JP5371080B2

JP5371080B2 - 露光装置および露光方法

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Publication number: JP5371080B2
Application number: JP2008012362A
Authority: JP
Inventors: エッチレスタージョージ; ジェイキャバノートーマス; エーミドレマスカーク; ジェイダブルプラツアーステファン
Original assignee: ダイマックスコーポレーション
Priority date: 2007-01-23
Filing date: 2008-01-23
Publication date: 2013-12-18
Anticipated expiration: 2028-01-23
Also published as: EP1950493A2; JP2008181126A; US7671543B2; CA2616240A1; US20080175001A1; EP1950493A3

Description

本発明は、露光装置および露光方法に関する。より詳しくは、本発明は、感光性接着剤を硬化させるための露光を制御する光強度制御部およびそれを備えた露光装置に関連する。この露光装置においては、光は、光ファイバ構成によって放射することが好ましい。

露光装置の照明を制御するために、多種多様な手段が知られている。たとえば、光源からの照明は、光源の電流または電圧を変えることによって、あるいは電流の有効位相セクションを変えることによって制御することができる。米国特許第６，５１５，４３０号には、光ファイバなどの光伝達器を通して光を輝かすための光源を含む、典型的な露光装置が示されている。光源と光ファイバの間には、光源から光ファイバへ送られる光の持続期間および強さを制御する、シャッタおよび絞り（光調整器）が配置されている。

他の照明制御技術では、光源と光ファイバの間の光学経路中に、無色または灰色のくさび（三角形）、フィルタまたは類似の吸収デバイスを配置するものがある。しかし、灰色のくさび状（三角形状）のフィルタまたは類似の吸収デバイスによる照明密度の変動は限られており、光の誘導を妨げられないようにすることができず、最大照明が常に低下することになる。光ファイバを介して光源が放射する光の明るさは、内蔵の虹彩絞りによって制御してもよいことも本技術で知られている。米国特許第２，７３５，９２９号および第３，２２２，５１０号に、通常の虹彩絞りが示されている。米国特許第２，３３６，１１９号、第３，３７１，２０２号、第４，０１８，５２７号、第４，２５７，０８６号、および第６，１０２，５５４号に、標準のカメラのレンズに類似するように動作する、虹彩型の絞り構造が示されている。しかし、虹彩絞りによると、光ファイバ中への光の入口角、および光ファイバから出てくる光の出口角が変化する。セクタ方式の絞り（光調整器）では、少なくとも１つの絞りセクタが、最大開口においてさえ光学経路中に留まることになり、それゆえ、そうでなければ特定の光源およびシステムの光伝達能力によって可能なはずの最大照明が低下することになる、という欠点がある。米国特許第４，４２５，５９９号には、光源と光ファイバの間で幅を変化させる単一で鎌型の開口を有する回転可能な絞りディスクの使用が提案されている。絞りディスク中の鎌型開口部の形状、および回転可能な絞り（光調整器）の角度位置を適切に選択することによって、所望の照明が光ファイバに供給される。米国特許第６，８５０，３６７号にも、単一で弓形の開口部、または絞りプレートのまわりで様々な大きさの、一連の別々のセクタ式開口部を有する絞りプレートが示されている。米国特許第４，８３４，０７１号には、照明制御器中で絞り（光調整器）として使用する、らせん形の周辺を有する回転シャッタプレートが示されている。この特許では、回転シャッタプレートは、ライトガイド（光導体）に送られる光ビームの照射時間または照度に対応した開口部角度を有する。米国特許第７，００８，０７０号には、フィルタが、光を伝達するおよび伝達不能な長方形の領域を交互に有する、照明装置およびプロジェクタが示されている。ホルダを回転することによって、フィルタ膜が光ビームを光学的に切り替える。米国特許第５，７４８，８１６号に、光軸に平行に光を受光するための光キャビティ（光共振器）が示されている。チューブの内部は、チューブの光軸に垂直に金属薄板プレートを有し、それは、入射光の方向でチューブの光軸に沿ってより小さくなる開口部を有する開口絞りとして形成される。米国特許第５，０１６，９７５号に、様々な別個の絞り形状を有する、光放射ユニットが示されている。

