JP2008205424A - 部品実装方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】吸着ノズルの取り付け状態に関係なく、確実に部品を吸着でき、しかも正確に部品を基板に搭載することが可能な部品実装方法及び装置を提供する。
【解決手段】吸着ノズル18を補正装置50の接触位置検出センサに接触するまで下降させて、吸着ノズルの下降にともなう水平面内の位置ずれが検出され、その位置ずれが記憶装置に記憶される。吸着ノズルが下降して部品を吸着するときあるいは搭載するとき、記憶された位置ずれを補正して部品を吸着あるいは搭載する。このような構成では、吸着ノズルの取り付けに偏心があったり、あるいは傾斜して取り付けられても、確実に部品を吸着でき、しかも正確に部品を基板に搭載することが可能となる。
【選択図】図5
【解決手段】吸着ノズル18を補正装置50の接触位置検出センサに接触するまで下降させて、吸着ノズルの下降にともなう水平面内の位置ずれが検出され、その位置ずれが記憶装置に記憶される。吸着ノズルが下降して部品を吸着するときあるいは搭載するとき、記憶された位置ずれを補正して部品を吸着あるいは搭載する。このような構成では、吸着ノズルの取り付けに偏心があったり、あるいは傾斜して取り付けられても、確実に部品を吸着でき、しかも正確に部品を基板に搭載することが可能となる。
【選択図】図5
Description
本発明は、部品実装方法及び装置、更に詳細には、電子部品(以下、単に部品という)をプリント基板または液晶やディスプレイパネル基板などに自動的に実装する部品実装方法及び装置に関するものである。
従来から、部品供給装置から供給される部品を移載ヘッド(吸着ヘッド)に装着された吸着ノズルで吸着し、移載ヘッドを回路基板上に移動させ、部品を回路基板の所定位置に実装する部品実装装置が知られている。このような部品実装装置では、実装される各部品に関して搭載位置などの搭載に必要な部品データが予め作成されており、部品実装装置は、その部品データに基づいて部品認識、すなわち部品の吸着姿勢(位置ずれ、角度ずれ)を認識して、部品の位置決めを行い部品を所定の基板位置に実装している。
また、吸着ノズルは、部品吸着あるいは部品搭載時にノズル軸(θ軸)を中心に回転されるので、ノズルの回転中心(ノズルが先端に装着されているθ軸の中心)とノズル先端の中心が、一致していないと、正確な部品吸着、搭載が保証されなくなる。
このため、下記の特許文献1に示される従来技術では、図19に示すようにノズル交換の際にノズル部70を移載ヘッド71に装着した後、移載ヘッド71を部品認識カメラ72上に移動させてノズル部70を撮像し、XY駆動データから求まる移載ヘッド(θ軸)71の回転中心RCと画像データから求まるノズル先端部中心NCとから、図20に示すように、RCとNC間の位置ずれ量e(ΔXおよびΔY)を検出し、ノズル部70をXYθ軸を駆動することでこの位置ずれ量を補正して、微小な部品でも部品供給装置から正確に吸着できるようにしている。
しかしながら、図21に示すように移載ヘッドにノズル部を装着する際、装着ムラやノズル部の変形などにより、ノズル部80の先端が移載ヘッドのθ軸回転中心RCから位置ずれ(偏心)を生じていることがある。また、移載ヘッド内でノズル部をθ方向に回転させる軸体自体の真直度も機械的精度の限界があり厳密には湾曲しており、これによるθ軸回転中心とノズル先端との位置ずれ(偏心)も生じていることがある。
また、従来では、吸着される部品のサイズは比較的大きなものであったので、若干の位置ずれを生じていても、ノズル部は部品のいずれかの部分を吸着することができた。しかし、最近、部品はますます小型化し、図21(b)に示したように、0.6mm×0.3mm以下の部品82や0.5mm平方以下の部品もある。このような小さなサイズの部品82等に対して上記従来手段を採用すると、移載ヘッド(軸体)81に装着されたノズル部80において、図21(a)に示したように、移載ヘッド81のθ軸回転中心RCとノズル先端部中心NC間に位置ずれdがあり、ノズル部の先端が予定する吸着座標から僅かな位置ずれdを生じているだけでも、図21(b)に示すように、ノズル部80が部品82の端部を吸着し、吸着ミスが発生して、部品を吸着できなかったり、部品を縦や斜めに吸着してしまったりして基板に部品を実装できなくなるという問題があった。
さらに、移載ヘッド内に複数設けられる吸着ノズルの場合には、各部品の加工精度や組付調整の際の精度などから、各ノズルの回転中心自体も設計上の吸着ノズルの中心位置からのずれをもっている(図19参照、θ軸回転中心RCは設計上の吸着ノズル中心位置)。このような位置ずれがある状態で、図21(b)に示すように設計上の吸着ノズルの中心位置RCを基準として吸着動作時のXY軸の位置決めを行なうと、吸着すべき対象が微小サイズの部品82である場合には、ノズル先端が部品の外形からはみ出してしまったり中心から大きくずれてしまったりして、正常な吸着ができない、という問題がある。
