CN108307616B - 部件安装系统及部件安装方法以及修正值计算装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种部件安装系统及部件安装方法以及修正值计算装置。包括：部件安装工序，向基板安装部件；位置偏离量获取工序，获取安装于基板的部件从标准位置偏离的位置偏离量；和修正值计算工序，基于获取到的位置偏离量来计算对部件安装工序中的安装动作进行修正的反馈修正值。而且，在修正值计算工序中，按照基板上的多个分割区域的每个分割区域，根据安装在多个分割区域内的部件的位置偏离量来计算反馈修正值，在部件安装工序中，利用安装部件的多个分割区域的反馈修正值来修正安装动作。

Description

部件安装系统及部件安装方法以及修正值计算装置

技术领域

本公开涉及利用基于安装于基板的部件的位置偏离量计算出的反馈修正值而向基板安装部件的部件安装系统及部件安装方法、以及计算反馈修正值的修正值计算装置。

背景技术

部件安装装置通过由X轴梁以及Y轴梁构成的XY梁而在水平方向上移动的安装头所具备的吸附嘴，取出部件供给装置所供给的部件并安装于基板。以往，为了提高在基板安装部件的安装精度，执行如下动作，即，由检查装置等检查安装在基板上的部件从标准位置偏离的安装位置偏离，利用基于安装位置偏离量而计算出的反馈修正值来修正部件安装装置的安装动作(例如，参照日本特开2016-58603号公报)。

在日本特开2016-58603号公报的部件安装系统中，由配置在部件安装装置的下游的检查装置对安装在基板上的每个部件检测安装位置偏离量，利用按照每个部件而计算出的反馈修正值来修正部件安装装置中的安装动作。

发明内容

本公开的部件安装系统具备：部件安装部，向基板安装部件；安装控制部，控制所述部件安装部所执行的向基板安装部件的安装动作；位置偏离量获取部，获取由所述部件安装部安装于基板的部件从标准位置偏离的位置偏离量；和修正值计算部，基于由所述位置偏离量获取部获取到的所述位置偏离量，计算对所述部件安装部的安装动作进行修正的反馈修正值，所述修正值计算部按照所述基板上的多个分割区域的每个分割区域，根据安装在所述多个分割区域内的所述部件的所述位置偏离量来计算所述反馈修正值，所述安装控制部利用安装所述部件的所述多个分割区域的所述反馈修正值来修正所述部件安装部所执行的所述安装动作。

本公开的部件安装方法包括：部件安装工序，向基板安装部件；位置偏离量获取工序，获取在所述部件安装工序中安装于基板的部件从标准位置偏离的位置偏离量；和修正值计算工序，基于在所述位置偏离量获取工序中获取到的所述位置偏离量，计算对所述部件安装工序中的安装动作进行修正的反馈修正值，在所述修正值计算工序中，按照所述基板上的多个分割区域的每个分割区域，根据安装在所述多个分割区域内的所述部件的所述位置偏离量来计算所述反馈修正值，在所述部件安装工序中，利用安装所述部件的所述多个分割区域的所述反馈修正值来修正安装动作。

本公开的修正值计算装置具备：修正值计算部，基于由部件安装部安装于基板的部件从标准位置偏离的位置偏离量，按照所述基板上的多个分割区域的每个分割区域，根据安装在所述多个分割区域内的所述部件的所述位置偏离量，计算对所述部件安装部的安装动作进行修正的反馈修正值；和管理存储部，存储由所述修正值计算部计算出的反馈修正值。

根据本公开，能够精度良好地修正装置变动的影响所引起的部件的安装位置偏离。

附图说明

图1是本公开的实施方式1的部件安装系统的结构说明图。

图2是表示本公开的实施方式1的部件安装装置的结构的俯视图。

图3是本公开的实施方式1的部件安装装置的说明图。

图4是本公开的实施方式1的部件安装装置的安装头以及部件供给部的结构说明图。

图5是表示本公开的实施方式1的部件安装系统的控制系统的结构的框图。

图6是在本公开的实施方式1的检查装置中计算的部件的位置偏离量的说明图。

图7是表示在本公开的实施方式1的部件安装装置中安装于基板的部件的形状的例子的说明图。

图8A是表示在本公开的实施方式1的部件安装装置中使用的载带的袋部与部件的间隙的例子的说明图。

图8B是表示在本公开的实施方式1的部件安装装置中使用的载带的袋部与部件的间隙的例子的说明图。

图9是表示在本公开的实施方式1的部件安装系统中设定的分割区域的例子的说明图。

图10是本公开的实施方式1的部件安装装置中的X轴梁的形变所引起的对位置偏离量的影响的说明图。

图11A是表示由本公开的实施方式1的检查装置拍摄到的安装在分割区域的部件的例子的说明图。

图11B是表示由本公开的实施方式1的检查装置计算出的位置偏离量的例子和反馈修正值的关系的说明图。

图12是本公开的实施方式1的部件安装系统中的部件安装方法的流程图。

图13是本公开的实施方式2的部件安装装置中的吸附嘴的旋转所引起的对部件的位置偏离的影响的说明图。

图14A是表示由本公开的实施方式2的检查装置拍摄到的安装在基板上的部件的例子的说明图。

图14B是表示由本公开的实施方式2的检查装置计算出的位置偏离量的例子和反馈修正值的关系的说明图。

图15是本公开的实施方式2的部件安装系统中的部件安装方法的流程图。

图16是本公开的实施方式2的管理计算机中的反馈修正值计算方法的流程图。

具体实施方式

在说明实施方式之前，先简单地说明以往中的问题点。

在包括日本特开2016-58603号公报的现有技术中，虽然按照安装在基板上的每个部件反馈了安装位置偏离，但存在如下的课题，即，在发生部件的安装位置偏离的主要原因之中，XY梁的形变等部件安装装置的构成要素的各种变动所引起的部分大，为了提高安装精度而具有进一步改善的余地。

因此，本公开的目的在于，提供一种能够精度良好地修正装置变动的影响所引起的部件的安装位置偏离的部件安装系统及部件安装方法以及修正值计算装置。

以下，利用附图来详细地说明本公开的实施方式1。以下所述的结构、形状等只是用于说明的示例，能够根据部件安装系统、部件安装装置、检查装置的规格来适当进行变更。以下，在所有附图中，对于对应的要素赋予相同的符号，并省略重复的说明。在图2以及后述的一部分中，作为在水平面内相互正交的2轴方向，示出基板搬送方向的X方向(图2中的前后方向)、以及与基板搬送方向正交的Y方向(图2中的上下方向)。在图3以及后述的一部分中，作为与水平面正交的高度方向而示出Z方向(图3中的上下方向)。Z方向是部件安装装置设置在水平面上的情况下的上下方向。在图4以及后述的一部分中，示出作为以Z方向的轴(Z轴)为旋转轴的旋转方向的θ方向。

首先，参照图1来说明部件安装系统1的结构。部件安装系统1具有向基板安装部件来制造安装基板的功能，具备焊料印刷装置M1、部件安装装置M2、M3以及检查装置M4。这些装置经由通信网络2而与管理计算机3连接。另外，部件安装系统1所具备的部件安装装置M2、M3并不限定为两台，可以为一台，也可以为三台以上。

