JP4132000B2 - 浮上搬送装置用の帯電中和装置および浮上搬送システム - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、板状基体に対する気体の噴出によって、板状基体を浮上した状態にし、この状態で板状基体を移動、停止、静止および方向転換させる場合、板状基体に当たった気体によって、板状基体が帯電したとき、この板状基体の帯電を完全に中和することができる浮上搬送装置用の帯電中和装置および浮上搬送システムに関する。本発明は、液晶ディスプレイ等に用いられるガラス板や半導体装置が形成されるウエハ等の気流搬送をする浮上搬送装置および浮上搬送システムに好適に用いられる。
【０００２】
【従来の技術】
板状基体を浮上させて搬送するシステムとして、例えば、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のガラス板を搬送するものがある。この搬送システムを図１２に示す。この搬送システムは、移送ユニット１００と制御ユニット２００とを組み合わせて、構成されたものである。移送ユニット１００は、四角形状のガラス板３００を浮上させて移動方向３１０の方向に移動させる。制御ユニット２００は、ガラス板３００を浮上させた状態で停止、静止させると共に、転換方向３１１に方向転換させる。さらに、搬送システムは、図示を省略しているが、ガラス板３００に対して各種の処理を行う処理ユニットを備えている。
【０００３】
移送ユニット１００は、ガラス板３００を直線的に移動させるために、通常、連結されて用いられる。この移送ユニット１００の一例を図１３に示す。移送ユニット１００は、基台１１０と囲い材１２０とを備える。基台１１０には、ウエハを浮上させるための気体、例えば、ガラス板３００に影響を与えない窒素ガス、アルゴンガスやその他のガスを供給する供給系１１１が配管されている。囲い材１２０が覆う、基台１１０の面１１２が搬送路の搬送面であり、搬送面１１２には、複数の噴出孔１１３が空けられている。
【０００４】
噴出孔１１３は、図１４に示すように、搬送面１１２に対して傾斜して設けられ、噴出孔１１３の傾斜方向は、ガラス板３００の移動方向３１０の中心１１２Ａに向かって傾斜している。また、噴出孔１１３とは別に、図１５に示すように、推進用の噴出孔１１５が、ガラス板３００の移動方向３１０と平行に並んで、かつ、搬送面１１２に対して傾斜して空けられている。噴出孔１１３，１１５は、搬送面１１２から気体室１１４，１１６に至る間に空けられている。気体室１１４，１１６は、供給系１１１にそれぞれ通じている。
【０００５】
各噴出孔１１３，１１５によって、供給系１１１から供給される気体は、気体室１１４，１１６を経て、噴出孔１１３，１１５から噴出する。噴出孔１１３，１１５からの気体の噴出方向は、搬送面１１２に対して斜め上方に傾斜し、かつ、移動方向３１０に対して、噴出孔１１３は直角に、噴出孔１１５は平行になっている。このような気体の噴出が、図１６の噴出方向１１３Ａ，１１５Ａによって、平面的に表されている。
【０００６】
こうして、各噴出孔１１３，１１５から噴出方向１１３Ａ，１１５Ａに噴出した気体によって、ガラス板３００が浮上して移動方向３１０に動くと同時に、ガラス板３００の中心が搬送面１１２の中心１１２Ａに沿って移動するので、ガラス板３００の側面が囲い材１２０の側壁に接触することがない。つまり、ガラス板３００は、搬送面１１２や囲い材１２０に対して非接触の状態で移動される。
【０００７】
制御ユニット２００は、移送ユニット１００から送られてくるガラス板３００を受け取り、このガラス板３００の停止、静止および移動方向の変更や、ガラス板３００自身の回転等を行う。制御ユニット２００は、図１７に示すように、基台２１０と囲い材２２０とを備える。囲い材２２０には、基台１１０と同じように、ガラス板３００を浮上させるための気体を供給する供給系２１１が配管されている。囲い材２２０が覆う、基台２１０の面２１２が搬送路の搬送面であり、搬送面２１２には、吸引口と複数の噴出孔とが空けられている。
【０００８】
搬送面２１２の中心には、図１８に示すように、吸引口２１３が空けられている。吸引口２１３は、中心付近の気体を吸い込んで、ガラス板３００を浮上させたまま、静止させる。吸引口２１３の周りには、内側から順に設定ライン２２１〜２２４が設定されている。
【０００９】
設定ライン２２２には、噴出孔２１５が空けられている。噴出孔２１５は、噴出孔１１３と同じように、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられているが、気体の噴出方向は、反時計方向の噴出方向２１５Ａである。噴出孔２１５からの気体によって、ガラス板３００が反時計方向に回転する。
【００１０】
また、設定ライン２２２には、噴出孔２１６が空けられている。噴出孔２１６は、噴出孔１１３と同じように、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられていが、気体の噴出方向は、時計方向の噴出方向２１６Ａである。噴出孔２１６からの気体によって、ガラス板３００が時計方向に回転する。
【００１１】
設定ライン２２１，２２３，２２４には、噴出孔２１４，２１７，２１８が空けられている。噴出孔２１４，２１７，２１８は、噴出孔１１３と同じように、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられている。噴出孔２１４，２１７，２１８による気体は、吸引口２１３に向かう噴出方向２１４Ａ，２１７Ａ，２１８Ａに噴出される。噴出方向２１４Ａ，２１７Ａ，２１８Ａからの気体によって、ガラス板３００の中心が吸引口２１３に位置するようになる。
【００１２】
さらに、制御ユニット２００には、ガラス板３００の推進および捕捉用の噴出孔２５１〜２５３が、各２列の設定ライン２２５，２２６に空けられている。噴出孔２５１は、ガラス板３００の移動方向３１０と１８０度逆の方向である噴出方向２５１Ａに気体を噴出し、噴出孔２５２は、移動方向３１０と同じ方向である噴出方向２５２Ａに気体を噴出する。
【００１３】
噴出孔２５３は、ガラス板３００の転換方向３１１と同方向である噴出方向２５３Ａに気体を噴出する。
【００１４】
ガラス板３００が移動方向３１０から制御ユニット２００に入ってくると、噴出孔２１５が気体を、移動方向３１０とは逆の方向に噴出する。これによって、ガラス板３００は、噴出された気体の減速作用によって捕捉され、搬送面２１２の中心に円滑に停止される。これによって、ガラス板３００の静止、回転動作がスムーズに行える。例えば、ガラス板３００が転換方向３１１に方向転換される場合、噴出孔２５３が気体を噴出する。これによって、ガラス板３００は、転換方向３１１に推進される。
【００１５】
このような動作によって、ガラス板３００の方向転換が行われる。なお、ガラス板３００を移動方向３１０と同じ方向に送り出す場合、噴出孔２５２が気体を噴出する。
【００１６】
このような移送ユニット１００および制御ユニット２００とで構成される搬送システムと、各種の処理ユニットとを組み合わせることによって、ガラス板３００の処理システムが構築される。
【００１７】
ところで、搬送システムの移送ユニット１００と制御ユニット２００とが、ガラス板３００を搬送するために、気体をガラス板３００に噴出するが、この気体がガラス板３００に当たると、摩擦による静電気がガラス板３００に帯電する。この帯電の影響によって、処理ユニットによる処理が帯電の影響を受けることになる。また、ガラス板３００にパターン等が形成されているときには、ガラス板３００からの放電によって、パターンが破壊されてしまう。
【００１８】
このような帯電による電荷を除くために、国際出願番号ＰＣＴ／ＪＰ９１／０１４６９に示されている技術がある。この技術によると、移送ユニット１００の囲い材１２０の天井部分には、図１９に示す帯電中和器２３０が設置されている。帯電中和器２３０は、プラスイオンやマイナスイオンを発生し、これらのイオンをガラス板３００に当てる。これによって、帯電したガラス板３００が中和される。制御ユニット２００にも、移送ユニット１００と同様に、帯電中和器２３０の設置が可能である。
