JP5088605B2 - 光量モニタとそれを用いた光源装置 - Google Patents
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 50
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 28
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 7
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 11
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 3
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
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Description
しかしながらこれらの放電灯は1000〜2000時間点灯させると検査対象物への照射光量が次第に減衰していくために、使用するにあたっては、画像の明るさが変わらないようにその都度光量調整することが必要となる。
また同導光ロッドと同光ファイバーは対向面に間隔を有して配置され、同導光ロッドと同光ファイバーの間に、同導光ロッドから出射する光の一部が同光ファイバーへ入射する光と分離される構成がなされ、分離された空間を導光された光を光センサが受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出するように構成してある。
同光量モニタによると、同導光ロッド内に戻る光量はなくなり、同光ファイバーに入射する光量の増大を図ることができる。また分離された空間を導光された光を同光センサが受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出することができるので、結果的に同光ファイバーへ入射する光量を一定に維持することができる光量モニタを得ることができる。
請求項2に記載の発明によると、同導光ロッドで導かれた光を同光ファイバーに効率よく導くことができる。
請求項3に記載の発明によると、同導光ロッド内に戻る光量はなくなり、同光ファイバーに入射する光量の増大を図ることができ、また前記光センサが受けた光量を照射光量として検出することができ、結果的に同光ファイバーへ入射する光量を一定にコントロールすることができる。
請求項4に記載の発明によると、同光路分離体により、前記センサ方向に入る光の減衰を最小にして導くことが可能となる。
また同光量モニタとして光源から被照射物に至る光路中に、光入射端面となる片端側から入射した光を光出射端面となる他端側から出射する前記多角柱状の導光ロッドと、同導光ロッドから出射する光を被照射物へ導く導光ロッドの内接円と同じ太さの光ファイバーとが対向面に間隔を有して配置されている。そして、同導光ロッドと同光ファイバーの間に、同導光ロッドから出射する光の一部が同光ファイバーへ入射する光と分離される構成がなされ、分離された空間を導光された、光を前記光センサが受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出するように構成してある。
請求項5に記載の発明によると、前記導光ロッド内に戻る光量はなくなり、同光ファイバーに入射する光量の増大を図ることができ、また分離された空間を導光された光を同光センサが受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出することができるので、結果的に同光ファイバーへ入射する光量を一定に維持することができる光源装置を得ることができる。
また上記した光源装置によると、同導光ロッドから出力され、同光ファイバーに入射される光量を正確に測定し、その検出光量に応じて光量コントローラにより照射光量を制御することができるので、照射面への光量は一定となる特別な効果がある。
上記した光路分離体は、本例では前記ファイバー保持具33と一体的に構成してあるが、別々に構成し、前記導光ロッド遮光体21と同ファイバー保持具33との間に狭持してもよい。
(1)光源装置を作動すると、光源2から照射された光は楕円形の反射鏡3の第二焦点に集光され、赤外線カットフィルタ4にて、赤外線がカットされた光が調光フィルタ5を通って、六角柱状の導光ロッド20に入射され、同導光ロッド20の光出射端面に向って直進し、あるいは側面で反射しながら光出射端面23に導かれる。
(2)前記導光ロッド20の光出射端面に導かれた光は、光量分布が均一化されて光出射端面23から出射され、導光ロッドの内接円と同じ太さの光ファイバー30により検査対象物(被照射物)まで案内され、照明光として照射される。
一方、外面に傾斜面を設けた筒状の光路分離体32によってセンサ40に向かって導光される光は、同光ファイバー30に入射する光を同センサ40が正確に検知される。つまり、同センサ40で検知する光量と同光ファイバー30に入射する光は相関関係にある。
(3)かかる後、前記センサ40の検出光量に応じて、前記調光フィルタ5を回転制御し、照射光量をコントロールする。本発明によると、絶えず光量を照射光量として検出することができ、照射光量をコントロールすることにより、被照射面への光量は一定とすることができる。
ここでは、検出光量は経時的に低下する傾向にあるので、例えば検出光量が1%低下したときに、調光フィルタ5をそのスリット6が大きくなる方向に回転させて、被照射面への光量は一定とする。
2 光源
3 反射ミラー
4 赤外線カットフィルタ
5 調光フィルタ
6 スリット
7 ステップモータ
10 点灯回路
11 光量コントローラ
20 導光ロッド
21 導光ロッド遮光体
23 光出射端面
30 光ファイバー
31 入射端面
32 光路分離体
33 ファイバー保持具
40 光センサ
41 拡散板
Claims (4)
- 光源から被照射物へ照射される照明光の照射光量を検出する光量モニタであって、
光源から被照射物に至る光路中に、光入射端面となる片端側から入射した光を光出射端面となる他端側から出射する多角柱状の導光ロッドと、同導光ロッドから出射する光を被照射物へ導く同導光ロッドの内接円と同じ太さの光ファイバーとを有し、
同導光ロッドと光ファイバーは対向面に間隔を有して配置され、同導光ロッドと光ファイバーの間に、同導光ロッドから出射する光の一部が光ファイバーへ入射する光と分離される構成がなされ、分離された空間を同導光ロッドの内接円より外側の光ファイバーに入射しない導光された光を光センサが受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出するように構成したことを特徴とする光量モニタ。 - 前記、導光ロッドの内接円と同じ太さの光ファイバーの入射端部に外面に傾斜面を設けた筒状の光路分離体を有することを特徴とする請求項1 記載の光量モニタ。
- 光路分離体の導光路面を導光ロッドの内接円より外方に向かい傾斜して構成したことを特徴とする請求項2記載の光量モニタ。
- 光源から被照射物へ照射される照明光の照射光量を検出する光量モニタと、その検出光量
に応じて照射光量を制御する光量コントローラを備えた光源装置において、
前記、光量モニタとして光源から被照射物に至る光路中に、光入射端面となる片端側から入射した光を光出射端面となる他端側から出射する多角柱状の導光ロッドと、同導光ロッドから出射する光を被照射物へ導く導光ロッドの内接円と同じ太さの光ファイバーとが対向面に間隔を有して配置され、同導光ロッドと光ファイバーの間に、同導光ロッドから出射する光の一部が光ファイバーへ入射する光と分離される構成がなされ、分離された空間を同導光ロッドの内接円より外側の光ファイバーに入射しない導光された光を光センサが受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出するように構成したことを特徴とする光源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007064630A JP5088605B2 (ja) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | 光量モニタとそれを用いた光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007064630A JP5088605B2 (ja) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | 光量モニタとそれを用いた光源装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008224478A JP2008224478A (ja) | 2008-09-25 |
JP5088605B2 true JP5088605B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=39843280
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007064630A Expired - Fee Related JP5088605B2 (ja) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | 光量モニタとそれを用いた光源装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5088605B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101959497B1 (ko) * | 2018-07-04 | 2019-03-18 | 강용훈 | 자외선 센서모듈 및 이를 적용한 자외선 조사장치 조립체 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2690358A4 (en) | 2011-03-24 | 2014-09-17 | Olympus Corp | LIGHTING SYSTEM |
JP2012204106A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Olympus Corp | 照明システム |
JP2012204107A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Olympus Corp | 照明システム |
JP2013152207A (ja) | 2011-12-31 | 2013-08-08 | Shibaura Mechatronics Corp | 検査装置及び検査方法 |
JP5905143B2 (ja) * | 2015-05-01 | 2016-04-20 | オリンパス株式会社 | 照明システム |
JP5905142B2 (ja) * | 2015-05-01 | 2016-04-20 | オリンパス株式会社 | 照明システム |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01133759U (ja) * | 1988-03-04 | 1989-09-12 | ||
JP2001307523A (ja) * | 2000-04-19 | 2001-11-02 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 照明装置 |
JP2003232747A (ja) * | 2002-02-13 | 2003-08-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 平版印刷版の検査用光源装置及びこれを利用した検査システム |
JP2005195348A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Nikon Corp | 照明光学装置 |
-
2007
- 2007-03-14 JP JP2007064630A patent/JP5088605B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101959497B1 (ko) * | 2018-07-04 | 2019-03-18 | 강용훈 | 자외선 센서모듈 및 이를 적용한 자외선 조사장치 조립체 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008224478A (ja) | 2008-09-25 |
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A621 | Written request for application examination |
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