JP2007180229A - 紫外線照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
紫外線利用効率が高くて、しかもコンパクトな紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】
紫外線照射装置は、ショートアーク形水銀ランプＳＨＬと、ショートアーク形水銀ランプが第１焦点に配置される開口径Ｄの楕円反射鏡ＥＲと、楕円反射鏡の開口中心からその光軸方向へ数式Ｌ≦１．５Ｄを満足する距離Ｌ離間した位置に配設され、楕円反射鏡から出射した反射紫外線の進行方向をほぼ９０°の角度で変更させるミラーＭ１と、ミラーで反射して集光された紫外線が一端から入射し、他端から出射するように配設された導光体ＬＧと、楕円反射鏡とミラーとの間を結ぶ第１の光軸に対して垂直で、かつミラーと導光体との間を結ぶ第２の光軸を含む平面を挟んで楕円反射鏡の反対側に回転中心が位置するとともに、ミラーと導光体との間に介在して紫外線の通過量を制御する円盤状紫外線通過量制御機構ＵＶＣとを具備している。
【選択図】
図１

Description

本発明は、ショートアーク形水銀ランプを紫外線光源として用いた紫外線照射装置に関する。

半導体露光や紫外線硬化形樹脂の硬化など多様な用途に紫外線照射装置が用いられている。このような紫外線照射装置では、紫外線光源としてショートアーク形の超高圧水銀ランプ（以下、ショートアーク形水銀ランプという。）が従来から使用されている。この紫外線照射装置には、ショートアーク形水銀ランプから放射される紫外線を楕円反射鏡で集光し、導光体を経由して外部へ導出するとともに、調光板を用いて紫外線量を所望量に調節し、かつシャッター板を用いて紫外線照射を行ったり遮断したりできるように構成されているタイプのものがある。

ところが、従来のこの種紫外線照射装置においては、ショートアーク形水銀ランプから放射された紫外線を効率よく反射して集光するためには、ある程度開口径の大きな楕円反射鏡を用いる必要があるとともに、調光板およびシャッター板を配置するためのスペースを確保する必要があるために相当程度の大きさとならざるを得なかった。

本発明は、紫外線利用効率が高くて、しかもコンパクトな紫外線照射装置を提供することを目的とする。

第１の発明の紫外線照射装置は、ショートアーク形水銀ランプと；ショートアーク形水銀ランプが第１焦点に配置される開口径Ｄの楕円反射鏡と；楕円反射鏡の開口中心からその光軸方向へ数式Ｌ≦１．５Ｄを満足する距離Ｌ離間した位置に配設され、楕円反射鏡から出射した反射紫外線の進行方向をほぼ９０°の角度で変更させるミラーと；ミラーで反射して集光された紫外線が一端から入射し、他端から出射するように配設された導光体と；楕円反射鏡とミラーとの間を結ぶ第１の光軸に対して垂直で、かつミラーと導光体との間を結ぶ第２の光軸を含む平面を挟んで楕円反射鏡の反対側に回転中心が位置するとともに、ミラーと導光体との間に介在して紫外線の通過量を制御する円盤状紫外線通過量制御機構と；を具備していることを特徴としている。

第２の発明の紫外線照射装置は、ショートアーク形水銀ランプと；ショートアーク形水銀ランプが第１焦点に配置される楕円反射鏡と；楕円反射鏡から出射した反射紫外線の進行方向をほぼ９０°の角度で変更させるミラーと；ミラーで反射して集光した紫外線が一端から入射し、他端から出射するように配設された導光体と；ミラーと導光体とを結ぶ光軸と交差する方向に回転軸が傾斜し、かつミラーと導光体との間に介在して紫外線の通過量を制御する円盤状紫外線通過量制御機構と；を具備していることを特徴としている。

本発明によれば、円盤状紫外線通過量制御機構の配置を改良したことで、紫外線利用効率が高くて、しかもコンパクトな紫外線照射装置を提供することができる。

以下、図面を参照して本発明を実施するための形態を説明する。

図１ないし図７は、本発明の紫外線照射装置を実施するための第１の形態を示し、図１は正面断面図、図２はショートアーク形水銀ランプの正面図、図３は配置説明図、図４は光線追跡解析図、図５は調光板の正面図、図６は調光特性を比較例のそれとともに示すグラフ、図７はシャッター板の正面図である。本形態は、第１の発明に対応している。