【００１９】
しかし、この帯電除去の技術には次に示すような問題があった。つまり、移送ユニット１００がガラス板３００を搬送面１１２から浮上させるが、このとき、ガラス板３００は、気体の噴出によって、約０．２〜０．５ｍｍしか浮上しない。このために、帯電中和器２３０によってプラスイオンやマイナスイオンを含んだ気体は、ガラス板３００の上面３０１に十分に供給された。しかし、搬送面１１２と向い合う面、つまり、ガラス板３００の下面３０２と搬送面１１２との間隔が狭いので、下面３０２側には、プラスイオンやマイナスイオンを含んだ気体が回り込みにくく、ガラス板３００の下面３０２側には、プラスイオンやマイナスイオンを含む気体が十分に供給されなかった。したがって、ガラス板３００の下面３０２に溜まった電荷を完全に中和することができなかった。
【００２０】
帯電中和器２３０が制御ユニット２００に設置された場合も、同様にして、ガラス板３００の裏面に溜まった電荷を完全に中和することができなかった。
【００２１】
以上、説明したとおり、従来の帯電中和技術によれば、以下の問題点があった。つまり、板状基体の浮上によって、この板状基体を搬送する場合、板状基体が約０．２〜０．５ｍｍしか浮上しない。このために、プラスイオンやマイナスイオンを含むガスが板状基体の裏面に十分に供給されないので、板状基体の裏面の帯電を完全に中和することができないという問題点があった。
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、板状基体に対する気体の噴出によって、板状基体を浮上した状態にし、この状態で板状基体を移動、停止、静止および方向転換させる場合、板状基体に当たった気体によって、板状基体が帯電したとき、この板状基体の帯電を完全に中和することができる浮上搬送装置用の帯電中和装置および浮上搬送システムを提供することを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明の浮上搬送装置用の帯電中和装置は、搬送面に設けられた複数の噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で搬送する浮上搬送装置に設けられた浮上搬送装置用の帯電中和装置であり、
前記搬送面に溝部が設けられ、
この溝部内に設けられると共に、前記気体をイオン化する電磁波を前記溝部から、前記搬送面上の搬送空間に向けて出力する帯電中和部が設けられ、
前記溝部は、第１収納部分と、第１収納部分の底に、段差をもって形成された第２収納部分とを有し、第一収納部分に光を通す板を搬送面に対して平らに取り付けられ、電磁波源が第２収納部分に収納されている。
【００２４】
浮上搬送装置は、板状基体に気体を噴射し、板状基体は、搬送面から少しだけ浮上する。このとき、気体が板状基体に吹き付けられるので、板状基体が帯電する。
【００２５】
上記構成よれば、搬送面に設けられた溝部から電磁波が出力されるので、この電磁波が照射された、搬送面上の搬送空間の気体がイオン化される。このとき、搬送面と板状基体との、狭い空間に存在する気体が溝部から照射される電磁波によって、確実にイオン化されるので、搬送面と向い合う板状基体の下面の帯電を完全に中和することができる。また、板状基体の上面側には、電磁波によってイオン化された、多量の気体が存在するので、板状基体の上面の帯電も完全に中和することができる。
【００２６】
参考発明の浮上搬送装置用の帯電中和装置は、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で搬送する浮上搬送装置に設けられた浮上搬送装置用の帯電中和装置において、前記搬送面に設けられた少なくとも１つの帯電中和孔と、この帯電中和孔を介して、前記搬送面上の搬送空間に向けてイオンを噴出させる帯電中和部とを設けたことを特徴とする。
【００２７】
また、参考発明の浮上搬送装置用の帯電中和装置は、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で搬送する浮上搬送装置に設けられた浮上搬送装置用の帯電中和装置において、前記噴出孔にイオンを注入する帯電中和部を設けたことを特徴とする。
【００２８】
上記構成によれば、搬送面の帯電中和孔または噴出孔からイオン化された気体が板状基体に向かって吹き付けられるので、板状基体の下面の帯電を中和することができる。また、イオン化された気体の噴出によって、上面側に多量のイオン化された気体が存在し、この気体によって、板状基体の上面の帯電も中和することができる。
【００２９】
本発明の浮上搬送システムは、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で直線的に移動する移送ユニットと、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で停止、静止および方向転換の少なくとも１つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、請求項１記載の浮上搬送装置用の帯電中和装置を前記移送ユニットに設けたことを特徴とする。
【００３０】
本発明の浮上搬送システムは、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で直線的に移動する移送ユニットと、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で停止、静止および方向転換の少なくとも１つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、請求項１記載の浮上搬送装置用の帯電中和装置を前記制御ユニットに設けたことを特徴とする。
【００３１】
上記構成によれば、浮上搬送装置用の帯電中和装置を移送ユニットや制御ユニットに設けた。このとき例えば、板状基体を処理する次の処理装置等の手前に位置する移送ユニットや制御ユニットに浮上搬送装置用の帯電中和装置を設置すると、板状基体の帯電が処理装置の直前で中和されるので、帯電による影響が次の処理装置等で発生することを防ぐことができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に述べる。
【００３３】
［実施の形態１］
実施の形態１では、図１２に示す浮上搬送システムの中の移送ユニット１００として、図１に示す移送ユニットＡを用いる。移送ユニットＡは、基台１、囲い材２および帯電中和装置３を備えている。なお、囲い材２は、図１３の囲い材１２０と同じであるので、囲い材２の説明を省略する。
【００３４】
基台１は、その搬送面１Ａの中心部を除いて、図１４，１５に示す噴出孔１１３，１１５および気体室１１４，１１６と同じ噴出孔１１，１３および気体室１２をそれぞれ備えている。なお、噴出孔１３用の気体室の図示は、省略されている。搬送面１Ａの中心部には、帯電中和装置３が設置されている。実施の形態１では、噴出孔１１は、浮上用の気体を噴出する。
【００３５】
帯電中和装置３は、収納部３１、ＵＶ（Ultraviolet radiation：紫外線）ランプ３２および制御部３３を備えている。実施の形態１では、溝部が収納部３１であり、帯電中和部がＵＶランプ３２と制御部３３とで構成されている。
【００３６】
収納部３１の第１収納部分３１Ａは、搬送面１Ａの中央部に、かつ、図２に示すように、移動方向３１０に対して直角方向に設けられている、板状の溝である。第１収納部分３１Ａには、光を通す石英板３１Ｂが、第１収納部分３１Ａに対して密着状態で、かつ、搬送面１Ａに対して平らに取り付けられている。第１収納部分３１Ａの底には、第２収納部分３１Ｃが、第１収納部分３１Ａに対して段差を形成するように設けられ、ＵＶランプ３２は、収納部３１の第２収納部分３１Ｃに収められている。ＵＶランプ３２は、石英板３１Ｂに近接して、第２収納部３１Ｃに収められる。電圧がＵＶランプ３２に加えられると、ＵＶランプ３２は、紫外線を発光する。このとき、ＵＶランプ３２が石英板３１Ｂに近接して第２収納部３１Ｃに収められているので、紫外線の照射角度が大きく、紫外線は、搬送空間を広く照射する。この紫外線によって、石英板３１Ｂが位置する、搬送面１Ａの上にある搬送空間では、気体がイオン化されるので、石英板３１Ｂの上面付近は、窒素のプラスイオンとマイナスイオンとを含む雰囲気となる。
