JPH05182635A - 紫外線照射装置 - Google Patents
紫外線照射装置Info
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- JPH05182635A JPH05182635A JP3347377A JP34737791A JPH05182635A JP H05182635 A JPH05182635 A JP H05182635A JP 3347377 A JP3347377 A JP 3347377A JP 34737791 A JP34737791 A JP 34737791A JP H05182635 A JPH05182635 A JP H05182635A
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- pressure mercury
- mercury lamp
- light emitting
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 照射率を低下させることなく発光管を冷却す
ることができ、ライフ末期においても発光管に付着する
黒化物によって照射率の低下を来すことのない紫外線照
射装置を提供することを目的としている。 【構成】 この発明は、断面が偏平状に形成された発光
管１２を有する高出力紫外線発生用低圧水銀ランプ１１
と、この低圧水銀ランプ１１の発光管の断面の幅方向の
端部側方に沿って設けられた冷却手段２１とを備えたも
のである。また、断面が偏平状に形成されているととも
に、その偏平方向の面内でＵ字状に折り返された発光管
６１を有する高出力紫外線発生用低圧水銀ランプ１１
と、この低圧水銀ランプ１１の発光管６１のＵ字状に折
り返されて互いに対向する部分の隙間に沿って設けられ
た冷却手段６２とを備えたものである。
ることができ、ライフ末期においても発光管に付着する
黒化物によって照射率の低下を来すことのない紫外線照
射装置を提供することを目的としている。 【構成】 この発明は、断面が偏平状に形成された発光
管１２を有する高出力紫外線発生用低圧水銀ランプ１１
と、この低圧水銀ランプ１１の発光管の断面の幅方向の
端部側方に沿って設けられた冷却手段２１とを備えたも
のである。また、断面が偏平状に形成されているととも
に、その偏平方向の面内でＵ字状に折り返された発光管
６１を有する高出力紫外線発生用低圧水銀ランプ１１
と、この低圧水銀ランプ１１の発光管６１のＵ字状に折
り返されて互いに対向する部分の隙間に沿って設けられ
た冷却手段６２とを備えたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば光化学反応用
の紫外線照射装置に関する。
の紫外線照射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の紫外線照射装置として
は、図９に示すように、断面円形状の発光管１の一方及
び他方の端部の電極収納部に冷却部２を設けたものが知
られている。しかし、発光管１からの発熱量が大きい場
合には、冷却機能を有する反射板を設けることによっ
て、発光管１からの熱を放射熱として吸収して冷却して
いた。また、発光管１に沿って冷却手段を設けることも
考えられるが、このようにすることは、図１０に示すよ
うに、発光管１から均一に照射する紫外線の一部を遮ぎ
ることになって例えば反射光等を減少させることにな
り、照射効率を低下させることになるから、行なわれて
いない。
は、図９に示すように、断面円形状の発光管１の一方及
び他方の端部の電極収納部に冷却部２を設けたものが知
られている。しかし、発光管１からの発熱量が大きい場
合には、冷却機能を有する反射板を設けることによっ
て、発光管１からの熱を放射熱として吸収して冷却して
いた。また、発光管１に沿って冷却手段を設けることも
考えられるが、このようにすることは、図１０に示すよ
うに、発光管１から均一に照射する紫外線の一部を遮ぎ
ることになって例えば反射光等を減少させることにな
り、照射効率を低下させることになるから、行なわれて
いない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
紫外線照射装置においては、長時間使用しているうち
に、黒化物が発光管１の内面に付着しだし、発光管１か
らの紫外線の照射量が低下するという問題がある。そし
て、特に冷却した部分に黒化物の付着が目立ち、反射板
等によって発光管１の全体を冷却した場合には発光管１
の全体に黒化物が付着するという問題があった。
紫外線照射装置においては、長時間使用しているうち
に、黒化物が発光管１の内面に付着しだし、発光管１か
らの紫外線の照射量が低下するという問題がある。そし
て、特に冷却した部分に黒化物の付着が目立ち、反射板
等によって発光管１の全体を冷却した場合には発光管１
の全体に黒化物が付着するという問題があった。
【０００４】この発明は上述した問題を解消するために
なされたもので、その目的は、照射率を低下させること
なく発光管を冷却することができ、ライフ末期において
も黒化物の付着による照射率の低下を来すことのない発
光管を有する紫外線照射装置を提供することにある。
なされたもので、その目的は、照射率を低下させること
なく発光管を冷却することができ、ライフ末期において
