CN108627432A - 粒子表征 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及粒子表征。一种用于粒子表征的装置(200)包括:用于保持样本(215)的样本室(210);被配置为用照射光束(230)照射样本(215)的光源(220)和多个光检测器(240,241,242),每个光检测器(240,241,242)被配置为沿着相应的检测器路径(250,251,252)接收由照射光束(230)和样本(215)之间的相互作用产生的散射光,其中,每个相应的检测器路径(250,251,252)与照射光束(230)成基本相同的角度(260)。

Description

粒子表征
技术领域
本发明涉及一种用于粒子表征的装置。
背景技术
由于散射光的强度的R6依赖性(对于半径为R的粒子),用于粒子表征的光散射方法,特别是动态光散射(DLS),长期以来受诟于样本品质的敏感性。这种依赖性意味着通常在制药应用中发现的、并且在制药应用中感兴趣的聚合材料的微小部分主导着测量,尺寸测量的精确度下降的越小,散射部分越弱。为了准确测量什么是较小蛋白质组分的通常非常低的浓度,通常需要对样本制备、过滤、严格清洗烧杯、容器,样本比色皿等进行重大努力,以确保聚合材料或过滤次品不存在于实例中。
进一步地,通常使用数据拒绝方案,其简单地拒绝计数率高度可变的数据。当较大的粒子或聚合体在散射体积(由照射光束和检测光束的相交点定义)内时,出现高度变化的计数率,有效地停止数据采集,直到聚合体或较大粒子已经移出样本内的检测器体积。因此,使用DLS需要大量的准备时间用于潜在的少量测量。
发明内容
用于解决或改善至少一些上述问题的装置是期望的。
根据本发明的第一方面,提供了一种用于粒子表征的装置,包括用于保持样本的样本室、光源和多个光检测器。光源被配置为用照射光束照射样本,并且每个光检测器被配置为沿着相应的检测器路径接收由照射光束和样本之间的相互作用产生的散射光。每个相应的检测器路径与照射光束成基本相同的角度。
照射光束和每个相应检测器路径之间的交点被称为检测区域或散射体积,即散射光由散射体积/检测区域中的照射光束和样本之间的相互作用产生。
每个检测器路径和照射光束之间的角度可等于该检测器路径与散射体积中的照射光束的交叉角。每个检测器路径与照射光束之间的角度可以是由相应的光检测器接收的散射光的散射角。
在一些实施例中,由多个光检测器接收的散射光可包括前向散射光或后向散射光或侧向散射光。照射光束和多个检测路径之间的角度可以是锐角,如在前向角度散射检测(例如Z电位测量)的情况下,或者是钝角,例如适合于后向散射检测(用于尺寸检测几何图形中),或者检测路径可垂直于照射光束。
多个检测点可具有提供非常快的测量时间的优点。总测量时间可能与N2成反比,其中N是通道数。八通道光纤阵列是市售的,具有将测量时间缩短到1/64=0.015625的潜力。例如,这将使1分钟的测量时间缩短到小于0.95s。
在传统的光散射仪器中,使用单个检测器(以单个散射角度)。为了获得具有适当的信噪比的测量,可能需要在相对较长时间内持续测量。在长时间内,降低了噪声对从信号中获得的相关图(correlogram)的影响。还已知使用多个光检测器,每个在不同的角度以进行多角度动态光散射测量,从而提高了测量的精度。
根据一个实施例,每个检测器可响应于所接收的散射光产生强度信号。该装置可包括一处理器,该处理器被配置为自相关每个强度信号以产生多个自相关函数。处理器可组合每个自相关函数以产生对应于特定散射角的总自相关函数(例如通过将每个相关时间处的每个自相关函数值相加)。总自相关函数可被归一化。总自相关函数可对应于自相关函数的平均值。以这种方式组合自相关的效果是减少在自相关函数中提供足够的信噪比所需的测量时间。
为了最大化速度优势,处理器可被配置为至少部分地并行地对每个强度信号执行自相关函数。这不是必需的,并且执行相关操作所花费的时间的重要性取决于处理器的速度——如果处理器足够快,则顺序执行相关操作可能是合适的。