また、前記図19に示したような画像認識による場合には、上述した問題点の他に、図22に示すように、ヘッドに取付けられたノズルのカメラによる認識位置と部品吸着位置・搭載位置とのZ軸方向のずれによる誤差も無視できない。組立て時の誤差によりノズルシャフト90に角度θの傾きを持っているとすると、認識位置(高さ)から、例えば吸着位置(高さ)へZ軸をZだけ下降させるとLだけずれ(誤差)が発生してしまうという問題がある。
本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、吸着ノズルの取り付けに偏心があったりあるいは傾斜して取り付けられても、確実に部品を吸着でき、しかも正確に部品を基板に搭載することが可能な部品実装方法及び装置を提供することを課題とする。
本発明は、吸着ノズルにより吸着された部品を撮像し、部品の吸着姿勢を補正して部品を基板に搭載する部品実装方法であって、吸着ノズルを垂直方向に下降させて、吸着ノズルの下降にともなう下降線に直交する方向の位置ずれを位置検出センサで検出し、前記検出された位置ずれを格納すると共に、吸着ノズルを下降させて部品を吸着及び/又は搭載するときに、前記格納された位置ずれを補正して部品を吸着及び/又は搭載することにより、前記課題を解決したものである。
本発明は、又、吸着ノズルにより吸着された部品を撮像し、部品の吸着姿勢を補正して部品を基板に搭載する部品実装装置であって、吸着ノズルを垂直方向に下降させて、吸着ノズルの下降にともなう下降線に直交する方向の位置ずれを検出する位置検出センサと、
前記検出された位置ずれを記憶する記憶装置と、吸着ノズルを下降させて部品を吸着及び/又は搭載するときに、前記格納された位置ずれを補正して部品吸着及び/又は搭載を制御する制御手段と、を備えたことにより、同様に前記課題を解決したものである。
前記検出された位置ずれを記憶する記憶装置と、吸着ノズルを下降させて部品を吸着及び/又は搭載するときに、前記格納された位置ずれを補正して部品吸着及び/又は搭載を制御する制御手段と、を備えたことにより、同様に前記課題を解決したものである。
本発明においては、前記下降させた吸着ノズルについて複数の回転角度で検出される各位置ずれに基づいて、吸着ノズルが装着されたθ軸の回転中心を求めるようにしてもよく、又、前記位置検出センサを、接触式又は非接触式としてもよい。
本発明によれば、Z軸駆動機構により吸着ノズルを位置検出センサ上面又は近接位置へ下降させ、吸着ノズルの下降にともなう下降線(垂直方向、設計上のθ軸中心)に直交する方向(水平方向)の位置ずれを検出するようにしているので、吸着ノズルの取り付けに偏心があったり、あるいは傾斜して取り付けられても、確実に部品を吸着でき、しかも正確に部品を基板に搭載することが可能となる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図1は、本発明に係る第1実施形態の部品実装装置の概略図であり、同図に示すように、部品実装装置1は、中央部から少し後方で左右方向に延在する回路基板搬送路15と、装置1の前部(図示の下側)に配設され、回路基板10に実装される部品を供給する部品供給部11と、装置1の前部に配設されたX軸移動機構12とY軸移動機構14を備えている。
X軸移動機構12は、部品を吸着する吸着ノズル18を備えた吸着ヘッド部13をX軸方向に移動させ、またY軸移動機構14は、X軸移動機構12並びに吸着ヘッド部13をY軸方向に移動させる。また装着ヘッド部13は、吸着ノズル18を垂直方向(Z軸方向)に昇降可能に移動させるZ軸移動機構を備え、また吸着ノズル18をノズル軸(吸着軸、θ軸)を中心に回転させるθ軸移動機構を備えている。
吸着ヘッド部13には、支持部材に取り付けるようにして、回路基板10上に形成された基板マークを撮像する基板認識カメラ17が搭載されている。この基板認識カメラ17は、後述するように、部品実装装置1の基部に配置された補正装置(位置検出センサ)50の基準マークなども撮像できるように構成されている。なお、この補正装置50は、部品実装装置1の外部に配置するようにしてもよい。
また、部品供給部11の側部には、吸着ノズル18に吸着された部品を下方から撮像する部品認識カメラ16が配置されている。
図2は部品実装装置の制御系の構成を示している。20は、装置全体を制御するマイクロコンピュータ(CPU)、並びにRAM、ROMなどからなるコントローラ(制御手段)である。
X軸モータ21は、X軸移動機構12の駆動源で、吸着ヘッド部13をX軸方向に移動させ、また、Y軸モータ22は、Y軸移動機構14の駆動源で、X軸移動機構12をY軸方向に駆動し、それにより吸着ヘッド部13はX軸方向とY軸方向に移動可能となる。
Z軸モータ23は、吸着ノズル18を昇降させるZ軸駆動機構(不図示)の駆動源で、吸着ノズル18をZ軸方向(高さ方向、垂直方向)に昇降させる。また、θ軸モータ24は、吸着ノズル18のθ軸回転機構(不図示)の駆動源で、吸着ノズル18をそのノズル中心軸(吸着軸)を中心にして回転させる。
