CN107922741A

CN107922741A - 树脂组合物

Info

Publication number: CN107922741A
Application number: CN201680046815.0A
Authority: CN
Inventors: 堤隆志; 斋藤隆之; 藤村诚
Original assignee: Nippon Zeon Co Ltd
Current assignee: Zeon Corp
Priority date: 2015-08-31
Filing date: 2016-08-25
Publication date: 2018-04-17
Also published as: TW201716318A; WO2017038620A1; EP3345971A1; EP3345971A4; KR20180048651A; US20180273722A1; JPWO2017038620A1

Abstract

本发明提供一种树脂组合物，含有粘结剂树脂(A)、下述通式(1)所表示的芳香族化合物(B)以及交联剂(C)。式(1)中，R¹～R⁸各自独立地为氢原子、羟基、羧基、能够具有取代基的碳原子数为1～12的脂肪族烃基、能够具有取代基的碳原子数为6～12的芳香族烃基。m为0～2的整数，m＝0时，R¹～R⁴、R⁶、R⁷的至少2个为羟基，m＝1或2时，R¹～R⁸的至少2个为羟基，在m为2以上的情况下，无论通式(1)所表示的结构如何，存在的3个以上的苯环能够在任意的位置相互稠合。

Description

树脂组合物

技术领域

本发明涉及树脂组合物和具有由该树脂组合物形成的树脂膜的电子部件，进一步详细而言，涉及能够形成耐热性、耐水性、耐热冲击性以及耐溶剂性优异的树脂膜的树脂组合物以及具有由该树脂组合物形成的树脂膜的电子部件。

背景技术

在有机EL元件、液晶显示元件等各种显示元件、集成电路元件，固体图像传感器，滤色片，黑色矩阵等电子部件中，设置有各种树脂膜作为用于防止这些电子部件恶化或损伤的表面保护膜、用于将元件表面和/或布线平坦化的平坦化膜、用于将配置成层状的布线间绝缘的层间绝缘膜等。

一直以来，作为用于形成这些树脂膜的树脂材料，通常使用环氧树脂、聚酰亚胺、聚苯并噁唑等热固性树脂材料。近年来，随着布线、设备的高密度化，在这些树脂材料中，也要求开发低介电性等电特性优异的新的树脂材料。

为了满足这些要求，例如，在专利文献1中公开了如下的树脂组合物：包含具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A)、交联剂(B)以及放射线敏感性化合物(C)，放射线敏感性化合物(C)的含量相对于100重量份的环状烯烃聚合物(A)为10～45重量份。然而，根据该专利文献1所记载的放射线敏感性树脂组合物，虽然能够形成低介电性等电特性优异而且耐热性和耐溶剂性优异的树脂膜，但是耐水性和耐热冲击性不充分，因此，期望改善耐水性和耐热冲击性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-295374号公报。

发明内容

发明要解决的问题

本发明的目的在于提供一种能够形成耐热性、耐水性、耐热冲击性及耐溶剂性优异的树脂膜的树脂组合物以及具有由这样的树脂组合物形成的树脂膜的电子部件。

用于解决问题的方案

本发明人等为了实现上述目的，进行了深入的研究，结果发现，基于通过在粘结剂树脂中配合具有2个以上酚性羟基的特定的芳香族化合物和交联剂而得到的树脂组合物，能够实现上述目的，以至完成了本发明。

即，根据本发明提供：

[1]一种树脂组合物，含有粘结剂树脂(A)、下述通式(1)所表示的芳香族化合物(B)以及交联剂(C)，

[化学式1]

(上述通式(1)中，R¹～R⁸各自独立地为氢原子、羟基、羧基、能够具有取代基的碳原子数为1～12的脂肪族烃基、能够具有取代基的碳原子数为6～12的芳香族烃基。m为0～2的整数，m＝0时，R¹～R⁴、R⁶、R⁷的至少2个为羟基，m＝1或2时，R¹～R⁸的至少2个为羟基，在m为2以上的情况下，无论通式(1)所表示的结构如何，存在的3个以上的苯环能够在任意的位置相互稠合。)

[2]根据上述[1]所述的树脂组合物，其中，进一步含有光酸产生剂(D)；

[3]根据上述[2]所述的树脂组合物，其中，上述光酸产生剂(D)为醌二叠氮化合物；

[4]根据上述[1]～[3]中任一项所述的树脂组合物，其中，上述粘结剂树脂(A)为具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物；

[5]根据上述[1]～[4]中任一项所述的树脂组合物，其中，上述芳香族化合物(B)为下述通式(2)所表示的化合物；

[化学式2]

(上述通式(2)中，R¹～R⁴、R⁶、R⁷与上述通式(1)相同，R¹～R⁴、R⁶、R⁷的至少2个为羟基。)

[6]根据上述[5]所述的树脂组合物，其中，上述芳香族化合物(B)为如下的化合物：在上述通式(2)中，R¹～R⁴、R⁶、R⁷中的2个为羟基、1个为碳原子数为1～12的脂肪族烃基、其余为氢原子的化合物，或者在上述通式(2)中，R¹～R⁴、R⁶、R⁷中的3个为羟基、其余为氢原子的化合物；

[7]根据上述[1]～[6]中任一项所述的树脂组合物，其中，上述芳香族化合物(B)的含量相对于100重量份的上述粘结剂树脂(A)为0.01～30重量份；

[8]根据上述[1]～[7]中任一项所述的树脂组合物，其中，上述交联剂(C)为含环氧基交联剂；以及

[9]一种电子部件，具有由上述[1]～[8]中任一项所述的树脂组合物形成的树脂膜。

发明效果

根据本发明，能够提供一种能够形成耐热性、耐水性、耐热冲击性及耐溶剂性优异的树脂膜的树脂组合物以及具有由这样的树脂组合物形成的树脂膜的电子部件。

具体实施方式

本发明的树脂组合物含有粘结剂树脂(A)、后述的通式(1)所表示的芳香族化合物(B)以及交联剂(C)。

(粘结剂树脂(A))

作为本发明中使用的粘结剂树脂(A)没有特别限定，优选为具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A1)、丙烯酸树脂(A2)、聚酰亚胺或其前体(A3)、聚苯并噁唑或其前体(A4)、聚硅氧烷(A5)或酚醛树脂(A6)，在这些中，从更加提高本发明的树脂组合物的耐水性的观点出发，特别优选具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A1)。

这些粘结剂树脂(A)，可以分别单独使用，或也可并用2种以上。

作为具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A1)(以下，仅称为“环状烯烃聚合物(A1)”。)，可举出1个或2个以上环状烯烃单体的聚合物、或者1个或2个以上环状烯烃单体和能够与其共聚的单体的共聚物，在本发明中，作为用于形成环状烯烃聚合物(A1)的单体，优选使用至少具有质子性极性基团的环状烯烃单体(a)。

在此，质子性极性基团是指包含氢原子直接结合于属于元素周期表第15族或第16族的原子的原子的基团。在属于元素周期表第15族或第16族的原子中，优选属于元素周期表第15族或第16族的第1或第2周期的原子，更优选为氧原子、氮原子或硫原子，特别优选为氧原子。

作为这样的质子性极性基团的具体例子，可举出：羟基，羧基(羟基羰基)，磺酸基、磷酸基等具有氧原子的极性基团；伯胺基、仲胺基、伯酰胺基、仲酰胺基(酰亚胺基)等具有氮原子的极性基团；硫醇基等具有硫原子的极性基团等。在这些中，优选具有氧原子的质子性极性基团，更优选为羧基。

在本发明中，与具有质子性极性基团的环状烯烃树脂结合的质子性极性基团的数目没有特别限定，并且，也可以包含不同种类的质子性极性基团。

作为具有质子性极性基团的环状烯烃单体(a)(以下，酌情称为“单体(a)”。)的具体例，可举出：2-羟基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-羟基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羧甲基-2-羟基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-甲氧基羰基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-乙氧基羰基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-丙氧基羰基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-丁氧基羰基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-戊氧基羰基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-己氧基羰基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-环己氧基羰基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-苯氧基羰基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-萘氧基羰基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-联苯氧基羰基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-苄氧基羰基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-羟基乙氧基羰基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2,3-二羟基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-甲氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-乙氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-丙氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-丁氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-戊氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-己氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-环己氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-苯氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-萘氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-联苯氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-苄氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-羟基乙氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-羟基羰基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、3-甲基-2-羟基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、3-羟甲基-2-羟基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基三环[5.2.1.0^2,6]癸-3,8-二烯、4-羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4,5-二羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-羧甲基-4-羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、N-(羟基羰基甲基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(羟基羰基乙基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(羟基羰基戊基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(二羟基羰基乙基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(二羟基羰基丙基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(羟基羰基苯乙基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-(4-羟基苯基)-1-(羟基羰基)乙基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(羟基羰基苯基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺等含羧基环状烯烃；2-(4-羟基苯基)二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-(4-羟基苯基)二环[2.2.1]庚-5-烯、4-(4-羟基苯基)四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-(4-羟基苯基)四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、2-羟基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟乙基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-羟甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2,3-二羟甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-(羟基乙氧基羰基)二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-(羟基乙氧基羰基)二环[2.2.1]庚-5-烯、2-(1-羟基-1-三氟甲基-2,2,2-三氟乙基)二环[2.2.1]庚-5-烯、2-(2-羟基-2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙基)二环[2.2.1]庚-5-烯、3-羟基三环[5.2.1.0^2,6]癸-4,8-二烯、3-羟甲基三环[5.2.1.0^2,6]癸-4,8-二烯、4-羟基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-羟甲基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4,5-二羟甲基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-(羟基乙氧基羰基)四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-(羟基乙氧基羰基)四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、N-(羟基乙基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(羟基苯基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺等含羟基环状烯烃等。在这些中，从使得到的树脂膜的密合性提高的这个方面出发，优选含羧基环状烯烃，特别优选4-羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯。这些单体(a)可以分别单独使用，也可以组合2种以上使用。