焊料印刷装置M1向安装对象的基板丝网印刷部件接合用的膏状焊料。部件安装装置M2、M3通过部件安装部12(参照图2)进行将从部件供给部取出的部件移送搭载至印刷有部件接合用的膏状焊料的基板的部件安装动作。检查装置M4对由部件安装装置M2、M3安装了部件的基板中的部件的安装状态进行检查，检测部件从标准位置偏离的位置偏离状态等。管理计算机3一并具有：线管理功能、和基于由检查装置M4获取到的包括部件的位置偏离量的检查信息来计算反馈至部件安装装置M2、M3的修正安装动作的反馈修正值Vc的功能。

接下来，参照图2、图3来说明部件安装装置M2、M3的结构。另外，图3部分性地示出图2中的A-A剖面。部件安装装置M2、M3具有执行将从部件供给部供给的部件安装于基板的安装动作的功能。在图2中，在基台4的中央，基板搬送机构5配置于X方向。基板搬送机构5将从上游侧搬送来的基板6搬入至安装作业位置并进行定位保持。此外，基板搬送机构5将部件安装作业完成后的基板6搬出至下游侧。

在基板搬送机构5的两侧方(前侧、后侧)配置有部件供给部7。在各个部件供给部7中，并排装配有多个带式供给器8。带式供给器8将形成有容纳部件的袋部的载带在从部件供给部7的外侧朝向基板搬送机构5的方向(带进给方向)上进行间距进给，由此向部件安装部12的安装头吸附部件的部件吸附位置供给部件。

在基台4的上表面，在X方向的两端部，沿着Y方向配设有具备线性驱动机构的Y轴梁9。在Y轴梁9，沿着Y方向移动自如地结合有同样具备线性驱动机构的两台(前侧、后侧)的X轴梁10。X轴梁10沿着X方向配设。在两台X轴梁10，分别沿着X方向移动自如地装配有安装头11。安装头11具备能够吸附保持部件并进行升降的多个吸附单元11a。在吸附单元11a各自的下端部，装配有对部件进行吸附保持的吸附嘴11b(参照图3)。

在图2中，通过对Y轴梁9和X轴梁10进行驱动，从而安装头11在X方向和Y方向上移动。由此，两个安装头11分别通过吸附嘴11b从对应的部件供给部7所配置的带式供给器8的部件吸附位置吸附并取出部件，装配于被基板搬送机构5定位的基板6的安装点。即，Y轴梁9、X轴梁10以及安装头11构成了将部件安装于基板6的部件安装部12。如此，部件安装装置M2、M3具备前侧和后侧的两台部件安装部12。

在部件供给部7与基板搬送机构5之间，配设有部件辨识摄像机13。当从部件供给部7取出了部件的安装头11在部件辨识摄像机13的上方移动时，部件辨识摄像机13对被安装头11保持的状态的部件进行拍摄来辨识部件的保持姿势。在装有安装头11的板10a，装有基板辨识摄像机14。基板辨识摄像机14与安装头11一体地移动。

安装头11进行移动，从而基板辨识摄像机14移动至被基板搬送机构5定位的基板6的上方，对设置于基板6的基板标记(未图示)进行拍摄来辨识基板6的位置。此外，基板辨识摄像机14移动至带式供给器8的部件吸附位置的上方，对部件吸附位置附近的载带的状态进行辨识。在由安装头11向基板6安装部件的部件安装动作中，考虑部件辨识摄像机13对部件的辨识结果和基板辨识摄像机14对基板位置的辨识结果来进行安装位置的修正。

如图3所示，在部件供给部7，放置在供给器基座15a预先装配有多个带式供给器8的状态的台车15。对于设置于基台4的固定基座(省略图示)，通过夹紧机构15b夹紧供给器基座15a，从而在部件供给部7中台车15的位置被固定。在台车15，保持有以卷绕状态容纳保持了部件D的载带16的带卷绕器17。从带卷绕器17拉出的载带16通过带式供给器8被间距进给至吸附嘴11b的部件吸附位置。

接下来，参照图4来说明安装头11的结构。安装头11具备多个吸附单元11a，各吸附单元11a具备驱动机构。通过驱动机构的驱动，能够使装配在各吸附单元11a的下端部的吸附嘴11b升降(箭头b)，并且以嘴轴AN为旋转轴而使吸附嘴11b在θ方向上旋转(箭头c)。

即，安装头11成为吸附部件D并使部件D在与基板6的安装面平行的旋转方向(θ方向)上以给定的角度旋转来安装部件D的部件吸附部。而且，部件安装部12包括部件吸附部，成为具备多个吸附嘴11b、且通过吸附嘴11b使部件D在与基板6的安装面平行的旋转方向上旋转从而向基板6安装部件D的部件安装机构。

接下来，参照图5来说明部件安装系统1的控制系统的结构。管理计算机3、部件安装装置M2、M3以及检查装置M4经由通信网络2而连接。部件安装装置M2、M3具备安装控制部20、安装存储部21、部件安装部12、显示部22、输入部23、辨识处理部24和通信部25。在安装存储部21中，除了存储前述的用于执行部件安装作业的安装程序之外，还存储有安装数据21a和修正值数据21b。

安装数据21a包含当将部件D安装于基板6时参照的数据，即，基板6中的部件D的安装位置(标准位置)的坐标、安装时的部件D的旋转角度、被安装的部件D的种类等信息。修正值数据21b包含从后述的管理计算机3发送的反馈修正值Vc。

安装控制部20是CPU等运算装置，基于安装存储部21中存储的程序、数据来控制各部分，从而控制部件安装部12所执行的向基板6安装部件D的安装动作。辨识处理部24对基板辨识摄像机14的拍摄结果进行辨识处理，由此来检测基板6的位置。此外，辨识处理部24对部件辨识摄像机13的拍摄结果进行辨识处理，由此来检测被安装头11保持的状态下的部件D的位置。

而且，安装控制部20基于安装数据21a、修正值数据21b、基板6的位置、被部件安装部12保持的部件D的位置、以及反馈修正值Vc，对部件安装部12所执行的安装动作进行修正从而向基板6安装部件D。此外，安装控制部20使安装头11(部件吸附部)保持的部件D旋转在安装数据21a中被指定的旋转角度后安装于基板6。如此，安装控制部20成为对部件安装部12(部件安装机构)所执行的向基板6安装部件D的安装动作进行控制的安装控制机构。

输入部23是键盘、触摸面板、鼠标等输入装置，在操作指令、数据输入等时利用。显示部22是液晶面板等显示装置，显示用于由输入部23进行操作的操作画面等各种画面等的各种信息。通信部25是通信接口，经由通信网络2而与其他的部件安装装置M2、M3、管理计算机3以及检查装置M4之间进行信号、数据的收发。

在图5中，检查装置M4具备检查控制部30、检查存储部31、检查用摄像机32、显示部33、输入部34和通信部35。检查控制部30是CPU等运算装置，作为内部处理功能而具备位置偏离量计算部30a。检查存储部31是存储装置，存储安装数据31a、位置偏离量数据31b等。安装数据31a包含与安装有部件D的基板6有关的数据，即，基板6中的部件D的安装位置(标准位置)的坐标、安装时的部件D的旋转角度、被安装的部件D的种类等信息。

输入部34是键盘、触摸面板、鼠标等输入装置，在操作指令、数据输入等时利用。显示部33是液晶面板等显示装置，显示用于由输入部34进行操作的操作画面等各种画面等的各种信息。通信部35是通信接口，经由通信网络2而与部件安装装置M2、M3以及管理计算机3之间进行信号、数据的收发。