画像処理装置27は、吸着ノズル18に吸着された部品19の画像処理を行うもので、A/D変換器27a、メモリ27b及びCPU27cから構成される。そして、吸着された部品19を撮像した部品認識カメラ16から出力されるアナログの画像信号をA/D変換器27aによりデジタル信号に変換してメモリ27bに格納し、CPU27cがその画像データに基づいて吸着された部品の認識を行う。すなわち、画像処理装置27は、部品中心と吸着角度を演算し、部品の吸着姿勢を認識する。
更に、画像処理装置27は、基板認識カメラ17で撮像された基板マークの画像を処理して基板マーク位置を演算するとともに、基板認識カメラ17で撮像された補正装置50上の補正用の基準マーク50aを処理して基準マーク50aの位置を検出する。
又、画像処理装置27は、部品認識カメラ16で撮像された部品19の画像データと基板認識カメラ17で撮像された基板マークデータを処理して、両方の補正データを制御手段20へ転送する。
キーボード28とマウス29は、部品データなどのデータを入力するために用いられる。
記憶装置30は、フラッシュメモリなどで構成され、データ生成手段で生成された部品データ、キーボード28とマウス29により入力された部品データ、及び不図示のホストコンピュータから供給される部品データなどを格納するのに用いられる。
表示装置(モニタ)31は、部品データ、演算データ、及び部品認識カメラ16で撮像した部品19の画像などをその表示面31aに表示する。
このような構成で、回路基板10に形成された基板マークが基板認識カメラ17で撮像され、画像処理装置27により基板マークの画像を処理することにより、回路基板10の基準位置ずれを補正する基板補正データ(Δx、Δy、Δθ)が取得され、該データが記憶装置30に格納される。
回路基板10に部品を搭載する生産に際して、部品供給装置11から供給される部品19が吸着ノズル18で吸着され、続いて吸着ヘッド部13が部品認識カメラ16上部に移動されて、部品19が同カメラで撮像される。
撮像された部品の画像は、画像処理装置27で画像処理され、部品中心と共に部品の傾きが演算され、制御手段20に転送される。
制御手段20は記憶装置30から基板補正データと当該部品の部品データを読み出して、この部品データと前記転送された画像処理装置27で演算された部品中心と部品の傾きをもとに、部品の搭載位置と吸着姿勢を認識する。続いて、部品搭載位置と部品中心と吸着中心間に位置ずれがあり、また角度ずれが検出されると、これらの総合位置ずれと角度ずれがX軸モータ21、Y軸モータ22、θ軸モータ24を駆動することにより補正され、部品が所定の回路基板位置に正しい姿勢(基準角度)で搭載される。
上述したような構成で、吸着ノズル18の吸着ヘッド部13に対する取り付けが偏心していたり、吸着ノズル18が吸着ヘッド部13に傾いて装着されると、部品吸着あるいは部品搭載時、吸着ノズル18をZ軸モータ23あるいはθ軸モータ24で昇降ないし軸回転させると、吸着ノズル18の位置(先端位置)が、吸着ノズルの昇降ないし回転で位置ずれを起こし、正常な吸着、搭載ができなくなり、上述したような問題が発生する。そこで、本発明では、補正装置50により吸着ノズル18の先端の位置を検出し、検出される基準位置(設計上のθ軸中心)からの位置ずれに伴う補正値を吸着ノズルの下降時のオフセット値として出力させるようにしている。
補正装置50は、図3に示したようにほぼ正方形の形状をしており、その中心には、補正用の基準マーク50aが取付けられていて、リード線50b、50cを介して記憶装置30に接続されている。
図4は補正装置50の詳細な構成を示すもので、補正装置50は、電磁誘導式の感圧センサ(EMRセンサ)51とタッチパネルなどに使用される抵抗膜センサ52を液晶ユニット53を挟む形で組合わせ、両センサ51、52をリード線でコントローラ54に接続して、コントローラ54から信号を出力させる構造をしている。補正装置50は、両センサ51、52で接触による感圧を検出して吸着ノズルの接触位置を検出し、吸着ノズルのZ方向(垂直方向)下降にともなう水平方向(X、Y方向)の位置ずれを検出する位置検出センサを構成している。
なお、電磁誘導式の感圧センサ51は、感圧の諧調が256段階で読み取り分解能は0.0125mmで、抵抗膜センサ52は1024×1024ピクセルとなっており、両センサ51と52で接触位置を検出する接触式の位置検出センサを構成している。
また、部品搭載時の補正を行うときの補正装置50の検知面の高さ、つまり接触式位置検出センサの高さは、部品搭載面の高さと一致するように配置されている。このように、補正装置の検知面の高さと部品搭載高さを一致させておけば、より実搭載の条件に近く、吸着ノズルが接触した搭載時にZ軸方向上方に加圧された影響でノズルの偏心が発生した状態で偏心量が測定できる。また、部品吸着時の補正を行うときの補正装置50の検知面の高さは、所定の基準の吸着面高さに設定される。
