JPS6052852A

JPS6052852A - 露光量制御装置の較正方法

Info

Publication number: JPS6052852A
Application number: JP58160542A
Authority: JP
Inventors: Takashi Nakamura; 隆中村
Original assignee: Nikon Corp; Nippon Kogaku KK
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1983-09-02
Filing date: 1983-09-02
Publication date: 1985-03-26
Also published as: JPH0427681B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（発明の技術分野）本発明は例えばウェハまたはフォトマスク上にパターン
を露光するための露光量制御１装解に関するものでらる
。

（発明の背景）近年、半導体素子特にＩＣ製造においては、回路パター
ンの微細化が要求され、ウニ／・上に１μｍ以下の飽幅
を有するパターンを焼付ける装置、いわゆる露光装置も
ウェハ上に塗布された感光材料（フォトレジスト）に常
に一定の露光量、を与えることが望ましく、このため高
精度な露光制御が望まれてきノこ。

第１図にウニノ＼又はフォトマスクＶＣ回貼ノ（ターン
の１１！を無光する露光装置の概略を示す。

第１図において、露光用の光源、例えば木端ランプ１の
光が集光レンズ２によって集光された後、シャッターと
なる回転板６を介して、コンデンサーレンズ５、投影レ
ンズ８をへて、ウニノー９（フォトマスクでもよい。）
に至るような、投影式の露光装置を示す。（その他の方
式の露光装置でも同様である。）回転板６は、例えば４
分割して、遮光部と透過部を交互に設け、回転駆動機枯
、例えばパルスモータ−４によって回転され、ロータリ
ーシャッターとして働く。回路パターンを有するガラス
基板７（レティクルやフォトマスク）は、コンデンサー
レンズ５と投影レンズ８０間に配置され、ガラス基板７
のパターンがウニノ）９の上に結像する。又、光検出器
６は、光源の光強度を測定するための光１Ｅ変換素子で
あυ、シャッターを経た光を測光し、その出力は雑光制
御のために使われる。このような装置では、機構上シャ
ッターの開閉動作時間が長く、数ｍ　５ｅｃ−〜数１０
ｍ５ｅｃに及び。また、露光動作に伴う光強度（検出器
６で検出した値、又はウニノ・９上で測定した値）の変
化を鮪２図に示す。第２図で、横軸に露光時間、縦軸に
光強度を増り、台形状の折線ＡとＢは、光源のランプの
劣化によるちがいを表わす。ランプが新しく、光強度が
大きいと、折線Ａのように、またランプが劣化して光強
度が小さくなると折線Ｂのように露光時間が長くなる。

尚、台Ｊ杉の上底部すなわちシャッターの全開時の光強
度をＬＮｌｌ、０とする。このように、台形状の光強度
特性を有するのは、シャッターの開閉動作時間に基いて
いる。これは、第１図で示したような回転板６が１／４
回転する時間によって生じるものである。

回転板３の遮光部が光をさえぎっている状態から、回転
板６が１／４回転して、光を完全に透過する状態までに
かかる時間（シャッター開放時間）は、第２図アは時間
ｔａ　ｔ□である。尚、回転板３の回転開始時をｔ。と
じである。そして、時間（ｔａ−ｔｏ）が経過後、回転
板６を光が完全に透過する（このことを、以稜シャッタ
ー全開と呼ぶ。）ので、光強度ＬＮ、又はＬｏとして安
定する。そして、所定の露光時間後、すなわちｔｂ又は
時刻ｔｄから回転板３がさらに１７４回転して、遮光部
によって光がさえぎられる。光が完全に遮光される時刻
け、時刻ｔｃ、又はｔ。である。尚、シャッターの構造
上、開放動作時間と、閉成動作時間はほぼ等しいので、
時間（ｔｃ　−ｔｂ）と時間（ｔｏ　−ｔａ）は共に等
しく、かつ時間（ｔａ−ｔｏ）ともほぼ等しくなる。