も黒化物の付着による照射率の低下を来すことのない発
光管を有する紫外線照射装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、断面が偏平状に形成された発光
管を有する高出力紫外線発生用低圧水銀ランプと、この
低圧水銀ランプの発光管の断面の幅方向の端部側方に沿
って設けられた冷却手段とを備えたことを特徴としてい
る。また、請求項２の発明は、断面が偏平状に形成され
ているとともに、その偏平方向の面内でＵ字状に折り返
された発光管を有する高出力紫外線発生用低圧水銀ラン
プと、この低圧水銀ランプの発光管のＵ字状に折り返さ
れて互いに対向する部分の隙間に沿って設けられた冷却
手段とを備えたことを特徴としている。さらに、請求項
３の発明は、冷却手段として、管内に冷媒を流通させた
ものを用いていることを特徴としている。
に、請求項１の発明は、断面が偏平状に形成された発光
管を有する高出力紫外線発生用低圧水銀ランプと、この
低圧水銀ランプの発光管の断面の幅方向の端部側方に沿
って設けられた冷却手段とを備えたことを特徴としてい
る。また、請求項２の発明は、断面が偏平状に形成され
ているとともに、その偏平方向の面内でＵ字状に折り返
された発光管を有する高出力紫外線発生用低圧水銀ラン
プと、この低圧水銀ランプの発光管のＵ字状に折り返さ
れて互いに対向する部分の隙間に沿って設けられた冷却
手段とを備えたことを特徴としている。さらに、請求項
３の発明は、冷却手段として、管内に冷媒を流通させた
ものを用いていることを特徴としている。
【０００６】
【作用】上記のように構成された請求項１の発明におい
ては、発光管の断面が偏平状に形成されているから、そ
の断面の幅方向に沿う面である偏平面からの紫外線の出
力が強く、幅方向の端部の面からの紫外線の出力がごく
小さくなる。このため、偏平面を被照射物に向けて使用
することによって、照射効率を向上することができる。
また、冷却手段を紫外線出力の小さな幅方向の端部側方
に沿って設けているから、被照射物への照射の妨げとな
ることがほとんどない。そして、幅方向の端部側方の面
は冷却により黒化物が集中するが、この部分で黒化物が
集中するため、紫外線出力の強い偏平面には黒化物が付
着しにくくなる。このため、ライフ末期においても黒化
物の付着による紫外線の照射量の低下を十分抑えること
ができる。
ては、発光管の断面が偏平状に形成されているから、そ
の断面の幅方向に沿う面である偏平面からの紫外線の出
力が強く、幅方向の端部の面からの紫外線の出力がごく
小さくなる。このため、偏平面を被照射物に向けて使用
することによって、照射効率を向上することができる。
また、冷却手段を紫外線出力の小さな幅方向の端部側方
に沿って設けているから、被照射物への照射の妨げとな
ることがほとんどない。そして、幅方向の端部側方の面
は冷却により黒化物が集中するが、この部分で黒化物が
集中するため、紫外線出力の強い偏平面には黒化物が付
着しにくくなる。このため、ライフ末期においても黒化
物の付着による紫外線の照射量の低下を十分抑えること
ができる。
【０００７】また、上記のように構成された請求項２の
発明においては、Ｕ字状に折り返されて互いに対向する
発光管の隙間に冷却手段を設けているから、冷却手段が
発光管の側方及び上部を覆う反射板に当たる心配がな
い。したがって、反射板の形状を、反射板としての機能
を十分発揮し得るように自由に設計することができる。
さらに、請求項３の発明においては、冷却手段として、
管内に冷媒を流通させたものを用いているから、冷媒の
温度や流量を制御することにより、発光管の温度を正確
に制御することができる。
発明においては、Ｕ字状に折り返されて互いに対向する
発光管の隙間に冷却手段を設けているから、冷却手段が
発光管の側方及び上部を覆う反射板に当たる心配がな
い。したがって、反射板の形状を、反射板としての機能
を十分発揮し得るように自由に設計することができる。
さらに、請求項３の発明においては、冷却手段として、
管内に冷媒を流通させたものを用いているから、冷媒の
温度や流量を制御することにより、発光管の温度を正確
に制御することができる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例を図１〜図８を参照
して説明する。まず、図１〜図３を参照して第１実施例
を説明する。
して説明する。まず、図１〜図３を参照して第１実施例
を説明する。
【０００９】図１〜図３において、１１は断面が偏平状
に形成された発光管１２を有する高出力紫外線発生用低
圧水銀ランプである。この低圧水銀ランプ１１は、最近
の高出力化高密度化の要求により開発されたものであ
り、従来の円筒状の発光管では入力を上げてゆくにつれ
て水銀ラインの自己吸収が顕著になり、過度に入力を増
すとかえって紫外線出力が低下することを克服したもの
である。すなわち、偏平断面の高さ方向（短軸方向）の
長さが短いため、この方向での水銀ラインの自己吸収が
少なくなっている。
に形成された発光管１２を有する高出力紫外線発生用低
圧水銀ランプである。この低圧水銀ランプ１１は、最近
の高出力化高密度化の要求により開発されたものであ
り、従来の円筒状の発光管では入力を上げてゆくにつれ
て水銀ラインの自己吸収が顕著になり、過度に入力を増
すとかえって紫外線出力が低下することを克服したもの
である。すなわち、偏平断面の高さ方向（短軸方向）の