補正基準マーク50aの中心位置における補正装置50の出力値は、予め補正装置50の作製時に測定し取得する。例えば、補正基準マークを貼り付ける時にその時の出力値を記憶しておき、貼り付けた補正基準マーク50aの位置を測定し取得しておく。
次に、基板認識カメラ17をX軸移動機構12、Y軸移動機構14を動作させて補正装置50の上方に位置決めし、基板認識カメラ17で補正装置50の補正基準マーク50aを撮像し、X軸移動機構12、Y軸移動機構14の位置を補正して吸着ノズル18、即ち設計上のθ軸中心が補正基準マーク50aの中心位置(X0、Y0)に来るように動作させる。
次に、θ軸が基準角度にあるときの吸着ノズル18を下降させ、図5に示したように、吸着ノズル18の先端が補正装置50の接触位置検出センサ(51、52)に接触する位置まで下降させる。吸着ノズル18の先端が補正装置50に接触することで、図6に示したように、補正装置50上に実際に接触した吸着ノズル18の先端位置(X1、Y1)が検出される。この補正基準マーク50aの位置(X0、Y0)の位置(設計上のθ軸中心)と吸着ノズル18の接触位置(X1、Y1)の位置ずれ量(X1−X0、Y1−Y0)が検出され、この位置ずれ量を基準角度における吸着ノズル18の位置の移動指令値のオフセット量、つまり吸着ノズルの取り付け補正値として記憶装置30に記憶しておく。
続いて、吸着ノズル18を一旦上昇させて60°時計方向にθ軸回転させ、吸着ノズル18の先端が補正装置50に接触するまで下降させ、その接触位置(X2、Y2)を検出し、この回転角度における位置ずれ量(X2−X0、Y2−Y0)を求める。同様に、図7に示したように、60°ずつのノズル回転角度毎に吸着ノズル18の先端が補正装置50に接触するまで下降させ、その接触位置(Xn、Yn)(n=3〜6)を検出し、各回転角度における位置ずれ量(Xn−X0、Yn−Y0)を求め、それぞれの位置ずれ量を補正値として記憶装置30に格納する。
上記の補正値は、部品吸着用の補正値を取得する場合には、補正装置の検知面の高さを基準の吸着面高さに設定して、また部品搭載用の補正値を取得する場合には、補正装置の検知面の高さを部品搭載面の高さに設定してそれぞれの回転角度で取得するようにする。
吸着ノズル18により部品を吸着するとき、吸着ノズル18の回転角度、即ちθ軸の回転角度を検出して、記憶装置30から吸着ノズルの下降にともなう当該角度での部品吸着用の補正値を求める。回転角度が前記60°ごとの回転角度に該当しない場合には、角度補間を行い補正値を求める。そして、部品を吸着するために、吸着ノズル18を下降させるとき、X軸モータ21、Y軸モータ22を前記補正値に応じて駆動して吸着ノズルの水平方向の位置ずれを補正する。これにより、吸着ノズルの取り付け誤差があって偏心していたり、あるいは吸着ノズルが傾斜して取り付けられた場合でも、正確な部品吸着が可能となる。
上記は部品吸着のときの補正であったが、部品を搭載するときも同様である。部品認識カメラ16による部品認識の結果、吸着角度ずれがあった場合、その角度だけ吸着ノズル18がθ軸回転されて吸着ノズル18が下降して部品が搭載される。従って、このときの吸着ノズル18の回転角度を検出して、記憶装置30から吸着ノズルの下降にともなう当該角度での部品搭載用の補正値を求める。回転角度が前記60°ごとの回転角度に該当しない場合には、角度補間を行い補正値を求め、吸着ノズル18を下降させて部品を基板に搭載するとき、X軸モータ21、Y軸モータ22を前記補正値に応じて駆動して吸着ノズルの水平方向の位置ずれを補正する。これにより、吸着ノズルの取り付け誤差があって偏心していたり、あるいは吸着ノズルが傾斜して取り付けられた場合でも、正確な部品搭載が可能となる。
なお、上述した実施例では、補正装置50に基準マーク50aが設けられているが、このような基準マークがない場合でも、吸着ノズル先端の振れを相対的に計測し、その振れを補正することができる。以下にその方法を説明する。
吸着ヘッド部13を補正装置50の上方の予め決められた位置に位置決めし、吸着ノズル18を下降させ、吸着ノズル18の先端が補正装置50の接触式位置検出センサ(51、52)に接触するまでZ軸モータ23を駆動する。補正装置50に吸着ノズル18の先端が接触することで補正装置50上の吸着ノズル18の先端位置(X1、Y1)が検出される。図8に示したように、同様に吸着ノズル18を60°ずつ回転させ、その回転ごとに吸着ノズル18を補正装置50に接触させて吸着ノズル18の先端の接触位置(Xn、Yn)(n=2〜6)を求める。なお、このときの補正装置50の検知面の高さは、所定の基準高さに設定しておく。
このようにして求めた(X1、Y1)〜(X6、Y6)の座標からの演算処理で、θ軸の回転中心である吸着ノズル18の回転中心(XR、YR)が求められる。このように、吸着ノズル18が回転した時の吸着ノズルの振れによる位置ずれ量も計測できるので、この位置ずれ量を吸着ノズル18の各回転時のθ軸中心からのXYオフセット量(補正値)として、記憶装置30に記憶しておく。