この光強度特性に示したように、普通このような装置で
は、露光ｌ°を一定にするため、ランプの明るさに応じ
て露光時間を変えている。この従来の産米制御について
、第３図にょシ説明する。第３図において、光電検出器
６の光電出力は増幅器１１によって増幅された後、抵抗
１２、コンデンサー１４、増幅器１３による積分器に大
刀する。

積分器の出力が、露光量に比例した値、いわゆる光！積
分値である。この積分器の出力は、比較器１５によって
、あらかじめ定めた目標値を示す基準電圧Ｅａと比較さ
れる。一方、フリップフロップ回路１６は、露光動作の
開始時点でセットされ、シャッター駆動回路１７によっ
て、モーター尋を駆動してシャッターを開く。シャッタ
ーが開いた後、上述の如く光量積分値が基準電圧Ｅ８に
達すると、比較器１５の出力が反転してフリップ７゜ツ
ブ回路１６がリセットされる。とのリセットによシ、駆
動回路１７は、モーター等をさらに回転して、シャッタ
ーを閉じる。こうして、ランプの明るさが変わっても光
量積分値が、一定値になるように、シャッターは制御さ
れる。ここで、その時の露光量を第４図のグラフに示す
。第４図のグラフで横軸に第２図と同一の時間軸を取シ
、縦軸に露光量・、すなわち光ｆ積分値を取る。露光開
始時ｔｏから時刻ｔａまでは、第２図のように、シャッ
ターの開放動作時間であシ、光量積分値はなだらかに上
昇していく。時刻ｔａから時刻ｔ５、又は時刻ｔｄまで
は、シャッター全開期間である。尚、ＡとＢは第２図で
示したように、光源の光強度が大きいときと、小さいと
きを示す。そしてＡ１又はＢの光漏・積分値が基準電圧
Ｅ８に達すると、シャッター閉じ動作が始まる。しかし
ながら、シャッターが完全に閉じるまでの時間（ｔｃ−
ｔ、λ又は（ｔｅ−ｔｄ）にも、無光されることになシ
、その結果総産米廿はｇｏｌ又はＥｏ’となシ、所定の
目標値Ｅ　よりも（Ｅｏ−ｇｓ）、又は（Ｅｏ’−Ｅｓ
）だけ超過することになる。

光源の光強度が常に一定であれば超過分を予測して、総
産米ニー″を決定できるが、実際には、ランプの劣イに
に伴い光源の明るさは大きく変化する。

従って、第４図に示したように、時間（ｔｃ−ｔｂ）と
時間（ｔｅ　ｔａ）は同じでも、超過分は変化してし擾
う。この超過分の変化（Ｅｏ　−Ｅ　Ｏ’　）　”　’
光源の光強反が小さく、露光時間が十分に長い場合には
無視できる。しかし、光源の光強度が大きくなり、全露
光９中に占める、シャッターの閉じ動作時間中の露光量
の割合が大きくなった場合、超過分の変化（Ｈｏ−ＥＯ
ｌ　）による総露光量の変動は重要な問題となる。一般
に、露光量の制御として、総産米せの変動は数チ以下が
必要とされるが、上述の従来の露光装置では、超過分に
対する配慮がなされていないので、長期間に渡って、安
定した露光量を得ることができない欠点を有していた。

この欠点を解決するため、特開昭５７−７１１３２号公
報や特開昭５７−１０１８３９号公報に開示されている
ように、シャッタ閉成動作の遅れによる超過露光上を計
１１１１　Ｌ　、シャッタ閉成動作の開始時間を補正す
る制御が考えられている。

この補正制御をアナログ的に行なう場合は回路規模も小
さく簡単であるが、積分器や補正量を記憶するコンデン
サ等に高精度な部品を必要とし高価になるとともに、繰
返し長期間の露光に対してはコンデンサのリーク等が問
題となシ正確な補正が望めなくなる。さらに、この場合
は測光のダイナミックレンジが狭く、光源の輝度が大幅
に変化することに対しても不利。、である。

他方、この補正制御をデジタル的に行う場合は、露光強
度に応じた光電信号を電圧／周波数変換器によってパル
ス化し、そのパルスを計数するカウンタ等の他に補正タ
イマ、補正カウンタ等が必要となり回路規模はアナログ
方式よシ大きく’ｌる欠点があった。