环状烯烃聚合物(A1)中的单体(a)的单元的含有比例相对于全部单体单元，优选为10～90摩尔％，更优选为20～80摩尔％，进一步优选为30～70摩尔％。通过使单体(a)的单元的含有比例为上述范围，从而能够使环状烯烃聚合物(A1)在极性溶剂中的溶解性良好，并且能够进一步提高得到的树脂膜的耐热性。

此外，本发明中使用的环状烯烃聚合物(A1)也可以是将具有质子性极性基团的环状烯烃单体(a)和能够与其共聚的单体(b)共聚而得到的共聚物。作为这样的能够共聚的单体，可举出：具有除质子性极性基团以外的极性基团的环状烯烃单体(b1)、不具有极性基团的环状烯烃单体(b2)以及除环状烯烃以外的单体(b3)(以下，酌情称为“单体(b1)”、“单体(b2)”、“单体(b3)”。)。

作为具有除质子性极性基团以外的极性基团的环状烯烃单体(b1)，可举出例如具有N-取代酰亚胺基、酯基、氰基、酸酐基或卤原子的环状烯烃。

作为具有N-取代酰亚胺基的环状烯烃，可举出例如下述通式(3)所表示的单体。

[化学式3]

(上述通式(3)中，R⁹表示氢原子或碳原子数为1～16的烷基或芳基。n表示1或2的整数。)

在上述通式(3)中，R⁹为碳原子数为1～16的烷基或芳基，作为烷基的具体例子，可举出：甲基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基、正十三烷基、正十四烷基、正十五烷基、正十六烷基等直链烷基；环丙基、环丁基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基、环壬基、环癸基、环十一烷基、环十二烷基、降冰片基、冰片基、异冰片基、十氢化萘基、三环癸基、金刚烷基等环状烷基；2-丙基、2-丁基、2-甲基-1-丙基、2-甲基-2-丙基、1-甲基丁基、2-甲基丁基、1-甲基戊基、1-乙基丁基、2-甲基己基、2-乙基己基、4-甲基庚基、1-甲基壬基、1-甲基十三烷基、1-甲基十四烷基等支链状烷基等。此外，作为芳基的具体例子，可举出苯基、苄基等。在这些中，从耐热性和在极性溶剂中的溶解性更优异的方面出发，优选碳原子数为6～14的烷基和芳基，更优选碳原子数为6～10的烷基和芳基。当碳原子数为4以下时，在极性溶剂中的溶解性差，当碳原子数为17以上时，耐热性差，进而在将树脂膜图案化的情况下，存在有由于热导致树脂膜熔融从而图案消失的这样的问题。

作为上述通式(3)所表示的单体的具体例子，可举出：二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-苯基-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-甲基二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-乙基二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-丙基二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-丁基二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-环己基二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-金刚烷基二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-甲基丁基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-甲基丁基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-甲基戊基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-甲基戊基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-乙基丁基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-乙基丁基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-甲基己基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-甲基己基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(3-甲基己基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-丁基戊基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-丁基戊基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-甲基庚基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-甲基庚基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(3-甲基庚基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(4-甲基庚基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-乙基己基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-乙基己基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(3-乙基己基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-丙基戊基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-丙基戊基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-甲基辛基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-甲基辛基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(3-甲基辛基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(4-甲基辛基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-乙基庚基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-乙基庚基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(3-乙基庚基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(4-乙基庚基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-丙基己基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-丙基己基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(3-丙基己基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-甲基壬基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-甲基壬基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(3-甲基壬基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(4-甲基壬基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(5-甲基壬基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-乙基辛基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(2-乙基辛基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(3-乙基辛基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(4-乙基辛基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-甲基癸基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-甲基十二烷基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-甲基十一烷基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-甲基十二烷基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-甲基十三烷基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-甲基十四烷基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-(1-甲基十五烷基)-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺、N-苯基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯-4,5-二甲酰亚胺、N-(2,4-二甲氧基苯基)-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯-4,5-二甲酰亚胺等。另外，这些可以分别单独使用，也可以组合2种以上使用。

另外，上述通式(3)所表示的单体能够通过例如对应的胺与5-降冰片烯-2，3-二甲酸酐的酰亚胺化反应而得到。此外，得到的单体能够通过将酰亚胺化反应的反应液使用公知的方法进行分离、提纯，从而高效地分离。

作为具有酯基的环状烯烃，可举出例如：2-乙酰氧基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-乙酰氧基甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-乙氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-丙氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-丁氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-环己氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-甲氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-乙氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-丙氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-丁氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-环己氧基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-(2,2,2-三氟乙氧基羰基)二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-(2,2,2-三氟乙氧基羰基)二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲氧基羰基三环[5.2.1.0^2,6]癸-8-烯、2-乙氧基羰基三环[5.2.1.0^2,6]癸-8-烯、2-丙氧基羰基三环[5.2.1.0^2,6]癸-8-烯、4-乙酰氧基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-甲氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-乙氧基羰基四环[6.2.1.1³ ^,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-丙氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-丁氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-甲氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-乙氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-丙氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-丁氧基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-(2,2,2-三氟乙氧基羰基)四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-(2,2,2-三氟乙氧基羰基)四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯等。

作为具有氰基的环状烯烃，可举出例如：4-氰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-氰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4,5-二氰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、2-氰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-氰基二环[2.2.1]庚-5-烯、2,3-二氰基二环[2.2.1]庚-5-烯等。

作为具有酸酐基的环状烯烃，可举出例如：四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯-4,5-二羧酸酐、二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酸酐、2-羧基甲基-2-羟基羰基二环[2.2.1]庚-5-烯酐等。

作为具有卤原子的环状烯烃，可举出例如：2-氯代二环[2.2.1]庚-5-烯、2-氯代甲基二环[2.2.1]庚-5-烯、2-(氯代苯基)二环[2.2.1]庚-5-烯、4-氯代四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-氯代四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯等。

这些单体(b1)可以分别单独使用，也可以组合2种以上使用。

作为不具有极性基团的环状烯烃单体(b2)，可举出：二环[2.2.1]庚-2-烯(也称为“降冰片烯”。)、5-乙基-二环[2.2.1]庚-2-烯、5-丁基-二环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙叉基-二环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲叉基-二环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙烯基-二环[2.2.1]庚-2-烯、三环[5.2.1.0^2,6]癸-3,8-二烯(常用名：二环戊二烯)、四环[10.2.1.0^2,11.0^4,9]十五碳-4,6,8,13-四烯、四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯(也称为“四环十二碳烯”。)、9-甲基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-乙基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-甲叉基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-乙叉基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-乙烯基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、9-丙烯基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、五环[9.2.1.1^3,9.0^2,10.0^4,8]十五碳-5,12-二烯、环丁烯、环戊烯、环戊二烯、环己烯、环庚烯、环辛烯、环辛二烯、茚、3a,5,6,7a-四氢-4,7-甲桥基-1H-茚、9-苯基-四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-4-烯、四环[9.2.1.0^2,10.0^3,8]十四碳-3,5,7,12-四烯、五环[9.2.1.1^3,9.0^2,10.0^4,8]十五碳-12-烯等。

这些单体(b2)可以分别单独使用，也可以组合2种以上使用。

作为除环状烯烃以外的单体(b3)的具体例子，可举出：乙烯；丙烯、1-丁烯、1-戊烯、1-己烯、3-甲基-1-丁烯、3-甲基-1-戊烯、3-乙基-1-戊烯、4-甲基-1-戊烯、4-甲基-1-己烯、4,4-二甲基-1-己烯、4,4-二甲基-1-戊烯、4-乙基-1-己烯、3-乙基-1-己烯、1-辛烯、1-癸烯、1-十二碳烯、1-十四碳烯、1-十六碳烯、1-十八碳烯、1-二十碳烯等碳原子数为2～20的α-烯烃；1,4-己二烯、1,5-己二烯、4-甲基-1,4-己二烯、5-甲基-1,4-己二烯、1,7-辛二烯等非共轭二烯以及它们的衍生物等。在这些中，优选α-烯烃。

这些单体(b3)可以分别单独使用，也可以组合2种以上使用。

在这些单体(b1)～(b3)中，从使本发明的效果变得更进一步显著的观点出发，优选具有除质子性极性基团以外的极性基团的环状烯烃单体(b1)，特别优选具有N-取代酰亚胺基的环状烯烃。

