CN1074887A - 制备硫酸铝的方法 - Google Patents
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Abstract
无色硫酸铝的制备是通过将硫酸中的过氧化氢
浓度调节到0.1%(重量)或更少,并使硫酸与含氧化
铝的化合物相接触。
Description
本发明涉及一种制备硫酸铝的方法,所述硫酸铝的颜色较已用于电子工业的高纯硫酸更浅。更具体地说,本发明涉及一种由电子工业用过的高纯硫酸制备无色硫酸铝,并防止硫酸储罐和管道以及制备硫酸铝所用设备的腐蚀。
硫酸铝可用作水源、工厂用水或工厂废水的水净化剂,纸上浆剂或媒染剂;用于灭火器、生产铝化合物或白色皮革的鞣制;油脂的澄清剂,各种反应的催化剂等等。
通常,制备硫酸铝是通过将硫酸装入由耐热和耐酸材料制成的反应器中,加入化学计量或稍微过量的氢氧化铝,加热并使它们反应。当需要固体硫酸铝时,将浓硫酸铝溶液注入固化床,并冷却直到完全固化,粉碎块状后包装。
当需要液体硫酸铝时,将浓硫酸铝溶液在反应器中稀释;注人储罐并冷却。
有些硫酸铝的用途要求洁白和纯净,因此反应后的硫酸铝溶液需用过滤设备纯化,该设备用硅藻土予涂,或与活性炭接触以通过吸附去有色物质(参见如日本专利公开说明书87985/1975)。在上述方法中,在作为原料的氢氧化铝中所含的有机物质(如腐蚀酸等)通过过滤和/或吸附而去除,以达到脱色目的。
这些年来,随着电子工业的迅速进展,尤其是,由于半导体工业中集成水平的提高,对于高水平的加工技术需求也随之增加,要大量高纯硫酸用于化学处理步骤和漂洗步骤中。
高纯硫酸在短周期内以新的批料取代,以防止由于杂质污染而引起的麻烦。
已研究了如何使用由电子工业中作为制备表面声波谐振器的原材料而大量排放的硫酸,发现,使用电子工业排放的特定废硫酸,硫酸铝被染成黄色,并且即使用活性炭处理,该黄色也难以除去。
本发明的目的是提供一种由电子工业使用过的硫酸来制备无色硫酸铝的方法。
按照发明,提供一种制备硫酸铝的方法,包括调节硫酸中过氧化氢浓度至0.1%(重量)或更少的步骤,最好为0.1~0.01%(重量),然后使硫酸与含氧化铝的化合物接触。
过氧化氢浓度的调节可以通过由硫酸溶液中除去过氧化氢或稀释硫酸溶液。
在本发明方法中,用作原料的硫酸是一种含有大于0.1%的过氧化氢的硫酸。这种硫酸是一种含有为增加净化能力而加入过氧化氢的硫酸并且是由晶片净化步骤排放出来的,在该步骤中硫酸是用于除去原子态杂质或者由IC生产工艺中的抗蚀剂去除去步骤排放的。
由上述步骤排放出来的硫酸通常含有至少0.2%(重量)的过氧化氢,经常为约0.2~约5%(重量),然而过氧化氢浓度的变化取决于多种因素,要用硫酸处理的产品等等。
硫酸浓度通常为至少50%(重量),较为普遍的是约70~约90%(重量),然而其变化取决于所用硫酸的步骤。
在本发明方法中,硫酸与含氧化铝的化合物(如氢氧化铝)反应。该反应是放热反应。在工业方法中,稀释热可用作为反应开始所必须的热能。当硫酸浓度为约70%(重量)或更高时,反应器中可以不需要热源。因此,由上述步骤排放的硫酸用作制备硫酸铝的原料是令人满意的。当硫酸浓度低于约70%(重量)时,它是在有热源的反应器中进行反应。
在本发明方法中,硫酸中的过氧化氢浓度是调到低于0.1%(重量)。任何能使过氧化氢浓度降到低于0.1%(重量)的方法都可使用而无限制。例如,硫酸与活性炭接触;过氧化氢通过在硫酸中加入还原剂(如硫代硫酸钠、亚硫酸钠、亚硫酸、肼等)并搅拌而降低;在有贵金属催化剂(如Pt、Pd、Ag等)和一种催化剂(如,MnO2、Al2O3、Fe3+、Cu2+、Zn2+等)存在下,分解过氧化氢;或者用氧化剂氧化分解过氧化氢。
换名话说,含低浓度过氧化氢的或不含过氧化氢的硫酸可加到含高浓度过氧化氢的硫酸中,以降低后者的过氧化氢浓度至所要求的范围。