【００３７】
制御部３３は、基台１の下側に設置されて、電線３３Ａによって、ＵＶランプ３２に接続されている。制御部３３は、紫外線を発光させるための電圧を生成し、電線３３Ａを通して、この電圧をＵＶランプ３２に加える。
【００３８】
以上が、実施の形態１に係る移送ユニットＡの構成である。次に、実施の形態１の動作について説明する。
【００３９】
帯電中和装置３の制御部３３がＵＶランプ３２に電圧を加えると、図３に示すように、ＵＶランプ３２が紫外線３２Ａを出す。この紫外線３２Ａによって、石英板３１Ｂ上面側に位置する気体がイオン化されて、プラスイオン４０１とマイナスイオン４０２とが発生する。この結果、石英板３１Ｂ上面側の搬送空間は、運ばれてくるガラス板３００を中和するために十分なプラスイオン４０１とマイナスイオン４０２とを含むものとなる。
【００４０】
この状態のときに、図４に示すように、帯電されたガラス板３００が移送ユニットＡの搬送空間を通過すると、ガラス板３００の下面３０２側のマイナスの静電荷が気体のプラスイオン４０１によって中和され、上面３０１側のプラスの静電荷が気体のマイナスイオン４０２によって中和される。特に、ガラス板３００の下面３０２側では、約０．２〜０．５ｍｍの浮上間隔ｄに存在する気体が、ＵＶランプ３２からの紫外線３２Ａによって確実にイオン化され、イオン化で発生したプラスイオンによって、ガラス板３００の下面３０２のマイナス電荷を完全に中和することができる。また、イオン化で発生したマイナスイオンは、ガラス板３００の下面３０２のマイナス電荷による斥力を受け、中和されずにガラス板３００の上面３０１側に流れる。この結果、ガラス板３００の上面３０１側にはプラスイオンが十分に存在するので、上面３０１の電荷を完全に中和することができる。
【００４１】
こうして、実施の形態１によれば、帯電中和装置３のＵＶランプ３２が搬送面１Ａ側に配置されているので、ガラス板３００の上面３０１および下面３０２の帯電を確実に中和することができる。
【００４２】
また、第２収納部分３１Ｃが石英板３１Ｂによって密封されているので、第２収納部分３１Ｃからの外気等が移送ユニットＡの移送空間に入り込むことを防いで、外気等による影響を石英板３１Ｂに与えることを防止することができる。同時に、石英板３１Ｂによって、ＵＶランプ３２を保護することができる。
【００４３】
［実施の形態２］
次に、本発明の実施の形態２について説明する。
【００４４】
実施の形態２では、実施の形態１で用いられた帯電中和装置３が、図１２に示す浮上搬送システムの中の制御ユニット２００として用いられる、制御ユニットＢに設置されている。つまり、図５に示すように、移送ユニットが接続されている側の搬送面４Ａに設けられている。かつ、収納部３１の長手方向が移動方向３１０と直角に交差するように、収納部３１が設けられている。
【００４５】
これによって、移動方向３１０に進んで、制御ユニットＢの搬送空間に入るガラス板３００、または、移動方向３１０と逆に進んで、制御ユニットＢから出るガラス板３００が、基台４の搬送面４Ａに設けられている収納部３１のＵＶランプ３２上を通過するので、ガラス板３００の帯電を完全に中和することができる。
【００４６】
［実施の形態３］
次に、本発明の実施の形態３について説明する。
【００４７】
実施の形態３では、プラスイオンとマイナスイオンとを発生させるために、次のようにしている。つまり、実施の形態１，２では、プラスイオンとマイナスイオンを発生させるために、紫外線を用いたが、実施の形態３では、紫外線の代わりに、透過性の小さい軟Ｘ線（Soft X-rays）を用いる。軟Ｘ線によれば、オゾンの発生を伴わないで、プラスイオンとマイナスイオンとの生成が可能である。また、軟Ｘ線の減衰が速いために、人体に対する照射を防ぐための遮蔽対策が容易である。
【００４８】
このような軟Ｘ線を用いた帯電中和装置によっても、ガラス板３００の帯電を完全に中和することができる。
【００４９】
［実施の形態４］
次に、本発明の実施の形態４について説明する。
【００５０】
実施の形態４では、図６に示すように、帯電中和装置３の代わりに、帯電中和装置５が、移送ユニットＡの基台１の搬送面１Ａに設置されている。帯電中和装置５は、図７に示すように、イオン生成器５１Ａ，５１Ｂ、絶縁供給管５２、絶縁気体室５３および絶縁噴出孔５４を備えている。
【００５１】
イオン生成器５１Ａは、細い金属電極（図示を省略）に高電圧を加えて、プラスイオンを発生する。また、イオン生成器５１Ｂは、イオン生成器５１Ａとは異なる極性の高電圧を金属電極に加えて、マイナスイオンを発生する。イオン生成器５１Ａは、発生したプラスイオンを、絶縁供給管５２を通して、絶縁気体室５３に流し、イオン生成器５１Ｂは、発生したマイナスイオンを、絶縁供給管５２を通して、絶縁気体室５３に流す。また、図８に示すように、絶縁供給管５２、絶縁気体室５３および絶縁噴出孔５４の内壁５２Ａ，５３Ａ，５４Ａには、絶縁用の被膜が設けられている。絶縁噴出孔５４は、基台１の搬送面１Ａに設定された設置ライン５Ａ，５Ｂ上にそれぞれ配置されている帯電中和孔である。設置ライン５Ａ，５Ｂは、移動方向３１０と交差する方向に設定されている。各絶縁噴出孔５４は、気体室５３に通じ、図１の噴出孔１１と同様に、絶縁気体室５３からの気体を噴出する。
【００５２】
絶縁気体室５３は、図１の気体室１２と同様に、気体の供給を受ける。同時に、設置ライン５Ａに対応する絶縁気体室５３には、イオン生成器５１Ａからのプラスイオンが絶縁供給管５２を経て流れ込む。この結果、設置ライン５Ａ上の絶縁噴出孔５４は、プラスイオンを含んだ気体を噴出する。また、設置ライン５Ｂに対応する絶縁気体室５３には、イオン生成器５１Ｂからのマイナスイオンが絶縁供給管５２を経て流れ込む。この結果、設置ライン５Ｂ上の絶縁噴出孔５４は、マイナスイオンを含んだ気体を噴出する。
【００５３】
実施の形態４によれば、図８に示すように、プラスイオン４０１が、設置ライン５Ａ上の絶縁噴出孔５３から噴出され、マイナスイオン４０２が、設置ライン５Ｂ上の絶縁噴出孔５３から噴出される。この結果、絶縁噴出孔５３の周囲の搬送空間は、ガラス板３００の帯電を中和するために十分なプラスイオン４０１とマイナスイオン４０２とを含むものとなる。この状態のときに、図９に示すように、帯電されたガラス板３００が移送ユニットＡの搬送空間を通過すると、ガラス板３００の上面３０１側のプラスの静電荷がマイナスイオン４０２によって中和され、下面３０２側のマイナスの静電荷がプラスイオン４０１によって中和される。特に、設置ライン５Ａ上の絶縁噴出孔５３からのプラスイオン４０１が、ガラス板３００の下面３０２に直接当たるので、従来では、中和することができなかった下面３０２側の静電荷を除くことができる。
【００５４】
また、帯電中和装置５がイオン生成器５１からのプラスイオン４０１とマイナスイオン４０２とを、絶縁供給管５２を経て絶縁気体室５３に注入するだけの、簡単な構造であるので、移送ユニットＡの大幅な変更を不要にして、帯電を完全に中和することを可能にする。
【００５５】
［実施の形態５］
次に、本発明の実施の形態５について説明する。
【００５６】
実施の形態５では、実施の形態４で用いられた帯電中和装置５が制御ユニットＢに設置されている。つまり、図１０に示すように、移送ユニットが接続されている側の搬送面４Ａに、設置ライン５Ａ，５Ｂが設けられている。かつ、設置ライン５Ａ，５Ｂは、移動方向３１０と直角に交差するように配置されている。
【００５７】