本形態の紫外線照射装置は、ショートアーク形水銀ランプＳＨＬ、楕円反射鏡ＥＲ、ミラーＭ１、導光体ＬＧおよび円盤状紫外線通過量制御機構ＵＶＣを具備している。

〔ショートアーク形水銀ランプＳＨＬについて〕 ショートアーク形水銀ランプＳＨＬは、図２に示すように、透光性気密容器１、一対の電極２Ｋ、２Ａ、外部リード構体３、４および放電媒体を備えている。

透光性気密容器１は、耐火性を有する石英ガラスなどから形成され、例えば包囲部１ａおよび一対の封止部１ｂ、１ｂを備えている。包囲部１ａの内部には放電空間１ｃが形成されている。封止部１ｂは、透光性気密容器１を気密に封止するとともに、後述する一対の電極２Ｋ、２Ａを放電空間１ｃ内に封装している。さらに詳述すれば、透光性気密容器１が石英ガラスからなる場合、封止部１ｂは、その内部に例えば封着金属箔（図示しない。）が気密に埋設されている。なお、封着金属箔は、例えばモリブデン箔からなり、所要の電流容量を得るために、１枚または並列状態で複数枚が用いられる。

一対の電極２Ｋ、２Ａは、耐火性で導電性の金属、例えばタングステン（Ｗ）、レニウム（Ｒｅ）またはタングステン−レニウム合金など、からなる。そして、直流点灯の場合、陰極２Ｋと陽極２Ａで構成される。また、一対の電極２Ｋ、２Ａは、包囲部１ａの内径より小さい電極間距離、例えば２．８ｍｍとなるようにそれぞれ先端が離間対向して配置されている。

放電媒体は、水銀および希ガスを主体として構成されている。なお、水銀は、点灯時に蒸発して超高圧水銀蒸気状態を呈する。希ガスは、例えばアルゴンガスからなり、始動ガスおよび緩衝ガスとして作用する。

外部リード構体３、４は、一対の電極２Ｋ、２Ａを点灯回路に接続して受電するための手段である。また、ショートアーク形水銀ランプＳＨＬを紫外線照射装置の内部に装着する際に、取付手段として外部リード構体３、４を利用することができる。この場合、外部リード構体３、４は、図示のような口金構造を採用することができる。

本形態においては、外部リード構体３の口金部分３ａから図２において右側へ突出しているボルト部分３ｂを、図示しないナットを用いて支持することによって、ショートアーク形水銀ランプＳＨＬを紫外線照射装置の内部に装着することができる。また、同時に点灯回路の出力端の負極側に接続するように構成されている。

他方、外部リード構体４は、口金部分４ａから外部へ延在する可とう性の被覆導体４ｂを備えている。なお、被覆導体４ｂの先端には、接続端子４ｃが配設されている。

さらに、外部リード構体３、４は、図示しないが、それらの一端が封止部１ｂ、１ｂ内に延在して封着金属箔に溶接されている。

そうして、ショートアーク形水銀ランプＳＨＬは、点灯されると透光性気密容器１の内部に超高圧水銀蒸気放電が生起して紫外線を発生する。

ショートアーク形水銀ランプＳＨＬは、上述した基幹的な構造に加えて、所望により以下の構成を付加することが許容される。

１．（陰極保温膜５について） 陰極保温膜５は、陰極２Ｋに水銀が付着するのを防止するために陰極２Ｋを保温するための手段である。そして、例えば主として陰極２Ｋ側の封止部の外面に形成された白金などの蒸着膜からなる。なお、陰極２Ｋに水銀が付着すると、始動電圧過昇や点灯不良を生じやすくなる。

２．（陽極保温膜６について） 陽極保温膜６は、気密容器１の温度上昇を早めるための手段である。そして、例えば陽極２Ａの主として基端部分に対向する気密容器１の外面に形成された白金などの蒸着膜からなる。なお、気密容器１の温度上昇を早めることで光束立ち上がりが速くなる。

３．（トリガーワイヤ７について） トリガーワイヤ７は、始動時に電極近傍の電位傾度を大きくしてショートアーク形水銀ランプＳＨＬの始動性を良好にするための手段である。そして、例えば基端が陰極２Ｋ側の外部リード構体３に接続し、中間が包囲部１ａの外面に近接して延在し、先端が陽極２Ａ側の封止部１ｂの包囲部１ａに隣接する部位に巻き付けられている。

〔楕円反射鏡ＥＲについて〕 楕円反射鏡ＥＲは、第１焦点ｆ１および第２焦点ｆ２を有し、かつ開口の直径がＤであり、例えば反射面が椀形の回転楕円体形状をなしている。また、その第１焦点ｆ１にショートアーク形水銀ランプＳＨＬの発光中心が位置するように配置されることによって、ショートアーク形水銀ランプＳＨＬから放射される紫外線を反射して第２焦点ｆ２に集光する。

また、楕円反射鏡ＥＲは、好適には椀形のガラス基体の内面に紫外線反射・赤外線透過性被膜を被着させてなされる構成のものを採用することができる。そして、ショートアーク形水銀ランプＳＨＬの発光部が内部に収納される。

〔ミラーＭ１について〕 ミラーＭ１は、楕円反射鏡ＥＲから出射した反射紫外線の進行方向をほぼ９０°の角度で変更させる光学手段である。この反射手段には平面反射鏡を用いることができる。なお、所望によりミラーＭ１の傾斜角を微調整する角度調整手段を付加することができる。

また、ミラーＭ１は、図３に示すように、楕円反射鏡ＥＲの開口中心から光軸方向へ数式Ｌ≦１．５Ｄを満足する距離Ｌ離間した位置に配設される。なお、距離Ｌは、楕円反射鏡の開口とミラーＭ１の間における第１の光軸ＬＸ１の長さに等しい。

さらに、ミラーＭ１は、楕円反射鏡ＥＲの開口と第２焦点ｆ２との間に位置して、好ましくは第２焦点ｆ２になるべく接近した位置になるように、配設されている。

〔導光体ＬＧについて〕 導光体ＬＧは、第２焦点ｆ２に集光した紫外線を照射位置など所望の位置まで導光する手段である。既知の各種導光体を採用することができるものとする。しかし、好適には内面全反射構造の石英ガラスロッドを適当な外皮で保護した構成のものがよい。

また、導光体ＬＧは、ミラーＭ１で反射した紫外線が一端から入射し、他端から出射する。他端から出射した紫外線をそのまま利用してもよいし、さらに後述するように他の光学手段を用いて紫外線の照射方向を変更したり、集光または拡散させるなど適宜の利用形態になるように設定したりすることが許容される。

〔円盤状紫外線通過量制御機構ＵＶＣについて〕 円盤状紫外線通過量制御機構ＵＶＣは、回転中心の周り節動回転可能な紫外線制御用の調光板Ｐ１および／またはシャッター板Ｐ２を備えている。なお、節動回転とは、複数ステップのうち１ステップごとに節動し得る１回転以下のいわゆる回動を含む意味である。

また、円盤状紫外線通過量制御機構ＵＶＣは、図１に示すように、楕円反射鏡ＥＲとミラーＭ１とを結ぶ第１の光軸ＬＸ１に対して直角で、かつミラーＭ１と導光体ＬＧとを結ぶ第２の光軸ＬＸ２を含む平面Ｐを挟んで反射鏡ＥＲの反対側に回転中心ｘ１、ｘ２が位置する。そして、円盤部Ｐ１またはＰ２の作用部がミラーＭ１と導光体ＬＧとの間に介在して紫外線の通過量を制御する光学制御機構である。

したがって、本形態の円盤状紫外線通過量制御機構ＵＶＣによれば、導光体ＬＧの他端から出射する紫外線量を制御することができる。紫外線の制御は、調光および通過・遮断の切り換え（シャッター動作）のいずれか一方または両方が可能なように構成することができる。調光を行うときには調光機構ＤＰが、また通過・遮断の切り換え（シャッター動作）を行うときにはシャッター機構ＳＰが、それぞれ配設される。両方を行う際には、調光機構ＤＰの調光板Ｐ１とシャッター機構ＳＰのシャッター板Ｐ２の作用部が近接するように配設される。

調光機構ＤＰは、図５に示すように、回転中心ｘ１の周りに回転する調光板Ｐ１およびこの調光板Ｐ１を所定角度だけ節動回転させるための駆動回転を行う節動回転駆動手段（図示しな。）、例えばステッピングモータを備えている。そして、調光板Ｐ１には複数ステップの節動回転位置（例えば回転中心ｘ１の回りの２７０°の間に６３ステップ）がディジタル的に設定され、そのステップごとに節動させて所定のステップ位置に到達するように構成するとともに、各ステップ位置には１個または複数個の透孔からなり、開口面積がステップ数に応じて順次変化して、通過紫外線量が０〜１００％を規定している開口ＯＰ１が環状に配置されている。

そうして、本形態における調光機構ＤＰによれば、調光板Ｐ１を節動回転駆動するとともに、予めステップ数と開口面積とを所定の関係に設定してあるので、図６に示すような直線性に優れた調光特性を得ることができる。なお、図６において、横軸はステップ数を、縦軸は紫外線の相対照度比を、それぞれ示す。また、図中の曲線Ａは本形態の調光特性、曲線Ｂは比較例の調光特性、をそれぞれ示す。比較例は、調光信号に基づき等間隔で円盤部を所定角度回転させるアナログ的な設定を行う構成である。

シャッター機構ＳＰは、図１、図３および図７に示すように、回転中心ｘ２の周りに回転するシャッター板Ｐ２およびこのシャッター板Ｐ２を所定角度、図７においては４５°だけ節動回転駆動を行う節動回転駆動手段ＳＭ２、例えばステッピングモータを備えている。そして、シャッター板Ｐ２には第１の節動回転位置において無開口になっていて紫外線を遮断（オフ）し、第２の節動回転位置においてシャッター開口ＯＰ２が形成されていて紫外線を通過（オン）させるように構成されている。

なお、本形態において、円盤状紫外線通過量制御機構ＵＶＣすなわち調光機構ＤＰまたは／およびシャッター機構ＳＰは、ミラーＭ１を具備していない紫外線照射装置であっても適用して所期の作用、効果を奏することができる。

〔本形態における紫外線照射装置の動作について〕 本形態においては、図４に示すように、ショートアーク形水銀ランプＳＨＬから放射された紫外線は、楕円反射鏡ＥＲ内において、第１焦点ｆ１から出射して楕円反射鏡ＥＲの反射面で反射して楕円反射鏡ＥＲから図１および図４において下方へ集光しながら出射する。そして、ミラーＭ１に入射し、反射して、第１の光軸ＬＸ１に対してほぼ９０°方向に向きが変更され、さらに集光しながら第２焦点ｆ２に収斂する。

第２焦点ｆ２に収斂した紫外線は、円盤状紫外線通過量制御機構ＵＶＣすなわち調光機構ＤＰまたは／およびシャッター機構ＳＰを通過して導光体ＬＧ内にその一端から入射する。そして、導光体ＬＧ内を導光されて他端から出射する。

なお、図４は、光線追跡法による紫外線の反射による集光、ミラーＭ１による光路変更および導光体ＬＧから出射した紫外線の照射の状態を示している。

ところで、本発明においては、楕円反射鏡ＥＲとミラーＭ１の距離Ｌが数式Ｌ≦１．５Ｄを満足するので、反射鏡の開口を大きくして紫外線反射効率を大きくすることができる。

また、円盤状紫外線通過量制御機構ＵＶＣすなわち調光機構ＤＰまたは／およびシャッター機構ＳＰは、それらの調光板Ｐ１およびシャッター板Ｐ２の回転中心ｘ１、ｘ２が図１に示すように、楕円反射鏡ＥＲとミラーＭ１とを結ぶ第１の光軸ＬＸ１に対して直角で、かつミラーＭと導光体ＬＧとを結ぶ第２の光軸ＬＸ２を含む平面Ｐを挟んで反射鏡ＥＲの反対側に位置するので、楕円反射鏡ＥＲから反射してミラーＭ１に入射する紫外線通過領域に円盤状紫外線通過量制御機構ＵＶＣすなわち調光機構ＤＰまたは／およびシャッター機構ＳＰが入り込むことがなくなるか、多少入り込んだとしてもわずかになる。そのため、紫外線が円盤状紫外線通過量制御機構ＵＶＣによって蹴られる損失が少なくなり、紫外線の利用効率を高めることができる。

さらに、以上に加えてショートアーク形水銀ランプＳＨＬをフラッシュアップ点灯するように構成した点灯回路を具備することにより、紫外線発生効率を連続定格点灯のときより高めることができる。なお、フラッシュアップ点灯とは、待機中は小ランプ電力（例えば定格ランプ電力以下）で点灯を持続させておき、紫外線照射時に大きなランプ電力（例えば定格ランプ電力超）に切り換えて点灯するパルス点灯方式である。

〔その他の構成について〕 本形態の紫外線照射装置においては、さらに以下の構成を具備している。

１．（光学系について） 以上説明した光学系に加えて紫外線を図示しないワークに照射しやすくするために、導光体ＬＧの他端にミラーＭ２を配設することができる。これにより、ワークに向けて照射口ＩＲＯから出射する紫外線の向きを下方へ変更することができる。

２．（排気機構ＡＳについて） 紫外線照射装置から外部へ塵埃などが放散されないように排気機構ＡＳを具備することができる。排気機構ＡＳを排気ダクト（図示しない。）に接続すれば、紫外線照射装置内が低圧になり、内部から塵埃などの不純物が放散しなくなる。

３．（光源位置微調整機構ＬＸＲについて） 光源位置微調整機構ＬＸＲは、ショートアーク形水銀ランプＳＨＬの管軸位置を微調整する機構である。なお、ショートアーク形水銀ランプＳＨＬは、後述するハウジングＨの天井から吊持されている。

４．（ハウジングＨについて） ハウジングＨは、以上の各手段を内部の所定位置に収納している。

以下、図８ないし図１０を参照して本発明の紫外線照射装置を実施するための第２ないし第４の形態について説明する。なお、各図において、図１と同一部分には同一符号を付して説明は省略する。

図８は、本発明の紫外線照射装置を実施するための第２の形態を示す正面断面図である。本形態は、円盤状紫外線通過量制御機構ＵＶＣすなわち調光機構ＤＰおよび／またはシャッター機構ＳＰが、第１の形態におけるように第２の光軸ＬＸ２に対して直交しているのではなく、傾斜して配設されている。このため、調光機構ＤＰおよび／またはシャッター機構ＳＰの回転軸が第２の光軸ＬＸ２と交差する方向に設定されている。

なお、楕円反射鏡ＥＲの開口径Ｄと第１の光軸ＬＸ１の距離Ｌとの関係については、数式Ｌ≦１．５Ｄを満足することにより紫外線の反射効率が高くなるので好ましいが、所望により上記数式を満足しなくてもよい。

そうして、本形態によれば、楕円反射鏡ＥＲからミラーＭ１へ向かう反射紫外線が円盤状紫外線通過量制御機構ＵＶＣによって蹴られるのを回避するのが容易になる。このため、より一層紫外線利用効率が高くて、しかもコンパクトな紫外線照射装置を提供することができる。

図９は、本発明の紫外線照射装置を実施するための第３の形態を示す側面断面図である。本形態は、ミラーＭ１、Ｍ２を用いないで紫外線を照射するように構成されている。

円盤状紫外線通過量制御機構ＵＶＣは、第１の形態におけるそれと基本的に同様な構成である。しかし、シャッター機構ＳＰは、シャッター板Ｐ２が平行に離間した２枚で構成され、かつその２枚の間に調光板Ｐ１が挟まれるように入り込んでいる点で異なっている。なお、図中の符号ＳＭ２は調光機構ＤＰの節動回転駆動手段である。

図１０は、本発明の紫外線照射装置を実施するための第４の形態を示す正面断面図である。本形態は、基本構造が図９に示す第３の形態と同様であるが、ランプ冷却手段ＬＣが配設されている点で異なる。すなわち、ランプ冷却手段ＬＣは、ショートアーク形水銀ランプＳＨＬの主として陽極付近に対向する透光性気密容器の外面に空気を吹き付けるエアブロアによって構成されている。そして、楕円反射鏡ＥＲからの反射紫外線が通過するほぼ逆円錐形状をなす領域の外側に配設されている。

なお、本形態は、ミラーＭ１を具備する図１に示すような紫外線照射装置にも適用できる。

そうして、本形態においては、ランプ冷却手段ＬＣによりショートアーク形水銀ランプＳＨＬを冷却するので、発光効率を所望の高い値に維持しながら点灯できる。また、ランプ冷却手段ＬＣが反射紫外線を蹴ることがないので、紫外線損失が生じなくなる。

本発明は、半導体露光、紫外線硬化性樹脂の硬化、光洗浄など紫外線を照射して行う処理に適用することができる。

本発明の紫外線照射装置を実施するための第１の形態を示す正面断面図 同じくショートアーク形水銀ランプの正面図 同じく配置説明図 同じく光線追跡解析図 同じく調光板の正面図 同じく調光特性を比較例のそれとともに示すグラフ 同じくシャッター板の正面図 本発明の紫外線照射装置を実施するための第２の形態を示す正面断面図 本発明の紫外線照射装置を実施するための第３の形態を示す側面断面図 本発明の紫外線照射装置を実施するための第４の形態を示す正面断面図

