CN108727537A - 用于软模具的组合物以及通过使用该组合物制造的软模具 - Google Patents

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Abstract

提供一种根据发明构思的实施例的用于软模具的组合物以及通过使用该组合物制造的软模具。所述用于软模具的组合物可通过包括至少一种多官能团的丙烯酸酯单体、至少一种光引发剂和硅氧烷化合物来制造具有良好的耐久性和脱模性质的软模具，并可通过使用该软模具来改善光学构件的制造的生产率。

Description

用于软模具的组合物以及通过使用该组合物制造的软模具
本专利申请要求于2017年4月14日提交的第10-2017-0048742号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的全部内容通过引用包含于此。
技术领域
本公开在此涉及用于软模具的组合物以及通过使用该组合物制造的软模具，更具体地，涉及在纳米压印工艺中使用的用于制造软模具的组合物以及通过使用该组合物制造的软模具。
背景技术
各种方法被用作制造具有精细图案的光学构件或者形成包括在显示装置中的光学图案的方法。具体地，纳米压印方法被用作在光学构件或显示装置中形成微米尺寸或纳米尺寸的精细光学图案的方法。
关于纳米压印方法，在用于形成光学图案的中间步骤中使用软模具。为了在制造光学构件期间使用软模具形成精确的光学图案并提高生产率，已经进行了改善软模具的耐久性和脱模性质的研究。
发明内容
本公开提供一种用于软模具的组合物以及通过使用该组合物制造的软模具，该组合物用于制造即使在重复使用之后仍具有良好的脱模性质以及高耐久性的软模具。
发明构思的实施例提供一种用于软模具的组合物，所述用于软模具的组合物包括：基于用于软模具的组合物的总重量的40wt％或更多至96wt％或更少的至少一种多官能团的丙烯酸酯单体；基于用于软模具的组合物的总重量的3wt％或更多至15wt％或更少的至少一种光引发剂；以及基于用于软模具的组合物的总重量的0.1wt％或更多至50wt％或更少的硅氧烷化合物。
在实施例中，所述至少一种多官能团的丙烯酸酯单体可包括具有三个或更多个丙烯酸酯基团的第一丙烯酸酯单体。
在实施例中，所述至少一种多官能团的丙烯酸酯单体还可包括具有两个丙烯酸酯基团的第二丙烯酸酯单体。
在实施例中，所述至少一种多官能团的丙烯酸酯单体可包括从由三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧基化丙三醇三丙烯酸酯、丙三醇(PO)m三丙烯酸酯(其中，m是1或更大至4或更小的整数)、季戊四醇三丙烯酸酯、三(2-羟乙基)异氰脲酸酯三丙烯酸酯、季戊四醇(EO)n四丙烯酸酯(其中，n是1或更大至4或更小的整数)、二三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯组成的组中选择的至少一种。
在实施例中，所述至少一种多官能团的丙烯酸酯单体还可包括从由1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,9-壬二醇二丙烯酸酯、1,10-癸二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇(EO)n二丙烯酸酯(其中，n是1或更大至4或更小的整数)、羟基特戊酸新戊二醇二丙烯酸酯、二丙二醇二丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯和聚乙二醇二丙烯酸酯组成的组中选择的至少一种。
在实施例中，所述至少一种多官能团的丙烯酸酯单体可包括乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯和三羟甲基丙烷三丙烯酸酯。
在实施例中，所述至少一种多官能团的丙烯酸酯单体还可包括二丙二醇二丙烯酸酯。
在实施例中，所述至少一种光引发剂可包括：第一光引发剂，通过第一紫外光激活；第二光引发剂，通过具有比第一紫外光的波长长的波长的第二紫外光激活。
在实施例中，第一光引发剂与第二光引发剂的比例可在1:1至2:1的范围内。
在实施例中，第一光引发剂可以为从由2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙-1-酮、1-羟基-环己基-苯基-酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、2-羟基-1-[4-(2-羟乙氧基)苯基]-2-甲基-1-丙酮、2-羟基-1-{4-[4-(2-羟基-2-甲基-丙酰基)-苄基]-苯基}-2-甲基丙-1-酮以及它们的组合物组成的组中选择的一种。
在实施例中，第二光引发剂可以为从由2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮-1,2-二甲基氨基-2-(4-甲基-苄基)-1-(4-吗啉-4-基-苯基)-丁-1-酮、2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦、2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基次膦酸酯、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦、[1-(4-苯基硫基苯甲酰基)亚庚基氨基]苯甲酸酯、[1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)咔唑-3-基]亚乙基氨基]乙酸酯、双(2,4-环戊二烯基)双[2,6-二氟-3-(1-吡咯基)苯基]钛(IV)和它们的组合物组成的组中选择的一种。
在实施例中，所述至少一种光引发剂可包括烷基苯酮类的第一光引发剂以及酰基氧化膦类的第二光引发剂。
在实施例中，所述至少一种光引发剂可包括1-羟基-环己基-苯基-酮和双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦。
在实施例中，硅氧烷化合物可具有丙烯酸酯基团作为端部基团。