环状烯烃聚合物(A1)中的能够共聚的单体(b)的单元的含有比例相对于全部单体单元，优选为10～90摩尔％，更优选为20～80摩尔％，进一步优选为30～70摩尔％。通过使能够共聚的单体(b)的单元的含有比例为上述范围，从而能够使环状烯烃聚合物(A1)在极性溶剂中的溶解性良好，并且能够进一步提高得到的树脂膜的耐热性。

另外，在本发明中，也可以通过利用公知的改性剂，在不具有质子性极性基团的环状烯烃系聚合物中导入质子性极性基团，从而作为环状烯烃聚合物(A1)。

不具有质子性极性基团的聚合物能够通过使上述的单体(b1)和(b2)中的至少一种根据需要地与单体(b3)任意地组合来进行聚合而得到。

作为用于导入质子性极性基团的改性剂，通常可使用在1分子内具有质子性极性基团和反应性的碳-碳不饱和键的化合物。

作为这样的化合物的具体例子，可举出：丙烯酸、甲基丙烯酸、当归酸、剔各酸、油酸、反油酸、芥酸、二十二烯酸、马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸、阿托酸、肉桂酸等不饱和羧酸；烯丙基醇、甲基乙烯基甲醇、巴豆醇、甲基烯丙基醇、1-苯基乙烯-1-醇、2-丙烯-1-醇、3-丁烯-1-醇、3-丁烯-2-醇、3-甲基-3-丁烯-1-醇、3-甲基-2-丁烯-1-醇、2-甲基-3-丁烯-2-醇、2-甲基-3-丁烯-1-醇、4-戊烯-1-醇、4-甲基-4-戊烯-1-醇、2-己烯-1-醇等不饱和醇等。

使用这些改性剂的聚合物的改性反应只要按照常规方法即可，通常可在自由基引发剂的存在下进行。

另外，本发明中使用的环状烯烃聚合物(A1)可以是使上述的单体开环聚合的开环聚合物，或者，也可以是使上述的单体加成聚合的加成聚合物，但从使本发明的效果变得更进一步显著的这个方面出发，优选为开环聚合物。

开环聚合物能够通过以下方式来制造，即，将具有质子性极性基团的环状烯烃单体(a)和根据需要使用的能够共聚的单体(b)在易位反应催化剂的存在下进行开环易位聚合。作为制造方法，能够使用例如国际公开第2010/110323号的[0039]～[0079]所记载的方法等。

此外，在本发明中使用的环状烯烃聚合物(A1)为开环聚合物的情况下，优选进一步进行加氢反应，制成主链中包含的碳-碳双键被加氢了的加氢物。在环状烯烃聚合物(A1)为加氢物的情况下，被氢化的碳-碳双键的比例(加氢率)通常为50％以上，从耐热性的观点出发，优选为70％以上，更优选为90％以上，进一步优选为95％以上。

此外，本发明中使用的丙烯酸树脂(A2)没有特别限定，优选以具有丙烯酰基的羧酸、具有丙烯酰基的羧酸酐、或者选自含有环氧基的丙烯酸酯化合物和含有氧杂环丁烷基的丙烯酸酯化合物中的至少一种作为必须成分的均聚物或共聚物。

作为具有丙烯酰基的羧酸的具体例子，可举出(甲基)丙烯酸[意为丙烯酸和/或甲基丙烯酸。以下(甲基)丙烯酸甲酯等也是同样。]、巴豆酸、马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、戊烯二酸、邻苯二甲酸单-(2-((甲基)丙烯酰氧基)乙基)酯、N-(羧基苯基)马来酰亚胺、N-(羧基苯基)(甲基)丙烯酰胺等。

作为具有丙烯酰基的羧酸酐的具体例子，可举出马来酸酐、柠康酸酐等。

作为含有环氧基的丙烯酸酯化合物的具体例子，可举出：丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸-3,4-环氧基丁酯、甲基丙烯酸-3,4-环氧基丁酯、丙烯酸-6,7-环氧基庚酯、甲基丙烯酸-6,7-环氧基庚酯、α-乙基丙烯酸-6,7-环氧基庚酯、丙烯酸-3,4-环氧基环己基甲酯、甲基丙烯酸-3,4-环氧基环己基甲酯等。

作为含有氧杂环丁烷基的丙烯酸酯化合物的具体例子，可举出：(甲基)丙烯酸(3-甲基氧杂环丁烷-3-基)甲酯、(甲基)丙烯酸(3-乙基氧杂环丁烷-3-基)甲酯、(甲基)丙烯酸(3-甲基氧杂环丁烷-3-基)乙酯、(甲基)丙烯酸(3-乙基氧杂环丁烷-3-基)乙酯、(甲基)丙烯酸(3-氯甲基氧杂环丁烷-3-基)甲酯、(甲基)丙烯酸(氧杂环丁烷-2-基)甲酯、(甲基)丙烯酸(2-甲基氧杂环丁烷-2-基)甲酯、(甲基)丙烯酸(2-乙基氧杂环丁烷-2-基)甲酯、(1-甲基-1-氧杂环丁烷-2-苯基)-3-(甲基)丙烯酸酯、(1-甲基-1-氧杂环丁烷)-2-三氟甲基-3-(甲基)丙烯酸酯以及(1-甲基-1-氧杂环丁烷)-4-三氟甲基-2-(甲基)丙烯酸酯等。

在这些中，优选(甲基)丙烯酸、马来酸酐、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸-6,7-环氧基庚酯等。

丙烯酸树脂(A2)可以是选自不饱和羧酸、不饱和羧酸酐以及含有环氧基的不饱和化合物中的至少一种与其它丙烯酸酯系单体或除丙烯酸酯以外的能够共聚的单体的共聚物。

作为其它丙烯酸酯系单体，可举出：(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸异戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸异辛酯、(甲基)丙烯酸乙基己酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸异癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸异硬脂酯等(甲基)丙烯酸烷基酯；(甲基)丙烯酸羟乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟丙酯、(甲基)丙烯酸-3-羟丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟丁酯、(甲基)丙烯酸-3-羟丁酯、(甲基)丙烯酸-4-羟丁酯等(甲基)丙烯酸羟基烷基酯；(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基-3-苯氧基丙酯等(甲基)丙烯酸苯氧基烷基酯；(甲基)丙烯酸-2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-丙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-丁氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-甲氧基丁酯等(甲基)丙烯酸烷氧基烷基酯；聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、乙氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯、甲氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯、乙氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯等聚亚烷基二醇(甲基)丙烯酸酯；(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基环己酯、(甲基)丙烯酸-4-丁基环己酯、(甲基)丙烯酸-1-金刚烷基酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基-2-金刚烷基酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基-2-金刚烷基酯、三环[5.2.1.0^2,6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯、三环[5.2.1.0^2,6]-3-癸烯-8-基(甲基)丙烯酸酯、三环[5.2.1.0^2,6]-3-癸烯-9-基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸冰片酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯等(甲基)丙烯酸环烷基酯；(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸联苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯、5-四氢糠基氧基羰基戊基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸乙烯酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、2-(2-乙烯基氧基乙氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯、2-[三环[5.2.1.0^2,6]癸-8-基氧基]乙基(甲基)丙烯酸酯、2-[三环[5.2.1.0^2,6]-3-癸烯-8-基氧基]乙基(甲基)丙烯酸酯、2-[三环[5.2.1.0^2,6]-3-癸烯-9-基氧基]乙基(甲基)丙烯酸酯、γ-丁内酯(甲基)丙烯酸酯、马来酰亚胺、N-甲基马来酰亚胺、N-乙基马来酰亚胺、N-丁基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-(2,6-二乙基苯基)马来酰亚胺、N-(4-乙酰基苯基)马来酰亚胺、N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺、N-(4-乙酰氧基苯基)马来酰亚胺、N-(4-二甲基氨基-3,5-二硝基苯基)马来酰亚胺、N-(1-苯胺基萘基-4)马来酰亚胺、N-[4-(2-苯并噁唑基)苯基]马来酰亚胺、N-(9-吖啶基)马来酰亚胺等。

在这些中，优选(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基环己酯、(甲基)丙烯酸苄酯、三环[5.2.1.0^2,6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯、N-苯基马来酰亚胺以及N-环己基马来酰亚胺等。

作为除丙烯酸酯以外的能够共聚的单体，只要是能够与上述具有丙烯酰基的羧酸、具有丙烯酰基的羧酸酐或含有环氧基的丙烯酸酯化合物共聚的化合物则没有特别地限制，可举出例如：乙烯基苄基甲基醚、乙烯基缩水甘油醚、苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、茚、乙烯基萘、乙烯基联苯、氯苯乙烯、溴苯乙烯、氯甲基苯乙烯、对叔丁氧基苯乙烯、对羟基苯乙烯、对羟基-α-甲基苯乙烯、对乙酰氧基苯乙烯、对羧基苯乙烯、4-羟基苯基乙烯基酮、丙烯腈、甲基丙烯腈、(甲基)丙烯酰胺、1,2-环氧基-4-乙烯基环己烷、异丁烯、降冰片烯、丁二烯、异戊二烯等自由基聚合性化合物。

