JP2002075688A - 層流管ノズル付きイオナイザ - Google Patents

層流管ノズル付きイオナイザ

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JP2002075688A
JP2002075688A JP2000253954A JP2000253954A JP2002075688A JP 2002075688 A JP2002075688 A JP 2002075688A JP 2000253954 A JP2000253954 A JP 2000253954A JP 2000253954 A JP2000253954 A JP 2000253954A JP 2002075688 A JP2002075688 A JP 2002075688A
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laminar flow
flow tube
ionizer
ion wind
nozzle
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Yoshiyuki Hamahashi
喜幸 浜橋
仁 ▲博▼本
Hitoshi Hakuhon
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INABA RUBBER KK
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 被除電物を近くに配置しても除電できる層流
管ノズル付きイオナイザを提供する。 【解決手段】 コロナ放電により空気中の気体分子をイ
オン化してイオン風を放出するイオナイザにおいて、気
体分子のプラスイオンを含むイオン風3を放出するプラ
ス層流管8と、気体分子のマイナスイオンを含むイオン
風4を放出するマイナス層流管9とを一体化してなる層
流管ノズル5を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、静電気を除去す
るためのコロナ放電式のイオナイザに関し、より詳しく
は、気体分子のプラスイオンを含むイオン風と、マイナ
スイオンを含むイオン風とを別々の層流管から放出する
層流管ノズルを備えた層流管ノズル付きイオナイザに関
する。
【0002】
【従来の技術】周知のように、絶縁体同士の摩擦・接触
・離脱により静電気が発生した場合には、この静電気の
放電に起因して、IC,LSI等の半導体回路や、トラ
ンジスタ,発光ダイオード,液晶板等の電子デバイスの
破壊、製造・組立ラインにおける静電トラブル等が発生
することが多い。
【0003】このような静電気を除去する手段として
は、図8に示すように、例えばコロナ放電式のイオナイ
ザ(除電器)21がある。このイオナイザ21において
は、除電電極のプラス放電針6及びマイナス放電針7に
高電圧が印加され、両放電針6,7の先端に電界が集中
してコロナ放電が発生することにより、プラス放電針6
からは気体分子のプラスイオンが、マイナス放電針7か
らはマイナスイオンがそれぞれ生成する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】除電は、プラスイオン
領域23とマイナスイオン領域24の混合領域11に被
除電物を配置して行われるが、混合領域11となるまで
にある程度の距離Lが必要であるので、プラス放電針6
及びマイナス放電針7の近傍では除電できないという問
題点がある。
【0005】この発明は、以上のような問題点に鑑みて
なされたものであり、被除電物を近くに配置しても除電
できる層流管ノズル付きイオナイザを提供することを目
的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、コロナ放電により空気中の気体
分子をイオン化してイオン風を放出するイオナイザにお
いて、前記気体分子のプラスイオンを含むイオン風を放
出するプラス層流管と、前記気体分子のマイナスイオン
を含むイオン風を放出するマイナス層流管とを一体化し
てなる層流管ノズルを備えたものである。
【0007】請求項2の発明は、前記プラスイオンを含
むイオン風と、前記マイナスイオンを含むイオン風とを
交互に放出するように構成されたものである。
【0008】請求項3の発明は、前記層流管ノズルに少
なくとも1つのブロー用ノズルを付設したものである。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を図面
に基づいて説明する。なお、従来技術と同じ構成につい
ては、同一符号を付している。
【0010】図1〜図3に示すように、この実施形態に
係る層流管ノズル付きイオナイザ1は、コロナ放電によ
り空気中の気体分子をイオン化するイオナイザ本体2
と、気体分子をイオン化したイオン風3,4を放出する
層流管ノズル5とを備えたものである。
【0011】イオナイザ本体2はプラス放電針6及びマ
イナス放電針7を備えており、これらに直流方式等で高
電圧が印加される。コロナ放電により、プラス放電針6
側ではプラスイオンが発生し、マイナス放電針7側では
マイナスイオンが発生する。
【0012】また、イオナイザ本体2にはコンプレッサ