本发明不排除在不同角度的另一些光检测器:这种装置中的至少一个检测角度可以是“快速(fast)”角度,包括相同角度的多个光检测器。在存在多于一个“快速”角度的地方,如上所述,可通过在每个“快速”角度内组合自相关函数来将仪器配置为执行多角度DLS。
处理器可被配置为根据总自相关函数确定以下中的至少一个:粒度(Zaverage)、多分散指数(pdi)和粒度分布。这样做的适当方法包括众所周知的累积方法、CONTIN算法或任何其它去卷积方法。
处理器可被配置为识别并丢弃、或单独分析对应于污染物或大粒子的强度信号和/或自相关函数。识别可基于预定的拒绝阈值或动态拒绝阈值。
为了处理污染强度信号的大粒子,处理器可被配置为识别包括来自较大粒子或污染物的散射的每个强度信号的部分(例如,基于强度阈值)。包括来自大粒子的散射的强度信号可被部分地或完全地丢弃(在自相关和组合之前)。
识别具有较大粒子或污染物的强度信号的一种方法是执行自相关操作。如果自相关函数的截距低于阈值,则这可能表示噪声测量。可以使用多分散指数或Zaverage粒度作为识别包含污染物或较大粒子的信号的标准。对于本文提到的每个标准,可使用预定的阈值,或者可基于整体测量数据(例如,基于测量数据的统计特性)来确定动态拒绝阈值。例如,可为数据(整体)确定平均强度、pdi或Zaverage,并且可基于与该平均值的标准偏差的数量来设置拒绝阈值。这种动态阈值具有更广泛地适用于不同测量场景的优点。被识别为被拒绝的测量数据可从总自相关函数中排除和/单独分析(例如,以研究聚合物和/或污染物)。
照射光束优选地由激光器提供。光检测器可以是雪崩光电二极管(APD)或适用于静态、动态或电泳光散射测量的其他光子计数设备。可使用这些测量确定的参数的示例包括分子量测定、尺寸和电泳迁移率以及Z电位。
可根据分散在邻近表面的(电解质)样本中的粒子(例如示踪粒子)的运动来确定表面的表面Z电位。可平行于表面的平面施加电场(例如通过第一和第二电极)。在表面附近,电渗透粒子传输将在与表面平行的第一方向上占主导地位。进一步地,从表面开始,电泳粒子传输将在相反的第二方向上占主导地位。
本领域的技术人员将意识到,可通过检测由多普勒效应产生的调制散射光中的频移来确定检测区域中的粒子的移动。可使用任何合适的方法来实现,诸如傅里叶分析或PALS(相位分析光散射),其确定参考光束和散射光之间的相移。
为了确定表面Z电位,可能需要从距离表面多个距离的检测区域获得测量值,以便确定电渗透和电泳粒子传输之间的关系。在现有技术中,这可通过相对于固定检测区域移动样本中的表面来实现。本发明的实施例可提供距离表面多个距离的检测区域,每个检测区域对应于检测器路径。这可使得能够快速获得表面Z电位测量,而无需调整表面或光学元件的位置。
该装置可包括调制器(例如移动镜或声光调制器),被配置为向照射光束或检测路径提供调制。该装置可包括分束器,其被配置为向至少一个检测器提供照射光束的一部分,用于通过与散射光混合来进行外差检测。
该装置可包括处理器,被配置为根据来自多个光检测器的输出信号确定Z电位,每个输出信号对应于相应的检测器路径的测量位置。
该装置可进一步包括多个光纤,每个光纤对应于光检测器并且被布置为将来自相应检测器路径的光耦合到相应的光检测器。
单模光纤是从单一相干区域内收集光的方便和简单的方法,尽管可以理解,可使用多模光纤或少模光纤(few-mode fibre)。
光纤可是偏振的(polarising)或保偏的(polarisation maintaining)。保持或选择特定的偏振状态可以使得能够确定关于样本粒子(例如形态)的附加信息。
光纤可被布置成在第一端部处接收来自检测器路径的散射光,并且每个光纤的第一端部可基本上平行。该设置的一个优点是易于生产和易于光学对准。
可替代地,每个光纤可以以不同的角度定向。在任一种情况下(平行的光纤端部或成不同角度的光纤端部),光纤的端部可由一个或多个光纤支撑构件支撑。
每个光纤的第一端部可包括一维光纤阵列。
光纤阵列的间距可以是50μm至500μm。
每个光纤的第一端部可包括二维光纤阵列。可使用任何方便的组装布置,诸如矩形阵列或六边形排列的阵列。这将允许检测域大小,其中域是样本中常见行为的区域。
