CN107112712A - 窄带化激光装置 - Google Patents

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Abstract

窄带化激光装置可以具有：激光谐振器，其包含使光谱宽度窄带化的光学元件；一对放电电极，它们隔着激光谐振器的脉冲激光的光路配置；电源，其对一对放电电极施加脉冲状的电压；第1波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第1计测结果；第2波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第2计测结果；以及控制部，其根据第2计测结果对第1计测结果进行校正。控制部根据以第1方式控制电源时的第2计测结果与以第2方式控制电源时的第2计测结果之差，对第1计测结果进行校正，其中，该第1方式是电源以第1重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压，该第2方式是电源以比第1重复频率高的第2重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压。

Description

窄带化激光装置
技术领域
本公开涉及窄带化激光装置。
背景技术
伴随半导体集成电路的细微化、高集成化，在半导体曝光装置中要求分辨率的提高。以下将半导体曝光装置简称为“曝光装置”。因此，从曝光用光源输出的光的短波长化得到发展。在曝光用光源中代替现有的水银灯而使用了气体激光装置。当前，使用输出波长248nm的紫外线的KrF准分子激光装置以及输出波长193nm的紫外线的ArF准分子激光装置，来作为曝光用的气体激光装置。
作为当前的曝光技术，如下的液浸曝光已经实用化：利用液体填满曝光装置侧的投影透镜与晶片间的间隙，通过改变该间隙的折射率而使曝光用光源的表观的波长变短。在使用ArF准分子激光装置作为曝光用光源来进行液浸曝光的情况下，向晶片照射水中的波长134nm的紫外光。将该技术称作ArF液浸曝光。ArF液浸曝光也被称作ArF液浸光刻。
KrF、ArF准分子激光装置的自然振荡中的光谱线宽度宽至大约350～400pm，因此，产生通过曝光装置侧的投影透镜而在晶片上缩小投影的激光(紫外线光)的色像差，分辨率降低。因此，需要使从气体激光装置输出的激光的光谱线宽度窄带化，直到能够无视色像差的程度。光谱线宽度也被称作光谱宽度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内设置有具有窄带化元件的窄带化模块(Line Narrowing Module)，通过该窄带化模块而实现了光谱宽度的窄带化。另外，窄带化元件可以是标准具或光栅等。将这样使光谱宽度窄带化的激光装置称作窄带化激光装置。
现有技术文献
专利文献
【专利文献1】美国专利第7196796号说明书
【专利文献2】美国专利第5420877号说明书
【专利文献3】美国专利申请公开第2013/0170508号说明书
【专利文献4】日本特开平6-188502号公报
【专利文献5】日本特开平5-007031号公报
【专利文献6】日本特开2001-298234号公报
【专利文献7】日本特开平2-273981号公报
【专利文献8】日本特开平4-127488号公报
【专利文献9】日本特开2005-003389号公报
【专利文献10】日本特开2003-185502号公报
发明内容
本公开的1个观点的窄带化激光装置可以具有：激光谐振器，其包含使光谱宽度窄带化的光学元件；一对放电电极，它们隔着激光谐振器的脉冲激光的光路配置；电源，其对一对放电电极施加脉冲状的电压；第1波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第1计测结果；第2波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第2计测结果；以及控制部，其根据第2计测结果对第1计测结果进行校正。也可以是，控制部根据以第1方式控制电源时的第2计测结果与以第2方式控制电源时的第2计测结果之差，对第1计测结果进行校正，其中，该第1方式是电源以第1重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压，该第2方式是电源以比第1重复频率高的第2重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压。
本公开的另1个观点的窄带化激光装置也可以具有：激光谐振器，其包含使光谱宽度窄带化的光学元件；第1波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第1计测结果；第2波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第2计测结果；以及控制部，其根据第2计测结果对第1计测结果进行校正。也可以是，控制部在目标波长被变更了一定量以上时、脉冲激光的输出停止状态持续一定时间以上时、以及更新了与波长计测相关的参数时中的任意1种以上的情况下，取得第2计测结果作为参考波长，进一步取得取得了参考波长后的第2计测结果，根据参考波长与取得了参考波长后的第2计测结果之差，对第1计测结果进行校正。
附图说明
下面参照附图，仅举例对本公开的几个实施方式进行说明。
图1A示意地示出第1实施方式的窄带化激光装置的结构。
图1B示意地示出第1实施方式的窄带化激光装置的一部分结构。
图2示出窄带化激光装置的脉冲激光的输出样式的例子。
图3A是示出不对波长的计测结果进行校正的情况下，基于由第1标准具分光器18检测的干涉条纹得到的计测波长λ1的例子的曲线图。
图3B是示出不对波长的计测结果进行校正的情况下的实际的振荡波长的例子的曲线图。
图3C是用于说明对波长的计测结果进行校正的处理的曲线图。
图4是示出图1所示的波长控制部的波长控制的处理的流程图。
图5是示出图4所示的控制旋转台的处理的详细的流程图。
图6是示出图1所示的波长控制部的波长偏移参数的计算处理的流程图。
图7是示出图6所示的计算参考波长λ20的处理的详细的流程图。
图8是示出图5所示的从第1标准具分光器接收干涉条纹的数据并计算计测波长λ1的处理的详细的流程图。
图9是示出图6或图7所示的从第2标准具分光器接收干涉条纹的数据并计算当前的波长λ2的处理的详细的流程图。
图10是示出在本公开的第2实施方式的窄带化激光装置中，计算当前的波长λ2的处理的详细的流程图。