检查用摄像机32从上方对安装于基板6的部件D进行拍摄。位置偏离量计算部30a执行根据由检查用摄像机32拍摄到的图像来计算安装于基板6的部件D从标准位置N偏离的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ(参照图6)的位置偏离量计算处理。计算出的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ作为位置偏离量数据31b而存储于检查存储部31，并且经由通信部35而发送至管理计算机3。

如此，检查装置M4成为：具备对部件D进行拍摄的检查用摄像机32(拍摄部)、和根据由检查用摄像机32拍摄到的图像来计算部件D从标准位置N偏离的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的位置偏离量计算部30a，且获取由部件安装部12(部件安装机构)安装于基板6的部件D从标准位置N偏离的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的位置偏离量获取部(位置偏离量获取机构)。

在此，参照图6来说明位置偏离量数据31b中包含的、安装于基板6的部件D从标准位置N偏离的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的一例。在部件安装部12所执行的安装动作中，通过安装头11的吸附嘴11b从部件供给部7的带式供给器8取出的部件D以设定于基板6的安装位置即标准位置N作为目标来移送搭载。此时，部件D的部件中心C不一定限于与标准位置N准确地一致，处于在X方向上位置偏离了位置偏离量ΔX、在Y方向上位置偏离了位置偏离量ΔY、且在θ方向(与安装面平行的旋转方向)上位置偏离了位置偏离量Δθ的状态。

该位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ通过位置偏离量计算部30a对由检查用摄像机32拍摄安装于基板6的部件D而得的结果进行位置偏离量计算处理来获取。关于安装于一个基板6的多个部件D而分别获取位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ，并作为位置偏离量数据31b来存储。

在图5中，管理计算机3具备管理控制部40、管理存储部41、显示部42、输入部43和通信部44。输入部43是键盘、触摸面板、鼠标等输入装置，在操作指令、数据输入等时利用。显示部42是液晶面板等显示装置，显示用于由输入部43进行操作的操作画面等各种画面等的各种信息。通信部44是通信接口，经由通信网络2而与部件安装装置M2、M3以及检查装置M4之间进行信号、数据的收发。

管理控制部40是CPU等运算装置，作为内部处理功能而具备修正值计算部40a、修正值发送部40b以及部件选择部40c。管理存储部41是存储装置，存储安装数据41a、部件信息41b、分割区域信息41c、位置偏离量数据41d、修正值数据41e等。

安装数据41a包含当将部件D安装于基板6时参照的数据，即，基板6中的部件D的安装位置(标准位置)的坐标、安装时的部件D的旋转角度、被安装的部件D的种类等信息。在部件信息41b中，安装于基板6的部件D的形状、尺寸、储存部件D的载带16的袋部16b和被储存的部件D之间的间隙Gx、Gy(参照图8A以及图8B)等信息与部件D的种类建立关联地存储。

在此，参照图7来说明部件信息41b中包含的部件D的形状。两种部件D(1)、部件D(2)的俯视图示于图7(a)，侧视图示于图7(b)。部件D(1)和部件D(2)是在主体部Da的X方向的两端具有电极Db的电阻、电容器等的2端子元件。部件D(1)和部件D(2)呈俯视时的X方向、Y方向上的尺寸相同，但部件D(1)的电极Db的间隔更宽的形状。因而，部件D(1)的、吸附嘴11b的下端抵接的吸附面Dc(主体部Da的XY面)更宽，即便是在部件吸附时吸附嘴11b和部件D的位置发生了偏离的情况，对于能够正常地吸附的吸附位置偏离的容许范围也更宽。

此外，吸附面Dc和电极Db的上表面的高低差Dh呈部件D(2)更大的形状。因而，由于吸附偏离而吸附嘴11b将主体部Da和电极Db的交界包含在内进行了吸附的情况下的吸附姿势的倾斜(部件相对于水平面的倾斜)，部件D(2)更大。根据这些理由，虽然部件D(2)的尺寸与部件D(1)相同，但吸附偏差所引起的安装位置的偏差(位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ)却比部件D(1)大。

在此，参照图8A以及图8B来说明部件信息41b中包含的载带16的袋部16b和被储存的部件D之间的间隙Gx、Gy。在图8A中，在载带16(1)的基带16a，容纳部件D(3)的凹形状的袋部16b、和对载带16(1)进行间距进给的带式供给器8的链轮齿(省略图示)卡合的进给孔16c等间隔地形成。在容纳了部件D(3)的袋部16b的上表面粘贴有盖带16d。

在容纳于袋部16b的部件D(3)与袋部16b的内壁之间，在X方向上产生了间隙Gx1、Gx2，在Y方向上产生了间隙Gy1、Gy2。由于这些间隙G，在间距进给中部件D(3)在袋部16b内不规则地移动，从而吸附嘴11b吸附部件D(3)时的吸附位置分布不均。因而，将部件D(3)安装于基板6时的安装位置分布不均。

在图8B中，在载带16(2)的袋部16b，容纳有尺寸与部件D(3)相同的部件D(4)。在部件D(4)与袋部16b的内壁之间，在X方向上产生了间隙Gx3、Gx4，在Y方向上产生了间隙Gy3、Gy4。载带16(2)的袋部16b比载带16(1)的袋部16b大，在载带16(2)产生的间隙G(Gx3+Gx4，Gy3+Gy4)比在载带16(1)产生的间隙G(Gx1+Gx2，Gy1+Gy2)大。因而，部件D(4)虽然尺寸与部件D(3)相同，但安装于基板6时的安装位置的偏差却比部件D(3)大。

在图5中，在分割区域信息41c中包含与作为计算后述的反馈修正值Vc时的对象范围的分割区域R有关的信息。分割区域R在基板6上被设定多个。

在此，参照图9来说明设置在基板6上的分割区域R的例子。在该例子中，设定有将矩形的基板6在X方向上进行4等分且在Y方向上进行4等分而得到的合计16个分割区域R11～R44。分割区域R考虑基板6的尺寸、安装精度等，按照每个基板种类而设定，并存储于分割区域信息41c。另外，分割区域R也可以不依赖于基板种类，而是在基板搬送机构5的安装作业位置上对应地一样地进行设定。

在图5中，在位置偏离量数据41d中，在安装基板的生产中持续地在检查装置M4中获取的包括位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的位置偏离量数据31b从检查装置M4依次发送并被存储。即，存储位置偏离量数据41d的管理存储部41成为在生产中持续地存储位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的位置偏离量存储部。

修正值计算部40a基于由检查装置M4(位置偏离量获取机构)获取并被存储于位置偏离量数据41d的、安装于基板6的部件D从标准位置N偏离的X方向的位置偏离量ΔX和Y方向的位置偏离量ΔY(以下，简称为“位置偏离量ΔX、ΔY”)，计算对部件安装部12(部件安装机构)的安装动作进行修正的反馈修正值Vc。修正值计算部40a按照基板6上的多个分割区域R的每个分割区域，根据安装在分割区域R内的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY来计算反馈修正值Vc。按照每个分割区域R来计算反馈修正值Vc的意义将后述。

此外，修正值计算部40a按照每个分割区域R，每当汇集给定数量的位置偏离量ΔX、ΔY时，通过统计处理来计算反馈修正值Vc。作为统计处理，例如利用除了异常值之外的给定数量的位置偏离量ΔX、ΔY的平均值的计算。此时的给定数量基于通过统计处理计算的反馈修正值Vc的容许误差等来决定。由此，能够计算恰当精度的反馈修正值Vc。

