CN109416374B - 触针和具有触针的测试基座 - Google Patents

触针和具有触针的测试基座 Download PDF

Info

Publication number
CN109416374B
CN109416374B CN201780023433.0A CN201780023433A CN109416374B CN 109416374 B CN109416374 B CN 109416374B CN 201780023433 A CN201780023433 A CN 201780023433A CN 109416374 B CN109416374 B CN 109416374B
Authority
CN
China
Prior art keywords
arm
resilient
central region
contact
contact pin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201780023433.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109416374A (zh
Inventor
斯蒂芬·赖希尔
路德维格·休伯
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH and Co KG
Original Assignee
Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH and Co KG filed Critical Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH and Co KG
Publication of CN109416374A publication Critical patent/CN109416374A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109416374B publication Critical patent/CN109416374B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07357—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with flexible bodies, e.g. buckling beams
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0441—Details
    • G01R1/0466—Details concerning contact pieces or mechanical details, e.g. hinges or cams; Shielding
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716—Elastic
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716—Elastic
    • G01R1/06727—Cantilever beams
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733—Geometry aspects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733—Geometry aspects
    • G01R1/06738—Geometry aspects related to tip portion
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07342—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being at an angle other than perpendicular to test object, e.g. probe card
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of measuring instruments, e.g. of probe tips
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/02—Contact members
    • H01R13/22—Contacts for co-operating by abutting
    • H01R13/24—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted
    • H01R13/2442—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted with a single cantilevered beam
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R2201/00—Connectors or connections adapted for particular applications
    • H01R2201/20—Connectors or connections adapted for particular applications for testing or measuring purposes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

一种触针(100；10012；10032)，用于电连接设于待测试的测试装置(300)上的第一电接触面(13)和设于测试基座(200；200’)中的第二电接触面(17)；包括：与所述测试基座(200；200’)机械连接的长条形中央区域(1)；第一弹性臂(21)，其第一端部(41)与所述中央区域(1)的第一端部(5)连接且其第二端部(111)具有用于与所述第一电接触面(13)进行电接触的第一接触区域(12)；第二弹性臂(31)，其第一端部(61)与所述中央区域(1)的第一或第二端部(5，7)连接且其第二端部(151)具有用于与所述第二电接触面(17)进行电接触的第一接触区域(12)。所述第一和第二弹性臂(21，31)分别在其第一端部41，61)的区域内定向为与所述中央区域(1)的纵轴(9)互成(φ1,φ2)的夹角，所述夹角小于或等于90°。

