단순한 경로로 공급할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래의 연엑스선 이오나이저를 나타낸 개략도.
도 2는 본 발명의 실시예 1에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저를 나타낸 개략도.
도 3은 본 발명의 실시예 1에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예 1에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 에어노즐 하면도.
도 5는 본 발명의 실시예 2에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 단면도.
도 6 내지 도 7은 본 발명의 실시예 2에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 에어노즐의 다양한 예를 나타낸 하면도.
도 8은 본 발명의 실시예 3에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저를 나타낸 개략도.
도 9는 본 발명의 실시예 3에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 단면도
도 10은 본 발명의 실시예 3에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 에어노즐 하면도.
도 11은 본 발명의 실시예 4에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 단면도.
도 12 내지 도 13은 본 발명의 실시예 4에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 에어노즐의 다양한 예를 나타낸 하면도.
<부호의 설명>
1000 : 본 발명에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저
100 : 가이드바
210 : 튜브바디
211 : 튜브유입홀
212 : 튜브유출홀
220 : 가이드바디
221 : 가이드유통로
300 : 방호노즐
301 : 방호유통로
310 : 차폐판
400 : X선관
500 : 에어노즐
510 : 수평판
511 : 에어토출홀
520 : 경사판
521 : 경사토출홀
600 : 직렬연결어셈블리
610 : 직렬공급관
620 : 직렬연결관
630 : 에어피팅조절부재
700 : 병렬연결어셈블리
710 : 병렬공급관
720 : 에어피팅조절부재
이하, 본 발명의 기술적 사상을 첨부된 도면을 사용하여 더욱 구체적으로 설명한다.
첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상을 더욱 구체적으로 설명하기 위하여 도시한 일예에 불과하므로 본 발명의 기술적 사상이 첨부된 도면의 형태에 한정되는 것은 아니다.
<실시예 1>
도 2는 본 발명의 실시예 1에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저를 나타낸 개략도, 도 3은 본 발명의 실시예 1에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 단면도, 도 4는 본 발명의 실시예 1에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 분사노즐 하면도이다.
도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예 1에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)는 가이드바(100), 전압 발생 모듈(미도시), 다수의 튜브바디(210), 다수의 가이드바디(220), 방호노즐(300), X선관(400), 에어노즐(500) 을 포함한다.
상기 가이드바(100)는 하면에 다수의 삽입홈(미도시)이 좌우방향으로 배열 형성되며, 내부가 중공된다.
상기 전압 발생 모듈은 상기 가이드바(100)의 내부에 다수 설치되며 고전압이 발생한다. 이 때, 상기 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)는 상기 가이드바(100)의 내부에 설치되어 상기 고전압의 전압 정도를 제어하는 제어PCB(미도시)와, 상기 가이드바(100)의 내부에 설치되어 상기 전압 발생 모듈들을 서로 전기적으로 연결하는 파워PCB(미도시)를 더 포함할 수 있다.
상기 다수의 튜브바디(210)는 각자의 상부가 상기 다수의 삽입홈에 각각 삽입되며, 좌우방향 양면에 각각 튜브유입홀(211) 및 튜브유출홀(212)이 형성되며, 서로 튜브유입홀과 튜브유출홀을 매개로 직렬 연결된다. 이 때, 상기 튜브바디(210)는 하부 좌우방향 양면에 각각 튜브유입홀(211) 및 튜브유출홀(212)이 형성될 수 있으나 본 발명은 이에 한정되지 아니한다. 이 때, 상기 튜브바디(210)는 상기 삽입홈에 삽입된 상태로 상기 가이드바(100)와 나사결합될 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니한다.
상기 다수의 가이드바디(220)는 상기 다수의 튜브바디(210)의 하부에 각각 상부가 관통 삽입되며, 하면 외주면에 상기 튜브유입홀(211) 및 튜브유출홀(212)과 연통되는 가이드유통로(221)가 형성된다.
상기 방호노즐(300)은 상기 가이드바디(220)의 하부를 둘러싸며 하면에 상기 가이드유통로(221)와 연통되는 방호유통로(301)가 형성되며, 하면 내부에 X선을 차폐하기 위한 차폐판(310)이 더 설치된다. 이 때, 상기 방호노즐(300)은 X선을 차폐하기 위하여 납 재질로 이루어질 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니한다.