（発明の目的）本発明はこれらの欠点を解決し、補正手段が不要で、簡
単安価で６９、さらに高速駆動に対応できる露光制御手
段を得ることを目的とするものである。

（発明の概４！Ｉり本発明の露光量制御装置は感光物を露光するための光源
からの露光光を透過及び遮断するシャッタと、側光手段
と、露光制御手段とを有する。

測光手段は光源からの光をシャッタの動作とは門係なく
受光し、その光強度に応じた光電信号を出力する。露光
制御手段はシャッタの開放動作の開始に応答して、測光
手段からの光電信号よシ光せを検出し、この検出した光
量が感光物の所定露光量に達したときにシャッタの閉成
動作を開始させることにより露光ｌ′の制御を行う。

（実施例）次に本発明を実５施例に基いて説明する。第５図は本発
明の露光量制御装置の一実施例を示す。第５図において
、滑出反射鏡２０の第１焦点位置に設けられた光源１か
らの光は＋Ｎ円反射潴２０によって集光され、その集光
点である第２焦点位置に設けたシャッタ６を介して第１
のコンデンサレンズ２１を通り平行光束とされ、フライ
アン・レンズ叫ヲ用いたオグチカル・インチクレータ２
２をｍ、？、第２のコンデンサレンズ５、回路パターン
を有するガラス基板７、投影レンズ８を通ってウェハ９
の上に露光される。尚、第２のコンデンサ・レンズ５に
全る光路中には、ｋ′６光波長の光をほぼ全て透過する
干渉フィルターが設けられている。

測光手段は光電検出器６及びフィルタ２６からなシ、露
光用の光軸ｔからけずれた位置に設けられ、光源１から
の光を直接受光し、その光強度に応じた光電信号を露光
制御手段２４に出力する。

シャッタ３は露光光の光軸ｔに対して４５″傾いて配置
され、シ、ヤッタ３で反射する光は、装置の７ライメン
ト用の顕微鏡等の照明光としても利用されるが、シャッ
タ６で反射する光が逆走して光電検出器６に入射するこ
とによって生じる光電信号の誤差を防ぐ利点もある。第
６図はシャッタ３の詳細図、ボア図は第６図に示したシ
ャッタ６のシャッタブレードの形状の平面図を示す。第
６図に示す如く、シャッタ６は表側の反射板３０に反射
板６【］より直径が大きい遮光性の越光板３１をはり合
わせて々シ、第７図に示すように４枚のブレード部６ａ
と４個所の切欠き部３ｂとが円周方向に等分割に形成さ
れている。趣光板６１の各ブレード部６ａの一部にはス
リット開口３１ｂが９０度の角度で４個設けられている
。このスリット開口３１ｂＦＪ：シャッタ３のブレード
部６＆位置を検出するだめに設けられたステータス・マ
ークである。すなわちシャッタ６の裏側に設けられた投
光器２５からシャッタ３に照射された光がスリット開口
３１ｂを介して反射板６０の裏面で反射し、受光器２６
に入射することによシシャツタ３のブレード部６ａの位
置を検出する。このシャッタ３けパルスモータ４によっ
て角度０すなワチ１／８回転することによって開放及び
閉成動作を行う。

このシャッタ３の開閉動作とは間係なく測光手段をシャ
ッタ３の前段に配置した本発明の作用について第８図及
び第９図を用いて説明する。第８図、−ｎ９図において
（イ）！／ｉ、シャッタ６の開放動作開始後、開成動作
完了までの光量積分値を示し、Ｃは光電検出器６におけ
る光量積分値、Ｄはウェハ９における光量積分値を示す
。（ロ）はウェハ９における露光の光強度分布、（ハ）
は光電検出器乙の光強度分布を示す。なお第８図はラン
プが新しく、光強度が大きい場合、第９図はランプが劣
化して、光強度が小さくなった場合を示す。