图11是示出本公开的第3实施方式的窄带化激光装置中的波长偏移参数的计算处理的流程图。
图12是示出图11所示的计算参考波长λ20的处理的详细的流程图。
图13是示出图12所示的控制旋转台的处理的详细的流程图。
图14是示出图11所示的判定对参考波长λ20进行重置的时机并设定标志F的处理的详细的流程图。
图15示出本公开的第4实施方式的窄带化激光装置中使用的第2标准具分光器的结构。
图16是示出控制部的概略结构的框图。
具体实施方式
＜内容＞
1.概要
2.具有波长计测器的窄带化激光装置(第1实施方式)
2.1激光腔室
2.2窄带化模块
2.3输出耦合镜
2.4能量传感器
2.5标准具分光器
2.6控制部
2.7脉冲激光的输出样式
2.8波长控制
2.9流程图
2.9.1波长控制
2.9.2波长偏移参数的计算
3.当前的波长λ2的计算的变型(第2实施方式)
4.参考波长λ20的计算的变型(第3实施方式)
5.标准具分光器的变型(第4实施方式)
6.控制部的结构
以下，参照附图详细对本公开的实施方式进行说明。以下说明的实施方式示出本公开几个例子，不限定本公开的内容。此外，在各实施方式中说明的结构和动作的全部不一定是本公开的结构和动作所必须的。另外，对同一结构要素标注同一参照标号，省略重复的说明。
1.概要
在进行双模式或三重模式的曝光的曝光装置中，可能由于窄带化激光装置的振荡波长的变动而发生缩小投影透镜的焦点的位置偏离。因此，窄带化激光装置的振荡波长的控制是重要的。为了进行波长控制，也可以在窄带化激光装置中搭载标准具分光器。也可以根据基于标准具分光器得到的激光的波长的计测结果来进行波长控制。
然而，可知，由于窄带化激光装置的振荡条件的变化，例如占空比的变化，可能使标准具分光器的特性产生变动。当标准具分光器的特性变动时，根据标准具分光器的波长的计测结果而控制的窄带化激光装置的振荡波长可能非意图地变化。其结果为，可能对曝光性能产生影响。
根据本公开的1个观点，也可以将脉冲激光的一部分分支为第1光量的第1脉冲激光和比第1光量低的第2光量的第2脉冲激光。也可以是，利用第1波长计测器对第1脉冲激光的波长进行计测，利用第2波长计测器对第2脉冲激光的波长进行计测。也可以根据第2波长计测器的计测结果对第1波长计测器的计测结果进行校正。
第1波长计测器也可以以第1频度输出计测结果。第2波长计测器也可以以比第1频度低的第2频度输出计测结果。
2.具有波长计测器的窄带化激光装置(第1实施方式)
图1A和图1B示意地示出第1实施方式的窄带化激光装置的结构。图1A和图1B所示的窄带化激光装置可以包含激光腔室10、一对放电电极11a和11b、电源12、窄带化模块14、输出耦合镜15。窄带化激光装置还可以包含能量传感器16c、第1标准具分光器18、第2标准具分光器19、激光控制部20、波长控制部21。窄带化激光装置也可以是对入射到未图示的放大器的种子光进行激光振荡而输出的主振荡器。
在图1A中示出从与一对放电电极11a和11b之间的放电方向大致平行的方向观察到的激光装置的内部结构。在图1B中，示出从与一对放电电极11a和11b之间的放电方向大致垂直、且与从输出耦合镜15输出的激光的行进方向大致垂直的方向观察到的激光装置的内部结构。从输出耦合镜15输出的激光的行进方向也可以是Z方向。一对放电电极11a和11b之间的放电方向也可以是V方向或-V方向。与这双方垂直的方向也可以是H方向。-V方向也可以与重力的方向基本一致。
2.1激光腔室
激光腔室10也可以是封入了如下的激光气体的腔室，该激光气体例如包含作为稀有气体的氩气、氪气，作为卤素气体的氟气、氯气，作为缓冲气体的氖气、氦气。在激光腔室10的两端也可以设有窗10a和10b。
一对放电电极11a和11b也可以作为用于通过放电对激光介质进行激发的电极而配置在激光腔室10内。也可以是，从电源12向一对放电电极11a和11b之间施加脉冲状的高电压。电源12也可以包含未图示的充电器、未图示的脉冲功率模块。脉冲功率模块也可以包含开关13a。也可以是，当从激光控制部20向开关13a输入振荡触发信号时，电源12生成向一对放电电极11a和11b间施加的上述的脉冲状的高电压。
当向一对放电电极11a和11b之间施加高电压时，能够在一对放电电极11a和11b之间产生放电。通过该放电的能量，激光腔室10内的激光介质被激发而能够能够向高能级转移。被激发的激光介质在之后向低能级转移时，能够放出与该能级差对应的光。
如图1A所示，也可以是，窗10a和10b被配置成，使得针对这些窗的光的入射面与HZ平面大致一致，并且，该光的入射角度大致成为布儒斯特角。在激光腔室10内产生的光也可以经由窗10a和10b而射出到激光腔室10的外部。
2.2窄带化模块
也可以是，窄带化模块14包含2个棱镜14a和14b、光栅14c、支架24a～24c。棱镜14a被支承在支架24a上，棱镜14b被支承在支架24b上，光栅14c被支承在支架24c上。
也可以是，棱镜14a和14b使从激光腔室10的窗10a射出的光的H方向的光束宽度扩大，使该光入射到光栅14c。此外，也可以是，棱镜14a和14b使来自光栅14c的反射光的H方向的光束宽度缩小，并且使该光经由窗10a而返回到激光腔室10内的放电空间。
也可以是，光栅14c的表面的物质由高反射率的材料构成，在表面上以规定间隔形成有大量的槽。各槽例如也可以是直角三角形的槽。也可以是，从棱镜14a和14b入射到光栅14c的光通过这些槽而反射，并且向与光的波长对应的方向衍射。光栅14c也可以进行利特罗(Littrow)配置，使得从棱镜14a和14b向光栅14c入射的光的入射角与所期望波长的衍射光的衍射角一致。由此，也可以使所期望波长附近的光经由棱镜14a和14b返回到激光腔室10。
也可以是，对棱镜14b进行支承的支架24b包含未图示的旋转台，该未图示的旋转台使棱镜14b绕与V轴平行的轴旋转。通过使棱镜14b旋转，光相对于光栅14c的入射角度被变更，因此，能够变更选择波长。
2.3输出耦合镜
也可以在输出耦合镜15的表面的一部分涂覆反射膜。这样，输出耦合镜15可以使从激光腔室10的窗10b输出的光中的一部分透射而输出，使其他的一部分反射而返回到激光腔室10内。
也可以是，由窄带化模块14和输出耦合镜15构成光谐振器。从激光腔室10射出的光在窄带化模块14和输出耦合镜15之间往复，在每次通过放电电极11a和11b之间的放电空间时被放大并能够进行激光振荡。激光能够在每次通过窄带化模块14折返时使光谱宽度窄带化。进而，通过上述的窗10a和10b的配置，能够选择H方向的偏光成分。这样放大后的激光能够从输出耦合镜15朝向曝光装置4输出。
2.4能量传感器