長さが短いため、この方向での水銀ラインの自己吸収が
少なくなっている。
【００１０】したがって、図８に示すように、幅方向
（長軸方向）に沿う面である偏平面からの紫外線の出力
が高出力かつ高密度になり、幅方向の端部の面からの紫
外線の出力が小さくなる。このような構造にすることに
より、例えば２５４ｎｍの紫外線の場合、従来の円筒状
の発光管では電流密度（発光管内の断面積で放電電流を
割ったもの）を上げてもかえって紫外線の出力が低下す
るため、１．６〜３Ａ／cm2 程度の電流密度までにしか
高密度化することができなかったものが、８Ａ／cm2 程
度までの高密度化に対応することができ、約６Ａ／cm2
で従来の２倍の紫外線出力が得られるようになった。
（長軸方向）に沿う面である偏平面からの紫外線の出力
が高出力かつ高密度になり、幅方向の端部の面からの紫
外線の出力が小さくなる。このような構造にすることに
より、例えば２５４ｎｍの紫外線の場合、従来の円筒状
の発光管では電流密度（発光管内の断面積で放電電流を
割ったもの）を上げてもかえって紫外線の出力が低下す
るため、１．６〜３Ａ／cm2 程度の電流密度までにしか
高密度化することができなかったものが、８Ａ／cm2 程
度までの高密度化に対応することができ、約６Ａ／cm2
で従来の２倍の紫外線出力が得られるようになった。
【００１１】上記のようにして開発された発光管１２
は、紫外線透過率の高い合成石英ガラスで形成されたも
のであり、その断面の幅方向の長さが３０mm、高さ方向
の長さが１５mmのほぼ長方形状に偏平化されている。ま
た、この発光管１２は、その両端部の電極収納部１２ａ
が直径２４mmの円筒状に形成されている。電極収納部１
２ａの軸方向の長さは１００〜３００mm程度である。
は、紫外線透過率の高い合成石英ガラスで形成されたも
のであり、その断面の幅方向の長さが３０mm、高さ方向
の長さが１５mmのほぼ長方形状に偏平化されている。ま
た、この発光管１２は、その両端部の電極収納部１２ａ
が直径２４mmの円筒状に形成されている。電極収納部１
２ａの軸方向の長さは１００〜３００mm程度である。
【００１２】各電極収納部１２ａには、陽極１３及び陰
極１４が収納されており、これらの陽極１３及び陰極１
４は電極収納部１２ａを封止するステム１５によって固
定されている。陽極１３は、円形の２層コイルにより形
成されており、例えば線径１．２mmのタングステンワイ
ヤを外径２０mm、巻数８ターンの密着巻きした１層目コ
イルに形成し、この外側に巻数３ターンの２層目コイル
を巻戻し形成してある。
極１４が収納されており、これらの陽極１３及び陰極１
４は電極収納部１２ａを封止するステム１５によって固
定されている。陽極１３は、円形の２層コイルにより形
成されており、例えば線径１．２mmのタングステンワイ
ヤを外径２０mm、巻数８ターンの密着巻きした１層目コ
イルに形成し、この外側に巻数３ターンの２層目コイル
を巻戻し形成してある。
【００１３】陰極１４は、タングステンのコイルフィラ
メントからなるものであり、陽極１３の背部側に位置し
ている。陰極１４が陽極１３の背部に位置しているの
は、陽極１３に突入する高速電子から陰極１４を保護す
るためである。各陽極１３及び陰極１４にはリード線１
６が接続されている。
メントからなるものであり、陽極１３の背部側に位置し
ている。陰極１４が陽極１３の背部に位置しているの
は、陽極１３に突入する高速電子から陰極１４を保護す
るためである。各陽極１３及び陰極１４にはリード線１
６が接続されている。
【００１４】また、発光管１２内には、所定量の水銀又
はアマルガムと、始動用のアルゴンガス（１３〜２６７
Ｐａ）が封入されており、各電極収納部１２ａには図示
しない電極部冷却手段が設けられている。さらに、発光
管１２の偏平断面の幅方向の一方の端部に沿う位置に
は、冷却手段２１が設けられている。冷却手段２１は、
円筒状の伝熱管（管）２２と、この伝熱管２２内を流通
する熱媒体（冷媒）２３とを備えたものであり、伝熱管
２２は、熱媒体２３の温度及び流量を制御する熱媒体制
御装置（図示せず）に接続されている。
はアマルガムと、始動用のアルゴンガス（１３〜２６７
Ｐａ）が封入されており、各電極収納部１２ａには図示
しない電極部冷却手段が設けられている。さらに、発光
管１２の偏平断面の幅方向の一方の端部に沿う位置に
は、冷却手段２１が設けられている。冷却手段２１は、
円筒状の伝熱管（管）２２と、この伝熱管２２内を流通
する熱媒体（冷媒）２３とを備えたものであり、伝熱管
２２は、熱媒体２３の温度及び流量を制御する熱媒体制
御装置（図示せず）に接続されている。
【００１５】伝熱管２２は、薄肉状のステンレスの材料
等で円筒状に形成されたものであって、伝熱性に優れて
いるとともに、耐熱性、耐紫外線性等に対して優れたも
のとなっている。また、伝熱管２２としては、内面に溝
等を形成することによってさらに伝熱性を高めたもの
や、断面を偏平状に形成して発光管１２に近接する部分
の面積を大きくすることにより伝熱性を高めたものを用
いてもよい。
等で円筒状に形成されたものであって、伝熱性に優れて
いるとともに、耐熱性、耐紫外線性等に対して優れたも
のとなっている。また、伝熱管２２としては、内面に溝
等を形成することによってさらに伝熱性を高めたもの
や、断面を偏平状に形成して発光管１２に近接する部分
