CN107479754B - 一种柔性触摸传感器和柔性触摸显示面板 - Google Patents

一种柔性触摸传感器和柔性触摸显示面板 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种柔性触摸传感器，包括：多个第一触控电极和多个第二触控电极，包括折叠区域和非折叠区域；第三触控电极，所述第三触控电极设置于所述折叠区域，所述第一触控电极设置于所述非折叠区域；第三触控电极与第二触控电极在所述折叠区域的部分不交叠；绝缘层，绝缘层设置于所述非折叠区域，第一触控电极和所述第二触控电极通过绝缘层绝缘。本发明所提供的柔性触摸传感器及柔性触摸显示面板，具有折叠区域和非折叠区域，将绝缘层仅仅设置在非折叠区域，减薄折叠区域的堆叠膜层，并且折叠区域不具有容易产生裂纹的绝缘层，增强了折叠区域弯折性能的稳定，从而保证柔性触摸传感器经多次弯折仍然具有良好的触控性能。

Description

一种柔性触摸传感器和柔性触摸显示面板
技术领域
本发明涉及显示领域，尤其涉及一种柔性触摸传感器和柔性触摸显示面板。
背景技术
触摸屏作为一种输入媒介，是目前最为简单、方便、自然的一种人机交互方式。在显示装置上集成触控功能，已经成为越来越多平板显示器厂商的研发热点。
随着柔性显示技术的发展，带有触控功能的柔性显示面板也更多的被开发和使用，由于柔性显示面板能够被弯曲、被折叠甚至被卷曲，这就要求触摸传感器具有柔性的特性，现有技术中的柔性触摸触摸传感器在被弯曲、折叠和卷曲时容易在折叠区域出现膜层裂纹、膜层断裂以及膜层分离等现象，导致触摸传感器的触摸功能失效。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种柔性触摸传感器及柔性触摸显示面板，具有良好的耐弯折特性，在弯折或卷曲等操作中仍然具有良好的触控稳定性。
本发明实施例一方面提供了一种柔性触摸传感器，包括：多个沿第一方向延伸的第一触控电极和多个沿第二方向延伸的第二触控电极，所述第一方向和所述第二方向交叉；
所述柔性触摸传感器包括折叠区域和非折叠区域；
第三触控电极，所述第三触控电极设置于所述折叠区域，所述第一触控电极设置于所述非折叠区域；
所述第三触控电极与所述第二触控电极在所述折叠区域的部分不交叠；
绝缘层，所述绝缘层设置于所述非折叠区域，所述第一触控电极和所述第二触控电极通过所述绝缘层绝缘。
本发明实施例的另一方面提供一种柔性触摸显示面板，包括上述柔性触摸传感器。
本发明所提供的柔性触摸传感器及柔性触摸显示面板，具有折叠区域和非折叠区域，触控电极包括第一触控电极、第二触控电极和第三触控电极，通过将第一触控电极设置于非折叠区域，第三触控电极设置于折叠区域，从而将绝缘层可以仅仅设置在非折叠区域，如此将减薄折叠区域的堆叠膜层，并且折叠区域不具有容易产生裂纹的绝缘层，增强了折叠区域弯折性能的稳定，从而保证柔性触摸传感器经多次弯折仍然具有良好的触控性能。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种柔性触摸传感器示意图；
图2A是本发明实施例提供的另一种柔性触摸传感器示意图；
图2B是图2A中沿着AA’的截面图；
图2C是图2A中沿着BB’的截面图；
图3A为本实施例提供的又一种柔性触摸传感器示意图；
图3B是图3A中沿着CC’的截面图；
图4A为本发明实施例提供的又一种柔性触摸传感器示意图；
图4B是图4A中沿DD’的截面图；
图5为本发明实施例提供的又一种柔性触摸传感器的截面示意图；
图6为本发明实施例提供的一种柔性触摸显示面板的示意图；
图7为本发明实施例提供的又一种柔性触摸显示面板的示意图。
具体实施方式
因为所描述的技术顾及了多种改变和多个实施方式，所以具体实施方式将在附图中示出并且在书面描述中详细描述。现将参照附图更充分地描述所描述的技术的效果和特征，在附图中示出了示例性实施方式。然而，所描述的技术可以以许多不同的形式实施而不应被解释为限于本文中阐述的实施方式。