在实施例中，用于软模具的组合物可包括：基于用于软模具的组合物的总重量的80wt％或更多至96wt％或更少的所述至少一种多官能团的丙烯酸酯单体；基于用于软模具的组合物的总重量的5wt％或更多至15wt％或更少的所述至少一种光引发剂；以及基于用于软模具的组合物的总重量的2wt％或更多至10wt％或更少的硅氧烷化合物。
在实施例中，用于软模具的组合物还可包括膦酸。
在发明构思的实施例中，用于软模具的组合物包括：具有多个丙烯酸酯基团的至少一种丙烯酸酯单体；第一光引发剂，通过第一波长激活；第二光引发剂，通过比第一波长长的第二波长激活；以及由式1表示的硅氧烷化合物：
[式1]
其中，在式1中，X为氢或甲基，m1和m2均独立地为2或更大至30或更小的整数，n1和n2均独立地为0或更大至5或更小的整数。
在实施例中，硅氧烷化合物可由式1-1表示：
[式1-1]
其中，在式1-1中，m1、m2、n1和n2与在式1中定义的相同。
在实施例中，硅氧烷化合物可由式1-2表示：
[式1-2]
其中，在式1-2中，m1、m2、n1和n2与在式1中定义的相同。
在实施例中，硅氧烷化合物可由式1-3表示：
[式1-3]
在实施例中，用于软模具的组合物可包括：基于用于软模具的组合物的总重量的40wt％或更多至96wt％或更少的所述至少一种丙烯酸酯单体；基于用于软模具的组合物的总重量的1.5wt％或更多至12wt％或更少的第一光引发剂；基于用于软模具的组合物的总重量的1.5wt％或更多至3wt％或更少的第二光引发剂；以及基于用于软模具的组合物的总重量的0.1wt％或更多至50wt％或更少的硅氧烷化合物。
在发明构思的实施例中，软模具包括具有多个凹部的不平坦的图案，其中，通过使用用于软模具的组合物来制造所述不平坦的图案，所述用于软模具的组合物包括：基于所述组合物的总重量的40wt％或更多至96wt％或更少的至少一种多官能团的丙烯酸酯单体；基于所述组合物的总重量的3wt％或更多至15wt％或更少的至少一种光引发剂；以及基于所述组合物的总重量的0.1wt％或更多至50wt％或更少的硅氧烷化合物。
在实施例中，硅氧烷化合物可由式1表示：
[式1]
其中，在式1中，X为氢或甲基，m1和m2均独立地为2或更大至30或更小的整数，n1和n2均独立地为0或更大至5或更小的整数。
附图说明
包括附图以提供对发明构思的进一步的理解，并且将附图并入本说明书中并构成本说明书的一部分。附图示出发明构思的示例性实施例，并且与描述一起用来解释发明构思的原理。在附图中：
图1A、图1B、图1C和图1D是示出根据发明构思的实施例的制造软模具的步骤的示意图；
图2A、图2B、图2C、图2D和图2E是示出根据发明构思的实施例的通过使用软模具制造光学构件的步骤的示意图；
图3是示出针对软模具的脱模力测试的结果的曲线图；
图4是示出针对根据发明构思的实施例的软模具的依赖于硅氧烷化合物的量的脱模力测试的结果的曲线图；
图5示出了发明构思的实施例和对比示例的软模具的表面条件；
图6示出了根据使用次数的脱模力的改变；
图7A是根据发明构思的实施例的软模具的表面的扫描电子显微镜(SEM)图像；
图7B是沿图7A的线I-I'截取的剖面的SEM图像；
图8A是根据发明构思的实施例的软模具的表面的SEM图像；
图8B是沿图8A的线II-II'截取的剖面的SEM图像；以及
图9是根据发明构思的实施例的包括通过使用软模具制造的偏振构件的显示装置的剖视图。
具体实施方式
虽然发明构思适用于各种修改和可替代的形式，但是已经在附图中以示例方式示出并在下面详细描述了特定实施例。然而，发明不将发明构思限制于描述的具体的实施例。相反，发明构思旨在覆盖落入如由权利要求所限定的发明构思的范围内的所有的修改、等同物和替代物。
在附图中，同样的标记始终指的是同样的元件。在附图中，为了清楚，夸大结构的尺寸。将理解的是，尽管术语第一、第二等可在此用于描述各种元件，但是这些元件不受这些术语限制。这些术语仅用于将一个元件与另一元件区分开。例如，在不脱离发明构思的范围的情况下，第一元件可被命名为第二元件，相似地，第二元件可被命名为第一元件。除非相反表示，否则单数形式的术语可包括复数形式。
还将理解的是，当在此说明书中使用术语“包括”和/或“包含”时，说明存在所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件、组件或它们的组合，但是不排除存在或附加一个或更多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、组件或它们的组合。另外，将理解的是，当诸如层、膜、区域或基底的元件被称为“在”另一元件“上”时，所述元件可直接在所述另一元件上，或者还可在它们之间存在中间元件。
在下文中，将描述根据发明构思的实施例的用于软模具的组合物。根据发明构思的实施例的用于软模具的组合物可包括至少一种多官能团的丙烯酸酯单体、至少一种光引发剂和硅氧烷材料。
在实施例中，用于软模具的组合物可包括一种多官能团的丙烯酸酯单体或多种多官能团的丙烯酸酯单体。
基于用于软模具的组合物的总重量，根据发明构思的实施例的用于软模具的组合物可包括大约40wt％或更多至大约96wt％或更少的多官能团的丙烯酸酯单体。例如，根据实施例的用于软模具的组合物可包括大约40wt％或更多至大约96wt％或更少的一种多官能团的丙烯酸酯单体。另外，在实施例中，基于用于软模具的组合物的总重量，多种多官能团的丙烯酸酯单体的重量的总和可以为大约40wt％或更多至大约96wt％或更少。
包括在根据实施例的用于软模具的组合物中的多官能团的丙烯酸酯单体可在一个重复单元中具有多个丙烯酸酯基团。多官能团的丙烯酸酯单体可在一个重复单元中具有两个或更多个丙烯酸酯基团。
例如，多官能团的丙烯酸酯单体可以为具有两个丙烯酸酯基团的二丙烯酸酯、具有三个丙烯酸酯基团的三丙烯酸酯、具有四个或更多个丙烯酸酯基团的四丙烯酸酯、五丙烯酸酯或六丙烯酸酯，但是发明构思的实施例不限于此。
根据实施例的用于软模具的组合物可不包括单官能团的丙烯酸酯单体。例如，单官能团的丙烯酸酯单体可在一个单体重复单元中包括一个丙烯酸酯基团。
即，根据实施例的用于软模具的组合物可不包括具有一个丙烯酸酯基团的单官能团的丙烯酸酯单体，并且可包括具有多个丙烯酸酯基团(例如，两个或更多个丙烯酸酯基团)的多官能团的丙烯酸酯单体。