これによって、移動方向３１０に進んで、制御ユニットＢの搬送空間に入るガラス板３００、または、移動方向３１０と逆に進んで、制御ユニットＢの搬送空間から出るガラス板３００が、設定ライン５Ａ，５Ｂに配置されている噴出孔５４上を通過するので、ガラス板３００の帯電を完全に中和することができる。
【００５８】
［実施の形態６］
次に、本発明の実施の形態６について説明する。
【００５９】
実施の形態６では、実施の形態４で用いられた帯電中和装置５が制御ユニットＢに設置されている。つまり、図１１に示すように、制御ユニットＢの搬送面４Ａに設定されている設定ライン２２３に配置されている絶縁噴出孔２６１、および、外側の設定ライン２２４に配置されている絶縁噴出孔２６２が、プラスイオンとマイナスイオンとをそれぞれ噴出する絶縁噴出孔５４として用いられている。
【００６０】
これによって、移動方向３１０から制御ユニットＢに移動するガラス板３００の中心が、噴出孔２１４と絶縁噴出孔２６１，２６２とから噴射される気体によって、中心の吸引孔２１３に移動される。同時に、ガラス板３００の裏面には、絶縁噴出孔２６１からのプラスイオンと絶縁噴出孔２６２からのマイナスイオンとが直接噴射される。この結果、従来では、中和することができなかった、ガラス板３００の裏面側の静電荷を除くことができる。
【００６１】
［実施の形態７］
次に、本発明の実施の形態７について説明する。
【００６２】
実施の形態７では、気体を供給する供給系とは、通じていない気体室を用いる。つまり、実施の形態４〜６では、イオン生成器が気体の供給系と通じている気体室にイオンを供給したが、実施の形態７では、送風機能を持つイオン生成器が用いられる。これによって、イオン生成器と供給系とを分離することができる。
【００６３】
以上、実施の形態１〜実施の形態７について説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されることはない。例えば、実施の形態１〜実施の形態７では、補助的な帯電中和手段として、従来の帯電中和器２３０を併用することが可能である。
【００６４】
また、噴出孔１１から噴出する気体として、高純度乾燥空気、高純度窒素ガス、高純度アルゴンガス、高純度炭酸ガス等を用いることが可能である。ウエハを気流搬送する場合には、搬送用のガスとして、不純物濃度が数ｐｐｂ以下の高純度窒素ガスを用いるのが最適である。
【００６５】
また、浮上搬送システムとして、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のガラス板等を気流搬送するものを例としたが、本発明は、ガラス板に限られることなく、各種板状基体を搬送するシステムに適用可能である。
【００６６】
さらに、移送ユニットと制御ユニットとに設けられた噴出孔の配列方式としては、各種のものがあるが、本発明は、これら各種の配列方式にも適用が可能である。
【００６７】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、搬送面に設けられた溝部と、この溝部内に設けられると共に、気体をイオン化する電磁波を溝部から、搬送面上の搬送空間に向けて出力する帯電中和部とを設けた。また、電磁波が紫外線または軟Ｘ線である。この結果、搬送面と板状基体の下面との狭い空間にある気体が溝部から照射される紫外線などの電磁波によって、確実にイオン化されるので、板状基体の下面の帯電を完全に中和することができる。同時に、板状基体の上面側には、電磁波の照射によるイオン化された気体が多量に存在するので、板状基体の上面の帯電も完全に中和することができる。
【００６８】
本発明によれば、搬送面に設けられた少なくとも１つの帯電中和孔と、この帯電中和孔を介して、搬送面上の搬送空間に向けてイオンを噴出させる帯電中和部とを設けた。また、噴出孔にイオンを注入する帯電中和部を設けたので、搬送面の帯電中和孔や噴出孔からイオン化された気体が板状基体に向かって吹き付けられる。これによって、板状基体の下面の帯電を中和することができる。同時に、板状基体の上面側には、イオン化された気体の噴出による多量のイオン化された気体が存在するので、板状基体の上面の帯電をも完全に中和することができる。
【００６９】
本発明によれば、浮上搬送装置用の帯電中和装置を移送ユニットに設けた。また、搬送装置用の帯電中和装置を制御ユニットに設けた。これによって、浮上搬送システムの任意の位置で板状基体の帯電を中和する。例えば、板状基体を処理する次の処理装置等の手前に位置する移送ユニットや制御ユニットに浮上搬送装置用の帯電中和装置を設置すると、板状基体の帯電が処理装置の直前で中和されるので、帯電による影響が次の処理で発生することを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１に係わる移送ユニットの断面を示す断面図である。
【図２】上記移送ユニットの搬送面を示す平面図である。
【図３】実施の形態１の動作を説明するための説明図である。
【図４】実施の形態１の動作を説明するための説明図である。
【図５】実施の形態２に係る移送ユニットの搬送面を示す平面図である。
【図６】実施の形態４に係る移送ユニットの搬送面を示す平面図である。
【図７】上記移送ユニットの断面を示す断面図である。
【図８】実施の形態４の動作を説明するための説明図である。
【図９】実施の形態４の動作を説明するための説明図である。
【図１０】実施の形態５に係る制御ユニットの搬送面を示す平面図である。
【図１１】実施の形態６に係る制御ユニットの搬送面を示す平面図である。
【図１２】従来の板状基体搬送システムを示す平面図である。
【図１３】従来の移送ユニットを示す斜視図である。
【図１４】図１３のＩ−Ｉ断面図である。
【図１５】図１３のＩＩ−ＩＩ断面図である。
【図１６】従来の移送ユニットによる噴出方向を示す説明図である。
【図１７】従来の制御ユニットを示す斜視図である。
【図１８】従来の移送ユニットによる噴出方向を示す説明図である。
【図１９】従来の帯電中和器の設置の様子を示す断面図である。
【符号の説明】
Ａ，１００ 移送ユニット
Ｂ，２００ 制御ユニット
１，４，１１０，２１０ 基台
１Ａ，４Ａ，１１２，２１２ 搬送面
２，１２０，２２０ 囲い材
３，５ 帯電中和装置
５Ａ 設置ライン
１１，４１Ａ，４２Ａ，１１３，１１５，２１５〜２１８，２５１〜２５３ 噴出孔
１２，１１４，１１６ 気体室
３１ 収納部
３１Ａ 第１収納部分
３１Ｂ 石英板
３１Ｃ 第２収納部分
３２ ＵＶランプ
３３ 制御部
３３Ａ 電線
４１，４２，２２１〜２２６ 設定ライン
４５，２１３ 吸引孔
５１Ａ，５１Ｂ イオン生成器
５２ 絶縁供給管
５２Ａ，５３Ａ，５４Ａ 内壁
５３ 絶縁気体室
５４，２６１，２６２ 絶縁噴出孔
１１１，２１１ 供給系
１１２Ａ 中心
１１３Ａ，１１５Ａ，２１４Ａ〜２１８Ａ，２５１Ａ〜２５３Ａ 噴出方向
２３０ 帯電中和器
３００ ガラス板
３０１ 上面
３０２ 下面
３１０ 移動方向
３１１ 転換方向
４０１ プラスイオン
４０２ マイナスイオン
【発明の属する技術分野】
本発明は、板状基体に対する気体の噴出によって、板状基体を浮上した状態にし、この状態で板状基体を移動、停止、静止および方向転換させる場合、板状基体に当たった気体によって、板状基体が帯電したとき、この板状基体の帯電を完全に中和することができる浮上搬送装置用の帯電中和装置および浮上搬送システムに関する。本発明は、液晶ディスプレイ等に用いられるガラス板や半導体装置が形成されるウエハ等の気流搬送をする浮上搬送装置および浮上搬送システムに好適に用いられる。
【０００２】
【従来の技術】
板状基体を浮上させて搬送するシステムとして、例えば、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のガラス板を搬送するものがある。この搬送システムを図１２に示す。この搬送システムは、移送ユニット１００と制御ユニット２００とを組み合わせて、構成されたものである。移送ユニット１００は、四角形状のガラス板３００を浮上させて移動方向３１０の方向に移動させる。制御ユニット２００は、ガラス板３００を浮上させた状態で停止、静止させると共に、転換方向３１１に方向転換させる。さらに、搬送システムは、図示を省略しているが、ガラス板３００に対して各種の処理を行う処理ユニットを備えている。