相同或相对应的部件用相同的附图标记表示而与图号无关，在说明书全文中，当“第一”、“第二”等措辞可用于描述各种部件时，这些部件不必限于以上措辞。以上措辞仅用于将一个部件与另一部件区分开。
在说明书全文中，“包括”或“包括有”的措辞用于说明在说明书中描述的特征和/或部件的存在，不排除一个或多个其它特征和/或一个或多个其它部件的存在。将理解的是，当层、区、部件等被称为在另一层、另一区或另一部件“上”时，该层、区、部件等可直接在另一层、另一区或另一部件上或者也可存在中间层、中间区或中间部件。
在附图中，为了清楚，层和区域的厚度被夸大。例如，为了便于描述，附图中的元件的厚度和尺寸被任意地示出，因此，所描述的技术范围不由附图限定。
在下文中，在一个或多个示例性实施方式中，X轴、Y轴和Z轴可不限于直角坐标系上的三个轴，而可被解释成包括三个轴的宽泛含义。例如，X轴、Y轴和Z轴可相互垂直或者可表示不相互垂直的不同方向。
此外，还应注意的是，在一些可替代的实现方式中，本文中所描述的所有方法的步骤可不按顺序发生。例如，示出为连续的两个步骤可实际上大致同时执行，或者这两个步骤可有时以相反的顺序执行。
如在本文中所使用的，措辞“和/或”包括相关的所列项目中的一个或多个的任何和全部组合。诸如“……中的至少一个”的表述当位于元件列表之后时，修饰元件的整个列表，而不修饰列表中的单个元件。在本公开中，措辞“大致”包括在一些应用下或根据本领域技术人员完全、几乎完全或到任何显著程度的意思。此外，“形成、布置或放置在…之上”也可以意为“形成、布置或放置在…上”。术语“连接”包括电连接。
为了更清楚，在不同的附图中相同的结构使用相同的附图标号。
下面将结合附图对本实施方式进行详尽的说明。
图1为本发明实施例提供的一种柔性触摸传感器示意图，如图1所示，柔性触摸传感器包括多个沿第一方向x延伸的第一触控电极101，多个沿第二方向y延伸的第二触控电极102，第一方向x和第二方向y交叉，柔性触摸传感器包括折叠区域FA和非折叠区域NFA，第三触控电极103设置于折叠区域FA，第一触控电极101设置于非折叠区域NFA，第三触控电极103与第二触控电极102在折叠区域FA的部分不交叠，柔性触摸传感器还包括绝缘层104，其中绝缘层104设置于非折叠区域NFA，第一触控电极101和第二触控电极102通过绝缘层104绝缘。
本发明实施例所提供的柔性触摸传感器具有柔性的特性，能够被弯曲、折叠或者卷曲，为了更好的说明柔性触摸传感器适应柔性所作出的特殊设计，本发明实施例所提供的柔性触摸传感器包括折叠区域FA和非折叠区域NFA，折叠区域FA为图1中的虚线框的区域，非折叠区域NFA为虚线框以外的区域，柔性触摸传感器能够在折叠区域FA进行折叠或者弯曲，需要说明的是，折叠区域FA和非折叠区域NFA仅仅是为了更好的说明结构所作出的划分，并不代表着柔性触摸传感器在非折叠区域NFA不具有柔性或者不能折叠。因而非折叠区域NFA的柔性触摸传感器可以是柔性的，也可以是刚性的，本发明对此不作限定，但是柔性触摸传感器在折叠区域可以进行折叠操作。可选的，折叠区域FA可以为条形区域，此时柔性触摸传感器可以条形延伸方向为轴线进行对折，当柔性触摸传感器柔性较好，能够实现小曲率半径的折叠，折叠区域在条形延伸方向垂直方向的宽度可以较小，当柔性触摸传感器具有较大弯曲曲率半径，折叠区域在条形延伸方向垂直方向的宽度可以较大，视不同情况而定。并且条形区域可以条形延伸方向贯穿柔性触摸传感器，也可以仅贯穿柔性触摸传感器对应到显示面板的显示区域部分。条形区域延伸方向可以为第一方向。并且，为了进一步提升柔性触摸传感器的柔性，可以将第一触控电极101、第二触控电极102和第三触控电极103的材质设置为金属网格。
本发明的柔性触摸传感器能实现触摸位置检测的功能。触摸检测功能的实现可以通过互容式触控，也可以通过自容式触控。
对于互容式触控，包括触控驱动电极和触控检测电极，触控驱动电极被依次输入触控驱动信号，触控检测电极输出检测信号，触控驱动电极和触控检测电极形成电容，当发生触控时，会影响触摸点附近触控驱动电极和触控检测电极之间的耦合，从而改变触控驱动电极和触控检测电极之间的电容量。检测触摸点位置的方法为，对触控驱动电极依次输入触控驱动信号，触控检测电极同时输出触控检测信号，这样可以得到所有触控驱动电极和触控检测电极交汇点的电容值大小，即整个二维平面的电容大小，根据二维电容变化量数据，可以计算出触摸点的坐标。
