KR101249121B1 - 유리 시트의 표면 및 바디 결함을 식별하기 위한 검사시스템 및 방법 - Google Patents

유리 시트의 표면 및 바디 결함을 식별하기 위한 검사시스템 및 방법 Download PDF

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Abstract

유리 시트(예를 들면, 액정 디스플레이(LCD) 유리 기판)의 표면 및 바디 결함을 식별 및 검사하기 위해 조광 시스템(예를 들면, 광원(스트로브) 및 광 샤프닝 구성요소) 및 이미지 시스템(예를 들면, 디지털 카메라 및 컴퓨터/소프트웨어)을 사용하는 검사 시스템 및 방법을 개시한다.
스트로브 라이트, 조광 시스템, 반사체, 유리 시트, 검사 시스템, 결함, 암시야

Description

유리 시트의 표면 및 바디 결함을 식별하기 위한 검사 시스템 및 방법{INSPECTION SYSTEM AND METHOD FOR IDENTIFYING SURFACE AND BODY DEFECTS IN A GLASS SHEET}
본 발명은 일반적으로 유리 시트(예를 들면, 액정 디스플레이(LCD) 유리 기판)의 표면 또는 바디 내부의 결함(예를 들면, 스크래치, 입자, 공기 기포)을 식별하기 위한 검사 시스템 및 방법에 관한 것이다.
본 출원은 2004년 10월 28일 출원된 미국특허출원 제10/977,514호, "INSPECTION SYSTEM AND METHOD FOR IDENTIFYING SURFACE AND BODY DEFECTS IN A GLASS SHEET"로부터 우선권을 주장하고, 그 내용은 참고로서 본원에 포함된다.
현재 산업에서 사용되고 있는 종래의 검사 시스템은 유리 시트의 표면 위 또는 바디 내부의 결함(예를 들면, 스크래치, 입자(particles), 공기 기포)을 식별하기 위해 함께 작동하는 아날로그 카메라와 스트로브 라이트(strobe light)를 포함한다. 통상적으로, 스트로브 라이트는 유리 시트의 일부를 조광하는 광을 방출하고, 유리 시트의 다른 한쪽에 위치하는 아날로그 카메라가 조광된 유리 시트 일부의 사진을 촬영한다. 그러면 유리 시트의 그 일부에 어떤 결함이 있는지를 판정하기 위해 사진이 분석된다. 유리 시트 전체를 검사하기 위해서는, 아날로그 카메라가 충분히 사진 촬영하여 유리 시트 전체의 거시적인 이미지 맵을 만들 수 있도록, 유리 시트 및/또는 스트로브 라이트/아날로그 카메라는 일 방향으로 또는 타 방향으로 이동될 필요가 있다. 종래의 검사 시스템을 사용함에는 몇 가지 결함이 있다. 첫째로, 아날로그 카메라는 비교적으로 작은 시야 범위를 가지며(예를 들면, 12 ㎜ × 16 ㎜), 이것은 유리 시트의 거시적인 이미지 맵을 만들기 위해 복수의 사진이 촬영될 필요가 있음을 의미하고 이것은 다시 유리 시트 전체를 검사하는데 걸리는 시간이 길어짐을 의미한다. 둘째로, 스트로브 라이트의 조광이 제한되어, 아날로그 카메라가 유리 시트의 결함을 지시하는 사진을 촬영하는데 유리 시트에 필요한 광의 적절한 강도 및 균일성을 얻기 힘들게 한다. 따라서 종래의 검사 시스템의 상술한 단점 및 다른 단점들을 극복할 수 있는 새로운 검사 시스템이 필요하다. 이러한 필요성 및 여러 필요성들은 본 발명에 따른 검사 시스템 및 방법에 의해 충족된다.