此外，修正值计算部40a利用安装于基板6的部件D之中的、通过安装头11(部件吸附部)以特定的一旋转角度安装的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY来计算反馈修正值Vc。若使装配于安装头11的吸附嘴11b在θ方向上旋转，从而使被吸附嘴11b吸附的部件D旋转，则起因于吸附嘴11b的装配工具、吸附嘴11b自身的形变，有时部件中心C会移动。即便是这种情况，通过利用旋转角相同的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY，也能够除去由于吸附嘴11b的旋转而发生的位置偏离的影响，从而精度良好地计算反馈修正值Vc。

此外，修正值计算部40a按照通过给定的部件安装部12(部件安装机构)安装于基板6的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY的每个位置偏离量来计算反馈修正值Vc。按照安装部件D的每个部件安装部12来计算反馈修正值Vc的意义将后述。由修正值计算部40a计算出的反馈修正值Vc作为修正值数据41e而存储至管理存储部41。

按照每个分割区域R、每个部件安装部12计算出的反馈修正值Vc在通过部件安装部12安装于分割区域R的所有部件D的安装动作的修正中被使用。修正值发送部40b将与安装于基板6的部件D对应的反馈修正值Vc建立关联地发送至安装该部件D的部件安装装置M2、M3。被发送的反馈修正值Vc作为修正值数据21b而存储至部件安装装置M2、M3的安装存储部21。由此，能够精度良好地修正部件D的安装位置偏离。

在此，参照图10来说明按照每个部件安装部12、每个分割区域R计算反馈修正值Vc的意义。在Y轴梁9、X轴梁10中，在连续地进行安装动作的过程中，起因于线性驱动机构等的发热，随时间变化会发生变形(热变形)。热变形的状况在各Y轴梁9、各X轴梁10中不同。在图10中，示出由于热变形而X轴梁10从附图左侧朝向附图右侧、且从标准的位置起在部件安装装置M2、M3中向内侧(纸面上侧)弯曲(变形)的例子。

在图10中示出沿着X方向在X轴梁10上移动的装配于安装头11的吸附嘴11b的轨迹。单点划线所示的轨迹11c表示X轴梁10未发生热变形的状态的吸附嘴11b的位置。实线所示的轨迹11d表示X轴梁10发生了热变形的状态的吸附嘴11b的位置。

设安装头11控制安装动作，以使得通过吸附嘴11b将部件D安装在基板6上的标准位置N(1)、N(2)、N(3)这3处。在X轴梁10未发生热变形的情况下，作为安装位置的标准位置N(1)、N(2)、N(3)处于轨迹11c上。然而，由于X轴梁10的热变形，安装在基板6上的部件D的位置成为部件中心C(1)、C(2)、C(3)，处于轨迹11d上。

在图10中，在附图左侧的位置处X轴梁10的热变形小，因此部件中心C(1)从标准位置N(1)偏离的位置偏离量ΔX、ΔY小。另一方面，随着成为附图右侧，X轴梁10的热变形变大，因此部件中心C(2)从标准位置N(2)位置偏离了箭头d(2)，部件中心C(3)从标准位置N(3)位置偏离了箭头d(3)。即，随着X轴梁10的热变形变大，部件中心C(1)、部件中心C(2)、部件中心C(3)的位置偏离量AX、ΔY变大。

如此，在位置偏离量ΔX、ΔY根据基板6上的位置而不同的状态下，若按基板6整体计算一个反馈修正值Vc来修正安装动作，则根据基板6上的位置而有时位置偏离未被恰当地修正。即便是这种情况，通过按照将基板6上分割为多个而得到的每个分割区域R计算反馈修正值Vc来修正安装动作，也能够精度良好地修正装置变动的影响所引起的部件D的安装位置偏离。此外，装置变动的影响由于按每个部件安装部12而不同，因此通过按照每个部件安装部12计算反馈修正值Vc来修正安装动作，从而能够精度良好地修正装置变动的影响所引起的部件D的安装位置偏离。

在图5中，部件选择部40c基于安装数据41a、部件信息41b中包含的部件D的形状和部件D的尺寸当中的任一者、部件D的旋转角度、成为目标的安装精度，选择在反馈修正值Vc的计算中利用的部件D。例如，部件选择部40c在选择部件D时，将安装于基板6时的安装位置的偏差大的、图7所示的部件D(2)、图8A以及图8B所示的部件D(4)从选择对象之中排除在外。由此，能够精度良好地修正部件D的安装位置偏离。如此，部件选择部40c成为选择在反馈修正值Vc的计算中利用的部件D的部件选择机构，修正值计算部40a根据由部件选择机构选择出的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY来计算反馈修正值Vc。

在此，参照图11A以及图11B来说明修正值计算部40a对反馈修正值Vc的计算的具体例。在图11A中示出设置于基板6的分割区域R23。在分割区域R23内，显示出：安装在基板6上的10个部件D1*～D5*、D6～D10(用实线来显示)及其部件中心C1～C10(用黑色圆圈来显示，C6～C10省略符号)、作为安装目标的标准位置N1～N10(用白色圆圈来显示，N6～N10省略符号)、安装在标准位置N的情况下的部件D的位置(用虚线来显示)。

8个部件D1*～D5*、D6～D8通过相同的部件安装部12(例如，部件安装装置M2的前侧的部件安装部12)而安装于基板6。其中，安装于基板6时的旋转角度与部件D1*～D5*不同的部件D6、D7从反馈修正值Vc的计算对象之中排除在外。具有安装偏差大的趋势的形状的部件D8通过部件选择部40c而从反馈修正值Vc的计算对象之中排除在外。通过与安装部件D1*～D5*的部件安装部12不同的部件安装部12(例如，部件安装装置M3的部件安装部12)而安装于基板6的部件D9、D10也从反馈修正值Vc的计算对象之中排除在外。

即，修正值计算部40a根据安装在分割区域R23内的多个部件D1*～D5*、D6～D10之中的、通过相同的部件安装部12以相同的旋转角度安装于基板6的部件D1*～D5*的位置偏离量ΔX、ΔY，计算反馈修正值Vc。在图11B中，由检查装置M4获取到的部件D1*～D5*的位置偏离量ΔX、ΔY用XY曲线来表示。修正值计算部40a对部件D1*～D5*的位置偏离量ΔX、ΔY进行统计处理(在此，计算平均值)，由此来分别计算X方向的反馈修正值Vcx、Y方向的反馈修正值Vcy。

如上述说明过的那样，修正值计算部40a成为修正值计算机构，基于通过部件安装机构(部件安装部12)安装于基板6的部件D从标准位置N偏离的位置偏离量ΔX、ΔY，按照基板6上的多个分割区域R的每个分割区域，根据安装在分割区域R内的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY，计算对部件安装机构的安装动作进行修正的反馈修正值Vc。

此外，具备修正值计算部40a的管理计算机3成为修正值计算装置。另外，修正值计算装置并不限定于经由通信网络2而与部件安装装置M2、M3、检查装置M4连接的管理计算机3。修正值计算装置只要是具备修正值计算部40a的计算机即可，也可以不与部件安装装置M2、M3、检查装置M4连接。

接下来，沿着图12的流程来说明利用根据部件D的位置偏离量ΔX、ΔY计算的反馈修正值Vc来修正安装动作的部件安装方法。首先，部件选择部40c(部件选择机构)选择在反馈修正值Vc的计算中利用的部件D(ST1：部件选择工序)。接着，安装控制部20基于安装数据21a、修正值数据21b，利用安装部件D的分割区域R的反馈修正值Vc来修正安装动作，从而向基板6安装部件D(ST2：部件安装工序)。此时，安装控制部20根据需要，基于安装数据21a，使被吸附的部件D在与基板6的安装面平行的旋转方向上以给定的角度旋转来安装于基板6。