の面積を大きくすることにより伝熱性を高めたものを用
いてもよい。
【００１６】熱媒体２３は、水等の液体や、空気、フレ
オンガス等の気体を用いたものであって、熱媒体制御装
置で温度や流量が制御されて伝熱管２２内に送られるよ
うになっている。また、伝熱管２２及び発光管１２の側
方及び上方には、これらを覆うように反射板３１が設け
られている。反射板３１は、発光管１２の上側の偏平面
から照射する紫外線を下側に反射するものであり、反射
板３１で反射した紫外線を再び発光管１２内を通して下
側の被照射物Ｈに照射するようになっている。被照射物
Ｈとしては、例えば光洗浄等のために供給された液晶ガ
ラス基板などがある。また、図１において、符号４１は
被照射物Ｈを載置するテーブルである。
オンガス等の気体を用いたものであって、熱媒体制御装
置で温度や流量が制御されて伝熱管２２内に送られるよ
うになっている。また、伝熱管２２及び発光管１２の側
方及び上方には、これらを覆うように反射板３１が設け
られている。反射板３１は、発光管１２の上側の偏平面
から照射する紫外線を下側に反射するものであり、反射
板３１で反射した紫外線を再び発光管１２内を通して下
側の被照射物Ｈに照射するようになっている。被照射物
Ｈとしては、例えば光洗浄等のために供給された液晶ガ
ラス基板などがある。また、図１において、符号４１は
被照射物Ｈを載置するテーブルである。
【００１７】上記のように構成された紫外線照射装置に
おいては、低圧水銀ランプ１１の一端側の陽極１３と他
端側の陰極１４との間に半波電流成分を流してこの間で
放電させ、次いで他端側の陽極１３と一端側の陰極１４
との間に逆半波電流成分を流して、この間で放電させ、
このように交互に放電を繰り返すことによって継続的に
点灯する。このような放電により水銀主体の蒸気が低圧
状態で励起され、この結果水銀の共鳴線の２５４ｎｍや
１８５ｎｍの種々の短波長紫外線領域の光を放射する。
おいては、低圧水銀ランプ１１の一端側の陽極１３と他
端側の陰極１４との間に半波電流成分を流してこの間で
放電させ、次いで他端側の陽極１３と一端側の陰極１４
との間に逆半波電流成分を流して、この間で放電させ、
このように交互に放電を繰り返すことによって継続的に
点灯する。このような放電により水銀主体の蒸気が低圧
状態で励起され、この結果水銀の共鳴線の２５４ｎｍや
１８５ｎｍの種々の短波長紫外線領域の光を放射する。
【００１８】また、低圧水銀ランプは、およそ４０度〜
５０度の温度範囲で点灯すると発光効率がよいので、発
光管１２の温度が４５度になるように熱媒体の温度や流
量を制御する。ただし、発光管１２の断面の幅方向の端
部は、冷却手段２１によって他の部分より冷やされるの
で、長期間使用しているうちに、幅方向の端部に黒化物
が集中するようになる。しかし、幅方向の端部に黒化物
が集中するので、偏平面には黒化物が現れにくくなる。
黒化物は、水銀が発光管１２の内面に突き刺さったもの
である。
５０度の温度範囲で点灯すると発光効率がよいので、発
光管１２の温度が４５度になるように熱媒体の温度や流
量を制御する。ただし、発光管１２の断面の幅方向の端
部は、冷却手段２１によって他の部分より冷やされるの
で、長期間使用しているうちに、幅方向の端部に黒化物
が集中するようになる。しかし、幅方向の端部に黒化物
が集中するので、偏平面には黒化物が現れにくくなる。
黒化物は、水銀が発光管１２の内面に突き刺さったもの
である。
【００１９】上記のように構成された紫外線照射装置に
よれば、冷却手段２１が紫外線の出力の小さな部分に位
置し、黒化物も紫外線出力の小さな部分に集中するか
ら、照射効率を減少させることなく発光管１２を冷却す
ることができ、ライフ末期においても黒化物による照射
効率の低下を防止することができる。
よれば、冷却手段２１が紫外線の出力の小さな部分に位
置し、黒化物も紫外線出力の小さな部分に集中するか
ら、照射効率を減少させることなく発光管１２を冷却す
ることができ、ライフ末期においても黒化物による照射
効率の低下を防止することができる。
【００２０】なお、上記実施例においては、熱媒体２３
の温度や流量を単に熱媒体制御装置で制御するように構
成したが、発光管１２の断面の幅方向の端部に温度セン
サを設けて、この温度センサで検知した温度が所定の値
になるように、熱媒体制御装置を使ってフィードバック
制御するように構成してもよい。この場合には、発光管
１２の温度をより一定の温度に正確に制御することがで
きる。また、伝熱管２２を発光管１２の幅方向の一方の
端部に沿って設けるように構成にしたが、両方の端部に
沿って設けるように構成してもよい。
の温度や流量を単に熱媒体制御装置で制御するように構
成したが、発光管１２の断面の幅方向の端部に温度セン
サを設けて、この温度センサで検知した温度が所定の値
になるように、熱媒体制御装置を使ってフィードバック
制御するように構成してもよい。この場合には、発光管
１２の温度をより一定の温度に正確に制御することがで
きる。また、伝熱管２２を発光管１２の幅方向の一方の
端部に沿って設けるように構成にしたが、両方の端部に
沿って設けるように構成してもよい。
【００２１】次ぎに、図４及び図５を参照してこの発明
の第２実施例を説明する。この第２実施例が第１実施例
と異なる点は、発光管５１がＵ字状に形成されている点
と、伝熱管５２が発光管５１の幅方向の一方の端部に沿