也可以是，在输出耦合镜15和曝光装置4之间的脉冲激光的光路上配置有分束器16a。分束器16a使从输出耦合镜15输出的脉冲激光以较高的透射率透射，使从输出耦合镜15输出的脉冲激光的一部分反射。也可以是，在通过分束器16a而反射的脉冲激光的光路上配设有另外的分束器16b。也可以是，分束器16b使通过分束器16a而反射的脉冲激光的一部分透射，使通过分束器16a而反射的脉冲激光的其他的一部分反射。
能量传感器16c也可以配置在通过分束器16b而反射的脉冲激光的光路上。能量传感器16c也可以检测通过分束器16b而反射的脉冲激光的脉冲能量。能量传感器16c也可以将所检测到的脉冲能量的数据输出到激光控制部20和波长控制部21双方。能量传感器16c也可以是光电二极管、光电管或热电元件。
2.5标准具分光器
也可以是，在透射过分束器16b的脉冲激光的光路上配置有分束器17a。分束器17a也可以使透射过分束器16b的脉冲激光的一部分透射，使透射过分束器16b的脉冲激光的其他一部分反射。透射过分束器17a的脉冲激光的光量也可以高于通过分束器17a而反射的脉冲激光的光量。
也可以是，在透射过分束器17a的脉冲激光的光路上配置有第1标准具分光器18。
也可以是，在通过分束器17a而反射的脉冲激光的光路上配置有高反射镜17b。高反射镜17b也可以以较高的反射率对通过分束器17a而反射的脉冲激光进行反射。也可以是，在通过高反射镜17b而反射的脉冲激光的光路上配置有第2标准具分光器19。
也可以是，第1标准具分光器18和第2标准具分光器19分别包含扩散板18a和19a、标准具18b和19b、聚光透镜18c和19c、线传感器18d和19d。
扩散板18a和19a也可以分别是在表面具有大量凹凸的透射型的光学元件。扩散板18a和19a也可以使分别入射的脉冲激光作为散射光而透射。在扩散板18a和19a中透射的散射光也可以分别入射到标准具18b和19b。
标准具18b和19b也可以分别是包含2枚规定的反射率R的部分反射镜在内的空气隙标准具。也可以是，在该空气隙标准具中，2枚部分反射镜具有规定距离的空气隙d而对置，隔着垫片粘合。
对应于入射到标准具18b的光的入射角θ，不在2枚的部分反射镜之间往复而在标准具18b中透射的光、与在2枚部分反射镜之间往复后在标准具18b中透射的光之间的光路差可以不同。在上述的光路差为波长λ的整数m倍时，入射到标准具18b的光能够以较高的透射率在标准具18b中透射。
以下示出标准具的基本式。
mλ＝2ndcosθ (1)
这里，n也可以是在空气隙间的折射率。
入射到标准具18b的波长λ的光在成为满足(1)式的入射角θ时，能够以较高的透射率通过标准具。
因此，对应于入射到标准具18b的光的波长，以较高的透射率在标准具18b中透射的光的入射角θ可以不同。对于标准具19b也是同样的。
在标准具18b和19b中透射的光也可以分别入射到聚光透镜18c和19c。
聚光透镜18c和19c也可以分别是具有聚光性能的光学元件。在聚光透镜18c和19c中透射的光也可分别入射到线传感器18d和19d，该线传感器18d和19d分别配置在从聚光透镜18c和19c起分别相当于焦距的位置。在聚光透镜18c和19c中透射的光能够分别在线传感器18d和19d中形成干涉条纹。
如专利文献5中记载的那样，根据(1)式，该干涉条纹的半径的平方能够与脉冲激光的波长λ成比例关系。
线传感器18d和19d也可以分别接收在聚光透镜18c和19c中透射的光，检测干涉条纹。线传感器18d和19d也可以从波长控制部21接收数据输出触发。线传感器18d和19d也可以在接收到数据输出触发的情况下，将干涉条纹的数据输出到波长控制部21。另外，也可以代替线传感器18d和19d，而使用未图示的2维图像传感器。
在本公开中，也可以是，相比于入射到第1标准具分光器18的脉冲激光的光量，入射到第2标准具分光器19的脉冲激光的光量较低。也可以是，优选第2标准具分光器19的每1个脉冲的入射光量为第1标准具分光器18的每1个脉冲的入射光量的大约1/5以上、且大约1/12以下。因此，相比于脉冲激光的能量引起的第1标准具分光器18的特性变化，能够使脉冲激光的能量引起的第2标准具分光器19的特性变化较小。使用根据第2标准具分光器19的输出而计算的波长，对根据第1标准具分光器18的输出而计算的波长进行校正，由此，能够实现更精密的波长控制。
此外，也可以是，相比于第1标准具分光器18的分辨率，第2标准具分光器19的分辨率较高。通过使第2标准具分光器19的分辨率较高，能够更精密地对根据第1标准具分光器18的输出而计算的波长进行校正。另外，当设第1标准具分光器18和第2标准具分光器19的装置函数的半值全宽分别为ΔλIF1、ΔλIF2时，优选ΔλIF1大于ΔλIF2。更优选的是，ΔλIF1/ΔλIF2的值也可以为5以上、7以下。可以通过使单纵模的波长193nm的激光入射到标准具分光器来计测标准具分光器的装置函数。
作为具体的标准具的规格，当设第1标准具分光器18和第2标准具分光器19的自由光谱范围(＝λ2/(2nd))分别为FSR1、FSR2时，优选FSR1大于FSR2。更优选的是，FSR1/FSR2的值也可以为5以上、7以下。而且，优选的是，聚光透镜19c的焦距也可以比聚光透镜18c的焦距长。
2.6控制部
曝光装置4也可以包含曝光装置控制部40。曝光装置控制部40也可以进行未图示的晶片台的移动等的控制。曝光装置控制部40也可以对激光控制部20输出目标波长λt的数据、目标脉冲能量的数据、振荡触发信号。
激光控制部20也可以将从曝光装置控制部40接收到的目标波长λt的数据发送到波长控制部21。
激光控制部20也可以参照从曝光装置控制部40接收到的目标脉冲能量的数据、从能量传感器16c接收到的脉冲能量的数据，来控制电源12中的充电电压的设定值。也可以是，激光控制部20控制电源12中的充电电压的设定值，从而控制脉冲激光的脉冲能量。
激光控制部20根据从曝光装置控制部40接收到的振荡触发信号，向电源12中包含的开关13a输出振荡触发信号。
激光控制部20也可以根据从曝光装置控制部40接收到的振荡触发信号，来计测振荡间隔ΔT。激光控制部20也可以具有用于计测振荡间隔ΔT的计时器20a。振荡间隔ΔT也可以是从接收到1个振荡触发信号起到接收到下一个振荡触发信号为止的期间。激光控制部20也可以将计测出的振荡间隔ΔT的数据输出到波长控制部21。
也可以是，波长控制部21在从能量传感器16c接收到脉冲能量的数据时，向第1标准具分光器18中包含的线传感器18d输出上述的数据输出触发。即，第1标准具分光器18也可以在每次接收到1个脉冲激光时，将干涉条纹的数据输出到波长控制部21。