【０００３】
移送ユニット１００は、ガラス板３００を直線的に移動させるために、通常、連結されて用いられる。この移送ユニット１００の一例を図１３に示す。移送ユニット１００は、基台１１０と囲い材１２０とを備える。基台１１０には、ウエハを浮上させるための気体、例えば、ガラス板３００に影響を与えない窒素ガス、アルゴンガスやその他のガスを供給する供給系１１１が配管されている。囲い材１２０が覆う、基台１１０の面１１２が搬送路の搬送面であり、搬送面１１２には、複数の噴出孔１１３が空けられている。
【０００４】
噴出孔１１３は、図１４に示すように、搬送面１１２に対して傾斜して設けられ、噴出孔１１３の傾斜方向は、ガラス板３００の移動方向３１０の中心１１２Ａに向かって傾斜している。また、噴出孔１１３とは別に、図１５に示すように、推進用の噴出孔１１５が、ガラス板３００の移動方向３１０と平行に並んで、かつ、搬送面１１２に対して傾斜して空けられている。噴出孔１１３，１１５は、搬送面１１２から気体室１１４，１１６に至る間に空けられている。気体室１１４，１１６は、供給系１１１にそれぞれ通じている。
【０００５】
各噴出孔１１３，１１５によって、供給系１１１から供給される気体は、気体室１１４，１１６を経て、噴出孔１１３，１１５から噴出する。噴出孔１１３，１１５からの気体の噴出方向は、搬送面１１２に対して斜め上方に傾斜し、かつ、移動方向３１０に対して、噴出孔１１３は直角に、噴出孔１１５は平行になっている。このような気体の噴出が、図１６の噴出方向１１３Ａ，１１５Ａによって、平面的に表されている。
【０００６】
こうして、各噴出孔１１３，１１５から噴出方向１１３Ａ，１１５Ａに噴出した気体によって、ガラス板３００が浮上して移動方向３１０に動くと同時に、ガラス板３００の中心が搬送面１１２の中心１１２Ａに沿って移動するので、ガラス板３００の側面が囲い材１２０の側壁に接触することがない。つまり、ガラス板３００は、搬送面１１２や囲い材１２０に対して非接触の状態で移動される。
【０００７】
制御ユニット２００は、移送ユニット１００から送られてくるガラス板３００を受け取り、このガラス板３００の停止、静止および移動方向の変更や、ガラス板３００自身の回転等を行う。制御ユニット２００は、図１７に示すように、基台２１０と囲い材２２０とを備える。囲い材２２０には、基台１１０と同じように、ガラス板３００を浮上させるための気体を供給する供給系２１１が配管されている。囲い材２２０が覆う、基台２１０の面２１２が搬送路の搬送面であり、搬送面２１２には、吸引口と複数の噴出孔とが空けられている。
【０００８】
搬送面２１２の中心には、図１８に示すように、吸引口２１３が空けられている。吸引口２１３は、中心付近の気体を吸い込んで、ガラス板３００を浮上させたまま、静止させる。吸引口２１３の周りには、内側から順に設定ライン２２１〜２２４が設定されている。
【０００９】
設定ライン２２２には、噴出孔２１５が空けられている。噴出孔２１５は、噴出孔１１３と同じように、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられているが、気体の噴出方向は、反時計方向の噴出方向２１５Ａである。噴出孔２１５からの気体によって、ガラス板３００が反時計方向に回転する。
【００１０】
また、設定ライン２２２には、噴出孔２１６が空けられている。噴出孔２１６は、噴出孔１１３と同じように、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられていが、気体の噴出方向は、時計方向の噴出方向２１６Ａである。噴出孔２１６からの気体によって、ガラス板３００が時計方向に回転する。
【００１１】
設定ライン２２１，２２３，２２４には、噴出孔２１４，２１７，２１８が空けられている。噴出孔２１４，２１７，２１８は、噴出孔１１３と同じように、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられている。噴出孔２１４，２１７，２１８による気体は、吸引口２１３に向かう噴出方向２１４Ａ，２１７Ａ，２１８Ａに噴出される。噴出方向２１４Ａ，２１７Ａ，２１８Ａからの気体によって、ガラス板３００の中心が吸引口２１３に位置するようになる。
【００１２】
さらに、制御ユニット２００には、ガラス板３００の推進および捕捉用の噴出孔２５１〜２５３が、各２列の設定ライン２２５，２２６に空けられている。噴出孔２５１は、ガラス板３００の移動方向３１０と１８０度逆の方向である噴出方向２５１Ａに気体を噴出し、噴出孔２５２は、移動方向３１０と同じ方向である噴出方向２５２Ａに気体を噴出する。
【００１３】
噴出孔２５３は、ガラス板３００の転換方向３１１と同方向である噴出方向２５３Ａに気体を噴出する。
【００１４】
ガラス板３００が移動方向３１０から制御ユニット２００に入ってくると、噴出孔２１５が気体を、移動方向３１０とは逆の方向に噴出する。これによって、ガラス板３００は、噴出された気体の減速作用によって捕捉され、搬送面２１２の中心に円滑に停止される。これによって、ガラス板３００の静止、回転動作がスムーズに行える。例えば、ガラス板３００が転換方向３１１に方向転換される場合、噴出孔２５３が気体を噴出する。これによって、ガラス板３００は、転換方向３１１に推進される。
【００１５】
このような動作によって、ガラス板３００の方向転換が行われる。なお、ガラス板３００を移動方向３１０と同じ方向に送り出す場合、噴出孔２５２が気体を噴出する。
【００１６】
このような移送ユニット１００および制御ユニット２００とで構成される搬送システムと、各種の処理ユニットとを組み合わせることによって、ガラス板３００の処理システムが構築される。
【００１７】
ところで、搬送システムの移送ユニット１００と制御ユニット２００とが、ガラス板３００を搬送するために、気体をガラス板３００に噴出するが、この気体がガラス板３００に当たると、摩擦による静電気がガラス板３００に帯電する。この帯電の影響によって、処理ユニットによる処理が帯電の影響を受けることになる。また、ガラス板３００にパターン等が形成されているときには、ガラス板３００からの放電によって、パターンが破壊されてしまう。
【００１８】
このような帯電による電荷を除くために、国際出願番号ＰＣＴ／ＪＰ９１／０１４６９に示されている技術がある。この技術によると、移送ユニット１００の囲い材１２０の天井部分には、図１９に示す帯電中和器２３０が設置されている。帯電中和器２３０は、プラスイオンやマイナスイオンを発生し、これらのイオンをガラス板３００に当てる。これによって、帯電したガラス板３００が中和される。制御ユニット２００にも、移送ユニット１００と同様に、帯電中和器２３０の設置が可能である。
【００１９】
しかし、この帯電除去の技術には次に示すような問題があった。つまり、移送ユニット１００がガラス板３００を搬送面１１２から浮上させるが、このとき、ガラス板３００は、気体の噴出によって、約０．２〜０．５ｍｍしか浮上しない。このために、帯電中和器２３０によってプラスイオンやマイナスイオンを含んだ気体は、ガラス板３００の上面３０１に十分に供給された。しかし、搬送面１１２と向い合う面、つまり、ガラス板３００の下面３０２と搬送面１１２との間隔が狭いので、下面３０２側には、プラスイオンやマイナスイオンを含んだ気体が回り込みにくく、ガラス板３００の下面３０２側には、プラスイオンやマイナスイオンを含む気体が十分に供給されなかった。したがって、ガラス板３００の下面３０２に溜まった電荷を完全に中和することができなかった。
【００２０】
帯電中和器２３０が制御ユニット２００に設置された場合も、同様にして、ガラス板３００の裏面に溜まった電荷を完全に中和することができなかった。
【００２１】
