TW201924490A

TW201924490A - 電離器

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Publication number: TW201924490A
Application number: TW107131976A
Authority: TW
Inventors: 安岡孝; 今野優; 土屋元
Original assignee: 日商Ｓｍｃ股份有限公司
Priority date: 2017-10-19
Filing date: 2018-09-12
Publication date: 2019-06-16
Also published as: JP2019075349A; US11075505B2; EP3474396B1; CN109687295B; US20190123519A1; KR102624353B1; JP6960582B2; KR20190044000A; CN109687295A; TWI798258B; EP3474396A1

Abstract

[課題]能夠以少量的壓縮空氣將離子效率良好地朝向除電對象進行搬運。　　[解決手段]具有：放電針(4)；放電針保持具(31)，係保持該放電針(4)；以及搬運空氣噴射機構(32)，係朝向除電對象噴射離子搬運用的空氣；該搬運空氣噴射機構(32)，係配置在相鄰於前述放電針保持具(31)的位置，並具有：驅動噴嘴(45)，係具有驅動空氣噴出口(48)；以及擴散器(46)，係隔著外氣吸入間隙(51)配置於該驅動噴嘴(45)的前方；於該擴散器(46)的內部，以與前述驅動空氣噴出口(48)同軸的方式形成有搬運空氣流通孔(52)，於該搬運空氣流通孔(52)的前端，形成有用以噴射前述搬運空氣的搬運空氣噴射口(53)。

Description

電離器

本發明係關於電離器，其係使用於因靜電而帶電之除電對象的除電。

在自因靜電而帶電的除電對象去除靜電(除電)時，係使用電離器。該電離器，係具備藉由施加高電壓發生電暈放電以產生離子的放電針，並使該放電針所產生的離子隨著從噴嘴所噴射的氣流噴吹至除電對象，藉此中和靜電。交流(AC)式的電離器，係具有1個放電針，並構成為藉由對於該1個放電針施加交流高電壓使正負離子交互產生，直流(DC)式的電離器，係具有2個放電針，並構成為對於2個放電針當中一方的放電針施加正電直流高電壓而產生正離子，對於另一方的放電針施加負電直流高電壓而產生負離子。

就以往之電離器而言，為了將前述放電針所產生的離子效率良好地藉由氣流搬運至除電對象，係例如專利文獻1~3所揭示般，運用各種技術以產生適合於搬運離子的流量及流速之氣流。

於專利文獻1中，係於噴嘴設置收容有放電電極的離子生成室，以及包圍該離子生成室的4個空氣通過孔，藉由從該空氣通過孔朝向噴嘴的前方釋出空氣，使從前述離子生成室朝向噴嘴的前方釋出的離子隨著來自前述空氣通過孔的氣流以大範圍飛散。　　然而於該第1習知例中，因通過4個空氣通過孔噴射壓縮空氣，故為了使該壓縮空氣的流量及流速增加以提高除電能力，必須提高前述壓縮空氣的供給壓力，或是使前述空氣通過孔的孔徑增大，因此會有使壓縮空氣的消費量增加的情形。

另外，於專利文獻2中，係以包圍收容有放電電極的收容孔的方式形成有4個噴出口，從該噴出口對於開口有前述收容孔的空氣增幅室內噴射壓縮空氣，將該壓縮空氣與自前述放電電極產生的離子一起通過連通於前述空氣增幅室的釋出孔進行噴射，此時，從形成於前述空氣增幅室的空氣導入孔吸引並接收外氣，將該外氣一起進行噴射，藉此使從前述釋出孔噴射的空氣流量增加。

然而，於該第2習知例中，亦會為了從多個噴出口噴射壓縮空氣而使壓縮空氣的消費量增加。另外，因在接近放電電極的針尖的位置，使來自前述噴出口的壓縮空氣以一部分的壓縮空氣沿著針尖流動的方式進行噴射，故在該針尖的附近高速流動的空氣的流量會增加，而有該高速氣流對於離子之產生造成不良影響之虞。