接下来，检查用摄像机32(拍摄部)对由部件安装装置M2、M3安装部件D并搬送至检查装置M4的基板6上的部件D进行拍摄(ST3：拍摄工序)。然后，位置偏离量计算部30a根据在拍摄工序(ST3)中拍摄到的图像，计算部件D从标准位置N偏离的位置偏离量ΔX、ΔY(ST4：位置偏离量计算工序)。如此，拍摄工序(ST3)和位置偏离量计算工序(ST4)成为获取在部件安装工序(ST2)中安装于基板6的部件D从标准位置N偏离的位置偏离量ΔX、ΔY的位置偏离量获取工序(ST10)。

在图12中，接下来，管理存储部41在生产中持续地存储由检查装置M4(位置偏离量获取机构)发送的位置偏离量ΔX、ΔY(ST5：位置偏离量存储工序)。然后，修正值计算部40a按照每个分割区域R、每个部件安装部12来判断是否汇集了给定数量的位置偏离量ΔX、ΔY(ST6：计算可否判断工序)。

若汇集了给定数量的位置偏离量ΔX、ΔY(ST6中是)，则修正值计算部40a基于在位置偏离量获取工序(ST10)中获取到的位置偏离量ΔX、ΔY，按照基板6上的多个分割区域R的每个分割区域、安装部件D的每个部件安装部12，根据安装在分割区域R内的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY，计算对部件安装工序(ST2)中的安装动作进行修正的反馈修正值Vc(ST7：修正值计算工序)。即，在修正值计算工序(ST7)中，按照每个分割区域R，每当汇集给定数量的位置偏离量ΔX、ΔY时，计算反馈修正值Vc。

此外，在修正值计算工序(ST7)中，利用安装于基板6的部件D之中的、以特定的一旋转角度安装的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY，计算反馈修正值Vc。此外，在修正值计算工序(ST7)中，根据在部件选择工序(ST1)中选择出的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY，计算反馈修正值Vc。

在图12中，接下来，修正值发送部40b将与安装于基板6的部件D对应的反馈修正值Vc建立关联地发送至安装该部件D的部件安装装置M2、M3(ST8：修正值发送工序)。若发送了反馈修正值Vc，则返回至部件安装工序(ST2)，基于重新发送并存储的修正值数据21b中包含的反馈修正值Vc，向基板6安装部件D。在计算可否判断工序(ST6)中，在判断为未汇集给定数量的位置偏离量ΔX、ΔY(否)的情况下，不计算反馈修正值Vc，返回至部件安装工序(ST2)，基于已经存储的修正值数据21b，向基板6安装部件D。

如此，在部件安装系统1中，在安装基板的生产中获取位置偏离量ΔX、ΔY，基于在生产中计算出的反馈修正值Vc来修正安装动作。即，在生产中，在位置偏离量获取工序(ST10)中检查装置M4(位置偏离量获取机构)获取位置偏离量ΔX、ΔY，在生产中，在修正值计算工序(ST7)中修正值计算部40a(修正值计算机构)计算反馈修正值Vc。

如上述说明过的那样，本实施方式的部件安装系统1具备：部件安装机构(部件安装部12)，向基板6安装部件D；安装控制机构(安装控制部20)，控制部件安装机构所执行的安装动作；位置偏离量获取机构(检查装置M4)，获取安装于基板6的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY；和修正值计算机构(修正值计算部40a)，基于获取到的位置偏离量ΔX、ΔY，计算对安装动作进行修正的反馈修正值Vc。

而且，修正值计算机构按照基板6上的多个分割区域R的每个分割区域，根据安装在分割区域R内的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY来计算反馈修正值Vc，安装控制机构利用安装部件D的分割区域R的反馈修正值Vc来修正部件安装机构所执行的安装动作。由此，能够精度良好地修正热变形等装置变动的影响所引起的部件D的安装位置偏离。

(实施方式2)

以下，利用附图来说明本公开的实施方式2。本实施方式在对起因于吸附嘴的变动的影响所引起的部件的安装位置偏离进行修正的点上，不同于实施方式1的部件安装系统。另外，对于与实施方式1相同的结构赋予共同的符号，并适当省略说明。

首先，对实施方式2所涉及的部件安装系统的现有技术进行说明。在现有技术中，虽然按照安装在基板上的每个部件反馈了安装位置偏离，但存在如下的课题，即，在发生部件的安装位置偏离的主要原因之中，吸附嘴的装配角度的偏离、吸附嘴的形变等部件安装装置的构成要素的各种变动所引起的部分大，为了提高安装精度具有进一步改善的余地。

在本实施方式中，针对这种现有技术，公开一种修正起因于吸附嘴的变动的影响所引起的部件的安装位置偏离的部件安装系统。

在图5中，修正值计算部40a基于由检查装置M4(位置偏离量获取机构)获取并被存储于位置偏离量数据41d的、安装于基板6的部件D从标准位置N偏离的X方向的位置偏离量ΔX和Y方向的位置偏离量ΔY(以下简称为“位置偏离量ΔX、ΔY”)，计算对部件安装部12(部件安装机构)的安装动作进行修正的反馈修正值Vc。修正值计算部40a按照每个吸附嘴11b且按照每个给定的旋转角度，根据安装于基板6的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY来计算反馈修正值Vc。按照每个吸附嘴11b且按照每个给定的旋转角度来计算反馈修正值Vc的意义将后述。

此外，修正值计算部40a按照每个吸附嘴11b且按照每个给定的旋转角度，每当汇集给定数量的位置偏离量ΔX、ΔY时，通过统计处理来计算反馈修正值Vc。作为统计处理，例如利用除了异常值之外的给定数量的位置偏离量ΔX、ΔY的平均值的计算。此时的给定数量基于通过统计处理计算的反馈修正值Vc的容许误差等来决定。由此，能够计算恰当精度的反馈修正值Vc。

按照每个吸附嘴11b且按照每个给定的旋转角度计算出的反馈修正值Vc在通过部件安装部12安装的部件D的安装动作的修正中被使用。修正值发送部40b将与安装于基板6的部件D对应的反馈修正值Vc建立关联地发送至安装该部件D的部件安装装置M2、M3。被发送的反馈修正值Vc作为修正值数据21b而存储至部件安装装置M2、M3的安装存储部21。由此，能够精度良好地修正部件D的安装位置偏离。

在此，参照图13来说明按照每个吸附嘴11b且按照每个给定的旋转角度计算反馈修正值Vc的意义。吸附嘴11b如在图13(a)中单点划线所示那样，以嘴轴AN成为铅锤(Z方向)的姿势装配于安装头11。但是，起因于吸附嘴11b的装配状况、吸附嘴11b自身的形变，有时嘴轴AN从铅锤方向倾斜地装配。该嘴轴AN的倾斜按照每个吸附嘴11b而不同。

如此，若由嘴轴AN发生了倾斜的吸附嘴11b来进行安装动作，则部件中心C会从标准位置N发生位置偏离地将部件D安装在基板6上。进而，如图13(b)所示，若使吸附嘴11b旋转，则根据旋转角度而部件D的安装位置(部件中心C)移动后安装于基板6。由此，如图13(b)所示的例子那样，按0°、90°、180°、270°这样的旋转角度而位置偏离量ΔX、ΔY不同。