米国特許第６，５１５，４３０号米国特許第２，７３５，９２９号米国特許第３，２２２，５１０号米国特許第２，３３６，１１９号米国特許第３，３７１，２０２号米国特許第４，０１８，５２７号米国特許第４，２５７，０８６号米国特許第６，１０２，５５４号米国特許第４，４２５，５９９号米国特許第６，８５０，３６７号米国特許第４，８３４，０７１号米国特許第７，００８，０７０号米国特許第５，７４８，８１６号米国特許第５，０１６，９７５号

これらの開口構成に関する問題は、光強度が均一でないことであると判断された。本発明は、光調整器の平坦面上に配置された、連続したテーパー形状とされた幅をもつ、複数の開口を有する光調整手段によって、光強度の均一性を向上させた露光装置を提供する。これらの複数の、テーパー形状の開口は、光源の光強度範囲の上部、中間部および下部を占めるものであり、一方、従来技術の単一開口絞り（光調整器）は、光源の光強度範囲の一部分、通常中間部分だけを占める。

本発明は、ａ）光源と、ｂ）前記光源から隔置され、前記光源からの光を伝達するための光伝達器と、ｃ）前記光源と前記光伝達器の間に配置され、前記光源と前記光伝達器の間に配置された平坦面を有する光調整器を含む光強度制御部を備える露光装置であって、光調整器は、光調整器の平坦面上に互いに隣接して配置された複数の、不透明且つ平坦で連続したテーパー形状とされた幅を有する平坦部材を有し、当該平坦部材は、平坦で実質的に光透過性の連続したテーパー形状とされた、前記光調整器の平坦面上に配置されたセグメントによって、その隣接する平坦部材から隔置されおり、前記光調整器は、前記不透明な平坦部材の一部分および前記実質的に光透過性のセグメントの一部分が、前記光源と前記光伝達器の間に調整可能に配置されるように、移動するように取り付けられた光強度制御部を備える露光装置に関する。

また、前記光強度制御部は、前記光源から前記光伝達器への光の誘導を交互に実施し禁止する光シャッタをさらに含む。ここで、前記光シャッタは、前記光源と前記光調整器の間、または前記光調整器と前記光伝達器の間に配置される。

本発明の提供する光強度制御部は、光調整器が、光調整器の平坦面上に互いに隣接して配置された複数の、不透明且つ平坦で連続したテーパー形状とされた幅を有する平坦部材を有し、当該平坦部材は、平坦で実質的に光透過性の連続したテーパー形状とされた、前記光調整器の平坦面上に配置されたセグメントによって、その隣接する平坦部材から隔置されおり、前記光調整器が、前記不透明な平坦部材の一部分および前記実質的に光透過性のセグメントの一部分が、前記光源と前記光伝達器の間に調整可能に配置されるように、移動するように取り付けられたことを特徴とする。

本発明の提供する感光性組成物を露光するための方法は、ｉ）感光性組成物を設けるステップと、ｉｉ）露光装置を設けるステップであって、その露光装置は、ａ）光源と、ｂ）前記光源から隔置され、前記光源からの光を伝達するための光伝達器と、ｃ）前記光源と前記光伝達器の間に配置され、前記光源と前記光伝達器の間に配置された平坦面を有する光調整器を含む光強度制御部を備え、前記光調整器は、光調整器の平坦面上に互いに隣接して配置された複数の、不透明且つ平坦で連続したテーパー形状とされた幅を有する平坦部材を有し、当該平坦部材は、平坦で実質的に光透過性の連続したテーパー形状とされた、前記光調整器の平坦面上に配置されたセグメントによって、その隣接する平坦部材から隔置されおり、前記光調整器は、前記不透明な平坦部材の一部分および前記実質的に光透過性のセグメントの一部分が、前記光源と前記光伝達器の間に調整可能に配置されるように、移動するように取り付けられた光強度制御部を備える露光装置を設けるステップと、ｉｉｉ）前記光強度制御部を介し前記光伝達器を通して十分な期間、十分な光強度で、前記光源から前記感光性組成物上に化学線作用を有する光を向けて、前記感光性組成物の状態変化を引き起こすステップと、を含むものである。