以上、説明したとおり、従来の帯電中和技術によれば、以下の問題点があった。つまり、板状基体の浮上によって、この板状基体を搬送する場合、板状基体が約０．２〜０．５ｍｍしか浮上しない。このために、プラスイオンやマイナスイオンを含むガスが板状基体の裏面に十分に供給されないので、板状基体の裏面の帯電を完全に中和することができないという問題点があった。
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、板状基体に対する気体の噴出によって、板状基体を浮上した状態にし、この状態で板状基体を移動、停止、静止および方向転換させる場合、板状基体に当たった気体によって、板状基体が帯電したとき、この板状基体の帯電を完全に中和することができる浮上搬送装置用の帯電中和装置および浮上搬送システムを提供することを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明の浮上搬送装置用の帯電中和装置は、搬送面に設けられた複数の噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で搬送する浮上搬送装置に設けられた浮上搬送装置用の帯電中和装置であり、
前記搬送面に溝部が設けられ、
この溝部内に設けられると共に、前記気体をイオン化する電磁波を前記溝部から、前記搬送面上の搬送空間に向けて出力する帯電中和部が設けられ、
前記溝部は、第１収納部分と、第１収納部分の底に、段差をもって形成された第２収納部分とを有し、第一収納部分に光を通す板を搬送面に対して平らに取り付けられ、電磁波源が第２収納部分に収納されている。
【００２４】
浮上搬送装置は、板状基体に気体を噴射し、板状基体は、搬送面から少しだけ浮上する。このとき、気体が板状基体に吹き付けられるので、板状基体が帯電する。
【００２５】
上記構成よれば、搬送面に設けられた溝部から電磁波が出力されるので、この電磁波が照射された、搬送面上の搬送空間の気体がイオン化される。このとき、搬送面と板状基体との、狭い空間に存在する気体が溝部から照射される電磁波によって、確実にイオン化されるので、搬送面と向い合う板状基体の下面の帯電を完全に中和することができる。また、板状基体の上面側には、電磁波によってイオン化された、多量の気体が存在するので、板状基体の上面の帯電も完全に中和することができる。
【００２６】
参考発明の浮上搬送装置用の帯電中和装置は、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で搬送する浮上搬送装置に設けられた浮上搬送装置用の帯電中和装置において、前記搬送面に設けられた少なくとも１つの帯電中和孔と、この帯電中和孔を介して、前記搬送面上の搬送空間に向けてイオンを噴出させる帯電中和部とを設けたことを特徴とする。
【００２７】
また、参考発明の浮上搬送装置用の帯電中和装置は、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で搬送する浮上搬送装置に設けられた浮上搬送装置用の帯電中和装置において、前記噴出孔にイオンを注入する帯電中和部を設けたことを特徴とする。
【００２８】
上記構成によれば、搬送面の帯電中和孔または噴出孔からイオン化された気体が板状基体に向かって吹き付けられるので、板状基体の下面の帯電を中和することができる。また、イオン化された気体の噴出によって、上面側に多量のイオン化された気体が存在し、この気体によって、板状基体の上面の帯電も中和することができる。
【００２９】
本発明の浮上搬送システムは、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で直線的に移動する移送ユニットと、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で停止、静止および方向転換の少なくとも１つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、請求項１記載の浮上搬送装置用の帯電中和装置を前記移送ユニットに設けたことを特徴とする。
【００３０】
本発明の浮上搬送システムは、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で直線的に移動する移送ユニットと、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で停止、静止および方向転換の少なくとも１つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、請求項１記載の浮上搬送装置用の帯電中和装置を前記制御ユニットに設けたことを特徴とする。
【００３１】
上記構成によれば、浮上搬送装置用の帯電中和装置を移送ユニットや制御ユニットに設けた。このとき例えば、板状基体を処理する次の処理装置等の手前に位置する移送ユニットや制御ユニットに浮上搬送装置用の帯電中和装置を設置すると、板状基体の帯電が処理装置の直前で中和されるので、帯電による影響が次の処理装置等で発生することを防ぐことができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に述べる。
【００３３】
［実施の形態１］
実施の形態１では、図１２に示す浮上搬送システムの中の移送ユニット１００として、図１に示す移送ユニットＡを用いる。移送ユニットＡは、基台１、囲い材２および帯電中和装置３を備えている。なお、囲い材２は、図１３の囲い材１２０と同じであるので、囲い材２の説明を省略する。
【００３４】
基台１は、その搬送面１Ａの中心部を除いて、図１４，１５に示す噴出孔１１３，１１５および気体室１１４，１１６と同じ噴出孔１１，１３および気体室１２をそれぞれ備えている。なお、噴出孔１３用の気体室の図示は、省略されている。搬送面１Ａの中心部には、帯電中和装置３が設置されている。実施の形態１では、噴出孔１１は、浮上用の気体を噴出する。
【００３５】
帯電中和装置３は、収納部３１、ＵＶ（Ultraviolet radiation：紫外線）ランプ３２および制御部３３を備えている。実施の形態１では、溝部が収納部３１であり、帯電中和部がＵＶランプ３２と制御部３３とで構成されている。
【００３６】
収納部３１の第１収納部分３１Ａは、搬送面１Ａの中央部に、かつ、図２に示すように、移動方向３１０に対して直角方向に設けられている、板状の溝である。第１収納部分３１Ａには、光を通す石英板３１Ｂが、第１収納部分３１Ａに対して密着状態で、かつ、搬送面１Ａに対して平らに取り付けられている。第１収納部分３１Ａの底には、第２収納部分３１Ｃが、第１収納部分３１Ａに対して段差を形成するように設けられ、ＵＶランプ３２は、収納部３１の第２収納部分３１Ｃに収められている。ＵＶランプ３２は、石英板３１Ｂに近接して、第２収納部３１Ｃに収められる。電圧がＵＶランプ３２に加えられると、ＵＶランプ３２は、紫外線を発光する。このとき、ＵＶランプ３２が石英板３１Ｂに近接して第２収納部３１Ｃに収められているので、紫外線の照射角度が大きく、紫外線は、搬送空間を広く照射する。この紫外線によって、石英板３１Ｂが位置する、搬送面１Ａの上にある搬送空間では、気体がイオン化されるので、石英板３１Ｂの上面付近は、窒素のプラスイオンとマイナスイオンとを含む雰囲気となる。
【００３７】
制御部３３は、基台１の下側に設置されて、電線３３Ａによって、ＵＶランプ３２に接続されている。制御部３３は、紫外線を発光させるための電圧を生成し、電線３３Ａを通して、この電圧をＵＶランプ３２に加える。
【００３８】
以上が、実施の形態１に係る移送ユニットＡの構成である。次に、実施の形態１の動作について説明する。
【００３９】
帯電中和装置３の制御部３３がＵＶランプ３２に電圧を加えると、図３に示すように、ＵＶランプ３２が紫外線３２Ａを出す。この紫外線３２Ａによって、石英板３１Ｂ上面側に位置する気体がイオン化されて、プラスイオン４０１とマイナスイオン４０２とが発生する。この結果、石英板３１Ｂ上面側の搬送空間は、運ばれてくるガラス板３００を中和するために十分なプラスイオン４０１とマイナスイオン４０２とを含むものとなる。