並且，於專利文獻3中，係於由收容有放電電極的封閉空間構成的離子生成室的前端形成有縮徑的空氣釋出口，於該空氣釋出口連接細長的噴射管，藉由從空氣送出管對於該噴射管內高速噴出空氣，使該噴射管的內部成為負壓而使前述離子生成室內的離子空氣導入該噴射管的內部，並將導入了的離子空氣從前述噴射管的前端朝向外部射出。此時，於前述離子生成室，會從空氣流入口流入外氣。

然而，就該第3習知例的情形而言，放電電極所產生的離子，不僅容易接觸而附著於離子生成室的壁面或噴射管的內面等，且所產生的所有離子會在集束於小徑之前述噴射管內的狀態被導入，使正負離子容易接觸而中和，有因離子減少而造成除電效率降低之虞。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2004-228069號公報　　[專利文獻2]日本特開2012-54088號公報　　[專利文獻3]日本特開2004-95271號公報

[發明所欲解決的技術課題]

本發明係為解決前述以往問題而完成者，其目的在於能夠以少量的壓縮空氣將離子效率良好地朝向除電對象進行搬運。 [用以解決課題的技術方案]

為解決前述課題，本發明之電離器，係具有：放電針，係藉由施加高電壓而發生電暈放電以產生離子；放電針保持具，係保持該放電針；以及搬運空氣噴射機構，係朝向除電對象噴射離子搬運用的空氣。　　前述放電針保持具，係具有：放電針收容室；輔助空氣流入口，係連通至該放電針收容室的基端部；以及輔助空氣流出口，係於該放電針收容室的前端部以直接連通至外部空間的方式開口；於前述放電針收容室的內部，前述放電針，係以使針尖自前述輔助空氣流出口緊鄰外部空間的姿勢被收容，在該放電針的外周與前述放電針收容室及輔助空氣流出口的內周之間，形成有從前述輔助空氣流入口到達前述輔助空氣流出口的輔助空氣流通間隙，前述搬運空氣噴射機構，係配置在相鄰於前述放電針保持具的位置，並具有：驅動噴嘴，係具有基端的驅動空氣導入口及前端的驅動空氣噴出口；以及擴散器，係隔著外氣吸入間隙配置於該驅動噴嘴的前方；於前述擴散器的內部，以與前述驅動空氣噴出口同軸的方式形成有比前述驅動空氣噴出口更大徑的搬運空氣流通孔，於該搬運空氣流通孔的前端，形成有用以噴射前述搬運空氣的搬運空氣噴射口。

於本發明中，係較佳為：前述搬運空氣噴射機構的驅動噴嘴及擴散器，係在與通過前述放電針的中心的放電針軸線不同的位置，沿著平行於該放電針軸線的噴嘴軸線配置。　　另外，前述外氣吸入間隙，係在與前述噴嘴軸線正交的所有方向皆直接連通至前述外部空間，前述搬運空氣噴射口，係對於前述外部空間直接開口亦可。

於本發明中，前述放電針，係藉由施加交流高電壓而使正離子及負離子交互產生的交流用的放電針，對於1個放電針配置1個或2個搬運空氣噴射機構亦可；或者，前述放電針，係藉由施加直流高電壓而使正離子或負離子產生的直流用的放電針，對於正負一對放電針配置1個搬運空氣噴射機構亦可。

於本發明中，係較佳為：具有個別形成並相互結合的第1構件及第2構件，於前述第1構件，係設置有前述放電針保持具及驅動噴嘴，並且保持有前述放電針，於前述第2構件，係設置有前述擴散器。　　另外，係較佳為：藉由前述第1構件及第2構件與放電針形成放電針匣，該放電針匣以裝卸自如的方式安裝於電離器的主體。在此情形，前述主體，係將複數個主體塊以直列且能夠增減的方式進行連結而形成，並於各主體塊安裝前述放電針匣。 [發明之效果]

