JPH05102559A - 狭帯域レ−ザ装置 - Google Patents
狭帯域レ−ザ装置Info
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- JPH05102559A JPH05102559A JP3261888A JP26188891A JPH05102559A JP H05102559 A JPH05102559 A JP H05102559A JP 3261888 A JP3261888 A JP 3261888A JP 26188891 A JP26188891 A JP 26188891A JP H05102559 A JPH05102559 A JP H05102559A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、ガスレ−ザ媒質の圧力変動でスペ
クトル幅が広がったり、出力が低下することのない狭帯
域レ−ザ装置を提供することを目的とする。 【構成】内部にガスレ−ザ媒質が封入され光共振器２３
内に設けられた気密容器１２と、気密容器１２内で発生
したレ−ザ光を狭帯域化するエタロン２２と、気密容器
１２のレ−ザ光の光軸方向に沿う両端面にそれぞれ気密
容器１２に対して気密かつ少なくとも一方が角度調節自
在に設けられたレ−ザ光を透過する一対のウインド部材
１３と、ウインド部材１３を回動駆動する電気マイクロ
メ−タ３５と、気密容器１２内のガスレ−ザ媒質の圧力
を検出する圧力センサ３７と、圧力センサ３７からの検
出信号によって電気マイクロメ−タ３５を作動させてウ
インド部材１３の角度を調節する制御装置１８とを具備
したことを特徴とする。
クトル幅が広がったり、出力が低下することのない狭帯
域レ−ザ装置を提供することを目的とする。 【構成】内部にガスレ−ザ媒質が封入され光共振器２３
内に設けられた気密容器１２と、気密容器１２内で発生
したレ−ザ光を狭帯域化するエタロン２２と、気密容器
１２のレ−ザ光の光軸方向に沿う両端面にそれぞれ気密
容器１２に対して気密かつ少なくとも一方が角度調節自
在に設けられたレ−ザ光を透過する一対のウインド部材
１３と、ウインド部材１３を回動駆動する電気マイクロ
メ−タ３５と、気密容器１２内のガスレ−ザ媒質の圧力
を検出する圧力センサ３７と、圧力センサ３７からの検
出信号によって電気マイクロメ−タ３５を作動させてウ
インド部材１３の角度を調節する制御装置１８とを具備
したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はレ−ザ光のスペクトル
幅を狭帯域化するための狭帯域レ−ザ装置に関する。
幅を狭帯域化するための狭帯域レ−ザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レ−ザ光を用いて露光を行う場合、１μ
ｍ程度の微細パタ−ンを精度よく露光するために、たと
えばＫｒＦエキシマレ−ザから出力される短波長（248n
m)のレ−ザ光を用いることが試みられている。
ｍ程度の微細パタ−ンを精度よく露光するために、たと
えばＫｒＦエキシマレ−ザから出力される短波長（248n
m)のレ−ザ光を用いることが試みられている。
【０００３】レ−ザ光の波長が短くなると、いろいろな
材料のレンズを組合わせて色収差補正を行うことが難し
い。そこで、レ−ザ光のスペクトル幅を狭帯域化して取
出し、露光精度の向上を計るようにしている。
材料のレンズを組合わせて色収差補正を行うことが難し
い。そこで、レ−ザ光のスペクトル幅を狭帯域化して取
出し、露光精度の向上を計るようにしている。
【０００４】図３に一般的な狭帯域レ−ザ装置を示す。
同図中１は気密容器である。この気密容器１内にはＮｅ
（ネオン）、Ｆ2 （弗素）およびＫｒ（クリプトン）を
所定の割合で混合してなるガスレ−ザ媒質が所定の圧力
で充填されている。また、気密容器１内には一対の主電
極２が離間対向して配設されている。これら主電極２に
