CN109153156B - 树脂固化用光源装置 - Google Patents

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Abstract

提供针对现有的UV固化型树脂也不会在树脂表面产生胶粘并能够照射短时间可实现固化的光的树脂固化用光源装置,另外,提供不仅UV固化型树脂用还能够照射可以高效固化IR固化型树脂的光的树脂固化用光源装置。树脂固化用光源装置具备:光源;将从光源放射的光向出射部引导的光学系统;以及光通过部,其在该光学系统中能选择性地插入至使上述光通过的光路,并使包括250nm波段的光的UV‑C紫外线、500nm~640nm波段的光以外的可见光线、以及红外线一起通过,该树脂固化用光源装置构成为抑制树脂表面的胶粘性。

Description

树脂固化用光源装置
技术领域
本发明涉及用于使例如树脂粘结剂等光固化型树脂固化的树脂固化用光源装置。
背景技术
向涂布后的粘结剂照射紫外线来使其固化的粘结剂涂布装置及粘结剂固化装置是公知的,并且在电子部件或医疗部件的制造领域等较多地得到使用(例如,专利文献1~3)。
这些现有的粘结剂涂布装置及粘结剂固化装置均为向紫外线(UV)固化型粘结剂照射紫外线来使之固化(硬化)的装置。例如,本申请的申请人几十年前提供的UV光点硬化装置构成为针对极微量使用了为了最高效地吸收以365nm为中心的波长而制造的UV固化型树脂的非常小的区域而快速固化,为了有效地使用以365nm为中心的波长的紫外线,阻断可见光区域及红外线(IR)区域的光能并进行光点照射。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开平05-253526号公报
专利文献2:日本特开平11-128800号公报
专利文献3:日本特开2006-176653号公报
发明内容
发明所要解决的课题
这样,在针对UV固化型树脂阻断不必要的光能并进行紫外线照射的情况下,可以得知树脂表面是固化的,但树脂内部的固化状态是未知的,另外,在树脂表面会残留粘液或发粘(胶粘性)。因此,现有技术中,作为基于紫外线照射的固化处理后的后工序,进行在烘箱内将对象物加热到高温的处理。
但是,根据该方法,额外需要基于烘箱的加热时间,整体的处理时间变长,而且,尤其在与医疗有关的对象物的情况下,以对象物表面存在胶粘的状态在烘箱内移动的期间,因杂质附着而成为不合格品的可能性较大。
一般地,可以认为,在UV固化型树脂的固化过程中,作用于树脂表层部分的固化的是最短的波段的紫外线(UV-C紫外线,从200nm至小于280nm),对树脂的中部进行固化作用的是比其长的波段的紫外线(UV-B紫外线,从280nm至小于315nm),作用于树脂的更深部分(最接近对象物的附近)的固化是比其更长的波长的紫外线(UV-A紫外线,从315nm至400nm)、可见光线以及红外线。但是,在同时照射全波长的光时,虽能去除树脂表面的胶粘性,但能量过强并发生UV固化型树脂的破坏(变形)、破损和/或烧焦等较多的不良状况。因此,在现有的固化过程中,在大多数情况下,使用UV-B紫外线和比其长的波段的光进行UV固化型树脂的固化,然后,在UV固化型树脂完全固化后,在后工序利用高温度烘箱花费时间来实施残留于表面的胶粘性的去除。
这样,除在转移到后工序时发生树脂表面的污垢污染这样的问题之外,存在对象物对热处理的耐性的问题。在电子部件、液晶等中,较多存在有对高温的耐性低的部件。因此,有必要降低加热处理的温度,但其会导致处理时间的长期化,有悖于处理工序的短期化这样的要求。其结果,为了应对胶粘性的去除,除了开发全新的树脂、或利用非常短时间的高温处理来去除UV固化后的树脂表面的胶粘性之外,没有其他选项。
为此,本发明的目的在于,提供针对现有的UV固化型树脂也不会在树脂表面发生胶粘而能够照射可短时间实现固化的光的树脂固化用光源装置。
本发明的另一目的在于,提供不仅UV固化型树脂用还能够照射可以高效固化IR固化型树脂的光的树脂固化用光源装置。
用于解决课题的技术方案
根据本发明,树脂固化用光源装置具备:光源;光学系统,其将从光源放射的光向出射部引导;以及光通过部,其在该光学系统中能选择性地插入至使上述光通过的光路,并使包括250nm波段的光的UV-C紫外线、500nm~640nm波段的光以外的可见光线以及红外线一起通过,所述树脂固化用光源装置构成为抑制树脂表面的胶粘性。
通过将包括250nm波段的光的UV-C紫外线、500nm~640nm波段的光以外的可见光线、由红外线组成的光一起照射至UV固化型树脂,不会在树脂表面产生胶粘(粘液或发粘),而且,能够在短时间使其固化。另外,不仅UV固化型树脂,还能够有效地使IR固化型树脂固化。
光通过部优选构成为还使UV-B紫外线及UV-A紫外线通过。
光通过部还优选是使上述波段的紫外线、上述波段的可见光线以及红外线透射的透射滤光器或镜。
还优选构成为:能将具有能够使UV-C紫外线的一部分波段衰减的光透射率特性的低带阻滤光器选择性地插入至上述光路中的聚光区域的一部分区域或整个区域。根据低带阻滤光器的插入程度控制胶粘性去除波长(254nm附近的紫外线)的能量,能够自由调整UV固化主波长(365nm附近的紫外线)与胶粘性去除波长的相对强度的比率。其结果,以最佳条件实施紫外线固化型树脂的胶粘性去除成为可能。
还优选:用于调整UV-C紫外线中的UV固化主波长365nm附近波段的能量的能量调整用光学元件被插入至光路中的聚光区域。通过能量调整用光学元件的插入,UV固化主波长的能量得到控制,能够自由地调整UV固化主波长与胶粘性去除波长的相对强度的比率。其结果,以最佳条件实施紫外线固化型树脂的胶粘性去除成为可能。
在该情况下,更优选能量调整用光学元件构成为:通过使多层膜型干涉滤光器的入射角度发生变化,来调整365nm附近波段的透射能量。
还优选还具备快门机构,该快门机构被插入至光学系统的光路,并为了控制被照射体的曝光时间,进行光路的开闭,该快门机构构成为能使光通过部选择性地插入至光路。
还优选光源包括金属卤化物灯、水银氙灯、或多个LED元件。
还优选光学系统包括椭圆镜或透镜,所述椭圆镜反射从光源放射的所有波段的光并进行聚光,所述透镜对从光源放射的所有波段的光进行聚光。
发明效果
根据本发明,不会在树脂表面产生胶粘,能够在短时间使其固化,另外,不仅UV固化型树脂,还能够有效地使IR固化型树脂固化。