依據本發明，藉由設置具有驅動噴嘴及擴散器的搬運空氣噴射機構，能夠藉由該搬運空氣噴射機構的噴射器效果(ejector effect)，在使離子搬運用的空氣增加了的狀態朝向除電對象以高速噴射，因此能夠藉由少量的空氣將離子效率良好地朝向除電對象搬運。

第1圖及第2圖，係表示本發明之電離器1的一實施形態。該電離器1，係於半導體晶圓或液晶玻璃等之各種工件W的處理步驟中，使用在因靜電而帶電的該工件W的除電者，並具有：電離器本體2，係具備藉由施加交流高電壓而發生電暈放電以產生離子的放電針4；以及操作盤3，係操作電離器的整體。

前述操作盤3係具有：第1操作盤3a，係內建有交流高電壓電路的；以及第2操作盤3b，係具備各種操作鈕6或燈7、顯示部8等；該第2操作盤3b，係安裝於前述第1操作盤3a的側面，該操作盤3，係藉由從前述第1操作盤3a延伸出的纜線9電性連接於前述電離器本體2。

前述電離器本體2，係沿著主體軸線L之細長形狀的條型(bar-type)者，並具有主體10。該主體10，係藉由將複數個主體塊11a~11e沿著前述主體軸線L以直列且能夠增減的方式進行連結而形成，於該主體10的內部，形成有沿著前述主體軸線L延伸的空氣供給流路12。另外，於各個前述複數個主體塊11a~11e，以裝卸自如的方式安裝有具備前述放電針4的1個放電針匣13。於圖示之例中，係藉由5個主體塊11a~11e形成前述主體10。

前述5個主體塊11a~11e當中，位於電離器本體2的最基端側(圖之右側)的第1主體塊11a的構造，與其他之第2~第5主體塊11b~11e的構造有若干不同，前述第2~第5主體塊11b~11e的構造係彼此為相同構造。以下，針對各主體塊的構造進行說明。

前述第1主體塊11a，係於下面具有用以安裝前述放電針匣13的凹狀的匣安裝部15，流路孔12a係沿著前述主體軸線L從該第1主體塊11a的基端至前端貫穿該第1主體塊11a的內部。該流路孔12a，係形成前述空氣供給流路12的一部分。

於前述第1主體塊11a的基端部，係以連通至前述流路孔12a的端部的方式形成有用以安裝管接頭17的接頭安裝孔16，於該接頭安裝孔16的前述管接頭17，連接有連通至壓縮空氣源18的配管軟管19。另外，於前述第1主體塊11a的基端部，形成有纜線連接部20，於該纜線連接部20，連接有來自前述操作盤3的纜線9。

並且，於前述第1主體塊11a的前端部，如第3圖所示，形成有：一對彈性卡止片21，係彈性卡止於相鄰的第2主體塊11b的一對卡止部25；連接管部22，係經由密封構件23氣密地嵌合於相鄰的第2主體塊11b的連接孔26；以及遮蔽板24，係從下面側覆蓋前述彈性卡止片21所造成的連結部分。前述連接管部22，係使前述流路孔12a連通至相鄰的第2主體塊11b的流路孔12a。

另一方面，前述第2~第5主體塊11b~11e，係僅於各自的基端部形成有前述卡止部25及連接孔26以取代形成於前述第1主體塊11a的基端部的前述接頭安裝孔16及纜線連接部20之處，以及主體軸線L方向的長度比第1主體塊11a的相同方向長度稍短之處與該第1主體塊11a不同，除此以外實質上具有與該第1主體塊11a相同的構成。因此，針對該等第2~第5主體塊11b~11e，與前述第1主體塊11a相同的構成部分，係賦予與該第1主體塊11a相同的符號，並省略其詳細說明。

