JP2008062153A - 除塵器 - Google Patents
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Abstract
【課題】イオン化空気の吹き付け圧力が有する鋸波形の鈍化を防止することができる除塵器を提供する。
【解決手段】除塵器100は、相互に対向して配置されている一対の電極110であって、当該電極間に発生させた放電により、当該電極間の空気をプラスまたはマイナスの極性のイオンにする一対の電極と、前記電極110と対向して配置され、イオン化された空気を放出するノズル102と、ノズルとは反対側において前記電極と対向して配置され、空気に脈流を生じさせた状態で前記電極に直接的に前記空気を送る電磁弁ユニット120と、を備えている。
【選択図】図1
【解決手段】除塵器100は、相互に対向して配置されている一対の電極110であって、当該電極間に発生させた放電により、当該電極間の空気をプラスまたはマイナスの極性のイオンにする一対の電極と、前記電極110と対向して配置され、イオン化された空気を放出するノズル102と、ノズルとは反対側において前記電極と対向して配置され、空気に脈流を生じさせた状態で前記電極に直接的に前記空気を送る電磁弁ユニット120と、を備えている。
【選択図】図1
Description
本発明は、空気を所望の極性(プラスまたはマイナス)のイオンに変化させ、このイオンをワークの表面に吹き付け、ワークの表面に付着した微細な塵を除去する除塵器に関する。
ワーク(例えば、半導体装置その他の電子部品)の表面に付着した塵は静電気の力により静電付着していることが多いため、単に、空気を吹き付けても、塵を除去することは不可能である。
このため、従来は、一対の電極間にコロナ放電を発生させ、このコロナ放電により空気をイオン化させ、イオン化した空気をワークの表面に吹き付けることにより、ワークの表面に存在している静電気を電気的に中和させ、ワークの表面に静電付着している塵を除去する除電式除塵器が用いられてきた。
このような除電式除塵器の一例として、特開平5−15862号公報に記載されている除塵器がある。
図4は同公報に記載されている除塵器500の全体図である。
図4に示すように、除塵器500は、突出するノズル510を有するイオン化エアー発生器520と、高電圧を発生する高圧電源530と、高圧電源530が発生した高電圧をイオン化エアー発生器520に供給する高圧電線540と、送風装置550と、送風装置550が発生した空気流をイオン化エアー発生器520に送る送風パイプ560と、から構成されている。
図5はイオン化エアー発生器520の正面図、図6はイオン化エアー発生器520の側面図である。
図5及び図6に示すように、イオン化エアー発生器520は、密封状態にあるボックス521と、ボックス521の内部において相互に対向して配置されている一対の電極522と、ボックス521から外側に突出しているノズル510と、を備えている。
一対の電極522には、高圧電線540を介して、高圧電源530から高電圧が印加される。一対の電極522に高電圧が印加されると、一対の電極522の間にコロナ放電が発生し、このコロナ放電によって、一対の電極522の間に存在している空気が所望の極性(プラスまたはマイナス)のイオンに変わる。
このようにして発生したイオン化空気は送風装置550から送風パイプ560を介して送られてくる空気流に乗って、ノズル510からワーク(図示せず)に向かって放出される。
送風装置550には空気流の発生を制御する制御装置(図示せず)が内蔵されている。この制御装置により、送風装置550の駆動スイッチをオン・オフさせ、送風圧、すなわち、ノズル510から放出されるイオン化空気のワークへの吹き付け圧力が鋸波形になるようにしている。この鋸波形の吹き付け圧力においては、ピーク値(最大値)が除塵に最も適する圧力に等しくなるように設定されており、一のピーク値から次のピーク値までの時間が最適な時間間隔になるように設定されている。
ピーク値の圧力によっても除去されない塵であっても、イオン化空気の吹き付け圧力が弱まると、ピーク値の吹き付け圧力により押さえつけられていたことの反作用によって、浮き上がってしまい、次のピーク値の吹き付け圧力により、吹き飛ばされる。このように、強弱が付けられた吹き付け圧力によって、ワークの表面に付着している塵を効果的に除去することができる。
特開平5−15862号公報
しかしながら、送風装置550において、イオン化空気の吹き付け圧力が鋸波形になるように調整されたとしても、そのような吹き付け圧力を有する空気流が送風パイプ560の中を進むにつれて、吹き付け圧力の鋸波形が鈍化してしまうという問題点があった。このため、送風装置550から放出された空気流がイオン化エアー発生器520に達し、さらに、ノズル510から放出される時点においては、鋸波形のピーク値はかなり小さくなっており、送風装置550において発生した時点のピーク値と比較して、約半分の値しかなかった。
本発明はこのような従来の除塵器における問題点に鑑みてなされたものであり、イオン化空気の吹き付け圧力が有する鋸波形の鈍化を防止することができる除塵器を提供することを目的とする。
以下に、「発明の実施の形態」において使用される参照符号を用いて、上述の課題を解決するための手段を説明する。これらの参照符号は、「特許請求の範囲」の記載と「発明の実施の形態」の記載との間の対応関係を明らかにするためにのみ付加されたものであり、「特許請求の範囲」に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いるべきものではない。