【００４０】
この状態のときに、図４に示すように、帯電されたガラス板３００が移送ユニットＡの搬送空間を通過すると、ガラス板３００の下面３０２側のマイナスの静電荷が気体のプラスイオン４０１によって中和され、上面３０１側のプラスの静電荷が気体のマイナスイオン４０２によって中和される。特に、ガラス板３００の下面３０２側では、約０．２〜０．５ｍｍの浮上間隔ｄに存在する気体が、ＵＶランプ３２からの紫外線３２Ａによって確実にイオン化され、イオン化で発生したプラスイオンによって、ガラス板３００の下面３０２のマイナス電荷を完全に中和することができる。また、イオン化で発生したマイナスイオンは、ガラス板３００の下面３０２のマイナス電荷による斥力を受け、中和されずにガラス板３００の上面３０１側に流れる。この結果、ガラス板３００の上面３０１側にはプラスイオンが十分に存在するので、上面３０１の電荷を完全に中和することができる。
【００４１】
こうして、実施の形態１によれば、帯電中和装置３のＵＶランプ３２が搬送面１Ａ側に配置されているので、ガラス板３００の上面３０１および下面３０２の帯電を確実に中和することができる。
【００４２】
また、第２収納部分３１Ｃが石英板３１Ｂによって密封されているので、第２収納部分３１Ｃからの外気等が移送ユニットＡの移送空間に入り込むことを防いで、外気等による影響を石英板３１Ｂに与えることを防止することができる。同時に、石英板３１Ｂによって、ＵＶランプ３２を保護することができる。
【００４３】
［実施の形態２］
次に、本発明の実施の形態２について説明する。
【００４４】
実施の形態２では、実施の形態１で用いられた帯電中和装置３が、図１２に示す浮上搬送システムの中の制御ユニット２００として用いられる、制御ユニットＢに設置されている。つまり、図５に示すように、移送ユニットが接続されている側の搬送面４Ａに設けられている。かつ、収納部３１の長手方向が移動方向３１０と直角に交差するように、収納部３１が設けられている。
【００４５】
これによって、移動方向３１０に進んで、制御ユニットＢの搬送空間に入るガラス板３００、または、移動方向３１０と逆に進んで、制御ユニットＢから出るガラス板３００が、基台４の搬送面４Ａに設けられている収納部３１のＵＶランプ３２上を通過するので、ガラス板３００の帯電を完全に中和することができる。
【００４６】
［実施の形態３］
次に、本発明の実施の形態３について説明する。
【００４７】
実施の形態３では、プラスイオンとマイナスイオンとを発生させるために、次のようにしている。つまり、実施の形態１，２では、プラスイオンとマイナスイオンを発生させるために、紫外線を用いたが、実施の形態３では、紫外線の代わりに、透過性の小さい軟Ｘ線（Soft X-rays）を用いる。軟Ｘ線によれば、オゾンの発生を伴わないで、プラスイオンとマイナスイオンとの生成が可能である。また、軟Ｘ線の減衰が速いために、人体に対する照射を防ぐための遮蔽対策が容易である。
【００４８】
このような軟Ｘ線を用いた帯電中和装置によっても、ガラス板３００の帯電を完全に中和することができる。
【００４９】
［実施の形態４］
次に、本発明の実施の形態４について説明する。
【００５０】
実施の形態４では、図６に示すように、帯電中和装置３の代わりに、帯電中和装置５が、移送ユニットＡの基台１の搬送面１Ａに設置されている。帯電中和装置５は、図７に示すように、イオン生成器５１Ａ，５１Ｂ、絶縁供給管５２、絶縁気体室５３および絶縁噴出孔５４を備えている。
【００５１】
イオン生成器５１Ａは、細い金属電極（図示を省略）に高電圧を加えて、プラスイオンを発生する。また、イオン生成器５１Ｂは、イオン生成器５１Ａとは異なる極性の高電圧を金属電極に加えて、マイナスイオンを発生する。イオン生成器５１Ａは、発生したプラスイオンを、絶縁供給管５２を通して、絶縁気体室５３に流し、イオン生成器５１Ｂは、発生したマイナスイオンを、絶縁供給管５２を通して、絶縁気体室５３に流す。また、図８に示すように、絶縁供給管５２、絶縁気体室５３および絶縁噴出孔５４の内壁５２Ａ，５３Ａ，５４Ａには、絶縁用の被膜が設けられている。絶縁噴出孔５４は、基台１の搬送面１Ａに設定された設置ライン５Ａ，５Ｂ上にそれぞれ配置されている帯電中和孔である。設置ライン５Ａ，５Ｂは、移動方向３１０と交差する方向に設定されている。各絶縁噴出孔５４は、気体室５３に通じ、図１の噴出孔１１と同様に、絶縁気体室５３からの気体を噴出する。
【００５２】
絶縁気体室５３は、図１の気体室１２と同様に、気体の供給を受ける。同時に、設置ライン５Ａに対応する絶縁気体室５３には、イオン生成器５１Ａからのプラスイオンが絶縁供給管５２を経て流れ込む。この結果、設置ライン５Ａ上の絶縁噴出孔５４は、プラスイオンを含んだ気体を噴出する。また、設置ライン５Ｂに対応する絶縁気体室５３には、イオン生成器５１Ｂからのマイナスイオンが絶縁供給管５２を経て流れ込む。この結果、設置ライン５Ｂ上の絶縁噴出孔５４は、マイナスイオンを含んだ気体を噴出する。
【００５３】
実施の形態４によれば、図８に示すように、プラスイオン４０１が、設置ライン５Ａ上の絶縁噴出孔５３から噴出され、マイナスイオン４０２が、設置ライン５Ｂ上の絶縁噴出孔５３から噴出される。この結果、絶縁噴出孔５３の周囲の搬送空間は、ガラス板３００の帯電を中和するために十分なプラスイオン４０１とマイナスイオン４０２とを含むものとなる。この状態のときに、図９に示すように、帯電されたガラス板３００が移送ユニットＡの搬送空間を通過すると、ガラス板３００の上面３０１側のプラスの静電荷がマイナスイオン４０２によって中和され、下面３０２側のマイナスの静電荷がプラスイオン４０１によって中和される。特に、設置ライン５Ａ上の絶縁噴出孔５３からのプラスイオン４０１が、ガラス板３００の下面３０２に直接当たるので、従来では、中和することができなかった下面３０２側の静電荷を除くことができる。
【００５４】
また、帯電中和装置５がイオン生成器５１からのプラスイオン４０１とマイナスイオン４０２とを、絶縁供給管５２を経て絶縁気体室５３に注入するだけの、簡単な構造であるので、移送ユニットＡの大幅な変更を不要にして、帯電を完全に中和することを可能にする。
【００５５】
［実施の形態５］
次に、本発明の実施の形態５について説明する。
【００５６】
実施の形態５では、実施の形態４で用いられた帯電中和装置５が制御ユニットＢに設置されている。つまり、図１０に示すように、移送ユニットが接続されている側の搬送面４Ａに、設置ライン５Ａ，５Ｂが設けられている。かつ、設置ライン５Ａ，５Ｂは、移動方向３１０と直角に交差するように配置されている。
【００５７】
これによって、移動方向３１０に進んで、制御ユニットＢの搬送空間に入るガラス板３００、または、移動方向３１０と逆に進んで、制御ユニットＢの搬送空間から出るガラス板３００が、設定ライン５Ａ，５Ｂに配置されている噴出孔５４上を通過するので、ガラス板３００の帯電を完全に中和することができる。
【００５８】
［実施の形態６］
次に、本発明の実施の形態６について説明する。
【００５９】
実施の形態６では、実施の形態４で用いられた帯電中和装置５が制御ユニットＢに設置されている。つまり、図１１に示すように、制御ユニットＢの搬送面４Ａに設定されている設定ライン２２３に配置されている絶縁噴出孔２６１、および、外側の設定ライン２２４に配置されている絶縁噴出孔２６２が、プラスイオンとマイナスイオンとをそれぞれ噴出する絶縁噴出孔５４として用いられている。
【００６０】
これによって、移動方向３１０から制御ユニットＢに移動するガラス板３００の中心が、噴出孔２１４と絶縁噴出孔２６１，２６２とから噴射される気体によって、中心の吸引孔２１３に移動される。同時に、ガラス板３００の裏面には、絶縁噴出孔２６１からのプラスイオンと絶縁噴出孔２６２からのマイナスイオンとが直接噴射される。この結果、従来では、中和することができなかった、ガラス板３００の裏面側の静電荷を除くことができる。