另外，於前述第5主體塊11e的前端，安裝有封塞前述空氣供給流路12的前端的端塊27。該端塊27，係具有經由密封構件23氣密地嵌合有前述第5主體塊11e的連接管部22之連接孔28，該連接孔28的前端的開口部係藉由栓29氣密地封塞。圖中的附加符號30的構件，係覆蓋前述主體10的上面及側面的罩件。如此連結了的前述第1~第5主體塊11a~11e，係藉由通過該等的內部之連結桿14(參照第4圖)保持為連結狀態。　　又，於以下的說明中，在沒有必要將第1~第5主體塊11a~11e彼此區分時，係將該等僅稱為「主體塊11」。

接著，針對前述放電針匣13進行說明。該放電針匣13，係如第3圖~第8圖所示，具有：前述放電針4、保持該放電針4的放電針保持具31、朝向作為除電對象的工件W噴射搬運空氣的搬運空氣噴射機構32。

前述放電針4，係具有由金屬構成的大徑的基端安裝部33，以及從該基端安裝部33的前端延伸出的金屬製的放電針本體34，於該放電針本體34的前端，形成有漸尖的圓錐狀的放電部34a，當於該放電針4施加有交流高電壓，則前述放電部34a產生電暈放電而使正離子及負離子交互產生。

又，前述放電針4，係構成在將前述放電針匣13安裝於主體塊11時，會通過設置於該主體塊11的端子35接觸於導電構件36，並經由該導電構件36連接至前述纜線9而藉此連接至前述第1操作盤3a的交流高電壓電路，前述導電構件36，係分別設置於第1~第5主體塊11a~11e，當依序連接該主體塊11a~11e時，會依序電性連接。

前述放電針保持具31，係具有收容了前述放電針4的孔狀的放電針收容室37。該放電針收容室37，係以沿著正交於前述主體軸線L的第1軸線L1的方式延伸，並具有基端側的大徑部37a，以及連續於該大徑部37a的前端的小徑部37b，該小徑部37b的內徑係比前述大徑部37a的內徑更小。另外，於前述大徑部37a，設置有連通至前述主體塊11的空氣供給流路12的輔助空氣流入口38，於前述小徑部37b的前端，以直接連通至外部空間40的方式開口有輔助空氣流出口39。前述小徑部37b，係形成於噴嘴狀的筒部41的前端部分，於該筒部41的前端開口有前述輔助空氣流出口39。

並且，於前述放電針收容室37的內部，前述放電針4，係沿著前述第1軸線L1，將基端安裝部33收容於前述大徑部37a內，並且在將前述放電針本體34以從前述大徑部37a跨越至小徑部37b的方式配置的狀態，以使針尖34b自前述輔助空氣流出口39稍微突出至外部空間40的姿勢被收容。因此，前述第1軸線，亦可為通過前述放電針4的中心的放電針軸線。

在前記放電針4的外周與前記大徑部37a及小徑部37b的內周之間，形成有從前述輔助空氣流入口38到達前述輔助空氣流出口39的輔助空氣流通間隙42。該輔助空氣流通間隙42，係在前記放電針4的基端安裝部33與前記大徑部37a之間以及前述放電針本體34與前述小徑部37b之間分別縮徑。因此，從前述空氣供給流路12流入至前述輔助空氣流通間隙42內的空氣流量少，故從前述輔助空氣流出口39沿著前述放電針4的針尖34b流出至外部的空氣流量亦少。因此，能夠防止空氣流量及壓力在前述放電針4的針尖34b的周邊上升所導致之離子產生效率的降低，並且能夠防止微小的空氣的流動導致髒汙附著於放電針4的放電部34a之情事。

前述放電針4的針尖34b，並非必須從前述輔助空氣流出口39突出至外部空間40，位於與該輔助空氣流出口39的開口端為相同的平面上亦可，或者，位於比該開口端稍微後退的位置亦可。亦即，前述針尖34b，只要以從前述輔助空氣流出口39緊鄰前述外部空間40的方式配置即可。

前述搬運空氣噴射機構32，係具有驅動噴嘴45及擴散器46，該驅動噴嘴45及擴散器46，係在與前述放電針保持具31的放電針收容室37相鄰的位置，沿著平行於前述第1軸線L1的第2軸線L2配置。該第2軸線L2，亦能夠稱為噴嘴軸線L2。