本発明によれば、時間が経過した際の電極消耗に伴う放射した光エネルギーの低下が生じても、光調整器によりコントロールすることにより、光強度の均一性を維持した露光が可能となる。

図１に、米国特許第６，５１５，４３０号から、光開始接着剤を光エネルギーで露光するために使用される従来技術の照明システム１００を示す。この照明システム１００は、電力源１０２と、１対の電力入力端子１０４および１０６と、電源１０８と、１対の電力出力端子１１０および１１２と、ランプなどの光源１１４と、反射器１１５と、光調整器１１６と、シャッタ１１８と、光伝達器１２０と、ハンドル１２４とを含む。

電力源１０２は、電力入力端子１０４および１０６に結合される。電力源１０２は、端子１０４と１０６の間に交流電力信号Ｖ_ｉｎを供給する。電力信号Ｖ_ｉｎは、典型的な公営の交流電力源とすることができ、電力源１０２は、典型的な公営の電力会社によって運営されているものでよい。電源１０８は、電力信号Ｖ_ｉｎを受け取り、直流出力電力信号Ｖ_ｏｕｔを端子１１０および１１２に供給し、その端子には、光源１１４が結合される。光源１１４は、電力信号Ｖ_ｏｕｔに応答して光を放射する。

光伝達器１２０は、光ファイバ、光ファイバの束、または他の光伝達要素など、ライトガイド（光導体）とすることができる。通常、光伝達器１２０は、保護カバー１２１を有することになり、それは、プラスチック、ゴム、金属、または他の材料から作ることができる。通常、光伝達器１２０は、直径４〜５ｍｍになるが、この寸法は、実質的に照明システム１００の具体的な適用に依存して、変化することがある。ファイバは１束当りわずか５０本のものでも、或いは１束当り６２，０００本もある、市販の光ファイバが適切である。

光調整器１１６およびシャッタ１１８を含む光強度制御部は、光源１１４と光伝達器１２０の間に配置される。反射器１１５は、光源１１４に隣接して配置され、絞り１１６を介して光伝達器１２０中に放射光を反射する。絞り１１６は、丸いスポット光が光伝達器１２０上に収まることができるような大きさに形作られた開口を有する。光伝達器１２０への入射光は、ハンドル（取っ手）１２４内、その内部を通して、光伝達器１２０の照明端１２２へ伝達される。反射器１１５からの光伝達器１２０へ入射光は、照明端１２２から放射される。

ハンドル１２４は、照明制御ボタン１２５を有し、制御回路によってシャッタ１１８に結合される。制御回路は、照明制御ボタン１２５が、図１に実線の外形で示すように押されたとき、シャッタ１１８を開き、照明制御ボタン１２５が、図１に破線の外形で示すように、その通常の伸張した位置にあるとき、シャッタ１１８を閉じるように動作する。シャッタ１１８が閉じているとき、光源１１４からの光は、光伝達器１２０中に入射できないように遮断され、光伝達器１２０の照明端１２２は、光を少しも放射しない。シャッタ１１８が開いているとき、光伝達器１２０の照明端１２２は、光源１１４からの光を放射する。照明制御ボタン１２５によって、照明システム１００の操作者がシャッタ１１８を開閉して、光伝達器１２０の照明端１２２から放射される光量を制御することが可能になる。照明制御ボタン１２５は、照明システム１００上の他の位置に設置してもよい。たとえば、光源１１４および電源１０８を収納する、照明システムの一部分のハウジング上に位置付けてもよい。照明制御ボタン１２５は、一例として、ハンドル１２４の一部として示してある。