상기 X선관(400)은 상기 가이드바디(220)의 내부에 설치되며 하면이 상기 가이드바디(220)의 하측으로 돌출되며, 상기 전압 발생 모듈에서 전달된 고전압에 의해 X선이 방사된다.
도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 에어노즐(500)은 상기 방호노즐(300)의 하부를 둘러싸며 하면에 상기 방호유통로(301)와 연통되는 에어홀이 형성된다.
이 때, 상기 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)의 X선과 에어 흐름에 대해 설명하기로 한다.
1)상기 튜브바디(210)의 튜브유입홀(211)에 에어가 공급된다.
2)상기 튜브유입홀(211)에 유입된 에어가 상기 가이드유통로(221)와 방호유통로(301)를 경유하면서 상기 X선관(400)에서 방사된 X선과 혼합되어 이온화된다.
3)상기 가이드유통로(221)와 방호유통로(301)를 경유하여 이온화된 에어 중 일부가 상기 에어홀로 토출되며 나머지가 상기 튜브유출홀(212)로 유출된다.
4)상기 튜브유출홀(212)에서 유출되던 에어가 다른 튜브바디(210)의 튜브유입홀(211)로 직렬 공급된다.
5)상기 2) 내지 4 단계가 반복된다.
이에 따라, 본 발명에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저는 X선관이 내설된 가이드바디의 하부를 둘러싸는 방호노즐을 포함함으로써, X선관에서 발생하는 X선이 X선관의 외부로 방출되는 양을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저는 다수의 튜브바디가 서로 튜브유입홀과 튜브유출홀을 매개로 직렬 연결됨으로써, 다수의 X선관이 구성되어도 다수의 X선관에 에어를 단순한 경로로 공급할 수 있는 장점이 있다.
한편, 상기 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)는 직렬연결어셈블리(600)를 더 포함할 수 있다.
상기 직렬연결어셈블리(600)는 상기 다수의 튜브바디(210)를 서로 직렬 연결하여 상기 다수의 튜브바디(210)에 에어를 전체적으로 공급하는 것으로, 직렬공급관(610)과, 다수의 직렬연결관(620)을 포함한다.
상기 직렬공급관(610)은 상기 다수의 튜브바디(210) 중 제일 좌측에 위치하는 튜브유입홀(211)에 에어를 공급하는데, 이 때, 에어는 별도의 컴프레서에서 생성된 것일 수 있다.
상기 다수의 직렬연결관(620)은 상기 다수의 튜브바디(210)를 서로 상기 튜브유출홀(212)과 튜브유입홀(211)을 매개로 연결한다.
한편, 상기 직렬연결어셈블리(600)는 상기 에어공급관과 튜브유입홀(211) 사이에 에어 유동량을 조절하기 위하여 설치되는 에어피팅조절부재(630)를 더 포함할 수 있다.
상기 에어피팅조절부재(630)는 에어 유동량의 조절이 가능한 유압밸브로 구성될 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니한다.
<실시예 2>
도 5는 본 발명의 실시예 2에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 단면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예 2에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)에서 상기 에어노즐(500)은 하면이 수평판(510)과, 상기 수평판(510)의 좌측면 및 우측면과 각각 연결되며 상측으로 경사진 한 쌍의 경사판(520)으로 형성되며, 상기 에어홀(511, 512)은 상기 수평판(510)에 형성되는 에어토출홀(511)과, 상기 한 쌍의 경사판(520)에 각각 형성되는 한 쌍의 경사토출홀(521)을 포함한다.
이에 따라, 본 발명의 실시예 2에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)는 상기 에어토출홀(511)과 경사토출홀(521)에 의해 상기 에어노즐(500)에서 토출되는 에어의 분사범위가 좀 더 넓어지는 장점이 있다.
도 6 내지 도 7은 본 발명의 실시예 2에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 에어노즐의 다양한 예를 나타낸 하면도이다.
도 6 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예 2에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)에서 상기 에어노즐(500)은 에어의 분사범위가 더욱 넓어지도록 상기 에어토출홀(511)이 상기 수평판(510)에 다수 형성되며, 상기 경사토출홀(521)이 상기 경사판(520)에 다수 형성될 수 있다.