ってＵ字状に形成されている点である。すなわち、発光
管５１は、断面が偏平状に形成され、その偏平方向の面
内でＵ字状に屈曲された形状になっている。また、伝熱
管５２は、発熱管５１の外側の端部を取り巻くようにＵ
字状に形成されている。この他の構成は、第１実施例と
同一であるので説明を省略する。
の第２実施例を説明する。この第２実施例が第１実施例
と異なる点は、発光管５１がＵ字状に形成されている点
と、伝熱管５２が発光管５１の幅方向の一方の端部に沿
ってＵ字状に形成されている点である。すなわち、発光
管５１は、断面が偏平状に形成され、その偏平方向の面
内でＵ字状に屈曲された形状になっている。また、伝熱
管５２は、発熱管５１の外側の端部を取り巻くようにＵ
字状に形成されている。この他の構成は、第１実施例と
同一であるので説明を省略する。
【００２２】上記のように構成された紫外線照射装置に
おいては、発光管５１の照射面積が増加し、紫外線の密
度が増加する。したがって、上記のように構成した紫外
線照射装置によれば、短時間で被照射物の光洗浄等を行
なうことができる。
おいては、発光管５１の照射面積が増加し、紫外線の密
度が増加する。したがって、上記のように構成した紫外
線照射装置によれば、短時間で被照射物の光洗浄等を行
なうことができる。
【００２３】次ぎに、図６〜図７を参照して、この発明
の第３実施例を説明する。この第３実施例が第１実施例
と異なる点は、発光管６１がＵ字状に形成されている点
と、伝熱管６２が発光管６１のＵ字状に折り返された部
分の隙間にＵ字状に屈曲されて配置されている点であ
る。すなわち、発光管６１は、断面が偏平状に形成さ
れ、その偏平方向の面内でＵ字状に屈曲された形状にな
っている。また、伝熱管６２は、断面が偏平状に形成さ
れ、その偏平の面を対向させるようにＵ字状に形成され
ている。この他の構成は、第１実施例と同一であるので
説明を省略する。
の第３実施例を説明する。この第３実施例が第１実施例
と異なる点は、発光管６１がＵ字状に形成されている点
と、伝熱管６２が発光管６１のＵ字状に折り返された部
分の隙間にＵ字状に屈曲されて配置されている点であ
る。すなわち、発光管６１は、断面が偏平状に形成さ
れ、その偏平方向の面内でＵ字状に屈曲された形状にな
っている。また、伝熱管６２は、断面が偏平状に形成さ
れ、その偏平の面を対向させるようにＵ字状に形成され
ている。この他の構成は、第１実施例と同一であるので
説明を省略する。
【００２４】上記のように構成された紫外線照射装置に
おいては、発光管６１の内側に沿って電極収納部１２ａ
まで冷却することができる。そして、伝熱管６２が偏平
に形成されているから、発光管６１に近接する部分の面
積が広く、発光管６１から伝熱管６２への熱の移動量が
多くなる。
おいては、発光管６１の内側に沿って電極収納部１２ａ
まで冷却することができる。そして、伝熱管６２が偏平
に形成されているから、発光管６１に近接する部分の面
積が広く、発光管６１から伝熱管６２への熱の移動量が
多くなる。
【００２５】上記のように構成された紫外線照射装置に
よれば、伝熱管６２が発光管６１のＵ字状の隙間に配置
されているから、伝熱管６２が反射板３１の邪魔になる
ことがない。したがって、反射効率が最良になるよに反
射板３１の形状を自由に設計することができる。しか
も、伝熱管６２が偏平に形成されているから、発光管６
１の隙間のように狭い部分にも、伝熱管６２を配置する
ことができる。さらに、伝熱管６２が偏平に形成されて
いるから、伝熱効率がよく、よって発光管６１の温度制
御を十分余裕をもって行なうことができる。さらにま
た、伝熱管６２が電極収納部１２ａにも沿っているか
ら、電極収納部１２ａも冷却することができるという利
点がある。
よれば、伝熱管６２が発光管６１のＵ字状の隙間に配置
されているから、伝熱管６２が反射板３１の邪魔になる
ことがない。したがって、反射効率が最良になるよに反
射板３１の形状を自由に設計することができる。しか
も、伝熱管６２が偏平に形成されているから、発光管６
１の隙間のように狭い部分にも、伝熱管６２を配置する
ことができる。さらに、伝熱管６２が偏平に形成されて
いるから、伝熱効率がよく、よって発光管６１の温度制
御を十分余裕をもって行なうことができる。さらにま
た、伝熱管６２が電極収納部１２ａにも沿っているか
ら、電極収納部１２ａも冷却することができるという利
点がある。
【００２６】なお、上記第３実施例においては、偏平状
に形成された伝熱管６２を示したが、この伝熱管は円筒
状のものをＵ字状に湾曲したものであってもよい。
に形成された伝熱管６２を示したが、この伝熱管は円筒
状のものをＵ字状に湾曲したものであってもよい。
【００２７】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、発光管の断面
が偏平状に形成されているから、幅方向の面を被照射物
に向けて使用することによって、照射効率を向上するこ
とができる。しかも、冷却手段は幅方向の端部側方に沿
って設けられているから、被照射物への照射の妨げとな
ることがほとんどない。したがって、紫外線の照射効率
を低下させることなく発光管全体を十分冷却することが
できる。さらに、幅方向の端部側方の冷却部分に黒化物
が集中し、幅方向に沿う偏平面には黒化物が付着しにく
くなるので、ライフ末期に至るまで黒化物の付着による
紫外線の照射量の低下を十分抑えることができる。