如此，在根据每个吸附嘴11b且根据每个给定的旋转角度而位置偏离量ΔX、ΔY不同的状态下，若按基板6整体计算一个反馈修正值Vc来修正安装动作，则根据吸附嘴11b而有时位置偏离未被恰当修正。即便是这种情况，通过按照每个吸附嘴11b且按照每个给定的旋转角度计算反馈修正值Vc来修正安装动作，也能够精度良好地修正吸附嘴11b的装配状况、吸附嘴11b自身的形变的影响所引起的部件D的安装位置偏离。

在此，参照图14A以及图14B来说明修正值计算部40a对反馈修正值Vc的计算的具体例。在图14A中，显示出：安装在基板6上的13个部件D1*～D5*、D6％～D10％、D11#、D12～D13(用实线来显示)及其部件中心C1～C13(用黑色圆圈来显示，C6～C13省略符号)、作为安装目标的标准位置N1～N13(用白色圆圈来显示，N6～N13省略符号)、安装在标准位置N的情况下的部件D的位置(用虚线来显示)。

12个部件D1*～D5*、D6％～D10％、D11#、D12通过相同的吸附嘴11b而安装于基板6。部件D1*～D5*以旋转角度0°，部件D6％～D10％以旋转角度90°，部件D11#以旋转角度45°，安装在基板6上。其中，旋转角度为45°的部件D11#、具有安装偏差大的趋势的形状的部件D12通过部件选择部40c而从反馈修正值Vc的计算对象之中排除在外。另外，通过与安装部件D1*～D5*、D6％～D10％、D11#、D12的吸附嘴11b不同的吸附嘴11b而安装于基板6的部件D13，与通过相同的吸附嘴11b以相同的旋转角度安装的省略图示的其他部件D一起，计算反馈修正值Vc。

即，在该例子中，设修正值计算部40a根据通过相同的吸附嘴11b以相同的旋转角度安装于基板6的部件D1*～D5*以及部件D6％～D10％的位置偏离量ΔX、ΔY，分别计算反馈修正值Vc。在图11B中，由检查装置M4获取到的部件D1*～D5*以及部件D6％～D10％的位置偏离量ΔX、ΔY用XY曲线来表示。修正值计算部40a对部件D1*～D5*以及部件D6％～D10％的位置偏离量ΔX、ΔY进行统计处理(在此，计算平均值)，由此来分别计算X方向的反馈修正值Vcx(0°)以及反馈修正值Vcx(90°)、Y方向的反馈修正值Vcy(0°)以及反馈修正值Vcy(90°)。

进而，修正值计算部40a对旋转角度为90°的部件D6％～D10％的反馈修正值Vc(90°)和旋转角度为0°的部件D1*～D5*的反馈修正值Vc(0°)进行插补，计算以旋转角度45°安装的部件D11#的反馈修正值Vc(45°)。即，修正值计算部40a对比第1旋转角度大的第2旋转角度(90°)的反馈修正值Vc(90°)和比第1旋转角度小的第3旋转角度(0°)的反馈修正值Vc(0°)进行插补，计算安装以给定的旋转角度(0°以及90°)以外的第1旋转角度(45°)安装的部件D11#时的反馈修正值Vc(45°)。

另外，插补的方法并不限定于图14B所示的基于1次函数的线性插补。也可以利用2次函数、3次函数、将第2旋转角度(90°)的反馈修正值Vc(90°)和第3旋转角度(0°)的反馈修正值Vc(0°)设为圆周上的2点的圆来进行插补从而进行计算。由此，即便是以第1旋转角度(45°)安装的部件D11#少的情况，也能够精度良好地修正起因于吸附嘴11b的变动的影响所引起的部件D的安装位置偏离。

此外，修正值计算部40a在只是旋转角度为0°或90°的任一方计算反馈修正值Vc的情况下，利用最接近第1旋转角度(45°)的给定的旋转角度(0°或90°)的反馈修正值Vc(0°)或反馈修正值Vc(90°)，计算安装以给定的旋转角度(0°或90°)以外的第1旋转角度(45°)安装的部件D11#时的反馈修正值Vc(45°)。

另外，作为反馈修正值Vc(0°)的计算方法，可以直接援用最接近第1旋转角度(45°)的、旋转角度(0°)的反馈修正值Vc(0°)或旋转角度(90°)的反馈修正值Vc(90°)，也可以使之旋转了旋转角度的差分(45°或-45°)之后进行计算。由此，即便是以第1旋转角度(45°)安装的部件D11#少的情况，也能够精度良好地修正起因于吸附嘴11b的变动的影响所引起的部件D的安装位置偏离。

如上述说明过的那样，修正值计算部40a成为修正值计算机构，基于通过多个吸附嘴11b使部件D在与基板6的安装面平行的旋转方向(θ方向)上旋转来安装于基板6的部件安装机构(部件安装部12)而安装于基板6的部件D从标准位置N偏离的位置偏离量ΔX、ΔY，按照每个吸附嘴11b且按照每个给定的旋转角度，计算对部件安装机构的安装动作进行修正的反馈修正值Vc。

此外，具备修正值计算部40a的管理计算机3成为修正值计算装置。另外，修正值计算装置并不限定于经由通信网络2而与部件安装装置M2、M3、检查装置M4连接的管理计算机3。修正值计算装置只要是具备修正值计算部40a的计算机即可，也可以不与部件安装装置M2、M3、检查装置M4连接。

接下来，沿着图15、图16的流程来说明利用根据部件D的位置偏离量ΔX、ΔY计算的反馈修正值Vc来修正安装动作的部件安装方法。在图15中，首先，部件选择部40c(部件选择机构)选择在反馈修正值Vc的计算中利用的部件D(ST1：部件选择工序)。接着，安装控制部20基于安装数据21a、修正值数据21b，利用安装部件D的吸附嘴11b的给定的旋转角度的反馈修正值Vc来修正安装动作，通过吸附嘴11b使部件D在与基板6的安装面平行的旋转方向(θ方向)上旋转从而向基板6安装部件D(ST2：部件安装工序)。

接下来，检查用摄像机32(拍摄部)对由部件安装装置M2、M3安装部件D并搬送至检查装置M4的基板6上的部件D进行拍摄(ST3：拍摄工序)。然后，位置偏离量计算部30a根据在拍摄工序(ST3)中拍摄到的图像，计算部件D从标准位置N偏离的位置偏离量ΔX、ΔY(ST4：位置偏离量计算工序)。如此，拍摄工序(ST3)和位置偏离量计算工序(ST4)成为获取在部件安装工序(ST2)中安装于基板6的部件D从标准位置N偏离的位置偏离量ΔX、ΔY的位置偏离量获取工序(ST10)。

在图15中，接下来，管理存储部41在生产中持续地存储由检查装置M4(位置偏离量获取机构)发送的位置偏离量ΔX、ΔY(ST5：位置偏离量存储工序)。然后，修正值计算部40a按照每个吸附嘴11b且按照每个给定的旋转角度，判断是否汇集了给定数量的位置偏离量ΔX、ΔY(ST6：计算可否判断工序)。

若汇集了给定数量的位置偏离量ΔX、ΔY(ST6中是)，则修正值计算部40a基于在位置偏离量获取工序(ST10)中获取到的位置偏离量ΔX、ΔY，计算对部件安装工序(ST2)中的安装动作进行修正的反馈修正值Vc(ST7：修正值计算工序)。即，在修正值计算工序(ST7)中，按照每个吸附嘴11b且按照每个给定的旋转角度，每当汇集给定数量的位置偏离量ΔX、ΔY时，计算反馈修正值Vc。