该装置可进一步包括一个或多个光纤支撑构件。
光纤支撑构件可通过光纤支撑构件中的“V”凹槽阵列来支撑光纤的第一端部。
每个光纤的第一端部由光纤芯组成,任何相关的包层、缓冲和/或护套都可从其移除。
这使得能够在较小区域内具有更大的光纤组装密度,有利于在小体积内的大量检测位置。阵列中的每个光纤的直径可以是50μm至500μm,使得保持非常小的检测体积,带来了最小化样本体积以适应检测点阵列
作为光纤的替代,该装置可包括多个针孔孔径,其中,每个光检测器被配置为经由相应的针孔孔径接收来自相应检测器路径的光。
该替代方案可给出与使用单模光纤相似的性能。使用非光纤的适当受限的视野,大体积的光学系统可能随着其他光被止动件(或针孔孔径)拒绝而导致在检测器上成像的针孔相干区域。这否决了使用偏保光纤,偏保光纤可以有益于的是:其依赖于检测到的光的偏振状态的测量。
任何前述陈述的装置可进一步包括多个透镜元件,每个透镜元件对应于光检测器并且布置为将来自相应检测器路径的光耦合到相应的光检测器。
多个透镜元件可包括透镜元件阵列。透镜元件阵列将为沿着检测路径散射的光的光纤或针孔提供高耦合效率。该阵列可以是二维透镜阵列或一维阵列。
多个透镜元件中的至少一些可具有不同的屈光力。多个透镜元件中的至少一些可被布置为使得不同的检测器路径在进入它们各自的光纤之前以不同的角度分叉。这种布置可用于将每个检测器光学路径的宽度与检测区域(即,照射光束和相应的检测器光学路径之间的相交区域)处的照射光束的宽度相匹配。在一个实例中,多个透镜元件中的每个透镜可以是具有不同光斑尺寸的梯度折射率(GRIN)透镜。
光源可包括多个光源元件。光源可被配置为用多个照射光束或片光(lightsheet)照射样本。可选择地/另外,样本室可被配置为垂直或平行于照射光束移动(例如,安装在横向或纵向移动台上)。这种布置允许获得3D散射信息,并且可应用于需要2D扩散系数数据的任何应用,诸如胶凝域、固化、沉降和组装等。
检测路径可穿过透镜元件阵列和检测点之间的进一步的光学组件。
检测器路径可被布置为分别在沿着照射光束的多个位置处与照射光束(或多个光束)相交。
此外,多个位置可以处于距离样本室的侧壁多个不同的距离。样本室的侧壁可以是在最靠近光源的室侧(沿着照射光束)、基本上垂直于照射光束的壁(即,具有与照射光束平行的15度以内的表面法线),。
每个检测器路径可被布置为在沿着照射路径的不同位置和/或距离样本室的侧壁不同的距离处与照射路径相交。
使用具有相似角度、但在样本室内的不同位置处的检测路径的多个光检测器意味着如果一个或多个通道由于存在聚合体(或较大的粒子)而偏斜,则来自该通道(或多个通道)的数据可能会被拒绝,直到聚合体或过滤次品已经被清除。但是,由于可独立分析每个通道,所以不包含聚合体的其余通道中的数据收集可以保持活动状态。因此,该方案对样本制备和质量较差的样本可能显著地较不敏感。
根据另一方面,提供了一种确定表面Z电位的方法,包括:
在邻近所述表面的样本中提供电场;
用至少一个照射光束照射样本;
通过沿着多个检测器路径的样本中的粒子检测从散射体积中的照射光束散射的光,每个检测器路径对应于不同的光检测器,检测器路径对应于距离所述表面不同距离处的多个测量位置,并且每个检测器路径与所述照射光束成相同的角度,其中,每个检测器路径和所述照射光束之间的角度等于该检测器路径与所述散射体积中的所述照射光束的交叉角;
根据所检测到的散射光确定表面Z电位。
根据本发明的另一方面,提供了一种确定粒度或粒度分布的方法,包括:
用至少一个照射光束照射样本;
通过沿着多个检测器路径的样本中的粒子检测散射体积中的照射光束散射的光,每个检测器路径与所述照射光束成相同的角度,以产生针对每个检测器路径的强度信号;其中,每个检测器路径和所述照射光束之间的角度等于该检测器路径与所述散射体积中的所述照射光束的交叉角;
对所述强度信号进行自相关运算以产生自相关函数;
识别与污染物和/或大粒子相对应的强度信号和/或自相关函数;
将未被识别为与污染物相对应的自相关函数组合以产生总自相关函数;