본 발명은 유리 시트(예를 들면, 액정 디스플레이(LCD) 유리 기판)의 표면 및 바디 결함을 식별 및 검사하는 조광 시스템(예를 들면, 광원(스트로브 라이트) 및 광 샤프닝(sharpening) 요소) 및 이미지 시스템(예를 들면, 디지털 카메라 및 컴퓨터/소프트웨어)을 사용하는 검사 방법 및 시스템을 포함한다. 바람직한 실시예에서, 조광 시스템은 광을 방출하는 스트로브 라이트(strobe light), 그리고 방출된 광의 일부를 반사하는 구형(spherical) 반사체 및 주 반사체를 포함한다. 상기 조광 시스템은 또한 방출 및 반사된 광의 일부를 차단하는 암시야 패치(darkfield patch)와, 상기 암시야 패치에 의해 차단되지 않은 방출 및 반사된 광을 퍼뜨리기 위한 산광기(diffuser)를 포함한다. 상기 조광 시스템은 광의 일부가 유리 결함에서 흩어짐 없이 카메라 렌즈에 도달하는 것을 차단함으로써 카메라 대물렌즈에서의 섬광을 제거하는 콘 형상(conical)의 스넛(snoot)을 더 포함한다. 또한 상기 이미지 시스템, 특히 유리 시트의 어느 한쪽에 위치하는 디지털 카메라는 조광된 유리 시트 일부의 결함 유무를 판정하기 위해 컴퓨터에 의해 분석되는 이미지 얻는다.
첨부되는 도면과 함께 상세한 설명을 참조함으로써 본 발명이 더욱 완벽하게 이해될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 검사 시스템의 기본 구성요소를 도시하는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 검사 시스템의 일부인 조광 시스템의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 조광 시스템의 스트로브 라이트를 고정하는데 사용되는 마운팅 어셈블리의 사시도이다.
도 4는 도 2에 도시된 조광 시스템에 사용되는 구형 반사체의 사시도이다.
도 5는 도 2에 도시된 조광 시스템에 사용되는 주 반사체의 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 상기 유리 시트의 표면 및 바디 결함을 식별하기 위한 바람직한 방법의 기본 단계를 도시하는 흐름도이다.
도 1에는, 본 발명에 따른 검사 시스템(100)의 바람직한 실시예의 기본 구성요소가 도시되어 있다. 검사 시스템(100)은 유리 시트(105)의 표면 또는 바디 내부의 결함(예를 들면, 스크래치, 입자, 공기 기포)을 식별하기 위해 함께 작동하는 이미지 시스템(102)(예를 들면, 카메라(110)(예를 들면, 디지털 카메라(110)) 및 컴퓨터(115))와 조광 시스템(120)을 포함한다. 작동 중에, 컴퓨터(115)는 트리거(trigger) 신호(트리거 펄스)를 조광 시스템(120)과 디지털 카메라(110)에 보낸다. 이 신호는, 유리 시트(105)의 다른 한쪽에 위치하는 디지털 카메라(110)가 유리 시트(105)의 조광된 일부(104)의 이미지를 얻는 동안, 조광 시스템(120)이 유리 시트(105)의 상기 일부(104)를 조광하는 광(102)을 방출하게 한다. 그러면 컴퓨터(115)가 유리 시트(105)의 일부(104)에 어떤 결함이 있는지 판정하기 위해 디지털 카메라(110)에 의해 얻어진 이미지를 분석한다. 유리 시트(105) 전체를 검사하기 위해서, 디지털 카메라(110)가 유리 시트(105) 전체의 거시적인 이미지 맵을 만들기 위한 충분히 큰 이미지를 얻도록, 유리 시트(105) 및/또는 디지털 카메라(110)/조광 시스템(120)은 한 방향 또는 다른 방향으로 이동될 필요가 있다. 일 실시예에서, 유리 시트(105)는 공기 테이블(130) 위에 위치할 수 있고 디지털 카메라(110)와 조광 시스템(120)의 위치에 수직으로 연동할(indexed) 수 있다. 그러면 디지털 카메라(110)가 이미지를 얻는 동안, 디지털 카메라(110) 및 조광 시스템(120)은 모두 슬라이드 메카니즘(140)에 의해 유리 시트(105)의 어느 한쪽으로부터 다른 어느 한쪽으로 수평으로 이동한다. 이때 유리 시트(105)는 공기 테이블(130)에 의해 수직으로 연동하게 되고 이러한 공정은 유리 시트(105) 전체가 검사될 때까지 반복된다.
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 조광 시스템(120)의 바람직한 실시예는 조광기 인클로저(illuminator enclosure)(121), 마운팅 어셈블리(122)(도 3 참조), 스트로브 라이트(123), 구형 반사체(124)(도 4 참조), 주 반사체(125)(도 5 참조), 암시야 패치(126), 산광기(127) 및 조광기 스넛(illuminator snut)(128)을 포함한다. 자세하게 후술하는 바와 같이, 이러한 구성요소들(121, 122, 123, 124, 125, 126, 127, 128)은 스트로브 라이트(123)가 유리 시트(105) 위의 지점(104)으로 반사 및 유도되는 광(102)을 방출하도록 서로 연결되고 기능한다. 상기 지점(104)은 광역 스캔 디지털 카메라(large area scan digital camera)(110)의 범위(view)와 같거나 실질적으로 같은 크기이다. 디지털 카메라(110)는 바슬러 비젼 테크널러지(Basler Vision Technologies)에서 제조되었으며 초당 48 프레임을 포착할 수 있는 바슬러(Basler) A200 시리즈 카메라와 같은 많은 종류의 상업적으로 이용가능한 카메라 중 어느 것이든 될 수 있다. 디지털 카메라(110)는 초당 500 - 1000 프레임을 포착할 수 있는 씨모스(CMOS) 디지털 카메라(110)가 될 수도 있다.
조광기 인클로저(121)는 마운팅 어셈블리(122)를 수용한다. 마운팅 어셈블리(122)는 스트로브 라이트(123)를 지지하는 스트로브 라이트 안정기 마운트(130)에 연결되는 벌브 스터드(bulb stud)(129)를 포함한다(도 2 및 도 3 참조). 스트로브 라이트(123)는 구형 반사체(124)의 공동(131) 내부에 위치하는 영역과, 구형 반사체(124)의 공동(131)으로부터 외부로 연장되는 영역을 구비한다(도 1 및 도 4 참조). 구형 반사체(124)는 주 반사체(125) 내부의 공동(134)(예를 들면, 45°공동(134))의 내벽(133)에 연결되는 외부 림(132)을 구비한다(도 5 참조). 주 반사체(125)는 또한 조광기 스넛(128)의 큰 개구부(136)에 연결되는 외부 림(135)을 구비한다(도 1 참조). 암시야 패치(126)를 구비하는 산광기(127)는 주 반사체(125)과 콘 반사체(128)의 사이에 고정된다(도 1 참조). 조광기 스넛(128)은 작은 개구부(137)를 큰 개구부(136)의 맞은편 단부에서 구비한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 구형 반사체(124)로부터 반사된 광(102)이 스트로브 라이트(123) 벌브(bulb) 외피를 통해 지나가고 스트로브 라이트(123)에 의해 방출된 광(102)과 함께 주 반사체(125)의 방향으로 주 반사체(125)로부터 더 반사되도록, 스트로브 라이트(123) 광원의 중심이 구형 반사체(124)의 중심과 일치한다. 방출 및 반사된 광(102)은 퍼뜨려진 광(102)이 유리 시트(105) 위의 바람직한 영역/범위(104)를 균일하게 조광하도록 암시야 패치(126)에 의해 차단되거나 산광기(127)를 통해 조광기 스넛(128) 안으로 들어간다. 조광기 스넛(128)은 유리 결함에서 흩어짐 없이 카메라 렌즈에 직접 도달하는 광의 일부를 차단하고 오직 작은 개구부(136)를 통과한 퍼뜨려진 광(102)만이 유리에 도달할 수 있다.
산광기(127)는 조광기 스넛(128)의 단부에서 작은 개구부(137)의 영역 전체에 광(102)을 고르게 퍼뜨린다. 산광기(127)는 또한 구형 반사체(124) 및 주 반사체(125)의 내부 표면과 스트로브 라이트(123)의 외피에서 결점을 보완하는 것을 돕는다. 바람직한 실시예에서, 산광기(127)는 광 흡수가 가장 작은 재료로 제조되고, 퍼뜨림 각은 입사 광의 거의 최대 각이 되어야 한다. 적당한 개구수(numerical aperture)를 갖는 마이크로 렌즈 어레이가 사용될 수 있다.
암시야 패치(126)는 방출된 광(102) 일부가 유리 시트(105) 위에서 빛(shining)나는 것을 차단하여 디지털 카메라(110)에 의해 암시야 이미지가 포착될 수 있도록 한다. 특히, 암시야 패치(126)는 광(102)이 스트로브 라이트(123)로부터 직접 디지털 카메라(110)로 가는 것을 방지한다. 이 결과, 암시야 이미지에서 완벽한 유리 시트(105)는 어두운 영역으로 나타난다. 그리고, 표면 또는 유리 내부에 있는 입자, 스크래치, 유리 표면 불연속성, 유리 내부의 공기 기포 등과 같은 결함이 있는 완벽하지 않은 유리 시트(105)는 암시야 이미지에 밝은 지점으로 나타난다.
반사체(124, 125)의 형상은 스트로브 라이트(123)의 특성을 고려하여 설계된다. 특히, 특정 스트로브 라이트(123)의 출력을 최적화하기 위해서는 반사체(124, 125)의 형상을 설계하는데 사용되는 곡면으로부터 유도된 일련의 방정식이 수치 해석되어야 한다. 바람직한 실시예에서, 예를 들면, 스트로브 라이트(123)는 스트로브 라이트 펄스를 일관되게 트리거하는 두 개의 적색 발광 다이오드(LEDs)를 사용하는 것을 포함하도록 변형된 퍼킨 엘머(Perkin Elmer) X-400 스트로브 라이트이다. 조광기 스넛(128)은 또한 조광기 스넛(128)의 내부 표면에 의하여 흩어진 광(102)을 흡수함으로써 카메라 렌즈 정면 요소 방향에서 디지털 카메라(110)의 렌즈 위의 섬광을 감소시키는 기능을 하는 광 흡수 내부 표면을 구비할 수 있다(도 1 참조). 조광기 스넛은 콘 형상 이외의 형상이 될 수 있지만, 개구부(137)를 구비하여야 한다.
도 6은, 본 발명에 따른 유리 시트(105)의 표면 또는 바디의 결함을 식별하기 위한 바람직한 방법(600)의 기본 단계를 설명하는 흐름도이다. 먼저 단계(602 및 604)에서, 디지털 카메라(110)와 조광 시스템(120)이 유리 시트(105)의 반대쪽에 위치되고 설치된다. 단계(606)에서, 조광 시스템(120)이 유리 시트(105)의 일부(104)에 퍼뜨려진 광을 방출하도록 작동하고 디지털 카메라(110)가 유리 시트(105) 일부(104)의 암시야 이미지를 생성하도록, 디지털 카메라(110) 및 조광 시스템(120)은 모두 컴퓨터(115)에 의해 제어된다. 이 암시야 이미지는 유리 시트(105)의 표면 또는 바디에 결함 유무를 판정하기 위해 컴퓨터(115)에 의해 분석된다. 유리 시트(105) 전체를 검사하기 위해서, 디지털 카메라(110)가 유리 시트(105) 전체의 거시적인 이미지 맵을 만들기 위해 충분한 이미지를 얻도록, 유리 시트(105) 및/또는 디지털 카메라(110)/조광 시스템(120)은 한 방향 또는 다른 방향으로 이동될 필요가 있다. 일 실시예에서 유리 시트(105)는 공기 테이블(130)에 위치할 수 있고 디지털 카메라(110)와 조광 시스템(120)의 위치에 수직으로 연동할(indexed) 수 있다. 그러면 디지털 카메라(110)가 이미지를 얻는 동안, 디지털 카메라(110) 및 조광 시스템(120)은 모두 슬라이드 메카니즘(140)에 의해 유리 시트(105)의 일측으로부터 타측으로 수평으로 이동한다. 이때 유리 시트(105)는 공기 테이블(130)에 의해 수직으로 연동하게 되고 이러한 공정은 컴퓨터(115)가 유리 시트(105) 전체를 검사할 때까지 반복된다. 컴퓨터(115)에 의해 식별될 수 있는 결함의 종류는 예를 들면, (1) 유리 시트(105)의 표면의 입자; (2) 유리 시트(105) 내부에 있는 입자(예를 들면, 실리카 입자); (3) 유리 시트(105)의 표면의 스크래치; (4) 상기 유리 시트(105)의 표면의 불연속; (5) 상기 유리 시트(105) 내부의 공기 기포가 있다.
상술한 바로부터, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이미지 시스템(102)(예를 들면, 디지털 카메라(110) 및 컴퓨터(115)) 및 조광 시스템(115)(도 2 내지 도 5 참조)을 포함하는 검사 시스템(100)이 유리 시트(105)(예를 들면, LCD 유리 기판(105))의 표면 및 바디 결함을 식별하고 검사하는데 사용될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 바람직한 실시예에서, 조광 시스템(120)은 광(102) 방출을 위한 스트로브 라이트(123), 그리고 방출된 광(102)의 일부를 반사하는 구형 반사체(124) 및 주 반사체(125)를 포함한다. 또한 상기 조광 시스템(120)은 방출 및 반사된 광(102)의 일부를 차단하는 암시야 패치(126)와, 상기 암시야 패치(126)에 의해 차단되지 않은 방출 및 반사된 광(102)을 퍼뜨리기 위한 산광기(127)를 포함한다. 또한 조광 시스템(120)은 산광기(127)에 의해 퍼뜨려진 광(102)을 수용하고, 퍼뜨려진 광(102)을 개구부(137)를 통해 유리 시트(105)의 일부(104)로 유도하는 콘 반사체(128)을 더 포함한다. 그러면 이미지 시스템(102) 및 특히 유리 시트(105)의 다른 쪽에 위치하는 디지털 카메라(110)가 유리 시트(105)의 그 일부(104)에 결함 유무를 판정하기 위해 컴퓨터(115)에 의해 분석되는 이미지를 얻는다.
바람직한 실시예에서, 구형 반사체(124) 및 주 반사체(125)는 강화 알루미늄 코팅(enhanced aluminum coating)과 같은 거울 내부 표면을 구비하며, 이 거울 내부표면은 전기 주조(electroforming) 또는 다이아몬드 세공(turning)에 의해 형성되고 특정 스펙트럼 밴드(spectral band)에서 반사율을 높일 수 있도록 코팅된다. 코팅은 특정 입사각에 대해 최적화될 수 있으며, 예를 들어 구형 반사체(124)는 직각에 최적화되고 주 반사체(125)는 45°에 최적화된다. 구형 반사체(124)는 필수적이지 않지만 스트로브 라이트에서 방출되는 많은 광을 모음으로써 시야 범위(Field of View)(FOV)에서 광 강도를 높이는데 사용된다. 효율의 증가로 조광 시스템(120)의 길이 및 지름을 줄일 수 있다.
다른 실시예에서, 암시야 패치(126)가 제거되고 스트로브 라이트(123)로부터 방출된 광(102)이 직접 및 투명 유리 시트(105)를 통과하여 이동함으로써 디지털 카메라(110)가 명시야 이미지를 얻을 수 있도록 하는 명시야 모드에서 조광 시스템(120)이 작동할 수 있다. 명시야 모드에서, 결함이 광(102)의 일부를 차단하기 때문에, 함유물 또는 스크래치와 같은 결함은 어두운 지점으로 나타난다. 유리 굴절률의 국부적 변화를 일으키는 결함은 밝은 지점 또는 밝고 어두운 지점의 조합으로 나타난다. 그러나, 암시야 모드에서 작동하는 조광 시스템(120)은 명시야 이미지에 비하여 작은 결함에도 보다 감도(sensitivity)와 큰 명암비(contrast)를 가지는 이미지가 포착될 수 있음이 이해되어야 한다.
본 발명에 따른 검사 시스템(100)은 종래의 아날로그 카메라/조명 시스템을 대체하기 위해 광역 스캔 디지털 카메라(110)(예를 들어, 바슬러 A200 디지털 카메라(110)) 및 조광 시스템(120)을 사용한다. 디지털 카메라(110)는 대략 30 × 30 ㎟ 의 시야 범위를 가질 수 있다. 이는 종래의 아날로그 카메라/조명 시스템과 비교할 때 결함 스캔 영역이 세 배이고 거시적인 이미지 스캔 시간을 반으로 줄인다. 조광 시스템(120)은 특수하게 설계된 반사체(124, 125), 조광기 스넛(128), 산광기(127) 및 암시야 패치(126)로 구성된다. 반사체(124, 125)와 조광기 스넛(128)은 스트로브 라이트(123)의 광 손실을 최소화하고 원하는 시야 범위에 균일한 조광을 제공하기 위해 특정 스트로브 라이트(123) 광원 주위에 설계된다는 점에서 특징적이다 할 것이다. 아래에서는 본 발명의 대표적인 장점을 나열한다.
1) 유리 시트(105) 결함의 정확한 암시야 이미지를 얻기 위해 필요한 적당한 광 강도 및 균일성을 제공한다.
2) 사실상 종래의 검사 시스템보다 시야 범위가 세배이고 이러한 점에서 유리 시트(105)의 검사시간이 줄어든다.
3) 스트로브 라이트(123)를 구동하는데 드는 전력을 줄여 스트로브 라이트(123)의 수명이 늘어난다.
4) 비싸고 수명이 짧은 섬유 다발(fiber bundle)이 불필요하다.
5) 동일한 시야 범위를 갖는 종래의 집광기 광학계(condenser optics)와 비교할 때 간결한 조광기 설계가 가능하다.
비록 본 발명의 일 실시예가 첨부되는 도면에 도시되고 상세한 설명에서 서술되었지만, 본 발명이 개시된 실시예에 한정되는 것이 아니며 하기 된 특허청구범위에서 한정하고 제안하는 본 발명의 기술적 사상을 벋어나지 않는 범위에서 다양한 변형, 재배열 및 대체 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명에 따른 검사 시스템을 사용하면 종래의 검사 시스템보다 시야 범위가 넓어 유리 시트(105)의 검사시간이 반으로 절감되고, 스트로브 라이트를 구동하는데 드는 전력을 줄여 스트로브 라이트의 수명이 늘어난다.

Claims (20)

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  4. 카메라; 및
    광을 방출하는 스트로브 라이트(strobe light), 방출된 광의 일부를 반사하는 주 반사체(main reflector), 상기 카메라가 유리 시트 일부의 암시야 이미지를 생성할 수 있도록 상기 스트로브 라이트로부터 방출된 광의 일부를 차단하는 암시야 패치(darkfield patch), 그리고 상기 방출된 광 및 상기 반사된 광을 유리 시트의 일부에 걸쳐서 퍼뜨려서 검사될 상기 유리 시트의 영역을 고르게 조광할 수 있는 산광기(diffuser)를 포함하는 조광 시스템(illuminating system)을 포함하고,
    상기 유리 시트의 한쪽에 위치한 상기 카메라는, 상기 유리 시트의 반대쪽에 위치하는 상기 조광 시스템으로부터 방출되어 산란된 광에 의해 조광되는 상기 유리 시트의 일부의 결함 유무를 지시하는 이미지를 생성하고,
    상기 조광 시스템은,
    상기 광의 일부가 유리 결함에서 흩어짐 없이 카메라 렌즈에 도달하는 것을 차단함으로써 카메라 대물렌즈(camera objective)에서의 섬광(glare)을 제거하는 조광기 스넛(illuminator snoot)을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 시트의 결함을 식별하기 위한 검사 시스템.
  5. 카메라; 및
    광을 방출하는 스트로브 라이트(strobe light), 방출된 광의 일부를 반사하는 주 반사체(main reflector), 상기 카메라가 유리 시트 일부의 암시야 이미지를 생성할 수 있도록 상기 스트로브 라이트로부터 방출된 광의 일부를 차단하는 암시야 패치(darkfield patch), 그리고 상기 방출된 광 및 상기 반사된 광을 유리 시트의 일부에 걸쳐서 퍼뜨려서 검사될 상기 유리 시트의 영역을 고르게 조광할 수 있는 산광기(diffuser)를 포함하는 조광 시스템(illuminating system)을 포함하고,
    상기 유리 시트의 한쪽에 위치한 상기 카메라는, 상기 유리 시트의 반대쪽에 위치하는 상기 조광 시스템으로부터 방출되어 산란된 광에 의해 조광되는 상기 유리 시트의 일부의 결함 유무를 지시하는 이미지를 생성하고,
    상기 조광 시스템은,
    상기 스트로브 라이트로부터 방출된 광의 일부를 상기 주 반사체 및 상기 산광기로 유도하는 구형 반사체를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 시트의 결함을 식별하기 위한 검사 시스템.
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  11. 카메라 및 컴퓨터를 포함하는 이미지 시스템을 제공하는 단계;
    광을 방출하는 스트로브 라이트, 방출된 광의 일부를 반사하기 위한 주 반사체, 상기 카메라가 유리 시트 일부의 암시야 이미지를 생성할 수 있도록 상기 스트로브 라이트로부터 방출된 광의 일부를 차단하는 암시야 패치(darkfield patch), 그리고 상기 방출된 광 및 반사된 광을 유리 시트의 일부에 걸쳐서 퍼뜨려서 검사될 상기 유리 시트의 영역을 고르게 조광할 수 있는 산광기를 포함하는 조광 시스템을 제공하는 단계; 및
    상기 유리 시트의 한쪽에 위치한 상기 카메라가, 상기 유리 시트의 반대쪽에 위치하는 상기 조광 시스템으로부터 방출되어 산란된 광에 의해 조광되는 상기 유리 시트의 일부의 결함 유무를 판정하기 위해 상기 컴퓨터에 의해 분석된 이미지를 생성할 수 있도록 상기 카메라 및 상기 조광 시스템을 작동하는 단계;를 포함하고,
    상기 조광 시스템은,
    상기 스트로브 라이트로부터 방출된 광의 일부를 상기 주 반사체 및 상기 산광기로 유도하는 구형 반사체를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 시트의 결함 식별 방법.
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