根据实施例的用于软模具的组合物可包括多个多官能团的丙烯酸酯单体。根据实施例的用于软模具的组合物可包括具有三个或更多个丙烯酸酯基团的第一丙烯酸酯单体。另外，根据实施例的用于软模具的组合物可包括具有三个或更多个丙烯酸酯基团的多个第一丙烯酸酯单体。
除了至少一种第一丙烯酸酯单体之外，根据实施例的用于软模具的组合物还可包括具有两个丙烯酸酯基团的第二丙烯酸酯单体。
具有三个或更多个丙烯酸酯基团的第一丙烯酸酯单体可以为从由三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(trimethylolpropane triacrylate)、乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(trimethylolpropane ethoxylate triacrylate)、丙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(trimethylolpropane propoxylate triacrylate)、乙氧基化丙三醇三丙烯酸酯(ethoxylated glycerine triacrylate)、丙三醇(PO)m三丙烯酸酯(glycerine(PO)mtriacrylate)、季戊四醇三丙烯酸酯、三(2-羟乙基)异氰脲酸酯三丙烯酸酯(tris(2-hydroxyethyl)isocyanurate triacrylate)、季戊四醇(EO)n四丙烯酸酯、二三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯组成的组中选择的至少一种。然而，发明构思的实施例不限于此。
在乙氧基化物(EO)改性的多官能团的丙烯酸酯单体或丙氧基化物(PO)改性的多官能团的丙烯酸酯单体中，EO或PO改性的重复单元的个数可以为4或更少。例如，丙三醇(PO)m三丙烯酸酯可以为PO改性的丙三醇三丙烯酸酯，季戊四醇(EO)n四丙烯酸酯可以为EO改性的季戊四醇四丙烯酸酯。这里，(PO)m和(EO)n中的重复单元m和n可以均独立地为4或更小的整数。
在根据实施例的用于软模具的组合物中包括的多官能团的丙烯酸酯单体是EO改性的多官能团的丙烯酸酯单体或PO改性的多官能团的丙烯酸酯单体的情况下，取代的改性单元的个数可以为4或更少。在EO或PO改性单元的个数为5或更大的情况下，会减少通过使用多官能团的丙烯酸酯单体制造的软模具的模量，并且也会降低耐久性和耐化学性。
第一丙烯酸酯单体可包括乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(EO＝3)和三羟甲基丙烷三丙烯酸酯作为丙烯酸酯基团。
具有两个丙烯酸酯基团的第二丙烯酸酯单体可以为从由1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,9-壬二醇二丙烯酸酯、1,10-癸二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇(EO)n二丙烯酸酯、羟基特戊酸新戊二醇二丙烯酸酯(hydroxy pivalic acid neopentylglycol diacrylate)、二丙二醇二丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯和聚乙二醇二丙烯酸酯组成的组中选择的至少一种。然而，发明构思的实施例不限于此。
根据实施例的用于软模具的组合物可包括两种第一丙烯酸酯单体作为丙烯酸酯基团。例如，根据实施例的用于软模具的组合物可包括乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(EO＝3)和三羟甲基丙烷三丙烯酸酯。基于用于软模具的组合物的总重量，乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(EO＝3)和三羟甲基丙烷三丙烯酸酯的重量的总和可在大约40wt％或更多至大约96wt％或更少的范围内。例如，基于用于软模具的组合物的总重量，乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(EO＝3)和三羟甲基丙烷三丙烯酸酯的重量的总和可以在大约80wt％或更多至大约96wt％或更少的范围内。
根据实施例的用于软模具的组合物可包括两种第一丙烯酸酯单体和一种第二丙烯酸酯单体作为丙烯酸酯基团。例如，根据实施例的用于软模具的组合物可包括乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(EO＝3)、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯和二丙二醇二丙烯酸酯。基于用于软模具的组合物的总重量，乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(EO＝3)、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯和二丙二醇二丙烯酸酯的重量的总和可在大约40wt％或更多至大约96wt％或更少的范围内。例如，基于用于软模具的组合物的总重量，乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(EO＝3)、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯和二丙二醇二丙烯酸酯的重量的总和可在大约80wt％或更多至大约96wt％或更少的范围内。
根据实施例的用于软模具的组合物还可包括多官能团的丙烯酸酯低聚物。多官能团的丙烯酸酯低聚物可包括上述多官能团的丙烯酸酯单体的重复单元。
基于用于软模具的组合物的总重量，根据实施例的用于软模具的组合物还可包括大约3wt％或更多至大约15wt％或更少的至少一种光引发剂。具体地，基于用于软模具的组合物的总重量，根据实施例的用于软模具的组合物可包括大约5wt％或更多至大约15wt％或更少的至少一种光引发剂。