这些化合物可以分别单独使用，也可以组合2种以上使用。

上述单体的聚合方法只要按照常规方法即可，可采用例如悬浮聚合法、乳液聚合法、溶液聚合法等。

本发明中使用的聚酰亚胺或其前体(A3)是通过使四羧酸二酐和二胺反应而得到的，也可以根据需要进行加热处理。作为用于得到聚酰亚胺的前体，可举出聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、聚异酰亚胺、聚酰胺酸磺酰胺等。

本发明中使用的聚酰亚胺或其前体(A3)可通过公知的方法来合成。即，可通过选择性地使四羧酸二酐与二胺组合，使它们在N-甲基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、六甲基磷酰胺、γ-丁内酯、环戊酮等极性溶剂中反应等公知的方法来合成。

过量地使用二胺进行聚合时，羧酸酐与生成的聚酰亚胺(A3)的末端氨基反应，能够保护末端氨基。此外，过量地使用四羧酸二酐进行聚合时，胺化合物与生成的聚酰亚胺(A3)的末端酸酐基反应，也能够保护末端酸酐基。

作为这样的羧酸酐的例子，能举出邻苯二甲酸酐、偏苯三酸酐、马来酸酐、萘二甲酸酐、氢化邻苯二甲酸酐、甲基-5-降冰片烯-2,3-二羧酸酐、衣康酸酐、四氢邻苯二甲酸酐等，作为胺化合物的例子，可举出苯胺、2-羟基苯胺、3-羟基苯胺、4-羟基苯胺、2-乙炔基苯胺、3-乙炔基苯胺、4-乙炔基苯胺等。

聚苯并噁唑或其前体(A4)是通过使双(邻氨基苯酚)化合物与二羧酸、二羧酸酯、羧酸二氯化物反应而得到的，也可以根据需要进行加热处理。

作为本发明中使用的聚硅氧烷(A5)没有特别限定，可优选举出：将下述通式(4)所表示的有机硅烷的1种或2种以上进行混合并使其反应而得到的聚合物。

(R¹⁰)_p-Si-(OR¹¹)_4-p (4)

上述通式(4)中，R¹⁰为氢原子、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为2～10的烯基、或碳原子数为6～15的芳基，多个R¹⁰可以彼此相同，也可以彼此不同。另外，这些烷基、烯基、芳基均能够具有取代基，此外，也可以为不具有取代基的无取代物，能够根据组合物的特性来进行选择。作为烷基的具体例子，可举出：甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、叔丁基、正己基、正癸基、三氟甲基、2,2,2-三氟乙基、3,3,3-三氟丙基、3-环氧丙氧基丙基、2-(3,4-环氧基环己基)乙基、3-氨基丙基、3-巯丙基、3-异氰酸酯基丙基。作为烯基的具体例子，可举出乙烯基、3-丙烯酰氧基丙基、3-甲基丙烯酰氧基丙基。作为芳基的具体例子，可举出苯基、甲苯基、对羟基苯基、1-(对羟基苯基)乙基、2-(对羟基苯基)乙基、4-羟基-5-(对羟基苯基羰氧基)戊基、萘基。

此外，上述通式(4)中，R¹¹为氢原子、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的酰基、或碳原子数为6～15的芳基，多个R¹¹可以彼此相同，也可以彼此不同。另外，这些烷基、酰基均能够具有取代基，此外，也可以为不具有取代基的无取代物，能够根据组合物的特性来进行选择。作为烷基的具体例子，可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基。作为酰基的具体例子，可举出乙酰基。作为芳基的具体例子，可举出苯基。

进而，上述通式(4)中，p为0～3的整数，p＝0时为4官能性硅烷，p＝1时为3官能性硅烷，p＝2时为2官能性硅烷，p＝3时为单官能性硅烷。

作为上述通式(4)所表示的有机硅烷的具体例子，可举出：四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四乙酰氧基硅烷、四苯氧基硅烷等4官能性硅烷；甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、甲基三异丙氧基硅烷、甲基三正丁氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、乙基三异丙氧基硅烷、乙基三正丁氧基硅烷、正丙基三甲氧基硅烷、正丙基三乙氧基硅烷、正丁基三甲氧基硅烷、正丁基三乙氧基硅烷、正己基三甲氧基硅烷、正己基三乙氧基硅烷、癸基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷、对羟基苯基三甲氧基硅烷、1-(对羟基苯基)乙基三甲氧基硅烷、2-(对羟基苯基)乙基三甲氧基硅烷、4-羟基-5-(对羟基苯基羰氧基)戊基三甲氧基硅烷、三氟甲基三甲氧基硅烷、三氟甲基三乙氧基硅烷、3,3,3-三氟丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷等3官能性硅烷；二甲基二甲氧基硅烷、二甲基二乙氧基硅烷、二甲基二乙酰氧基硅烷、二正丁基二甲氧基硅烷、二苯基二甲氧基硅烷等2官能性硅烷；三甲基甲氧基硅烷、三正丁基乙氧基硅烷等单官能性硅烷。

这些有机硅烷中，从得到的树脂膜的耐开裂性、硬度的方面出发，可优选使用3官能性硅烷。这些有机硅烷可以单独使用1种，也可以组合2种以上使用。

本发明中使用的聚硅氧烷(A5)可通过使上述的有机硅烷水解和部分缩合而得到。水解和部分缩合能够使用通常的方法。例如，在混合物中添加溶剂、水，根据需要添加催化剂，进行加热搅拌。在搅拌中，也可以根据需要通过蒸馏而除去水解副产物(甲醇等醇)、缩合副产物(水)。

作为本发明中使用的酚醛树脂(A6)，可通过例如使酚化合物与醛、二羟甲基化合物、二烷氧基甲基化合物、二卤代甲基化合物在酸催化剂存在下反应而得到。

本发明中使用的粘结剂树脂(A)的重均分子量(Mw)通常为1000～1000000的范围，优选为1500～100000的范围，更优选为2000～30000的范围。

此外，粘结剂树脂(A)的分子量分布以重均分子量/数均分子量(Mw/Mn)比计，通常为4以下，优选为3以下，更优选为2.5以下。

粘结剂树脂(A)的重均分子量(Mw)、分子量分布(Mw/Mn)为使用将四氢呋喃等溶剂作为洗脱液的凝胶渗透气相色谱法(GPC)作为聚苯乙烯换算值而求得的值。

(通式(1)所表示的芳香族化合物(B))

本发明的树脂组合物含有下述通式(1)所表示的芳香族化合物(B)(以下，酌情简写为“芳香族化合物(B)”。)。可认为该芳香族化合物(B)与交联剂(C)反应，能够提高本发明的树脂组合物的交联密度而提高耐水性、耐溶剂性。

[化学式4]

上述通式(1)中，R¹～R⁸各自独立地为氢原子、羟基、羧基、能够具有取代基的碳原子数为1～12的脂肪族烃基、能够具有取代基的碳原子数为6～12的芳香族烃基。m为0～2的整数，m＝0时，R¹～R⁴、R⁶、R⁷的至少2个为羟基，m＝1或2时，R¹～R⁸的至少2个为羟基，在m为2以上的情况下，无论通式(1)所表示的结构如何，存在的3个以上的苯环能够在任意的位置相互稠合。

另外，在R¹～R⁸为能够具有取代基的碳原子数为1～12的脂肪族烃基、或能够具有取代基的碳原子数为6～12的芳香族烃基时，作为取代基，没有特别限定，可举出羟基、羧基、卤原子等。

在上述通式(1)中，R¹～R⁸优选为氢原子、羟基或碳原子数为1～6的脂肪族烃基。

在上述通式(1)中，优选m＝0。即，作为芳香族化合物(B)，更优选下述通式(2)所表示的化合物。

[化学式5]

上述通式(2)中，R¹～R⁴、R⁶、R⁷与上述通式(1)相同，R¹～R⁴、R⁶、R⁷的至少2个为羟基。

在上述通式(2)所表示的化合物中，从能够使本发明的作用效果更进一步显著的方面出发，更优选为如下化合物：R¹～R⁴、R⁶、R⁷中的2个为羟基、1个为碳原子数为1～12的脂肪族烃基、其余为氢原子的化合物；以及R¹～R⁴、R⁶、R⁷中的3个为羟基、其余为氢原子的化合物。此外，在上述通式(2)中，所包含的2个以上羟基在苯环上的位置没有特别限定，从能够使本发明的作用效果更进一步显著的方面出发，例如，在羟基为2个的情况下，优选存在于间位(即，间苯二酚类)，此外，在羟基为3个的情况下，优选存在于1位、3位以及5位(即，1,3,5-三羟基苯类)。可认为像这样的羟基在苯环上的位置能够不易受到各羟基的立体位阻的影响，进行高效的交联反应。