Description

触针和具有触针的测试基座
技术领域
本发明涉及一种触针和包含多个触针的测试基座。
背景技术
用于对其内的集成电路就其正确功能进行测试的自动测试装备(automatic testequipment(ATE))，基本上由以下设备组成：测量设备(例如网络分析仪)、构成印刷电路板的所谓负载板(loadboard，其作为通用测量设备和作为专用测试装置(DUT))的集成电路之间的专用接口、以及自动处理机，其将集成电路插入到安装在负载板上的测试基座中，将其按压到测试基座上并再次移出)。
为了完整和正确地测试集成电路，测试基座具有特定数量的触针，这些触针通常分别布置成两行或四行，并且每个触针在待测试的集成电路的接触面(在下文中称为第一接触区域)与基座上的相关接触面(在下文中称为第二接触区域)之间形成最佳电连接。
EP 0 906 007 B1公开了这样一种触针，其将待测试的集成电路的接触面连接到测试基座的接触面。
这种触针具有两个弹性区域，利用这两个弹性区域相互独立地在此触针与两个接触面中的一个之间建立两个电连接。
由于集成电路的接触面由锡或其它导电接触材料制成，随着时间的推移，这些接触面上可能例如因氧化而不利于形成覆层，其使接触面与触针的对应接触区域之间的电接触恶化。通过触针的两个接触区域的摩擦运动(其皆平行于接触面延伸，并皆在将待测试的测试装置插入测试基座时发生)，将颗粒从这些如氧化锌层移除，从而重新建立或改善电接触。
但是，EP 0 906 007 B1的触针具有空间伸展度相对较大的缺点。在集成电路日益小型化的背景下，这种触针不适用。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种克服上述缺点的触针以及一种包含这些触针的测试基座。
本发明用以达到上述目的的解决方案为一种具有权利要求1的特征的触针，以及一种具有权利要求17的特征的测试基座。在各从属权利要求中考虑了有利的技术扩展方案。
根据权利要求1的触针具有中央区域和两个充当弹性件的弹性臂。第一和第二弹性臂分别通过其第一端部与中央区域连接，并分别在其第二端部上具有用于与待测试的测试装置的第一接触面或与测试基座的第二接触面进行电接触的接触区域。下文将该第一弹性臂的接触区域称为第一接触区域，第二弹性臂的接触区域称为第二接触区域。
为使本发明触针尽可能地节省空间，第一弹性臂的第一端部连接到大体呈长条形的中央区域的第一端部，并且第二弹性臂的第一端部连接到中央区域的第一端部或第二端部。另外，第一和第二弹性臂在其第一端部的区域内定向为分别与该中央区域的中轴线互成小于或等于90°的夹角。
上述两种技术措施有利地使得触针能够通过其两个弹性臂(由其功能决定，所述弹性臂的长度是影响触针伸展度的最重要因素)而具有最小化的几何体积。另外，小型化的触针具有较短的信号通道，因此进一步优化了触针的高频传输特性。
在一优选变型方案中，所述第一和第二弹性臂通过其第一端部分别在该中央区域的不同端部上与该中央区域连接。在另一替换变型方案中，该第一和第二弹性臂通过其第一端部分别在该中央区域的同一端部上与该中央区域连接。
为了在保持所述触针的总体弹性的同时就本发明的触针的进一步小型化而将该第一和第二弹性臂的长度缩短，在本发明触针的第一扩展部中，优选地具有其它第一弹性臂和/或其它第二弹性臂以平行于该第一和第二弹性臂的方式与该中央区域连接。所述弹性臂朝向接触区域逐渐变细。在此，该第一弹性臂、第二弹性臂以及其它第一和第二弹性臂优选地分别通过狭槽彼此隔开，在为该触针采用LIGA(Lithography-Electroplating-Molding，光刻电镀成型)工艺的情况下，该狭槽通常处于与弹性臂的平均宽度相同的数量级。在采用另一制造工艺的情况下，也可以实现远小于所述弹性臂的平均宽度的狭槽。
当待测试的测试装置通过自动处理机的冲头压入测试基座时，其它第一和第二弹性臂的第二端部分别与该第一弹性臂和第二弹性臂连接。
为提高本发明触针的机械稳定性，在本发明的第二扩展方案中，其它第一弹性臂和其它第二弹性臂的第二端部与该第一或第二弹性臂的第二端部的横向加宽部通过插入式连接方式连接。
为此，在本发明第二扩展方案的第一子变型方案中，其它第一弹性臂和第二弹性臂的第二端部皆形成针状加宽部，其被引入并插入该第一弹性臂或第二弹性臂的第二端部的横向加宽部中的对应凹部内。
在本发明的第二扩展方案的第二子变型方案中，其它第一弹性臂和其它第二弹性臂的第二端部各自具有凹槽，相关的附加针状加宽部被引入和插入所述凹槽中，所述相关的附加针状加宽部分别形成在第一弹性臂的第二端部和第二弹性臂的第二端部的横向加宽部中。
作为其它第一和第二弹性臂的第一端部与该中央区域之间的固定连接的替代方案，在本发明的第三扩展方案中，也可在其它第一和第二弹性臂的第一端部与该中央区域之间实现插入式连接。
在本发明的第三扩展方案的第一子变型方案中，其它第一和第二弹性臂的第一端部形成针状加宽部，其被引入并插入中央区域的相关凹槽中。作为替代方案，在本发明的第三变型方案的第二子变型方案中，在中央区域中形成针状加宽部，所述针状加宽部被引入并插入到其它第一和第二弹性臂的第一端部的相关凹槽中。
在本发明的第四扩展方案中，优选地以如下方式实现该弹针的进一步机械稳定化：在该第一弹性臂的第二端部的横向加宽部与中央区域的第二端部之间，和/或在第二弹性臂的第二端部的横向加宽部与中央区域的第二端部或第一端部之间，分别实现附加的插入式连接。在此情形下进一步改善了触针的高频传输特性，因为通过这两个插入式连接分别实现了额外的缩短的信号通道。
在本发明第四扩展方案的第一子变型方案中，该第一弹性臂和/或该第二弹性臂的第二端部的横向加宽部分别具有一凹部，其中在该第一弹性臂的第二端部上的凹部中引入并插入该中央区域的第二端部的横向针状加宽部，和/或在该第二弹性臂的第二端部上的凹部中引入并插入该中央区域的第二端部或第一端部的横向销状加宽部。
作为替代方案，在本发明第四扩展方案的第二变型方案中，第一弹性臂和/或第二弹性臂的第二端部的横向加宽部呈针状，其中该第一弹性臂的第二端部的针状横向加宽部被引入并插入形成于该中央区域第二端部的对应凹部，和/或该第二弹性臂的第二端部的针状横向加宽部被引入并插入形成于该中央区域的第二或第一端部的对应凹部。
在第一实施例中，各第一和第二弹性臂皆优选地线性延伸，在第一实施例中，在设置其它第一和第二弹性臂的情况下，最小化体积与最大化弹性的组合已经最佳。
在弹性臂的第二实施例中，各第一和第二弹性臂分别相对于中央区域以内凹弯曲的方式延伸。在此情形下因为弹性臂略长，实现弹性略微增强，而与第一实施例相比，所需的体积略微增加。
在弹性臂的第三实施例中，各个第一和第二弹性臂各自具有相对于中央区域的凸出弯曲的轮廓。这种形式的触针所需的体积最小。但是，这种触针的弹性大大减弱，因为在这种形式中，只能实现少量的其它第一和第二弹性臂，且其显著缩短。
作为第四实施例的一部分，第一和第二弹性臂呈曲折状。基于该曲折状，第一和第二弹性臂都具有最大长度。触针的第四实施例适用于需要宽度大幅减小且高度要求较低的应用。
为了在触针的第一接触区域与测试设备上的第一接触面之间实现尽可能好的擦除过程，并且同时在该触针的第二接触区域与测试基座上的第二接触面之间实现尽可能小的擦除过程，在该第一弹性臂的第一与第二端部之间延伸的轴线与该中央区域的纵轴互成的夹角远远大于一在该第二弹性臂的第一与第二端部之间延伸的轴线与该中央区域的纵轴互成的角度。
第一弹性臂的第一和第二端部之间延伸的轴线与中央区域的纵轴互成的夹角大于第二弹性臂的第一和第二端部之间延伸的轴线与中央区域的纵轴互成的夹角，例如1.5倍。优选地，第一弹性臂的第一和第二端部之间延伸的轴线与中央区域的纵轴互成的夹角是第二弹性臂的第一和第二端部之间延伸的轴线与中央区域的纵轴互成的夹角的2.0倍。更优选地，第一弹性臂的第一和第二端部之间延伸的轴线与中央区域的纵轴互成的夹角是第二弹性臂的第一和第二端部之间延伸的轴线与中央区域的纵轴互成的夹角的2.5倍。
在第一和第二弹性臂的长度近乎相同的情况下，第一弹性臂的第一和第二端部之间延伸的轴线与中央区域的纵轴互成的夹角大于第二弹性臂的第一和第二端部之间延伸的轴线与中央区域的纵轴互成的夹角，使得：第一接触区域的平行于第一接触面的运动大于第二接触区域的平行于第二接触面的运动。
由于第一接触区域在第一接触面上的运动长于第二接触区域在第二接触面上的运动，能够在第一接触面上更大面积地将诸如氧化锌颗粒刮除，特别是在该接触区域的接触尖端的区域内将诸如氧化锌颗粒刮除，该接触尖端形成与第一接触面的电接触。
在本发明测试基座中设有一定数量的本发明的触针。该数量与DUT的第一接触面的数量对应。本发明的触针通常以与集成电路中的第一接触面的布局类似的方式设置成两行或四行，且该两行或四行触针以相对集成电路的矩形基面的两侧或四侧的位置错开一定距离的方式设置。也可采用本发明的触针在本发明的测试基座内的其它设置，例如栅格或矩阵形式，以及任何未来使用的本发明的触针的设置，且其皆在本发明的范围之内。
本发明的单个触针分别通过至少一个固定装置与本发明的测试基座机械连接，并与本发明的测试基座的对应第二接触面发生电接触。
作为替代方案，本发明的单个触针也可以集成在可从本发明的测试基座上分离的模块中。最后，单独一排的本发明的单个触针可以集成在一模块中，其也可以从本发明的测试基座分离。
附图说明