根据所述总自相关函数确定所述粒度或粒度分布。
根据本发明的另一方面,提供了一种确定粒度或粒度分布的方法,包括:
用至少一个照射光束照射样本;
通过沿着多个检测器路径的样本中的粒子检测散射体积中的所述照射光束散射的光,每个所述检测器路径对应于不同的光检测器,检测器路径对应于距离样本室的中心不同距离处的多个测量位置,每个检测器路径与所述照射光束成相同的角度,其中,每个检测器路径和所述照射光束之间的角度等于该检测器路径与所述散射体积中的所述照射光束的交叉角;
排除显示多次散射和/或不充分散射的测量位置;
根据未被排除的测量位置确定所述粒度或粒度分布。
每个实施例或方面的特征可与每个其他实施例或方面的特征组合,以隔离或组合的方式。
术语“包括”不排除其他元件或步骤,术语“一个”或“一”不排除多个。
附图说明
将参照附图仅通过实例的方式来描述本发明的实施例,其中:
图1是现有技术的光散射粒子表征装置的示意图;
图2是根据实施例的包括一束光纤的光散射检测装置的示意图;
图3是替代实施例的示意图,其中一束光纤定义穿过安装在移动台上的聚焦透镜的检测路径;
图4是示例性光纤阵列;
图5是示例性透镜元件阵列;
图6是用于将光纤耦合到每个光检测器的示例性布置;
图7是包括针孔孔径阵列的实施例的示意图,其中多个光检测器包括在焦平面阵列(focal plane array)中,每个针孔孔径限定到相应的光检测器的检测路径。
图8是各光纤的端部以不同的角度配置、并且通过聚焦透镜将侧面散射检测路径聚焦到样本中的实施例的示意图;和
图9是各光纤的端部以不同的角度布置、并且通过聚焦透镜将锐角散射角度检测路径(例如后向散射或前向散射)聚焦到样本中。
具体实施方式
在下面的描述中,相同的附图标记通常用于指代不同实施例中的对应或相似的特征,其中第一数字被增加以对应于所讨论的图(例如,110和210分别对应于图1和图2中的样本室)。在本公开中,术语“后向散射光”是指具有与照射光束的传播方向相反的传播方向分量的散射光,术语“前向散射光”是指具有与照射光束的传播方向相同的传播方向分量的散射光,以及“侧向散射光”是指在与照射光束的传播方向垂直的方向上散射的光。
参考图1,示出了现有技术的光散射粒子表征装置100,其中,光源120照射样本室110内的样本115。光检测器140被配置为沿着与照射光束130成角度160的检测器路径150接收由照射光束130和样本115之间的相互作用产生的散射光,。在该实例中,光纤170被配置为将来自检测器路径150的光耦合到光检测器140。
参考图2,示出了用于粒子表征的装置200的示例实施例。该装置200包括用于保持样本215的样本室210、光源220、多个光检测器240,241,242、多个光纤270,271,272和透镜元件阵列290。
光源220被配置为用照射光束230照射样本215。每个光检测器240,241,242被配置为沿着相应的检测器路径250,251,252接收由照射光束230和样本215之间的相互作用产生的散射光。每个检测器路径250,251,252与照射光束230的角度260基本上相同。每个检测器路径250,251,252和照射光束230之间的角度等于在散射体积(volume)(即,检测路径250,251,252与照射光束230相交的区域)中检测器路径250,251,252和照射光束230之间的相交的角度。每个光纤270,271,272对应于光检测器240,241,242并且被布置成将来自相应检测器路径250,251,252的光耦合到对应的光检测器240,241,242。每个光纤270,271,272被布置成在第一端部处接收来自每个相应检测器路径250,251,252的散射光。第一端部基本上平行。透镜元件阵列290为沿着每个检测路径250,251,252散射的光的光纤270,271,272提供了高的耦合效率。检测路径250,251,252可以穿过(traverse)在透镜元件阵列和检测点之间的另外的光学组件。
尽管为了清楚仅示出了每个组件中的三个,但是应当理解,可使用更多或更少的光检测器和相应的检测器路径。