此外，作为本发明中使用的芳香族化合物(B)，优选分子量为90～500的范围，更优选为100～300的范围。

作为芳香族化合物(B)的具体例子，可举出：邻苯二酚、3-甲基邻苯二酚、3-乙基邻苯二酚、4-甲基邻苯二酚、4-乙基邻苯二酚、2-异戊基邻苯二酚、2,3-二甲基邻苯二酚、2,3-二乙基邻苯二酚、2,3-二异戊基邻苯二酚、2-甲基-3-辛基邻苯二酚、2-丁基-3-叔丁基邻苯二酚、2,3-二溴邻苯二酚、2,4-二异丙基邻苯二酚、2-戊基-4-辛基邻苯二酚、2,4-二溴邻苯二酚、2,5-二乙基邻苯二酚、2,5-二叔戊基邻苯二酚、2-丁基-5-溴邻苯二酚、2,5-二氯邻苯二酚、3,4,6-三异丙基邻苯二酚等邻苯二酚类；

间苯二酚、2-甲基间苯二酚、2-丁基间苯二酚、2-辛基间苯二酚、2,4-二甲基间苯二酚、2,4-二乙基间苯二酚、2,4-二戊基间苯二酚、2,4-二异丙基间苯二酚、2,5-二甲基间苯二酚、2-甲基-5-叔丁基间苯二酚、2,5-二辛基间苯二酚、4,6-二甲基间苯二酚、4,6-二丁基间苯二酚、4,6-二氯间苯二酚、4,6-二溴间苯二酚、4-氯-6-甲基间苯二酚、2,4,5-三甲基间苯二酚等间苯二酚类；

对苯二酚、2-甲基对苯二酚、2-乙基对苯二酚、2-己基对苯二酚、2-异丙基对苯二酚、2,5-二甲基对苯二酚、2,5-二乙基对苯二酚、2,5-二叔丁基对苯二酚、2,5-二辛基对苯二酚、2,3-二甲基对苯二酚、2,6-二乙基对苯二酚、2,4-二戊基对苯二酚、2,5-二氯对苯二酚、2,5-二溴对苯二酚、2-甲基-5-乙基对苯二酚、2-甲基-5-叔丁基对苯二酚等对苯二酚类；

间苯三酚、2-甲基间苯三酚、2,4-二丁基间苯三酚、2,4,6-三溴间苯三酚、2,4,6-三氯间苯三酚等间苯三酚类；

1,2,3-三羟基苯、1,2,3-三羟基-4-甲基苯、1,2,3-三羟基-5-丁基苯、1,2,3-三羟基-4,6-二溴苯、1,2,3-三羟基-4,5,6-三甲基苯等1,2,3-三羟基苯类；

1,2,4-三羟基苯、1,2,4-三羟基-5-甲基苯、1,2,4-三羟基-3,5-二甲基苯、1,2,4-三羟基-3,5,6-三溴苯等1,2,4-三羟基苯类；

1,2-二羟基萘、1,3-二羟基萘、2,3-二羟基萘、1,6-二羟基萘、2,6-二羟基萘、1,7-二羟基萘、2,7-二羟基萘等二羟基萘类；

1,4-二羟基蒽、9,10-二羟基蒽等羟基蒽类；等。

本发明的树脂组合物中的芳香族化合物(B)的含量相对于100重量份的粘结剂树脂(A)优选为0.01～30重量份，更优选为0.1～20重量份，进一步优选为0.5～15重量份，特别优选为2～10重量份。通过使芳香族化合物(B)的含量为该范围，则能够使利用本发明的树脂组合物而得到的树脂膜的耐热性、耐水性、耐热冲击性以及耐溶剂性更加高度地平衡。

(交联剂(C))

本发明的树脂组合物除了含有粘结剂树脂(A)和芳香族化合物(B)以外，还含有交联剂(C)。作为交联剂(C)，为通过加热而在交联剂分子间形成交联结构的化合物、与粘结剂树脂(A)反应而在树脂分子间形成交联结构的化合物，具体而言，可举出具有2个以上反应性基团的化合物。此外，如上所述，可认为交联剂(C)与芳香族化合物(B)反应，能够提高本发明的树脂组合物的交联密度。

作为这样的具有反应性基团的化合物没有特别限定，可举出例如：含环氧基交联剂、含烷氧基甲基交联剂、含羟甲基交联剂、含氧杂环丁烷基交联剂、含异氰酸酯基交联剂、含嵌段异氰酸酯基交联剂、含噁唑啉基交联剂、含马来酰亚胺基交联剂、含(甲基)丙烯酸酯基交联剂等。在这些中，优选含环氧基交联剂。

作为含环氧基交联剂的具体例子，能够举出例如：将二环戊二烯作为骨架的环氧化合物(商品名“HP-7200”、DIC公司制造)、2,2-双(羟甲基)1-丁醇的1,2-环氧-4-(2-环氧乙基)环己烷加成物(具有环己烷骨架和末端环氧基的15官能性的脂环式环氧树脂、商品名“EHPE 3150”、DAICEL化学工业公司制造)、环氧化3-环己烯-1,2-二羧酸双(3-环己烯基甲基)修饰ε-己内酯(脂肪族环状3官能性的环氧树脂、商品名“EPOLEAD GT301”、DAICEL化学工业公司制造)、环氧化丁烷四羧酸四(3-环己烯基甲基)修饰ε-己内酯(脂肪族环状4官能性的环氧树脂、商品名“EPOLEAD GT401”、DAICEL化学工业公司制造)、3,4-环氧环己烯基甲基-3’,4’-环氧环己烯羧酸酯(商品名“CELLOXIDE 2021”、“CELLOXIDE 2021P”、DAICEL化学工业公司制造)、ε-己内酯改性3’,4’-环氧环己基甲基-3,4-环氧环己烷羧酸酯(商品名“CELLOXIDE 2081”、DAICEL化学工业公司制造)、1,2：8,9-二环氧苎烯(商品名“CELLOXIDE3000”、DAICEL化学工业公司制造)、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷(商品名“Z-6043”、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制造)等具有脂环结构的环氧化合物；

双酚A型环氧化合物(商品名“jER 825”、“jER 827”、“jER 828”、“jER YL980”、三菱化学公司制造、商品名“EPICLON 840”、“EPICLON 850”、DIC公司制造)、双酚F型环氧化合物(商品名“jER 806”、“jER 807”、“jER YL983U”、三菱化学公司制造、商品名“EPICLON830”、“EPICLON 835”、DIC公司制造)、加氢双酚A型环氧化合物(商品名“jER YX8000”、“jERYX8034”三菱化学公司制造、商品名“ST-3000”新日铁住金公司制造、商品名“RIKARESINHBE-100”新日本理化公司制造、商品名“EPOLIGHT 4000”共荣化学公司制造)、长链双酚A型环氧树脂(商品名“EXA-4816”、“EXA-4850-150”、“EXA-4850-1000”DIC公司制造)、EO改性双酚A型环氧化合物(商品名“ADEKA RESIN EP-4000L”、“ADEKA RESIN EP-4010L”、ADEKA公司制造)、苯酚酚醛清漆型多官能环氧化合物(商品名“jER 152”、三菱化学公司制造)、1,6-双(2,3-环氧丙烷-1-基氧基)萘等具有萘骨架的多官能环氧化合物(商品名“HP-4032D”、DIC公司制造)、二环戊二烯二甲醇二缩水甘油醚(商品名“ADEKA RESIN EP-4000L”、“ADEKARESIN EP-4088L”、ADEKA公司制造)、缩水甘油胺型环氧树脂(商品名“jER 630”、三菱化学公司制造、商品名“TETRAD-C”、“TETRAD-X”、三菱GAS化学公司制造)、链状烷基多官能环氧化合物(商品名“SR-TMP”、阪本药品工业公司制造)、多官能环氧聚丁二烯(商品名“EPOLEADPB3600”、DAICEL化学工业公司制造)、(商品名“EPOLEAD PB4700”、DAICEL化学工业公司制造)甘油的缩水甘油聚醚化合物(商品名“SR-GLG”、阪本药品工业公司制造)、二甘油聚缩水甘油醚化合物(商品名“SR-DGE”、阪本药品工业公司制造、聚甘油聚缩水甘油醚化合物(商品名“SR-4GL”、阪本药品工业公司制造)、γ-环氧丙氧基丙基三甲基硅烷(商品名“Z6040”、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制造)等不具有脂环结构的环氧化合物；等。

此外，作为含烷氧基甲基交联剂，只要为具有2个以上烷氧基甲基的化合物即可，没有特别限定，可举出2个以上烷氧基甲基直接结合于芳香环而成的酚化合物、氨基被2个以上甲氧基甲基取代而成的三聚氰胺化合物等。

作为这样的在分子内具有2个以上烷氧基甲基的化合物的具体例子，作为2个以上烷氧基甲基直接结合于芳香环而成的酚化合物，可举出例如：2,6-二甲氧基甲基-4-叔丁基酚、2,6-二甲氧基甲基对甲酚等二甲氧基甲基取代酚化合物、3,3’,5,5’-四甲氧基甲基-4,4’-二羟基联苯(例如，商品名“TMOM-BP”、本州化学工业公司制造)、1,1-双[3,5-二(甲氧基甲基)-4-羟基苯基]-1-苯基乙烷等四甲氧基甲基取代联苯化合物、4,4’,4”‐(乙叉基)三苯酚等六甲氧基甲基取代化合物(例如，商品名“HMOM-TPHAP-GB”、本州化学工业公司制造)等六甲氧基甲基取代三苯基化合物等。