前述驅動噴嘴45，係具有：驅動空氣流通孔47，係於基端具有驅動空氣導入口47a；以及驅動空氣噴出口48，係連續於該驅動空氣流通孔47的前端；該驅動空氣噴出口48的口徑，係比前述驅動空氣流通孔47的孔徑更為小徑。另外，前述驅動空氣導入口47a，係連通至前述主體塊11的空氣供給流路12。

前述擴散器46係圓柱狀，經由外氣吸入間隙51配置於前述驅動噴嘴45的前方，於該擴散器46的內部，在與前述驅動空氣噴出口48同軸的位置，形成有比該驅動空氣噴出口48更為大徑的搬運空氣流通孔52，於該搬運空氣流通孔52的前端，形成有用以噴射搬運空氣的搬運空氣噴射口53。

前述搬運空氣流通孔52，於第3圖所示之例中，係形成為該搬運空氣流通孔52的全長皆具有一定的內徑的形狀，然而該搬運空氣流通孔52的形狀，如第5圖(a)所示，為基端部52a呈外擴狀的圓錐面的形狀亦可，如第5圖(b)所示，為基端部52a與前端部52b分別呈外擴狀的圓錐面，且中間部52c具有一定的內徑的形狀亦可，或者，如第5圖(c)所示，為基端部52a呈外擴狀的圓錐面，且從該基端部52a至前述搬運空氣噴射口53的部分52d之整體呈漸擴的形狀亦可。在此情形，前述漸擴的部分52d的內面，係朝向前述搬運空氣噴射口53呈直線狀亦可，係朝向孔的內側呈凸起的曲面亦可。

形成有前述外氣吸入間隙51的位置，係位於比前述輔助空氣流出口39的開口端及前述放電針4的針尖34b更後方，另外，形成有前述搬運空氣噴射口53的位置，係位於比前述輔助空氣流出口39的開口端及放電針4的針尖34b更前方。並且，前述外氣吸入間隙51及搬運空氣噴射口53，不會經由例如孔般之因剖面積縮小導致壓力損耗增加的限制流路，而是直接連通至前述外部空間40。亦即，前述外氣吸入間隙51，係在與前述第2軸線L2正交的所有方向(擴散器46的全周)皆直接連通至前述外部空間40，前述搬運空氣噴射口53係對於前述外部空間40直接開口。

前述搬運空氣噴射機構32，係具有作為噴射器的功能，當從前述驅動噴嘴45的驅動空氣噴出口48至前述擴散器46的搬運空氣流通孔52內，高速吹入有前述空氣供給流路12所供給的驅動空氣時，該搬運空氣流通孔52內會成為負壓狀態，故外部空間40的空氣會通過前述外氣吸入間隙51被吸引至前述搬運空氣流通孔52內，而與來自前述驅動噴嘴45的驅動空氣一起從前述搬運空氣噴射口53被噴射。

為使前述放電針保持具31及搬運空氣噴射機構32的構造簡單合理，係如第6圖~第8圖所示，前述放電針匣13係藉由將以合成樹脂分別形成的第1構件61與第2構件62彼此結合而形成，於前述第1構件61一體形成有前述放電針保持具31及驅動噴嘴45，並且保持有前述放電針4，於前述第2構件62一體形成有前述擴散器46。　　作為前述合成樹脂，PBT樹脂(聚對苯二甲酸丁二酯樹脂)或ABS樹脂(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚樹脂)等。

前述第1構件61，係具備：圓柱形的主軀幹部63；一對卡止突部64、64，係形成於該主軀幹部63的直徑方向的兩側面；圓柱部65，係從前述主軀幹部63的上端沿著前述第1軸線L1朝向上方延伸；大致橢圓形的凸緣部66，係形成於前述主軀幹部63的下端部；ㄈ字形的框部67，係連續至該凸緣部66的下面；以及缺口部68，係連通該框部67的內側空間與前述凸緣部66的上部空間。

前述圓柱部65的外徑係比前述主軀幹部63的外徑更小，前述凸緣部66的短軸方向的直徑係比前述主軀幹部63的外徑更大。另外，前述卡止突部64，係朝向前述主軀幹部63的圓周方向逐漸傾斜，該傾斜方向係與右螺絲的螺牙為相同方向。並且，於前述主軀幹部63的外周，安裝有環狀的主密封構件69，於前述放電針4的上端部之從前述圓柱部65朝向上方突出的部分安裝有O形環70。

又，在前述圓柱部65及主軀幹部63的內部形成有前述放電針收容室37，並且於前述圓柱部65的側面形成有前述輔助空氣流入口38，前述筒部41的前端係延伸至前述框部67的內部。另外，在相鄰於前述主軀幹部63的內部的前述放電針收容室37的位置，形成有前述驅動噴嘴45的驅動空氣流通孔47，並於該主軀幹部63的上面開口有前述驅動空氣導入口47a。

另一方面，前述第2構件62，係具有：矩形框狀的本體部71；以及一對板狀部72，係從該本體部71之相對向的一對框邊71a、71a以與前述第1軸線L1平行的方式立起；於前述本體部71的另一對框邊71b、71b之一方，沿著前述第2軸線L2一體形成有前述擴散器46。

並且，前述第2構件62，係插入至前述第1構件61的框部67內而固定，藉此組裝前述放電針匣13。此時，前述第1構件61與第2構件62的固定，係藉由使形成於該第2構件62的本體部71的外面之小的卡止突起咬入至前述該第1構件61的框部67的內面而卡止來進行。

如此形成之前述放電針匣13，係嵌合於形成在前述主體塊11的前述匣安裝部15內，藉此安裝於該主體塊11。該安裝，係藉由使前述放電針匣13繞第1軸線L1成為與第3圖所示的方向相差90度的方向並插入至前述匣安裝部15內之後，順時針旋轉90度成為第3圖所示的方向來進行。如此，則如第4圖所示，前述一對卡止突部64、64，係卡止於形成在前述匣安裝部15的內壁的相對向位置的一對卡止段壁73、73，故前述放電針匣13以固定狀態安裝於前述主體塊11。此時，前述凸緣部66係抵接於前述主體塊11的下面，並且該凸緣部66的上面的突起74係嵌合於前述主體塊11的下面的凹部75，藉此前述放電針匣13使定位於該方向。

若如此使前述放電針匣13安裝於前述主體塊11，則裝設於前述放電針4的O形環70，係以壓縮的狀態中介於前述圓柱部65的上端面65a與匣安裝部15的上壁面15a之間，藉此隔絕前述放電針收容室37與前述空氣供給流路12，前述主密封構件69，係將前述主軀幹部63的外周與匣安裝部15的內周之間密封。另外，前述圓柱部65的側面的前述輔助空氣流入口38，以及前述主軀幹部63的上面的前述驅動空氣導入口47a，係連通至前述空氣供給流路12。　　又，在將前述放電針匣13自前述主體塊11卸除時，使該放電針匣13逆時針旋轉90度，而使前述卡止突部64自前述卡止段壁73脫離即可。

在使用具有前述構成的電離器1將工件W除電時，藉由操作前述操作盤3，對於電離器本體2的各放電針4施加交流高電壓，並且從壓縮空氣源18對於空氣供給流路12供給壓縮空氣。如此，會於前述放電針4的前端的放電部34a產生電暈放電，使空氣分子被離子化而交互產生正及負離子，所產生的離子係釋出至前述放電針4的針尖34b所緊鄰的外部空間40。

另外，供給至前述空氣供給流路12的空氣，係在流量被制限的狀態從前述放電針保持具31的輔助空氣流入口38流入至前述放電針收容室37內，並且從前述搬運空氣噴射機構32的驅動空氣導入口47a流入至前述驅動空氣流通孔47內。

