JPS61195227A

JPS61195227A - 除塵装置

Info

Publication number: JPS61195227A
Application number: JP3490585A
Authority: JP
Inventors: Kazutoshi Fujioka; 藤岡　一利; Toshihiro Ibata; 井畑　稔弘
Original assignee: KIYOHIRO ENG KK
Current assignee: KIYOHIRO ENG KK
Priority date: 1985-02-22
Filing date: 1985-02-22
Publication date: 1986-08-29

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明は、一定方向に移動する被除塵物にジェット気流
を噴射して、その被除塵面に付着している塵埃を剥ｌＩ
Ｉきせ、剥離した塵埃を吸引する除塵装置に関するもの
である。

（ロ）従来の技術前述のような除塵装置としては、本発明の発明者が既に
発明し、特許されているもの（特公昭５８−６６２６号
、実公昭５８−４３９７９号公報参照）が存在する。

この従来の技術は、適宜の運搬手段によって移動すると
ころの付着異物除去対象物（被除塵物）表面に正対し、
該対象物表面との間に一定長のクリアランスを隔有して
通風路となす通風路形成板を、対象物表面に対するクリ
アランス幅調節自在に配設し、該通風路形成板中央に排
気口を穿設して、プロアに吸気せられて付着異物（塵埃
）を吸引運搬するサクションチャンバに連通せしめると
共に、該ブロアの作動により圧送される空気流をプレチ
ャンバに収容して、該ブレチャンバ一端部に、付着異物
を剥離せしめる空気噴流を対象物表面に衝接せしめる如
くした空気ノズルを、通風路内空気進行方向に向って斜
設して成るように構成されている除塵装置である。

このように、従来の技術では、対象物（被除塵物）の移
動方向に沿って上流側の空気ノズルが下流方向を向いて
いるので、この空気ノズルから噴射されたジェット気流
の一部が、付着異物（塵埃）を巻き込んでクリアランス
を通って下流側に到達する場合が生じる。即ち塵埃が浮
遊する空気が除塵装置の下流側に漏出して来ることにな
る。　　−（ハ）発明が解決しようとする問題点前述のように、従来の技術では、上流側のノズルから噴
射されたジェット気流が塵埃を下流側に搬送するので、
この除塵装置の下面を通過し除塵された被除塵物が、そ
の除塵装置の下流側に出た所で、前記塵埃によって再度
汚染きれることになる。

このように、一旦除塵きれた被除塵物が除塵装置の下流
側で再度汚染されると、除塵効果が低下することになる
。

特に、被除塵物が半導体製品等のように、高い除塵度を
要求されるものにあっては、前述の問題は重大となって
いた。

（ニ）問題点を解決するための手段本発明は、被除塵面に対して実質的に直角方向にジェッ
ト気流を噴射する第１のノズルと、この第１のノズルの
、被除塵物の移動方向に沿って下流側に離間して設けら
れている第２のノズルと、前記両ノズル間の空気を吸引
する吸引口とが具備され、前記第２のノズルはそのオリ
フィスが被除塵物の移動方向に沿って上流側を向くよう
に備えられている除塵装置である。

（ホ）作用上流側に位置する第１のノズルから噴射されたジェット
気流によって、被除塵物に付着する塵埃は、この被除塵
物から剥離きれ、吸引口から空気と共に吸引される。こ
の際、前記第１のノズルからは被除塵面に対して実質的
に直角方向にジェット気流が噴射きれ、また下流側に位
置する第２のノズルからは上流方向にジェット気流が噴
射されるので、両ノズルから噴射きれたジェット気流に
よって剥離された塵埃が除塵装置の下流側に搬送される
ことはない、即ち塵埃の浮遊する空気が下流側に漏出す
ることはない。

くべ）実施例第１図は本発明の第１の実施例を示す構成図である。こ
の図において、１は断面口字状の外装壁で、２は内装壁
である。この外装壁１と内装壁２にてプレチャンバ３が
形成され、内装壁２の内側に吸引口としてのサクション
チャンバ４が形成されて゛いる。また、プレチャンバ３
に、ブロア５からの空気を給送するための送気管６が接
続されている。

この送気管６の途中には、除塵効率が９９．９７２（０
，３μ粒子ＤＯＰテスト）のへパフイルタフと称される
高性能フィルタが介装されている。またへパフイルタフ
とプロア５の排気口と間には、送風量をフントロールす
るメインバルブ８と、プレチャンバ３内の気圧とサクシ
ョンチャンバ４内の気圧に圧力差を生ぜしめるための気
圧フントロールバルブ９が設けられている。

前記サクションチャンバ４は被除塵物１ｏの被除塵面と
対向し、このサクションチャンバ４の、被除塵物１０の
移動方向に沿って上流側には、プレチャンバ３に連通ず
る第１のノズル１１が形設されている。このノズル１１
のオリフィスは被除塵面に対して実質的に直角方向から
ジェット気流を噴射するように構成されている。

また、サクションチャンバ４の下流側には、前記プレチ
ャンバ３に連通ずる第２のノズル１２が形設されており
、この第２のノズル１２のオリフィスは前記被除塵物１
０の移動方向に沿って上流側にシェツト気流を噴射する
よう、具体的には被除塵面に対して約４５度の角度を有
するように構成されている。