<실시예3>
도 8은 본 발명의 실시예 3에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저를 나타낸 개략도, 도 9는 본 발명의 실시예 3에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 단면도, 도 10은 본 발명의 실시예 3에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 에어노즐 하면도이다.
도 8 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예 3에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)는 가이드바(100), 전압 발생 모듈(미도시), 다수의 튜브바디(210), 다수의 가이드바디(220), 방호노즐(300), X선관(400), 에어노즐(500) 을 포함한다.
상기 가이드바(100)는 하면에 다수의 삽입홈이 좌우방향으로 배열 형성되며, 내부가 중공된다.
상기 전압 발생 모듈은 상기 가이드바(100)의 내부에 다수 설치되며 고전압이 발생한다. 이 때, 상기 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)는 상기 가이드바(100)의 내부에 설치되어 상기 고전압의 전압 정도를 제어하는 제어PCB(미도시)와, 상기 가이드바(100)의 내부에 설치되어 상기 전압 발생 모듈들을 서로 전기적으로 연결하는 파워PCB(미도시)를 더 포함할 수 있다.
상기 다수의 튜브바디(210)는 각자의 상부가 상기 다수의 삽입홈에 각각 삽입되며, 좌우방향 일면에 튜브유입홀(211)이 형성된다. 이 때, 상기 튜브바디(210)는 하부 좌우방향 일면에 각각 튜브유입홀(211)이 형성될 수 있으나 본 발명은 이에 한정되지 아니한다. 이 때, 상기 튜브바디(210)는 상기 삽입홈에 삽입된 상태로 상기 가이드바(100)와 나사결합될 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니한다.
상기 다수의 가이드바디(220)는 상기 다수의 튜브바디(210)의 하부에 각각 상부가 관통 삽입되며, 하면 외주면에 상기 튜브유입홀(211) 및 튜브유출홀(212)과 연통되는 가이드유통로(221)가 형성된다.
상기 방호노즐(300)은 상기 가이드바디(220)의 하부를 둘러싸며 하면에 상기 가이드유통로(221)와 연통되는 방호유통로(301)가 형성되며, 하면 내부에 X선을 차폐하기 위한 차폐판(310)이 더 설치된다. 이 때, 상기 방호노즐(300)은 X선을 차폐하기 위하여 납 재질로 이루어질 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니한다.
상기 X선관(400)은 상기 가이드바디(220)의 내부에 설치되며 하면이 상기 가이드바디(220)의 하측으로 돌출되며, 상기 전압 발생 모듈에서 전달된 고전압에 의해 X선이 방사된다.
도 9 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 에어노즐(500)은 상기 방호노즐(300)의 하부를 둘러싸며 하면에 상기 방호유통로(301)와 연통되는 에어홀이 형성된다.
이 때, 상기 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)의 X선과 에어 흐름에 대해 설명하기로 한다.
1)상기 다수의 튜브바디(210)의 튜브유입홀(211)마다 에어가 공급된다.
2)상기 튜브유입홀(211)에 유입된 에어가 상기 가이드유통로(221)와 방호유통로(301)를 경유하면서 상기 X선관(400)에서 방사된 X선과 혼합되어 이온화된다.
3)상기 가이드유통로(221)와 방호유통로(301)를 경유하여 이온화된 에어 중 일부가 상기 에어홀로 토출된다.
이에 따라, 본 발명의 실시예 3에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저는 X선관이 내설된 가이드바디의 하부를 둘러싸는 방호노즐을 포함함으로써, X선관에서 발생하는 X선이 X선관의 외부로 방출되는 양을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예 3에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저는 다수의 튜브바디가 서로 튜브유입홀을 매개로 병렬 연결됨으로써, 다수의 X선관이 구성되어도 다수의 X선관에 에어를 단순한 경로로 공급할 수 있는 장점이 있다.
또한, 상기 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)는 병렬연결어셈블리(700)를 더 포함할 수 있다.
상기 병렬연결어셈블리(700)는 상기 다수의 튜브바디(210)를 서로 병렬 연결하여 상기 다수의 튜브바디(210)마다 에어를 개별적으로 공급하는 것으로, 다수의 병렬공급관(710)을 포함한다.
