JP3339067B2 - 硫酸アルミニウムの製造方法 - Google Patents

硫酸アルミニウムの製造方法

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    • Y10S423/01Waste acid containing iron
    • Y10S423/02Sulfuric acid

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は硫酸アルミニウの製造方
法に係わり、詳細には電子工業分野で使用された高純度
硫酸より着色のない硫酸アルミニウムの製造方法に関す
るものである。更に詳細には電子工業分野で使用された
高純度硫酸を用い、該硫酸の貯蔵タンク、配管、或いは
硫酸アルミニウムの製造装置の腐食を少なくして、かつ
着色のない硫酸アルミニウムの製造方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】硫酸アルミニムは上水道、工場用水、工
場排水等の浄水剤、紙のサイズ剤、媒染剤、消化器、ア
ルミニウム化合物の製造、白色皮革のなめし、油脂の清
澄剤或いは各種の触媒用等の多岐に渡り使用されてい
る。
【0003】硫酸アルミニウムは通常、耐熱、耐酸材よ
りなる反応槽に硫酸を仕込み、これに理論量より僅か過
剰の水酸化アルミニウムを投入して加熱反応させ、得ら
れた濃厚硫酸アルミニウム溶液を固形硫酸アルミニウム
を得る場合には固化床に流し完全に固化するまで放冷し
た後、これを破砕して包装して製品とする。また液体硫
酸アルミニウムの場合には該濃厚硫酸アルミニウム溶液
を反応槽で希釈して貯槽に流し、冷却後濃度調製して製
品としている。
【0004】しかして硫酸アルミニウムは用途において
は白色度、透明度を要求されるため反応後の硫酸アルミ
ニウム溶液を珪藻土でプレコートしたろ過装置を用いて
精製したり、活性炭で着色物質を吸着除去して使用され
ている(例えば、特開昭50−87985号公報)。該
方法は原料である水酸化アルミニウム中に含有されてい
る着色物質であるフミン酸等の有機物質をろ過、或いは
吸着により除去し脱色効果を有するものである。
【0005】近年、電子工業分野の発展は著しく、特に
半導体製造工程においては集積度の向上による加工技術
の高度化要求が一層高まり、それに伴い半導体の製造に
おける薬品処理工程、洗浄工程等で高純度の硫酸が多量
に使用されている。これら高純度硫酸は不純物の混入か
ら生じるトラブルを防止する目的より短期間の使用で新
しいものと取替え使用されている。
【0006】本発明者等は電子工業分野から多量に出さ
れる硫酸を硫酸アルミニウムの原料として有効利用すべ
く検討したが、該分野から出された特定の硫酸を用いた
場合には得られた硫酸アルミニウムが黄色に着色を呈
し、該硫酸アルミニウムを活性炭で処理しても脱色効果
がないとの結果を得た。
【0007】
【発明が解決しょうとする課題】かかる事情下に鑑み、
本発明者らは電子工業分野からの使用済み硫酸を硫酸ア
ルミニウム製造用原料として用い着色のない商品価値の
高い硫酸アルミニウムを得るべく鋭意検討した結果、硫
酸アルミニウムの着色原因が意外にも該分野の使用に際
し硫酸中に添加し使用される過酸化水素にあることを見
出し、本発明方法を完成するに至った。
【0008】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明方法は
0.1重量%を越える過酸化水素を含有する硫酸溶液中
の過酸化水素を0.1重量%以下に除去及び/または希
釈処理した後、該硫酸溶液とアルミナ含有物質を反応さ
せることを特徴とする硫酸アルミニウムの製造方法を提
供するにある。
【0009】以下、本発明方法を更に詳細に説明する。
本発明方法に適用する硫酸は該硫酸溶液中に約0.1重
量%を越える過酸化水素を含有する硫酸である。このよ
うな硫酸は例えばIC製造工程に於けるウエハー洗浄工
程での原子状汚染物除去用、レジスト剥離工程より出さ