对于自容式触控，触控驱动信号输入给触控电极，触控电极和地信号之间形成电容，当发生触控时，会影响触摸点附近的触控电极和地之间的自电容发生变化，同时触控电极输出触控检测信号，这样即可以得到电容值发生变化的触控电极位置，从而判定发生触摸的位置。
本发明实施例中的触摸检测模式可以为互容式触控、自容式触控、也可以为互容式和自容式混合触控模式。第一触摸电极101沿着第一方向x延伸，第二触控电极102沿着第二方向y延伸，第一方向x和第二方向y交叉，因而第一触控电极101和第二触控电极102具有部分交叠，但第一触控电极101和第二触控电极102通过绝缘层104保持绝缘，这里，第一触控电极101和第二触控电极102可以均为自电容触控模式中的自电容电极，也可以分别为互电容检测模式中的触控驱动电极和触控检测电极。
本发明实施例还包括第三触控电极103，第三触控电极103位于折叠区域FA，第二触控电极为沿着第二方向y延伸的电极，第二触控电极穿过折叠区域，绝缘层104仅仅设置于非折叠区域NFA，并且第三触控电极103由于与第二触控电极102在折叠区域FA内的部分不交叠，因而，第三触控电极可以为块状电极。本发明实施例通过在折叠区域和非折叠区域分别设置第一触控电极和第三触控电极，第一触控电极和第三触控电极可以具有不同的触控模式或者电极连接模式，第三触控电极和第二触控电极在折叠区域的部分不交叠，因而能够实现柔性触摸传感器中的绝缘层仅仅设置在非折叠区域，可以理解，绝缘有机层的厚度通常为绝缘无机层的4～5倍，为了实现柔性触摸传感器的轻薄化，触摸传感器中的将不同金属层绝缘的绝缘层通常采用无机层，而无机层由于脆度较大，当弯折时容易产生裂纹，并且纵向扩展，产生的无机层裂纹容易将触控电极带断，导致触控失效。本发明实施例通过对触控电极进行区域化处理，将折叠区域的绝缘层去除，相比于现有技术在折叠区域设置有有机绝缘层的方案，大幅度减小了折叠区域的膜层厚度，提升弯折特性，减小弯曲曲率半径，实现更好的折叠效果。相比于现有技术折叠区域设置有无机绝缘层的方案，由于去除了折叠区域的无机绝缘层，因而提升了触控电极弯折稳定性，保证柔性触摸传感器即使经过多次弯折也具有良好的触控性能。
在非折叠区域中，绝缘层104可以为面状绝缘层，即绝缘层104在非折叠区域内为一整面结构，无需图案化。
本发明实施例中，第三触控电极103可以具有多种触控模式以及电极连接模式，下面将对此进行详细说明。
第三触控电极103可以为自容式触控电极，此时，每个第三触控电极103与地电位形成电容，单独进行触控位置的检测，每个第三触控电极可以单独引线，而不需要跨桥连接，第三触控电极103可以设置在折叠区域内第二触控电极的间隙中，即可与第二触控电极保持绝缘，从而绝缘层104可以仅设置于非显示区域。而第一触控电极101和第二触控电极102在非折叠区域NFA通过绝缘层104绝缘交叉，第一触控电极和第二触控电极可以为互容电极也可以为自容电极。
在本发明另一可选实施方式中，柔性触摸传感器为互容式触摸传感器，第一触控电极101和第三触控电极103为触控驱动电极和触控检测电极中的一种，第二触控电极102为触控驱动电极和所述触控检测电极中的另一种。互容式触摸传感器相比于自容式具有实现真正多点触控检测的优势，第一触控电极101和第二触控电极102之间形成互电容，可选的，在折叠区域FA，第三触控电极可以与同样穿过折叠区域的第二触控电极形成互电容，此时，第一触控电极和第三触控电极同时为触控驱动电极或者同时为触控检测电极。为了精确检测折叠区域处触摸发生的位置，减少触控信号线的数量，可以将分布在折叠区域的第三触控电极进行规则排布和电连接。