也可以是，波长控制部21在从能量传感器16c接收到规定次数的脉冲能量的数据时，向第2标准具分光器19中包含的线传感器19d输出上述的数据输出触发。即，第2标准具分光器19也可以在每接收到规定次数的脉冲激光时，将规定次数的量的干涉条纹的数据的累计值输出到波长控制部21。规定次数也可以是后述的Jmax。波长控制部21也可以具有计数器21a，以对规定次数进行计数。
也可以是，波长控制部21从第1标准具分光器18接收干涉条纹的数据，对干涉条纹的半径进行计测，根据干涉条纹的半径来计算计测波长λ1。
也可以是，波长控制部21从第2标准具分光器19接收干涉条纹的数据的累计值，对干涉条纹的半径进行计测，根据干涉条纹的半径来计算当前的波长λ2。
也可以是，波长控制部21根据当前的波长λ2来计算后述的波长偏移参数λofst，其中，该当前的波长λ2是基于由第2标准具分光器19检测到的干涉条纹而得到的。
也可以是，波长控制部21根据第1标准具分光器18的计测波长λ1、波长偏移参数λofst，来计算校正波长λ1c。波长控制部21也可以以使得校正波长λ1c接近目标波长λt的方式，对支承棱镜14b的支架24b的旋转台进行控制。也可以是，波长控制部21向与支架24b的旋转台连接的驱动器21b发送控制信号，由此进行旋转台的控制。
2.7脉冲激光的输出样式
图2示出窄带化激光装置的脉冲激光的输出样式的例。在图2中的上侧的曲线图中示出用于对第1半导体晶片进行曝光的发光期间Tw1、用于对第2半导体晶片进行曝光的发光期间Tw2、以及这些发光期间之间的晶片更换期间Twc。在晶片更换期间Twc中也可以不进行发光。或者，在晶片更换期间Twc中也可以进行后述的调整振荡。
也可以是，在用于对第1半导体晶片进行曝光的发光期间Tw1中，包含用于对第1芯片区域进行曝光的振荡期间Tc1、用于对第2芯片区域进行曝光的振荡期间Tc2等。用于对第2半导体晶片进行曝光的发光期间Tw2也可以是同样的。
相比于图2中的上侧的曲线图，在图2中的下侧的曲线图中，用于对第1芯片区域进行曝光的振荡期间Tc1和用于对第2芯片区域进行曝光的振荡期间Tc2被放大示出。在图2中的下侧的曲线图中，还在这些振荡期间之间示出用于进行未图示的晶片台的移动的振荡休止期间Toff。
在用于对第1芯片区域进行曝光的振荡期间Tc1中，例如也可以以1kHz以上6kHz以下的较高的重复频率来进行脉冲激光的振荡。用于对第2芯片区域进行曝光的振荡期间Tc2也可以是同样的。
脉冲激光的占空比Duty也可以通过以下的式子来计算。
Duty＝(Ton/(Ton+Toff))×100(％)
这里，Ton可以是用于对1个芯片区域进行曝光的振荡期间。Toff可以是到下一个的振荡期间为止的期间的振荡休止期间。
或者，脉冲激光的占空比Duty也可以通过以下的式子来计算。
Duty＝(N/(fmax·Ts))×100(％)
这里，fmax可以是该窄带化激光装置的最大重复频率。Ts可以是用于取得占空比Duty的样本期间。N可以是样本期间Ts中的振荡脉冲数。
如以上那样，在本说明书中，有时将在规定的时间Ton的期间内以规定的重复频率f进行振荡、并在规定时间Toff内使振荡休止这样的激光振荡的运转模式称作突发运转。
2.8波长控制
图3A是示出在不对波长的计测结果进行校正的情况下，基于由第1标准具分光器18检测的干涉条纹的计测波长λ1的例子的曲线图。在不对波长的计测结果进行校正的情况下，波长控制部21也可以以使得计测波长λ1接近目标波长λt的方式，对支承棱镜14b的支架24b的旋转台进行控制。因此，也可以将计测波长λ1维持在目标波长λt附近的大致恒定值。
图3B是示出不对波长的计测结果进行校正的情况下的实际的振荡波长的例子的曲线图。可知，在将计测波长λ1维持在大致恒定值的情况下，在占空比较低的期间内，实际的振荡波长也成为目标波长λt附近的大致恒定值，但是，在占空比变高时，实际的振荡波长从目标波长λt偏离。
考虑以下方面作为产生这样的波长偏离的原因。
第1，估计为，由于入射到标准具的脉冲激光的能量而使标准具的温度发生变化，其结果为，计测波长偏离。
第2，估计为，由于标准具分光器的分辨率较低，因此，由于光谱波形发生变化时的波长的变化而使计测波长偏离。
因此，在本公开中，也可以使用基于第2标准具分光器19的输出的波长的计测结果，对基于第1标准具分光器18的输出的波长的计测结果进行校正。
图3C是说明对波长的计测结果进行校正的处理的曲线图。后面详细说明图3C。
2.9流程图
2.9.1波长控制
图4是示出图1所示的波长控制部的波长控制的处理的流程图。也可以是，波长控制部21通过以下的处理，根据目标波长λt来控制窄带化激光装置的振荡波长。如参照图5的S241并后述的那样，也可以是，按照脉冲激光中包含的每1个脉冲来执行图4所示的波长控制的处理。
首先，在S240中，波长控制部21可以根据目标波长λt，对支承棱镜14b的支架24b的旋转台进行控制。后面参照图5详细说明该处理。
接着，在S249中，波长控制部21可以判定是否中止波长控制。例如，在相比于波长控制而需要优先波长控制以外的激光控制的情况下，波长控制部21也可以判定为中止波长控制。在不中止波长控制的情况下(S249；“否”)，波长控制部21可以将处理返回到上述的S240。在中止波长控制的情况下(S249；“是”)，波长控制部21可以结束本流程图的处理。
图5是示出图4所示的对旋转台进行控制的处理的详细的流程图。也可以通过波长控制部21进行图5所示的处理，来作为图4所示的S240的子程序。
首先，在S241中，波长控制部21可以判定窄带化激光装置是否进行了激光振荡。例如，波长控制部21可以在从能量传感器16c接收到1次脉冲能量的数据的情况下，判定为窄带化激光装置进行了激光振荡。在窄带化激光装置未进行激光振荡的情况下(S241；“否”)，波长控制部21可以进行待机，直到窄带化激光装置进行激光振荡为止。在窄带化激光装置进行了激光振荡的情况下(S241；“是”)，波长控制部21可以使处理进入S242。
在S242中，波长控制部21可以从第1标准具分光器18接收干涉条纹的数据，来计算计测波长λ1。后面参照图8来详细说明该处理。
接着，在S245中，波长控制部21可以从未图示的存储器读入波长偏移参数λofst。也可以通过后述的图6所示的处理来计算波长偏移参数λofst。
接着，在S246中，波长控制部21可以通过以下的式子对计测波长λ1进行校正，来计算校正波长λ1c。
λ1c＝λ1+λofst
接着，在S247中，波长控制部21也可以通过以下的式子来计算校正波长λ1c与目标波长λt之差Δλ。
Δλ＝λ1c-λt