상기 다수의 병렬공급관(710)은 상기 다수의 튜브바디(210)의 튜브유입홀(211)에 각각 에어를 공급하며, 컴프레서(600)와 연결되어 에어가 공급될 수 있다.
한편, 상기 병렬연결어셈블리(700)는 상기 에어공급관과 튜브유입홀(211) 사이에 에어 유동량을 조절하기 위한 에어피팅조절부재(720)를 더 포함할 수 있다.
상기 에어피팅조절부재(720)는 에어 유동량의 조절이 가능한 유압밸브로 구성될 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니한다.
<실시예 4>
도 11은 본 발명의 실시예 4에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 단면도이다.
도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예 4에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)에서 상기 에어노즐(500)은 하면이 수평판(510)과, 상기 수평판(510)의 좌측면 및 우측면과 각각 연결되며 상측으로 경사진 한 쌍의 경사판(520)으로 형성되며, 상기 에어홀은 상기 수평판(510)에 형성되는 에어토출홀(511)과, 상기 한 쌍의 경사판(520)에 각각 형성되는 한 쌍의 경사토출홀(521)을 포함한다.
이에 따라, 본 발명의 실시예 4에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)는 상기 에어토출홀(511)과 경사토출홀(521)에 의해 상기 에어노즐(500)에서 토출되는 에어의 분사범위가 좀 더 넓어지는 장점이 있다.
도 12 내지 도 13은 본 발명의 실시예 4에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저의 에어노즐의 다양한 예를 나타낸 하면도이다.
도 12 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예 4에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)에서 상기 에어노즐(500)은 에어의 분사범위가 더욱 넓어지도록 상기 에어토출홀(511)이 상기 수평판(510)에 다수 형성되며, 상기 경사토출홀(521)이 상기 경사판(520)에 다수 형성될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예 1 내지 4에 따른 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저(1000)에 있어서, 상기 에어노즐(500)의 온도변화가 일어나면 상기 에어토출홀(511)의 크기도 변화하여 상기 에어토출홀(511)의 에어 토출 범위도 변화하여 상기 에어토출홀(511)의 에어 토출 범위를 최대한 정확하게 지정하기 어렵게 된다.
이 때, 상기 에어노즐(500)은 내주면과 외주면 사이에 상기 에어노즐(500)의 온도변화를 최대한 방지하기 위한 상변화물질이 수납됨으로써, 상기 에어토출홀(511)의 크기가 변화하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.

Claims (10)

  1. 하면에 다수의 삽입홈이 좌우방향으로 배열 형성되는 가이드바;
    상기 가이드바의 내부에 설치되며 고전압이 발생하는 전압 발생 모듈;
    상기 다수의 삽입홈에 각각 삽입되며, 좌우방향 양면에 각각 튜브유입홀 및 튜브유출홀이 형성되며, 서로 직렬 연결되는 다수의 튜브바디;
    상기 다수의 튜브바디의 하부에 각각 상부가 관통 삽입되며, 하면 외주면에 상기 튜브유입홀 및 튜브유출홀과 연통되는 가이드유통로가 형성되 다수의 가이드바디;
    상기 가이드바디의 하부를 둘러싸며 하면에 상기 가이드유통로와 연통되는 방호유통로가 형성되는 방호노즐;
    상기 가이드바디의 내부에 설치되며 하면이 상기 가이드바디의 하측으로 돌출되는 X선관; 및
    상기 방호노즐의 하부를 둘러싸며 하면에 상기 방호유통로와 연통되는 에어홀이 형성되는 에어노즐;을 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저.
  2. 제1항에 있어서, 상기 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저는
    상기 다수의 튜브바디의 좌우방향 일단에 위치하는 튜브유입홀에 에어를 공급하는 직렬공급관과, 상기 다수의 튜브바디를 서로 상기 튜브유출홀과 튜브유입홀을 매개로 연결하는 다수의 직렬연결관을 포함하는 직렬연결어셈블리;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저.