れる、洗浄強化等の目的より過酸化水素が添加された硫
酸溶液である。該工程より出される硫酸中には各使用工
場、対象とする製品等により一義的ではないが通常約
0.2重量%以上、普通には約0.2重量%〜約5重量
%の範囲で過酸化水素を含有する。
【0010】また、これら工程より出される硫酸濃度は
使用される工程により、さらには操業条件により一義的
ではないが通常約50重量%以上、一般的には約70重
量%〜約90重量%程度である。硫酸アルミニウムの製
造に於いて、硫酸とアルミナ含有物質、例えば水酸化ア
ルミニウムとの反応は発熱反応であり、通常の工業的プ
ロセスでは反応開始時に必要な温度を硫酸の希釈熱を利
用して実施している。硫酸溶液濃度が約70重量%以上
であれば反応槽に加熱源なくして実施し得る。それ故、
これら工程より出される硫酸は硫酸アルミニウムの製造
用原料として十分使用可能である。また、例えこれより
薄い濃度のものであっても別途反応槽に加熱源を有する
ならば使用可能である。
【0011】本発明方法の実施に際し、これら工程より
出される硫酸はその含有される過酸化水素濃度を0.1
重量%未満に調整する。 調整方法としては、該硫酸溶
液中に含有される過酸化水素濃度を0.1重量%未満に
し得る方法であればよく、とくに制限されないが、例え
ば硫酸溶液を活性炭と接触させる方法、或いは硫酸溶液
をチオ硫酸ナトリウム、硫酸ナトリウム、亜硫酸、ヒド
ラジン等の還元剤を添加し攪拌することにより還元処理
する方法、Pt、Pd、Ag等の貴金属触媒やMn
2 、Al2 3 、Fe3+、Cu2+、Zn2+等の触媒共
存下で分解する方法、更には酸化剤を用いて酸化分解す
る方法等の硫酸溶液中より過酸化水素を除去する方法が
挙げられる。また、該過酸化水素を含有する硫酸溶液
に、過酸化水素含有量の低い、或いは過酸化水素を含有
しない硫酸を加え、希釈することにより硫酸溶液中の過
酸化水素含有量を所定濃度以下にする方法でもよい。勿
論、或る濃度まで硫酸溶液中の過酸化水素を除去処理し
た後、これに過酸化水素含有量の低い硫酸を加え希釈す
る方法、或いはこの逆の方法を用いることにより、硫酸
溶液中の過酸化水素含有量を所定濃度以下にすることも
可能である。
【0012】このようにして過酸化水素の含有量を調整
した硫酸溶液は通常公知の硫酸アルミニウムの製造に準
じて、アルミナ含有物質と反応させ、水を添加して濃度
調製等を行い所望グレードの硫酸アルミニウムを得れば
よい。原料であるアルミナ含有物質としてはバイヤー法
で得られた水酸化アルミニウム、ボーキサイト、明礬
石、アルミ残灰等が挙げられるがバイヤー法で得られた
水酸化アルミニウムを用いることが良質の硫酸アルミニ
ウムが得られるので推奨される。
【0013】本発明方法の実施に際し、硫酸溶液中の過
酸化水素濃度の調整はアルミナ含有物質との反応前に実
施することを必須とする。該硫酸をアルミナ含有物質と
反応させ硫酸アルミニウムとした後、該硫酸アルミニウ
ム溶液を活性炭で処理しても硫酸アルミニウムの着色を
除去することはできない。本発明方法において何故硫酸
溶液中に存在する過酸化水素により硫酸アルミニウム溶
液が着色するのかその理由は詳らかではないが、アルミ
ナ含有物質、例えば通常水酸化アルミニウム中に不純物
として微量含有されるチタン化合物が硫酸溶液中の過酸
化水素と反応しペルオキソチタン酸の錯体等の着色物質
が形成されるためと推測される。アルミナ含有物質に存
在するチタン化合物は酸化物換算で約0.0005重量
%以上、一般には約0.001重量%以上存在すれば顕
著な黄色を示す。
【0014】本発明方法において、硫酸溶液中の過酸化
水素濃度は0.1重量%以下で、かつ0.01重量%以
上存在することが好ましい。製品硫酸アルミニウムの着
色防止の点からは出来る限り原料硫酸溶液中の過酸化水
素濃度は低い方がよいが、0.1重量%以下になれば目
視における許容色度となる。他方、硫酸溶液中に過酸化
水素が0.01重量%以上存在する場合には例え濃度9
0%以下の希薄硫酸を用いる場合であっても、汎用ステ
ンレス鋼への防蝕効果を発揮し装置材料として安価な汎
用ステンレス鋼、例えばSUS304,316等のオー
ステナイト系汎用ステンレス鋼、SUS405,430
等のフェライト系汎用ステンレス鋼、SUS329J
1,SUS329J2L等の二相ステンレス鋼等が貯槽
材料を始め装置材料として使用可能となる。
【0015】
【本発明の効果】過酸化水素は通常無色であり硫酸溶液
中に数%存在しても着色は見られない。それゆえ、通常
電子材料製造工程より出された硫酸を用い、アルミナ含
有物質と反応させ硫酸アルミニウムとした場合、生じる
着色はアルミナ含有物質に起因する有機物と考え、活性
炭で処理すればよいと一般的には推測しがちであるが、
かかる処理を行っても実質的な脱色効果は得られない。
本発明はこのような状況下において硫酸アルミニウム溶
液の着色原因が硫酸溶液中の過酸化水素にあること、し
かして該溶液中の過酸化水素濃度を約0.1重量%未満
にする場合には実質的に着色の見られない工業的価値の
高い硫酸アルミニウムが得られることを見出し、電子材
料製造工程より出される多量の硫酸の有効利用を可能に
したものであり、加えて、硫酸溶液中の過酸化水素濃度
を0.1重量%以下で且つ0.01重量%以上にするこ
とにより、装置材料として廉価な汎用ステンレス鋼を使
用し得ることをも見いだしたものであり、その産業的価
値は頗る大なるものである。
【0016】
【実施例】以下実施例により本発明方法をさらに詳細に
説明するが、本発明はかかる実施例により制限をうける
ものではない。尚、硫酸及び硫酸アルミニウムの物性は
以下の方法により測定した。 純度; JISK1322−1987記載の中和滴定法
を使用した。 Fe(%); JISK1322−1987硫酸分析方
法により実施した。 色度(b値); JISZ8722−1982「物体色
の測定方法」に準拠し日本電色工業株式会社製色差計Z
−1001DPを用い測定した。 過酸化水素(%); ペルオキソチタン酸法により測定
した。
【0017】実施例1 半導体メーカより使用済硫酸を入手し硫酸濃度、不純物
及び色度を測定した。その結果を表1に示す。尚、比較
の為市販の硫酸(同和鉱業株式会社、純度98重量%以
上品)の物性値を測定し、その結果を表1に示した。
【0018】
【表1】
【0019】次いで試料1〜4を別々に500gと活性
炭粉末(商品名;太閤活性炭、二村化学工業株式会社
製)50gを攪拌機能を有するビーカに供給し20℃×
200rpmで1時間攪拌処理した。処理後の硫酸溶液
の色度並びに過酸化水素含有量を測定した。その結果を
表2に示す。
【0020】次いで市販の水酸化アルミニウム(商品名
C−31;住友化学工業株式会社製)50gに生成硫酸
アルミニウムのAl2 3 濃度が8重量%になるように
上記処理後の試料を添加し反応させた。得られた硫酸ア
ルミニウムの色度を表2に示す。また得られた硫酸アル
ミニウム100gに上記で使用したと同一の活性炭15
mgを攪拌機能を有するビーカに供給し20℃×200
rpmで30分間攪拌処理した。処理後の硫酸アルミニ
ウム溶液の色度を測定した。その結果をあわせて表2に
示す。
【0021】
【表2】
【0022】上記結果より硫酸溶液を活性炭処理すると
活性炭に起因する着色が生じるがH 2 2 含有量は低下
しており、この処理後の硫酸を用いて得られた硫酸アル
ミニウムの色度は低下しており、この硫酸アルミニウム
溶液を活性炭処理すると色度は更に改良される。このこ
とより上記硫酸アルミニウム溶液の着色原因は活性炭で
吸着除去し得る水酸化アルミニウム中の有機物質等に起
因していることがわかる。
【0023】実施例2 実施例1の方法に於いて活性炭粉末に代えて亜硫酸ナト
リウム(和光純薬株式会社製)100gを用いた他は同
様の条件で攪拌し試料−1を処理した。処理後の硫酸溶
液の色度並びに過酸化水素含有量を測定した。その結果
を表3に示す。次いで上記処理後の硫酸を用いて実施例
1と同様に硫酸アルミニウムを生成しこのものの色度並