作为在分子内包含2个以上烷氧基甲基的化合物中的、氨基被2个以上烷氧基甲基取代而成的三聚氰胺化合物，可举出例如：、N,N’‐二甲氧基甲基三聚氰胺、N,N’,N”-三甲氧基甲基三聚氰胺、N,N,N’,N”-四甲氧基甲基三聚氰胺、N,N,N’,N’,N”-五甲氧基甲基三聚氰胺、N,N,N’,N’,N”,N”-六甲氧基甲基三聚氰胺(例如，“NIKALAC MW-390LM”“NIKALAC MW-100LM”、Sanwa Chemical Co.Ltd.制造)、或它们的聚合物等。

作为在分子内包含2个以上烷氧基甲基的化合物的、被2个以上的烷氧基甲基取代而成的脲化合物，可举出：“NIKALAC MX270”、Sanwa Chemical Co.Ltd.制造，“NIKALACMX280”、Sanwa Chemical Co.,Ltd.制造，NIKALAC MX290”、Sanwa Chemical Co.,Ltd.制造等。

在分子内包含2个以上烷氧基甲基、或羟甲基的化合物，能够分别单独使用，或将2种以上组合使用。

在这些中，从反应性高的方面出发，优选N,N,N’,N’,N”,N”-六甲氧基甲基三聚氰胺。

在分子内包含2个以上烷氧基甲基的化合物的分子量没有特别限定，通常为50～100000，优选为80～10000，更优选为100～5000。在分子内包含2个以上烷氧基甲基、或羟甲基的化合物，能够分别单独使用，或将2种以上组合使用。

交联剂(C)的分子量没有特别限定，通常为100～100000，优选为300～50000，更优选为500～10000。交联剂能够分别单独地使用，或者将2种以上组合使用。此外，从能够使得到的树脂膜的耐热性进一步提高的方面出发，在本发明中，优选将含环氧基交联剂和含烷氧基甲基交联剂组合来使用。

本发明的树脂组合物中的交联剂(C)的含量相对于100重量份的粘结剂树脂(A)，优选为5～80重量份，更优选为10～75重量份，进一步优选为15～70重量份。通过使交联剂(C)的含量为该范围，从而能够更加合适地提高使用本发明的树脂组合物而得到的树脂膜的耐热性。另外，在使用2种以上化合物作为交联剂(C)的情况下，只要将合计的含量设为上述范围即可。

(光酸产生剂(D))

此外，本发明的树脂组合物除了含有粘结剂树脂(A)、芳香族化合物(B)和交联剂(C)，还含有光酸产生剂(D)。由于含有光酸产生剂(D)，因而能够利用紫外线、电子束等放射线的照射而使光酸产生剂(D)引起化学反应，从而能够使利用树脂组合物而形成的树脂膜的碱溶解性发生变化，由此能够使得到的树脂膜能够图案化。

作为光酸产生剂(D)，可举出例如苯乙酮化合物、三芳基锍盐、醌二叠氮化合物等叠氮化合物等，优选叠氮化合物，特别优选醌二叠氮化合物。

作为醌二叠氮化合物，能够使用例如醌二叠氮基磺酸卤化物与具有酚性羟基的化合物的酯化合物。作为醌二叠氮磺酸卤化物的具体例子，可举出1,2-萘醌二叠氮基-5-磺酸氯化物、1,2-萘醌二叠氮基-4-磺酸氯化物、1,2-苯醌二叠氮基-5-磺酸氯化物等。作为具有酚性羟基的化合物的代表例子，可举出1,1,3-三(2,5-二甲基-4-羟基苯基)3-苯基丙烷、4,4’-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙叉基]双酚等。作为除这些以外的具有酚性羟基的化合物，可举出2,3,4-三羟基二苯甲酮、2,3,4,4’-四羟基二苯甲酮、2-双(4-羟基苯基)丙烷、三(4-羟基苯基)甲烷、1,1,1-三(4-羟基-3-甲基苯基)乙烷、1,1,2,2-四(4-羟基苯基)乙烷、酚醛清漆树脂的低聚物、将具有1个以上酚性羟基的化合物与二环戊二烯共聚而得到的低聚物等。

此外，作为光酸产生剂(D)，除了醌二叠氮化合物以外，还能够使用鎓盐、卤化有机化合物、α,α’-双(磺酰基)重氮甲烷系化合物、α-羰基-α’-磺酰基重氮甲烷系化合物、砜化合物、有机酸酯化合物、有机酸酰胺化合物、有机酸酰亚胺化合物等公知的光酸产生剂。

这些光酸产生剂(D)能够分别单独地使用，或者将2种以上组合使用。

本发明的树脂组合物中的光酸产生剂(D)的含量相对于100重量份的粘结剂树脂(A)，优选为5～100重量份，更优选为10～60重量份，进一步优选为15～40重量份。如果光酸产生剂(D)的含量为该范围，则在将由树脂组合物形成的树脂膜进行图案化时，放射线照射部位与放射线未照射部位对显影液的溶解度差增大，放射线灵敏度也增高，容易通过显影而进行图案化，因此优选。

(其它配合剂)

此外，在本发明的树脂组合物中，还可以进一步含有溶剂。作为溶剂没有特别限定，可举出作为树脂组合物的溶剂公知的溶剂，例如：丙酮、甲乙酮、环戊酮、2-己酮、3-己酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、2-辛酮、3-辛酮、4-辛酮等直链的酮类；正丙醇、异丙醇、正丁醇、环己醇等醇类；乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、二氧杂环己烷等醚类；乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚等醇醚类；甲酸丙酯、甲酸丁酯、醋酸丙酯、醋酸丁酯、丙酸甲酯、丙酸乙酯、丁酸甲酯、丁酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯等酯类；溶纤剂乙酸酯、甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、丙基溶纤剂乙酸酯、丁基溶纤剂乙酸酯等溶纤剂酯类；丙二醇、丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丁醚等丙二醇类；二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲乙醚等二乙二醇類；γ-丁内酯、γ-戊内酯、γ-己内酯、γ-辛内酯等饱和γ-内酯类；三氯乙烯等卤化烃类；甲苯、二甲苯等芳香族烃类；二甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺、N-甲基乙酰胺等极性溶剂等。这些溶剂可以单独使用，或组合2种以上使用。溶剂的含量相对于100重量份的粘结剂树脂(A)，优选为10～10000重量份的范围，更优选为50～5000重量份的范围，进一步优选为100～1000重量份的范围。另外，在树脂组合物含有溶剂的情况下，溶剂通常会在树脂膜形成后除去。

此外，只要是在不妨碍本发明的效果的范围，本发明的树脂组合物也可以根据期望含有具有酸性基团或热潜伏性酸性基团的化合物、表面活性剂、敏化剂、光稳定剂、消泡剂、颜料、染料、填料等其它配合剂等。在这些中，例如具有酸性基团或热潜伏性酸性基团的化合物能够使用日本特开2014-29766号公报所记载的化合物等，并且，表面活性剂、敏化剂、光稳定剂能够使用日本特开2011-75609号公报所记载的物质等。

本发明的树脂组合物的制备方法没有特别限定，只要将构成树脂组合物的各成分利用公知的方法混合即可。

混合的方法没有特别限定，优选将构成树脂组合物的各成分溶解或分散于溶剂中，并将得到的溶液或分散液进行混合。由此，树脂组合物以溶液或分散液的形态而得到。

将构成树脂组合物的各成分溶解或分散于溶剂中的方法只要按照常规方法即可。具体而言，能够使用如下方式进行溶解或分散：使用搅拌件和磁力搅拌器的搅拌、高速均质器、分散器、行星搅拌机、双螺杆搅拌机、球磨机、三辊机等。此外，将各成分溶解或分散于溶剂中后，也可以使用例如孔径为0.5μm左右的过滤器等进行过滤。

本发明的树脂组合物的固体成分浓度通常为1～70重量％，优选为5～60重量％，更优选为10～50重量％。如果固体成分浓度为该范围，则可使溶解稳定性、涂敷性、所形成的树脂膜的膜厚均匀性、平坦性等高度平衡。

(电子部件)

本发明的电子部件具有由上述的本发明的树脂组合物形成的树脂膜。

作为本发明的电子部件没有特别限定，从由本发明的树脂组合物形成的树脂膜耐热性、耐水性、耐热冲击性以及耐溶剂性优异的方面出发，优选为利用晶圆级封装技术而制造的电子部件，特别地，在利用晶圆级封装技术而制造的电子部件中，更优选由本发明的树脂组合物形成的树脂膜用来形成用于将配置成层状的配线之间绝缘的层间绝缘膜。

在本发明的电子部件中，作为形成树脂膜的方法没有特别限定，能够使用例如涂敷法、膜层叠法等方法。

涂敷法为例如：在涂敷树脂组合物后进行加热干燥从而除去溶剂的方法。作为涂敷树脂组合物的方法，能够采用例如喷涂法、旋涂法、辊涂法、模涂法、刮刀法、旋转涂敷法、棒涂法、丝网印刷法、喷墨法等各种方法。加热干燥条件根据各成分的种类、配合比例而不同，通常在30～150℃、优选在60～120℃进行通常0.5～90分钟、优选1～60分钟、更优选1～30分钟即可。