下面将参照附图，详细解释本发明的触针和本发明的测试基座的各个实施例、变型方案、子变型方案和扩展方案。在附图中：
图1示出了本发明的触针，其中在每个接触侧上具有线性延伸的弹性臂；
图2A示出了本发明的触针的第一扩展方案的第一变型方案；
图2B示出了本发明的触针的第一扩展方案的第二变型方案；
图3A示出了本发明的触针的第二扩展方案的第一变型方案；
图3B示出了本发明的触针的第二扩展方案的第二变型方案；
图4A示出了本发明的触针的第三扩展方案的第一变型方案；
图4B示出了本发明的触针的第三扩展方案的第二变型方案；
图5A示出了本发明的触针的第四扩展方案的第一变型方案；
图5B示出了本发明的触针的第四扩展方案的第二变型方案；
图6A示出了本发明的触针的第二实施例；
图6B示出了本发明的触针的第三实施例；
图6C示出了本发明的触针的第四实施例；
图7示出了本发明的触针，其中在各个接触侧上具有不同长度的擦除行程；
图8A是本发明的测试基座的平面图；
图8B是本发明的测试基座的侧向截面图；
图8C是本发明的具有嵌入式模块的测试基座的三维图；
图8D是本发明的有模块移去的测试基座的三维图；
图9示出了本发明的具有单独信号通道的触针。
具体实施方式
下面将参照附图详细说明本发明的触针的各个实施例、变型方案、子变型方案和扩展方案：
本发明的触针构成微机械组件。本发明的触针优选通过LIGA工艺进行生产。此外，根据本发明，其它生产触针的微机械工艺同样是可能的，并且也被本发明所涵盖。
考虑到微机械工艺，本发明的触针具有给定均匀厚度的大体二维几何形状(本发明的触针的高度和宽度)。本发明的触针的高度和宽度各自通常在1至3毫米之间，而厚度通常约为十分之一毫米。
在LIGA工艺的优选应用中，本发明的触针通常由金属、合金或连接系统组成，所述连接系统由金属和非金属元素组成，例如NiP。在本发明的触针(其主要相对于高度和宽度定向)的顶侧和底侧之间的过渡处的侧面设置有涂层，例如金涂层。
图1示出了触针的尺寸高度和宽度的二维图。在本发明的图1的触针100的第一个高度简化形式中，触针100由长条形中央区域1、第一弹性臂21和第二弹性臂31组成。第一弹性臂21和第二弹性臂31各自具有长条形线性形状部分，其宽度通常均小于中央区域1的宽度。
第一弹性臂21在其第一端部41处连接到中央区域1的第一端部5，也就是连接到图1的右手边示出的中央区域1的那端。第二弹性臂31在其第一端部61处连接到中央区域1的第二端部7，即图1的左手边示出的中央区域1的那端7。
第一弹性臂21和第二弹性臂31分别在其第一端部41和其第一端部61的区域定向为与中央区域1呈φ1和φ2的角度，φ1和φ2各自小于或等于90°。在此，第一弹性臂21在其第一端部41区域内与中央区域1之间的定向角φ1为第一弹性臂21在第一端部41区域内的切线与位于中央区域1内的纵轴9之间的夹角。在采用线性第一弹性臂21的情况下，该定向角对应第一弹性臂21的纵轴8(即第一弹性臂21的第一端部41与第二端部111之间的轴线)与中央区域1内的纵轴9之间的夹角。对应地，定向角φ2为第二弹簧31在第一端部61的区域内的切线与中央区域1的纵轴9之间的夹角。在采用线性第二弹性臂31的情况下，该定向角对应第二弹性臂31的纵轴10(即第二弹性臂31的第一端部61与第二端部151之间的轴线)与中央区域1的纵轴9之间的夹角。
在第一弹性臂21的第二端部111上形成第一接触区域12。在待测试的测试装置(即待测试集成电路)被压入测试基座的情况下，第一接触区域形成与该测试装置对应的第一接触面13的电接触。
如图1所示，第一接触区域12优选地由一个凸缘状扩展部构成，其指向第一接触面13的方向并且具有接触区域14，接触区域14建立与测试装置的第一接触面13的实际电接触。
另外，第一接触区域12具有未在图1中示出的凸起部或尖端，其与第一接触区域12一起在待测试的测试装置插入到测试基座中时在第一接触面13上执行微小的平移运动。基于第一弹性臂21的弹力和附加凸起部或尖端的尖锐边缘形状，由于第一接触区域12的平移运动，第一接触面13上的氧化物层的颗粒被刮掉。在一段时间内氧化形成第一接触面13上的该氧化物层，对电接触不利。通过刮掉该氧化物层的颗粒，第一接触面13和第一弹性臂21的第一接触区域12之间的电接触再次改善。
第二接触区域16在第二弹性臂31的第二端部151上形成，第二接触区域构成凸缘状扩展部，其指向测试基座中的第二接触面17的方向并且具有接触尖端18。该接触尖端18形成第二弹性臂31的第二接触区域16和测试基座中的第二接触面17之间的实际电接触。
为了将触针100机械地紧固在测试基座中，在中央区域1中提供至少一个锁止装置。在图1中，例如在中央区域1的两端部中的每一端部提供锁止装置191和192。每个锁止装置与测试基座中的相应锁止装置形成互锁连接。作为互锁连接的替代方案，本发明还涵盖触针和测试基座之间的力配合连接。由此，触针100中或测试基座中的接触装置与测试基座中或触针100中的相应接触面形成力配合连接。
通过本发明触针的第一弹性臂21施加至待测试的测试装置的第一接触面13的弹力，以及由第二弹性臂31施加至测试基座中的第二接触面17的弹力，分别在待测试的测试装置的第一接触面13与本发明的触针之间，和在本发明的触针100与测试基座中第二接触面17之间确保充分的电连接。
为了缩短第一弹性臂21和第二弹性臂31的长度，以及由此将本发明的触针100进一步缩小，根据第一扩展方案，本发明的触针100除了第一弹性臂21以外还具有其它第一弹性臂22和23，并且除了第二弹性臂31以外还具有其它第二弹性臂32和33。
在如图2A所示本发明触针100的第一扩展方案的第一子变型方案中，这些其它第一弹性臂22和23平行于第一弹性臂21而延伸，并分别通过第一端部42或43，在中央区域1的第一端部5处与中央区域1连接，并各自与中央区域1的第一端部5相邻。各第一弹性臂21、22、23分别通过狭槽彼此分隔，所述狭槽之间的平均宽度通常是各弹性臂21、22、23的平均宽度的数量级。
第二弹性臂31和其它第二弹性臂32和33也相互平行延伸，并通过其第一端部62和63，在中央区域1的第二端部7处与中央区域1连接并各自与中央区域1的第二端部7相邻。各第二弹性臂61、62、63也分别通过狭槽彼此分隔，所述狭槽的平均宽度通常为各第二弹性臂31、32、33的平均宽度的数量级。
平行的第一和第二弹性臂的数量不受图2A所示限制。本发明还包括任何其它所需数量的平行的第一和第二弹性臂，只要它们可以沿着中央区域1的长度方向连接到中央区域1并具有相应的狭槽。
在图2B中示出的本发明的触针100的第一扩展方案的第二子变型方案中，第二弹性臂31和所有其它第二弹性臂32和33在相同端部处连接到中央区域1，并且各自与中央区域1的相同端部相邻，特别是在第一端部5处并且与中央区域1的第一端部5相邻，且在该端部处，第一弹性臂21和所有其它第一弹性臂22和23也连接到中央区域1。
在本发明的触针100的第一扩展方案中，所有其它第一弹性臂22和23以及所有其它第二弹性臂32和33分别具有第二端部112、113和152、153。其在待测试的测试装置被推入测试基座的状态下，分别与第一弹性臂21和第二弹性臂31接触，如图9所示。这样，通过其它第一弹性臂22和23以及其它第二弹性臂32和33产生附加信号通道，其进一步改善本发明触针100的高频传输特性。
在本发明的触针100的第二扩展方案中，其它第一弹性臂22和23和其它第二弹性臂32和33的第二端部112、113和152、153分别连接到第一弹性臂21的第二端部111的横向加宽部分，以及分别连接到第一弹性臂31的第二端部151的横向加宽部分。
为此，在根据图3A的本发明的触针100的第二拓展方案的的第一子变型方案中，第一弹性臂21的第二端部111的横向加宽部分20分别具有多个凹部212和213，其它第一弹性臂22和23的第二端部112和113分别导入并插入到凹部212和213。其它第一弹性臂22和23的第二端部112和113各自与第一弹性臂21的第二端部111的横向加宽部分20中的相关凹部212和213形成插入式连接。在该插入式连接中，其它第一弹性臂22和23的各个第二端部112和113能够相对于对应的凹部212和213以轴向和径向方式滑动到一定程度。然而，它们的轴向和径向相对于对应的凹部212和213的相对运动是有限的。
对应地，其它第二弹性臂32和33的第二端部152和153分别被导入并插入到第二弹性臂31的第二端部151的横向加宽部分23的对应凹部222和223中。其它第二弹性臂32和33的第二端部152和153各自还与第二弹性臂31的第二端部151的横向加宽部分23的对应凹部222和223形成插入式连接。
在图3B中示出的本发明的触针100的第二扩展方案的第二子变型方案中，其它第一弹性臂32和33的第二端部112和113分别具有凹部242和243。第一弹性臂21的第二端部111的横向加宽部分20的对应的针状加宽部分252和253各自被导入并插入凹部242和243。针状加宽部分252和253各自相对于第一弹性臂21的第二端部111的横向加宽部分20以近似横向的方式定向，也就是说以大约90°的角度定向。针状加宽部分252和253分别与其它第一弹性臂22和23的第二端部112和113处的对应凹部242和243形成插入式连接。