部品吸着あるいは部品搭載時に吸着ノズルが下降したときの水平方向の位置ずれの補正は、上述したとおりである。
なお、上述した実施例で、部品吸着時に部品吸着面の高さが、あるいは部品搭載時に部品搭載面の高さが上記補正値を取得したときの高さと異なる場合は、吸着ノズルの目標吸着面あるいは搭載面への下降ストロークと補正値を取得したときの下降ストロークの比に応じて補正値を按分し、目標の吸着面あるいは搭載面への下降時の補正値を求めるようにする。
また、上述した実施例では、補正装置50として、電磁誘導式の感圧センサを使用したが、電磁誘導センサ、抵抗膜センサ等を使用して接触式位置検出センサを構成してもよい。
次に、本発明に係る第2実施形態の部品実装装置について説明する。
本実施形態の部品実装装置は、前記図1、図2に示した接触式の位置検出センサである補正装置50に代えて、図9に示す非接触式の位置検出センサである補正装置110を採用している。
この補正装置110は、PSD素子(Position Sensing Detector)を使用したものである。このPSD素子は、スポット像の光強度重心位置をアナログ電気信号として出力することができることから、光が入射された位置を検出することができる広い受光面を持った半導体素子である。
図10には、この補正装置110が備えているPSD素子のイメージを示すように、例えば9mm×9mmの正方形状をしている。又、同図に電極のイメージを示すように、入射光によって生じた光電流を、X方向、Y方向にそれぞれ離れた位置に対向して置かれた電極対により計測する仕組みになっている。各電極対で計測される電圧は、発生する光電流(入射光量)と、光入射位置から電極までの間の距離に応じた抵抗値とによって決まる。
上記補正装置110の中心には、補正基準マーク111が取付けられている。光入射位置の座標に対応する出力値(X,Y)は、次の式
X=(Vx1−Vx2)/(Vx1+Vx2)
Y=(Vy1−Vy2)/(Vy1+Vy2)
により、それぞれ求められる。
X=(Vx1−Vx2)/(Vx1+Vx2)
Y=(Vy1−Vy2)/(Vy1+Vy2)
により、それぞれ求められる。
次に、本実施形態において、吸着ノズルの先端位置の検出のために使用する専用の治具ノズルについて、図11、図12を参照して説明する。
図11に縦断面図を模式的に示すように、治具ノズル120は、電池121、レーザダイオード122、可動式スイッチ123が内蔵されており、対応する図12に示すように、スイッチ123は矢印方向の空圧により電池121とレーザダイオード122を通電し、レーザダイオード122を発光することができる。
このレーザダイオード122は、図示されているようにノズル下端部に下向きに取り付けられており、治具ノズル120を補正装置110の上方に位置決めすると、その上面にレーザを投光することができるようになっている。
ここで、スイッチ123について図13に示すOFF状態とON状態とを参照して説明すると、このスイッチ123の底部には、固定電極123bが取り付けられており、該電極123bは電線123cを経由してレーザダイオード122の電極の一方に接続されている。
又、スイッチ123のシリンダ部123eの下部には、スイッチ可動部123aがあり、該可動部123aの下側に電極(接触端部)が取り付けられていて、シリンダの外周部に設けた電極123dと電気的に接続されている。この可動部123aは、空気圧によって下側に押されると、もう一方の固定電極123bと接触し、通電されることによりレーザダイオード122が発光するようになっている。
以上の構成において吸着ノズル18の位置の認識補正動作の流れを、図14をも参照して説明する。
まずは、補正装置110の中心位置に設けた補正基準マーク111の位置を認識する方法を説明する。
前記図1、図2において、吸着ヘッド13に設置した基板認識カメラ17を、補正装置50の代わりに設置した、前記図9に示した非接触式位置検出センサからなる補正装置110の上方に位置決めし、補正基準マーク111の位置(X0,Y0)を認識する。
この補正基準マーク111の位置中心位置(X0,Y0)における補正装置110の出力値は、X方向両端の電圧出力値をそれぞれVx1、Vx2、Y方向両端の電圧出力値をそれぞれVy1、Vy2とすると、
X方向の位置
X0=(Vx1−Vx2)/(Vx1+Vx2)
Y方向の位置
Y0=(Vy1−Vy2)/(Vy1+Vy2)
となる。
X方向の位置
X0=(Vx1−Vx2)/(Vx1+Vx2)
Y方向の位置
Y0=(Vy1−Vy2)/(Vy1+Vy2)
となる。
ここで、中心の位置ということは、Vx1とVx2の値、Vy1とVy2の値がそれぞれ同じ値であるので、(X0,Y0)=(0,0)となる位置が中心位置である。
次に、吸着ノズル18の位置の認識方法について説明する。