  3. 제2항에 있어서, 상기 직렬연결어셈블리는
    상기 에어공급관과 튜브유입홀 사이에 에어 유동량을 조절하기 위하여 설치되는 에어피팅조절부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 에어노즐은 하면이 수평판과, 상기 수평판의 좌측면 및 우측면과 각각 연결되며 상측으로 경사진 한 쌍의 경사판으로 형성되며,
    상기 에어홀은 상기 수평판에 형성되는 에어토출홀과, 상기 한 쌍의 경사판에 각각 형성되는 한 쌍의 경사토출홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저.
  5. 제4항에 있어서, 상기 에어노즐은
    상기 에어토출홀이 상기 수평판에 다수 형성되며, 상기 경사토출홀이 상기 경사판에 다수 형성되는 것을 특징으로 하는 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저.
  6. 하면에 다수의 삽입홈이 좌우방향으로 배열 형성되는 가이드바;
    상기 가이드바의 내부에 설치되며 고전압이 발생하는 전압 발생 모듈;
    상기 다수의 삽입홈에 각각 삽입되며, 좌우방향 일면에 각각 튜브유입홀이 형성되며, 서로 상기 튜브유입홀을 매개로 병렬 연결되는 다수의 튜브바디;
    상기 다수의 튜브바디의 하부에 각각 상부가 관통 삽입되며, 하면 외주면에 상기 튜브유입홀과 연통되는 가이드유통로가 형성되는 다수의 가이드바디;
    상기 가이드바디의 하부를 둘러싸며 하면에 상기 가이드유통로와 연통되는 방호유통로가 형성되는 방호노즐;
    상기 가이드바디의 내부에 설치되며 하면이 상기 방호노즐의 내부로 돌출되는 X선관; 및
    상기 방호노즐의 하부를 둘러싸며 하면에 상기 방호유통로와 연통되는 에어홀이 형성되는 에어노즐;를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저.
  7. 제6항에 있어서, 상기 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저는
    상기 다수의 튜브바디의 튜브유입홀에 각각 에어를 공급하는 다수의 병렬공급관을 포함하는 병렬연결어셈블리;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저.
  8. 제7항에 있어서, 상기 병렬연결어셈블리는
    상기 병렬공급관과 튜브유입홀 사이에 에어 유동량을 조절하기 위하여 설치되는 에어피팅조절부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 에어노즐은 하면이 수평판과, 상기 수평판의 좌측면 및 우측면과 각각 연결되며 상측으로 경사진 한 쌍의 경사판으로 형성되며,
    상기 에어홀은 상기 수평판에 형성되는 에어토출홀과, 상기 한 쌍의 경사판에 각각 형성되는 한 쌍의 경사토출홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저.
  10. 제9항에 있어서, 상기 에어노즐은
    상기 에어토출홀이 상기 수평판에 다수 형성되며, 상기 경사토출홀이 상기 경사판에 다수 형성되는 것을 특징으로 하는 방사선 차폐형 엑스선 이오나이저.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006100249A (ja) * 2004-08-31 2006-04-13 Sunx Ltd 除電装置
KR20060103101A (ko) * 2005-03-25 2006-09-28 세이코 엡슨 가부시키가이샤 연x선 차폐 구조, 연x선 제전 장치 및 이온화 에어 방출방법
JP2006260948A (ja) * 2005-03-17 2006-09-28 Kyoto Univ X線発生装置を備えたイオナイザ
KR20140064084A (ko) * 2012-11-19 2014-05-28 삼성테크윈 주식회사 이오나이저 시스템
KR101492791B1 (ko) * 2013-10-30 2015-02-13 (주)선재하이테크 코로나 방전과 연x선 조사 방식이 결합된 이오나이저

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006100249A (ja) * 2004-08-31 2006-04-13 Sunx Ltd 除電装置
JP2006260948A (ja) * 2005-03-17 2006-09-28 Kyoto Univ X線発生装置を備えたイオナイザ
KR20060103101A (ko) * 2005-03-25 2006-09-28 세이코 엡슨 가부시키가이샤 연x선 차폐 구조, 연x선 제전 장치 및 이온화 에어 방출방법
KR20140064084A (ko) * 2012-11-19 2014-05-28 삼성테크윈 주식회사 이오나이저 시스템
KR101492791B1 (ko) * 2013-10-30 2015-02-13 (주)선재하이테크 코로나 방전과 연x선 조사 방식이 결합된 이오나이저

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