符号の説明

Ｄ…開口の直径、ＤＰ…調光機構、ＥＲ…楕円反射鏡、Ｌ…距離、ＬＧ…導光体、ＬＸ１…第１の光軸、ＬＸ２…第２の光軸、Ｍ１、Ｍ２…ミラー、Ｐ１…調光板、Ｐ２…シャッター板、Ｐ…平面、ＳＨＬ…ショートアーク形水銀ランプ、ＳＰ…シャッター機構、ＵＶＣ…円盤状紫外線通過量制御機構、ｘ１、ｘ２…回転中心

Claims (8)

1. ショートアーク形水銀ランプと；
   ショートアーク形水銀ランプが第１焦点に配置される開口径Ｄの楕円反射鏡と；
   楕円反射鏡の開口中心からその光軸方向へ数式Ｌ≦１．５Ｄを満足する距離Ｌ離間した位置に配設され、楕円反射鏡から出射した反射紫外線の進行方向をほぼ９０°の角度で変更させるミラーと；
   ミラーで反射しして集光された紫外線が一端から入射し、他端から出射するように配設された導光体と；
   楕円反射鏡とミラーとの間を結ぶ第１の光軸に対して垂直で、かつミラーと導光体との間を結ぶ第２の光軸を含む平面を挟んで楕円反射鏡の反対側に回転中心が位置するとともに、ミラーと導光体との間に介在して紫外線の通過量を制御する円盤状紫外線通過量制御機構と；
   を具備していることを特徴とする紫外線照射装置。
2. 円盤状紫外線通過量制御機構は、その回転軸が第２の光軸とほぼ平行に配設されていることを特徴とする請求項１記載の紫外線照射装置。
3. ショートアーク形水銀ランプと；
   ショートアーク形水銀ランプが第１焦点に配置される楕円反射鏡と；
   楕円反射鏡から出射した反射紫外線の進行方向をほぼ９０°の角度で変更させるミラーと；
   ミラーで反射して集光された紫外線が一端から入射し、他端から出射するように配設された導光体と；
   ミラーと導光体とを結ぶ光軸と交差する方向に回転軸が傾斜し、かつミラーと導光体との間に介在して紫外線の通過量を制御する円盤状紫外線通過量制御機構と；
   を具備していることを特徴とする紫外線照射装置。
4. 円盤状紫外線通過量制御機構は、紫外線通過量を可変する調光板を備えた調光機構および紫外線通過を断続するシャッター板を備えたシャッター機構の少なくともいずれか一方を含んでいることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一記載の紫外線照射装置。
5. 調光機構は、回転中心の周りに回転する調光板および調光板を所定角度だけ節動回転駆動させる節動回転駆動手段を備え、調光板には複数ステップの回転位置が設定され、ステップごとに紫外線通過用の開口面積が順次変化した開口が形成されていることを特徴とする請求項４記載の紫外線照射装置。
6. シャッター機構は、回転中心の周りに回転するシャッター板およびシャッター板を所定角度だけ節動回転駆動する節動回転駆動手段を備え、シャッター板は第１の節動回転位置において無開口になっていて紫外線を遮断し、第２の節動回転位置においてシャッター開口が形成されていて紫外線を通過させるように構成されていることを特徴とする請求項４記載の紫外線照射装置。
7. 円盤状紫外線通過量制御手段は、調光板およびシャッター板の作用部が隣接配置されている調光機構およびシャッター機構を備えており；
   調光機構は、回転中心の周りに回転する調光板および調光板を所定角度だけ節動回転駆動する節動回転駆動手段を備え、調光板には複数ステップの回転位置が設定され、ステップごとに紫外線通過用の開口面積が順次変化した開口が形成されており；
   シャッター機構は、回転中心の周りに回転するシャッター板およびシャッター板を所定角度だけ節動回転駆動する節動駆動駆動手段を備え、シャッター板は第１の節動回転位置において無開口になっていて紫外線を遮断し、第２の節動回転位置においてシャッター開口が形成されていて紫外線を通過させるように構成されている；
   ことを特徴とする請求項４記載の紫外線照射装置。
8. 反射鏡の開口とミラーの間に形成される反射紫外線通過領域の外側に冷却気流吹出口が配設されたランプ冷却手段を具備していることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一記載の紫外線照射装置。

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