が偏平状に形成されているから、幅方向の面を被照射物
に向けて使用することによって、照射効率を向上するこ
とができる。しかも、冷却手段は幅方向の端部側方に沿
って設けられているから、被照射物への照射の妨げとな
ることがほとんどない。したがって、紫外線の照射効率
を低下させることなく発光管全体を十分冷却することが
できる。さらに、幅方向の端部側方の冷却部分に黒化物
が集中し、幅方向に沿う偏平面には黒化物が付着しにく
くなるので、ライフ末期に至るまで黒化物の付着による
紫外線の照射量の低下を十分抑えることができる。
【００２８】また、請求項２の発明によれば、冷却手段
がＵ字状に折り返されて互いに対向する部分の隙間に設
けられているから、冷却手段が反射板の側板に当たる心
配がない。したがって、反射板の形状を、反射板として
の機能を十分発揮し得る自由な形状に設計することがで
き、これによって照射効率を向上することができる。さ
らに、請求項３の発明によれば、冷却手段として、管内
に冷媒を流通させたものを用いているから、冷媒の温度
や流量を制御することにより、発光管の温度を正確に制
御することができる。
がＵ字状に折り返されて互いに対向する部分の隙間に設
けられているから、冷却手段が反射板の側板に当たる心
配がない。したがって、反射板の形状を、反射板として
の機能を十分発揮し得る自由な形状に設計することがで
き、これによって照射効率を向上することができる。さ
らに、請求項３の発明によれば、冷却手段として、管内
に冷媒を流通させたものを用いているから、冷媒の温度
や流量を制御することにより、発光管の温度を正確に制
御することができる。
【図１】この発明の第１実施例として示した紫外線照射
装置の断面図。
装置の断面図。
【図２】同紫外線照射装置の発光管及び伝熱管を示す平
面図。
面図。
【図３】同紫外線照射装置の発光管の側面図。
【図４】この発明の第２実施例として示した紫外線照射
装置の要部を示す斜視図。
装置の要部を示す斜視図。
【図５】同紫外線照射装置の要部断面図。
【図６】この発明の第３実施例として示した紫外線照射
装置の要部断面図。
装置の要部断面図。
【図７】同紫外線照射装置の発光管及び伝熱管を示す平
面図。
面図。
【図８】この発明の第１〜第３実施例で示した紫外線照
射装置の発光管の配光を示す説明図。
射装置の発光管の配光を示す説明図。
【図９】従来例として示した紫外線照射装置の要部を示
す斜視図。
す斜視図。
【図１０】同紫外線照射装置の発光管の配光を示す説明
図。
図。
１１ 高出力紫外線発生用低圧水銀ランプ １２、５１、６１ 発光管 ２１ 冷却手段 ２２、５２、６２ 管（伝熱管） ２３ 冷媒（熱媒体）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｊ 61/52 Ｌ 7135−5Ｅ Ｈ０１Ｌ 21/027 // Ａ６１Ｌ 2/10 7108−4Ｃ Ｇ２１Ｋ 5/00 Ｚ 8707−2Ｇ
Claims (3)
- 【請求項１】 断面が偏平状に形成された発光管を有す
る高出力紫外線発生用低圧水銀ランプと、この低圧水銀
ランプの発光管の断面の幅方向の端部側方に沿って設け
られた冷却手段とを備えたことを特徴とする紫外線照射
装置。 - 【請求項２】 断面が偏平状に形成されているととも
に、その偏平方向の面内でＵ字状に折り返された発光管
を有する高出力紫外線発生用低圧水銀ランプと、この低
圧水銀ランプの発光管のＵ字状に折り返されて互いに対
向する部分の隙間に沿って設けられた冷却手段とを備え
たことを特徴とする紫外線照射装置。 - 【請求項３】 冷却手段は、管内に冷媒を流通させたも
のであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載
の紫外線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3347377A JPH05182635A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 紫外線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3347377A JPH05182635A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 紫外線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05182635A true JPH05182635A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=18389819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3347377A Pending JPH05182635A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 紫外線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05182635A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7009335B2 (en) * | 2004-06-07 | 2006-03-07 | Mathbright Technology Co., Ltd. | Fluorescent tube structure |