【００６１】
［実施の形態７］
次に、本発明の実施の形態７について説明する。
【００６２】
実施の形態７では、気体を供給する供給系とは、通じていない気体室を用いる。つまり、実施の形態４〜６では、イオン生成器が気体の供給系と通じている気体室にイオンを供給したが、実施の形態７では、送風機能を持つイオン生成器が用いられる。これによって、イオン生成器と供給系とを分離することができる。
【００６３】
以上、実施の形態１〜実施の形態７について説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されることはない。例えば、実施の形態１〜実施の形態７では、補助的な帯電中和手段として、従来の帯電中和器２３０を併用することが可能である。
【００６４】
また、噴出孔１１から噴出する気体として、高純度乾燥空気、高純度窒素ガス、高純度アルゴンガス、高純度炭酸ガス等を用いることが可能である。ウエハを気流搬送する場合には、搬送用のガスとして、不純物濃度が数ｐｐｂ以下の高純度窒素ガスを用いるのが最適である。
【００６５】
また、浮上搬送システムとして、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のガラス板等を気流搬送するものを例としたが、本発明は、ガラス板に限られることなく、各種板状基体を搬送するシステムに適用可能である。
【００６６】
さらに、移送ユニットと制御ユニットとに設けられた噴出孔の配列方式としては、各種のものがあるが、本発明は、これら各種の配列方式にも適用が可能である。
【００６７】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、搬送面に設けられた溝部と、この溝部内に設けられると共に、気体をイオン化する電磁波を溝部から、搬送面上の搬送空間に向けて出力する帯電中和部とを設けた。また、電磁波が紫外線または軟Ｘ線である。この結果、搬送面と板状基体の下面との狭い空間にある気体が溝部から照射される紫外線などの電磁波によって、確実にイオン化されるので、板状基体の下面の帯電を完全に中和することができる。同時に、板状基体の上面側には、電磁波の照射によるイオン化された気体が多量に存在するので、板状基体の上面の帯電も完全に中和することができる。
【００６８】
本発明によれば、搬送面に設けられた少なくとも１つの帯電中和孔と、この帯電中和孔を介して、搬送面上の搬送空間に向けてイオンを噴出させる帯電中和部とを設けた。また、噴出孔にイオンを注入する帯電中和部を設けたので、搬送面の帯電中和孔や噴出孔からイオン化された気体が板状基体に向かって吹き付けられる。これによって、板状基体の下面の帯電を中和することができる。同時に、板状基体の上面側には、イオン化された気体の噴出による多量のイオン化された気体が存在するので、板状基体の上面の帯電をも完全に中和することができる。
【００６９】
本発明によれば、浮上搬送装置用の帯電中和装置を移送ユニットに設けた。また、搬送装置用の帯電中和装置を制御ユニットに設けた。これによって、浮上搬送システムの任意の位置で板状基体の帯電を中和する。例えば、板状基体を処理する次の処理装置等の手前に位置する移送ユニットや制御ユニットに浮上搬送装置用の帯電中和装置を設置すると、板状基体の帯電が処理装置の直前で中和されるので、帯電による影響が次の処理で発生することを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１に係わる移送ユニットの断面を示す断面図である。
【図２】上記移送ユニットの搬送面を示す平面図である。
【図３】実施の形態１の動作を説明するための説明図である。
【図４】実施の形態１の動作を説明するための説明図である。
【図５】実施の形態２に係る移送ユニットの搬送面を示す平面図である。
【図６】実施の形態４に係る移送ユニットの搬送面を示す平面図である。
【図７】上記移送ユニットの断面を示す断面図である。
【図８】実施の形態４の動作を説明するための説明図である。
【図９】実施の形態４の動作を説明するための説明図である。
【図１０】実施の形態５に係る制御ユニットの搬送面を示す平面図である。
【図１１】実施の形態６に係る制御ユニットの搬送面を示す平面図である。
【図１２】従来の板状基体搬送システムを示す平面図である。
【図１３】従来の移送ユニットを示す斜視図である。
【図１４】図１３のＩ−Ｉ断面図である。
【図１５】図１３のＩＩ−ＩＩ断面図である。
【図１６】従来の移送ユニットによる噴出方向を示す説明図である。
【図１７】従来の制御ユニットを示す斜視図である。
【図１８】従来の移送ユニットによる噴出方向を示す説明図である。
【図１９】従来の帯電中和器の設置の様子を示す断面図である。
【符号の説明】
Ａ，１００ 移送ユニット
Ｂ，２００ 制御ユニット
１，４，１１０，２１０ 基台
１Ａ，４Ａ，１１２，２１２ 搬送面
２，１２０，２２０ 囲い材
３，５ 帯電中和装置
５Ａ 設置ライン
１１，４１Ａ，４２Ａ，１１３，１１５，２１５〜２１８，２５１〜２５３ 噴出孔
１２，１１４，１１６ 気体室
３１ 収納部
３１Ａ 第１収納部分
３１Ｂ 石英板
３１Ｃ 第２収納部分
３２ ＵＶランプ
３３ 制御部
３３Ａ 電線
４１，４２，２２１〜２２６ 設定ライン
４５，２１３ 吸引孔
５１Ａ，５１Ｂ イオン生成器
５２ 絶縁供給管
５２Ａ，５３Ａ，５４Ａ 内壁
５３ 絶縁気体室
５４，２６１，２６２ 絶縁噴出孔
１１１，２１１ 供給系
１１２Ａ 中心
１１３Ａ，１１５Ａ，２１４Ａ〜２１８Ａ，２５１Ａ〜２５３Ａ 噴出方向
２３０ 帯電中和器
３００ ガラス板
３０１ 上面
３０２ 下面
３１０ 移動方向
３１１ 転換方向
４０１ プラスイオン
４０２ マイナスイオン
Claims (6)
- 搬送面に設けられた複数の噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で搬送する浮上搬送装置に設けられた浮上搬送装置用の帯電中和装置であり、
前記搬送面に溝部が設けられ、
この溝部内に設けられると共に、前記気体をイオン化する電磁波を前記溝部から、前記搬送面上の搬送空間に向けて出力する帯電中和部が設けられ、
前記溝部は、第１収納部分と、第１収納部分の底に、段差をもって形成された第２収納部分とを有し、第一収納部分に光を通す板を搬送面に対して平らに取り付けられ、電磁波源が第２収納部分に収納されている浮上搬送装置用の帯電中和装置。 - 前記電磁波が紫外線または軟Ｘ線であることを特徴とする請求項１記載の浮上搬送装置用の帯電中和装置。
- 搬送面にライン状に設置されている請求項１記載の帯電中和装置。
- 搬送方向に対して直角に交差させて配置されている請求項１記載の帯電中和装置。
- 搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で直線的に移動する移送ユニットと、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で停止、静止および方向転換の少なくとも１つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、請求項１記載の浮上搬送装置用の帯電中和装置を前記移送ユニットに設けたことを特徴とする浮上搬送システム。
- 搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で直線的に移動する移送ユニットと、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で停止、静止および方向転換の少なくとも１つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、請求項１記載の浮上搬送装置用の帯電中和装置を前記制御ユニットに設けたことを特徴とする浮上搬送システム。
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