对应地，第二弹性臂31的第二端部151的横向加宽部分23上的针状加宽部分262和263被导入并插入其它第二弹性臂32或33的第二端部152或153的对应凹部272和273。这些针状加宽部分262和263同样以近似横向的方式定向，即与第二弹性臂31的第二端部151的横向加宽部分23互成大约90°的角度。同样地，针状加宽部分262和263与其它第二弹性臂32或33的第二端部152和153处的对应凹部272和273分别形成插入式连接。
在根据图4A的本发明的触针100的第三扩展方案中，其它第一和第二弹性臂的第一端部分别形成与中央区域1的插入式连接，而其它第一和第二弹性臂的第二端部分别固定地连接到第一和第二弹性臂的第二端部的对应的横向加宽部分。
在此，在根据本发明的触针100的第三扩展方案的第一子变型方案中，其它第一弹性臂22和第二弹性臂23的第一端部42和43分别具有凹部272和273，而其它第一弹性臂22和第二弹性臂23的第二端部112和113固定地连接到第一弹性臂21的第一端部111的横向加宽部分20。
中央区域1的对应横向加宽部分282和283分别导入并插入到其它第一弹性臂22和23的第一端部42和43处的凹部272和273中。这些横向加宽部分282和283具有与其它第一弹性臂22和23相同的定向，并且在中央区域1的合适位置处(临近中央区域1的第一端部5)从中央区域1凸出。这就确保了其它第一弹性臂22和23相对于第一弹性臂21平行布置并且都以狭槽彼此间隔开，狭槽的平均宽度大致对应于各个第一弹性臂21、22和23的平均宽度。中央区域1的横向加宽部分282和283各自与其它第一弹性臂22和23的第一端部42和43处的对应凹槽272和273形成插入式连接。
相应地，其它第二弹性臂32和33的第一端部62和63分别具有凹部292和293，而其它第二弹性臂32和33的第二端部152和153分别固定地连接到第二弹性臂31的第二端部151的横向加宽部分23。
中央区域的对应横向加宽部分302和303导入并插入到其它第二弹性臂32和33的第一端部62和63处的凹部292和293中。这些横向加宽部分302和303同样具有与其它第二弹性臂32和33相同的定向，并且在中央区域1的合适位置处(临近中央区域1的第二端部7)从中央区域1凸出。中央区域1的横向加宽部分302和303分别与其它第二弹性臂32和33的第一端部62和63处的对应凹槽292和293形成插入式连接。
在根据图4B的本发明的触针100的第三扩展方案的第二子变型方案中，其它第一弹性臂22和23的第二端部112和113固定地连接到第一弹性臂21的第二端部111的横向加宽部分20。而其它第一弹性臂22的第一端部42和43分别导入并插入对应的凹部312和313中，它们分别形成于中央区域1的横向加宽部分302和303。通过凹部312和313，中央区域1的横向加宽部分302和303分别具有与对应的其它弹性臂22和23大致相同的定向，并且在中央区域1的适当位置(中央区域1的第一端部5附近)处凸出于中央区域1。这就确保了其它第一弹性臂22和23相对于第一弹性臂21平行设置并且都以狭槽彼此间隔开，狭槽的平均宽度大致对应于各个第一弹性臂21、22和23的平均宽度。
在本发明的触针100的第四扩展方案中，在待测试的测试装置插在测试基座中的状态下，如下进一步实现本发明弹性触针的机械稳定化：第一弹性臂21的第二端部111的横向加宽部分20与中央区域1的第二端部7形成插入式连接，且第二弹性臂31的第二端部151的横向加宽部分23与中央区域1的第一端部7形成插入式连接。
在如图5A所示的本发明的触针100的第四扩展方案的第一变型方案(其在如图2A所示的本发明的触针的第一扩展方案中的第一子变型方案的基础上构建)中，在第一弹性臂21的第二端部111的横向加宽部分20中设有一凹部34。在此凹部34中导入并插入中央区域1的第二端部7的横向加宽部分35。为了在中央区域1的横向加宽部分35与第一弹性臂21的第二端部111的横向加宽部分20中的凹部34之间建立插入式连接，在插入状态下，中央区域1的横向加宽部35与第一接触区域12的横向加宽部20中的凹部34具有几乎相同的定向和几乎相互匹配的形状。
对应地，在第二弹性臂31的第二端部151的横向加宽部分23中设置凹部36，在中央区域1的第一端部5处的横向加宽部分37被导入并插入所述凹部中。第二弹性臂31的第二端部151的横向加宽部分23中的凹部36和中央区域1的横向加宽部分37也具有大致相同的定向和大致彼此匹配的形状，从而在中央区域1的横向加宽部分37与第二弹性臂31的第二端部151的横向加宽部分23中的凹部36之间可靠地建立插入式连接。
在根据图5B的本发明的触针100的第四扩展方案的第二子变型方案中，第一弹性臂21的第二端部111的横向加宽部分20被导入并插入凹槽38中。凹槽38形成在中央区域1的第二端部7处的横向加宽部分35中。为了在第一弹性臂21的第二端部111的横向加宽部分20与中央区域1的横向加宽部分35中的凹部38之间建立可靠的插入式连接，在插入状态下，横向加宽部分20和凹部38具有大致相同的定向和大致彼此配合的形状。
相应地，第二弹性臂31的第二端部151的横向加宽部分23被导入并插入凹槽39中，凹槽39形成在中央区域1的第一端部5处的横向加宽部分37中。加宽部分23和凹槽39之间的插入式连接的情况也是如此，加宽部分23和凹槽39的定向大致相同并且加宽部分23的形状和凹槽39的形状大致彼此匹配。
而在本发明的触针100的第一实施例中，各个第一和第二弹性臂各自具有线性轮廓，即直线轮廓。在根据图6A的本发明的触针100的第二实施例中，所有第一弹性臂21,22和23以及所有第二弹性臂31,32和33均相对于中央区域1以内凹方式弯曲。各第一弹性臂21、22、23以及各第二弹性臂31、32、33在相应第一端部41、42及43或61、62及63的区域内相对中央区域1的纵轴9的定向根据以下内容得出：各第一弹性臂21、22、23以及各第二弹性臂31、32及33上在相应第一端部41、42及43或61、62及63的区域内的切线与中央区域的纵轴9之间的夹角为
Figure BDA0001827004400000131
和
Figure BDA0001827004400000132
在本发明的触针100的第一实施例中，角度
Figure BDA0001827004400000133
和
Figure BDA0001827004400000134
皆小于或等于90°。
具有任意期望数量的第一和第二弹性臂的设置(其可以在本发明触针100中实现，尤其是通过一个单独的第一弹性臂和一个单独的第二弹性臂实现)也被本发明触针100的第二实施例涵盖。
在根据图6B的本发明的触针100的第三实施例中，各第一弹性臂21,22和23和各个第二弹性臂31,32和33各自相对于中央区域1以凸出的方式弯曲。各第一弹性臂21,22和23以及各第二弹性臂31,32和33在相应的第一弹性臂21,22和23或第二弹性臂31,32和33的第一端部41,42和43以及61,62和63的区域内相对中央区域1的定向根据以下内容得出：各第一弹性臂21,22和23以及各第二弹性臂31,32和33上在相应的第一端部41,42和43或61,62和63的区域内的切线与中央区域1的纵轴9之间的夹角为
Figure BDA0001827004400000141
或
Figure BDA0001827004400000142
在本发明的触针100的第一实施例中，角度和皆小于或等于90°。
对于本发明的触针100的第三实施例，在本发明的触针100中可以实现的任意期望数量的第一和第二弹性臂，特别是单个第一和第二弹性臂也同样也被本发明所涵盖。
在本发明的触针100的第四实施例中，第一弹性臂21和第二弹性臂31均呈曲折状，如图6C所示。
如图6C所示，中央区域1的第二端部7处的第一弹性臂21的第一端部41和中央区域1的第一端部5处的第二弹性臂31的第一端部61都与中央区域1连接。作为替代方案，第一弹性臂21和第二弹性臂31的第一端部41和61也可以分别在相对端部5和7处连接到中央区域1。
除了第一和第二曲折弹性臂21和31之外，还可以设置图6C中未示出的其它第一和第二弹性臂，其平行于第一弹性臂21或第二弹性臂31，通过狭槽彼此分隔并分别与中央区域1连接。这些其它第一和第二弹性臂并不完全呈曲折状延伸，并且仅沿第一或第二弹性臂21或23延伸至位于第一和第二弹性臂21和31的第一和第二拐角之间的区域。
第一弹性臂21和第二弹性臂31在第一或第二弹性臂21或31的第一端部41或61的区域内相对于中央区域1的定向根据以下内容得出：各第一弹性臂21、22和23以及各第二弹性臂31、32和33在相应第一端部41、42和43或61、62和63的区域内的切线与中央区域1的纵轴9之间的夹角为
Figure BDA0001827004400000151
或
Figure BDA0001827004400000152
在本发明的触针100的第一实施例中，角度
Figure BDA0001827004400000153
和
Figure BDA0001827004400000154
皆小于或等于90°。
当待测试的测试装置被推入测试基座时，第一弹性臂21的第一接触区域12和第二弹性臂31的第二接触区域16各自围绕其旋转中心执行旋转运动，旋转中心沿第一弹性臂21的纵向轴线8移动，也就是第一弹性臂21的第一端部41和第二端部111之间的轴线，或者沿第二弹性臂31的纵向轴线10移动，也就是第二弹性臂31的第一端部61和第二端部151之间的轴线。