附图说明
图1是概略表示本发明一个实施方式中树脂固化用光源装置的外观构成的立体图。
图2是概略表示图1的实施方式中树脂固化用光源装置的光学构成的俯视图。
图3的(A)、(B)是概略表示图1的实施方式及其变更方式中树脂固化用光源装置的光强度调整机构的调整板的构成的剖视图。
图4的(A)、(B)是概略表示图1的实施方式及其变更方式中树脂固化用光源装置的快门机构的快门板的构成的剖视图。
图5是表示图4中所示的快门机构及第一实施例中波段透射滤光器的波长光透射率特性的图。
图6是概略表示图1的实施方式中树脂固化用光源装置的电气结构的图。
图7是表示图6的可编程控制器(PLC)中一部分程序的流程的流程图。
图8是表示图1的实施方式及其变更方式中树脂固化用光源装置的控制面板上显示的主处理画面的图。
图9是表示图1的实施方式及其变更方式中树脂固化用光源装置的控制面板上显示的制法处理画面的图。
图10是表示图1的实施方式及其变更方式中树脂固化用光源装置的控制面板上显示的校正处理画面的图。
图11是概略表示本发明的其他实施方式中树脂固化用光源装置的光学构成的俯视图。
图12是表示图11的实施方式及其变更方式中低带阻滤光器的波长光透射率特性的图。
图13是概略表示本发明另外的其他实施方式中树脂固化用光源装置的光学构成的俯视图。
图14是表示图13的实施方式中能量调整用光学元件的波长光透射率特性的图。
图15是表示在第一实施例中实际透射的光的光谱分布特性的图。
图16表示是第一比较例中波段透射滤光器的波长光透射率特性的图。
图17是表示在第一比较例中实际透射的光的光谱分布特性的图。
图18是表示第二比较例中波段透射滤光器的波长光透射率特性的图。
图19是表示在第二比较例中实际透射的光的光谱分布特性的图。
具体实施方式
图1概略表示本发明的一个实施方式中树脂固化用光源装置的外观构成。
如该图所示,在收纳树脂固化用光源装置10的壳体11的前表面11a,设置有由触摸面板式显示屏构成的控制面板12和引导照射于被照射体的光点的光纤束13的安装部14。
图2概略表示图1的实施方式中树脂固化用光源装置10的光学构成。
本实施方式的树脂固化用光源装置10在光学上具备:光源15;安装有光源15的聚光型的反射镜16;插入于由反射镜16反射的光的光路17的转动式的光强度调整机构18;插入于光强度调整机构18下游的光路17的快门机构19;检测来自光源15的光的光强度的光强度传感器20;以及引导照射于被照射体的光点的光纤束13。此外,作为本实施方式的变更方式,光源15及反射镜16也可以被一体化,从而被单元化。
光源15为以放射包括IR波段光、可见光及UV波段光的全波段的光的方式构成的例如金属卤化物灯。作为光源15,替代金属卤化物灯,也可以使用水银氙灯或可放射全波段的光的多个LED元件。
反射镜16具有光源15安装在其焦点位置的旋转椭圆体形状,并以如下方式构成,即,通过使用例如铝蒸镀的镜,对从光源15放射的所有波段,即对包括IR波段光、可见光及UV波段光(UV-A紫外线、UV-B紫外线以及UV-C紫外线)的全波段(例如,200nm~2500nm的波段)的光进行有效地反射并聚光。此外,替代铝蒸镀的镜,也可以使用蒸镀了金的镜。另外,替代反射镜16,也可以使用对从光源15放射的所有波段的光进行聚光的透镜。
图3的(A)概略表示从图1的实施方式中树脂固化用光源装置的光强度调整机构的调整板的光源侧观察的构成,图3的(B)概略表示从该实施方式的变更方式中树脂固化用光源装置的光强度调整机构的调整板的光源侧观察的构成。如图3的(A)具体所示,本实施方式的光强度调整机构18具备:转动式调整板18a;步进电机18c,其同轴安装于转动式调整板18a,是用于使转动式调整板18a围绕转动轴18b以预定角度转动的光量控制用的步进电机;设置于转动式调整板18a的开口部18d;设置于转动式调整板18a的圆周端的原点确认用突起18e;用于检测该原点确认用突起18e的通过的光断续器18f。
如图3的(A)所示,开口部18d具有以转动轴18b为中心(根据转动式调整板18a的转动角度)开口面积连续变化的曲线楔状。由于以来自反射镜16的光点的全部或一部分通过该开口部18d的方式构成,因此在通过步进电机18c的旋转驱动,转动式调整板18a进行转动时,根据其的转动角度光强度连续发生变化。此外,就图3的(A)中12点钟位置的光点21a而言,由于其全部(100%)通过,光强度成为最大。通过转动式调整板18a在该图中以顺时针转动,通过的光束最终连续减少至0%。例如,在图3的(A)中9点钟位置的光点21b、6点钟位置的光点21c、以及3点钟位置的光点21d的情况下,透射光量以该顺序且根据其的转动角度减少,光强度相应地降低。也就是说,本实施方式的光强度调整机构18能够根据步进电机18c的转动角度控制光强度,而且能够使该光强度连续地变化。此外,在步进电机18c,安装有未图示的旋转编码器,构成为通过该旋转编码器的计数检测步进电机18c的转动角度,向后述的可编程控制器(PLC)62(参照图6)进行通知。
光断续器18f构成为检测设置于转动式调整板18a的圆周端的原点确认用突起18e的通过并向PLC62通知。由此,确认转动式调整板18a的原点位置,能够和旋转编码器检测到的步进电机18c的转动角度一起,正确识别转动式调整板18a的转动位置。此外,原点位置的确认在使电源开关接通时进行。
如图2所示,本实施方式中的转动式调整板18a相对于光路17倾斜设置,由此,能够利用转动式调整板18a的表面使来自反射镜16的光的一部分反射并入射到光强度传感器20。光强度传感器20的输出被送到PLC62,PLC62构成为将其数值在控制面板12进行显示。由此总是能够确认从光源15实际放射的光的光强度。在本实施方式的变更方式中,并非使利用转动式调整板18a的表面反射的光入射到光强度传感器20,构成为使透射转动式调整板18a的光入射到光强度传感器20。由此,能够降低装置的制造成本。