電気エネルギを供給して主放電を発生させると、上記ガ
スレ−ザ媒質が励起されてレ−ザ光Ｌが発生するように
なっている。
同図中１は気密容器である。この気密容器１内にはＮｅ
（ネオン）、Ｆ2 （弗素）およびＫｒ（クリプトン）を
所定の割合で混合してなるガスレ−ザ媒質が所定の圧力
で充填されている。また、気密容器１内には一対の主電
極２が離間対向して配設されている。これら主電極２に
電気エネルギを供給して主放電を発生させると、上記ガ
スレ−ザ媒質が励起されてレ−ザ光Ｌが発生するように
なっている。
【０００５】上記気密容器１のレ−ザ光Ｌの光軸方向に
沿う両端面には、それぞれレ−ザ光Ｌを透過させるウイ
ンド部材１ａ、１ｂが気密に設けられ、気密容器１内で
発生したレ−ザ光Ｌを外部へ出力するようになってい
る。上記ウインド部材１ａ、１ｂは、これらからの微小
な反射に起因するサテライトビ−ムの発生を押さえるた
めなどに、レ−ザ光Ｌの光軸に対して垂直な状態よりも
５〜１０度傾けて配置されている。通常、一対のウイン
ド部材１ａ、１ｂはハの字状に配設されている。
沿う両端面には、それぞれレ−ザ光Ｌを透過させるウイ
ンド部材１ａ、１ｂが気密に設けられ、気密容器１内で
発生したレ−ザ光Ｌを外部へ出力するようになってい
る。上記ウインド部材１ａ、１ｂは、これらからの微小
な反射に起因するサテライトビ−ムの発生を押さえるた
めなどに、レ−ザ光Ｌの光軸に対して垂直な状態よりも
５〜１０度傾けて配置されている。通常、一対のウイン
ド部材１ａ、１ｂはハの字状に配設されている。
【０００６】上記気密容器１の一方のウインド部材１ａ
に対向する一端側には、レ−ザ光Ｌを所定のスペクトル
幅に狭帯域化する狭帯域化手段としてのエタロン３およ
びこのエタロン３で狭帯域化されたレ−ザ光Ｌを上記気
密容器１へ戻す高反射ミラ−４とが順次配設されてい
る。上記気密容器１の他端側には上記高反射ミラ−４と
で光共振器を形成する出力ミラ−５が配設されている。
この出力ミラ−５からは、上記エタロン３で狭帯域化さ
れ、上記高反射ミラ−４で反射して気密容器１で増幅さ
れたレ−ザ光Ｌが発振出力されるようになっている。
に対向する一端側には、レ−ザ光Ｌを所定のスペクトル
幅に狭帯域化する狭帯域化手段としてのエタロン３およ
びこのエタロン３で狭帯域化されたレ−ザ光Ｌを上記気
密容器１へ戻す高反射ミラ−４とが順次配設されてい
る。上記気密容器１の他端側には上記高反射ミラ−４と
で光共振器を形成する出力ミラ−５が配設されている。
この出力ミラ−５からは、上記エタロン３で狭帯域化さ
れ、上記高反射ミラ−４で反射して気密容器１で増幅さ
れたレ−ザ光Ｌが発振出力されるようになっている。
【０００７】このような構成のガスレ−ザ装置において
は、ガスレ−ザ媒質の放電励起を繰り返すことで、この
ガスレ−ザ媒質に含まれるＦ2 ガスが劣化し、レ−ザ光
Ｌの出力が低下する。そのような場合には、新たなＦ2
ガスを補充し、レ−ザ光Ｌの出力を回復させるようにし
ている。
は、ガスレ−ザ媒質の放電励起を繰り返すことで、この
ガスレ−ザ媒質に含まれるＦ2 ガスが劣化し、レ−ザ光
Ｌの出力が低下する。そのような場合には、新たなＦ2
ガスを補充し、レ−ザ光Ｌの出力を回復させるようにし
ている。
【０００８】ところで、レ−ザ光Ｌの出力を一定にする
ため、ガスレ−ザ媒質を補充すると、気密容器１内にお
ける圧力が補充前に比べて高くなり、またガスレ−ザ媒
質の放電励起が繰り返されて温度上昇することでも、気
密容器１内の圧力が高くなる。
ため、ガスレ−ザ媒質を補充すると、気密容器１内にお
ける圧力が補充前に比べて高くなり、またガスレ−ザ媒
質の放電励起が繰り返されて温度上昇することでも、気
密容器１内の圧力が高くなる。
【０００９】気密容器１内の圧力が高くなると、モル数
が増大して屈折率も大きくなる。そのため、ウインド部
材１ａ、１ｂから出射するレ−ザ光Ｌの光軸がずれ、エ
タロン３への入射角度も変化するので、上記エタロン３
によって狭帯域化されるレ−ザ光Ｌのスペクトル幅が広
がったり、出力が低下するなどのことがある。