参考图3,示出了用于粒子表征的装置300的示例实施例。与图2相同,装置300包括用于保持样本315的样本室310、光源320、多个光检测器340,341,342、多个光纤370,371,372和透镜元件阵列395。
该实施例分享了图2的实施例的所有特征,但是与图2不同,可以通过移动可移动透镜台335来调整样本内的散射体积的位置。可移动透镜台335可安装在移动台上(例如电驱动移动台)。照射光束330和检测光束路径351,352,353都通过透镜353,并且移动透镜335因此改变了照射330和检测光束351,352,353相交的样本315内的位置。在一些实施例中,照射光束和检测光学路径中的至少一个穿过可移动透镜335(照射光束和检测光学路径两者不必都穿过可移动透镜335)。
替代的布置(未示出)可省略可移动透镜335(有时称为NIBS透镜或非侵入式后向散射透镜),并且替代地提供样本115内的检测位置的静态范围,每个检测位置对应于检测光束351,352,353与照射光束330的相交处。在另一个替代布置中,样本内的多个检测位置可以与一光学装置相组合,该光学装置提供在样本315内前后移动多个检测点的能力。用于低密度样本的检测区域的最佳位置可在样本室的中心处或中心附近。这可减少来自样本室壁的散射贡献,并且可使散射信号最大化。高浓度(混乱的)样本的最佳位置可与池壁相邻,使得多次散射最小化,这可能降低测量的准确性。
在图3的布置中,光纤371,372,373经由散射体积位置调整装置335,390被光耦合到样本室。这允许调整与每个照射光束和检测光束关联的散射体积的位置。除了可移动透镜元件335之外,散射体积位置调整装置335,395可包括另外的光学组件。透镜元件阵列395可安装在移动台上,以便能够调整样本中每个检测路径的焦点,这可提高收集效率。
参考图4,示出了示例性光纤阵列401。光纤阵列401包括光纤470-478和光纤支撑构件422。每个光纤470-478的第一端部470a-478a以一维阵列布置。在替代的布置中,每个光纤的第一端部470a-478a可以以二维阵列布置。可使用任何方便的组装布置,诸如矩形阵列或六边形组装阵列。这些第一端部470a-478a由光纤芯组成,任何相关的包层(cladding)、缓冲器(buffer)和/或护套(jacket)已从其移除。如前所述,增加了光纤470-478的组装密度,其允许在小体积内的大量检测位置。光纤支撑构件401通过“V”凹槽阵列支撑光纤的第一端部470a-478a。
参考图5,示出了实例透镜元件阵列590。如前所述,经由透镜元件阵列590将光纤271,272,273光学耦合到样本室210可有助于最大化耦合效率。虽然描述了二维阵列,但阵列可以是二维透镜阵列或一维透镜阵列。
参考图6,示出了用于将光纤670-678耦合到每个光检测器的示例性装置603。该装置包括图4的示例性光纤阵列401,其包括光纤支撑构件602、可使用安装孔607安装的接线盒604、用于将接线盒耦合到光连接器609a-h的光纤608a-h。这些连接器将装置耦合到分离的光检测器240,241,242(等)。在这种布置中,将光纤封装在聚酯共聚物(例如Hybrel)中以进行保护。
参考图7,示出了用于粒子表征的装置700的示例性实施例。与图3相同,装置700包括用于保持样本的样本室710、以阵列布置的多个光检测器740和透镜元件阵列790。
与图3不同,多个照射光束730-733照射样本。阵列740内的每个光检测器被配置成沿着相应的检测器路径750-755接收由照射光束730-733和样本之间的相互作用产生的散射光。每个相应的检测器路径750-755与照射光束730-733的角度大致相同(在这种情况下为90度,但是可使用任何其它角度)。提供了针孔孔径阵列(array of pin-holeapertures)780。每个孔径对应于阵列740中的光检测器,并且被布置成将来自相应检测器路径750-755的光耦合到相应的光检测器。透镜元件阵列790将孔径780耦合到沿着每个检测路径750-755散射的光。检测路径可穿过针孔孔径阵列780和检测点740之间的另外的光学组件。