前記図1に設置した補正装置110の中心位置に、吸着ヘッド部13を一致させて補正値を取得するために、まずは基板認識カメラ17をX軸移動機構12、Y軸移動機構14を動作させて補正装置110の上方に位置決めする。
そして、基板認識カメラ17で補正装置110の補正基準マーク111を撮像し、X軸移動機構12、Y軸移動機構14の位置を、該カメラ17の中心と吸着ノズル18が装着されるθ軸の中心とのずれ分だけ補正して、該θ軸中心が補正基準マーク111の中心位置にくるように動作させる。
次に、吸着ノズル18の代わりに予め装着してある治具ノズル120に正圧を供給し、該治具ノズル120の先端のレーザダイオード122を発光させて補正装置110にレーザを投光する。
補正装置110に対して、基準角度のθ軸に装着されている治具ノズル120からレーザを投光することにより、前記図6に相当する図15に示すように、補正装置110上の治具ノズル120の先端位置(X1,Y1)がわかる。当然のことであるが、レーザを投光する場合は、可能な限り治具ノズル120の先端を補正装置110の表面に接近させ、実質上接触させる。
これにより、補正基準マーク111の位置(X0,Y0)の位置と治具ノズル120の位置(X1,Y1)の位置ずれ量(X1−X0,Y1−Y0)がわかるため、これを治具ノズル120の位置の移動指令値のオフセット量、即ち補正値として記憶装置30に記憶しておく。
この状態で、θ軸を図15の基準角度から60°ずつ回転させ、各角度に回転させた治具ノズル120によりレーザを投光し、前記図7に相当する図16に示すようにノズル先端の位置(X2,Y2)〜(X6,Y6)を検出し、ノズル回転角度毎の補正値を取得する。
この値を従来行なう部品搭載、部品吸着時のパラメータとして付加することにより、正確に部品搭載と部品吸着を行なうことが可能となる。
次に、治具ノズル120(吸着ノズル18)の回転によるノズル先端の振れの補正方法を、同様に前記図8に相当する図17を参照して説明する。
前記図1で、吸着ヘッド部13を補正装置110の上方の近接位置に位置決めする。治具ノズル120先端のレーザを発光させ、補正装置110に投光する。このように、補正装置110に治具ノズル120の先端のレーザを投光することにより、前記図15と同様に補正装置110上の治具ノズル120の先端位置(X1,Y1)がわかる。
次いで、前記図16の場合と同様に、θ軸を基準角度から順次60°回転させて、再度治具ノズル120の先端からレーザを補正装置110に投光する。
補正装置110に治具ノズル120の先端を接近させ、実質上接触する位置でレーザを投光することにより、補正装置110上の治具ノズル120の基準角度から60°の時の先端位置(X2,Y2)がわかる。同様に治具ノズル120、即ちθ軸を60°ずつ回転させて(X3,Y3)〜(X6,Y6)の位置を求める。
求めた(X1,Y1)〜(X6,Y6)の座標から治具ノズル120の回転中心(設計上のθ軸中心)が求められ、治具ノズル120を回転した時のノズルの振れによる位置ずれ量がわかり、治具ノズル120の回転時のXYオフセット量(補正値)として記憶装置30に記憶しておく。
次に、吸着ノズル18の組付け時の傾きの補正方法について、図18を参照して説明する。
図1で吸着ヘッド部13を補正装置110の上方に位置決めする。治具ノズル120を、その先端が補正装置110から所定の高さの位置まで下降させ、その位置で治具ノズル120の先端からレーザを補正装置110上に投光し、その時の治具ノズル120からの投光位置(X1,Y1)がわかる。
その位置から治具ノズル120を30mm下降させて、再度治具ノズル120の先端からレーザを補正装置110に投光を行なう。これにより、上記投光位置(X1,Y1)を取得した高さから治具ノズル120を30mm下げた位置での投光位置(X2,Y2)がわかる。
取得された(X1,Y1)〜(X2,Y2)の座標から治具ノズル120の傾きが求められ、治具ノズル120を上下移動した時のノズル装着用のθ軸自体の傾きによる位置ずれ量Tと、治具ノズル下降量30mmからθ軸の傾きρがわかり、治具ノズル120の上下移動時のXYのオフセット量としての補正値として記憶装置30に記憶しておく。
これにより、部品の上に部品を搭載する場合等のように、異なる高さ位置に部品を搭載する3次元搭載時にも正確に搭載することが可能となる。
以上説明したように、本実施形態によれば、部品認識カメラの中心位置(=一致させたθ軸中心)と部品の吸着位置や搭載位置とのノズルのZ軸に直交する方向の偏心量(水平方向の位置ずれ)が実機内で簡単に正確に測定できる。
又、前記図17のように治具ノズル120を60°ずつ、回転させた位置で認識を行ない、吸着ノズルの回転中心の認識を行なうことも可能であり、これにより設計上のθ軸中心からの偏心量に基づいて実際の吸着位置や搭載位置を補正することができる。
更に、搭載時の位置ずれを補正するために、別工程で行なう搭載による誤差測定の必要がなくなるため、作業効率を向上することができる。