接着，在S248中，波长控制部21也可以对支承棱镜14b的支架24b的旋转台进行控制，使得校正波长λ1c与目标波长λt之差Δλ接近0。
波长控制部21也可以通过以上的处理来进行基于目标波长λt的控制。
2.9.2波长偏移参数的计算
图6是示出图1所示的波长控制部的波长偏移参数的计算处理的流程图。波长控制部21可以通过以下的处理，从第2标准具分光器19接收干涉条纹的数据的累计值，来计算波长偏移参数λofst。
首先，在S100中，波长控制部21可以读入目标波长λt的数据。也可以从激光控制部20接收目标波长λt的数据。
接着，在S200中，波长控制部21可以利用目标波长λt进行基于较低的占空比的调整振荡，从第2标准具分光器19接收干涉条纹的数据的累计值，来计算参考波长λ20。后面参照图7详细说明该处理。
接着，在S300中，波长控制部21可以将波长偏移参数λofst设定为0，作为波长偏移参数λofst的初始值。
接着，在S400中，波长控制部21可以读入由激光控制部20的计时器20a计测出的振荡间隔ΔT的值。
接着，在S500中，波长控制部21可以判定是否开始了突发运转。这里，突发运转意味着，振荡间隔ΔT为阈值Kmax以下且进行重复脉冲振荡的状态。阈值Kmax例如可以是1秒以上、2秒以下的值。在未开始突发运转的情况下(S500；“否”)，波长控制部21可以使处理返回上述的S300。在开始了突发运转的情况下(S500；“是”)，波长控制部21可以使处理进入S600。
在S600中，波长控制部21可以从第2标准具分光器19接收干涉条纹的数据的累计值，来计算当前的波长λ2。后面参照图9详细说明该处理。如参照图9的S604～S611后述的那样，也可以按照脉冲激光中包含的每(Jmax×n)个的脉冲来计算当前的波长λ2的值。
接着，在S700中，波长控制部21可以通过以下的式子来计算当前的波长λ2与参考波长λ20之差Δλ2。
Δλ2＝λ2-λ20
接着，在S800中，波长控制部21可以如下式所示，通过将当前的波长偏移参数λofst的值与差Δλ2相加，来更新波长偏移参数λofst的值。
λofst＝λofst+Δλ2
接着，在S900中，波长控制部21可以判定是否变更了目标波长λt。在没有变更目标波长λt的情况下(S900；“否”)，波长控制部21可以使处理返回到上述的S400。在变更了目标波长λt的情况下(S900；“是”)，波长控制部21可以使处理返回到上述的S100。
如以上那样，波长控制部21可以计算波长偏移参数λofst。这样计算出的波长偏移参数λofst的值可以在参照图5而上述的S245和S246中，用于对计测波长λ1进行校正。
图7是示出图6所示的计算参考波长λ20的处理的详细的流程图。图7所示的处理也可以作为图6所示的S200的子程序而由波长控制部21来进行。
首先，在S210中，波长控制部21可以判定是否能够进行调整振荡。能够进行调整振荡的情况例如也可以是以下情况。
(1)从曝光装置控制部40接收到了取得参考波长λ20的命令的情况
(2)是用于对第1半导体晶片进行曝光的发光期间Tw1与用于对第2半导体晶片进行曝光的发光期间Tw2之间的晶片更换期间Twc的情况
(3)激光装置进行用于对半导体晶片进行曝光的曝光运转之前的起动时
在不能进行调整振荡的情况下(S210；“否”)，波长控制部21可以进行待机，直到能够进行调整振荡为止。在能够进行调整振荡的情况下(S210；“是”)，波长控制部21可以使处理进入S220。
在S220中，波长控制部21可以将波长偏移参数λofst设定为0，来作为波长偏移参数λofst的初始值。
接着，在S230中，波长控制部21可以向激光控制部20发送信号，使得窄带化激光装置以较低的占空比进行激光振荡。以较低的占空比进行的激光振荡也可以被称作调整振荡。较低的占空比例如可以是重复频率为100Hz左右而进行激光振荡时的占空比。该情况下的占空比为100/6000＝1.7％。激光控制部20在进行调整振荡时，可以不从曝光装置控制部40接收振荡触发信号，而向电源12的开关13a输出振荡触发信号。
接着，在S240中，波长控制部21可以根据目标波长λt，对支承棱镜14b的支架24b的旋转台进行控制。该处理可以与参照图4和图5说明的处理同样。这里，如在S220中说明的那样，波长偏移参数λofst可以是0。即，计测波长λ1的校正波长λ1c可以与计测波长λ1相等。如S230中说明的那样，在占空比较低的期间中，通过使计测波长λ1与目标波长λt一致，从而能够使实际的振荡波长也接近目标波长λt附近。
接着，在S250中，波长控制部21可以判定参照图5说明的差Δλ是否在容许范围内。例如，可以判定差Δλ的绝对值是否为规定的阈值Δλr以下。在差Δλ不在容许范围内的情况下(S250；“否”)，波长控制部21可以使处理返回上述的S240。在差Δλ在容许范围内的情况下(S250；“是”)，波长控制部21可以使处理进入S260。
在S260中，波长控制部21可以从第2标准具分光器19接收干涉条纹的数据的累计值，来计算当前的波长λ2。该处理也可以与参照图6说明的S600同样。后面参照图9详细说明处理。
接着，在S270中，波长控制部21也可以对参考波长λ20进行设定。也可以设定S260中计算出的当前的波长λ2，来作为参考波长λ20。
在S270后，波长控制部21可以使处理转移到参照图6说明的S300。
波长控制部21可以如以上那样计算参考波长λ20。
图8是示出图5所示的从第1标准具分光器接收干涉条纹的数据并计算计测波长λ1的处理的详细的流程图。图8所示的处理可以作为图5所示的S242的子程序而由波长控制部21来进行。
首先，在S243中，波长控制部21可以读入由第1标准具分光器18的线传感器18d检测到的干涉条纹的数据。
接着，在S244中，波长控制部21可以根据干涉条纹的数据来计算计测波长λ1。
在S244后，波长控制部21可以使处理转移到参照图5说明的S245。
波长控制部21也可以如以上那样计算计测波长λ1。
图9是示出图6或图7所示的从第2标准具分光器接收干涉条纹的数据并计算当前的波长λ2的处理的详细的流程图。图9所示的处理可以作为图6所示的S600或图7所示的S260的子程序而由波长控制部21来进行。
首先，在S601中，波长控制部21也可以对用于计测校正间隔的未图示的计时器T2的值进行重置，开始计时器T2的计数。
接着，在S602中，波长控制部21可以对第2标准具分光器19的线传感器19d的累计脉冲数Jmax进行设定。累计脉冲数Jmax例如也可以是40脉冲左右。另外，示出了如下实施方式，即，在波长控制部21的内部的计数器21a中设定累计脉冲数Jmax，计数器21a对来自能量传感器16c的脉冲数进行计测，向线传感器19d发送数据的读出信号，但是，本公开不限于该实施方式。也可以通过软件对来自能量传感器16c的脉冲数进行计测，向线传感器19d发送数据的读出信号，对计数器进行重置，再次对脉冲数进行计测。
接着，在S603中，波长控制部21可以将计数器n的值设定为1。第2标准具分光器19的线传感器19d可以开始脉冲激光的干涉条纹的检测。第2标准具分光器19的线传感器19d可以检测多个脉冲的干涉条纹，对所检测到的干涉条纹的数据进行累计。
接着，在S604中，波长控制部21可以判定第2标准具分光器19的线传感器19d接收到的脉冲数是否达到了累计脉冲数Jmax。在线传感器19d接收到的脉冲数未达到累计脉冲数Jmax的情况下(S604；“否”)，波长控制部21可以进行待机，直到线传感器19d接收到的脉冲数达到累计脉冲数Jmax。在线传感器19d接收到的脉冲数达到了累计脉冲数Jmax的情况下(S604；“是”)，波长控制部21可以使处理进入S605。
在S605中，波长控制部21可以读入由第2标准具分光器19的线传感器19d检测出的干涉条纹的累计值的数据。
接着，在S606中，波长控制部21可以根据干涉条纹的累计值的数据，计算第n个波长λ2n。
接着，在S607中，波长控制部21可以判定用于计测校正间隔的计时器T2的值是否成为了校正间隔Tin以上。在用于计测校正间隔的计时器T2的值未成为校正间隔Tin以上的情况下(S607；“否”)，波长控制部21可以使处理进入S610。在用于计测校正间隔的计时器T2的值成为了校正间隔Tin以上的情况下(S607；“是”)，波长控制部21可以使处理进入S611。校正间隔Tin例如可以是100ms。
在S610中，波长控制部21可以在计数器n的值上加1来更新计数器n的值。在S610后，波长控制部21可以使处理返回上述的S604。
在S611中，波长控制部21可以通过下式来计算从第1个到第n个的波长的平均值，作为当前的波长λ2。
λ2＝(λ21+λ22+...+λ2n)/n
波长控制部21可以通过以上的处理来计算当前的波长λ2。如以上那样计算出的当前的波长λ2也可以在参照图7而在上面说明了的S270中，用于设定参考波长λ20。此外，如以上那样计算出的当前的波长λ2也可以在参照图6而在上面说明了的S700和S800中，用于更新波长偏移参数λofst。
再次参照图3C。在本公开中，如参照图5上述的那样，可以对支承棱镜14b的支架24b的旋转台进行控制，使得校正波长λ1c与目标波长λt之差接近0。此外，如参照图9上述的那样，也可以计算校正间隔Tin的期间内的波长λ21、λ22、……、λ2n的平均值来作为当前的波长λ2。
根据基于校正波长λ1c和目标波长λt的上述控制，在占空比较低的调整振荡中，波长λ2n能够稳定于目标波长λt的附近。然而，当占空比较高的突发运转开始时，由于第1标准具分光器18的特性发生变化等原因，波长λ2n会背离目标波长λt。因此，也可以根据占空比较低的调整振荡中计算出的参考波长λ20与当前的波长λ2之差Δλ2，来更新波长偏移参数λofst。而且，也可以在基于第1标准具分光器18得到的计测波长λ1上加上波长偏移参数λofst，由此来计算校正波长λ1c。由此，能够降低波长λ2n与目标波长λt之差，实现更精密的波长控制。
基于校正波长λ1c和目标波长λt的上述控制也可以按照脉冲激光中包含的每1个脉冲来执行。与此相对，基于差Δλ2的波长偏移参数λofst的更新也可以按照脉冲激光中包含的每(Jmax×n)个脉冲数来执行。这样，由于使校正的频度低于波长控制的频度，因此，即使校正用的第2标准具分光器19的每个1个脉冲的入射光量较小，通过对波长λ2n的数据进行蓄积并平均化，也能够进行准确的校正。
3.当前的波长λ2的计算的变型(第2实施方式)
图10是示出本公开的第2实施方式的窄带化激光装置中计算当前的波长λ2的处理的详细的流程图。第2实施方式也可以是在当前的波长λ2的计算中与第1实施方式不同。
图10所示的S602～S606的处理以及S610、S611的处理也可以与参照图9说明的第1实施方式的处理同样。在第2实施方式中，也可以不使用用于判定校正间隔Tin的计时器T2。
如图10所示，在S608中，波长控制部21可以读入由激光控制部20的计时器20a计测出的振荡间隔ΔT的值。另外，示出了利用激光控制部中的计时器20a进行振荡间隔ΔT的计测的实施方式，但是不限于该实施方式，也可以利用软件处理来进行振荡间隔ΔT的计测。
接着，在S609中，波长控制部21可以判定是否成为了振荡休止。这里，振荡休止意味着，振荡间隔ΔT的值成为了阈值Kb以上的状态。阈值Kb例如可以是0.1秒以上、0.2秒以下的值。在未成为振荡休止的情况下(S609；“否”)，波长控制部21可以使处理进入S610。在成为了振荡休止的情况下(S609；“否”)，波长控制部21可以使处理进入S611来计算当前的波长λ2。
根据第2实施方式，波长控制部21能够在每次脉冲激光振荡休止时，计算当前的波长λ2，更新波长偏移参数λofst。这样，能够在每次突发时更新波长偏移参数λofst，按照实际的要曝光的每个芯片区域来进行波长校正，因此，能够抑制芯片区域内曝光的波长的变动。
本公开不限于此，例如，也可以代替上述的S608而读入计数器n的值。而且，也可以代替上述的S609而判定计数器n的值是否达到了上限值nmax。当计数器n的值达到了上限值nmax时，也可以使处理进入S611来计算当前的波长λ2。该情况下，能够按照一定的脉冲数来更新波长偏移参数λofst。这里，一定的脉冲数可以是Jmax×nmax。
4.参考波长λ20的计算的变型(第3实施方式)
图11是示出本公开的第3实施方式的窄带化激光装置中的波长偏移参数的计算处理的流程图。第3实施方式也可以在用于计算波长偏移参数λofst的参考波长λ20的计算中与第1实施方式不同。
图11所示的S100的处理以及S300～S800的处理也可以与参照图6说明的第1实施方式中的处理同样。也可以代替参照图6说明的S200和S900，而在第3实施方式中进行S200a、S900a和S900b的处理。
在S200a中，波长控制部21可以利用目标波长λt进行激光振荡，从第2标准具分光器19接收干涉条纹的数据的累计值，来计算参考波长λ20。后面参照图12和图13详细说明该处理。S200a中的激光振荡可以不是较低的占空比。
在S900a中，波长控制部21可以判定对参考波长λ20进行重置的时机，对标志F的值进行设定。后面参照图14详细说明该处理。