膜层叠法为以下方法，即，在树脂膜、金属膜等B阶段膜形成用基材上涂敷树脂组合物后，通过加热干燥除去溶剂，得到B阶段膜，接着，将该B阶段膜进行层叠。加热干燥条件能够根据各成分的种类、配合比例来酌情地选择，加热温度通常为30～150℃，加热时间通常为0.5～90分钟。膜层叠能够使用压力层压机、压制机、真空层压机、真空压制机、辊式层压机等压接机来进行。

作为树脂膜的厚度没有特别限定，只要根据用途酌情地设定即可，优选为0.1～100μm，更优选为0.5～50μm，进一步优选为0.5～30μm。

然后，对上述的利用涂敷法或膜层叠法而形成的树脂膜进行交联反应。这样的交联只要根据交联剂(C)的种类选择适宜的方法即可，通常通过加热进行。加热方法能够使用例如加热板、烘箱等来进行。加热温度通常为150～250℃，加热时间可根据树脂膜的面积、厚度、使用机器等酌情选择，例如在使用加热板的情况下，通常为5～60分钟的范围，在使用烘箱的情况下，通常为30～300分钟的范围。加热也可以根据需要在非活性气体环境下进行。作为非活性气体，只要是不含氧且不会使树脂膜氧化的非活性气体即可，可举出例如氮、氩、氦、氖、氙、氪等。在这些中，优选氮和氩，特别优选氮。特别地，优选是氧含量为0.1体积％以下、优选为0.01体积％以下的非活性气体，特别是氮。这些非活性气体能够分别单独地使用，或者将2种以上组合使用。

此外，由树脂组合物形成的树脂膜可以根据需要进行图案化。作为将树脂膜图案化的方法，可举出例如以下方法，即，使树脂组合物含有光酸产生剂(D)，使用含有光酸产生剂(D)的树脂组合物，形成图案化前的树脂膜，对图案化前的树脂膜照射活化能射线，形成潜影图案，接着，使具有潜影图案的树脂膜接触显影液，由此使图案显露的方法等。或者，作为图案化方法，作为除使用光酸产生剂(D)的方法以外的方法，能够使用：使用利用了CO₂激光、UV-YAG激光等的激光加工的方法；或在树脂膜上形成掩膜图案进行干法蚀刻的方法；进而还能够使用喷墨法等直接描绘法等。

作为活化能射线，只要是能够使树脂组合物中含有的光酸产生剂(D)活化、使包含光酸产生剂(D)的树脂组合物的碱可溶性发生变化的活化能射线，则没有特别限定。具体而言，能够使用紫外线、g-h-i线等单波长的紫外线，KrF准分子激光、ArF准分子激光等光线；电子束这样的粒子束等。作为将这些活化能射线选择性地呈图案状地照射从而形成潜影图案的方法，只要按照常规方法即可，能够使用例如：通过缩小投影曝光装置等，隔着所期望的掩膜图案照射紫外线、g-h-i线、KrF准分子激光、ArF准分子激光等光线的方法；或通过电子束等粒子束进行描绘的方法等。在使用光线作为活化能射线的情况下，可以为单波长光，也可以为混合波长光。照射条件可根据使用的活化能射线酌情选择，例如在使用波长为200～450nm的光线的情况下，照射量通常为10～1000mJ/cm²，优选为50～500mJ/cm²的范围，根据照射时间和照度来决定。这样照射活化能射线后，根据需要，将树脂膜在60～130℃左右的温度加热处理1～2分钟左右。

接着，将形成于图案化前的树脂膜上的潜影图案进行显影而使其显露。作为显影液，通常可使用碱性化合物的水溶液。作为碱性化合物，能够使用例如碱金属盐、胺、铵盐。碱性化合物可以为无机化合物，也可以为有机化合物。作为这些化合物的具体例子，可举出：氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、硅酸钠、偏硅酸钠等碱金属盐；氨水；乙胺、正丙胺等伯胺；二乙胺、二正丙胺等仲胺；三乙胺、甲基二乙胺等叔胺；四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、胆碱等季铵盐；二甲基乙醇胺、三乙醇胺等醇胺；吡咯、哌啶、1,8-二氮杂双环[5.4.0]十一碳-7-烯、1,5-二氮杂双环[4.3.0]壬-5-烯、N-甲基吡咯烷酮等环状胺类等。这些碱性化合物能够分别单独地使用，或者将2种以上组合使用。

作为碱性水溶液的水性溶剂，能够使用水；甲醇、乙醇等水溶性有机溶剂。碱性水溶液也可以为添加了适当量的表面活性剂等的碱性水溶液。

作为使具有潜影图案的树脂膜接触显影液的方法，可使用例如旋覆浸没法(Puddle)、喷雾法、浸渍法等方法。显影通常在0～100℃、优选在5～55℃、更优选在10～30℃的范围，通常在30～180秒的范围酌情选择。

像这样而形成目标图案的树脂膜能够根据需要使用淋洗液进行淋洗以除去显影残渣。淋洗处理后，利用压缩空气、压缩氮除去残留的淋洗液。

进而，也能够根据需要对整个电子部件表面照射活化能射线以使树脂组合物所含有的光酸产生剂(D)失去活性。活化能射线的照射能够利用在上述潜影图案的形成中所例示的方法。也可以与照射同时或在照射后加热树脂膜。作为加热方法，可举出例如将电子部件在加热板、烘箱内加热的方法。温度通常为100～300℃、优选为120～200℃的范围。

在本发明中，树脂膜图案化了后能够进行交联反应。交联只要按照上述的方法进行即可。

本发明的树脂组合物由于含有粘结剂树脂(A)、上述通式(1)所表示的芳香族化合物(B)以及交联剂(C)，因此使用这样的本发明的树脂组合物而得到的树脂膜的耐热性、耐水性、耐热冲击性以及耐溶剂性优异。因此，使用这样的本发明的树脂组合物而得到的树脂膜能够适合用于电子部件，特别利用晶圆级封装技术而制造的电子部件。

实施例

以下，举出实施例和比较例，对本发明进行更具体的说明。各例中的“份”，只要没有特别说明，则为重量基准。

另外，各特性的定义和评价方法，如下所述。

<耐热性>

使用溅射装置，将树脂组合物旋涂在形成了100nm的膜厚的铝薄膜的硅晶片上后，使用加热板在120℃加热2分钟，接着，在氮环境下，以200℃、60分钟的条件使其固化，由此形成膜厚10μm的树脂膜，得到层叠体。然后，将得到的层叠体切成规定的大小后，将铝薄膜溶解于0.1mol/L的盐酸水溶液中使其剥离，使经剥离的膜干燥由此得到树脂膜。然后，针对得到的树脂膜，使用粘弹性分光计(SII Nanotechnology Inc.,DMS 6100标准型)，测定树脂膜的玻璃化转变温度(℃)，按照以下基准评价耐热性。能够判断玻璃化转变温度越高，耐热性越优异。

A：玻璃化转变温度为160℃以上

B：玻璃化转变温度为150℃以上且小于160℃

C：玻璃化转变温度小于150℃

<耐水性>

使用溅射装置，将树脂组合物旋涂在硅晶片上，该硅晶片是将铜以100nm的膜厚形成在50nm厚的钛膜上的硅晶片，然后，使用加热板在120℃加热2分钟，接着，在氮环境下，以200℃、60分钟的条件使其固化，由此形成膜厚10μm的树脂膜，得到层叠体。然后，将得到的层叠体放入温度130℃、湿度85RH％的高温高湿槽中200小时后，取出层叠体，对形成层叠体的树脂膜，进行交叉切割试验。具体而言，首先使用切刀在形成层叠体的树脂膜上以1mm×1mm大小形成10×10＝100个的棋盘格。然后，将透明胶带强力压在棋盘格部分，以45°的角度一次剥离透明胶带的一端，求得树脂膜的残留比例(使用溅射装置将铜以100nm的膜厚形成在50nm厚的钛膜上而形成的硅晶片上所残留的树脂膜的比例)，按照以下基准，评价耐水性(高温高湿试验后的密合性)。

A：树脂膜的残留比例为90％以上

B：树脂膜的残留比例为80％以上且小于90％

C：树脂膜的残留比例小于80％

<耐热冲击性>

将树脂组合物旋涂于在硅晶片上具有图案状的铜配线的热冲击用的评价基板上后，在120℃加热2分钟，接着，在氮环境下，以200℃、60分钟的条件使其固化，由此形成膜厚10μm的树脂膜，由此得到评价用样品。然后，使用热冲击试验器(Tabai ESPEC CORP.制造)，将-55℃/30分钟和150℃/30分钟作为1个循环，对得到的评价用样品进行热冲击试验，确认直到树脂膜产生开裂的循环数，按照以下基准，评价耐热冲击性。