作为本实施方式的变更方式,也可以构成为使光强度调整机构直线移动。在该情况下,通过齿轮齿条等将步进电机的旋转运动转换为直线运动,左右直线驱动图3的(B)所示的直线移动式调整板18a’。在该直线移动式调整板18a’,设置有沿左右方向开口面积连续变化的直线楔状的开口部18d’,在直线移动式调整板18a’沿左右方向直线移动时,光强度根据其位置连续地变化。对图3的(B)中最左端的光点21a’而言,其全部(100%)通过,因此光强度成为最大。通过使直线移动式调整板18a’沿左方向直线移动,通过的光束最终连续减少至0%。例如,在图3的(B)中下一个位置的光点21b’、下一个位置的光点21c’、以及最右端的光点21d’的情况下,透射光以该顺序且根据其的直线移动位置减少,光强度相应地降低。也就是说,本变更方式的光强度调整机构也能够根据步进电机的转动角度控制光强度,而且能够使该光强度连续地变化。本变更方式中的直线移动式调整板18a’的原点位置的识别通过如下方式进行,即,通过未图示的光断续器检测该直线移动式调整板18a’的左右一端的通过,并向PLC62通知。
此外,在上述图1的实施方式及其变更方式中,构成为开口面积连续变化,但也能够构成为:不使开口部18d及18d’的形状彼此连续,通过设为开口面积变化的形状,使光强度非连续地变化。
图4的(A)概略表示图1的实施方式中树脂固化用光源装置的快门机构的快门板的构成,图4的(B)概略表示其变更方式中树脂固化用光源装置的快门机构的快门板的构成。如图4的(A)具体所示,本实施方式中的快门机构19具备:扇形状的转动式快门板19a;步进电机19c,其同轴安装于转动式快门板19a,是用于使该转动式快门板19a围绕转动轴19b高速转动(摇动)的快门用的步进电机;设置于转动式快门板19a的IR波段透射滤光器19d;与转动式快门板19a的IR波段透射滤光器19d相邻设置的光阻断部19e;与光阻断部19e相邻设置于转动式快门板19a的UV波段透射滤光器19f;UV及IR波段透射滤光器(与本发明的光通过部相对应)19i,其与IR波段透射滤光器19d的外侧(在图中为右侧)相邻设置于转动式快门板19a,仅使包括UV-C紫外线、500nm~640nm的波段的光以外的可见光线、红外线的光透射;设置于转动式快门板19a的圆周端的原点确认用突起19g;用于检测该原点确认用突起19g的通过的光断续器19h。此外,也可以使UV及IR波段透射滤光器19i与UV波段透射滤光器19f的外侧(在图中为左侧)相邻进行设置。
在本实施方式中,IR波段透射滤光器19d在耐热性及长寿命稳定性方面比较优异,由仅使红外线(包括一部分可见光)透射的透射滤光器或镜构成,例如,具有阻止约400nm以下的光的透射并以95%以上的透射率使约405nm以上的光透射的特性。本实施方式的IR波段透射滤光器19d构成为具有仅使红外线(包括一部分可见光)透射的透射特性,但也可以根据照射对象即IR固化型树脂的对波长固化特性或光源15的对波长放射特性使用各种对波长光透射率特性的滤光器。
光阻断部19e为非开口部,构成为不使光通过而进行阻断。
在本实施方式中,UV波段透射滤光器19f在耐热性及长寿命稳定性方面比较优异,由仅使紫外线(包括一部分可见光)透射的透射滤光器或镜构成,例如,具有阻止约250nm以下及约500nm以上的光的透射并以90%以上的透射率使约300nm~约450nm的光透射的特性。本实施方式的UV波段透射滤光器19f构成为具有仅使紫外线(包括一部分可见光)透射的透射特性,但也可以根据照射对象即UV固化型树脂的对波长固化特性或光源15的对波长放射特性使用各种对波长光透射率特性的滤光器。
在本实施方式中,UV及IR波段透射滤光器19i在耐热性及长寿命稳定性方面比较优异,由使包括250nm波段的光的UV-C紫外线、除500nm~640nm波段之外的光的可见光线、红外线透射的透射滤光器或镜构成。该UV及IR波段透射滤光器19i的波长光透射率特性的一个例子在图5中示出。在该例中,具有如下特性,即,阻止可见光线中约500nm以上且约640nm以下范围的光的透射,以90%以上的透射率至少使包括250nm的波段的UV-C紫外线和约650nm以上的可见光线以及红外线透射。通过将这样的UV及IR波段透射滤光器19i插入于光路17,不会使树脂表面产生粘液或发粘(胶粘),而且,能够在短时间使其固化,另外,不仅UV固化型树脂用的光,还能够有效地使IR固化型树脂固化。而且,树脂固化所不需要的500nm~640nm的波段的光被阻断,因此能够防止被照射体不必要地被加热。此外,本实施方式的UV及IR波段透射滤光器19i构成为具有仅使紫外线(包括一部分可见光)及红外线(包括一部分可见光)透射的透射特性,但也可以根据照射对象即UV固化型树脂的对波长固化特性或光源15的对波长放射特性使用各种波长光透射率特性的滤光器。
通过转动式快门板19a围绕转动轴19b枢轴转动,IR波段透射滤光器19d、光阻断部19e、UV波段透射滤光器19f或UV及IR波段透射滤光器19i选择性地被插入光路17。也就是说,根据步进电机的转动角度,本实施方式的快门机构19能够对仅红外线(包括一部分可见光)的透射、全波段光的阻断、仅紫外线(包括一部分可见光)的透射、或仅红外线(包括一部分可见光)及紫外线(包括一部分可见光)的透射进行选择。IR波段透射滤光器19d及UV波段透射滤光器19f相对于光阻断部19e配置于转动方向的两侧。由此,在本实施方式的快门机构19,在进行仅红外线(包括一部分可见光)的透射或仅紫外线(包括一部分可见光)的透射的情况下,之后,必定进行全波段光的阻断,接着,进行仅红外线(包括一部分可见光)的透射或仅紫外线(包括一部分可见光)的透射。这样,在仅红外线的透射和仅紫外线的透射之间切换时,使被照射体与光进行阻断成为可能。由此,能够防止与IR波段光照射相连续立即进行UV波段光照射、或者与UV波段光照射相连续立即进行IR波段光照射这种不良状况,另外,使两波段光照射之间进行被照射体的冷却成为可能。另外,在本实施方式中,IR波段透射滤光器19d、UV波段透射滤光器19f、以及UV及IR波段透射滤光器19i设置于快门机构19,而且,这些部件安装于通过步进电机19c驱动的转动式快门板19a,因此能够高速进行各光透射波段的切换。此外,在步进电机19c,安装有未图示的旋转编码器,构成为通过该旋转编码器的计数检测步进电机19c的转动角度,并向PLC62通知。
光断续器19h构成为检测设置于转动式快门板19a的圆周端的原点确认用突起19g的通过,并向PLC62通知。由此,确认转动式快门板19a的原点位置,与旋转编码器检测的步进电机19c的转动角度一起,能够正确识别转动式快门板19a的转动位置。此外,原点位置的确认在使电源开关接通时进行。