如图7所示，第一弹性臂21的第一接触区域12和第二弹性臂31的第二接触区域16的旋转运动可以拆分成两个平移运动分量，即一平行于第一或第二接触面13或17延伸的平移运动分量以及一垂直于第一或第二接触面13或17延伸的平移运动分量。
就第一接触区域12平行于第一接触面13的平移运动而言，由于发生对第一接触面13上的覆层的有利刮除，所以绝对期望此平移运动。而就第二接触区域16平行于第二接触面17的平移运动而言，尽管将第二接触面17上的干扰性覆层擦除，但并不非常期望此平移运动。
在将测试装置压入测试基座时，每个压入测试基座的测试装置的第一接触面13都经历此种擦除过程，而仅在将测试基座安装至负载板时，测试基座中的第二接触面17才经受此种擦除过程。
因此，与第一接触面13的区域(在图7中通过第一接触区域12的接触尖端14上的水平箭头的明显更长的长度表示)相比，在第二接触面17的区域(在图7中通过第二接触区域16的接触区18上的水平箭头明显更短的长度表示)内期望的擦除运动大幅减小。
为使第二接触区域16平行于第二接触面16的平移擦除运动明显小于第一接触区域12平行于第一接触面13的平移擦除运动，将第二弹性臂31的纵轴与中央区域1的纵轴9之间的定向角
Figure BDA0001827004400000155
设计成明显小于第一弹性臂21的纵轴8与中央区域1的纵轴9之间的定向角
Figure BDA0001827004400000156
为确定第一弹性臂21或第二弹性臂31的定向角
Figure BDA0001827004400000161
和的大小，优选地实施以下参数化操作：
弹性臂21的纵轴8与中央区域1的纵轴9之间的角度
Figure BDA0001827004400000163
例如为第二弹性臂31的纵轴10与该中央区域的纵轴之间
Figure BDA0001827004400000164
的1.5倍。优选地，弹性臂21的纵轴8与中央区域1的纵轴9之间的角度
Figure BDA0001827004400000165
为第二弹性臂31的纵轴10与中央区域1的纵轴9之间的角度
Figure BDA0001827004400000166
的2.0倍。更优选地，弹性臂21的纵轴8与中央区域1的纵轴9之间的角度
Figure BDA0001827004400000167
为第二弹性臂31的纵轴10与中央区域1的纵轴9之间的角度
Figure BDA0001827004400000168
的2.5倍。
在上文建议的参数化操作中，对于弹性臂21的纵轴8与中央区域1的纵轴9之间的定向角
Figure BDA0001827004400000169
以及弹性臂21的纵轴8与中央区域1的纵轴9之间的定向角
Figure BDA00018270044000001610
而言，第一或第二接触区域12或16垂直于第一及第二接触面13和17的运动分量近乎相同，如图7所示。
就本发明的触针的第一实施例而言，即在第一和第二弹性臂21和22近乎线性延伸的情况下，第一弹性臂21的纵轴8或第二弹性臂31的纵轴10与中央区域1的纵轴9之间的定向角
Figure BDA00018270044000001611
和
Figure BDA00018270044000001612
对应第一弹性臂21或第二弹性臂31在第一弹性臂21的第一端部41的区域内或在第二弹性臂31在第一端部61的区域内的定向角
Figure BDA00018270044000001613
和
Figure BDA00018270044000001614
就第二实施例(内凹弯曲的弹性臂)、第三实施例(凸出弯曲的弹性臂)以及第四实施例(曲折状弹性臂)而言，不存在此种关系。必须针对第一弹性臂21或第二弹性臂31在第一弹性臂21的第一端部41的区域内或在第二弹性臂31的第一端部61的区域内的对应定向角和
Figure BDA00018270044000001616
单独设定第一弹性臂21的纵轴8或第二弹性臂31的纵轴10与中央区域1的纵轴9之间的定向角
Figure BDA00018270044000001617
和
Figure BDA00018270044000001618
图9使用虚线示出了在待测试的测试对象被压入测试基座且本发明的触针因而处于压缩状态的情况下，本发明触针中的各信号通道。图9示出了本发明的触针的第一扩展方案(多个平行的第一和第二弹性臂)和本发明的触针的第四扩展方案(第一和第二弹性臂的第二端部额外地与中央区域的第二或第一端部连接)的组合，以及本发明的触针的第二实施例的应用(内凹弯曲的第一和第二弹性臂)。
平行信号通道首先将第一和第二接触区域之间的高频信号的信号通道缩短，其次减小触针内的欧姆损耗。因此，总体上显著改善了本发明触针的高频传输特性。
下面将参考图8A至8D详细说明本发明的测试基座：
图8A的平面图示出了本发明的测试基座200，并且在其中心示出了用于待测试的测试装置的插入槽201，特别是用于待测试的集成电路。未在图8A中示出的集成电路大体具有正方形基面，在该基面的四侧区域的底侧上分别设有一定数量的第一接触面13。作为替代方案，也可以采用任意所需尺寸的矩形基面，在该基面的两侧或四侧区域的底侧分别设有一定数量的第一接触面13。如果该集成电路插在本发明的测试基座200的插槽201中，则设于该集成电路的底侧上的第一接触面13分别与本发明的对应的触针100发生电接触。
为此，如图8A所示，设有总共四排触针，每排分别包含一定数量N的本发明的触针10011、10012、…、1001N，10021、10022、…、1002N，10031、10032、…、1003N，10041、10042、…、1004N。在集成电路插在测试基座200中的情况下，在测试基座200内，分别设于四排中的触针因而分别位于四排第一接触面13的下方，接触面13设于待测试的集成电路的四侧边沿的底侧。此外，也可以在该四排区域内，特别是在中心处，设置触针，其与对应的第一接触面发生电接触。
在根据图8B的本发明的测试基座200的横截面剖视图中，待测试的测试装置300，即待测试的集成电路300插在插槽201中。其中示例性地示出两个本发明的触针10012和10032的侧视图，以及本发明的触针10041、10042、…、1004N的前视图。
本发明的触针10012在测试基座200中通过第一接触区域12与待测试的集成电路300的第一接触面1312发生电接触，并通过第二接触区域16与第二接触面1712发生电接触，而在本发明触针10032的第一接触区域12与待测试的集成电路300的第一接触面1332之间，以及在本发明触针10032的第二接触区域16与测试基座200中第二接触面1732之间分别发生电接触。
理想情形下，各第二接触面17延伸至本发明测试基座200的底侧，并在该处形成用于连接至负载板(称作loadboard的印刷电路板)的电接头。此负载版与本发明测试基座机械连接或者电连接，或是被单独定位至该测试基座和测量设备，并通过电线与测试基座或测量设备连接。
作为替代方案，如图8B所示，电接头可以设置在本发明的测试基座中，与对应的第二接触面相距一定距离。在此情形下，两个第二接触区域1712和1732分别经由电信号线20412和20432分别电连接到电接头20312和20332。借助于这些电接头20312和20332，在“负载板”和待测试集成电路300的第一接触面1312和1332之间交换测试或测量信号以用于测试。
以本发明的触针10012为例，对将本发明触针10012机械固定到测试基座200进行说明：分别设于本发明的触针10012的中央区域1的第一或第二端部5或7上的锁止装置191和192，分别与测试基座200对应的锁止装置2021和2022建立起互锁机械连接。
图8C和8D各自示出了本发明的测试基座200’的实施例，其中本发明的各排触针分别集成在可分离模块2051、2052、2053和2054中，其皆可嵌入本发明的测试基座200’中，从而与本发明测试基座200’机械连接(参见图8C)，且皆可从本发明测试基座200’重新移出，从而重新从本发明测试基座200’机械分离(参见图8D)。
除本发明的各排触针以外，此种可分离模块2051、2052、2053和2054也分别包含与各触针100对应的第二接触面13以及锁止装置2021和2022，以及可选地包含电信号线204和电接头205.
为了对所有触针进行最佳且特别是均匀的温度控制，优选地在本发明的测试基座内设置风道，该风道通过测试基座上经过适当定位的接头为各个触针提供温度适当的冲洗空气。
除了通过可分离模组2051、2052、2053和2054将一排触针移出的方案以外，通过单独一个可分离模块将设置于所有四排中的触针移出的方案也在本发明范围内。
最后，以其它方式(例如以矩阵或栅格形式)设置具有本发明各个触针的测试基座也属于本发明的范围。在此情形下，将本发明的所有触针整合在单独一个可分离模组中的方案，或将本发明相邻的触针的分区分别集成在一个可分离模组的方案，也在属于本发明的范围。
本发明不局限于所示实施例，变型方案及其子变型方案。特别是，说明书中所示特征、申请专利范围中申请保护的特征、以及附图所示特征的所有组合，若技术上可行，皆可属于本发明的范围。