第８図、棺９図（イ）に糸す如く、シャッタ６の開放動
作開始と同時ｔｏに光電検出器乙の出力が積分され、こ
の光量積分値が露光搦目標値に相当する基準電圧Ｅ８に
達した時点ｔｂ又はｔ（１でシャッタ３の閉成動作を開
始する。このｔｂ又はｔｄ時にウェハ９面での実際の露
光量の積分値は基準電圧Ｅ８に対して、わずかに不足し
ているがシャッタ３の閉成完了時ｔｃ又はｔｅまでの露
光量が、この不足分に対応している。すなわちシャッタ
３としてロータリ・シャッタを用いることによって、シ
ャッタＨト１放時の作動遅れ（ｔａ　ｔｏ）と閉成時の
作動遅れ（ｔｃ’ｔｂ）又は（ｔｅ−ｔａ）とが等しい
という特性を利用して、シャッタ開放の作動遅れにより
ウエノ１９面での実際の露光Ｉ°不足をシャッタ閉成時
の作動遅れによる露光分で補っている。したがって露光
強度、シャッタ駆動時間によらず、目標とする露光量に
対して高精度の制御を行うことができる。

このｈ光電の制御を行なう本実施例の露光制御手段２４
のブロック図を第１０図に示す。第１０図において１０
０け光電検出器６の光電信号を増巾〔７、電圧信号ＳＩ
、として出力するアンプである。１０１はアンプ１００
からの電圧信号Ｓｌをパルス信号Ｓ２に変換する電圧／
周波数変換器である。１０２はこの）くルス信号Ｓｓ　
全計数し比較器１０４に光１゛計数値Ｓ４を出力するカ
ウンタである。カウンタ１０２で計数された光量計数値
Ｓ４はシャッタ開放開始時にマイクロコンピュータ（Ｃ
ＰＵ）１０３のクリア信号Ｓ３によって零に戻される。

１０５け目標値セットレジスタで、ＣＰＵ１０３からの
セット信号Ｓ７を入力し、比較器１０４に適正嗣光せに
相当するパルス数８５を出力する。比較器１０４はこの
パルス数Ｓｓとカウンタ１０２からの光量組数値Ｓ４を
比較し、これらの値が一致した場合シャッタ閉じ信号Ｓ
６をＣＰＵ１０３に出力する。１０６はシャッタ３を回
転するパルスモータ４のドライブ回路である。なお１０
７けシャッタ６の後部に配置され受光器２４の出力信号
を増幅し、光電信号Ｓｓｅコンパレータ１０８に出力す
る増幅器であり、コンパレータ１０８はこの光電信号Ｓ
８を入力して、ＣＰＵ１０３にステータス信号Ｓ９を出
力する。

次に、第１０図に示した露光制御手段２４の動作を説明
する。第１１図及び第１２図はＣＰＵ１０３に含まれる
プログラムのフローチャートであり、第１１図は本実施
例の無光１、制御装齢の電源投入時のイニシャライズ・
プログラムに含まれるシャッタ３の初期位瞳セットのた
めのサブ・ルーチン化したフローチャート、第１１図は
露光動作のためのザブ・ルーチン化したフローチャート
である。

露光１制御淋置の電源投入時にはシャッタ６のブレード
部６ａが任意の位置に凌）るため、ブレード部６ａの位
置決めを行う必要がある。第１０図において、露光１制
御淋置の電源が投入されるとＣＰＵ１０３はステップ２
００でシャッタ３が角度２θすなわち９０度向回転るた
めに必要なパルスｐＮ２ｅのモータ駆動データＳｈｏを
ドライブ回路１０６に出力し、パルスモータ４はドライ
ブ回路１０６によ多制御され低速回転を開始する。なお
Ｎは単位角度を回転するためのパルス数である。

同時にＣＰＵ１０３けステップ２０１でコンパレータ１
０８からのステータス信号Ｓｓ　ヲモニターシ、受光器
２４がシャツタ３後面のスリット開口３１ｂを検知し、
ステータス信号Ｓ参が「Ｌ」から「Ｈ」になったときス
テップ２０２でモータ駆動データＳ１０の出力を停止し
、パルスモータ４の回転を停止させる。この状態のとき
に、シャッタ６の４個のブレード部３ａのうちの１個が
、光軸ｔをさえぎるように位置し、シャッタ３の閉状態
が達成される。ここでモータ駆動データＳｒｏのパルス
数をＮ２θとしたのはシャッタ３に設けたスリット開口
３１ｂが９０度毎の色度Ｃ設けられているため、シャッ
タ３を少なくと本９０度回転すればスリット開−口３１
ｂが必ず検知されるからである。このようにしてシャッ
タ３の閉状態が達成された後にウェハ９の露光動作を行
う。

第１２図において、露光動作が開始されると、ステップ
２１０でＣＰＵ１０３はセット信号ｓ７を目標値セット
レジスタ１０５に出力し、目標値セットレジスタ１０５
は適正露光量に相当するパルス数ｆ３ｓを比較器１０４
に出力する。次にステップ２１１でクリア信号Ｓｓをカ
ウンタ１０２に出力し、カウンタ１０２に残っている光
量計数値Ｓ４を零にする。これと一定タイミングを置い
てステップ２１２でモータ駆動データ８１０として、シ
ャッタ３を角度θすなわちＶ８回転だけ回転させるパル
ス数Ｎｏをドライブ回路１０６に出力してパルスモータ
４を駆動させ、シャッタ３の回転を開始する。この時刻
が第８図及び第９図のｔｏに相当する。

カウンター０２はシャッタ３０回転が開始する・と同時
に電圧／周波数変換器１０１がらのパルス信号Ｓ２を計
数する。

ステップモータ４が高速回転し、シャッタ６を７４回転
させると、ステップモータ４は回転を停止し、シャッタ
３は全曲状態となシ、光ｆ積分値は第８図及び々も９図
のｔｏ時の値となる。ステップモータ４が回転を停止し
た後もカウンター０２は電圧／周波数変換器１０１から
のパルス信号ｓ２を計数し、光量計算値Ｓ４を比較器１
０４に出方する。またＣＰＵ１０３はステップ２１２で
比較器１０４からの閉じ信号ｓ６をモニターしておシ、
光１゛積分値が第８図ｔｂ又は第９図ｔｄ時の値となり
比較器１０４で光量計算値ｓ４と適正霧光量に相当する
パルス数Ｓｓが一致し、閉じ信号ｓ６が「Ｌ」からｒＨ
」になったときを検出する。閉じ信号Ｓ６が「Ｈ」にな
るとステップ２１４で再びステップモータ４を回転させ
るためパルスＮａのモータ駆動データＳｘａを出力し、
シャッタ６の閉成を開始する。ステップそ一夕４がパル
ス数Ｎ＃分回転し、停止するとシャッタ３は全閉状態と
なる。

このときウェハ９面の露光量積分値は第８１ｔｌｔｃ。

又は第９図ｔｅ時の値となシ適正露光量となる。

なお第９図の露光制御手段２４の実施例において、比較
器１０４の閉じ信号Ｓ６によって、ＣＰＵ１０３にシャ
ッター閉成のための割シ込み処理を実行させるようにし
てもよく、さらにカウンタ１０２、比較器１０４及び目
標値セットレジスタ１０５をＣＰＵ１０３の内部でプロ
グラムによって同様に構成することもできる。

その他に、電圧／周波数費換器１０１とカウンタ１０２
間にゲート回路を設ける。そして露光開始に先立って、
そのカウンタに適正露光量に相当する値をセットし、露
光開始とともにゲート回路を開き、パルス信号ｓ２のパ
ルス数をカウンタ１０２の値から減算するようにする。

そしてカウンタ１０２の値が零になったとき、閉じ信号
Ｓ６を出力してシャッタを閉じるようにしてもよい。

第１３図は、比較的シャッタ制御時間が短かくアナログ
制御が適用し得る露光制御手段２４の実施例ブロック図
を示す。第１６図において第３図・と同一符号に［同一
構成を示す。ただし光電検出器６の位置は第５図に示し
た位置である。また第３図に示した例と相違し、積分器
を成すコンデンサ１４と並列にスイッチ４０を設璧てお
る。

露光開始信号が入るとスイッチ４０が開き、光量の積分
を開始し、光量積分値と目標値を比較器１５で比較し、
シャッタが全開状態になった後に光量積分値が目標値に
達すると、シャッタの閉成動作を行なうことによシ適正
露光量を得ることができる。

第１４図は他の実施例の一部を示したもので、測定手段
の他の変形例のいくつかを示す。

第１は光電検出器６ａを楕円反射鏡２０を保持する森持
具２０ａの周辺で、楕円反射＃！２０の開円反射鏡２の
上方で、光源１の上部電極１ａが通る開口部から射出す
る光を受光するように設けた場合、第３は光源１の像を
レンズ５１でファイバ束５２の一端面に結像し、ファイ
バ束５２の他端で光電検出器６Ｃで光量を検出する場合
である。

この第６の測光手段によれば、光電検出器６ｃを光源１
から場所に配置できるので、光電検出器６Ｃが光源１か
らの高温にさらされることがなく、安定した光重：信号
が得られる。さらに光源１が高圧水銀放電管の場合に、
まれに発生する爆発事故に対しても、光電検出器６Ｃを
保設することができる。また光電検出器６＃　６ａｅ　
６ｂ及び６Ｃと光源１との間に露光用の波長の光を選択
的に透過するフィルタ２３や防熱フィルタ等を設けるこ
とによシ、光源１が露光用の波長以外の波長の光を発生
しても適正露光量を検出することができると共に、光源
からの熱線の影響も受けなくなる。

第１５図に本発明の他の実施例を示す。第１５図に示し
た光学系は、特開昭５７−８５０１９号公報に開示され
たもので、光源１用のランプを交換シたときに光源１の
輝点の位置を楕円反射鏡２０の第１焦点に正確に位置合
わせするためのモニタ光学系を附加したものである。光
源１から発した露光光は楕円反射鏡２０で反射し、楕円
反射鏡２０と第２焦点Ｆ３′　との間に斜設されたダイ
クロイックミラー５４でさらに反射し、干渉フィルタや
インテグレータを含む光学部材５５を通シ反射鏡５４で
反射され、コンデンサレンズ５に導かれる。

ダイクロイックミラー５４を露光用波長の光の数チ程度
及び露光用波長以外の波長の光が透過するような分光特
性のものにしておくと、ダイクロイックミラー５４は露
光用波長の光のほとんど全部を反射し、第２焦点Ｆ鵞に
光源の像を結像する。

この第２焦点Ｆ雪の位置にシャツ、りを設ける。また露
光用波長の光の一部及びこの波長より長い波長の光はダ
イクロイックミラー５４を透過して第２焦点Ｆ、／に光
源１の像を結像する。この透過光は光学系の光軸を外に
設けられた正レンズ５７ａ１反射鏡５８ａ１指標板５９
ａからなる第１の光源位置検出系及び同じく光学系の光
軸を外に設けられた正レンズ５７ｂ１反射鏡５８ａ１指
標板５９ｂはフィルタ２４及び光電検出器６ｄからなる
測光手段と交換可能に配置する。本実施例において、光
源１用のランプを交換するときは指標板５９ｂを配置し
、光源１の位置合せを行い、この位ｒａ合せ終了後は測
光手段を指標板５９ｂの位置に挿入して、露光制御のた
めの測光を行なう。

以上、本発明の各実施例を説明したが、要するに測光の
だめの光電検出器がシャッタとは無関係に光源からの光
の強度を常に検出するように設けるとともに、シャッタ
の開放時間（ｔａ　−ｔｏ）と閉成時間（ｔｃ　−ｔｂ
）、（ｔｅ　ｔａ）とが等しいという条件のもとで、極
めて正確な露光量が得られるものである。また、この条
件が成夛立てば、シャッタはロータリ一式にする必要は
なく、往復直線移動式のシャッタをソレノイドで駆動し
てもよい。

また、縮小投影型露光装首の場合、感光基板を装置して
二次元移Ｓさせるステージに、照明光の照度分布を測定
したり、レチクルの投影像を検出し大すするだめの微小
開口（スリット）を有する光電検出器を設けることが特
開昭５７−１１７２３８＋＋公報に開示されている。そ
こで、このようなステージ上の光電検出器を用いること
ができる場合は、その光電検出器によって実際の露光量
をモニターして、測光用の増幅器１００のゲイン及び電
圧／周波数変換１０１の変換比等を適正なものに調整す
ることができる。すなわち、いわゆる光１・積分の感度
を較正することが可能となる。

（発明の効果）以上述べたように本発明によれば、極めて簡単な構成で
正確な露光量の制御が達成でき、光源の光強度が大幅に
変化したときでも、常に適正露光量を得ることができる
。

さらに実施例に示したように、デジタル制御をＣＰＵを
介して行なう場合であっても、プログラムによって制御
及び演算する部分が従来のものと比較して少なくなり、
ＣＰＵの負担を低減でき、他の演算処理のためにＣＰＵ
を働かせることが可能となシ、製鎖全体のスループット
を向上させることができる効果も有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の露光装置の１０ツク図、第２図は露光強
度分布図、第３図は従来の露光制御のブロック図、第４
図は光量積分値の分布図、第５図は本発明の一実施例の
構成図、第６図は第５図に示した実施例に使用している
シャッタの構造図、第７図は同じくシャッタのブレード
形状の平面図、第８図、第９図（４）は光量積分値の分
布図、（ロ）、（／つは光強度分布図、第１０図は第５
図１に示した実施例の露光制御手段のブロック図、第１
１図、第１２図は第１０図に示した露光制御手段のプロ
グラムのフローチャート、第１３図は露光制御手段の他
の実施例のブロック図、第１４゛図は本発明の他の実施
例の構成図、第１５図は同じく本発明の他の実施例の構
成図である。１・・・光源、２・・・焦光レンズ、３・・・シャッタ
、４・・・パルスモータ、５・・・基板、６．６ａ、６
ｂ、６Ｃ６ｄ・・・光電検出器、７・・・基板（８・・
・投影レスズ　９・・・ウニ、Ｓｌ　１１・・・増幅器
、１２・・・抵抗、１３・・・増幅器、１４・・・コン
デンサ、１５・・・比較器、１６・・・アリツブフロッ
プ回路、１７・・・駆動回路、２０・・・楕円反射鏡、
　２１・・・コンデンサレンズ、２２・・・オプチカル
インテグレータ、１００・・・増幅器、１０１・・・電
圧／周波数変換器、１０２・・・カウンタ、１０３・・
・ＣＰ　Ｕ。１０４・・・比較器、１０５・・・目標値セットレジス
タ１０６・・・ドライブ回路。代理人　弁理士　木　村　三　朗３７′８胃　′２−ｑ図才１０図７７１１図　７１２回才ＩＪ図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）感光物を無光するため光源からの光を透過及び遮
断するシャッタと；光源からの光をｎｌｆ記シャッタの
動作とは無関係に受光し、その光強度に応じた光電信号
を出力する側光手段と；該光電信号に基づいて前記シャ
ッタの開放動作の開始時点から前記光源の光の閂を検出
し、該光電が前記感光物の所定露光量に達したときに、
前記シャッタの閉成動作を開始させる露光制御手段とを
有することを特徴とする露光量制御装置。
（２）雑光制御手段はシャッタ開放動作の開始に応答し
て動作を開始する光量検出回路と、該光電検出回路で検
出した光１′が所定露光Ｉ°に達したときシャッタの閉
信号を発生する比較回路とを備えた特許請求の範囲第１
項記載の露光量制御装置。
（３）　測光手段は光源からの光のうち、感光物の露光
に寄与する波長の光を透過するフィルタと、該フィルタ
を通過した光を受光する光電検出器とを有する特許請求
の範囲第１項または第２項記載の露光量制御装置。
（４）　シャッタは開放動作開始から開放完了までの作
動時間と閉成動作聞漏から閉成完了１での作動時間がほ
ぼ等しく定められたロータリ・シャッタである特許請求
の範囲第１項、纂２項、または第６項記載の露光量制御
装置。