また、本発明は、塗布ノズルを下降させ、回路基板上に塗布剤を塗布する塗布装置にも適用することができる。塗布ノズルに取り付け誤差があって偏心していたり、あるいは塗布ノズルが傾斜して取り付けられている場合でも、正確に塗布剤を基板に塗布することができる。
なお、上記実施形態で、吸着ノズルや治具ノズルを60°ずつ回転させて補正値を求めたり、あるいは接触位置や投光位置を求めてノズルの回転中心を求めるようにしたが、回転角度は60°に限定されるものでなく、必要とされる精度に応じて、更に細かな角度、あるいは粗い角度に設定することができる。
16…部品認識カメラ
17…基板認識カメラ
18…吸着ノズル
27…画像処理装置
50…接触式位置検出センサ
51…EMRセンサ
52…抵抗膜センサ
53…液晶ユニット
110…非接触式位置検出センサ
120…治具ノズル
122…レーザダイオード
17…基板認識カメラ
18…吸着ノズル
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52…抵抗膜センサ
53…液晶ユニット
110…非接触式位置検出センサ
120…治具ノズル
122…レーザダイオード
Claims (6)
- 吸着ノズルにより吸着された部品を撮像し、部品の吸着姿勢を補正して部品を基板に搭載する部品実装方法であって、
吸着ノズルを垂直方向に下降させて、吸着ノズルの下降にともなう下降線に直交する方向の位置ずれを位置検出センサで検出し、
前記検出された位置ずれを格納すると共に、
吸着ノズルを下降させて部品を吸着及び/又は搭載するときに、前記格納された位置ずれを補正して部品を吸着及び/又は搭載することを特徴とする部品実装方法。 - 前記下降させた吸着ノズルについて複数の回転角度で検出される各位置ずれに基づいて、吸着ノズルが装着されたθ軸の回転中心を求めることを特徴とする請求項1に記載の部品実装方法。
- 前記位置検出センサが、接触式又は非接触式であることを特徴とする請求項1又は2に記載の部品実装方法。
- 吸着ノズルにより吸着された部品を撮像し、部品の吸着姿勢を補正して部品を基板に搭載する部品実装装置であって、
吸着ノズルを垂直方向に下降させて、吸着ノズルの下降にともなう下降線に直交する方向の位置ずれを検出する位置検出センサと、
前記検出された位置ずれを記憶する記憶装置と、
吸着ノズルを下降させて部品を吸着及び/又は搭載するときに、前記格納された位置ずれを補正して部品吸着及び/又は搭載を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする部品実装装置。 - 前記下降させた吸着ノズルについて複数の回転角度で検出される各位置ずれに基づいて、吸着ノズルが装着されたθ軸の回転中心を求めることを特徴とする請求項4に記載の部品実装装置。
- 前記位置検出センサが、接触式又は非接触式であることを特徴とする請求項4又は5に記載の部品実装装置。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014041910A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Sony Corp | 部品実装装置、位置補正方法、基板の製造方法及び情報処理装置 |
JP2016152245A (ja) * | 2015-02-16 | 2016-08-22 | Juki株式会社 | 電子部品実装装置及び電子部品実装方法 |
WO2016199237A1 (ja) * | 2015-06-10 | 2016-12-15 | 富士機械製造株式会社 | 検出方法 |
JP2016219525A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装装置における高さセンサの測定位置補正方法及び部品実装装置 |
JP2016219526A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装装置における高さセンサの測定位置補正方法及び部品実装装置 |
JP2018037464A (ja) * | 2016-08-29 | 2018-03-08 | Juki株式会社 | 実装装置、キャリブレーション方法及びキャリブレーションプログラム |
JP2018082096A (ja) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | ハンファテクウィン株式会社Hanwha Techwin Co.,Ltd. | 電子部品実装システム及び電子部品実装方法 |
JP2018113337A (ja) * | 2017-01-12 | 2018-07-19 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装システムおよび部品実装方法ならびに補正値算出装置 |