Claims (18)

1.一种触针(100；10012；10032)，用于电连接设于待测试的测试装置(300)上的第一电接触面(13)和设于测试基座(200；200’)中的第二电接触面(17)；
所述触针包括：
与所述测试基座(200；200’)机械连接的长条形中央区域(1)；
第一弹性臂(21)，其第一端部(41)与所述中央区域(1)的第一端部(5)连接且其第二端部(111)具有用于与所述第一电接触面(13)进行电接触的第一接触区域(12)；
第二弹性臂(31)，其第一端部(61)与所述中央区域(1)的第一或第二端部(5，7)连接且其第二端部(151)具有用于与所述第二电接触面(17)进行电接触的第二接触区域(16)；
其中所述第一和第二弹性臂(21，31)分别在其第一端部(41，61)的区域内定向为与所述中央区域(1)的纵轴(9)互成(φ1,φ2)的夹角，所述夹角小于或等于90°；
其特征在于，
所述第一弹性臂(21)的第二端部(111)通过插入式方式连接到所述中央区域(1)的第二端部(7)；和/或所述第二弹性臂(31)的第二端部(151)通过插入式方式连接到所述中央区域(1)的第二端部(7)或第一端部(5)。
2.根据权利要求1所述的触针(100；10012；10032)，其特征在于，
所述第一弹性臂(21)的第二端部(111)具有带有凹部(34)的横向加宽部(20)，所述凹部(34)中插入有所述中央区域(1)的第二端部(7)的对应的横向加宽部(35)，并且所述第二弹性臂(31)的第二端部(151)具有带有凹部(36)的横向加宽部(23)，所述凹部(36)中插入有所述中央区域(1)的第二端部(7)或第一端部(5)的对应的横向加宽部(37)。
3.根据权利要求1所述的触针(100；10012；10032)，其特征在于，
所述第一弹性臂(21)的第二端部(111)具有横向加宽部(20)，其插入所述中央区域(1)的第二端部(7)的横向加宽部(35)中的对应的凹部(38)内，以及所述第二弹性臂(31)的第二端部(151)具有横向加宽部(23)，其插入所述中央区域(1)的第二端部(7)或第一端部(5)的横向加宽部(37)中的对应的凹部(39)内。
4.根据权利要求2或3所述的触针(100；10012；10032)，其特征在于，
至少有另一第一弹性臂(22，23)或另一第二弹性臂(32，33)通过其第一端部(42，43，62，63)连接到所述中央区域(1)，所述至少另一第一弹性臂(22，23)或另一第二弹性臂(32，33)分别平行于所述第一和第二弹性臂(21，31)，且所述另一第一弹性臂(22，23)和所述另一第二弹性臂(32，33)分别与所述第一和第二弹性臂(21，31)通过狭槽彼此隔开。
5.根据权利要求4所述的触针(100；10012；10032)，其特征在于，
在所述待测装置(300)被压入所述测试基座(200；200’)时，所述另一第一弹性臂(22，23)和所述另一第二弹性臂(32，33)的第二端部(112，113，152，153)分别与所述第一或第二弹性臂(21，31)连接。
6.根据权利要求4所述的触针(100；10012；10032)，其特征在于，
所述另一第一弹性臂(22，23)和所述另一第二弹性臂(32，33)的第二端部(112，113，152，153)分别与所述第一弹性臂(21)或所述第二弹性臂(31)的第二端部(111，151)的横向加宽部(20，23)连接。
7.根据权利要求6所述的触针(100；10012；10032)，其特征在于，
每个所述另一第一弹性臂(22，23)和每个所述另一第二弹性臂(32，33)的第二端部(112，113，152，153)分别插入形成于所述第一弹性臂(21)或所述第二弹性臂(31)的第二端部(111，151)的横向加宽部(20，23)中的对应的凹部(212，213，222，223)内。
8.根据权利要求6所述的触针(100；10012；10032)，其特征在于，
在分别形成于每个所述另一第一弹性臂(22，23)和每个所述另一第二弹性臂(32，33)的第二端部(112，113，152，153)上的凹部(242，243，272，273)中，分别插入有对应的针状加宽部(252，253，262，263)，所述针状加宽部分别另外形成于所述第一弹性臂(21)或所述第二弹性臂(31)的第二端部(111，151)的横向加宽部(20，23)上。
9.根据权利要求4所述的触针(100；10012；10032)，其特征在于，
每个所述另一第一弹性臂(22，23)和每个所述另一第二弹性臂(32，33)的所述第一端部(42，43，62，63)分别具有针状加宽部，其插入形成于所述中央区域(1)中的对应的凹部(312，313，332，333)内。
10.根据权利要求4所述的触针(100；10012；10032)，其特征在于，
在每个所述另一第一弹性臂(22，23)和每个所述另一第二弹性臂(32，33)的第一端部(42，43，62，63)上分别形成凹部(272，273，292，293)，其中分别插入有所述中央区域(1)对应的横向加宽部(282，283，302，303)。
11.根据权利要求1所述的触针(100；10012；10032)，其特征在于，
所述第一弹性臂(21)的第一和第二端部(41，111)之间延伸的轴线(8)与所述中央区域(1)的纵轴(9)互成的夹角(φ1’)是所述第二弹性臂(31)的第一与第二端部(61，151)之间延伸的轴线(10)与所述中央区域(1)的纵轴(9)互成的夹角(φ2’)的1.5倍。
12.根据权利要求4所述的触针(100；10012；10032)，其特征在于，
所述第一弹性臂(21)和/或所述第二弹性臂(31)和/或所述另一第一弹性臂(22，23)和/或所述另一第二弹性臂(32，33)各自以线性方式延伸。
13.根据权利要求4所述的触针(100；10012；10032)，其特征在于，
所述第一弹性臂(21)和/或所述第二弹性臂(31)和/或所述另一第一弹性臂(22、23)和/或所述另一第二弹性臂(32、33)中的每个以相对于所述中央区域(1)的中轴线(9)以内凹弯曲的方式延伸。
14.根据权利要求4所述的触针(100；10012；10032)，其特征在于，
所述第一弹性臂(21)和/或所述第二弹性臂(31)和/或所述另一第一弹性臂(22、23)和/或所述另一第二弹性臂(32、33)中的每个以相对于所述中央区域(1)的中轴线(9)以凸出弯曲的方式延伸。
15.根据权利要求1所述的触针(100；10012；10032)，其特征在于，
所述第一弹性臂(21)和/或所述第二弹性臂(31)以曲折状方式延伸。
16.一种测试基座(200；200’)，用于电连接待测的测试装置(300)和印刷电路板，所述测试基座包括：
特定数量的如权利要求1至15任一项所述的触针(100；10012；10032)；
对应数量的第二电接触面(17；1712；1732)，其分别与对应的触针(100；10012；10032)的第二接触区域(16)以及所述印刷电路板电接触；以及
数量上至少与所述触针(100；10012；10032)的数量对应的固定装置(2021；2022)，其用于将每个触针(100；10012；10032)机械固定在所述测试基座(200；200’)中。
17.根据权利要求16所述的测试基座(200；200’)，其特征在于，
所述触针(100；10012；10032)与对应的固定装置(2021；2022)及对应的第二电接触面(17；1712；1732)设置在单独的模块中，所述模块可以从所述测试基座(200；200’)分离。
18.根据权利要求16所述的测试基座(200；200’)，其特征在于，
相邻触针(100；10012；10032)的多个子集与对应的固定装置(2021；2022)及对应的第二电接触面(17；1712；1732)分别设置在一个模块(2051，2052，2053，2054)中，其皆可从所述测试基座(200；200’)分离。
CN201780023433.0A 2016-04-13 2017-04-07 触针和具有触针的测试基座 Active CN109416374B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102016004520.5 2016-04-13
DE102016004520.5A DE102016004520A1 (de) 2016-04-13 2016-04-13 Kontaktstift und Testsockel mit Kontaktstiften
PCT/EP2017/000445 WO2017178105A1 (de) 2016-04-13 2017-04-07 Kontaktstift und testsockel mit kontaktstiften