根据实施例的用于软模具的组合物还可包括多种光引发剂。根据实施例的用于软模具的组合物可包括通过第一紫外光激活的第一光引发剂以及通过第二紫外光激活的第二光引发剂。第二紫外光可以是具有比第一紫外光的中心波长长的中心波长的紫外光。
例如，第一紫外光是具有在紫外波长范围内的大约345nm的中心波长的光，第二紫外光是具有在紫外波长范围内的大约365nm的中心波长的光。
根据实施例的用于软模具的组合物可以以1:1至2:1的比例包括第一光引发剂和第二光引发剂。基于用于软模具的组合物的总重量，第一光引发剂和第二光引发剂的重量的总和可在大约3wt％或更多至大约15wt％或更少的范围内，例如，基于用于软模具的组合物的总重量，第一光引发剂和第二光引发剂的重量的总和可在大约5wt％或更多至大约15wt％或更少的范围内。
在实施例中，基于用于软模具的组合物的总重量，可以以大约1.5wt％或更多至大约12wt％或更少的量包括第一光引发剂，并且基于用于软模具的组合物的总重量，可以以大约1.5wt％或更多至大约3wt％或更少的量包括第二光引发剂。
在根据实施例的用于软模具的组合物中以小于大约3wt％的量包括至少一种光引发剂的情况下，由于多官能团的丙烯酸酯单体的聚合活性低，因此不会充分地发生聚合反应。另外，在根据实施例的用于软模具的组合物中以大于大约15wt％的量包括至少一种光引发剂的情况下，会降低光引发剂与多官能团的丙烯酸酯单体的相容性。
在根据实施例的用于软模具的组合物包括第一光引发剂和第二光引发剂两者的情况下，当以小于大约1.5wt％的量包括第二光引发剂时，会降低多官能团的丙烯酸酯单体的聚合的程度，并且当以大于大约3wt％的量包括第二光引发剂时，会降低第二光引发剂与多官能团的丙烯酸酯单体的相容性。
第一光引发剂可以为烷基苯酮类光引发剂。第二光引发剂可为烷基苯酮类光引发剂、酰基氧化膦类光引发剂、肟酯类光引发剂或二茂钛类光引发剂。
第一光引发剂可以为从由2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙-1-酮(2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one)、1-羟基-环己基-苯基-酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、2-羟基-1-[4-(2-羟乙氧基)苯基]-2-甲基-1-丙酮、2-羟基-1-{4-[4-(2-羟基-2-甲基-丙酰基)-苄基]-苯基}-2-甲基丙-1-酮(2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]-phenyl}-2-methylp ropan-1-one)以及它们的组合物组成的组中选择的一种。
第二光引发剂可以为从由2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮-1,2-二甲基氨基-2-(4-甲基-苄基)-1-(4-吗啉-4-基-苯基)-丁-1-酮、2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦、2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基次膦酸酯、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦、[1-(4-苯基硫基苯甲酰基)亚庚基氨基]苯甲酸酯([1-(4-phenylsulfanylbenzoyl)heptylideneamino]benzoate)、[1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)咔唑-3-基]亚乙基氨基]乙酸酯([1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)carbazol-3-yl]ethylideneamino]acetate)、双(2,4-环戊二烯基)双[2,6-二氟-3-(1-吡咯基)苯基]钛(IV)和它们的组合物组成的组中选择的一种。
例如，根据实施例的用于软模具的组合物可包括1-羟基-环己基-苯基-酮作为第一光引发剂，并且可包括双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦作为第二光引发剂。具体地，基于用于软模具的组合物的总重量，根据实施例的用于软模具的组合物可包括大约1.5wt％或更多至大约12wt％或更少的1-羟基-环己基-苯基-酮和大约1.5wt％或更多至大约3wt％或更少的双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦。基于用于软模具的组合物的总重量，根据实施例的用于软模具的组合物可包括大约6wt％的1-羟基-环己基-苯基-酮和大约3wt％的双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦。
根据实施例的用于软模具的组合物可通过包括第一光引发剂和第二光引发剂两者来增大多官能团的丙烯酸酯单体的聚合的程度。由于根据实施例的用于软模具的组合物可通过同时包括第一光引发剂和第二光引发剂来增大多官能团的丙烯酸酯单体的聚合活性，因此根据实施例的用于软模具的组合物可增大通过使用根据实施例的用于软模具的组合物所制造的软模具的耐久性。
根据实施例的用于软模具的组合物可包括硅氧烷化合物。基于用于软模具的组合物的总重量，根据实施例的用于软模具的组合物可包括大约0.1wt％或更多至大约50wt％或更少的硅氧烷化合物。例如，基于用于软模具的组合物的总重量，根据实施例的用于软模具的组合物可包括大约2wt％或更多至大约10wt％或更少的硅氧烷化合物。
在实施例中，硅氧烷化合物可具有丙烯酸酯基团作为端部基团。例如，硅氧烷化合物可以为具有丙烯酸酯基团作为端部基团的硅氧烷聚合物。具体地，硅氧烷化合物可以为在其两端处具有丙烯酸酯基团的硅氧烷聚合物。
包括在实施例中的硅氧烷化合物可由下面的式1表示。
[式1]