在此，参照图16来说明修正值计算工序(ST7)的详情、即反馈修正值计算方法。首先，修正值计算部40a按照每个吸附嘴11b且按照每个给定的旋转角度，根据安装于基板6的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY，计算反馈修正值Vc(ST11)。然后，修正值计算部40a判断是否存在计算出反馈修正值Vc的以给定的旋转角度以外的旋转角度安装于基板6的部件D(ST12)。

在存在给定的旋转角度以外的部件D的情况下(ST12中是)，修正值计算部40a判断是否存在给定的旋转角度以外的前后的旋转角度的反馈修正值Vc(ST13)。在存在前后的旋转角度的反馈修正值Vc的情况下(ST13中是)，修正值计算部40a对比第1旋转角度大的第2旋转角度的反馈修正值Vc和比第1旋转角度小的第3旋转角度的反馈修正值Vc进行插补，计算安装以给定的旋转角度以外的第1旋转角度安装的部件D时的反馈修正值Vc(ST14：第1计算工序)。

在图16中，在不存在前后的旋转角度的反馈修正值Vc的情况下(ST13中否)，修正值计算部40a利用最接近第1旋转角度的给定的旋转角度的反馈修正值Vc，计算安装以给定的旋转角度以外的第1旋转角度安装的部件D时的反馈修正值Vc(ST15：第2计算工序)。若在第1计算工序(ST14)或第2计算工序(ST15)中计算出给定的旋转角度以外的第1旋转角度的反馈修正值Vc，则接下来修正值计算部40a判断是否以所有的旋转角度计算出反馈修正值Vc(ST16)。

在所有的旋转角度下未计算出反馈修正值Vc的情况下(ST16中否)，返回至(ST13)，计算其他旋转角度的反馈修正值Vc。在以所有的旋转角度计算出反馈修正值Vc的情况下(ST16中是)、或不存在给定的旋转角度以外的部件D的情况下(ST12中否)，反馈修正值Vc的计算结束。

在图15中，接下来，修正值发送部40b将与安装于基板6的部件D对应的反馈修正值Vc建立关联地发送至安装该部件D的部件安装装置M2、M3(ST8：修正值发送工序)。若发送了反馈修正值Vc，则返回至部件安装工序(ST2)，基于重新发送并存储的修正值数据21b中包含的反馈修正值Vc，向基板6安装部件D。在计算可否判断工序(ST6)中，在判断为未汇集给定数量的位置偏离量ΔX、ΔY(否)的情况下，不计算反馈修正值Vc，返回至部件安装工序(ST2)，基于已经存储的修正值数据21b，向基板6安装部件D。

如此，在部件安装系统1中，在安装基板的生产中获取位置偏离量ΔX、ΔY，基于在生产中计算出的反馈修正值Vc来修正安装动作。即，在生产中，在位置偏离量获取工序(ST10)中检查装置M4(位置偏离量获取机构)获取位置偏离量ΔX、ΔY，在生产中，在修正值计算工序(ST7)中修正值计算部40a(修正值计算机构)计算反馈修正值Vc。

如上述说明过的那样，本实施方式的部件安装系统1具备：部件安装机构(部件安装部12)，通过吸附嘴11b使部件D在与安装面平行的旋转方向(θ方向)上旋转从而向基板6安装部件D；安装控制机构(安装控制部20)，控制部件安装机构所执行的安装动作；位置偏离量获取机构(检查装置M4)，获取安装于基板6的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY；和修正值计算机构(修正值计算部40a)，基于获取到的位置偏离量ΔX、ΔY，计算对安装动作进行修正的反馈修正值Vc。

而且，修正值计算机构按照每个吸附嘴11b且按照每个给定的旋转角度，根据安装于基板6的部件D的位置偏离量ΔX、ΔY来计算反馈修正值Vc，安装控制机构利用安装部件D的吸附嘴11b的给定的旋转角度的反馈修正值Vc来修正部件安装机构所执行的安装动作。由此，能够精度良好地修正起因于吸附嘴11b的变动的影响所引起的部件D的安装位置偏离。

此外，在本实施方式的部件安装系统中，位置偏离量获取机构具备：拍摄部，对部件进行拍摄；和位置偏离量计算部，根据由拍摄部拍摄到的图像来计算部件从标准位置偏离的位置偏离量。

此外，在本实施方式的部件安装系统中，位置偏离量获取机构在生产中获取位置偏离量，修正值计算机构在生产中计算反馈修正值。

此外，在本实施方式的部件安装系统中，修正值计算机构利用最接近第1旋转角度的给定的旋转角度的反馈修正值，计算安装以所述给定的旋转角度以外的第1旋转角度安装的部件时的反馈修正值。

此外，在本实施方式的部件安装系统中，修正值计算机构对比第1旋转角度大的第2旋转角度的反馈修正值和比第1旋转角度小的第3旋转角度的反馈修正值进行插补，计算安装以给定的旋转角度以外的第1旋转角度安装的部件时的反馈修正值。

此外，本实施方式的部件安装系统还具备在生产中持续地存储位置偏离量的位置偏离量存储部，修正值计算机构按照每个吸附嘴且按照每个给定的旋转角度，每当汇集给定数量的位置偏离量时，计算反馈修正值。

此外，本实施方式的部件安装系统还具备选择在反馈修正值的计算中利用的部件的部件选择机构，修正值计算机构根据由部件选择机构选择出的部件的位置偏离量来计算反馈修正值。

本实施方式的部件安装方法包括：部件安装工序，通过吸附嘴使部件在与基板的安装面平行的旋转方向上旋转来安装于所述基板；位置偏离量获取工序，获取在部件安装工序中安装于基板的部件从标准位置偏离的位置偏离量；和修正值计算工序，基于在位置偏离量获取工序中获取到的所述位置偏离量，计算对部件安装工序中的安装动作进行修正的反馈修正值，在修正值计算工序中，按照每个吸附嘴且按照每个给定的旋转角度，根据安装于基板的部件的位置偏离量来计算反馈修正值，在部件安装工序中，利用安装部件的吸附嘴的给定的旋转角度的反馈修正值来修正安装动作。

此外，在本实施方式的部件安装方法中，位置偏离量获取工序包括：拍摄工序，拍摄部件；和位置偏离量计算工序，根据在拍摄工序中拍摄到的图像来计算部件从标准位置偏离的位置偏离量。

此外，本实施方式的部件安装方法，在生产中在位置偏离量获取工序中获取位置偏离量，在生产中在修正值计算工序中计算反馈修正值。

此外，本实施方式的部件安装方法，在修正值计算工序中，利用最接近第1旋转角度的给定的旋转角度的反馈修正值，计算安装以给定的旋转角度以外的所述第1旋转角度安装的部件时的反馈修正值。

此外，本实施方式的部件安装方法，在修正值计算工序中，对比第1旋转角度大的第2旋转角度的反馈修正值和比第1旋转角度小的第3旋转角度的反馈修正值进行插补，计算安装以给定的旋转角度以外的第1旋转角度安装的部件时的反馈修正值。

此外，本实施方式的部件安装方法还包括在生产中持续地存储位置偏离量的位置偏离量存储工序，在修正值计算工序中，按照每个吸附嘴且按照每个给定的旋转角度，每当汇集给定数量的位置偏离量时，计算反馈修正值。