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109416374A CN109416374A (zh) 2019-03-01
CN109416374B true CN109416374B (zh) 2020-02-04

Family

ID=58503566

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201780023433.0A Active CN109416374B (zh) 2016-04-13 2017-04-07 触针和具有触针的测试基座

Country Status (8)

Country Link
US (1) US10641793B2 (zh)
EP (1) EP3265831B1 (zh)
JP (1) JP6818986B2 (zh)
KR (1) KR101927678B1 (zh)
CN (1) CN109416374B (zh)
DE (1) DE102016004520A1 (zh)
TW (1) TWI721151B (zh)
WO (1) WO2017178105A1 (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3704496A4 (en) * 2017-10-31 2021-08-11 FormFactor, Inc. MEMS PROBE CARD ASSEMBLY HAVING DECOUPLED ELECTRICAL AND MECHANICAL PROBE CONNECTIONS
CN108306138A (zh) * 2018-01-09 2018-07-20 番禺得意精密电子工业有限公司 电连接器
DE102018104264A1 (de) * 2018-02-26 2019-08-29 Rosenberger Hochfrequenztechnik Gmbh & Co. Kg Verfahren zur herstellung von mindestens einem hochfrequenz-kontaktelement oder einer hochfrequenz-kontaktelement-anordnung sowie zugehörige vorrichtung
CN111880067B (zh) * 2019-04-15 2023-05-05 台湾中华精测科技股份有限公司 晶片测试组件及其电性连接模块
TWI745182B (zh) * 2020-11-30 2021-11-01 中華精測科技股份有限公司 探針卡裝置及雙臂式探針
WO2023196438A1 (en) * 2022-04-07 2023-10-12 Microfabrica Inc. Probes with planar unbiased spring elements for electronic component contact, methods for making such probes, and methods for using such probes