在式1中，X为氢或甲基，m1和m2均独立地为2或更大至30或更小的整数，n1和n2均独立地为0或更大至5或更小的整数。
参照式1，包括在实施例中的硅氧烷化合物可具有作为核心的硅氧烷基团以及位于两端处的丙烯酸酯基团。包括在实施例中并由式1表示的硅氧烷化合物可具有大约204g/mol或更大至大约3,500g/mol或更小的分子量。
在由式1表示的硅氧烷化合物中，m1和m2可以为相同的整数，n1和n2可以为相同的整数，但是发明构思的实施例不限于此。例如，m1和m2可以为不同的整数，n1和n2可以为不同的整数。
包括在实施例中的硅氧烷化合物可由下面的式1-1或式1-2表示。
[式1-1]
[式1-2]
在式1-1和式1-2中，m1和m2均独立地为2或更大至30或更小的整数，n1和n2均独立地为0或更大至5或更小的整数。
在根据实施例的用于软模具的组合物中，硅氧烷化合物可用作脱模材料。在实施例中，在以小于大约0.1wt％的量包括硅氧烷化合物的情况下，由于硅氧烷化合物不能充分地用作脱模材料，因此通过使用用于软模具的组合物所制造的软模具不会展现良好的脱模性质。另外，在实施例中，在以大于大约50wt％的量包括硅氧烷化合物的情况下，会降低软模具的耐久性。
根据实施例的用于软模具的组合物可包括由下面的式1-3表示的硅氧烷化合物。
[式1-3]
根据实施例的用于软模具的组合物可包括大约40wt％或更多至大约96wt％或更少的至少一种多官能团的丙烯酸酯单体、大约3wt％或更多至大约15wt％或更少的至少一种光引发剂以及大约0.1wt％或更多至大约50wt％或更少的硅氧烷化合物。
例如，根据实施例的用于软模具的组合物可包括大约80wt％或更多至大约96wt％或更少的至少一种多官能团的丙烯酸酯单体、大约5wt％或更多至大约15wt％或更少的至少一种光引发剂以及大约2wt％或更多至大约10wt％或更少的硅氧烷化合物。
在实施例中，用于软模具的组合物可包括大约80wt％或更多的乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(EO＝3)、大约1wt％或更多的三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、大约6wt％或更多的1-羟基-环己基-苯基-酮、大约3wt％的双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦以及大约2wt％或更多至大约10wt％或更少的硅氧烷化合物。乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(EO＝3)和三羟甲基丙烷三丙烯酸酯的重量的总和可以为大约96wt％或更少，1-羟基-环己基-苯基-酮和双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦的重量的总和可以为大约15wt％或更少。
另外，在实施例中，用于软模具的组合物可包括大约60wt％或更多的二丙二醇二丙烯酸酯、大约20wt％或更多的乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(EO＝3)、大约1wt％或更多的三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、大约6wt％或更多的1-羟基-环己基-苯基-酮、大约3wt％的双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦以及大约2wt％或更多至大约10wt％或更少的硅氧烷化合物。二丙二醇二丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(EO＝3)和三羟甲基丙烷三丙烯酸酯的重量的总和可以为大约96wt％或更少，1-羟基-环己基-苯基-酮和双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦的重量的总和可以为大约15wt％或更少。
根据实施例的用于软模具的组合物还可包括表面活性剂。在实施例中，表面活性剂可包括膦酸。在实施例中，用于软模具的组合物可包括具有氟碳链的膦酸或者具有烷基链的膦酸。基于用于软模具的组合物的总重量，实施例还可包括大约1wt％或更少的膦酸。
根据实施例的用于软模具的组合物可通过进一步包括作为表面活性剂的膦酸来进一步改善软模具相对于稍后将描述的主模具的脱模性质。
由于上述根据实施例的用于软模具的组合物包括多官能团的丙烯酸酯单体和硅氧烷化合物，因此根据实施例的用于软模具的组合物可被用在具有低脱模力值以及高弹性模量和硬度的软模具的制造中。另外，可通过使用根据实施例的用于软模具的组合物来制造具有高耐久性和耐化学性的软模具。
在下文中，将描述通过使用上述根据实施例的用于软模具的组合物制造的软模具。在根据实施例的软模具的描述中，将不重复与上述根据实施例的用于软模具的组合物中描述的那些重复的描述，将主要描述与其不同的点。
图1A至图1D是示出通过使用根据实施例的用于软模具的组合物来制造软模具的步骤的示意图。
图1A示出根据实施例的将用于软模具的组合物SR提供到主模具HM的步骤。可通过供应喷嘴SN1将上述根据实施例的用于软模具的组合物SR提供到主模具HM。主模具HM可由金属材料形成。主模具HM可包括与将要制造的软模具的形状对应的纳米图案。可将提供的用于软模具的组合物SR填充到形成在主模具HM中的纳米图案的凹部中。在这种情况下，提供到主模具HM的用于软模具的组合物SR可以为上述根据实施例的用于软模具的组合物。
具体地，用于软模具的组合物SR可包括至少一种多官能团的丙烯酸酯单体、至少一种光引发剂和硅氧烷化合物。在用于软模具的组合物SR中，至少一种光引发剂可包括通过第一紫外光激活的第一光引发剂以及通过具有比第一紫外光的波长长的波长的第二紫外光激活的第二光引发剂。
即，在实施例中，用于软模具的组合物可包括硅氧烷化合物、多种多官能团的丙烯酸酯单体和多种光引发剂。
另外，用于软模具的组合物SR可包括大约40wt％或更多至大约96wt％或更少的至少一种多官能团的丙烯酸酯单体、大约3wt％或更多至大约15wt％或更少的至少一种光引发剂以及大约0.1wt％或更多至大约50wt％或更少的硅氧烷化合物。
图1B示出使提供的用于软模具的组合物SR的表面平坦化的步骤。可通过使用辊RL1将设置在主模具HM上的用于软模具的组合物SR的厚度平坦化为具有均匀的厚度。还可在提供的用于软模具的组合物SR上进一步设置基体膜SF。基体膜SF可由聚合物树脂形成。例如，基体膜SF可以为透明聚合物膜。例如，可通过包括聚对苯二甲酸乙二醇酯来形成基体膜SF。基体膜SF可用作被构造为支撑用于软模具的组合物SR的支撑件。
图1C示出将提供的用于软模具的组合物SR(见图1B)固化的步骤。可通过使用从外部光源LU提供的紫外光将提供到主模具HM上的用于软模具的组合物SR(见图1B)固化来制造根据实施例的软模具SM。在这种情况下，外部光源LU可提供具有大约345nm的中心波长的第一紫外光和具有大约365nm的中心波长的第二紫外光两者。
图1D示出在图1C中描述的紫外固化步骤之后将根据实施例的制造的软模具SM从主模具HM分离的步骤。由于根据实施例的软模具SM因通过使用包括多官能团的丙烯酸酯单体和硅氧烷化合物的上述根据实施例的用于软模具的组合物来制造而具有高的耐久性和良好的脱模性质，因此可容易地将根据实施例的软模具SM与主模具HM分离而没有缺陷部分。
通过图1A至图1D的上述步骤制造的根据实施例的软模具SM可包括不平坦的图案。根据实施例的软模具SM可包括具有多个凹部RS的不平坦的图案。根据实施例的软模具SM可包括具有设置在多个凹部RS之间的突起EP的不平坦的图案。具有多个凹部RS的不平坦的图案可以为纳米尺寸的图案。例如，不平坦的图案的凹部RS的宽度、多个凹部RS之间的间隙以及多个凹部RS的深度可分别在几纳米至几百纳米的范围内。
图2A至图2E是示出通过使用根据实施例的软模具来制造光学构件的步骤的示意图。例如，在图2A至图2E中制造的光学构件可以为线栅偏振层。
图2A示出将用于图案形成的树脂IR-P提供到其上形成有金属层的基底上的步骤。可通过树脂供应单元SN2来提供用于图案形成的树脂IR-P。树脂供应单元SN2可以是以被构造为在用于制造光学构件的需要图案形成的区域上涂覆预定的量的用于图案形成的树脂IR-P的喷嘴的形式。然而，发明构思的实施例不限于此，可通过使用各种涂覆方法来提供用于图案形成的树脂IR-P。
在图2A中，基底SUB可以为其上设置有光学构件的支撑构件。基底SUB可以为玻璃基底，但是发明构思的实施例不限于此。例如，基底SUB可以为由聚合物树脂形成的塑料基底或者可以为显示装置的阵列基底。可在基底SUB上设置金属层ML。例如，金属层ML可包括铝(Al)，但是发明构思的实施例不限于此。参照图2A，可在金属层ML上设置用于图案形成的树脂IR-P。例如，用于图案形成的树脂IR-P可以为光致抗蚀剂。
图2B示出在提供的用于图案形成的树脂IR-P上设置根据实施例的软模具SM的步骤。可将涂覆在基底SUB上的用于图案形成的树脂IR-P填充在软模具SM的凹部RS中。将压辊RL2放置在软模具SM上并使压辊RL2移动时，压辊RL2可使软模具SM设置在具有金属层ML的基底SUB上。
图2C示出使图2A中提供的用于图案形成的树脂IR-P(见图2A)光固化的步骤。可在软模具SM上设置外部光源LU。外部光源LU可提供穿透软模具SM并使用于图案形成的树脂IR-P(见图2A)固化以形成临时图案IR(例如，蚀刻掩模)的紫外光。可在金属层ML上形成通过使用于图案形成的树脂IR-P(见图2A)光固化而获得的临时图案IR。临时图案IR的宽度可具有与软模具SM的凹部RS(见图2B)的宽度对应的尺寸。
图2D示出去除了根据实施例的软模具SM(见图2C)的状态。由于根据实施例的软模具SM(见图2C)因通过使用包括多官能团的丙烯酸酯单体和硅氧烷化合物的用于软模具的组合物来制造而具有良好的脱模性质，因此可容易地使根据实施例的软模具SM从临时图案IR脱离。
图2E示出形成在基底SUB上的光学图案ML-P。可通过使用图2D的临时图案IR作为掩模蚀刻金属层ML来形成光学图案ML-P。例如，图2E中的形成在基底SUB上的光学图案ML-P可示出线栅偏振层的精细图案。即，由于根据实施例的软模具SM(见图2C)具有高弹性模量和低脱模力，因此软模具SM(见图2C)可形成良好的临时图案IR，并且因此制造的光学构件也可具有良好的光学图案ML-P。
由于根据实施例的用于软模具的组合物包括多官能团的丙烯酸酯单体和硅氧烷化合物，因此可制造具有低的脱模力以及高硬度和高弹性模量的软模具。另外，由于根据实施例的软模具具有优异的耐久性和良好的脱模性质，因此即使使用次数增多也可容易地使根据实施例的软模具从临时图案IR脱离，并且因此可提高光学图案的形成的期间的生产率。
在下文中，将参照示例和对比示例来详细地描述通过使用根据发明构思的实施例的用于软模具的组合物制造的根据实施例的软模具。另外，仅提供下面的示例以允许对本发明构思的更清楚的理解，而不是限制其范围。
[示例]
1、软模具的制造
向主模具提供用于软模具的组合物，利用紫外光将提供的用于软模具的组合物光固化以制造软模具。向提供的用于软模具的组合物提供具有大约345nm的中心波长的紫外光和具有大约365nm的中心波长的紫外光。
2、软模具的评价
评价通过上述制造软模具的方法制造的软模具的脱模力和耐久性。关于脱模力，分别评价初始脱模力和取决于软模具的使用次数的脱模力。
通过硬度和弹性模量来评价软模具的耐久性。采用纳米压痕仪来测量硬度和弹性模量。在测量硬度和弹性模量期间，将测量样品准备为具有大约2μm的厚度。
表1和图3示出根据实施例的用于软模具的组合物以及用于对比的样品的脱模力的评价结果。在表1和图3中，示例示出通过使用根据实施例的用于软模具的组合物来制造的软模具的结果，样品1和样品2分别示出在用于软模具的组合物不包括硅氧烷化合物的情况下的脱模力的结果。在表1中列出的样品1和样品2中使用的丙烯酸酯单体为乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(EO＝3)，在表1中列出的示例中使用的丙烯酸酯单体为乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(EO＝3)和三羟甲基丙烷三丙烯酸酯。