| JP2006235205A (ja) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 温度調整装置および温度調整方法 |
| JP2011139043A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-07-14 | Media Lario Srl | 斜入射ｅｕｖリソグラフィ集光器用の冷却システム及び冷却方法 |
| US9093258B2 (en) | 2011-06-08 | 2015-07-28 | Xenex Disinfection Services, Llc | Ultraviolet discharge lamp apparatuses having optical filters which attenuate visible light |
| GB2523543A (en) * | 2011-06-08 | 2015-09-02 | Xenex Disinfection Services Llc | Ultraviolet discharge lamp apparatuses with one or more reflectors and systems which determine operating parameters and disinfection schedules |
| US9517284B1 (en) | 2015-07-02 | 2016-12-13 | Xenex Disinfection Services, Llc. | Germicidal apparatuses with configurations to selectively conduct different disinfection modes interior and exterior to the apparatus |
| US9744255B2 (en) | 2012-06-08 | 2017-08-29 | Xenex Disinfection Services, Llc. | Systems which determine operating parameters and disinfection schedules for germicidal devices |
| US9867894B2 (en) | 2015-07-02 | 2018-01-16 | Xenex Disinfection Services, Llc. | Germicidal apparatuses with configurations to selectively conduct different disinfection modes interior and exterior to the apparatus |
-
1991
- 1991-12-27 JP JP3347377A patent/JPH05182635A/ja active Pending
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7009335B2 (en) * | 2004-06-07 | 2006-03-07 | Mathbright Technology Co., Ltd. | Fluorescent tube structure |
| JP2006235205A (ja) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 温度調整装置および温度調整方法 |
| JP2011139043A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-07-14 | Media Lario Srl | 斜入射ｅｕｖリソグラフィ集光器用の冷却システム及び冷却方法 |
| US9698003B2 (en) | 2011-06-08 | 2017-07-04 | Xenex Disinfection Services, Llc. | Ultraviolet discharge lamp apparatuses with one or more reflectors |
| US10335506B2 (en) | 2011-06-08 | 2019-07-02 | Xenex Disinfection Services, Llc. | Mobile ultraviolet lamp apparatuses having a reflector system that redirects light to a high touch area of a room |
| US9165756B2 (en) | 2011-06-08 | 2015-10-20 | Xenex Disinfection Services, Llc | Ultraviolet discharge lamp apparatuses with one or more reflectors |
| GB2523543B (en) * | 2011-06-08 | 2015-12-09 | Xenex Disinfection Services Llc | Ultraviolet discharge lamp apparatuses with multi-paneled optical filters |