この目的を達成するため、本発明は、相互に対向して配置されている一対の電極(110)であって、前記電極(110)間に発生させた放電により、前記電極(110)間の空気をプラスまたはマイナスの極性のイオンにする一対の電極(110)と、前記電極(110)と対向して配置され、イオン化された前記空気を放出するノズル(102)と、前記ノズル(102)とは反対側において前記電極(110)と対向して配置され、空気に脈流を生じさせた状態で前記電極(110)に直接的に前記空気を送る電磁弁ユニット(120)と、を備える除塵器(100)を提供する。
この除塵器(100)は全体としてピストル形状をなしていることが好ましい。
従来の除塵器においては、イオン化空気の吹き付け圧力が鋸波形になるように調整されたとしても、そのような吹き付け圧力を有する空気流が送風パイプ560の中を進むにつれて、吹き付け圧力の鋸波形が減衰し、ノズル510から放出される時点においては、鋸波形のピーク値がかなり小さくなってしまっていた。
これに対して、本発明に係る除塵器によれば、電磁弁ユニットにより鋸波形の吹き付け圧力を有するに至った空気流は直接的に一対の電極に送られる。このため、鋸波形の吹き付け圧力を有するに至った空気流が一対の電極に送られるまでの時間を従来の除塵器と比較して飛躍的に短縮することができる。これにより、従来の除塵器のように、吹き付け圧力のピーク値が鈍化することを防止することができる。
図1は本発明の一実施形態に係る除塵器100の縦断面図であり、図2は本発明の一実施形態に係る除塵器100を後方から見たときの分解斜視図である。
図1に示すように、本実施形態に係る除塵器100は全体としてガンまたはピストルの外形形状をなしている。
除塵器100のボディは下半分において把手101を形成し、上半分の先端にはノズル102を形成している。さらに、除塵器100のボディの最上端には吊り下げ用のフック103が設けられている。
除塵器100のボディの内部には、図1に示すように、ノズル102と対向して、一対の電極110が配置されている。
さらに、ノズル102とは反対側において、一対の電極110と対向して、電磁弁ユニット120が配置されている。
一対の電極110は相互に対向して配置されている。一対の電極110には、電極用コード111を介して、電圧源(図示せず)から所定の高電圧が印加される。一対の電極110に高電圧が印加されると、一対の電極110の間にコロナ放電が発生し、このコロナ放電により、一対の電極110の間に存在している空気がプラスまたはマイナスの極性のイオンに変わる。
電磁弁ユニット120には電磁弁用コード130を介して電圧源(図示せず)から所定の駆動電圧が印加される。
また、電磁弁ユニット120には空気ホース131が接続されており、空気源(図示せず)から空気流が供給される。
電磁弁ユニット120には一対の電極110に向かって延びる空気パイプ132が取りつけられており、空気源(図示せず)から供給された空気流は電磁弁ユニット120を経て空気パイプ132を介して一対の電極110に送られる。
すなわち、空気源(図示せず)から供給された空気流は、図1の矢印Aに示すように、空気ホース131、電磁弁ユニット120、空気パイプ132、一対の電極110を通過して、ノズル102から放出される。
さらに、除塵器100のボディにはトリガー140が設けられている。トリガー140はスイッチ141に電気的に接続しており、トリガー140を付勢することにより、スイッチ141のオン・オフが制御される。
電極用コード111及び電磁弁用コード130はスイッチ141を経由している。このため、一対の電極110への電圧の印加及び電磁弁ユニット120への電圧の印加はトリガー140の付勢により制御される。
具体的には、トリガー140を押すと、スイッチ141がオンとなり、一対の電極110及び電磁弁ユニット120に対して電圧が印加される。トリガー140を離すと、トリガー140は元の位置に戻り(トリガー140はバネ(図示せず)により、スイッチ141から離れる方向に常に付勢されている)、スイッチ141はオフとなり、一対の電極110及び電磁弁ユニット120に対する電圧の印加は停止される。
なお、一対の電極110への電圧の供給は連続的に行い、空気源(図示せず)から供給される空気流のオン・オフのみを電磁弁ユニット120により制御するようにすることもできる。一対の電極110へ電圧を連続的に供給する場合には、一対の電極110を電極用コード111を介して、スイッチ141を経由せずに、直接に電圧源に接続させる。
この場合には、トリガー140による一対の電極110のオン・オフ制御が行われることはなく、単に、電圧源をオンにすれば、一対の電極110もオンになり、電圧源をオフにすれば、一対の電極110もオフになる。
なお、図2に示すように、除塵器100のボディの一部はカバー150として取り外し可能に形成されている。カバー150は電磁弁ユニット120を覆う形状を有しており、カバー150を取り外すことにより、図2に示すように、電磁弁ユニット120のみを取り出すことが可能になっている。
以上のような構造を有する除塵器100は以下のように作動する。
まず、空気源(図示せず)を作動させる。これにより、空気源から供給された空気流は、図1の矢印Aに示すように、空気ホース131、電磁弁ユニット120、空気パイプ132、一対の電極110を通過して、ノズル102から放出される。
次いで、トリガー140を付勢し、スイッチ141をオンにする。
この結果として、電極用コード111及び電磁弁用コード130を介してそれぞれ一対の電極110及び電磁弁ユニット120に対して電圧が印加される。
図3は電磁弁ユニット120のオン・オフと、それにより発生する空気の吹き付け圧力との関係を示すタイムチャートである。