操作者は、液状の光開始接着剤(図示せず)を、選択した位置(図示せず)に配置し、ハンドル１２４を使用して光伝達器１２０の照明端１２２を光開始接着剤に向け、照明制御ボタン１２５を押して光源１１４からの光で光開始接着剤の露光を開始し、所定時間の間待ち、光開始接着剤の硬化を開始し、固体へ固化するように選択されており、次いで照明制御ボタン１２５を離して光開始接着剤の露光を停止し、それによって硬化過程が完了するようにして、照明システム１００を使用する。

図１に、さらに、電位に応答して光エネルギーを放射するキセノン、アルゴン、水銀、ネオン、または他のガスなどのガスを含む密封領域１４７を有する光源１１４を示す。本発明による光源は、ミラーが付属した白熱ランプを含め、ＧＥ社(ＧｅｎｅｒａｌＥｌｅｃｔｒｉｃＣｏｍｐａｎｙ)製の冷光ミラーランプ（タイプＤＤＬ１５０Ｗ／２０Ｖ）など、市場で入手できる光源とすることができる。ハロゲンランプ、すなわちガラス球内でタングステンから作られた白熱ワイヤのまわりを減圧雰囲気のわずかな量のハロゲンガスを含む白熱ランプも適切である。放射光は、電磁スペクトルで紫外線領域または可視領域のものとしてよい。

図１に示す装置において、電力出力端子１１０および１１２に結合された１対の電極１２６および１２７が、密封領域中に延在し、その間に隙間１２８を有する。電力信号Ｖ_ｏｕｔが電極１２６および１２７に印加されたとき、密封領域１４７中のガスは、プラズマを形成し、光を放射し始める。この放射光の大部分は、ライン１２９と１３０の間で反射器１１５上に向けられる。光源１１４は、光源１１４が放射した光の大部分がライン１２９と１３０の間に確実に留まるようにするために、鏡面１３１を有することができる。次いで、この光は、反射器１１５によって、ライン１２９’および１３０’で示すように、スポット光１３３として絞り１１６上に向けられる。スポット光１３３は、絞り１１６中の開口部１３４とほぼ同じサイズ(すなわち、開口部１３４よりわずかに小さいまたは大きいだけ)であり、反射光の大部分が開口部１３４を通過して光伝達器１２０に進むことが好ましい。

時間が経過すると、電極１２６および１２７は、それらに印加された電力信号Ｖ_ｏｕｔに応答して消耗することになる。それらが消耗するにつれて、それらの間の隙間１２８が大きくなる。その結果、ライン１２９と１３０の間で光源１１４が当初放射した光エネルギーと同じ相対量の境界が、破線１３２と１３３の間で放射されることになる。反射器１１５は、このとき、破線１３５および１３６で示すように、絞り１１６上のより大きなスポットとして放射光を反射することになる。その結果、光源１１４による放射光のより少ない部分、および光エネルギーのより少ない絶対量が、光伝達器１２０に向けられる。光源１１４と光伝達器１２０の間の光結合の低下によって、光伝達器１２０の照明端１２２において得られる、光開始接着剤を露光するための光がより少なくなり、光開始接着剤の硬化を開始して固化させるために必要な露光時間が増加することになる。

電極１２６と１２７の間の隙間１２８が増加すると、光源１１４の負荷特性も変化する。電極間のインピーダンスが増加して、電源１０８から光源１１４が引き出す電流が低下する。電源１０８は、電力信号Ｖ_ｏｕｔの電圧成分を増加させることによって、光源１１４への一定のパワーレベルを維持するように構成されている。光源１１４への一定パワー入力によって、光源１１４は、比較的一定量の光を放射することになるが、さらに低下した光結合のため、より少ない光が光伝達器１２０中に向けられることになる。本発明によれば、光調整器１１６が光源１１４と光伝達器１２０の間に配置される。

図２Ａに、本発明による光調整器１１６の一実施形態を示す。光調整器１１６は、テーパー形状（その幅が連続的に先細り状となっている）の幅で、光調整器の平坦面上に互いに隣接して配置された、複数の不透明な平坦部材２を備える。各平坦部材２は、テーパー形状（その幅が連続的に先細り状となっている）であり、光調整器１１６の平坦面上に配置された、平坦で実質的に光透過性のセグメント４によって、その隣接する平坦部材から隔置されている。光透過性セグメントは、光調整器１１６の平坦面上に開口していてもよく、または透過性プラスチックなどの透過性材料であってもよい。光調整器１１６は、光源から放射され光伝達器に進む光の方向に垂直な平面上に、配置されることが好ましい。光調整器１１６は、移動可能で、たとえば回転するように、不透明な平坦部材の一部分および実質的に光透過性のセグメントの一部分が、光源と光伝達器の間で調整可能に配置されるように、取り付けられている。図２Ａの実施形態では、光調整器１１６は、実質的に円形ディスクであり、平坦部材２は、弓形で実質的に光調整器１１６と同心であり、実質的に光透過性のセグメント４は、やはり弓形で光調整器１１６と同心である。露光装置は、光源１１４と光伝達器１２０の間で光調整器１１６を調整可能に配置するための手段をさらに含むことが好ましい。図２Ａの実施形態では、光調整器１１６は、不透明な平坦部材２の一部分および実質的に光透過性のセグメント４の一部分が光源と光伝達器の間で調整可能に配置されるように、軸６のまわりで回転するように取り付けられている。本実施形態では、円形の光調整器１１６は、具体的に図示していないが、シャフトを介して回転可能な軸６上に取り付けられる。この動作は、アパーチャー（開口）を規定する開口４の所望の部分が、動作位置に来るまで光調整器１１６の移動を制御するように働く。光調整器１１６を移動して開口４の開口有効幅を変えることによって、光源１１４から光伝達器１２０の入口面上に突き当たる光ビームの断面領域を変えることができる。光調整器１１６は、手動で回転することができ、または示していないが、軸６のまわりで光調整器を回転するためのモータを備えてもよい。光調整器１１６は、複数の、好ましくは３〜１５、より好ましくは３〜９、さらにより好ましくは３〜５の実質的に光透過性のセグメント４を含むことができる。光調整器１１６は、不透明平坦部材２を含まない大きな開口１８を備えることができる。

図２Ｂに示す他の実施形態では、光調整器１１６は、１つまたは複数の、実質的に光透過性のセグメントの幅を横切って延在し、隣接する平坦部材２を接続して強化する、１つまたは複数のサポート８を有する。そのようなサポートがないと、光調整器は、歪んで形が平面状でなくなる傾向がある恐れがあるためである。本実施形態では、サポートは、他の光透過性セグメントそれぞれのためのサポートの位置と比べて位置が交互にずらされている。このサポートの数およびサイズは、最小限にすべきである。

本実施形態では、図２Ｂの光調整器１１６について、出力光強度を回転距離の関数として測定した。つまり、光調整器１１６が回転することに従って光強度が段階的に変化するものを、その回転距離に応じて光強度値を測定し、その線形相関係数を測定した。その結果、線形相関係数は、直径８ｍｍのライトガイド（光導体）に関して、０．９９６であった。それは、直径５ｍｍのライトガイド（光導体）に関しても同様であった。２極の、直径３ｍｍのライトガイド（光導体）についても水平モードおよび垂直モードで試験した。その結果、線形相関係数は、異なる構成について同様であった。水平モードと垂直モードの間の光強度差は、光調整器を全回転したときに、３％より小さく、様々な位置で照明が良好で一様なことを示した。この２極のライトガイド（光導体）は、同一断面積を有する２本のライトガイドが隣接して配置されたもので、その断面では２つの円（２本のライトガイド断面）が接した状態で配置されている。そして、その水平モードとは、その２つの円が左右に配置された状態をいい、垂直モードとは、水平モードの状態から９０°回転させた状態で、２つの円が上下に配置された状態をいう。また、光調整器の全回転とは、完全に透明な状態、すなわち、図２Ｂの符号１８の大きな開口のとき（最大光出力となる、解放状態）から、完全に不透明な状態、つまり、図２Ｂの符号１１６の矢印で示した部分になったとき（出力光なし、閉止状態）までのことをいう。

図３Ａに、光調整器１１６が長方形の構成を有する、本発明の他の実施形態を示す。この実施形態では、平坦部材２および実質的に光透過性のセグメント４は、くさび状であり、すなわちテーパー形状（その幅が連続的に先細り状となっている）、光調整器の平坦面上に配置される。光調整器１１６は、不透明平坦部材２を含まない大きな開口１８を備える。この長方形の構成を有する光調整器１１６は、光源と光伝達器の間を直線で移動するように適切に取り付けられる。図３Ｂに、サポート８を有する、同様の長方形の光調整器１１６を示す。本発明に適切な光調整器は、アルミニウムまたは他の金属薄板、ボール紙、木材、着色プラスチック等、様々な多様な材料の不透明なシート材料から作ることができる。開口部を製作する方法は、材料に依存することがあるが、穴あけ、切断などが典型的である。

図４Ａに、単一の開口４を有し、大きな開口１８を有する、従来技術の光調整器１１６を示す。この光調整器１１６は、軸６のまわりで回転することができる。これは、本発明で有利であると見出されたような複数の開口を含まない。図４Ｂに、多数の開口４を有し、大おおきな開口１８を有する、従来技術の光調整器１１６を示す。光調整器１１６は、軸６のまわりで回転することができる。これは、多数の不連続な開口４からなり、それらは、本発明と比較すると、不利である。この図４Ｂに示す従来の光調整器１１６は、多数の開口が不連続に形成されており、本発明における、実質的な光透過性のセグメント４ような連続したものとは全く異なるものである。図４Ｂの光調整器について回転に対する線形相関係数を調べた結果、図２Ｂの光調整器の方が、図４Ｂの光調整器より３倍正確であることが判明した。また、図２Ｂの光調整器において同一の構成で使用された、同じ２極の直径３ｍｍのガイドライト（光導体）を使用した場合、水平モードと垂直モードの間の光強度差は、図４Ｂの光調整器１１６が全回転したとき、１６％であり、光が平面でより一様でないことを示された。

使用の際は、上記に述べた露光装置および感光性組成物を準備する。化学線作用を有する光が、光強度制御部を介し光伝達器を通して十分な期間、十分な光強度で、光源から感光性組成物上に向けられて、感光性組成物の状態変化を引き起こす。本実施形態では、感光性組成物は、基板上に配置される。感光性組成物は、本技術ではよく知られているように、適切に、光硬化可能な接着剤組成物、コーティング組成物、カプセル化組成物、マスキング組成物、または密封剤組成物である。これらは、アクリラート、メタクリラート、シアノアクリル酸塩、エポキシ、またはそれらの組み合わせを含む、重合可能なまたは架橋可能な材料を含む、感光性組成物を非排他的に含む。これらは、紫外線または可視光線に反応することができる。

好ましい実施形態を参照して本発明を具体的に示し説明してきたが、本発明の精神および範囲から逸脱することなく、様々な変更および修正を実施することができることを、当業者は容易に理解するはずである。特許請求の範囲が、開示された実施形態、上記で論議したその代替実施形態およびそれらの同等物すべてをカバーすると解釈するものと企図する。

光エネルギーによって光開始接着剤を露光するための、典型的な従来技術の照明システムを示す図である。光調整器が円形構成を有する、本発明の実施形態を示す図である。光調整器が円形構成を有する、本発明の実施形態を示す図である。光調整器が長方形構成を有する、本発明の他の実施形態を示す図である。光調整器が長方形構成を有する、本発明の他の実施形態を示す図である。従来技術の光調整器を示す図である。従来技術の光調整器を示す図である。

符号の説明

２平坦部材
４平面の実質的に光透過性のセグメント又は開口のいずれか
６軸
８サポート
１８大きな開口
１００照明システム
１０２電力源
１０４、１０６電力入力端子
１０８電源
１１０、１１２電力出力端子
１１４光源
１１５反射器
１１６光調整器
１１８シャッタ
１２０光伝達器
１２１保護カバー
１２２照明端
１２４ハンドル
１２５照明制御ボタン
１２６、１２７電極
１２８隙間
１２９、１３０ライン
１２９’、１３０’ ライン
１３１鏡面
１３２、１３３破線
１３３スポット光
１３４開口部、スポット
１３５、１３６破線
１４７密封領域
Ｖ_ｉｎ交流電力信号
Ｖ_ｏｕｔ直流出力電力信号

Claims

ａ）光源と、
ｂ）前記光源から隔置され、前記光源からの光を伝達するための光伝達器と、
ｃ）前記光源と前記光伝達器の間に配置され、前記光源と前記光伝達器の間に配置された平坦面を有する光調整器を含む光強度制御部を備える露光装置であって、
光調整器は、光調整器の平坦面上に互いに隣接して配置された複数の、不透明且つ平坦で連続したテーパー形状とされた幅を有する平坦部材を有し、
当該平坦部材は、平坦で実質的に光透過性の連続したテーパー形状とされた、前記光調整器の平坦面上に配置された２つ以上の実質的に透過性のセグメントによって、その隣接する平坦部材から隔置されており、
前記光調整器は、前記不透明な平坦部材の一部分および前記実質的に光透過性のセグメントの一部分が、前記光源と前記光伝達器の間に調整可能に配置されるように、移動するように取り付けられた光強度制御部を備え、
前記光調整器は、実質的に円形であり、
前記平坦部材は、弓形で、実質的に光調整器と同心であり、
前記実質的に光透過性のセグメントは、弓形で、光調整器と同心であり、
前記光調整器は、前記不透明な平坦部材の一部分および前記実質的に光透過性のセグメントの一部分が、前記光源と前記光伝達器の間に調整可能に配置されるように、軸のまわりで回転するように取り付けられることを特徴とする露光装置。
前記光源と前記光伝達器の間に前記光調整器を調整可能に配置するための手段をさらに含む、請求項１に記載の露光装置。
軸のまわりで前記光調整器を回転するためのモータをさらに含む、請求項１または請求項２に記載の露光装置。
１つまたは複数の実質的に光透過性のセグメントの幅を横切って延在し、隣接する平坦部材を結合する、１つまたは複数のサポート部材をさらに含む、請求項１に記載の露光装置。
前記サポート部材は、他の実質的に光透過性のセグメントそれぞれのための前記１つまたは複数のサポート部材の位置に対して、位置が交互にずらされている、請求項１に記載の露光装置。
前記光調整器は、前記光源から放射された光が前記光伝達器に進む方向と垂直な平面上に配置される請求項１に記載の露光装置。
前記光強度制御部は、前記光源から前記光伝達器への光の誘導を交互に実施し禁止する光シャッタをさらに含む、請求項１に記載の露光装置。
前記光シャッタは、前記光源と前記光調整器の間に配置される、請求項７に記載の露光装置。
前記光シャッタは、前記光調整器と前記光伝達器の間に配置される、請求項７に記載の露光装置。
前記実質的に光透過性のセグメントは、前記光調整器の平坦面上の開口からなる請求項１に記載の露光装置。
ａ）光源と、
ｂ）前記光源から隔置され、前記光源からの光を伝達するための光伝達器と、
ｃ）前記光源と前記光伝達器の間に配置され、前記光源と前記光伝達器の間に配置された平坦面を有する光調整器を有する露光装置に用いられる光強度制御部であって、
光調整器が、光調整器の平坦面上に互いに隣接して配置された複数の、不透明且つ平坦で連続したテーパー形状とされた幅を有する平坦部材を有し、
当該平坦部材は、平坦で実質的に光透過性の連続したテーパー形状とされた、前記光調整器の平坦面上に配置された２つ以上の実質的に透過性のセグメントによって、その隣接する平坦部材から隔置されており、
前記不透明な平坦部材の一部分および前記実質的に光透過性のセグメントの一部分が、前記光源と前記光伝達器の間に調整可能に配置されるように、前記光調整器に移動するように取り付けられ、
前記光調整器は、実質的に円形であり、
前記平坦部材は、弓形で、実質的に光調整器と同心であり、
前記実質的に光透過性のセグメントは、弓形で、光調整器と同心であり、
前記光調整器は、前記不透明部材の一部分および前記実質的に光透過性のセグメントの一部分が、調整可能に配置されるように、軸のまわりで回転するように取り付けられることを特徴とする光強度制御部。
前記実質的に光透過性のセグメントは、前記光調整器の前記平坦面上の開口からなる請求項１１に記載の光強度制御部。
感光性組成物を露光するための方法であって、
ｉ）感光性組成物を設けるステップと、
ｉｉ）露光装置を設けるステップであって、
その露光装置は、
ａ）光源、
ｂ）前記光源から隔置され、前記光源からの光を伝達するための光伝達器、
ｃ）前記光源と前記光伝達器の間に配置され、前記光源と前記光伝達器の間に配置された平坦面を有する光調整器を含む光強度制御部を備え、
前記光調整器は、光調整器の平坦面上に互いに隣接して配置された複数の、不透明且つ平坦で連続したテーパー形状とされた幅を有する平坦部材を有し、
当該平坦部材は、平坦で実質的に光透過性の連続したテーパー形状とされた、前記光調整器の平坦面上に配置された２つ以上の実質的に透過性のセグメントによって、その隣接する平坦部材から隔置されており、
前記光調整器は、前記不透明な平坦部材の一部分および前記実質的に光透過性のセグメントの一部分が、前記光源と前記光伝達器の間に調整可能に配置されるように、移動するように取り付けられた光強度制御部を備える露光装置を設けるステップと、
ｉｉｉ）前記光強度制御部を介し前記光伝達器を通して十分な期間、十分な光強度で、前記光源から前記感光性組成物上に化学線作用を有する光を向けて、前記感光性組成物の状態変化を引き起こすステップと、を含み、
前記光調整器は、実質的に円形であり、
前記平坦部材は、弓形で、実質的に光調整器と同心であり、
前記実質的に光透過性のセグメントは、弓形で、光調整器と同心であり、
前記光調整器は、前記不透明な平坦部材の一部分および前記実質的に光透過性のセグメントの一部分が、前記光調整器と前記光伝達器の間に調整可能に配置されるように、軸のまわりで回転するように取り付けられる、感光性組成物を露光するための方法。
前記光強度制御部は、前記光源から前記光伝達器への光の誘導を交互に実施し禁止するための光シャッタをさらに含む、請求項１３に記載の方法。
前記光シャッタは、前記光源と前記光調整器の間に配置される、請求項１４に記載の方法。
前記光シャッタは、前記光調整器と前記光伝達器の間に配置される、請求項１４に記載の方法。
前記実質的に光透過性のセグメントは、前記光調整器の前記平坦面上の開口からなる請求項１３に記載の方法。
前記感光性組成物は、基板上に配置される、請求項１３に記載の方法。
前記感光性組成物は、光硬化可能な接着剤組成物、コーティング組成物、カプセル化組成物、マスキング組成物、または密封剤組成物である、請求項１３に記載の方法。
前記化学線作用を有する光は、紫外線を含む、請求項１３に記載の方法。
前記化学線作用を有する光は、可視光線を含む、請求項１３に記載の方法。
前記感光性組成物は、アクリラート、メタクリラート、シアノアクリル酸塩、エポキシ、またはそれらの組み合わせを含む、重合可能なまたは架橋可能な材料を含む、請求項１３に記載の方法。