在S900b中，波长控制部21可以判定在S900a中设定的标志F的值是1还是0。在标志F的值是0的情况下(S900b；“否”)，波长控制部21可以使处理返回到处理S400，在不重置参考波长λ20的情况下进行波长偏移参数λofst的计算等的处理。在标志F的值是1的情况下(S900b；“是”)，波长控制部21使处理返回处理S100，也可以在S200a中重置参考波长λ20，进行计算波长偏移参数λofst等的处理。这样计算出的波长偏移参数λofst的值也可以在参照图5而在上面说明了的S245和S246中，用于对计测波长λ1进行校正。
图12是示出图11所示的计算参考波长λ20的处理的详细的流程图。图12所示的处理可以作为图11所示的S200a的子程序而由波长控制部21来进行。图12所示的处理与第1实施方式的不同之处在于，并非在较低的占空比的调整振荡中计算参考波长λ20，而是在通常的振荡中计算参考波长λ20。
首先，在S240a中，波长控制部21可以根据目标波长λt对支承棱镜14b的支架24b的旋转台进行控制。后面参照图13详细说明S240a。
也可以是，通过接下来的S250，在计测波长λ1与目标波长λt之差处于容许范围内后，通过S260和S270将基于第2标准具分光器19的测定结果的当前的波长λ2设定为参考波长λ20。S250～S270的处理也可以与参照图7说明的处理同样。
图13是示出图12所示的控制旋转台的处理的详细的流程图。图13所示的处理也可以作为图12所示的S240a的子程序而由波长控制部21来进行。在图13中，也可以代替参照图5说明的S245、S246、S247，而进行S247a的处理。即，也可以并非根据波长偏移参数λofst对计测波长λ1进行校正，而是使用计测波长λ1本身，以使得计测波长λ1接近目标值的方式对棱镜的旋转台进行控制。其他方面也可以与图5同样。
图14是示出图11所示的判定对参考波长λ20进行重置的时机并设定标志F的处理的详细的流程图。图14所示的处理也可以作为图11所示的S900a的子程序而由波长控制部21来进行。
首先，在S901a中，波长控制部21可以判定目标波长是否变更了一定量以上。例如，可以判定目标波长是否以与第2标准具分光器19的自由光谱范围FSR2对应的波长差以上的幅度进行了变更。与第2标准具分光器19的自由光谱范围FSR2对应的波长差例如可以是1pm。在目标波长变更了一定量以上的情况下(S901a；“是”)，在S904a中，波长控制部21可以将标志F的值设定为1。在标志F的值是1的情况下，也可以表示对参考波长λ20进行重置。在目标波长未变更一定量以上的情况下(S901a；“否”)，波长控制部21可以使处理进入S902a。
在S902a中，波长控制部21可以判定是否在振荡停止状态下经过了一定时间。例如，可以判定振荡停止状态是否持续了1分钟以上。在振荡停止状态下经过了一定时间的情况下(S902a；“是”)，在S904a中，波长控制部21也可以将标志F的值设定为1。在振荡停止状态未经过一定时间的情况下(S902a；“否”)，波长控制部21也可以使处理进入S903a。
在S903a中，波长控制部21可以判定是否更新了与波长计测相关的参数。例如，可以判定是否更新了用于计测干涉条纹的光量的阈值。在更新了与波长计测相关的参数的情况下(S903a；“是”)，在S904a中，波长控制部21可以将标志F的值设定为1。在没有更新与波长计测相关的参数的情况下(S903a；“否”)，波长控制部21可以使处理进入S905a。
在S905a中，波长控制部21可以将标志F的值设定为0。在标志F的值是0的情况下，也可以表示不对参考波长λ20进行重置。
在S904a或S905a后，波长控制部21可以结束本流程图的处理而返回到图11所示的处理。
根据第3实施方式，波长控制部21在对参考波长λ20进行重置的情况下也可以不进行较低的占空比的调整振荡。在用于对参考波长λ20进行重置的S200a的处理中，与参照图12说明的目标波长之间的差收敛到容许范围内为止所需要的时间大约1秒左右即可。因此，能够迅速取得新的参考波长λ20并进行重置。
根据第3实施方式，入射到第2标准具分光器19的光量较小，不容易受到占空比的变化的影响。因此，如果对S200a中取得的参考波长λ20和S600中取得的当前的波长λ2进行比较，则能够准确地检测波长的变化。因此，即使第1标准具分光器18的计测波长λ1受到占空比的变化的影响，也能够根据第2标准具分光器19的计测结果对计测波长λ1进行校正。由此，能够在到下次重置参考波长λ20为止的期间内，抑制由于占空比的变化而使波长控制不稳定。
5.标准具分光器的变型(第4实施方式)
图15示出本公开的第4实施方式的窄带化激光装置中使用的第2标准具分光器的结构。在第4实施方式中，第2标准具分光器19也可以在扩散板19a和标准具19b之间配置光纤19e。
可以在分束器17a和扩散板19a之间配置聚光透镜19f。可以通过聚光透镜19f会聚脉冲激光，由此，通过扩散板19a的散射光入射到光纤19e的入射端部19g。入射到光纤19e的入射端部19g的散射光也可以从光纤19e的射出端部19h朝向标准具19b射出。
进而，也可以设有使光纤19e振动的加振装置19i。加振装置19i可以具有未图示的致动器。在脉冲激光的干涉性较高的情况下，通过利用加振装置19i使光纤19e振动，能够降低与干涉条纹相加的斑点噪声。其结果为，能够提高脉冲激光的波长的计测精度。
6.控制部的结构
图16是示出控制部的概略结构的框图。
上述的实施方式中的激光控制部20、波长控制部21等控制部也可以通过计算机、可编程控制器等通用的控制机器而构成。例如，也可以如下构成。
(结构)
控制部也可以由处理部1000，以及与处理部1000连接的存储器1005、用户接口1010、并行I/O控制器1020、串行I/O控制器1030、A/D、D/A转换器1040构成。此外，处理部1000也可由CPU1001，与CPU1001连接的存储器1002、计时器1003、GPU1004构成。
(动作)
处理部1000可以读出存储器1005中存储的程序。此外，处理部1000也可以执行读出的程序，或者按照程序的执行而从存储器1005读出数据，或者在存储器1005中存储数据。
并行I/O控制器1020可以经由并行I/O端口而与能够通信的设备1021～102x连接。并行I/O控制器1020可以对在处理部1000执行程序的过程中进行的经由并行I/O端口的数字信号的通信进行控制。
串行I/O控制器1030可以经由串行I/O端口而与能够通信的设备1031～103x连接。串行I/O控制器1030可以对在处理部1000执行程序的过程中进行的经由串行I/O端口的数字信号的通信进行控制。