作为本实施方式的变更方式,也可以构成为使快门机构直线移动。在该情况下,通过齿轮齿条等将步进电机的旋转运动转换为直线运动,左右直线驱动图4的(B)所示的直线移动式快门板19a’。在该快门板19a’,沿左右方向(在图中从右侧起)设置有UV及IR波段透射滤光器19i’、IR波段透射滤光器19d’、光阻断部19e’、以及UV波段透射滤光器19f’,在直线移动式快门板19a’沿左右方向直线移动时,根据其位置,UV及IR波段透射滤光器19i’、IR波段透射滤光器19d’、光阻断部19e’、或UV波段透射滤光器19f’被插入光路17。也就是说,本变更方式的快门机构通过步进电机的转动能够高速切换各光透射波段。本变更方式中直线移动式快门板19a’的原点位置的识别通过如下方式进行,即,通过未图示的光断续器检测该直线移动式快门板19a’的左右的一端的通过,并向PLC62通知。
光纤束13为将石英玻璃等具有高紫外线波段透射率的多个石英纤维捆扎来构成,并具备:入射部13a,其位于来自反射镜16的反射光的聚光点附近的光路17;向被照射体的点光被出射的出射部13b;覆盖其外周的包覆体13c。
图6概略表示图1的实施方式中树脂固化用光源装置10的电气结构。
本实施方式的树脂固化用光源装置10在电方面具备:在本实施方式中由水银氙灯构成的光源15;灯点亮电源60,其与该光源15电连接,并供给灯电流;灯点亮电源控制基板61,其与该灯点亮电源60电连接;PLC62,其与灯点亮电源控制基板61电连接;光强度调整机构18的步进电机18c及光断续器18f,其与PLC62电连接;快门机构19的步进电机19c及光断续器19h,其与PLC62电连接;校正用光强度检测器63,其与PLC62电连接;被照射体用的温度计64,其与PLC62电连接;联锁开关65,其与PLC62电连接,并检测壳体11的未图示的盖体是否关闭;恒温器66,其与PLC62电连接,检测光源15的周围的过热状态并向PLC62通知;基于远程的开始开关67,其与PLC62电连接;上述的控制面板12,其经由以太网(注册商标)68及69以及集线器70与PLC62电连接;上述的光强度传感器20,其与PLC62电连接;外部计算机72,其经由以太网68及71、以及集线器70与PLC62电连接。
PLC62是通过由程序规定的顺序及条件进行控制的计算机,内置有CPU、存储器、输入输出接口、A/D转换器、以太网端子、反相器功能、脉冲输出功能以及高速计数器功能等。具有这种功能的PLC是市售的(例如,欧姆龙株式会社的可编程控制器CP1E)。
光强度调整机构18的步进电机18c构成为通过从PLC62输出的脉冲并经由未图示的驱动器得到驱动,另外,构成为来自对其转动角度进行计数的未图示的旋转编码器的计数值被输入PLC62。由此,PLC62能够使光强度调整机构18的转动式调整板18a正确快速地转动到期望的角度,并能够以高精度得知其转动位置。
快门机构19的步进电机19c还构成为通过从PLC62输出的脉冲并经由未图示的驱动器得到驱动,另外,构成为来自对其转动角度进行计数的未图示的旋转编码器的计数信号被输入PLC62。由此,PLC62能够使快门机构19的转动式快门板19a正确快速地转动到期望的角度,并能够以高精度得知其转动位置。
校正用光强度检测器63构成为仅在校正(Calibration)射出到被照射体光点的光能时与光纤束13的出射部13b光学连结,产生与光点的光强度(W/cm2)相对应的电压并将其输出电压送入PLC62。作为该校正用光强度检测器63,使用在IR波段及UV波段的两个波段具有平坦的响应特性并在这两个波段能够共通使用的例如热电堆(多个热电偶)。相对于校正用光强度检测器63的输入光强度的输出电压特性是已知的,被存储在PLC62的存储器中。校正处理通过PLC62进行。也就是说,为了得到应该校正的期望的光强度(校正用光强度检测器63的输出电压),只要使光强度调整机构18的转动式调整板18a转动,并将当时的步进电机18c的转动角度存储在PLC62存储器中,就能够得到相对于步进电机18c的转动角度的输出光强度的校正后的特性。
温度计64是在必要的情况下所设置的温度计,由检测被照射体的温度的热电偶构成。该温度计64的检测输出被送入PLC62。由此,PLC62能够将被照射体的温度显示在例如控制面板12上,并能够向必要的外部机器、例如外部计算机72通知。
联锁开关65在壳体11的盖体打开的情况下检测该情况,并向PLC62通知。由此,直至盖体关闭,PLC62能够使树脂固化用光源装置10的动作全部停止。另外,能够将盖体打开的情况在例如控制面板12显示。
恒温器66检测光源15周围的过热状态,并向PLC62通知。由此,直至过热状态结束,PLC62能够使光源15为熄灭状态。
基于远程的开始开关67例如为脚踏开关,是通过来自外部的远程控制能够使后述的制法处理开始的开关。
光强度传感器20检测由除转动式调整板18a的开口部18d之外的部分的表面反射的光源15的放射光的光强度,并将该检测输出送入PLC62。由此,PLC62能够得知从光源15放射并由转动式调整板18a反射的光的光强度,因此能够得知基于转动式调整板18a的透射光的剩余反射光的光强度(从此能够求出照射光的光强度),能够将与该反射光的光强度相对应的电压在控制面板12显示并监测。在本实施方式的变更方式中,并非利用光强度传感器20检测由转动式调整板18a的表面反射的放射光的光强度,构成为利用光强度传感器20检测透射转动式调整板18a的放射光的光强度。
控制面板12由基于液晶的触摸面板式显示屏构成,构成为通过PLC62的指示显示后述的主处理、制法处理及校正处理中的各种信息,并将操作者触摸输入的信息向PLC62传送。
外部计算机72根据需要与该树脂固化用光源装置10连接,能够构成为从外部控制该树脂固化用光源装置10的动作。该外部计算机72的远程控制与本发明没有直接关系,省略其说明。
在本实施方式的变更方式的情况下,也能够同样地控制步进电机,并控制光强度调整机构的直线移动式调整板18a’及快门机构的直线移动式快门板19a’的移动位置。
图7表示基于PLC62的制法处理的程序的流程,图8表示控制面板12上显示的主处理画面,图9表示控制面板12上显示的制法处理画面,图10表示控制面板12上显示的校正处理画面。
以下,使用这些图,对树脂固化用光源装置10上的PLC62的动作进行说明。