| US11929247B2 (en) | 2011-06-08 | 2024-03-12 | Xenex Disinfection Services Inc. | Ultraviolet lamp apparatuses having automated mobility while emitting light |
| US9093258B2 (en) | 2011-06-08 | 2015-07-28 | Xenex Disinfection Services, Llc | Ultraviolet discharge lamp apparatuses having optical filters which attenuate visible light |
| US11511007B2 (en) | 2011-06-08 | 2022-11-29 | Xenex Disinfection Services Inc. | Systems which determine operating parameters for germicidal devices |
| US9773658B2 (en) | 2011-06-08 | 2017-09-26 | Xenex Disinfection Services, Llc. | Ultraviolet discharge lamp apparatuses having lamp housings which are transparent to ultraviolet light |
| US11000608B2 (en) | 2011-06-08 | 2021-05-11 | Xenex Disinfection Services Inc. | Ultraviolet lamp room/area disinfection apparatuses having integrated cooling systems |
| US10004822B2 (en) | 2011-06-08 | 2018-06-26 | Xenex Disinfection Services, Llc. | Mobile ultraviolet lamp apparatuses having a reflector system that redirects light to a high touch area of a room |
| GB2523543A (en) * | 2011-06-08 | 2015-09-02 | Xenex Disinfection Services Llc | Ultraviolet discharge lamp apparatuses with one or more reflectors and systems which determine operating parameters and disinfection schedules |
| US10410853B2 (en) | 2011-06-08 | 2019-09-10 | Xenex Disinfection Services, Llc. | Ultraviolet lamp apparatuses with one or more moving components |
| US9744255B2 (en) | 2012-06-08 | 2017-08-29 | Xenex Disinfection Services, Llc. | Systems which determine operating parameters and disinfection schedules for germicidal devices |
| US10583213B2 (en) | 2015-07-02 | 2020-03-10 | Xenex Disinfection Services, Inc. | Germicidal apparatuses with configurations to selectively conduct different disinfection modes interior and exterior to the apparatus |
| US9867894B2 (en) | 2015-07-02 | 2018-01-16 | Xenex Disinfection Services, Llc. | Germicidal apparatuses with configurations to selectively conduct different disinfection modes interior and exterior to the apparatus |
| US9517284B1 (en) | 2015-07-02 | 2016-12-13 | Xenex Disinfection Services, Llc. | Germicidal apparatuses with configurations to selectively conduct different disinfection modes interior and exterior to the apparatus |
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