が増大して屈折率も大きくなる。そのため、ウインド部
材１ａ、１ｂから出射するレ−ザ光Ｌの光軸がずれ、エ
タロン３への入射角度も変化するので、上記エタロン３
によって狭帯域化されるレ−ザ光Ｌのスペクトル幅が広
がったり、出力が低下するなどのことがある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】このように、気密容器
内のガスレ−ザ媒質の圧力が変動して屈折率が変化する
と、ウインド部材から出射するレ−ザ光の光軸にずれが
生じるため、狭帯域化手段によって狭帯域化されるレ−
ザ光のスペクトル幅が広くなったり、出力が低下するな
どのことがある。
内のガスレ−ザ媒質の圧力が変動して屈折率が変化する
と、ウインド部材から出射するレ−ザ光の光軸にずれが
生じるため、狭帯域化手段によって狭帯域化されるレ−
ザ光のスペクトル幅が広くなったり、出力が低下するな
どのことがある。
【００１１】この発明は上記事情にもとづきなされたも
ので、その目的とするところは、気密容器内のガスレ−
ザ媒質の圧力の変動に応じてウインド部材の角度を調節
することで、レ−ザ光のスペクトル幅が広くなったり、
出力が低下するなどのことがないようにした狭帯域レ−
ザ装置を提供することにある。
ので、その目的とするところは、気密容器内のガスレ−
ザ媒質の圧力の変動に応じてウインド部材の角度を調節
することで、レ−ザ光のスペクトル幅が広くなったり、
出力が低下するなどのことがないようにした狭帯域レ−
ザ装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、光共振器と、内部にガスレ−ザ媒質が封
入され上記光共振器内に設けられた気密容器と、この気
密容器内に設けられ上記ガスレ−ザ媒質を励起してレ−
ザ光を発生させる励起手段と、上記光共振器内に設けら
れ上記気密容器内で発生したレ−ザ光を狭帯域化する狭
帯域化手段と、上記気密容器の上記レ−ザ光の光軸方向
に沿う両端面にそれぞれ上記気密容器に対して気密かつ
少なくとも一方が角度調節自在に設けられた一対のウイ
ンド部材と、上記気密容器に回動自在に設けられたウイ
ンド部材を回動駆動する駆動手段と、上記気密容器内に
封入されたガスレ−ザ媒質の圧力を検出する検出手段
と、この検出手段からの検出信号によって上記駆動手段
を作動させて上記ウインド部材の角度を調節する制御手
段とを具備したことを特徴とする。
にこの発明は、光共振器と、内部にガスレ−ザ媒質が封
入され上記光共振器内に設けられた気密容器と、この気
密容器内に設けられ上記ガスレ−ザ媒質を励起してレ−
ザ光を発生させる励起手段と、上記光共振器内に設けら
れ上記気密容器内で発生したレ−ザ光を狭帯域化する狭
帯域化手段と、上記気密容器の上記レ−ザ光の光軸方向
に沿う両端面にそれぞれ上記気密容器に対して気密かつ
少なくとも一方が角度調節自在に設けられた一対のウイ
ンド部材と、上記気密容器に回動自在に設けられたウイ
ンド部材を回動駆動する駆動手段と、上記気密容器内に
封入されたガスレ−ザ媒質の圧力を検出する検出手段
と、この検出手段からの検出信号によって上記駆動手段
を作動させて上記ウインド部材の角度を調節する制御手
段とを具備したことを特徴とする。
【００１３】
【作用】上記構成によれば、気密容器内のガスレ−ザ媒
質の圧力が変動すると、そのことが検出手段によって検
出され、その検出信号で駆動手段を駆動してウインド部
材の角度が制御されて屈折率の変化にともないレ−ザ光
の光軸がずれるのが防止される。
質の圧力が変動すると、そのことが検出手段によって検
出され、その検出信号で駆動手段を駆動してウインド部
材の角度が制御されて屈折率の変化にともないレ−ザ光
の光軸がずれるのが防止される。
【００１４】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１と図２を参
照して説明する。図２はリソグラフィ−用の光源として
用いられる狭帯域レ−ザ装置の概略的構成を示し、同図
中１１は装置本体である。この装置本体１１には内部に
Ｎｅ、Ｆ2 およびＫｒを所定の割合で混合したガスレ−
ザ媒質が充填された気密容器１２が設けられている。こ
の気密容器１２の軸方向両端にはそれぞれ窓１３ａ、１
３ｂが形成され、各窓１３ａ、１３ｂには図１に示すよ
うにレ−ザ光Ｌを透過するウインド部材１３が後述する
ごとく回動自在に設けられている。
照して説明する。図２はリソグラフィ−用の光源として
用いられる狭帯域レ−ザ装置の概略的構成を示し、同図
中１１は装置本体である。この装置本体１１には内部に
Ｎｅ、Ｆ2 およびＫｒを所定の割合で混合したガスレ−
ザ媒質が充填された気密容器１２が設けられている。こ
の気密容器１２の軸方向両端にはそれぞれ窓１３ａ、１
３ｂが形成され、各窓１３ａ、１３ｂには図１に示すよ
うにレ−ザ光Ｌを透過するウインド部材１３が後述する
ごとく回動自在に設けられている。
【００１５】上記気密容器１２の内部には一対の主電極
１４が離間対向して配設されている。これら主電極１４
には、装置本体１１に設けられた高圧電源部１５から電
気エネルギが供給される。それによって、一対の主電極
１４間の放電空間部１６には主放電が点弧され、その主
放電によってガスレ−ザ媒質が励起されてビ−ム断面が
矩形のレ−ザ光Ｌが発生するようになっている。
１４が離間対向して配設されている。これら主電極１４
には、装置本体１１に設けられた高圧電源部１５から電
気エネルギが供給される。それによって、一対の主電極
１４間の放電空間部１６には主放電が点弧され、その主
放電によってガスレ−ザ媒質が励起されてビ−ム断面が
矩形のレ−ザ光Ｌが発生するようになっている。
【００１６】上記装置本体１１には上記気密容器１２に
ガスレ−ザ媒質を供給および排出する給排気部１７、こ
の給排気部１７や上記高圧電源部１５などを制御する制
御装置１８が設けられている。
ガスレ−ザ媒質を供給および排出する給排気部１７、こ
の給排気部１７や上記高圧電源部１５などを制御する制
御装置１８が設けられている。
【００１７】上記気密容器１２の一方の窓１３ａに対向
する部位には第１の高反射ミラ−１９が配設され、他方
の窓１３ｂに対向する部位にはプリズム２１がその一側
面をレ−ザ光Ｌの光軸に対して所定角度で傾斜させて配
置されている。このプリズム２１に入射するレ−ザ光Ｌ
の一部は分割され、その分割されたレ−ザ光Ｌの光路に
は、狭帯域化手段としての一対のエタロン２２および上
記第１の高反射ミラ−１９とで光共振器２３を形成する
第２の高反射ミラ−２４とが順次配設されている。
する部位には第１の高反射ミラ−１９が配設され、他方
の窓１３ｂに対向する部位にはプリズム２１がその一側
面をレ−ザ光Ｌの光軸に対して所定角度で傾斜させて配
置されている。このプリズム２１に入射するレ−ザ光Ｌ
の一部は分割され、その分割されたレ−ザ光Ｌの光路に
は、狭帯域化手段としての一対のエタロン２２および上
記第１の高反射ミラ−１９とで光共振器２３を形成する
第２の高反射ミラ−２４とが順次配設されている。
【００１８】上記プリズム２１で分割されたレ−ザ光Ｌ
は、上記エタロン２２で狭帯域化されてから上記第２の
高反射ミラ−２４で反射して気密容器１２へ戻って増幅
される。気密容器１２内で増幅されたレ−ザ光Ｌは、そ
の一方の窓１３ａから出射したのち、第１の高反射ミラ
−１９で反射して再度、気密容器１２を通って増幅され
て他方の窓１３ｂから出射する。そして、その狭帯域化
および増幅されたレ−ザ光Ｌはその大半がプリズム２１
に入射せずに出力光として出力される。
は、上記エタロン２２で狭帯域化されてから上記第２の
高反射ミラ−２４で反射して気密容器１２へ戻って増幅
される。気密容器１２内で増幅されたレ−ザ光Ｌは、そ
の一方の窓１３ａから出射したのち、第１の高反射ミラ
−１９で反射して再度、気密容器１２を通って増幅され
て他方の窓１３ｂから出射する。そして、その狭帯域化
および増幅されたレ−ザ光Ｌはその大半がプリズム２１
に入射せずに出力光として出力される。
【００１９】上記一対の窓１３ａ、１３ｂは図１に示す
ように構成されている。つまり、気密容器１２の端面に
は取付けフランジ２５がレ−ザ光Ｌの光軸Ｏに対して垂
直に設けられている。この取付けフランジ２５には弾性
的に変形自在なベロ−ズ２６の一端が気密に取着されて
いる。このベロ−ズ２６の他端は揺動フランジ２７の一
側面に気密に取着されている。この揺動フランジ２７の
他側面には上記ウインド部材１３がＯリング２８を介し
て気密に接合され、上記揺動フランジ２７にねじ２９に
よって固定されたホルダ３１で保持されている。
ように構成されている。つまり、気密容器１２の端面に
は取付けフランジ２５がレ−ザ光Ｌの光軸Ｏに対して垂
直に設けられている。この取付けフランジ２５には弾性
的に変形自在なベロ−ズ２６の一端が気密に取着されて
いる。このベロ−ズ２６の他端は揺動フランジ２７の一
側面に気密に取着されている。この揺動フランジ２７の
他側面には上記ウインド部材１３がＯリング２８を介し
て気密に接合され、上記揺動フランジ２７にねじ２９に
よって固定されたホルダ３１で保持されている。
【００２０】上記取付けフランジ２５の下端側には軸線
を光軸方向に沿わせた一対（一方のみ図示）の支軸３２
が紙面と直交する幅方向に所定間隔で離間して設けられ
ている。これら支軸３２の先端は球形状の支持部３３に
形成され、その支持部３３は上記揺動フランジ２７の下
端側一側面に形成された球形凹部３４に摺動自在に係合
している。
を光軸方向に沿わせた一対（一方のみ図示）の支軸３２
が紙面と直交する幅方向に所定間隔で離間して設けられ
ている。これら支軸３２の先端は球形状の支持部３３に
形成され、その支持部３３は上記揺動フランジ２７の下
端側一側面に形成された球形凹部３４に摺動自在に係合
している。
【００２１】上記取付けフランジ２５の上端側には駆動
手段としての電気マイクロメ−タ３５がそのスピンドル
３６を揺動フランジ２７の一側面に当接されて設けられ
ている。電気マイクロメ−タ３５に駆動信号が入力さ
れ、上記スピンドル３６が進退駆動されれば、それに応
じて揺動フランジ２７がベロ−ズ２６を弾性変形させな
がら揺動するようになっている。つまり、スピンドル３
６が突出方向に駆動されれば、揺動フランジ２７の上端
側はベロ−ズ２６を復元力に抗して引き伸しながら垂直
方向へ回動し、上記スピンドル３６が没入方向へ駆動さ
れれば、上記ベロ−ズ２６の復元力によって傾斜方向へ
回動する。それによって、揺動用フランジ２７に保持さ
れたウインド部材１３の光軸Ｏに対する角度を変えるこ
とができるようになっている。
手段としての電気マイクロメ−タ３５がそのスピンドル
３６を揺動フランジ２７の一側面に当接されて設けられ
ている。電気マイクロメ−タ３５に駆動信号が入力さ
れ、上記スピンドル３６が進退駆動されれば、それに応
じて揺動フランジ２７がベロ−ズ２６を弾性変形させな
がら揺動するようになっている。つまり、スピンドル３
６が突出方向に駆動されれば、揺動フランジ２７の上端
側はベロ−ズ２６を復元力に抗して引き伸しながら垂直
方向へ回動し、上記スピンドル３６が没入方向へ駆動さ
れれば、上記ベロ−ズ２６の復元力によって傾斜方向へ
回動する。それによって、揺動用フランジ２７に保持さ
れたウインド部材１３の光軸Ｏに対する角度を変えるこ
とができるようになっている。
【００２２】上記電気マイクロメ−タ３５には上記制御
装置１８から駆動信号が入力される。この制御装置１８
は、上記気密容器１２内の圧力を検出する検出手段とし
ての圧力センサ３７（図１に示す）からの検出信号にも
とづいて上記電気マイクロメ−タ３６に後述するごとく
駆動信号を出力するようになっている。
装置１８から駆動信号が入力される。この制御装置１８
は、上記気密容器１２内の圧力を検出する検出手段とし
ての圧力センサ３７（図１に示す）からの検出信号にも
とづいて上記電気マイクロメ−タ３６に後述するごとく
駆動信号を出力するようになっている。
【００２３】つぎに、上記構成の狭帯域ガスレ−ザ装置
の動作について説明する。制御装置１８によって高圧電
源部１５を作動させ、一対の主電極１４間に主放電を発
生させてガスレ−ザ媒質を励起すると、気密容器１２内
でレ−ザ光Ｌが発生する。
の動作について説明する。制御装置１８によって高圧電
源部１５を作動させ、一対の主電極１４間に主放電を発
生させてガスレ−ザ媒質を励起すると、気密容器１２内
でレ−ザ光Ｌが発生する。
【００２４】気密容器１２内で発生したレ−ザ光Ｌは、
その一部がプリズム２１で分割されてエタロン２２に入
射し、狭帯域化される。狭帯域化されたレ−ザ光Ｌは第
２の高反射ミラ−２４で反射して気密容器１２へ戻り、
増幅されてから出力光となって出力される。
その一部がプリズム２１で分割されてエタロン２２に入
射し、狭帯域化される。狭帯域化されたレ−ザ光Ｌは第
２の高反射ミラ−２４で反射して気密容器１２へ戻り、
増幅されてから出力光となって出力される。
【００２５】このようなレ−ザ光Ｌの発振出力を繰り返
し、ガスレ−ザ媒質が劣化することで出力が低下した場
合には、制御装置１８によって給排気部１７が駆動さ
れ、上記ガスレ−ザ媒質のうちの所定の成分ガスが上記
気密容器１２に補充される。
し、ガスレ−ザ媒質が劣化することで出力が低下した場
合には、制御装置１８によって給排気部１７が駆動さ
れ、上記ガスレ−ザ媒質のうちの所定の成分ガスが上記
気密容器１２に補充される。
【００２６】ガスレ−ザ媒質が補充されると、気密容器
１２内の圧力が高くなり、そのことが圧力センサ３７に
よって検出される。圧力センサ３７の検出信号は制御装
置１８に入力される。この制御装置１８では圧力センサ
３７からの検出信号と、この制御装置１８に予め設定さ
れた設定値とが比較され、それらの差に応じた駆動信号
を電気マイクロメ−タ３５へ出力する。それによって、
上記電気マイクロメ−タ３５のスピンドル３６が進退駆
動され、揺動フランジ２７の上端側が押し引きされるか
ら、この揺動フランジ２７に保持されたウインド部材１
３の光軸Ｏに対する傾き角度が制御される。
１２内の圧力が高くなり、そのことが圧力センサ３７に
よって検出される。圧力センサ３７の検出信号は制御装
置１８に入力される。この制御装置１８では圧力センサ
３７からの検出信号と、この制御装置１８に予め設定さ
れた設定値とが比較され、それらの差に応じた駆動信号
を電気マイクロメ−タ３５へ出力する。それによって、
上記電気マイクロメ−タ３５のスピンドル３６が進退駆
動され、揺動フランジ２７の上端側が押し引きされるか
ら、この揺動フランジ２７に保持されたウインド部材１
３の光軸Ｏに対する傾き角度が制御される。
【００２７】たとえば、上記圧力センサ３７が検出する
気密容器１２内の圧力が設定値よりも高くなり、その内
部の屈折率が大きくなった場合には、一対のウインド部
材１３から出射するレ−ザ光Ｌの屈折角度が大きくな
る。そのような場合には、電気マイクロメ−タ３６のス
ピンドル３７が図１に矢印ａで示すように突出方向に駆
動され、ウインド部材１３を下端側を支点として矢印ｂ
で示す方向へ回動させ、その傾き角度を小さくする。つ
まり、ウインド部材１３を光軸Ｏに対して垂直方向へ回
動させる。それによって、ウインド部材１３からのレ−
ザ光Ｌの出射角度が一定に維持され、エタロン２２への
入射角度も一定の状態が維持される。つまり、気密容器
１２で発生するレ−ザ光Ｌの光軸Ｏを常に一定の状態に
保つことができる。したがって、出力されるレ−ザ光Ｌ
のスペクトル幅が広くなったり、出力が低下するなどの
ことが防止される。
気密容器１２内の圧力が設定値よりも高くなり、その内
部の屈折率が大きくなった場合には、一対のウインド部
材１３から出射するレ−ザ光Ｌの屈折角度が大きくな
る。そのような場合には、電気マイクロメ−タ３６のス
ピンドル３７が図１に矢印ａで示すように突出方向に駆
動され、ウインド部材１３を下端側を支点として矢印ｂ
で示す方向へ回動させ、その傾き角度を小さくする。つ
まり、ウインド部材１３を光軸Ｏに対して垂直方向へ回
動させる。それによって、ウインド部材１３からのレ−
ザ光Ｌの出射角度が一定に維持され、エタロン２２への
入射角度も一定の状態が維持される。つまり、気密容器
１２で発生するレ−ザ光Ｌの光軸Ｏを常に一定の状態に
保つことができる。したがって、出力されるレ−ザ光Ｌ
のスペクトル幅が広くなったり、出力が低下するなどの
ことが防止される。
【００２８】また、上記圧力センサ３７による気密容器
１２内の圧力検出は常時行われ、放電の繰り返しでガス
レ−ザ媒質が温度上昇し、それによって気密容器１２内
の圧力が上昇した場合にも、同じようにウインド部材１
３の傾き角度が制御される。
１２内の圧力検出は常時行われ、放電の繰り返しでガス
レ−ザ媒質が温度上昇し、それによって気密容器１２内
の圧力が上昇した場合にも、同じようにウインド部材１
３の傾き角度が制御される。
【００２９】実験によれば、気密容器１２内の圧力の変
化が１Torrに対してウインド部材１３の傾き角度を0.00
1 度の割合で制御すれば、スペクトルの広がりや、出力
の低下をなくすことができた。
化が１Torrに対してウインド部材１３の傾き角度を0.00
1 度の割合で制御すれば、スペクトルの広がりや、出力
の低下をなくすことができた。
【００３０】なお、上記一実施例では一対のウインド部
材をそれぞれ気密容器内の圧力変動に応じて角度制御し
たが、どちらか一方のウインド部材だけを角度制御する
だけでも、スペクトルの広がりや、出力の低下を防止す
ることが可能である。
材をそれぞれ気密容器内の圧力変動に応じて角度制御し
たが、どちらか一方のウインド部材だけを角度制御する
だけでも、スペクトルの広がりや、出力の低下を防止す
ることが可能である。
【００３１】また、狭帯域化手段としてはエタロンに代
わり、回析格子を用いるようにしてもよい。回析格子が
リトロ−配置型の場合、その回析格子を光共振器を形成
する第２の高反射ミラ−と置換すればよい。
わり、回析格子を用いるようにしてもよい。回析格子が
リトロ−配置型の場合、その回析格子を光共振器を形成
する第２の高反射ミラ−と置換すればよい。
【００３２】また、この発明の狭帯域レ−ザ装置は気密
容器で発生したレ−ザ光の一部をプリズムで分割する構
成のものでなく、高反射ミラ−と出力ミラ−とからなる
光共振器内に気密容器を配置するとともに、上記光共振
器内に狭帯域化手段であるエタロンを配置した構成であ
ってもよい。
容器で発生したレ−ザ光の一部をプリズムで分割する構
成のものでなく、高反射ミラ−と出力ミラ−とからなる
光共振器内に気密容器を配置するとともに、上記光共振
器内に狭帯域化手段であるエタロンを配置した構成であ
ってもよい。
【００３３】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、気密容器
内のガスレ−ザ媒質の圧力変動を検出し、その変化に応
じてウインド部材の角度を制御することで、上記気密容
器から出力されるレ−ザ光の光軸を一定にするようにし
た。
内のガスレ−ザ媒質の圧力変動を検出し、その変化に応
じてウインド部材の角度を制御することで、上記気密容
器から出力されるレ−ザ光の光軸を一定にするようにし
た。
【００３４】そのため、レ−ザ光が狭帯域化手段に入射
する角度が変動するのを防止できるから、出力されるレ
−ザ光のスペクトル幅が広くなったり、出力が低下する
などのことがなくなる。
する角度が変動するのを防止できるから、出力されるレ
−ザ光のスペクトル幅が広くなったり、出力が低下する
などのことがなくなる。
【図１】この発明の一実施例を示す気密容器の窓の部分
の拡大断面図。
の拡大断面図。
【図２】同じく装置全体の概略的構成図。
【図３】従来の狭帯域レ−ザ装置の構成図。
１２…気密容器、１３…ウインド部材、１４…主電極
（励起手段）、１５…高圧電源部（励起手段）、１８…
制御装置、２２…エタロン、２３…光共振器、２４…高
反射ミラ−、２６…ベロ−ズ、３５…電気マイクロメ−
タ（駆動手段）、３７…圧力センサ（検出手段）。
（励起手段）、１５…高圧電源部（励起手段）、１８…
制御装置、２２…エタロン、２３…光共振器、２４…高
反射ミラ−、２６…ベロ−ズ、３５…電気マイクロメ−
タ（駆動手段）、３７…圧力センサ（検出手段）。
Claims (1)
- 【請求項１】 光共振器と、内部にガスレ−ザ媒質が封
入され上記光共振器内に設けられた気密容器と、この気
密容器内に設けられ上記ガスレ−ザ媒質を励起してレ−
ザ光を発生させる励起手段と、上記光共振器内に設けら
れ上記気密容器内で発生したレ−ザ光を狭帯域化する狭
帯域化手段と、上記気密容器の上記レ−ザ光の光軸方向
に沿う両端面にそれぞれ上記気密容器に対して気密かつ
少なくとも一方が角度調節自在に設けられた一対のウイ
ンド部材と、上記気密容器に回動自在に設けられたウイ
ンド部材を回動駆動する駆動手段と、上記気密容器内に
封入されたガスレ−ザ媒質の圧力を検出する検出手段
と、この検出手段からの検出信号によって上記駆動手段
を作動させて上記ウインド部材の角度を調節する制御手
段とを具備したことを特徴とする狭帯域レ−ザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3261888A JPH05102559A (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | 狭帯域レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3261888A JPH05102559A (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | 狭帯域レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05102559A true JPH05102559A (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=17368163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3261888A Pending JPH05102559A (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | 狭帯域レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05102559A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002198590A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-12 | Gigaphoton Inc | フッ素分子レーザ装置、及びフッ素露光装置 |
| JP2002223020A (ja) * | 2001-01-26 | 2002-08-09 | Gigaphoton Inc | フッ素分子レーザ装置、及びフッ素露光装置 |
-
1991
- 1991-10-09 JP JP3261888A patent/JPH05102559A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002198590A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-12 | Gigaphoton Inc | フッ素分子レーザ装置、及びフッ素露光装置 |
| JP2002223020A (ja) * | 2001-01-26 | 2002-08-09 | Gigaphoton Inc | フッ素分子レーザ装置、及びフッ素露光装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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