为了使树脂固化用光源装置10动作,首先,使未图示的电源开关接通。由此,在控制面板12,显示图8所示的主(Main)处理画面。在该主处理画面,显示:制法名(RecipeNo.1);用于转移到主处理的主按钮80;用于转移到制法(Recipe)处理的制法按钮81;用于转移到校正(Calibration)处理的校正按钮82;用于转移到设定(Setup)处理的设定按钮83;光强度(Light intensity)传感器20的检测输出及监测(Monitor)电压的表示区域84;显示基于快门机构19的各处理的时间的倒计数监测(Countdown monitor)区域85;在该倒计数监测区域85显示的开始(Start)按钮85a及停止(Stop)按钮85b;与光源(Lamp)有关的接通(ON)按钮86a及断开(OFF)按钮86b;与快门机构(Shutter)有关的、用于进行手动操作的IR波段透射滤光器按钮87a、光阻断(Close)按钮87b以及UV波段透射滤光器按钮87c;调整光强度(Light intensity)的光强度调整区域88;在该区域88显示的光强度的升(+)按钮88a及降(-)按钮88b。触摸各按钮时,其指示被输入PLC62,并且该按钮点亮。另外,在树脂固化用光源装置10动作期间,来自控制面板12的触摸输入基本无效。
此外,在图8所示的例子中,第一制法(Recipe No.1)被选择。该第一制法经由UV及IR波段透射滤光器19i进行照射(例如,照射时间:10秒,光强度:10.0w/cm2)。
作为其他制法,有如下制法,即,最初经由UV波段透射滤光器19f进行照射(照射时间:10秒,光强度:10.0w/cm2),接着,通过光阻断部19e阻断光照射并进行被照射体的冷却(光阻断时间:10秒),之后,经由IR波段透射滤光器19d进行照射(照射时间:10秒,光强度:11.0w/cm2)。
为了进行最合适的树脂固化,可以如此设定登记好改变UV及IR波段透射滤光器19i的透射光的照射的有无、透射光的照射时间、透射光的光强度、以及IR波段透射滤光器19d及UV波段透射滤光器19f的透射光的照射顺序、各透射光的照射的有无、各透射光的照射时间、各透射光的光强度、两个透射光的照射之间的光阻断(冷却)的有无以及光阻断时间(冷却时间)等参数的各种制法,另外,可以从该登记的多个制法中选择期望的制法进行制法处理。
在该主处理画面上,通过触摸光源15的接通按钮86a,从PLC62向灯点亮电源控制基板61输出灯点亮指示,进而,从灯点亮电源控制基板61向灯点亮电源60输出灯点亮指示,光源15点亮。光源15点亮时,此时,检测到施加于光源15的电压,灯点亮确认信号从灯点亮电源60向灯点亮电源控制基板61,进而向PLC62输出,因此PLC62能够确认光源15已点亮的情况。此外,触摸光源15的断开按钮86b时,从PLC62向灯点亮电源控制基板61输出灯熄灭指示,进而,从灯点亮电源控制基板61向灯点亮电源60输出灯熄灭指示,光源15熄灭。另外,触摸IR波段透射滤光器按钮87a或UV波段透射滤光器按钮87c时,快门机构19的转动式快门板19a旋转,因此利用手动能够进行光透射波段的控制,触摸光强度的升(+)按钮88a或降(-)按钮88b时,光强度调整机构18的转动式调整板18a旋转,因此通过手动能够进行光强度的调整。
接着光源15的点亮,通过触摸倒计数监测区域85的开始按钮85a,开始所选择的制法处理。
图9表示设定登记多个制法处理,并在选择了登记的制法处理时等所显示的制法处理画面的一个例子。通过触摸主处理画面的制法按钮81,该制法处理画面被进行显示。在该制法处理画面,显示:制法名(Recipe No.1);制法选择(Select Recipe)区域90;显示于该区域90的制法编号部90a及备注(Memo)按钮90b;基于快门机构19的表示UV及IR波段透射滤光器、UV波段透射滤光器以及IR波段透射滤光器的适用的快门控制(Shutter control)区域91上所显示的UV→IR(UV to IR)按钮91a;IR→UV(IR to UV)按钮91b、以及IR及UV(IR+UV)按钮91c;UV波段透射滤光器及IR波段透射滤光器的照射时间(Time)及光强度(Intensity)显示区域92;通过光阻断部进行光照射的阻断的光阻断时间(Shutterclosing time)显示区域93。触摸制法选择区域90的制法编号部90a并输入数值时,该数值的制法被自动地调出。此外,在画面上变更制法的情况下,自动进行保存。触摸备注按钮90b时,能够确认该制法的备注。此外,作为备注,例如能够输入40个字符。
在设定图9所示的第一制法处理的情况下,触摸制法处理画面上的UV及IR按钮91c时(设定仅该按钮可以从制法处理画面上触摸输入),显示基于UV及IR波段透射滤光器19i的照射时间的设定画面(未图示),能够设定该照射时间。照射时间的设定结束后,接通主处理画面的开始按钮85a时,开始基于UV及IR波段透射滤光器19i的照射,并且进行与照射时间相对应的定时器的计数(图7的步骤S1)。在该第一制法,在处理中,由于仅进行使用UV及IR波段透射滤光器19i的照射,因此PLC62将预定数量的脉冲送到步进电机19c,使转动式快门板19a快速地转动预定角度并将UV及IR波段透射滤光器19i向光路17插入。由此,开始UV及IR波段的光向被照射体的照射。此外,作为照射开始时的更具体的动作,使开始按钮85a接通时,光强度调整机构18的步进电机18c被驱动,转动式调整板18a被转动预定角度。由此,照射光的光强度被设定,并且该值通过光强度传感器20进行检测并在控制面板12上显示。接着,快门机构19的步进电机19c被驱动,转动式快门板19a被转动预定角度,UV及IR波段透射滤光器19i被插入光路17,进行UV及IR波段光的照射。此外,转动式快门板19a被设定为在初始时及非动作时,成为光阻断部19e被插入光路17的初始位置。
接着,判断该定时器的计数是否结束(图7的步骤S2)。在该第一制法中,设定为进行10秒经由UV及IR波段透射滤光器19i的照射,因此定时器设定为10秒。此外,此时光强度设定为最大光强度即100%,因此PLC62向步进电机18c发送预定数量的脉冲,使转动式调整板18a转动预定角度并将照射光的光强度调整为该最大光强度即100%。
在判断为计数未结束的情况下(否的情况),继续照射并反复进行该步骤S2的判断。在判断为经过10秒的照射时间而计数结束的情况下(是的情况),使转动式快门板19a转动预定角度将光阻断部19e向光路17插入并阻断光,由此结束图7的处理。
图10表示校正处理画面的一个例子。通过触摸主处理画面的校正按钮82,该校正处理画面被显示。在该校正处理画面中,显示:制法名(Recipe No.1);在校正工具(Calibration tools)区域显示并用于进行与UV波段有关的校正的UV按钮100a以及用于进行与IR波段有关的校正的IR按钮100b;显示校正用光强度检测器63的输出电压的校正值(Reference value)区域101;在校正开始(Calibration Start)区域102显示的开始按钮102a及状况(State)显示区域102b。
如上所述,校正处理是使校正工具即校正用光强度检测器63与光纤束13的出射部13b光学连结而进行的。在输入与UV波段及IR波段中应校正的期望的光强度相对应的校正值即校正用光强度检测器63的输出电压时,该值在基准值区域101显示。在触摸UV按钮100a或IR按钮100b时,PLC62使光强度调整机构18的转动式调整板18a转动,以使得校正用光强度检测器63的输出电压成为该校正值,并将此时的步进电机18c的转动角度存储在存储器中。因此,能够进行校正使步进电机18c的转动角度成为该值时期望的光强度被输出。只要进行这样的校正处理,在光源15的放射输出发生变化或更换了光源15时,也能够总是得到相同的光强度。
如以上详细进行的说明,根据本实施方式,设置于快门机构19的UV及IR波段透射滤光器19i被选择性地插入来自光源15的光路17。由此,由包括250nm波段的光的UV-C紫外线、除500nm~640nm波段的光之外的可见光线、红外线组成的光同时照射于被照射体,不会使UV固化型树脂在其树脂表面产生胶粘,而且,能够在短时间进行固化。另外,不仅UV固化型树脂,还能够有效地使IR固化型树脂固化。而且,在原来存在的快门机构,由于设置有UV及IR波段透射滤光器19i、IR波段透射滤光器19d、UV波段透射滤光器19f以及光阻断部19e,因此不会对以往的UV树脂固化用光源装置进行大幅度设计变更,仅进行一部分变更,就能够得到IR固化型树脂用的光的照射及阻断的功能、以及UV固化型树脂用的光的照射及阻断的功能。因此,不需要新的装置开发,能够大幅度降低制造成本。而且,为了根据用途进行不同的最合适的树脂固化,可以设定登记好改变了UV及IR波段透射滤光器19i的透射光的照射的有无、透射光的照射时间、透射光的光强度、以及IR波段透射滤光器19d及UV波段透射滤光器19f的透射光的照射顺序、各透射光的照射的有无、各透射光的照射时间、各透射光的光强度、两个透射光的照射期间的光阻断(冷却)的有无以及光阻断时间(冷却时间)等参数的各种制法,另外,能够从该登记的多个制法中选择期望的制法并进行制法处理。
此外,针对UV固化型树脂,即便仅使UV波段的光照射,即便仅使IR波段的光照射,另外,即便在照射UV波段(IR波段)的光之后照射IR波段(UV波段)的光,也无法完全去除树脂表面的胶粘。因此,在以往,如上所述,通过进行基于以365nm为主波长的UV固化装置的UV固化处理和基于热线烘箱的加热处理这二者,去除胶粘。根据本实施方式,通过同时照射由包括250nm波段的光的UV-C紫外线、500nm~640nm波段的光以外的可见光线、红外线组成的光,使UV固化型树脂不与空气接触进行固化,能够同时实现UV固化和胶粘性去除。
另外,光强度调整机构18具有转动式调整板18a或直线移动式调整板18a’的开口部18d或18d’的开口面积连续变化的楔形状,通过步进电机18c的驱动被插入光路17的开口部的开口面积连续地发生变化。因此,根据步进电机18c的转动角度能够控制光强度,而且能够使其光强度连续且高精度地变化。
另外,构成为光强度调整机构18的转动式调整板18a或直线移动式调整板18a’通过步进电机18c被驱动,而且,步进电机18c的转动角度通过旋转编码器计数,因此能够将转动式调整板18a或直线移动式调整板18a’正确快速地移动到期望的角度或位置,并且能够以高精度得知其角度或位置。并且,由于构成为快门机构19的转动式快门板19a或直线移动式快门板19a’通过步进电机19c被驱动,而且,步进电机19c的转动角度通过旋转编码器计数,因此能够将转动式快门板19a或直线移动式快门板19a’正确快速地移动到期望的角度或位置,并且能够以高精度得知其角度或位置。
在以上说明的实施方式及其变更方式中,通过PLC62控制树脂固化用光源装置10的动作,但很明显可以替代PLC62而使用其他控制装置进行同样的控制。例如,使用其他的个人计算机及脉冲控制器也可以进行同样的控制。
图11概略表示本发明的其他实施方式中树脂固化用光源装置的光学构成。
本实施方式的树脂固化用光源装置在光学上具备:光源15;安装有光源15的聚光型的反射镜16;插入于由反射镜16反射的光的光路17的转动式光强度调整机构18;插入于光强度调整机构18下游的光路17的快门机构19;检测来自光源15的光的光强度的光强度传感器20;引导照射于被照射体的光点的光纤束13;在本实施方式中插入于快门机构19下游的光路17的低带阻滤光器机构110。此外,在本实施方式的变更方式中,光源15及反射镜16被一体化,进而被单元化。
光源15、反射镜16、光强度调整机构18、快门机构19、光强度传感器20、以及光纤束13的构成及作用效果与图1~图10的实施方式的情况完全相同,因此省略说明。
对低带阻滤光器机构110而言,通过齿轮齿条等使未图示的例如步进电机的旋转运动转换为直线运动,因此构成为使低带阻滤光器111可以插入光路17的聚光区域110a的一部分区域或整个区域。也就是说,如图11的箭头112所示,构成为能够进行控制使低带阻滤光器111左右滑行移动并插入聚光区域110a的一部分区域或整个区域或从聚光区域110a拔出。
该低带阻滤光器111具有可衰减UV-C紫外线的一部分波段的光透射率特性,通过使该低带阻滤光器111的至少一部分滑动插入光路17内,能够根据其插入量适当衰减254nm附近的UV-C紫外线的透射能量。另外,低带阻滤光器111针对影响UV固化的以365nm为主波长的UV-A紫外线,具有以高透射率使其通过的特性。
图12是该低带阻滤光器111的一个例子,表示溶融石英玻璃板及蒸镀型低带阻滤光器(LWPF-300)的光透射率特性,a表示溶融石英玻璃板的特性,b表示蒸镀型低带阻滤光器的特性。与蒸镀型低带阻滤光器相比,溶融石英玻璃板价廉,另外在耐热性上比较优异。
为了有效地进行胶粘性去除,同时照射主要的UV固化波长即365nm附近的紫外线(UV固化主波长)和254nm附近的紫外线(胶粘性去除波长)和红外线是有效的。但是,由于考虑到化学药品中存在具有不同的波长灵敏度特性的物质,因此期望能够自由调整UV固化主波长与胶粘性去除波长的相对强度的比率。为此,可以考虑将透射或反射各波段的反射或透射型波段通过滤光器等光学元件插入光路中,但这些反射或透射型波段通过滤光器比较高价,会增大装置整体的成本。
因此,如本实施方式那样,只要构成为能够将基于例如溶融石英玻璃板的低带阻滤光器111插入光路17的一部分或全部,就能够根据其插入程度减少到达光纤束13的入射部13a的胶粘性去除波长(254nm附近的紫外线)的能量。另一方面,低带阻滤光器111在UV固化主波长(365nm附近的紫外线)的波段中的透射率非常高,因此即便在将该低带阻滤光器111插入光路的情况下,也几乎不存在UV固化主波长(365nm附近的紫外线)受到的衰减。也就是说,仅利用使低带阻滤光器111出入光路17的简单的动作,来自由地控制光纤束13的入射部13a上UV固化主波长与胶粘性去除波长附近的能量比率。
如图12所示,溶融石英玻璃板的光透射率特性与蒸镀型低带阻滤光器(LWPF-300)近似,因此无需加工(蒸镀)直接使用就能够构成低带阻滤光器111。而且,由于比较价廉,不仅能够降低装置整体的成本,还没有热导致的损伤。当然,虽然成本增大,但也可以替代溶融石英玻璃板使用蒸镀型低带阻滤光器(LWPF-300)。
本实施方式的其他作用效果与图1~图10的实施方式的情况相同。
图13概略表示本发明的另外的其他实施方式中树脂固化用光源装置的光学构成。
本实施方式的树脂固化用光源装置在光学上具备:光源15;安装有该光源15的聚光型的反射镜16;插入于由反射镜16反射的光的光路17的转动式的光强度调整机构18;插入于光强度调整机构18下游的光路17的快门机构19;检测来自光源15的光的光强度的光强度传感器20;引导照射于被照射体的光点的光纤束13;在本实施方式中插入于快门机构19下游的光路17的能量调整用光学元件130。此外,在本实施方式的变更方式中,光源15及反射镜16被一体化,进而被单元化。
光源15、反射镜16、光强度调整机构18、快门机构19、光强度传感器20、以及光纤束13的构成以及作用效果与图1~图10的实施方式的情况完全相同,因此省略说明。
对能量调整用光学元件130而言,将多层膜型干涉滤光器即透射型滤光器131插入光路17的聚光区域130a,以如下方式构成该透射型滤光器131,即,使其表面相对于光轴为垂直状态(入射角度0°的状态),或者使其表面相对于光轴为从倾斜+20°的状态131a(入射角度+20°的状态)成为倾斜-20°的状态131b(入射角度-20°的状态)。也就是说,如图13的箭头133所示,构成为利用未图示的例如步进电机等,通过使透射型滤光器131的轴132旋转,能够进行控制使透射型滤光器131的表面相对于光轴0°~±20°的任意角度倾斜的状态。也可以构成为进行控制使透射型滤光器131的表面相对于光轴倾斜0°~±45°的任意角度(0°~小于±45°的任意角度)倾斜的状态。
该多层膜型干渉透射滤光器131具有仅使UV-C紫外线中的UV固化主波长即365nm附近的波段部分衰减的光透射率特性,并且具有根据其入射角度使其衰减的波段发生变化的特性。例如,对于入射角度0°将入射角度设为±20°时,光透射率降低的峰值移动约10nm。因此,将该透射型滤光器131插入光路17内,通过使其表面相对于光轴的角度变化,能够使365nm附近的UV-C紫外线的透射能量适当衰减。
图14表示多层膜型干涉滤光器即该透射型滤光器131的一个例子Super UVFilter365(SUF-365)的光透射率特性,c表示入射角度0°(滤光器表面相对于光轴为垂直状态)的特性,d表示入射角度±20°(滤光器表面相对于光轴为±20°的状态)的特性。由该图可见,在入射角度为0°的情况下,200nm~2500nm的光透射率为95%,380nm的光透射率为80%(此外,该透射率也可以任意决定),但250nm附近与365nm附近的强度的比率不发生改变。这样,在比率不发生改变的状态下,为了使入射角度发生变化而使透射型滤光器131旋转时,通过分光特性在紫外线区域以相同的特性偏移,365nm的透射率发生改变,能够进行微调。此外,通过改变光源的电流,能够调整200nm~2500nm的光透射率,通过变更透射型滤光器131的原材料特性(树脂特性),可以任意选择380nm的透射率。
为了有效地进行胶粘性去除,如上面所述,同时照射主要的UV固化波长即365nm附近的紫外线(UV固化主波长)和254nm附近的紫外线(胶粘性去除波长)和红外线是有效的。但是,考虑到化学药品中存在具有不同波长灵敏度特性的物质,因此期望能自由调整UV固化主波长与胶粘性去除波长的相对强度的比率。在本实施方式中,通过使滤光器表面相对于光轴的角度(入射角度)在0°~20°(0°~小于±45°的任意角度)的范围变化,不改变胶粘性去除波长即254nm附近的光透射率,调整UV固化主波长即365nm附近的光透射率,自由地控制光纤束13的入射部13a中UV固化主波长与胶粘性去除波长附近的能量比率。
本实施方式的其他作用效果与图1~图10的实施方式的情况相同。
此外,也可以构成为在图11及图12的实施方式中的低带阻滤光器机构的低带阻滤光器,使用图13及图14的实施方式那样的多层膜型干涉滤光器即透射型滤光器,使其入射角度变化,从而使254nm附近的UV-C紫外线的透射能量衰减。
【实施例】
以下,对本发明的第一实施例以及第一及第二比较例进行说明。
作为第一实施例,利用实施了铝蒸镀的反射镜(椭圆镜)反射来自光源的光,并透射UV及IR波段透射滤光器照射于UV固化型树脂。使用的UV及IR波段透射滤光器为透射250nm波段的UV-C紫外线、315nm波段的UV-B紫外线、365nm波段的UV-A紫外线以及640nm~2500nm波段的透射滤光器,具备图5所示的光透射特性。图15表示透射该透射滤光器的光的光谱分布特性。
照射这种光10秒,用手触摸照射后的UV固化型树脂的表面,UV固化型树脂发生了固化,并且表面的胶粘被完美地去除。而且,照射能量过强导致的UV固化型树脂的破坏、变形、破损及/或烧焦等完全没有发生。
作为第一比较例,利用实施了铝蒸镀的反射镜(椭圆镜)反射来自光源的光,透射UV波段透射滤光器并照射于UV固化型树脂。使用的UV波段透射滤光器是透射包括250nm波段的200nm~400nm的UV-C、UV-B及UV-A紫外线以及一部分可见光线且完全不透射红外线的透射滤光器,具备图16所示的光透射特性。图17表示透射该透射滤光器的光的光谱分布特性。
照射这种光10秒,用手触摸照射后的UV固化型树脂的表面,但在UV固化型树脂为产生表面的胶粘的状态,其没有被去除。
作为第二比较例,利用实施了铝蒸镀的反射镜(椭圆镜)反射来自光源的光,透射UV及IR波段透射滤光器并照射于UV固化型树脂。使用的UV及IR波段透射滤光器为透射300nm以上波段的UV-B及UV-A紫外线以及红外线并且除此以外尤其不透射250nm波段的紫外线的透射滤光器,具备图18所示的光透射特性。图19表示透射该透射滤光器的光的光谱分布特性。
照射这种光10秒,用手触摸照射后的UV固化型树脂的表面,但在UV固化型树脂为产生表面的胶粘的状态,其没有被去除。
根据以上所述的第一实施例以及第一及第二比较例可见,作为胶粘完全去除的方法,通过短时间(10秒左右)照射第一实施例的波段,能够完全去除树脂表面的胶粘,而且,照射能量过强导致的UV固化型树脂的破坏、变形、破损及/或烧焦等完全没有发生。另一方面,只要照射全波段就能够去除树脂表面的胶粘,但在该情况下,由于照射能量过强,UV固化型树脂的破坏、变形、破损及/或烧焦等不良状况发生的可能性提高了。
以上所述的实施方式及实施例都示例性表示本发明,并非限定性表示,本发明能够通过其他各种变形方式及变更方式进行实施。因此本发明的范围仅通过权利要求的范围及其均等范围来规定。
产业上的可利用性
能适用于用于使树脂粘结剂的光固化型树脂固化的粘结剂涂布装置及粘结剂固化装置、或树脂固化装置。
符号说明
10 树脂固化用光源装置
11 壳体
11a 前表面
12 控制面板
13 光纤束
13a 入射部
13b 出射部
13c 包覆体
14 安装部
15 光源
16 反射镜
17 光路
18 光强度调整机构
18a 转动式调整板
18a’ 直线移动式调整板
18b、19b 转动轴
18c、19c 步进电机
18d、18d’ 开口部
18e、19g 原点确认用突起
18f、19h 光断续器
19、19’ 快门机构
19a 转动式快门板
19a’ 直线移动式快门板
19d、19d’ IR波段透射滤光器
19e、19e’ 光阻断部
19f、19f’ UV波段透射滤光器
19i、19i’ UV及IR波段透射滤光器
20 光强度传感器
21a、21b、21c、21d、21a’、21b’、21c’、21d’ 光点
60 灯点亮电源
61 灯点亮电源控制基板
62 PLC
63 校正用光强度检测器
64 温度计
65 联锁开关
66 恒温器
67 开始开关
68、69、71 以太网(注册商标)
70 集线器
72 外部计算机
80 主按钮
81 制法按钮
82 校正按钮
83 设定按钮
84 光强度及监测电压显示区域
85 倒计数监测区域
85a 计数开始按钮
85b 计数停止按钮
86a 接通按钮
86b 断开按钮
87a IR波段透射滤光器按钮
87b 光阻断按钮
87c UV波段透射滤光器按钮
88 光强度调整区域
88a 升按钮
88b 降按钮
90 制法选择区域
90a 制法编号部
90b 备注按钮
91 快门控制区域
91a UV→IR按钮
91b IR→UV按钮
91c UV及IR按钮
92 照射时间及光强度显示区域
93 光阻断时间显示区域
100a UV按钮
100b IR按钮
101 基准值区域
102 校正开始区域
102a 开始按钮
102b 状況显示区域
110 低带阻滤光器机构
110a、130a 聚光区域
111 低带阻滤光器
130 能量调整光学元件
131 透射型滤光器
132 光轴

Claims (8)

1.一种树脂固化用光源装置,其特征在于,具备:
光源;
光学系统,其将从该光源放射的光向出射部引导;以及
光通过部,其在所述光学系统中能选择性地插入至使所述光通过的光路,并使包括250nm波段的光的UV-C紫外线、500nm~640nm波段的光以外的可见光线、以及红外线一起通过,
所述树脂固化用光源装置构成为:抑制树脂表面的胶粘性,能将具有能够使所述UV-C紫外线的一部分波段衰减的光透射率特性的低带阻滤光器选择性地插入至所述光路中的聚光区域的一部分区域或整个区域。
2.一种树脂固化用光源装置,其特征在于,具备:
光源;
光学系统,其将从该光源放射的光向出射部引导;以及
光通过部,其在所述光学系统中能选择性地插入至使所述光通过的光路,并使包括250nm波段的光的UV-C紫外线、500nm~640nm波段的光以外的可见光线、以及红外线一起通过,
所述树脂固化用光源装置构成为抑制树脂表面的胶粘性,
能量调整用光学元件被插入至所述光路中的聚光区域,所述能量调整用光学元件用于调整所述UV-C紫外线中的UV固化主波长365nm附近波段的能量。
3.根据权利要求1或2所述的树脂固化用光源装置,其特征在于,所述光通过部构成为还使UV-B紫外线及UV-A紫外线通过。
4.根据权利要求1或2所述的树脂固化用光源装置,其特征在于,所述光通过部为使上述波段的紫外线、上述波段的可见光线以及红外线透射的透射滤光器或镜。
5.根据权利要求2所述的树脂固化用光源装置,其特征在于,所述能量调整用光学元件构成为:通过使多层膜型干涉滤光器的入射角度发生变化,来调整365nm附近波段的透射能量。
6.根据权利要求1或2所述的树脂固化用光源装置,其特征在于,还具备快门机构,该快门机构被插入至所述光学系统的所述光路,并为了控制被照射体的曝光时间,进行所述光路的开闭,所述快门机构构成为能使所述光通过部选择性地插入至所述光路。
7.根据权利要求1或2所述的树脂固化用光源装置,其特征在于,所述光源包括金属卤化物灯、水银氙灯或多个LED元件。
8.根据权利要求1或2所述的树脂固化用光源装置,其特征在于,所述光学系统包括椭圆镜或透镜,所述椭圆镜反射从所述光源放射的所有波段的光并进行聚光,所述透镜对从所述光源放射的所有波段的光进行聚光。
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