另外，1-羟基-环己基-苯基-酮用作第一光引发剂，双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦用作第二光引发剂。此外，由下面的式1-3表示的硅氧烷化合物用作硅氧烷化合物。
[式1-3]
[表1]
参照表1和图3的结果，可理解的是，通过使用根据实施例的包括硅氧烷化合物的用于软模具的组合物制造的示例展现了比用于比较的样品1和样品2的脱模力值低的脱模力值。相反，可确认的是，不包括硅氧烷化合物的样品1和样品2展现了比示例的脱模力值高的脱模力值。
样品1和样品2对应于组合物的成分相同但是两种光引发剂的比例不同的情况。样品2是光引发剂的总量比样品1的光引发剂的总量大的情况，并且参照图3的结果，可理解的是，随着光引发剂的总量的增大，脱模力减小。
图4是示出取决于根据实施例的用于软模具的组合物中的脱模材料的量的脱模力值的曲线图。表2中示出了在图4中示出的脱模力评价中使用的用于示例和对比示例的软模具的制造的用于软模具的组合物的成分比。
[表2]
在表2中列出的用于软模具的组合物中，基于用于软模具的组合物的总重量，示例1和示例2以及对比示例中均以大约6wt％的量包括第一光引发剂，并且基于用于软模具的组合物的总重量，示例1和示例2以及对比示例中均以大约3wt％的量包括第二光引发剂。
将由下面的式1-3表示的硅氧烷化合物用作示例1和示例2中的硅氧烷化合物。
[式1-3]
示例2与示例1的不同之处在于示例2还包括二丙二醇二丙烯酸酯作为丙烯酸酯单体。示例1的组合物的粘度为大约60cp或更大，示例2通过进一步包括二丙烯酸酯展现出大约20cp或更小的低粘度。
参照图4，可理解的是，在示例1和示例2两者中，软模具的脱模力值随着硅氧烷化合物的量的增大而减小。具体地，当考查示例1的脱模力的变化时，即使在添加了大约0.5wt％或更少的硅氧烷化合物的情况下，减小脱模力的效果也显著。在添加大约10wt％或更多的硅氧烷化合物的情况下，可理解的是，脱模力没有显著的变化。在示例1和示例2中，脱模力值减小为大约0.02kgf或更小。
相反，在对比示例中，将氟类脱模材料用作脱模材料。直到氟类脱模材料的量为0.5wt％才获得与示例1的脱模力值相似的脱模力值，但是，关于对比示例，即使脱模材料的量从大约0.5wt％进一步增大，脱模力值也不减小。
图5示出了示例和对比示例的表面条件，在示例中，根据实施例的用于软模具的组合物中的硅氧烷化合物的比例变化，图6是示出了示例和对比示例中取决于使用次数的脱模力的变化的曲线图，在示例中，改变用于软模具的组合物中的硅氧烷化合物的比例。
表3中示出了在图5以及图6中示出的脱模力评价中使用的用于示例和对比示例的软模具的制造的用于软模具的组合物的成分比。
[表3]
在表3中，示例1和示例2分别具有与在表2的示例1和示例2中使用的用于软模具的组合物的成分比相同的成分比。在表3中，对比示例与表2的对比示例的不同之处在于将聚二甲基硅氧烷用作脱模材料。
图5示出了显示对比示例和示例1中的软模具的表面润湿特性的图像。通过使用永久性记号笔在制造的软模具的表面上进行标记测试来评价润湿特性。关于对比示例(ref)，清楚地观察到软模具的表面上用永久性记号笔标记的部分，在示例1的测试中，可理解的是，示例1随着硅氧烷化合物的量的增大而不被永久性记号笔良好地标记。这表示，关于包括硅氧烷化合物的示例，表面的防水或者防油能力优异。在图5中，2wt％、5wt％和10wt％均表示包括在用于软模具的组合物中的硅氧烷化合物的重量比，其中，可理解的是，表面润湿随着硅氧烷化合物的量的增大而减弱。
即，由于示例的软模具比对比示例(ref)具有更高的防水和防油能力，因此示例的软模具可相对于提供的图案表面具有低的脱模力。因此，与对比示例相比，可以以相对小的力从图案表面容易地去除示例的软模具。
图6示出取决于软模具的使用次数的脱模力的改变。可确认的是，在对比示例和示例中，脱模力值随着使用次数的增多而增大。
然而，可理解的是，基于同样的使用次数，示例1和示例2展现出比对比示例低的脱模力值。具体地，可理解的是，示例2展现出比示例1低的脱模力值。即使在将软模具使用达100次的情况以及将软模具使用一次的情况下，也得到相同的结果。
即，可确认的是，通过使用进一步包括二丙烯酸酯单体的用于软模具的组合物来制造的示例2比示例1具有更好的脱模性质。
由于根据实施例的用于软模具的组合物包括与对比示例中使用的氟类脱模材料或聚二甲基硅氧烷相比与丙烯酸酯单体具有高相容性的硅氧烷化合物，因此，可增大基于用于软模具的组合物的总重量的脱模材料的相对量，因此，根据实施例的用于软模具的组合物可允许软模具具有低的脱模力值。
即，由于用于软模具的组合物包括硅氧烷化合物，因此可减小软模具的脱模力，因此，可容易地使软模具从形成的图案脱离。
图7A和图7B示出通过使用根据实施例的软模具(在使用软模具一次之后)形成的光学图案的形状。图8A和图8B示出通过使用根据实施例的软模具(在使用软模具100次之后)形成的光学图案的形状。
图7A是通过使用示例1的软模具形成的光学图案的表面的扫描电子显微镜(SEM)图像，图7B是沿图7A的线I-I'截取的剖面的SEM图像。图7A和图7B示出通过第一次使用示例1的制造的软模具制成的光学图案的图像。
图8A是通过使用被使用了100次的示例1的软模具形成的光学图案的表面的SEM图像，图8B是沿图8A的线II-II'截取的剖面的SEM图像。在图8A的平面图像中观察到一些碎片，但是可确认的是，在图8B的剖面图像中观察到光学图案的总体良好的形状。
即，可理解的是，即使在示例的软模具被使用了超过100次时，示例的软模具也展现出优异的耐久性和良好的脱模性质。
图9是示出包括线栅偏振层的显示装置的实施例的剖视图。图9中示出的显示装置DD可包括形成在第一基底SUB1的顶表面上的线栅偏振层WGP。即，线栅偏振层WGP可以为盒内型偏振层。
图9中示出的显示装置DD可以为液晶显示装置，该液晶显示装置包括第一基底SUB1、设置为面对第一基底SUB1的第二基底SUB2以及设置在第一基底SUB1与第二基底SUB2之间的液晶层LCL。
包括纳米尺寸的光学图案ML-P的线栅偏振层WGP可设置在第一基底SUB1上。另外，线栅偏振层WGP还可包括反射图案ML-R。