前記第１のノズル１１および第２のノズル１２の根本部
には、イオン化した空気を噴射させるための除電電極１
３．１４が挿入されている。この除ｔｔ極１３．１４は
両ノズル１１．１２の長き方向（紙面に対して直角方向
）に延在し、約５ＫＶ程度の電圧が印加芒れている。こ
のように、除電電極１３．１４に高電圧が印加されると
、空気の分子が分解され、プラスとマイナスのイオンが
発生し、このイオン化された空気がジェット気流となっ
て被除塵物１０に噴射される。そうするとこの被除塵物
１０に帯電されている電荷とは逆極性のイオンが被除塵
物１０に引き付けられ、結果として前記帯電電荷は中和
されることになる。従って、帯電し易い被除塵物１０を
除塵する際には、前述のように除電電極１３．１４を併
用すればよい。しかし、帯電し難い被除塵物１０を除塵
する場合には、必ずしも除電電極１３．１４はｇ要とし
ない。

なお、前記両ノズル１１．１２から噴射諮れるジェット
気流の流速は４０ｍ／秒程度であることが望ましいが、
２０ｍ／秒以上あれば充分実用に供し得る。

また、前記サクションチャンバ４とプロア５ト吸気口と
の間には空気を帰還きせるための排気管１５が接続され
ている。

従って、空気は、ブロア５、送気管６、ヘパフィルタ７
、送気管６、プレチヤンバ３、第１．第２のノズル１１
．１２、サクションチャンバ４、排気管１５、ブロア５
にて形成される閉回路を、この順に流れることになる。

而して、前記被除塵物１０を前記サクションチャンバ４
に対向する位置にて、前記第１のノズル１１から噴射さ
れるジェット気流に対して直角方向に（Ａ方向）に移動
させると、第１のノズル１１から噴射されるジェット気
流によって、被除塵面が除電されると共にそこに付着し
ている塵埃が剥離される。シ１離された塵埃はサクショ
ンチャンバ４にて吸引され、排気管１５、ブロア５およ
び送気管６を経由して前記へパフイルタフにて捕捉され
る。この際、前記第２のノズル１２のオリフィは被除塵
物１０の移動方向に沿って上流側を向いているので、剥
ｍ−ａれた塵埃の浮遊する空気が除塵装置の下流側に漏
出することはない。

なお、被除塵物１０を移動させる手段としては、フンベ
アや相互に圧接されるローラ対等が考えられるが、手動
であってもよいことは言うまでもない。

第２図は本発明の第２の実施例を示す構成図である。こ
の実施例では、第１、第２のノズル１１．１２やサクシ
ョンチャンバ４等の構成は第１の実施例と同一であり、
第１の実施例と異なるところは、第１、第２のノズル１
１．１２やサクションチャンバ４等がクリーンルーム１
６に内設されている点である。従って、第２図では、第
１の実施例に対応するブロア５やヘパフィルタ７等の図
示を省略しである。

この図において、１７は、クリーンルーム１６内の空気
を除塵するための大型のへパフィルタで、この大型のへ
パフィルタ１７から送出される層流は、これに対向配置
されているプレフィルタ１８を通って大型のブロア１９
に帰還するように構成されている。即ち、クリーンルー
ム１６内の空気は、被除塵物１０の移動方向と反対方向
（Ｂ方向）に流れるように構成されている。

このように構成されていると、微量の塵埃が浮遊してい
る空気が、仮に前記サクションチャンバ４から漏出して
も、被除塵物１０の移動方向に沿って下流側へは漏出せ
ず、除塵後の被除塵物１０に再度塵埃が付着することは
確実に防止される。

（ト）発明の効果本発明では、第１のノズルは被除塵面に対して実質的に
直角方向にジェット気流を噴射し、第２のノズルは、ジ
ェット気流が被除塵物の移動方向に沿って上流側を向く
ように備えられているので、被除塵物が除塵装置の下流
側にて再度塵埃によって汚染されることはない。

なお、第１、第２のノズルや吸引口がクリーンルームに
内Ｒされていると、除塵をより確実に行なうことができ
る。

また、ノズルの気流方向に沿って上流側にジェット気流
をイオン化する除電電極が挿入これていると、帯電し易
い被除塵物の除塵を、極めて容易に行なうことができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を示す構成図、第２図は
本発明の第２の実施例を示す構成図である。４・・・サクションデャンバ（吸引口）、１０・・・被
除塵物、１１・・・第１のノズル、１２・・・第２のノ
ズル、１３．１４・・・除ｔｔ極、１６・・・クリーン
ルーム。

Claims

【特許請求の範囲】１、一定方向に移動する被除塵物にジェット気流を噴射
してその被除塵面に付着している塵埃を剥離させ、剥離
した塵埃を吸引除去する除塵装置において、前記被除塵面に対して実質的に直角方向にジェット気流を噴射する第１のノズルと、この第１のノ
ズルの、被除塵物の移動方向に沿って下流側に離間して
設けられている第２のノズルと、前記両ノズル間に位置
し両ノズルから噴射される空気を吸引する吸引口とが具
備され、前記第２のノズルは、そのオリフィスが被除塵
物の移動方向に沿って上流側を向くように備えられてい
ることを特徴とする除塵装置。２、少なくとも第１のノズルから噴射されるジェット気
流の流速が、２０ｍ／秒以上である特許請求の範囲第１
項記載の除塵装置。３、少なくとも一方のノズルの、気流方向に沿って上流
側に、ジェット気流をイオン化する除電電極が挿入され
ている特許請求の範囲第１項若しくは第２項記載の除塵
装置。４、第１のノズル、第２のノズルおよび吸引口がクリー
ンルームに内設されている特許請求の範囲第１項ないし
第３項のいずれかに記載の除塵装置。５、クリーンルーム内の空気は、被除塵物の移動方向と
反対方向に流れるように構成されている特許請求の範囲
第４項記載の除塵装置。