びに過酸化水素含有量を測定し、さらに実施例1と同様
の方法で活性炭処理した。このようにして得られた硫酸
アルミニウム溶液の色度を測定した。その結果をあわせ
て表3に示す。
【0024】
【表3】
【0025】比較例 実施例の硫酸アルミニウムの作成に於いて未処理の硫酸
溶液を用いた他は実施例1と同様に硫酸アルミニウム溶
液を得、該硫酸アルミニウムの色度を測定した。その結
果を表4に示す。さらにこのようにして得られた硫酸ア
ルミニウム500gと活性炭粉末(商品名;太閤活性
炭、二村化学工業株式会社製)50gを攪拌機能を有す
るビーカに供給し20℃×200rpmで1時間攪拌処
理した。得られた硫酸アルミニウムの色度を表4に示
す。
【0026】
【表4】
【0027】実施例3 顆粒状活性炭50g(BET比表面積471m2 /g、
中心径2.6mm)を充填したカラム(内径25,長さ
160mm)に室温において試料−1(実施例1で使用
したものと同じ)の硫酸を、流速3.75ml/分(空
間速度SV=2.87h-1)で170g処理した。処理
後の硫酸中の過酸化水素濃度は0.27%に減少してい
た。この処理硫酸170gに市販硫酸(試料−4)を3
30g混合して、過酸化水素濃度0.09%、硫酸濃度
88.5%の希硫酸500gを得た。
【0028】次いで市販の水酸化アルミニウム(商品
名:C−31,住友化学工業株式会社製)50gに、生
成硫酸アルミニウムのAl2 3 濃度が8重量%になる
ように上記希硫酸を添加し、反応させた。得られた硫酸
アルミニウムの色度を表5に示す。
【0029】また得られた硫酸アルミニウム100gに
活性炭粉末(商品名:太閤活性炭、二村化学工業株式会
社製)15mgを攪拌機能を有するビーカーに供給し、
20℃×200rpmで30分間攪拌処理した。処理後
の硫酸アルミニウム溶液の色度を測定した。その結果を
表5に示す。
【0030】
【表5】
【0031】実施例4 長さ25mm×幅20mm×厚さ2mmのステンレス鋼
(SUS316L)試験片を、30℃に保持した、表6
に記載の過酸化水素を含有する各種濃度の硫酸溶液25
0mlに浸漬し、168時間後の試験片の腐食度を測定
した。その結果を表6に示す。尚、腐食度の単位は(g
/m2・hr)である。
【0032】
【表6】
【0033】実施例5 実施例4の方法に於いて、過酸化水素を0.01重量%
及び0.04重量%を含有する濃度70%の硫酸溶液に
表7に示すステンレス鋼試験片を用い、実施例4と同様
の方法で腐食度を測定した。その結果を表7に示す。
【0034】
【表7】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂田 勝廣 愛媛県新居浜市惣開町5番1号 住友化 学工業株式会社内 (72)発明者 中田 幹俊 千葉県市原市姉崎海岸5番1 住友化学 工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭54−126694(JP,A) 特開 昭50−87985(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C01F 7/74

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 0.1重量%を越える過酸化水素を含有
    する硫酸溶液中の過酸化水素を0.1重量%以下に除去
    及び/または希釈処理した後、該硫酸溶液とアルミナ含
    有物質を反応させることを特徴とする硫酸アルミニウム
    の製造方法。
  2. 【請求項2】 0.1重量%を越える過酸化水素を含有
    する硫酸溶液中の過酸化水素を0.1重量%〜0.01
    重量%の範囲に除去及び/または希釈処理した後、該硫
    酸溶液とアルミナ含有物質を反応させることを特徴とす
    る硫酸アルミニウムの製造方法。
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