A/D、D/A转换器1040可以经由模拟端口而与能够通信的设备1041～104x连接。A/D、D/A转换器1040可以对在由处理部1000执行程序的过程中进行的经由模拟端口的模拟信号的通信进行控制。
用户接口1010可以构成为，操作者显示基于处理部1000的程序的执行过程，或者使处理部1000进行操作者指示的程序执行的中止、中断处理。
处理部1000的CPU1001也可以进行程序的运算处理。存储器1002也可以在CPU1001执行程序的过程中，进行程序的暂时存储、运算过程中的数据的暂时存储。计时器1003可以对时刻、经过时间进行计测，按照程序的执行向CPU1001输出时刻、经过时间。GPU1004在向处理部1000输入了图像数据时，可以按照程序的执行来处理图像数据，并将其结果输出到CPU1001。
与并行I/O控制器1020连接且能够经由并行I/O端口进行通信的设备1021～102x也可以用于曝光装置控制部40、其他控制部等的振荡触发信号或表示时机的信号的收发。
与串行I/O控制器1030连接且能够经由串行I/O端口进行通信的设备1031～103x也可以用于曝光装置控制部40、其他控制部等的数据的收发。
与A/D、D/A转换器1040连接且能够经由模拟端口进行通信的设备1041～104x也可以是能量传感器16c、线传感器18d、19d等各种传感器。
也可以是，通过如上那样构成，控制部能够实现各实施方式所示的动作。
上述的说明仅是例示而并非进行限制。因此，能够在不脱离附加的权利要求书的情况下对本公开的实施方式进行变更，这对于本领域技术人员是显而易见的。
本说明书和附加的权利要求书整体中使用的用语应该解释为“非限定性的”用语。例如，“包含”或“所包含的”这样的用语应该解释为“不限于作为包含的内容而记载的内容”。“具有”这样的用语应该解释为“不限于作为具有的内容而记载的内容”。此外，本说明书和附加的权利要求书中记载的修饰句“1个”应该解释为“至少1个”或“1个或1个以上”的意思。

Claims (12)

1.一种窄带化激光装置，该窄带化激光装置具有：
激光谐振器，其包含使光谱宽度窄带化的光学元件；
一对放电电极，它们隔着所述激光谐振器的脉冲激光的光路配置；
电源，其对所述一对放电电极施加脉冲状的电压；
第1波长计测器，其对从所述激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第1计测结果；
第2波长计测器，其对从所述激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第2计测结果；以及
控制部，其根据所述第2计测结果对所述第1计测结果进行校正，
所述控制部根据以第1方式控制所述电源时的所述第2计测结果与以第2方式控制所述电源时的所述第2计测结果之差，对所述第1计测结果进行校正，其中，该第1方式是所述电源以第1重复频率对所述一对放电电极施加脉冲状的电压，该第2方式是所述电源以比所述第1重复频率高的第2重复频率对所述一对放电电极施加脉冲状的电压。
2.根据权利要求1所述的窄带化激光装置，其中，
所述窄带化激光装置还具有光学系统，该光学系统使从所述激光谐振器输出的脉冲激光的一部分分支为第1光量的第1脉冲激光和比所述第1光量低的第2光量的第2脉冲激光，
所述第1波长计测器被配置在所述第1脉冲激光的光路上，对所述第1脉冲激光的波长进行计测，输出所述第1计测结果，
所述第2波长计测器被配置在所述第2脉冲激光的光路上，对所述第2脉冲激光的波长进行计测，输出所述第2计测结果。
3.根据权利要求1所述的窄带化激光装置，其中，
所述第2波长计测器的分辨率高于所述第1波长计测器的分辨率。
4.根据权利要求2所述的窄带化激光装置，其中，
所述光学系统包含：
光纤，至少入射到所述第2波长计测器的脉冲激光在该光纤中通过；以及
加振装置，其使所述光纤振动。
5.根据权利要求3所述的窄带化激光装置，其中，
所述第1波长计测器以第1频度输出所述第1计测结果，
所述第2波长计测器以低于所述第1频度的第2频度输出所述第2计测结果。
6.根据权利要求5所述的窄带化激光装置，其中，
所述第1波长计测器按照每1个脉冲对脉冲激光的波长进行计测，按照每1个脉冲输出所述第1计测结果，
所述第2波长计测器按照每多个脉冲对脉冲激光的波长进行计测，对多个脉冲的波长进行平均而输出所述第2计测结果。
7.一种窄带化激光装置，该窄带化激光装置具有：
激光谐振器，其包含使光谱宽度窄带化的光学元件；
第1波长计测器，其对从所述激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第1计测结果；
第2波长计测器，其对从所述激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第2计测结果；以及
控制部，其根据所述第2计测结果对所述第1计测结果进行校正，
所述控制部在目标波长被变更了一定量以上时、脉冲激光的输出停止状态持续一定时间以上时、以及更新了与波长计测相关的参数时中的任意1种以上的情况下，取得所述第2计测结果作为参考波长，
进一步获取取得了所述参考波长后的所述第2计测结果，
根据所述参考波长与取得了所述参考波长后的所述第2计测结果之差，对所述第1计测结果进行校正。
8.根据权利要求7所述的窄带化激光装置，其中，
所述窄带化激光装置还具有光学系统，该光学系统使从所述激光谐振器输出的脉冲激光的一部分分支为第1光量的第1脉冲激光和比所述第1光量低的第2光量的第2脉冲激光，
所述第1波长计测器被配置在所述第1脉冲激光的光路上，对所述第1脉冲激光的波长进行计测，输出所述第1计测结果，
所述第2波长计测器被配置在所述第2脉冲激光的光路上，对所述第2脉冲激光的波长进行计测，输出所述第2计测结果。
9.根据权利要求7所述的窄带化激光装置，其中，
所述第2波长计测器的分辨率高于所述第1波长计测器的分辨率。
10.根据权利要求8所述的窄带化激光装置，其中，
所述光学系统包含：
光纤，至少入射到所述第2波长计测器的脉冲激光在该光纤中通过；以及
加振装置，其使所述光纤振动。
11.根据权利要求9所述的窄带化激光装置，其中，
所述第1波长计测器以第1频度输出所述第1计测结果，
所述第2波长计测器以低于所述第1频度的第2频度输出所述第2计测结果。
12.根据权利要求11所述的窄带化激光装置，其中，
所述第1波长计测器按照每1个脉冲对脉冲激光的波长进行计测，按照每1个脉冲输出所述第1计测结果，
所述第2波长计测器按照每多个脉冲对脉冲激光的波长进行计测，对多个脉冲的波长进行平均而输出所述第2计测结果。
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