電磁弁ユニット120に駆動電圧が印加されると、電磁弁ユニット120は高速でオン・オフを繰り返す。その結果、空気源から供給された空気の内部に脈流が発生する。すなわち、図3に示すように、空気源から供給された空気流の吹き付け圧力は鋸波形となる。
鋸波形の吹き付け圧力を有するに至った空気流は空気パイプ132を介して一対の電極110に送られる。
一対の電極110に高電圧が印加されると、一対の電極110の間にコロナ放電が発生する。このコロナ放電により、空気パイプ132を通過してきた鋸波形の吹き付け圧力を有する空気はプラスまたはマイナスの極性のイオンに変わる。
このようにしてイオン化された鋸波形の吹き付け圧力を有する空気はノズル102からワーク(図示せず)に向けて放出される。
以上のように、本実施形態に係る除塵器100によれば、電磁弁ユニット120により鋸波形の吹き付け圧力を有するに至った空気流は空気パイプ132を介して直接的に一対の電極110に送られる。
すなわち、本実施形態に係る除塵器100によれば、鋸波形の吹き付け圧力を有するに至った空気流が一対の電極110に送られるまでの時間を従来の除塵器と比較して飛躍的に短縮することができる。このため、従来の除塵器のように、吹き付け圧力のピーク値が鈍化することを防止することができる。
なお、本実施形態に係る除塵器100はピストル(ガン)型の外形を有するものとして形成したが、除塵器100の外形はこれには限定されない。用途に応じて、任意の形状をとることが可能である。
100 本発明の一実施形態に係る除塵器
101 把手
102 ノズル
103 フック
110 一対の電極
120 電磁弁ユニット
130 電磁弁用コード
131 空気ホース
132 空気パイプ
140 トリガー
141 スイッチ
111 電極用コード
150 カバー
101 把手
102 ノズル
103 フック
110 一対の電極
120 電磁弁ユニット
130 電磁弁用コード
131 空気ホース
132 空気パイプ
140 トリガー
141 スイッチ
111 電極用コード
150 カバー
Claims (2)
- 相互に対向して配置されている一対の電極であって、前記電極間に発生させた放電により、前記電極間の空気をプラスまたはマイナスの極性のイオンにする一対の電極と、
前記電極と対向して配置され、イオン化された前記空気を放出するノズルと、
前記ノズルとは反対側において前記電極と対向して配置され、空気に脈流を生じさせた状態で前記電極に直接的に前記空気を送る電磁弁ユニットと、
を備える除塵器。 - 全体としてピストル形状をなしていることを特徴とする請求項1に記載の除塵器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006241183A JP2008062153A (ja) | 2006-09-06 | 2006-09-06 | 除塵器 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006241183A JP2008062153A (ja) | 2006-09-06 | 2006-09-06 | 除塵器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008062153A true JP2008062153A (ja) | 2008-03-21 |
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ID=39285318
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006241183A Pending JP2008062153A (ja) | 2006-09-06 | 2006-09-06 | 除塵器 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2008062153A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010000482A (ja) * | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Sunx Ltd | 除電除塵装置 |
JP2016072051A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 春日電機株式会社 | ガン式除電装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0515862A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-01-26 | Himu Electro Kk | 除塵装置 |
JP2000328630A (ja) * | 1999-05-20 | 2000-11-28 | Toto Ltd | 人体洗浄装置 |
JP2002233840A (ja) * | 2001-02-07 | 2002-08-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | イオンガス噴射装置及びガスホース |
JP2003190724A (ja) * | 2001-10-18 | 2003-07-08 | Amano Corp | フイルター用クリーニング装置 |
-
2006
- 2006-09-06 JP JP2006241183A patent/JP2008062153A/ja active Pending
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