在该示例中,样本室710可被配置为垂直或平行于照射光束730-733移动(例如安装在移动台上)。这种布置允许获得3D信息,并且可应用于需要2D扩散系数数据的任何应用,诸如胶凝域(gelling domains)、凝固(solidification)、沉降(settling)和组装(packing)。
参考图8,示出了用于粒子表征的装置800的另一个实施例。与图3的实施例相同,装置800包括用于保持样本815的样本室810、光源(未示出)、多个光检测器和多个光纤871,872。
再次,光源被配置为用照射光束830照射样本815,并且每个光检测器被配置成沿着相应的检测器路径851,852接收由照射光束830和样本815的相互作用产生的散射光。每个相应的检测器路径851,852再次与照射光束830的角度860大致相同,并且每个光纤871,872对应于光检测器,并且布置成将来自相应检测器路径851,852的光耦合到相应的光检测器。每个光纤871,872被布置成在第一端部处接收来自每个相应检测器路径851,852的所述散射光。
与图2不同,光纤的第一端部以不同的角度定向,而不是基本平行。另外,不是透镜元件阵列,而是通过单个透镜893首先地将检测器路径折射(从样本室810)。每个光纤871,872与耦合透镜(例如梯度折射率或GRIN透镜)892,893相关联。这些耦合透镜892,893可以是不匹配的(例如,具有不同的光斑尺寸和/或不同的有效焦距),和/或被布置成使得每个相应的检测器路径851,852在进入每个光纤871,872之前以不同的角度分叉。这种布置可被配置为产生沿着聚焦的照射光束830的匹配的光束宽度。
参考图9,示出了用于粒子表征的装置900的另一个实施例。示例性装置900与图8(800)的相同,但是示出了除了(或作为替代)图8所示的90度散射之外,装置900可用于锐角散射。
虽然已经描述了具体实施例,但是这些实施例并不旨在限制本发明的范围,这应当参考所附权利要求来确定。许多修改和变化是可能的,其有意在权利要求的范围内。

Claims (30)

1.一种用于粒子表征的装置,包括:
用于保持样本的样本室;
被配置为用照射光束照射所述样本的光源;
多个光检测器,每个光检测器被配置为沿着相应的检测器路径接收散射光,所述散射光由散射体积中的所述照射光束和所述样本之间的相互作用而产生,其中,每个相应的检测器路径和所述照射光束成基本相同的角度;
其中,每个检测器路径和所述照射光束之间的角度等于所述检测器路径与所述散射体积中的所述照射光束的交叉角。
2.根据权利要求1所述的装置,还包括:
多个光纤,每个光纤对应于光检测器并且被布置为将来自相应的检测器路径的光耦合到相应的光检测器。
3.根据权利要求2所述的装置,其中,每个光纤被布置为在第一端部处接收来自所述检测器路径的所述散射光;并且
其中,每个光纤的所述第一端部基本上平行。
4.根据权利要求3所述的装置,其中,每个光纤的所述第一端部包括一维光纤阵列。
5.根据权利要求3所述的装置,其中,每个光纤的所述第一端部包括二维光纤阵列。
6.根据权利要求2所述的装置,其中,每个光纤被布置为在第一端部处接收来自所述检测器路径的所述散射光;并且
其中,每个光纤的所述第一端部以不同的角度定向。
7.根据权利要求3至6中任一项所述的装置,还包括一个或多个光纤支撑构件。
8.根据权利要求6或权利要求7所述的装置,其中,所述光纤的所述第一端部均由光纤支撑构件中的“V”凹槽阵列支撑。
9.根据权利要求3至8中任一项所述的装置,其中,每个光纤的所述第一端部由光纤芯组成,任何相关的包层、缓冲和/或护套已从所述光纤芯去除。
10.根据权利要求1所述的装置,还包括:
多个针孔孔径,其中,每个光检测器被配置为经由相应的针孔孔径接收来自相应的所述检测器路径的光。
11.根据任一前述权利要求所述的装置,还包括:
多个透镜元件,每个透镜元件对应于光检测器并且被布置为将来自相应的检测器路径的光耦合到相应的光检测器。
12.根据权利要求11所述的装置,其中,所述多个透镜元件包括透镜元件阵列。