可选的，折叠区域FA包括多个第三触控电极103，第三触控电极103位于折叠区域FA，第二触控电极为沿着第二方向y延伸的电极，第二触控电极穿过折叠区域，绝缘层104仅仅设置于非折叠区域NFA，并且第三触控电极103由于与第二触控电极102在折叠区域FA内的部分不交叠，因而，第三触控电极可以为块状电极，多个第三触控电极103可以排列为至少一行，行方向可以和第一方向相同，并且每个第三触控电极设置于相邻两个第二触控电极102之间。这样的排布方式使得第三触控电极在折叠区域进行均匀分布，能够保证各个第三触控电极103与第二触控电极之间形成大致相同的初始电容，保证触控检测的精度。
图2A是本发明实施例提供的另一种柔性触摸传感器示意图，图2B是图2A中沿着AA’的截面图，图2C是图2A中沿着BB’的截面图，如图2A和图2B所示，在折叠区域FA的多个第三触控电极沿着第一方向排列为至少一行，并且在一行中相邻第三触控电极103通过第一跨桥110电连接，由于行方向与第一方向x相同，与第二方向y交叉，因而为了保证第三触控电极103和第二触控电极102的绝缘，第一跨桥110跨至非折叠区域NFA，通过非折叠区域的绝缘层104与第二触控电极102保持绝缘。本实施例所提供的技术方案，一行中的多个第三触控电极通过第一跨桥110在行方向上电连接从而形成一个触控电极，因此多个电连接的第三触控电极在触控功能的实现上等效于第一触控电极，第三触控电极103和第一触控电极101均与第二触控电极102之间形成互电容，能够保证整个触摸传感器的触摸检测均匀性，此外，通过将连接相邻第三触控电极103的第一跨桥110跨至非折叠区域，非折叠区域NFA的绝缘层104能够保证第三触控电极103与第二触控电极102的绝缘，从而实现正常触控功能，折叠区域FA由于不具有绝缘层104，柔性触摸传感器在折叠区域具有较薄的膜层堆叠厚度，并且由于在折叠区域取消了无机绝缘层，当柔性触摸传感器在折叠区域进行折叠，不会发生绝缘层弯折裂纹带断触控电极的情况，从而保证柔性触摸传感器的弯折稳定性。
继续参考图2C，在非折叠区域NFA，柔性触摸传感器包括第一金属层和第二金属层，绝缘层104位于第一金属层和第二金属层之间，图2C中，第一触控电极所在膜层可以为第一金属层，第二触控电极102和第三触控电极103同层设置，且第二触控电极102和第三触控电极103所在膜层可以为第二金属层，第一跨桥110与第一金属层同层设置，如此一来，第一跨桥110可以和第一金属层在一道工艺中形成，不需要额外增加工艺步骤，第一跨桥110通过非折叠区域的第一金属层将位于折叠区域的第三触控电极连接为一行，同时通过非折叠区域的绝缘层使第三触控电极与第二触控电极保持绝缘，从而第三触控电极和第二触控电极之间形成互电容。
第一触控电极位于第一金属层和第二金属层中的一个，第二触控电极位于第一金属层和第二金属层中的另一个。
在图2C示出的实施方式中，第一触控电极101和第二触控电极102分别位于第一金属层和第二金属层，此时，第一触控电极和第二触控电极可以为条状延伸电极。
图3A为本实施例提供的又一种柔性触摸传感器示意图，图3B是图3A中沿着CC’的截面图，参考图3A和图3B，第一触控电极101包括多个第一触控子电极1011，第一触控子电极1011与所述第二触控电极102同层设置，第一触控子电极1011通过第二跨桥120电连接；
第一触控子电极1011和所述第二触控电极102位于所述第一金属层和所述第二金属层中的一个，第二跨桥120位于所述第一金属层和所述第二金属层中的另一个；
第一触控电极101的多个第一触控子电极1011通过所述第二跨桥120电连接。
本实施方式中，第一触控电极包括多个第一触控子电极1011，多个第一触控子电极通过跨桥120实现电连接从而构成第一触控电极，多个第一触控子电极1011、第二触控电极102以及第三触控电极103可以同层设置，此时全部触控电极通过一道工艺制作完成，连接第一触控子电极1011的第二跨桥120和连接第三触控电极103的第一跨桥110同层设置，第二跨桥120通过绝缘层104的过孔将第一触控子电极连接，第一跨桥110在弯折区域FA内与第三触控电极直接接触实现电连接，并且第一跨桥110延伸至非弯折区域的绝缘层104上，通过绝缘层104实现第二触控电极120的绝缘，从而第一触控电极和第二触控电极形成互电容，第三触控电极和第二触控电极形成互电容，并且弯折区域取消了绝缘层104，提升柔性触摸传感器在弯折区域的折叠稳定性。