另外,除去硫酸中的过氧化氢至某一浓度然后用含低浓度过氧化氢的硫酸稀释硫酸,反之亦然。
为制备硫酸铝,通过一种性质上是常规的方法,将含调节浓度过氧化氢硫酸与含氧化铝的化合物反应,反应混合物最好用水稀释以调节硫酸铝的浓度,从而可制得理想等级的硫酸铝。
含氧化铝化合物的实例是氢氧化铝,它可通过拜耳法、铝土矿、明矾石、铝灰等来制备。其中通过拜耳法制备的氢氧化铝最好,因为制得的硫酸铝质量较好。
在本发明方法中,在硫酸中的过氧化氢浓度要恰好在硫酸与含氧化合物反应之前进行调节。如果含高浓度过氧化氢的硫酸与含氧化铝化合物反应而将所得硫酸铝用活性炭处理,则硫酸铝不能脱色。
由于硫酸中所含过氧化氢而使硫酸铝着色的理由尚不清楚,但可作如下的假设:
含于含氧化铝化合物,如氢氧化铝中的痕量钛化合物,与含于硫酸中的过氧化氢反应,而生成有色物质如过氧化钛的络合物。
当含氧化铝化合物中所含钛化合物至少约0.0005%(重量)时,通常至少约0.001%(重量)时,黄颜色显色明显。
在本发明中,硫酸中的过氧化氢浓度最好为0.1~0.01%(重量)。从防止硫酸铝着色考虑,硫酸中过氧化氢的浓度越低越好。当过氧化氢浓度为0.1%(重量)时,硫酸铝着色的程度通过目测是在允许极限之内。当过氧化氢浓度在0.01%或更高时,还保持抗腐蚀作用,以使廉价的、普通的不锈钢,如奥氏体型普通不锈钢(如,SUS304,316等),铁氧体型普通不锈钢(如SUS405,430等),两相不锈钢(如SUS329J1,SUS329J2L等)都可用作容器和其它装置材料。
甚至当过氧化氢浓度为百分之几时,过氧化氢本身是无色的、硫酸也不会着色。通常可设想为:由电子设备生产工艺排放的硫酸与含氧化铝的化合物反应而制得硫酸铝时,有色物质是由含于含氧化铝化合物的有机物质引起的,这种物质可通过用活性炭处理而去除。然而这种处理实际上不能使硫酸铝脱色。
根据本发明,发现,硫酸中的过氧化氢是硫酸铝着色的原因,而且当过氧化氢浓度低于0.1%(重量)时,可以制得工业上有价值的,基本上不具颜色的硫酸铝,从而由电子设备生产工艺排放的大量硫酸可有效地使用。
本发明通过下列实施例进行说明,但它不限制本发明的范围。
硫酸和硫酸铝的性质由以下方法测定:
纯度
纯度的测定是根据JIS K1322-1987的中和滴定法。
Fe含量(%)
Fe含量的测定是按JIS K1322-1987的硫酸分析法。
颜色(b-值)
b-值是用色差测量仪Z-1001 DP(由日本Denshoku Kogyo股份有限公司制造),按JISZ8722-1982的“物体颜色测量法”测量。
过氧化氢浓度(%)
过氧化氢浓度是用过钛酸法测定。
实施例1
测定了由半导体制造厂得到的硫酸的硫酸浓度、纯度和颜色(b-值),结果列于表1。
为了对比,也测定了市售所得的硫酸的指标(由Dowa Mining股份有限公司的购得;纯度为98%或更高)。结果列于表1。
样品号1-4中的每一样品(各500g)和活性炭粉末(由Nimura化学工业股份有限公司制造的TAIKO KASSEITAN(商品名)(50g)装入一个带有搅拌器的烧杯中并于20℃200rpm下搅拌1小时。
测定处理过的硫酸的颜色和过氧化氢浓度,结果示于表2。
将处理过的硫酸样品加入氢氧化铝(由Sumitomo化学股份有限公司制造的C-31(商品名))中,并按所产生的硫酸铝中AL2O3含量为8%(重量)的量进行反应。所得硫酸铝的颜色示于表2。
将所得硫酸铝(100g)和与上述所用相同的活性炭粉(5mg)装入带有搅拌器的烧杯中,并于20℃、200rpm下搅拌30分钟。测定处理过的硫酸铝颜色。其结果也示于表2中。
从上述结果可见,当硫酸溶液用活性炭处理时,引起着色的H2O2含量降低,由处理过的硫酸制备的硫酸铝颜色(b-值)降低,而用活性炭处理的硫酸铝可再降低其颜色(b-值)。根据这些结果,可以理解,硫酸铝溶液的着色是由于含于氢氧化铝中的有机物引起的,并能通过用活性炭除去。