被构造为覆盖线栅偏振层WGP的基体绝缘层IL以及设置在基体绝缘层IL上的像素阵列可被包括在第一基底SUB1上。像素阵列可包括薄膜晶体管TR和像素电极PE。另外，薄膜晶体管TR可包括栅电极GE、栅极绝缘层GI、半导体层SL、源电极SE和漏电极DE。
滤色器层CF和遮光层BM可设置在第二基底SUB2的面对第一基底SUB1的一个表面上。
在线栅偏振层WGP中，光学图案ML-P可对应于显示装置DD的显示区设置，反射图案ML-R可对应于非显示区设置。参照图9，反射图案ML-R可对应于薄膜晶体管TR设置。
虽然未在图9中示出，但是背光单元(未示出)可设置在显示装置DD的第一基底SUB1下方。可在包括光学图案ML-P的线栅偏振层WGP中使从背光单元(未示出)通过第一基底SUB1提供的光偏振。
在图9中示出的显示装置DD中，偏振层PL可设置在第二基底SUB2上。在图9中，虽然示出偏振层PL设置在第二基底SUB2的顶表面上，但是发明构思的实施例不限于此，偏振层PL可设置在第二基底SUB2的底表面上。即，偏振层PL可以为盒内偏振层。偏振层PL可具有与线栅偏振层WGP垂直的偏振轴。偏振层PL可以为膜型偏振构件或涂覆型偏振层。例如，偏振层PL可以为具有偏振片的偏振膜。另外，可通过涂覆包括二色性染料的材料来形成偏振层PL。
在图9中示出的显示装置DD的实施例中，可通过使用上述根据实施例的软模具来形成线栅偏振层WGP。由于根据实施例的软模具具有良好的脱模性质和高耐久性，因此可改善包括有通过使用该软模具形成的线栅偏振层WGP的显示装置DD的生产率。
根据实施例的用于软模具的组合物可通过包括硅氧烷化合物来使得软模具具有低的脱模力值。另外，根据实施例的用于软模具的组合物可通过包括至少一种多官能团的丙烯酸酯单体来改善软模具的耐久性。
即，由于通过使用包括多官能团的丙烯酸酯单体和硅氧烷化合物的用于软模具的组合物所制造的软模具可具有高耐久性和良好的脱模性质，因此可容易地使软模具从由主模具形成的图案或纳米压印方法形成的图案脱离，因此，软模具的重复使用的次数可增多，以改善光学构件制造工艺的生产率。
可提供用于软模具的组合物，通过包括具有多官能基团的丙烯酸酯单体以及硅氧烷化合物，即使被重复使用，该组合物也具有良好的脱模性质。
由于根据发明构思的实施例的软模具具有高耐久性和良好的脱模性质，因此可改善通过使用根据发明构思的实施例的软模具制造的光学构件的质量并且可改善光学构件的制造的生产率。
虽然已经参照本发明构思的示例性实施例描述了本发明构思，但是本领域技术人员将理解的是，在不脱离如权利要求所阐述的本发明构思的精神和范围的情况下，可以以各种方式修改和改变本发明构思。
因此，发明构思的范围不由发明构思的具体实施方式限定，而是由权利要求限定。

Claims (10)

1.一种用于软模具的组合物，所述组合物包括：
基于用于所述软模具的所述组合物的总重量的40wt％或更多至96wt％或更少的至少一种多官能团的丙烯酸酯单体；
基于用于所述软模具的所述组合物的所述总重量的3wt％或更多至15wt％或更少的至少一种光引发剂；以及
基于用于所述软模具的所述组合物的所述总重量的0.1wt％或更多至50wt％或更少的硅氧烷化合物。
2.根据权利要求1所述的用于软模具的组合物，其中，所述至少一种多官能团的丙烯酸酯单体包括具有三个或更多个丙烯酸酯基团的第一丙烯酸酯单体。
3.根据权利要求2所述的用于软模具的组合物，其中，所述至少一种多官能团的丙烯酸酯单体还包括具有两个丙烯酸酯基团的第二丙烯酸酯单体。
4.根据权利要求1所述的用于软模具的组合物，其中，所述至少一种多官能团的丙烯酸酯单体包括从由三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧基化丙三醇三丙烯酸酯、丙三醇(PO)m三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、三(2-羟乙基)异氰脲酸酯三丙烯酸酯、季戊四醇(EO)n四丙烯酸酯、二三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯组成的组中选择的至少一种，其中，m是1或更大至4或更小的整数，n是1或更大至4或更小的整数。
5.根据权利要求1所述的用于软模具的组合物，其中，所述至少一种多官能团的丙烯酸酯单体包括乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯和三羟甲基丙烷三丙烯酸酯。
6.根据权利要求1所述的用于软模具的组合物，其中，所述至少一种光引发剂包括：
第一光引发剂，通过第一紫外光激活；以及
第二光引发剂，通过具有比所述第一紫外光的波长长的波长的第二紫外光激活。
7.根据权利要求6所述的用于软模具的组合物，其中，所述第一光引发剂与所述第二光引发剂的比例在1:1至2:1的范围内。
8.根据权利要求1所述的用于软模具的组合物，其中，所述组合物包括：
基于用于所述软模具的所述组合物的所述总重量的80wt％或更多至96wt％或更少的所述至少一种多官能团的丙烯酸酯单体；
基于用于所述软模具的所述组合物的所述总重量的5wt％或更多至15wt％或更少的所述至少一种光引发剂；以及
基于用于所述软模具的所述组合物的所述总重量的2wt％或更多至10wt％或更少的所述硅氧烷化合物。
9.一种用于软模具的组合物，所述组合物包括：
具有多个丙烯酸酯基团的至少一种丙烯酸酯单体；
第一光引发剂，通过第一波长激活；
第二光引发剂，通过比所述第一波长长的第二波长激活；以及
由式1表示的硅氧烷化合物：
[式1]
其中，在式1中，
X为氢或甲基，m1和m2均独立地为2或更大至30或更小的整数，n1和n2均独立地为0或更大至5或更小的整数。
10.一种包括具有多个凹部的不平坦的图案的软模具，
其中，通过使用用于软模具的组合物来制造所述不平坦的图案，所述用于软模具的组合物包括：基于所述组合物的总重量的40wt％或更多至96wt％或更少的至少一种多官能团的丙烯酸酯单体；基于所述组合物的所述总重量的3wt％或更多至15wt％或更少的至少一种光引发剂；以及基于所述组合物的所述总重量的0.1wt％或更多至50wt％或更少的硅氧烷化合物。
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