可选的，如图2B和图3B，绝缘层104由于仅仅设置在非折叠区域，在非折叠区域和折叠区域的交界位置，第一跨桥110从非折叠区域NFA表面延伸到折叠区域FA时，第一跨桥110从绝缘层104表面跨下，为了减小由于在非折叠区域和折叠区域交界处无机层段差可能带来的第一跨桥断线，可以在绝缘层104靠近折叠区域设置厚度递减部分，厚度递减部分的厚度可以逐渐减小为0，这样的设置方式，能够避免非折叠区域和折叠区域交界处无机层段差带来的走线断线。
图4A为本发明实施例提供的又一种柔性触摸传感器示意图，图4B是图4A中沿DD’的截面图；如图4A和图4B所示，第一触控电极101沿第一方向x延伸，第二触控电极102沿第二方向y延伸，第一方向x和第二方向y交叉，柔性触摸传感器包括折叠区域FA和非折叠区域NFA，第三触控电极103设置于折叠区域FA，第一触控电极101设置于非折叠区域NFA，第三触控电极103和第二触控电极102在折叠区域FA内的部分不交叠，绝缘层104设置于非折叠区域NFA，第一触控电极101和第二触控电极102通过绝缘层104保持绝缘，第三触控电极103与相邻第一触控电极101电连接。
本实施方式中，第三触控电极103位于折叠区域FA，第二触控电极为沿着第二方向y延伸的电极，第二触控电极穿过折叠区域，绝缘层104仅仅设置于非折叠区域NFA，并且第三触控电极103由于与第二触控电极102在折叠区域FA内的部分不交叠，因而，第三触控电极可以为块状电极，为了实现折叠区域的触控位置检测，可以将非折叠区域的第三触控电极与折叠区域NFA的第一触控电极101电连接。图4A和图4B中示出了第三触控电极103和第一触控电极101同层制作，并且电连接的第一触控电极101和第三触控电极103一体形成，需要说明的是，这仅仅是示例性的，只要第三触控电极能够和相邻第一触控电极101实现电连接即可，这种设置方式下电连接的第三触控电极和第一触控电极整体上作为一个触控电极来实现触控位置检测，折叠区域的第三触控电极通过与第一触控电极101电连接从而与第二触控电极102之间形成互电容，或者电连接的第一触控电极和第三触控电极共同作为自电容检测模式的一个触控电极，在保证了折叠区域触控检测功能正常实现的同时可以省去折叠区域FA内的绝缘层，从而实现将绝缘层104仅仅设置于非折叠区域，减薄折叠区域的触控结构的堆叠厚度，去除了传统触控功能正常实现所必须的绝缘层在折叠区域的设置，从而提升柔性触摸传感器的弯折性能，减小或避免因弯折带来的无机层裂纹，防止无机层裂纹导致的触控电极或者触控走线断裂的情况。
可选的，折叠区域的第三触控电极103在第一方向x上排列为至少一行，排在同一行上的第三触控电极103可以电连接到同一个第一触控电极101，将一行第三触控电极103与同一个第一触控电极电连接能够实现一行上的第三触控电极具有相同的触控信号，在自电容检测模式或者互电容检测模式下，与沿着第二方向延伸的第二触控电极102共同确定触摸发生的位置。
可选的，继续参考图4A，第三触控电极可以排列为多行，图4A中示出了第三触控电极排列为两行的情况，每行第三触控电极103分别与同一第一触控电极101电连接，在两行第三触控电极的情况下，第三触控电极103分别与位于折叠区域有FA两端的两个第一触控电极101电连接，此时每个第三触控电极均能够与距离最近的第一触控电极101电连接，与第一触控电极101构成一个触控电极，从而共同和第二触控电极实现触摸位置检测。在此实施方式下，电连接的第一触控电极101和第三触控电极103构成的一个触控电极具有较小的电极跨度，从而提升触摸位置检测的精度，并且便于第三触控电极103和第一触控电极101的连接。
可选的，图5为本发明实施例提供的又一种柔性触摸传感器的截面示意图，如图5所示，在上述实施方式的基础之上，还进一步包括覆盖柔性触摸传感器的平坦化有机膜105，由于绝缘层104仅仅设置于非折叠区域NFA，柔性触摸传感器在折叠区域的厚度小于非折叠区域，不利于柔性触摸传感器的平坦化，通过覆盖平坦化有机膜105能够使得柔性触摸传感器获得平整表面，并且，虽然此时折叠区域和非折叠区域厚度近似相等，但是由于折叠区域具有相比于非折叠区域更厚的平坦化有机膜，而有机膜具有良好的应力缓解作用，因而能够提升柔性触摸传感器在折叠区域的弯折性能，另一方面平坦化有机膜105具有保护柔性触摸传感器的作用。
可选的，平坦化有机膜在折叠区域可以进行分割，如图5所示，平坦化有机膜在折叠区域FA沿着柔性触摸传感器的厚度方向分割为多个条状，当柔性触摸传感器沿着如图5中向下的方向进行弯折，被分割的平坦化有机膜能够进一步进行应力分散，缓解由于弯折施加到触控电极上的拉伸应力，从而提升柔性触摸传感器的弯折性能。
本发明实施例还提供了一种柔性触摸显示面板，包括上述任一一种柔性触摸传感器100，图6为本发明实施例提供的一种柔性触摸显示面板的示意图，如图6所示，柔性触摸显示面板包括柔性显示面200，柔性显示面板可以为柔性液晶显示面板，也可以是柔性有机发光显示面板，无论是哪一种，柔性显示面板具有显示功能，能够进行画面的显示，且具有柔性，上述实施方式中的任一种柔性触摸传感器与柔性显示面板通过胶层190贴合，形成带有触控功能的柔性触摸显示面板，柔性触摸传感器100通常贴合在柔性显示面板200的显示画面的一侧，此时，柔性触摸传感器100具有柔性透明衬底，通常可以为柔性透明聚酰亚胺薄膜衬底，第一触控电极、第二触控电极以及第三触控电极设置于柔性透明衬底上，对于本实施方式所提供的柔性触摸显示面板，当柔性触摸传感器和柔性显示面板通过贴合的方式形成，柔性触摸传感器100的厚度和弯折性能对于整个柔性触摸显示面板至关重要，通过在柔性触摸传感器100的折叠区域设置第三触控电极，能够取消柔性触摸传感器在折叠区域的绝缘层，提升柔性触摸触摸传感器100在折叠区域的厚度，此时，当柔性触摸传感器与柔性显示面板贴合形成柔性触摸显示面板，柔性触摸显示面板在折叠区域进行弯折，能够减小柔性触摸传感器100和柔性显示面板200因弯折发生剥离的风险。
图7为本发明实施例提供的又一种柔性触摸显示面板的示意图，如图7所示，柔性触摸显示面板包括柔性衬底基板130，薄膜晶体管阵列形成于柔性衬底基板130上，有机发光层形成于薄膜晶体管阵列上，薄膜晶体管能够构成像素电路，用于控制显示像素发光。有机发光层包括多个发光单元，每个发光单元发光单元能够发出不同颜色的光线，每个发光单元和像素电路沟通构成显示像素，多个显示像素共同进行画面的显示。对于有机发光二极管显示面板，还包括密封有机发光层的薄膜封装层160，通常薄膜封装层包括至少一层无机层，能够阻挡外界水汽和氧气进入到有机发光层，避免有机发光层的失效，薄膜封装层还可以包括有机层与无机层一起共同形成无机层-有机层-无机层的堆叠结构，进一步提升薄膜封装层阻隔水氧的性能。图7仅仅示出一个发光单元和一个薄膜晶体管结构。
在本发明实施方式中柔性基底可以由诸如聚酰亚胺(PI)、聚碳酸酯(PC)、聚醚砜(PES)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、多芳基化合物(PAR)或玻璃纤维增强塑料(FRP)等聚合物材料形成。柔性基底可以是透明的、半透明的或不透明的。柔性基底使得触摸显示面板能够实现弯曲、卷曲和可折叠等柔性显示。
缓冲层131位于柔性衬底基板130上，缓冲层131可以覆盖柔性衬底基板130的整个上表面。在一个实施例中，缓冲层包括无机层或有机层。例如，缓冲层可以由从诸如氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅(SiOxNy)、氧化铝(AlOx)或氮化铝(AlNx)等的无机材料或者诸如压克力(acryl)、聚酰亚胺(PI)或聚酯等的有机材料中选择的材料形成。缓冲层131可以包括单层或多个层。缓冲层阻挡氧和湿气，防止湿气或杂质通过柔性基底扩散，并且在柔性衬底基板130的上表面上提供平坦的表面。
薄膜晶体管TFT(Thin Film Transistor)位于缓冲层131上。本发明实施例以顶栅型的薄膜晶体管TFT为例进行的结构说明。
薄膜晶体管TFT包括位于缓冲层131上的半导体有源层132，半导体有源层132包括通过掺杂N型杂质离子或P型杂质离子而形成的源极区域132a和漏极区域132b。在源极区域132a和漏极区域132b之间的区域是其中不掺杂杂质的沟道区域132c。
半导体有源层132可以通过非晶硅的结晶使非晶硅改变为多晶硅而形成。
为了使非晶硅结晶，可以利用诸如快速热退火(RTA)法、固相结晶(SPC)法、准分子激光退火(ELA)法、金属诱导结晶(MIC)法、金属诱导横向结晶(MILC)法或连续横向固化(SLS)法等各种方法。
栅绝缘层133包括诸如氧化硅、氮化硅或金属氧化物的无机层，并且可以包括单层或多个层。
栅电极134位于栅绝缘层133上的特定区域中。栅电极134可以包括金(Au)、银(Ag)、铜(Cu)、镍(Ni)、铂(Pt)、钯(Pd)、铝(Al)、钼(Mo)或铬(Cr)的单层或多层，或者诸如铝(Al):钕(Nd)合金、钼(Mo):钨(W)合金的合金。
层间绝缘层135位于栅电极134上。层间绝缘层135可以由氧化硅或氮化硅等的绝缘无机层形成。可选择地，层间绝缘层可以由绝缘有机层形成。
源电极136和漏电极137位于层间绝缘层135上。源电极136和漏电极137分别通过接触孔电连接(或结合)到源极区域和漏极区域，接触孔是通过选择性地去除栅绝缘层和层间绝缘层而形成的。
钝化层138位于源电极和漏电极上。钝化层138可以由氧化硅或氮化硅等的无机层形成或者由有机层形成。
平坦化层139位于钝化层138上。平坦化层139包括压克力、聚酰亚胺(PI)或苯并环丁烯(BCB)等的有机层，平坦化层139具有平坦化作用。
有机发光器件形成在薄膜晶体管TFT上。
薄膜封装层位于有机发光器件上。在一个实施例中，薄膜封装层保护发光层和其它薄层免受外部湿气和氧等的影响。
柔性触摸传感器可以直接形成在薄膜封装层的表面，在本发明实施方式中，通过在折叠区域设置第三触控电极103，从而可以仅仅将绝缘层104设置在非折叠区域，这样一来，折叠区域不会形成两层无机层的紧密堆叠结构，这里的两层无机层是指薄膜封装层的最外层无机层和柔性触摸传感器的无机绝缘层，由于无机层的紧密堆叠会增加无机层之间的应力积累，不利于弯折性能，因为本发明实施方式减薄折叠区域柔性触摸显示面板厚度的同时，避免柔性触摸传感器绝缘无机层和封装无机层的堆叠，减小弯折应力积累，提升弯折性能。
上述说明示出并描述了本申请的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本申请并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本申请的精神和范围，则都应在本申请所附权利要求的保护范围内。

Claims (20)

1.一种柔性触摸传感器，其特征在于，包括：
多个沿第一方向延伸的第一触控电极和多个沿第二方向延伸的第二触控电极，所述第一方向和所述第二方向交叉；
所述柔性触摸传感器包括折叠区域和非折叠区域；
第三触控电极，所述第三触控电极设置于所述折叠区域，所述第一触控电极设置于所述非折叠区域；
所述第三触控电极与所述第二触控电极在所述折叠区域的部分不交叠；
绝缘层，所述绝缘层设置于所述非折叠区域，所述第一触控电极和所述第二触控电极通过所述绝缘层绝缘；
所述绝缘层靠近所述折叠区域具有厚度递减部分。
2.根据权利要求1所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
所述折叠区域为条形区域。
3.根据权利要求1所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
所述折叠区域包括多个第三触控电极，所述第三触控电极沿所述第一方向排列为至少一行。
4.根据权利要求3所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
所述第三触控电极位于相邻两个所述第二触控电极之间。
5.根据权利要求4所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
包括第一跨桥，所述第一跨桥将一行中相邻所述第三触控电极电连接，所述第一跨桥跨至所述非折叠区域，通过所述非折叠区域的绝缘层与所述第二触控电极保持绝缘。
6.根据权利要求5所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
在所述非折叠区域，所述柔性触摸传感器包括第一金属层和第二金属层，所述绝缘层位于所述第一金属层和所述第二金属层之间；
所述第一跨桥与所述第一金属层同层设置，所述第三触控电极与所述第二金属层同层设置。
7.根据权利要求6所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
所述第一触控电极位于所述第一金属层和所述第二金属层中的一个，所述第二触控电极位于所述第一金属层和所述第二金属层中的另一个。
8.根据权利要求6所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
所述第一触控电极包括多个第一触控子电极，所述第一触控子电极与所述第二触控电极同层设置，所述第一触控子电极通过第二跨桥电连接；
所述第一触控子电极和所述第二触控电极位于所述第一金属层和所述第二金属层中的一个，所述第二跨桥位于所述第一金属层和所述第二金属层中的另一个；
所述第一触控电极的多个第一触控子电极通过所述第二跨桥电连接。
9.根据权利要求3所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
所述第三触控电极与相邻所述第一触控电极电连接。
10.根据权利要求9所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
排列在同一行的所述第三触控电极与同一个所述第一触控电极电连接。
11.根据权利要求10所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
所述第三触控电极分别与位于所述折叠区域两端的两个第一触控电极电连接。
12.根据权利要求1～11任一项所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
所述柔性触摸传感器为互容式触摸传感器，所述第一触控电极和所述第三触控电极为触控驱动电极和触控检测电极中的一种，所述第二触控电极为所述触控驱动电极和所述触控检测电极中的另一种。
13.根据权利要求1～11任一项所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
所述第一触控电极和第二触控电极为互容式触控电极，所述第三触控电极为自容式触控电极。
14.根据权利要求1所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
所述绝缘层在所述非折叠区域内为面状。
15.根据权利要求1所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
所述厚度递减部分的厚度逐渐减小为0。
16.根据权利要求1所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
所述第一触控电极、第二触控电极和所述第三触控电极的材质均为金属网格。
17.根据权利要求1所述的柔性触摸传感器，其特征在于，
还包括覆盖柔性触摸传感器的平坦化有机膜，所述平坦化有机膜在所述折叠区域被分割。
18.一种柔性触摸显示面板，包括如权利要求1～17任一项的柔性触摸传感器。
19.根据权利要求18所述的柔性触摸显示面板，其特征在于，
包括柔性显示面板；
所述柔性触摸传感器具有柔性透明衬底，所述柔性触摸传感器与所述柔性显示面板贴合。
20.根据权利要求18所述的柔性触摸显示面板，其特征在于，
包括柔性衬底基板，依次形成于所述柔性衬底基板上的薄膜晶体管阵列、有机发光层和薄膜封装层；
所述柔性触摸传感器直接形成于所述薄膜封装层上。
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