JP2019169730A (ja) * | 2019-06-10 | 2019-10-03 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装システムおよび部品実装方法ならびに補正値算出装置 |
US10893639B2 (en) | 2017-01-12 | 2021-01-12 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Component mounting using feedback correction |
CN113013079A (zh) * | 2021-02-09 | 2021-06-22 | 英特尔产品(成都)有限公司 | 用于校准涡流吸嘴的距离传感器的安装位置的工具和方法 |
WO2023127006A1 (ja) * | 2021-12-27 | 2023-07-06 | 株式会社Fuji | 実装装置および曲がり判定方法 |
-
2007
- 2007-07-26 JP JP2007194998A patent/JP2008205424A/ja active Pending
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014041910A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Sony Corp | 部品実装装置、位置補正方法、基板の製造方法及び情報処理装置 |
CN105899063B (zh) * | 2015-02-16 | 2019-11-08 | Juki株式会社 | 电子部件安装装置及电子部件安装方法 |
JP2016152245A (ja) * | 2015-02-16 | 2016-08-22 | Juki株式会社 | 電子部品実装装置及び電子部品実装方法 |
CN105899063A (zh) * | 2015-02-16 | 2016-08-24 | Juki株式会社 | 电子部件安装装置及电子部件安装方法 |
JP2016219525A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装装置における高さセンサの測定位置補正方法及び部品実装装置 |
JP2016219526A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装装置における高さセンサの測定位置補正方法及び部品実装装置 |
WO2016199237A1 (ja) * | 2015-06-10 | 2016-12-15 | 富士機械製造株式会社 | 検出方法 |
JPWO2016199237A1 (ja) * | 2015-06-10 | 2018-03-29 | 富士機械製造株式会社 | 検出方法 |
JP2018037464A (ja) * | 2016-08-29 | 2018-03-08 | Juki株式会社 | 実装装置、キャリブレーション方法及びキャリブレーションプログラム |
JP2018082096A (ja) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | ハンファテクウィン株式会社Hanwha Techwin Co.,Ltd. | 電子部品実装システム及び電子部品実装方法 |
JP2018113337A (ja) * | 2017-01-12 | 2018-07-19 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装システムおよび部品実装方法ならびに補正値算出装置 |
US10893639B2 (en) | 2017-01-12 | 2021-01-12 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Component mounting using feedback correction |
JP2019169730A (ja) * | 2019-06-10 | 2019-10-03 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装システムおよび部品実装方法ならびに補正値算出装置 |
CN113013079A (zh) * | 2021-02-09 | 2021-06-22 | 英特尔产品(成都)有限公司 | 用于校准涡流吸嘴的距离传感器的安装位置的工具和方法 |
CN113013079B (zh) * | 2021-02-09 | 2023-08-25 | 英特尔产品(成都)有限公司 | 用于校准涡流吸嘴的距离传感器的安装位置的工具和方法 |
WO2023127006A1 (ja) * | 2021-12-27 | 2023-07-06 | 株式会社Fuji | 実装装置および曲がり判定方法 |
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