实施例2
按实施例1中同样方法,除了用硫化钠(由Wako Junyaku有限化司制造)(100g)代替活性炭,处理样品1号的硫酸,测定处理过的硫酸的颜色和过氧化氢含量。结果示于表3。
按实施例1中同样方法,但用上述处理过的硫酸,制备硫酸铝并测定其颜色和过氧化氢含量。此外,按实施例1中相同方法,用活性炭处理硫酸铝溶液,测定所得硫酸铝溶液的颜色。其结果示于表3。
对比例
按实施例1中相同的方法,除了在硫酸铝的制备步骤中使用未处理过的硫酸以制备硫酸铝、并测定其颜色,结果列于表4。
所得的硫酸铝(50g)和活性炭粉末(由Nimura化学股份有限公司制造的TAIKO KASSEITAN(商品名))(50g)装入一带有搅拌器的烧杯中,并于20℃,200rpm下搅拌1小时,处理过的硫酸铝颜色示于表4中。
表4
实施例3
将样品1号硫酸(与实施例1中所用相同)(170g)以3.75ml/min(空速SV 2.87hr-1)的流速流过一根内径25mm、长160mm的柱,柱内填有BET比表面积为471m2/g、中心直径2.6mm的颗粒活性炭。处理过硫酸中的过氧化氢浓度降到0.27%。
将市售购得的硫酸(样品号4)(330g)与处理过的硫酸混合而得到含有0.09%过氧化氢和88.5%硫酸的稀硫酸(500g)。
在市售购得的氢氧化铝(由Sumitomo化学股份有限公司制造的C-31(商品名))(50g)中加入稀硫酸并按在所生产的硫酸铝中Al2O3含量为8%(重量)的量进行反应。所得硫酸铝的颜色示于表5。
将所得硫酸铝(100g)和活性炭粉末(由Nimura化学工业股份有限公司制造的TAIKO KASSEITAN(商品名)(15mg)装入一带有搅拌器的烧杯中,并在20℃、200rpm下搅拌30分钟。处理过的硫酸铝的颜色示于表5中。
表5
用市售购得的硫酸稀后的H2O2含量 | 未处理的硫酸 | 处理过的硫酸的颜色 | |
颜色(b-值) | H2O2(%) | ||
0.09% | 3.02 | <0.06 | 0.45 |
实施例4
将不锈钢(SUS 316L)样品条(长25mm、宽20mm、厚2mm),于30℃浸入含有示于表6的过氧化氢浓度的250ml硫酸中,并且在168小时后测量其腐蚀速率(g/m2.hr)(即每平方米在1小时中的溶解量)。结果列于表6。
表6
硫酸浓度(%) | H2O2浓度(%) | 腐蚀速率(g/m2·hr) |
60 | 0.000.010.04 | 8.9960.0020.002 |
70 | 0.000.010.04 | 3.3140.0030.003 |
80 | 0.000.010.04 | 1.3820.0030.003 |
798 | 0.00 | 0.003 |
实施例5
按实施例4中相同方法,除了将列于表7的各不锈钢样品条浸入含0.01或0.04%过氧化氢的70%硫酸中,并测量其腐蚀速率。结果列于表7。
表7
H2O2浓度 | 不锈钢样品 | ||||
304 | 316 | 329J1 | 430 | 329J2L | |
0.010.04 | 0.0010.003 | 0.0010.001 | 0.0010.001 | 0.0040.005 | 0.0010.002 |
Claims (5)
1、一种制备硫酸铝的方法,包括的步骤有:调节硫酸中过氧化氢的浓度至0.1%(重量)或更少,并使硫酸与含氧化铝化合物相接触。
2、按权利要求1的方法,其中所述的硫酸中的过氧化氢浓度是调节到0.1~0.01%(重量)。
3、按权利要求1的方法,其中所述的硫酸中的过氧化氢浓度是通过去除过氧化氢或用硫酸稀释而调节的。
4、按权利要求3的方法,其中过氧化氢是用活性炭除去的。
5、按权利要求3的方法,其中过氧化氢是通过氧化氢的分解而除去的。
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