流入至前述放電針收容室37內的空氣，會通過前述放電針本體34的周圍的輔助空氣流通間隙42以少量逐漸流出至外部空間40，藉由該空氣的流動，能夠防止垃圾附著在前述放電針本體34之放電部34a的外周。

另一方面，從前述驅動空氣導入口47a流入至驅動空氣流通孔47內的空氣，會從前述驅動空氣噴出口48高速吹入至前述搬運空氣流通孔52內。如此，前述搬運空氣流通孔52的內部會成為負壓狀態，故外部空間40的空氣會通過前述外氣吸入間隙51被吸引至前述搬運空氣流通孔52內，而與來自前述驅動噴嘴45的驅動空氣一起從前述搬運空氣噴射口53被朝向工件W噴射。藉由該搬運空氣的噴射，該前述放電針4所產生並釋出至外部空間40的離子，與該外部空間40的空氣一起被捲入前述搬運空氣的噴流而被朝向工件W搬運，並藉由到達該工件W來進行該工件W的除電。

此時，從前述搬運空氣噴射口53所噴射的空氣量，比前述驅動空氣更為增加，風速亦因該增加而變快，故包含前述離子的氣流到達工件W的時間亦會提早。因此，能夠藉由少量的空氣將離子效率良好地朝向除電對象搬運，能夠使作為電離器1的性能指標之衰減時間(至靜電帶電量減少90%為止的時間)縮短。　　又，依據使用電腦所進行的風速分析結果，作為前述搬運空氣噴射機構32，將使用如本實施形態般藉由設置擴散器而具有噴射器功能者的情形，與使用如以往般不具有擴散器者(不具有噴射器功能者)的情形相比，係如第9圖所示，確認到在相同的消費流量的條件下，在使用具有噴射器功能者的情形風速較快。

又，於前述實施形態中，雖僅設置1組之前述搬運空氣噴射機構32，該搬運空氣噴射機構32，亦能夠在前述放電針4的周圍以等間隔設置複數組。例如，在設置2組前述搬運空氣噴射機構32的情形，於第3圖以噴嘴軸線L2’所示的位置，亦即在隔著放電針4與前述搬運空氣噴射機構32為左右相反側的位置，能夠再配置另1組搬運空氣噴射機構。亦即，在隔著放電針4彼此左右對稱的位置各配置1組搬運空氣噴射機構即可。

另外，於前述實施形態中，前述輔助空氣流出口39的開口端及前述放電針4的針尖34b，係配置於前述外氣吸入間隙51與搬運空氣噴射口53之間的位置，然而該輔助空氣流出口39的開口端及放電針4的針尖34b，係配置於與前述外氣吸入間隙51同等的位置或更後方的位置亦可，或者配置於與搬運空氣噴射口53同等的位置或更前方的位置亦可。

並且，前述實施形態的電離器1係AC式，故前述放電針匣13具備1個放電針4，然而本發明亦能夠運用於放電針匣具備2個放電針之DC式的電離器。在此情形，例如能夠如第10圖所示之放電針匣13A般，於正極及負極的2個放電針4a、4b的中間位置，配置具備了驅動噴嘴45及擴散器46的1組搬運空氣噴射機構32。該放電針匣13A的其他構成，與第3圖的放電針匣13實質相同，故對於主要的構成部分附加與第3圖所使用的符號相同的符號而省略其說明。

1‧‧‧電離器

4、4a、4b‧‧‧放電針

10‧‧‧主體

11a、11b、11c、11d、11e‧‧‧主體塊

13、13A‧‧‧放電針匣

31‧‧‧放電針保持具

32‧‧‧搬運空氣噴射機構

34b‧‧‧針尖

37‧‧‧放電針收容室

38‧‧‧輔助空氣流入口

39‧‧‧輔助空氣流出口

40‧‧‧外部空間

42‧‧‧輔助空氣流通間隙

45‧‧‧驅動噴嘴

46‧‧‧擴散器

47a‧‧‧驅動空氣導入口

48‧‧‧驅動空氣噴出口

51‧‧‧外氣吸入間隙

52‧‧‧搬運空氣流通孔

53‧‧‧搬運空氣噴射口

61‧‧‧第1構件

62‧‧‧第2構件

L1‧‧‧放電針軸線(第1軸線)

L2‧‧‧噴嘴軸線(第2軸線)

W‧‧‧工件(除電對象)

[第1圖]係本發明之電離器的側視圖。　　[第2圖]係將電離器本體在寬度方向的中央位置朝向長度方向切斷了的剖面圖。　　[第3圖]係第2圖的特取部分放大圖。　　[第4圖]係沿著第3圖的IV-IV線的剖面圖。　　[第5圖](a)~(c)，係表示擴散器的搬運空氣流通孔的孔形狀的變形例的特取部分剖面圖。　　[第6圖]係從斜上方觀察放電針匣的立體圖。　　[第7圖]係從斜下方觀察放電針匣的立體圖。　　[第8圖]係第6圖的放電針匣的分解立體圖。　　[第9圖]係表示風速的分析結果的線圖。　　[第10圖]係表示本發明之電離器的其他實施形態的特取部分剖面圖。

Claims

一種電離器，其特徵為：具有：　　放電針，係藉由施加高電壓而發生電暈放電以產生離子；放電針保持具，係保持該放電針；以及搬運空氣噴射機構，係朝向除電對象噴射離子搬運用的空氣；　　前述放電針保持具，係具有：放電針收容室；輔助空氣流入口，係連通至該放電針收容室的基端部；以及輔助空氣流出口，係於該放電針收容室的前端部以直接連通至外部空間的方式開口；於前述放電針收容室的內部，前述放電針，係以使針尖自前述輔助空氣流出口緊鄰外部空間的姿勢被收容，在該放電針的外周與前述放電針收容室及輔助空氣流出口的內周之間，形成有從前述輔助空氣流入口到達前述輔助空氣流出口的輔助空氣流通間隙，　　前述搬運空氣噴射機構，係配置在相鄰於前述放電針保持具的位置，並具有：驅動噴嘴，係具有基端的驅動空氣導入口及前端的驅動空氣噴出口；以及擴散器，係隔著外氣吸入間隙配置於該驅動噴嘴的前方；於前述擴散器的內部，以與前述驅動空氣噴出口同軸的方式形成有比前述驅動空氣噴出口更大徑的搬運空氣流通孔，於該搬運空氣流通孔的前端，形成有用以噴射前述搬運空氣的搬運空氣噴射口。
如請求項1所述之電離器，其中，　　前述搬運空氣噴射機構的驅動噴嘴及擴散器，係在與通過前述放電針的中心的放電針軸線不同的位置，沿著平行於該放電針軸線的噴嘴軸線配置。
如請求項2所述之電離器，其中，　　前述外氣吸入間隙，係在與前述噴嘴軸線正交的所有方向皆直接連通至前述外部空間，前述搬運空氣噴射口，係對於前述外部空間直接開口。
如請求項2所述之電離器，其中，　　前述放電針，係藉由施加交流高電壓而使正離子及負離子交互產生的交流用的放電針，對於1個放電針配置1個或2個搬運空氣噴射機構。
如請求項2所述之電離器，其中，　　前述放電針，係藉由施加直流高電壓而使正離子或負離子產生的直流用的放電針，對於正負一對放電針配置1個搬運空氣噴射機構。
如請求項1至5中任一項所述之電離器，其中，　　具有個別形成並相互結合的第1構件及第2構件，於前述第1構件，係設置有前述放電針保持具及驅動噴嘴，並且保持有前述放電針，於前述第2構件，係設置有前述擴散器。
如請求項6所述之電離器，其中，　　藉由前述第1構件及第2構件與放電針形成放電針匣，該放電針匣以裝卸自如的方式安裝於電離器的主體。
如請求項7所述之電離器，其中，　　前述主體，係將複數個主體塊以直列且能夠增減的方式進行連結而形成，並於各主體塊安裝前述放電針匣。