此外，本实施方式的部件安装方法还包括选择在反馈修正值的计算中利用的部件的部件选择工序，在修正值计算工序中，根据在部件选择工序中选择出的部件的位置偏离量来计算反馈修正值。

本实施方式的修正值计算装置具备：修正值计算部，基于通过多个吸附嘴使部件在与基板的安装面平行的旋转方向上旋转来安装于基板的部件安装机构而安装于基板的部件从标准位置偏离的位置偏离量，按照每个吸附嘴且按照每个给定的旋转角度，计算对部件安装机构的安装动作进行修正的反馈修正值。

此外，在本实施方式的修正值计算装置中，修正值计算部利用最接近第1旋转角度的给定的旋转角度的反馈修正值，计算安装以给定的旋转角度以外的第1旋转角度安装的部件时的反馈修正值。

在本实施方式的修正值计算装置中，修正值计算部对比第1旋转角度大的第2旋转角度的反馈修正值和比第1旋转角度小的第3旋转角度的反馈修正值进行插补，计算安装以给定的旋转角度以外的第1旋转角度安装的部件时的反馈修正值。

在本实施方式的修正值计算装置中，修正值计算部按照每个吸附嘴且按照每个给定的旋转角度，每当汇集给定数量的位置偏离量时，计算反馈修正值。

在本实施方式的修正值计算装置中，修正值计算部根据选择出的部件的位置偏离量来计算反馈修正值。

另外，在上述的任一个实施方式中，在部件安装系统1中位置偏离量获取机构均不限定于检查装置M4。例如，位置偏离量获取机构也可以由具备检查用摄像机32和位置偏离量计算部30a的部件安装装置M2、M3来构成。此外，修正值计算机构并不限定于管理计算机3所具备的修正值计算部40a。例如，修正值计算机构也可以是使部件安装装置M2、M3具备修正值计算部40a的结构。

本公开的部件安装系统及部件安装方法以及修正值计算装置具有能够精度良好地修正装置变动的影响所引起的部件的安装位置偏离这样的效果，在将部件安装于基板的领域中是有用的。

Claims (16)

1.一种部件安装系统，具备：

部件安装部，向基板安装部件；

安装控制部，控制所述部件安装部所执行的向基板安装部件的安装动作；

位置偏离量获取部，获取由所述部件安装部安装于基板的部件从标准位置偏离的位置偏离量，所述标准位置是将部件安装于基板时参照的部件的安装位置；和

修正值计算部，基于由所述位置偏离量获取部获取到的所述位置偏离量，计算对所述部件安装部的安装动作进行修正的反馈修正值，

所述修正值计算部按照所述基板上的多个分割区域的每个分割区域，根据安装在所述多个分割区域内的所述部件的所述位置偏离量来计算所述反馈修正值，

所述安装控制部利用安装所述部件的所述多个分割区域的所述反馈修正值来修正所述部件安装部所执行的所述安装动作。

2.根据权利要求1所述的部件安装系统，其中，

所述位置偏离量获取部具备：

拍摄部，拍摄所述部件；和

位置偏离量计算部，根据由所述拍摄部拍摄到的图像来计算所述部件从标准位置偏离的位置偏离量。

3.根据权利要求1所述的部件安装系统，其中，

所述位置偏离量获取部在生产中获取所述位置偏离量，所述修正值计算部在生产中计算所述反馈修正值。

4.根据权利要求1所述的部件安装系统，其中，

所述部件安装部包括：部件吸附部，吸附所述部件，并使所述部件在与所述基板的安装面平行的旋转方向上以给定的角度旋转来安装所述部件，

所述修正值计算部利用安装于所述基板的所述部件之中的、由所述部件吸附部以特定的一旋转角度安装的部件的位置偏离量，计算所述反馈修正值。

5.根据权利要求1所述的部件安装系统，其中，

所述部件安装系统还具备：位置偏离量存储部，在生产中持续地存储所述位置偏离量，

所述修正值计算部按照所述多个分割区域的每个分割区域，每当给定数量的所述位置偏离量汇集于所述位置偏离量存储部时，计算所述反馈修正值。

6.根据权利要求1所述的部件安装系统，其中，

所述部件安装系统还具备：部件选择部，选择在所述反馈修正值的计算中利用的部件，

所述修正值计算部根据由所述部件选择部选择出的部件的位置偏离量来计算所述反馈修正值。

7.一种部件安装方法，包括：

部件安装工序，向基板安装部件；

位置偏离量获取工序，获取在所述部件安装工序中安装于基板的部件从标准位置偏离的位置偏离量，所述标准位置是将部件安装于基板时参照的部件的安装位置；和

修正值计算工序，基于在所述位置偏离量获取工序中获取到的所述位置偏离量，计算对所述部件安装工序中的安装动作进行修正的反馈修正值，

在所述修正值计算工序中，按照所述基板上的多个分割区域的每个分割区域，根据安装在所述多个分割区域内的所述部件的所述位置偏离量来计算所述反馈修正值，

在所述部件安装工序中，利用安装所述部件的所述多个分割区域的所述反馈修正值来修正安装动作。

8.根据权利要求7所述的部件安装方法，其中，

所述位置偏离量获取工序包括：

拍摄工序，拍摄所述部件；和

位置偏离量计算工序，根据在所述拍摄工序中拍摄到的图像来计算所述部件从标准位置偏离的位置偏离量。

9.根据权利要求7所述的部件安装方法，其中，

在生产中在所述位置偏离量获取工序中获取所述位置偏离量，在生产中在所述修正值计算工序中计算所述反馈修正值。

10.根据权利要求7所述的部件安装方法，其中，

在所述部件安装工序中，使被吸附的所述部件在与所述基板的安装面平行的旋转方向上以给定的角度旋转来安装，

在所述修正值计算工序中，利用安装于所述基板的所述部件之中的、以特定的一旋转角度安装的部件的位置偏离量，计算所述反馈修正值。

11.根据权利要求7所述的部件安装方法，其中，

所述部件安装方法还包括：位置偏离量存储工序，在生产中持续地存储所述位置偏离量，

在所述修正值计算工序中，按照所述多个分割区域的每个分割区域，每当在所述位置偏离量存储工序中汇集给定数量的所述位置偏离量时，计算所述反馈修正值。

12.根据权利要求7所述的部件安装方法，其中，

所述部件安装方法还包括：部件选择工序，选择在所述反馈修正值的计算中利用的部件，

在所述修正值计算工序中，根据在所述部件选择工序中选择出的部件的位置偏离量来计算所述反馈修正值。

13.一种修正值计算装置，具备：

修正值计算部，基于由部件安装部安装于基板的部件从标准位置偏离的位置偏离量，按照所述基板上的多个分割区域的每个分割区域，根据安装在所述多个分割区域内的所述部件的所述位置偏离量，计算对所述部件安装部的安装动作进行修正的反馈修正值，所述标准位置是将部件安装于基板时参照的部件的安装位置；和

管理存储部，存储由所述修正值计算部计算出的反馈修正值。

14.根据权利要求13所述的修正值计算装置，其中，

所述修正值计算部利用安装于所述基板的所述部件之中的、以特定的一旋转角度安装的部件的位置偏离量，计算所述反馈修正值。

15.根据权利要求13所述的修正值计算装置，其中，

所述修正值计算部按照所述多个分割区域的每个分割区域，每当汇集给定数量的所述位置偏离量时，计算所述反馈修正值。

16.根据权利要求13所述的修正值计算装置，其中，

所述修正值计算部根据选择出的部件的位置偏离量来计算所述反馈修正值。

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