A：经过1000个循环后也无开裂产生。

C：达到1000个循环前产生开裂。

<耐溶剂性>

将树脂组合物旋涂在硅晶片上后，使用加热板在120℃加热2分钟，接着，在氮环境下，以200℃、60分钟的条件使其固化，由此形成膜厚10μm的树脂膜，得到层叠体。然后，将得到的层叠体在N-甲基-2-吡咯烷酮中，在室温下浸渍10分钟后，对浸渍后的树脂膜进行膜厚变化的测定和开裂有无的确认，按照以下基准，评价耐溶剂性。

A：树脂膜的膜厚的变化量小于1％，且树脂膜无开裂产生。

B：树脂膜的膜厚的变化量为1％以上，且树脂膜无开裂产生。

C：树脂膜产生开裂。

《合成例1》

<环状烯烃聚合物(A-1)的制备>

在经氮置换了的玻璃制耐压反应器中加入100份的单体混合物、2.0份的1,5-己二烯、0.02份的(1,3-二甲基咪唑啉-2-亚基)(三环己基膦)苯叉二氯化钌(使用Org.Lett.,第1卷，953页，1999年中记载的方法来合成)、以及200份的二乙二醇乙基甲基醚，该单体混合物包含40摩尔％的N-苯基-二环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亚胺(NBPI)和60摩尔％的4-羟基羰基四环[6.2.1.1^3,6.0^2,7]十二碳-9-烯(TCDC)，一边进行搅拌，一边在80℃反应4小时，得到聚合反应液。

然后，将得到的聚合反应液加入高压釜，在150℃、氢压4MPa搅拌5小时，进行氢化反应，得到包含环状烯烃聚合物(A-1)的聚合物溶液。得到的环状烯烃聚合物(A-1)的聚合转化率为99.7％、聚苯乙烯换算重均分子量为7150、数均分子量为4690、分子量分布为1.52、加氢率为99.7％。此外，得到的环状烯烃聚合物(A-1)的聚合物溶液的固体成分浓度为34.4重量％。

《实施例1》

混合291份的作为粘结剂树脂(A)的合成例1中得到的环状烯烃聚合物(A-1)的聚合物溶液(以环状烯烃聚合物(A-1)计为100份)、5份的作为芳香族化合物(B)的4-甲基邻苯二酚(上述通式(2)中，R¹＝OH、R²＝OH、R³＝H、R⁴＝CH₃、R⁶＝H、R⁷＝H的化合物)、30份的作为交联剂(C)的环氧化丁烷四羧酸四(3-环己烯基甲基)修饰ε-己内酯(商品名“EPOLEADGT401”、DAICEL化学工业公司制造、脂肪族环状4官能性的环氧树脂)、10份的同样作为交联剂(C)的N,N,N’,N’,N”,N”-六甲氧基甲基三聚氰胺(商品名“NIKALAC MW-100LM”、SanwaChemical Co.,Ltd.制造)、3份的作为硅烷偶联剂的γ-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷(商品名“Z6040”、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制造)、以及160份的作为溶剂的二乙二醇乙基甲基醚，使其溶解后，使用孔径0.45μm的聚四氟乙烯制过滤器进行过滤，制备树脂组合物。

然后，使用得到的树脂组合物，进行耐热性、耐水性、耐热冲击性以及耐溶剂性的各测定、评价。结果示于表1。

《实施例2～4》

以表1所示的量使用表1所示的化合物，除此以外，与实施例1同样地进行，制备树脂组合物，同样地进行评价。结果示于表1。

《比较例1～3》

[表1]

表1

另外，表1中所示的各化合物如下所示。

·粘结剂树脂(A)“环状烯烃聚合物(A-1)”；制造例1中得到的环状烯烃聚合物(A-1)

·粘结剂树脂(A)“丙烯酸聚合物(MARUKA LYNCUR CMM)”；丙烯酸聚合物(商品名“MARUKA LYNCUR CMM”、丸善石油化学公司制造、对羟基苯乙烯与甲基丙烯酸甲酯的共聚物)

·芳香族化合物(B)“4-甲基邻苯二酚”；4-甲基邻苯二酚(上述通式(2)中，R¹＝OH、R²＝OH、R³＝H、R⁴＝CH₃、R⁶＝H、R⁷＝H的化合物)

·芳香族化合物(B)“1,2,3-三羟基苯”；1,2,3-三羟基苯(上述通式(2)中，R¹＝OH、R²＝OH、R³＝OH、R⁴＝H、R⁶＝H、R⁷＝H的化合物)

·芳香族化合物(B)“间苯三酚”；间苯三酚(上述通式(2)中，R¹＝OH、R²＝H、R³＝OH、R⁴＝H、R⁶＝OH、R⁷＝H的化合物)

·除芳香族化合物(B)以外的芳香族化合物“2,5-二甲基苯酚”；2,5-二甲基苯酚(上述通式(2)中，R¹＝OH、R²＝CH₃、R³＝H、R⁴＝H、R⁶＝CH₃、R⁷＝H的化合物)

·除芳香族化合物(B)以外的芳香族化合物“苯酚酚醛清漆树脂(PAPS-PN2)”；苯酚酚醛清漆树脂(商品名“PAPS-PN2”、旭有机材工业公司制造、中分子量型)

·交联剂(C)“EPOLEAD GT401”；环氧化丁烷四羧酸四(3-环己烯基甲基)修饰ε-己内酯(商品名“EPOLEAD GT401”、DAICEL化学工业公司制造、脂肪族环状4官能性的环氧树脂)

·交联剂(C)“CELLOXIDE 2081”；ε-己内酯改性3’,4’-环氧环己基甲基-3,4-环氧环己烷羧酸酯(商品名“CELLOXIDE 2081”、DAICEL化学工业公司制造)

·交联剂(C)“EXA-4816”；长链双酚A型环氧树脂(商品名“EXA-4816”、DIC公司制造)

·交联剂(C)“NIKALAC MW100LM”；N,N,N’,N’,N”,N”-六甲氧基甲基三聚氰胺(商品名“NIKALAC MW100LM”、Sanwa Chemical Co.Ltd.制造)

·交联剂(C)“HMOM-TPHAP-GB”；4,4’,4”‐(乙叉基)三苯酚等六甲氧基甲基取代化合物(商品名“HMOM-TPHAP-GB”、本州化学工业公司制造)

·光酸产生剂“TS200”；4,4’-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙叉基]双酚(1摩尔)与1,2-萘醌二叠氮-5-磺酰氯(2.0摩尔)的缩合物(商品名“TS200”、东洋合成株式会社制造)

·硅烷偶联剂“Z6040”；γ-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷(商品名“Z6040”、DowCorning Toray Co.,Ltd.制造)

·硅烷偶联剂“Z6883”；3-苯基氨基丙基三甲氧基硅烷(商品名“Z6883”、DowCorning Toray Co.,Ltd.制造)

如表1所示，使用含有粘结剂树脂(A)、上述通式(1)所表示的芳香族化合物(B)以及交联剂(C)的树脂组合物而得到的树脂膜的耐热性、耐水性、耐热冲击性以及耐溶剂性均优异(实施例1～4)。

另一方面，在代替上述通式(1)所表示的芳香族化合物(B)而使用仅具有1个羟基的2,5-二甲基苯酚的情况下，得到的树脂膜的交联变得不充分，耐溶剂性差(比较例1)。

此外，在不配合上述通式(1)所表示的芳香族化合物(B)的情况下，得到的树脂膜的耐水性差(比较例2)。

进而，在代替上述通式(1)所表示的芳香族化合物(B)而使用苯酚酚醛清漆树脂的情况下，得到的树脂膜的耐热冲击性差(比较例3)。

Claims

1.一种树脂组合物，含有粘结剂树脂A、下述通式(1)所表示的芳香族化合物B以及交联剂C，

上述通式(1)中，R¹～R⁸各自独立地为氢原子、羟基、羧基、能够具有取代基的碳原子数为1～12的脂肪族烃基、能够具有取代基的碳原子数为6～12的芳香族烃基，m为0～2的整数，m＝0时，R¹～R⁴、R⁶、R⁷的至少2个为羟基，m＝1或2时，R¹～R⁸的至少2个为羟基，在m为2以上的情况下，无论通式(1)所表示的结构如何，存在的3个以上的苯环能够在任意的位置相互稠合。

2.根据权利要求1所述的树脂组合物，其中，进一步含有光酸产生剂D。

3.根据权利要求2所述的树脂组合物，其中，所述光酸产生剂D为醌二叠氮化合物。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的树脂组合物，其中，所述粘结剂树脂A为具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的树脂组合物，其中，所述芳香族化合物B为下述通式(2)所表示的化合物，

6.根据权利要求5所述的树脂组合物，其中，所述芳香族化合物B为如下的化合物：

在所述通式(2)中，R¹～R⁴、R⁶、R⁷中的2个为羟基、1个为碳原子数为1～12的脂肪族烃基、其余为氢原子的化合物，或者

在所述通式(2)中，R¹～R⁴、R⁶、R⁷中的3个为羟基、其余为氢原子的化合物。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的树脂组合物，其中，所述芳香族化合物B的含量相对于100重量份的所述粘结剂树脂A为0.01～30重量份。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的树脂组合物，其中，所述交联剂C为含环氧基交联剂。

9.一种电子部件，具有由权利要求1～8中任一项所述的树脂组合物形成的树脂膜。