やブロワ等の給気手段(図示せず)が接続されており、
例えば気体分離膜等で空気から分離した窒素等がイオナ
イザ本体2に送り込まれると共に、この気体をイオナイ
ザ本体2でイオン化したイオン風3,4が層流管ノズル
5から放出される。
【0013】層流管ノズル5は、気体分子のプラスイオ
ンを含むイオン風3を放出するプラス層流管8と、気体
分子のマイナスイオンを含むイオン風4を放出するマイ
ナス層流管9とを一体化したものである。プラス層流管
8はイオナイザ本体2のプラス放電針6側に接続され、
マイナス層流管9はイオナイザ本体2のマイナス放電針
7側に接続されている。
【0014】この実施形態においては、マイナス層流管
9内にプラス層流管8を挿入して二重パイプ状に形成し
ているが、これに限定されるものではなく、プラス層流
管8内にマイナス層流管9を挿入した構成としてもよ
い。また、図4に示すように、プラス層流管8とマイナ
ス層流管9とを隣接した状態で溶接、接着、又は結束等
により一体化してもよいし、図5に示すように、所定の
断面形状のパイプ内に隔壁10を設けることによりプラ
ス層流管8とマイナス層流管9とに分けてもよい。更
に、プラス層流管8やマイナス層流管9は、図6に示す
ように、所定数に分岐させてもよい。
【0015】除電時においては、図3に示すように、マ
イナス層流管9からマイナスイオンを含むイオン風4が
放出され、マイナス層流管9とプラス層流管8の間から
プラスイオンを含むイオン風3が放出されるので、乱流
によるイオンの減少を防止できると共に、層流管ノズル
5の先端5a近傍からプラスイオンとマイナスイオンの
混合領域11が生成する。そのため、被除電物を近くに
配置した状態で効果的に除電できるという利点がある。
【0016】ここで、直流パルス方式又は交流方式でプ
ラス放電針6及びマイナス放電針7に高電圧を交互に印
加することにより、プラスイオンを含むイオン風3とマ
イナスイオンを含むイオン風4とを交互に放出するよう
に構成しておけば、プラスイオンとマイナスイオンとを
途中で中和させることなく遠くまで送り込むことができ
るという利点がある。この場合の到達距離の調整は、ス
イッチング周波数や気体の供給流速等を適宜に変更する
ことにより行えばよい。
【0017】また、図7に示すように、層流管ノズル5
に、空気等を放出する少なくとも1つのブロー用ノズル
12を付設しておけば、層流管ノズル5からイオン風
3,4を放出するためのブロー圧を小さくしたり、無圧
にしたりできるので、ブロー用とイオン供給用のノズル
を分離することもできる。
【0018】
【発明の効果】以上のように、請求項1の発明によれ
ば、プラス層流管とマイナス層流管とを一体化してなる
層流管ノズルを備えているので、乱流によるイオンの減
少を防止できると共に、層流管ノズルの先端近傍からプ
ラスイオンとマイナスイオンの混合領域が生成する。そ
のため、被除電物を近くに配置した状態で効果的に除電
できる。
【0019】請求項2の発明によれば、プラスイオンを
含むイオン風とマイナスイオンを含むイオン風とを交互
に放出するように構成されているので、プラスイオンと
マイナスイオンとを途中で中和させることなく遠くまで
送り込むことができる。
【0020】請求項3の発明によれば、層流管ノズルに
少なくとも1つのブロー用ノズルを付設しているので、
層流管ノズルからイオン風を放出するためのブロー圧を
小さくしたり、無圧にしたりでき、そのためブロー用と
イオン供給用のノズルを分離することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態に係る層流管ノズル付きイオナイザの
断面説明図。
【図2】層流管ノズルの概略断面図。
【図3】層流管ノズルからイオン風を放出する様子を示
す断面説明図。
【図4】層流管ノズルの他の例を示す概略断面図。
【図5】層流管ノズルの他の例を示す概略断面図。
【図6】層流管ノズルの他の例を示す概略断面図。
【図7】層流管ノズルに2つのブロー用ノズルを付設し
た例を示す概略断面図。
【図8】従来例の断面説明図。
【符号の説明】
1 層流管ノズル付きイオナイザ 3,4 イオン風 5 層流管ノズル 8 プラス層流管 9 マイナス層流管 12 ブロー用ノズル

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 コロナ放電により空気中の気体分子をイ
    オン化してイオン風を放出するイオナイザにおいて、 前記気体分子のプラスイオンを含むイオン風を放出する
    プラス層流管と、前記気体分子のマイナスイオンを含む
    イオン風を放出するマイナス層流管とを一体化してなる
    層流管ノズルを備えたことを特徴とする層流管ノズル付
    きイオナイザ。
  2. 【請求項2】 前記プラスイオンを含むイオン風と、前
    記マイナスイオンを含むイオン風とを交互に放出するよ
    うに構成された請求項1記載の層流管ノズル付きイオナ
    イザ。
  3. 【請求項3】 前記層流管ノズルに少なくとも1つのブ
    ロー用ノズルを付設した請求項1又は2記載の層流管ノ
    ズル付きイオナイザ。
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