13.根据权利要求11所述的装置,其中,所述多个透镜元件中的至少一些是不匹配的。
14.根据权利要求11或13所述的装置,其中,来自所述样本的所述检测器路径中的至少一些以不同的快慢差率分叉。
15.根据前述权利要求中任一项所述的装置,还包括多个光源。
16.根据任一前述权利要求所述的装置,其中,所述光源或每个光源被配置为用多个照射光束照射所述样本。
17.根据任一前述权利要求所述的装置,还包括样本移动台,被配置为垂直和/或平行于所述照射光束移动所述样本室。
18.根据任一前述权利要求所述的装置,其中,所述检测器路径被布置为在沿着所述照射光束的多个位置处分别与所述照射光束相交。
19.根据权利要求18所述的装置,其中,所述多个位置处于距离所述样本室的侧壁多个不同的距离处。
20.根据权利要求19所述的装置,其中,每个检测器路径被布置为在沿着所述照射路径的不同位置处和/或在距离所述样本室侧壁的不同距离处与所述照射路径相交。
21.根据任一前述权利要求所述的装置,其中,每个检测器被配置为响应于所述散射光产生强度信号,并且所述装置包括处理器,所述处理器被配置为自相关每个强度信号以产生多个自相关函数,并且组合每个自相关函数以产生总自相关函数。
22.根据权利要求21所述的装置,其中,所述处理器被配置为根据所述总自相关函数确定平均粒度、多分散性和粒度分布中的至少一个。
23.根据权利要求21所述的装置,其中,所述处理器被配置为识别并丢弃、或分别地分析对应于污染物或大粒子的强度信号和/或自相关函数。
24.根据权利要求23所述的装置,其中,所述识别基于预定拒绝阈值或动态拒绝阈值。
25.根据权利要求18所述的装置,还包括第一电极、第二电极和表面,其中,所述第一电极和所述第二电极可操作为在平行于所述表面的方向上在所述样本中产生电场,并且所述多个位置包括距离所述表面不同的距离的位置。
26.根据权利要求25所述的装置,还包括处理器,所述处理器被配置为根据与距离所述表面不同距离处的测量位置对应的光检测器的输出确定Z电位。
27.根据权利要求26所述的装置,其中,所述装置可操作为相对于所述样本不移动所述表面、并且不移动任何检测器路径或所述照射光束来确定Z电位。
28.一种确定表面Z电位的方法,包括:
在邻近表面的样本中提供电场;
用至少一个照射光束照射样本;
通过沿着多个检测器路径的样本中的粒子检测从散射体积中的照射光束散射的光,每个所述检测器路径对应于不同的光检测器,所述检测器路径对应于距离所述表面不同距离处的多个测量位置,并且每个检测器路径和所述照射光束成相同的角度,其中,每个检测器路径和所述照射光束之间的角度等于该检测器路径与所述散射体积中的所述照射光束的交叉角;
根据所检测到的散射的光确定表面Z电位。
29.一种确定粒度或粒度分布的方法,包括:
用至少一个照射光束照射样本;
通过沿着多个检测器路径的样本中的粒子检测从散射体积中的所述照射光束散射的光,每个检测器路径与所述照射光束成相同的角度,以产生针对每个检测器路径的强度信号;其中,每个检测器路径和所述照射光束之间的角度等于该检测器路径与所述散射体积中的所述照射光束的交叉角;
对所述强度信号进行自相关运算以产生自相关函数;
识别与污染物和/或大粒子相对应的强度信号和/或自相关函数;
将未被识别为与污染物相对应的自相关函数组合以产生总自相关函数;
根据所述总自相关函数确定所述粒度或粒度分布。
30.一种确定粒度或粒度分布的方法,包括:
用至少一个照射光束照射样本;
通过沿着多个检测器路径的样本中的粒子检测从散射体积中的所述照射光束散射的光,每个所述检测器路径对应于不同的光检测器,所述检测器路径对应于距离样本室的中心不同距离处的多个测量位置,每个检测器路径与所述照射光束成相同的角度,其中,每个检测器路径和所述照射光束之间的角度等于该检测器路径与所述散射体积中的所述照射光束的交叉角;
排除表现出多次散射和/或不充分散射的测量位置;
根据未被排除的测量位置确定所述粒度或粒度分布。
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