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0621484A1 (en) * 1993-04-19 1994-10-26 Motorola, Inc. Method and apparatus for coupling a semiconductor device with a tester
US5764072A (en) * 1996-12-20 1998-06-09 Probe Technology Dual contact probe assembly for testing integrated circuits
EP0966687A1 (en) * 1997-03-11 1999-12-29 Primeyield Systems, Inc. Peripherally leaded package test contactor
CN101031804A (zh) * 2004-08-11 2007-09-05 安拓锐高新测试技术有限公司 用于探针卡的互连组件
WO2014003003A1 (ja) * 2012-06-25 2014-01-03 山一電機株式会社 電気テスト用コンタクトおよびそれを用いた電気テスト用ソケット

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0447689A (ja) * 1990-06-13 1992-02-17 Sansei Denshi Japan Kk Ｉｃタブ用ソケット
JPH0747689A (ja) 1993-08-03 1995-02-21 Canon Inc 記録装置
JPH07254468A (ja) * 1994-03-15 1995-10-03 Sony Corp Ｉｃ測定用ソケット
US6034534A (en) * 1995-05-25 2000-03-07 Kiyota; Shigeo Laminated contact probe for inspection of ultra-microscopic pitch
US6045367A (en) 1997-09-24 2000-04-04 Teledyne Industries, Inc. Multi-pin connector
US6491968B1 (en) * 1998-12-02 2002-12-10 Formfactor, Inc. Methods for making spring interconnect structures
WO2001048818A1 (en) * 1999-12-29 2001-07-05 Formfactor, Inc. Resilient interconnect structure for electronic components and method for making the same
JP3810977B2 (ja) * 2000-02-25 2006-08-16 株式会社エンプラス 電気部品用ソケット
US6604950B2 (en) * 2001-04-26 2003-08-12 Teledyne Technologies Incorporated Low pitch, high density connector
JP2002365308A (ja) * 2001-06-08 2002-12-18 Japan Electronic Materials Corp 垂直ブレード型プローブ、垂直ブレード型プローブユニット及びそれを用いた垂直ブレード型プローブカード
US7265565B2 (en) 2003-02-04 2007-09-04 Microfabrica Inc. Cantilever microprobes for contacting electronic components and methods for making such probes
US20040157476A1 (en) * 2003-02-12 2004-08-12 Ralph Maldonado Perimeter sealed high density multi-pin connector
US6921270B2 (en) * 2003-06-11 2005-07-26 Cinch Connectors, Inc. Electrical connector
JP3860561B2 (ja) 2003-06-27 2006-12-20 タイコエレクトロニクスアンプ株式会社 Ｉｃソケット
JP2005069711A (ja) * 2003-08-27 2005-03-17 Japan Electronic Materials Corp プローブカード及びそれに使用する接触子
JP2006132982A (ja) * 2004-11-02 2006-05-25 Tokyo Electron Ltd プローブ
US7808260B2 (en) * 2005-02-24 2010-10-05 Kulicke And Soffa Industries, Inc. Probes for a wafer test apparatus
US7438556B2 (en) * 2006-08-15 2008-10-21 Hon Hai Precision Ind. Co., Ltd. Electrical interconnection between multiple printed circuit boards
KR100947862B1 (ko) * 2008-06-30 2010-03-18 한국기계연구원 힌지 구조를 갖는 캔틸레버형 미세 접촉 프로브
TW201010187A (en) * 2008-08-18 2010-03-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Electrical connector
JP5968158B2 (ja) 2012-08-10 2016-08-10 株式会社日本マイクロニクス コンタクトプローブ及びプローブカード
US9797926B2 (en) * 2012-11-07 2017-10-24 Omron Corporation Contact and electrical connection testing apparatus using the same
WO2014182633A1 (en) * 2013-05-06 2014-11-13 Formfactor A probe card assembly for testing electronic devices

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0621484A1 (en) * 1993-04-19 1994-10-26 Motorola, Inc. Method and apparatus for coupling a semiconductor device with a tester
US5764072A (en) * 1996-12-20 1998-06-09 Probe Technology Dual contact probe assembly for testing integrated circuits
EP0966687A1 (en) * 1997-03-11 1999-12-29 Primeyield Systems, Inc. Peripherally leaded package test contactor
CN101031804A (zh) * 2004-08-11 2007-09-05 安拓锐高新测试技术有限公司 用于探针卡的互连组件
WO2014003003A1 (ja) * 2012-06-25 2014-01-03 山一電機株式会社 電気テスト用コンタクトおよびそれを用いた電気テスト用ソケット

Also Published As

Publication number Publication date
KR20180116420A (ko) 2018-10-24
TW201738570A (zh) 2017-11-01
CN109416374A (zh) 2019-03-01
US10641793B2 (en) 2020-05-05
US20190137545A1 (en) 2019-05-09
WO2017178105A1 (de) 2017-10-19
TWI721151B (zh) 2021-03-11
JP6818986B2 (ja) 2021-01-27
EP3265831A1 (de) 2018-01-10
DE102016004520A1 (de) 2017-10-19
JP2019514001A (ja) 2019-05-30
EP3265831B1 (de) 2018-06-13
KR101927678B1 (ko) 2018-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109416374B (zh) 触针和具有触针的测试基座
KR101906626B1 (ko) 비선형 수직 리프 스프링
EP3156805B1 (en) Probe pin and electronic device using same
US10557867B2 (en) Probe pin and inspection device including probe pin
CN101803116B (zh) 半导体电机械接触器
US11187722B2 (en) Probe pin and electronic device using the same
TWI586965B (zh) 具有可程式化動作之探針
US8287286B2 (en) Electrical interposer connection body
JP2015215328A (ja) プローブピンおよびｉｃソケット
JP2022504008A (ja) スプリングコンタクト及びスプリングコンタクト内蔵型テストソケット
US6674297B1 (en) Micro compliant interconnect apparatus for integrated circuit devices
KR101882171B1 (ko) 평판 접이식 연결 핀
JP2018072157A (ja) 電気接触子、および、それを備える電気接続装置
WO2015037696A1 (ja) プローブピンおよびｉｃソケット
EP3364194B1 (en) Kelvin test probe, kelvin test probe module, and manufacturing method therefor
JP4237191B2 (ja) プローブカード
KR101420170B1 (ko) 외팔보 구조물을 이용한 반도체소자 테스트 소켓용 컨택터 및 그 제조 방법
KR102046808B1 (ko) 양방향 도전성 핀, 이를 이용한 양방향 도전성 모듈 및 그 제조방법
CN111293448A (zh) 压接结构的一体型弹簧针
JP4056983B2 (ja) プローブカード
WO2015163160A1 (ja) プローブピンおよびｉｃソケット
KR19990034968U (ko) 콘택트핑거를이용한반도체검사용소켓어셈블리
JPH11251022A (ja) Ｉｃソケットのコンタクトピン、コンタクトピンユニット及びｉｃソケット

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant