JP3061908B2 - 狭帯域レ−ザ装置 - Google Patents
狭帯域レ−ザ装置Info
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- JP3061908B2 JP3061908B2 JP3260020A JP26002091A JP3061908B2 JP 3061908 B2 JP3061908 B2 JP 3061908B2 JP 3260020 A JP3260020 A JP 3260020A JP 26002091 A JP26002091 A JP 26002091A JP 3061908 B2 JP3061908 B2 JP 3061908B2
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はレ−ザ光のスペクトル
幅を狭帯域化するための狭帯域レ−ザ装置に関する。
幅を狭帯域化するための狭帯域レ−ザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レ−ザ光を用いて露光を行う場合、１μ
ｍ程度の微細パタ−ンを精度よく露光するために、たと
えばＫｒＦエキシマレ−ザから出力される短波長（248n
m)のレ−ザ光を用いることが試みられている。
ｍ程度の微細パタ−ンを精度よく露光するために、たと
えばＫｒＦエキシマレ−ザから出力される短波長（248n
m)のレ−ザ光を用いることが試みられている。
【０００３】レ−ザ光の波長が短くなると、いろいろな
材料のレンズを組合わせて色収差補正を行うことが難し
い。そこで、レ−ザ光のスペクトル幅を狭帯域化して取
出し、露光精度の向上を計るようにしている。
材料のレンズを組合わせて色収差補正を行うことが難し
い。そこで、レ−ザ光のスペクトル幅を狭帯域化して取
出し、露光精度の向上を計るようにしている。
【０００４】図６に一般的な狭帯域レ−ザ装置を示す。
同図中１は両端に窓１ａ、１ｂが形成された気密容器で
ある。この気密容器１内にはＮｅ（ネオン）、Ｆ2 （弗
素）およびＫｒ（クリプトン）を所定の割合で混合して
なるガスレ−ザ媒質が充填されている。また、気密容器
１内には一対の主電極２が離間対向して配設されてい
る。これら主電極２に電気エネルギを供給して主放電を
発生させると、上記ガスレ−ザ媒質が励起されてレ−ザ
光Ｌが発生するようになっている。
同図中１は両端に窓１ａ、１ｂが形成された気密容器で
ある。この気密容器１内にはＮｅ（ネオン）、Ｆ2 （弗
素）およびＫｒ（クリプトン）を所定の割合で混合して
なるガスレ−ザ媒質が充填されている。また、気密容器
１内には一対の主電極２が離間対向して配設されてい
る。これら主電極２に電気エネルギを供給して主放電を
発生させると、上記ガスレ−ザ媒質が励起されてレ−ザ
光Ｌが発生するようになっている。
【０００５】上記気密容器１の光軸方向一端側には、レ
−ザ光Ｌを所定のスペクトル幅に狭帯域化する狭帯域化
手段としてのエタロン３およびこのエタロン３で狭帯域
化されたレ−ザ光Ｌを上記気密容器１へ戻す高反射ミラ
−４とが順次配設されている。
−ザ光Ｌを所定のスペクトル幅に狭帯域化する狭帯域化
手段としてのエタロン３およびこのエタロン３で狭帯域
化されたレ−ザ光Ｌを上記気密容器１へ戻す高反射ミラ
−４とが順次配設されている。
【０００６】上記気密容器１の他端側には上記高反射ミ
ラ−４とで光共振器を形成する出力ミラ−５が配設され
ている。この出力ミラ−５からは、上記エタロン３で狭
帯域化され、上記高反射ミラ−４で反射して気密容器１
で増幅されたレ−ザ光Ｌが発振出力されるようになって
いる。
ラ−４とで光共振器を形成する出力ミラ−５が配設され
ている。この出力ミラ−５からは、上記エタロン３で狭
帯域化され、上記高反射ミラ−４で反射して気密容器１
で増幅されたレ−ザ光Ｌが発振出力されるようになって
いる。
【０００７】上記出力ミラ−５から出力されたレ−ザ光
Ｌの一部はハ−フミラ−６で分割され、たとえばファブ
リ−ペロ−干渉計を用いたスペクトルモニタ７に入射す
る。このスペクトルモニタ７ではスペクトル分布（干渉
縞）が表示され、そのスペクトル分布から上記エタロン
３の特性および状態によって決定されるレ−ザ光Ｌのス
ペクトルが測定される。
Ｌの一部はハ−フミラ−６で分割され、たとえばファブ
リ−ペロ−干渉計を用いたスペクトルモニタ７に入射す
る。このスペクトルモニタ７ではスペクトル分布（干渉
縞）が表示され、そのスペクトル分布から上記エタロン
３の特性および状態によって決定されるレ−ザ光Ｌのス
ペクトルが測定される。
【０００８】このような構成の狭帯域レ−ザ装置におい
て、光共振器から発振出力されるレ−ザ光Ｌの波長は、
エタロン３の配置角度によって決定される。しかしなが
ら、レ−ザ光Ｌの波長は上記スペクトルモニタ７に表示
されるスペクトル分布から知ることができない。
て、光共振器から発振出力されるレ−ザ光Ｌの波長は、
エタロン３の配置角度によって決定される。しかしなが
ら、レ−ザ光Ｌの波長は上記スペクトルモニタ７に表示
されるスペクトル分布から知ることができない。
【０００９】そのため、エタロン３が劣化し、新しいも
のに交換する場合など、交換前と同じ波長のレ−ザ光Ｌ
を出力させるよう、エタロン３を交換前と同じ角度、つ
まり最適配置角度で設置することが非常に難しいという
ことがあった。
のに交換する場合など、交換前と同じ波長のレ−ザ光Ｌ
を出力させるよう、エタロン３を交換前と同じ角度、つ
まり最適配置角度で設置することが非常に難しいという
ことがあった。
【００１０】とくに、レ−ザ光Ｌを半導体プロセスにお
けるリソグラフィ−用の光源として用いるとき、レジス
トの波長感度特性により、常に一定の波長のレ−ザ光を
供給することが要求される。
けるリソグラフィ−用の光源として用いるとき、レジス
トの波長感度特性により、常に一定の波長のレ−ザ光を
供給することが要求される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の狭
帯域レ−ザ装置は、一定の波長のレ−ザ光を供給するこ
とができるよう、狭帯域化手段を最適配置角度で設置す
るということが難しかった。
帯域レ−ザ装置は、一定の波長のレ−ザ光を供給するこ
とができるよう、狭帯域化手段を最適配置角度で設置す
るということが難しかった。
【００１２】この発明は上記事情にもとづきなされたも
ので、その目的とするところは、狭帯域化手段を光共振
器内に精密かつ迅速に最適配置角度で設置することがで
きるようにした狭帯域レ−ザ装置を提供することにあ
る。
ので、その目的とするところは、狭帯域化手段を光共振
器内に精密かつ迅速に最適配置角度で設置することがで
きるようにした狭帯域レ−ザ装置を提供することにあ
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、ガスレ−ザ媒質が封入された気密容器
と、上記ガスレ−ザ媒質を励起してレ−ザ光を発生させ
る励起手段と、上記気密容器の一端側と他端側とにそれ
ぞれ配設された一対の反射ミラ−を有した光共振器と、
この光共振器内に配設され上記気密容器で発生したレ−
ザ光を狭帯域化する狭帯域化手段と、この狭帯域化手段
を上記レ−ザ光の光軸を回転中心として駆動する駆動手
段と、上記光共振器から出力されるレ−ザ光のスペクト
ルを検出するスペクトルモニタと、上記駆動手段によっ
て上記狭帯域化手段を微小角度変位させたときの上記ス
ペクトルモニタが検出するスペクトルのピ−ク位置の変
化から上記狭帯域化手段の設置角度を算出し、その設置
角度と最適配置角度との差に基いて応じて上記駆動手段
を作動させ上記狭帯域化手段を上記最適配置角度に設定
する制御手段とを具備したことを特徴とする。
にこの発明は、ガスレ−ザ媒質が封入された気密容器
と、上記ガスレ−ザ媒質を励起してレ−ザ光を発生させ
る励起手段と、上記気密容器の一端側と他端側とにそれ
ぞれ配設された一対の反射ミラ−を有した光共振器と、
この光共振器内に配設され上記気密容器で発生したレ−
ザ光を狭帯域化する狭帯域化手段と、この狭帯域化手段
を上記レ−ザ光の光軸を回転中心として駆動する駆動手
段と、上記光共振器から出力されるレ−ザ光のスペクト
ルを検出するスペクトルモニタと、上記駆動手段によっ
て上記狭帯域化手段を微小角度変位させたときの上記ス
ペクトルモニタが検出するスペクトルのピ−ク位置の変
化から上記狭帯域化手段の設置角度を算出し、その設置
角度と最適配置角度との差に基いて応じて上記駆動手段
を作動させ上記狭帯域化手段を上記最適配置角度に設定
する制御手段とを具備したことを特徴とする。
【００１４】
【作用】上記構成によれば、狭帯域化手段を微小角度変
位させたときのスペクトルモニタによって検出されるス
ペクトルのピ−ク位置の変化から波長の変化量を求め、
その変化量からそのときの狭帯域化手段の設置角度を検
出し、その設置角度を基準にして最適配置角度を設定す
る。
位させたときのスペクトルモニタによって検出されるス
ペクトルのピ−ク位置の変化から波長の変化量を求め、
その変化量からそのときの狭帯域化手段の設置角度を検
出し、その設置角度を基準にして最適配置角度を設定す
る。
【００１５】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１乃至図４を
参照して説明する。図１はリソグラフィ−用の光源とし
て用いられる狭帯域レ−ザ装置の概略的構成を示し、同
図中１１は装置本体である。この装置本体１１には内部
にＮｅ、Ｆ2およびＫｒを所定の割合で混合したガスレ
−ザ媒質が充填された気密容器１２が設けられている。
この気密容器１２の軸方向両端にはそれぞれ窓１３ａ、
１３ｂが形成されている。また、気密容器１２の内部に
は一対の主電極１４が離間対向して配設されている。こ
れら主電極１４には、装置本体１１に設けられた高圧電
源部１５から電気エネルギが供給される。それによっ
て、一対の主電極１４間の放電空間部１６には主放電が
点弧され、その主放電によってガスレ−ザ媒質が励起さ
れてビ−ム断面が矩形のレ−ザ光Ｌが発生するようにな
っている。
参照して説明する。図１はリソグラフィ−用の光源とし
て用いられる狭帯域レ−ザ装置の概略的構成を示し、同
図中１１は装置本体である。この装置本体１１には内部
にＮｅ、Ｆ2およびＫｒを所定の割合で混合したガスレ
−ザ媒質が充填された気密容器１２が設けられている。
この気密容器１２の軸方向両端にはそれぞれ窓１３ａ、
１３ｂが形成されている。また、気密容器１２の内部に
は一対の主電極１４が離間対向して配設されている。こ
れら主電極１４には、装置本体１１に設けられた高圧電
源部１５から電気エネルギが供給される。それによっ
て、一対の主電極１４間の放電空間部１６には主放電が
点弧され、その主放電によってガスレ−ザ媒質が励起さ
れてビ−ム断面が矩形のレ−ザ光Ｌが発生するようにな
っている。
【００１６】また、上記装置本体１１には上記気密容器
１２にガスレ−ザ媒質を供給および排出する給排気部１
７、この給排気部１７や上記高圧電源部１５などを制御
する制御装置１８が設けられている。
１２にガスレ−ザ媒質を供給および排出する給排気部１
７、この給排気部１７や上記高圧電源部１５などを制御
する制御装置１８が設けられている。
【００１７】上記気密容器１２の一方の窓１３ａに対向
する部位には高反射ミラ−１９が配設され、他方の窓１
３ｂに対向する部位には上記高反射ミラ−１９とで光共
振器２０を形成する出力ミラ−２１が配置されている。
さらに、上記一方の窓１３ａと上記高反射ミラ−１９と
の間には、角度設定機構２２が設けられ、この角度設定
機構２２には狭帯域化手段としてのエタロン２３が着脱
自在に保持されている。上記角度設定機構２２は駆動装
置２４によって回転駆動されるようになっている。この
駆動装置２４は上記制御装置１８によって後述するごと
駆動制御され、それによって上記エタロン２３は所定の
波長を得るための角度（この角度を最適配置角度とい
う）に設定されるようになっている。
する部位には高反射ミラ−１９が配設され、他方の窓１
３ｂに対向する部位には上記高反射ミラ−１９とで光共
振器２０を形成する出力ミラ−２１が配置されている。
さらに、上記一方の窓１３ａと上記高反射ミラ−１９と
の間には、角度設定機構２２が設けられ、この角度設定
機構２２には狭帯域化手段としてのエタロン２３が着脱
自在に保持されている。上記角度設定機構２２は駆動装
置２４によって回転駆動されるようになっている。この
駆動装置２４は上記制御装置１８によって後述するごと
駆動制御され、それによって上記エタロン２３は所定の
波長を得るための角度（この角度を最適配置角度とい
う）に設定されるようになっている。
【００１８】上記出力ミラ−２１から出力されたレ−ザ
光Ｌの光路にはハ−フミラ−２５が光軸に対して４５度
の角度で配置されている。上記ハ−フミラ−２５に入射
したレ−ザ光Ｌは一部が反射し、残りは透過する。ハ−
フミラ−２５で反射したレ−ザ光Ｌはファブリ−ペロ−
干渉計を用いたスペクトルモニタ２６に入射する。この
スペクトルモニタ２６はレ−ザ光Ｌのスペクトルを検出
し、その検出信号を上記制御装置１８へ入力する。
光Ｌの光路にはハ−フミラ−２５が光軸に対して４５度
の角度で配置されている。上記ハ−フミラ−２５に入射
したレ−ザ光Ｌは一部が反射し、残りは透過する。ハ−
フミラ−２５で反射したレ−ザ光Ｌはファブリ−ペロ−
干渉計を用いたスペクトルモニタ２６に入射する。この
スペクトルモニタ２６はレ−ザ光Ｌのスペクトルを検出
し、その検出信号を上記制御装置１８へ入力する。
【００１９】図２（ａ）〜（ｃ）はスペクトルモニタ２
６によって検出されたレ−ザ光Ｌのスペクトル分布とエ
タロン２３の設定角度との関係を示す。つまり、図２
（ａ）に示すように光軸Ｏに対して直交する垂線Ｖに対
し、時計方向に傾斜したエタロン２３を矢印で示す反時
計方向へ回動させてゆくと、スペクトルモニタ２６が検
出するスペクトル分布Ｓは同図に矢印で示すモニタ２６
の画面の右側から左側へ移動する。つまり、破線で示す
位置から実線で示す位置へと移動する。
６によって検出されたレ−ザ光Ｌのスペクトル分布とエ
タロン２３の設定角度との関係を示す。つまり、図２
（ａ）に示すように光軸Ｏに対して直交する垂線Ｖに対
し、時計方向に傾斜したエタロン２３を矢印で示す反時
計方向へ回動させてゆくと、スペクトルモニタ２６が検
出するスペクトル分布Ｓは同図に矢印で示すモニタ２６
の画面の右側から左側へ移動する。つまり、破線で示す
位置から実線で示す位置へと移動する。
【００２０】上記エタロン２３を図２（ｂ）に示すよう
に光軸Ｏに対して垂直になる位置から図２（ｃ）に示す
ようにさらに反時計方向へと回転させると、スペクトル
分布Ｓは、上記エタロン２３が光軸Ｏに対して垂直にな
った状態を境としてその移動方向が逆転する。つまり、
モニタ２６の画面左側から右側へと移動する。したがっ
て、上記スペクトル分布Ｓの移動が逆転する位置が上記
エタロン２３の設置角度が光軸Ｏに対して垂直となる０
度である。
に光軸Ｏに対して垂直になる位置から図２（ｃ）に示す
ようにさらに反時計方向へと回転させると、スペクトル
分布Ｓは、上記エタロン２３が光軸Ｏに対して垂直にな
った状態を境としてその移動方向が逆転する。つまり、
モニタ２６の画面左側から右側へと移動する。したがっ
て、上記スペクトル分布Ｓの移動が逆転する位置が上記
エタロン２３の設置角度が光軸Ｏに対して垂直となる０
度である。
【００２１】図３はエタロン２３の配置角度と、出力さ
れるレ−ザ光Ｌの波長の変化量との関係を示す。この関
係はエタロン２３の特性によって定まる。図３に示す曲
線は、エタロン２３の配置角度ｘ、波長変化量をｙとす
ると、 ｙ＝−３３ｘ2 …（１）式 で近似できる。エタロン２３配置角度をΔθ(x) ずらし
たときの波長変化量がΔλ(y) の場合、エタロン２３の
配置角度θ1 (x) は、 θ1 (x) ＝ｆ・Δλ／Δθ …（２）式 で求めることができ、これらの演算式は上記制御装置１
８に設定されている。
れるレ−ザ光Ｌの波長の変化量との関係を示す。この関
係はエタロン２３の特性によって定まる。図３に示す曲
線は、エタロン２３の配置角度ｘ、波長変化量をｙとす
ると、 ｙ＝−３３ｘ2 …（１）式 で近似できる。エタロン２３配置角度をΔθ(x) ずらし
たときの波長変化量がΔλ(y) の場合、エタロン２３の
配置角度θ1 (x) は、 θ1 (x) ＝ｆ・Δλ／Δθ …（２）式 で求めることができ、これらの演算式は上記制御装置１
８に設定されている。
【００２２】上記波長変化量Δλ(y) はエタロン２３を
微小角度変化させたときのスペクトル分布Ｓのピ−ク位
置の移動量によって上記スペクトルモニタ２６が検出す
る。また、上記（２）式において、ｆは使用するエタロ
ン２３によって定まる係数で、そのエタロン２３が2.5
〜3.0pm のスペクトル幅を得る特性の場合、 （−１／７５）≦ｆ≦（−１／８５） …（３）式
微小角度変化させたときのスペクトル分布Ｓのピ−ク位
置の移動量によって上記スペクトルモニタ２６が検出す
る。また、上記（２）式において、ｆは使用するエタロ
ン２３によって定まる係数で、そのエタロン２３が2.5
〜3.0pm のスペクトル幅を得る特性の場合、 （−１／７５）≦ｆ≦（−１／８５） …（３）式
【００２３】となる。したがって、エタロン２３の配置
角度θ1 は、駆動装置２４によってエタロン２３を微小
角度（Δθ）回転させることでｆ、Δλ、およびΔθが
既知となるから、上記（２）式より求めることができ
る。
角度θ1 は、駆動装置２４によってエタロン２３を微小
角度（Δθ）回転させることでｆ、Δλ、およびΔθが
既知となるから、上記（２）式より求めることができ
る。
【００２４】エタロン２３の配置角度θ1 が求まれば、
その配置角度θ1 と、図３に示すエタロン２３の最適配
置角度θ2 との角度差θ3 を算出することができる。し
たがって、上記エタロン２３を上記角度差θ3 分だけ回
転させるよう駆動装置２４を駆動制御すれば、上記エタ
ロン２３を最適配置角度θ2 に設定することができる。
その配置角度θ1 と、図３に示すエタロン２３の最適配
置角度θ2 との角度差θ3 を算出することができる。し
たがって、上記エタロン２３を上記角度差θ3 分だけ回
転させるよう駆動装置２４を駆動制御すれば、上記エタ
ロン２３を最適配置角度θ2 に設定することができる。
【００２５】図４は上記制御装置１８によりエタロン２
３を最適配置角度θ2 に設定するためのフロ−チャ−ト
を示す。つまり、ステップ１（Ｓ1と略す）では駆動装
置２４によって角度設定機構２２に保持されたエタロン
２３を微小角度（Δθ）回転させる。Ｓ2 ではエタロン
２３をΔθ回転させたときにスペクトルモニタ２６がス
ペクトル分布のピ−ク位置の移動量を検出し、その検出
値を制御装置１８へ入力する。Ｓ3 では、制御装置１８
がスペクトルモニタ２６からの検出信号にもとづくて波
長変化量Δλを算出する。
３を最適配置角度θ2 に設定するためのフロ−チャ−ト
を示す。つまり、ステップ１（Ｓ1と略す）では駆動装
置２４によって角度設定機構２２に保持されたエタロン
２３を微小角度（Δθ）回転させる。Ｓ2 ではエタロン
２３をΔθ回転させたときにスペクトルモニタ２６がス
ペクトル分布のピ−ク位置の移動量を検出し、その検出
値を制御装置１８へ入力する。Ｓ3 では、制御装置１８
がスペクトルモニタ２６からの検出信号にもとづくて波
長変化量Δλを算出する。
【００２６】ついでＳ4 では、上記制御装置１８が上記
（２）式にもとづいてエタロン２３のそのときの配置角
度θ1 を演算する。Ｓ5 では、エタロン２３の配置角度
θ1と、所定の波長のレ−ザ光Ｌを出力させるための最
適配置角度θ2 との差θ3 を演算する。θ3 が演算され
たなら、Ｓ6 では駆動装置２４によってエタロン２３を
θ3 だけ回転させる。Ｓ7 ではエタロン２３がθ3だけ
回転させられたか否やかが検出され、“Ｙｅｓ”であれ
ば終了し、“Ｎｏ”であれば上記工程が再度繰り返され
る。
（２）式にもとづいてエタロン２３のそのときの配置角
度θ1 を演算する。Ｓ5 では、エタロン２３の配置角度
θ1と、所定の波長のレ−ザ光Ｌを出力させるための最
適配置角度θ2 との差θ3 を演算する。θ3 が演算され
たなら、Ｓ6 では駆動装置２４によってエタロン２３を
θ3 だけ回転させる。Ｓ7 ではエタロン２３がθ3だけ
回転させられたか否やかが検出され、“Ｙｅｓ”であれ
ば終了し、“Ｎｏ”であれば上記工程が再度繰り返され
る。
【００２７】したがって、上記狭帯域レ−ザ装置によれ
ば、使用中のエタロン２３が劣化するなどして新しいも
のに交換する場合、その新しいエタロン２３を交換前と
同じ角度で配置して、同一の波長のレ−ザ光Ｌを得るこ
とができる。
ば、使用中のエタロン２３が劣化するなどして新しいも
のに交換する場合、その新しいエタロン２３を交換前と
同じ角度で配置して、同一の波長のレ−ザ光Ｌを得るこ
とができる。
【００２８】図５はこの発明の他の実施例を示し、上記
一実施例とレ−ザ光Ｌを狭帯域化させるための構成が異
なる。つまり、この実施例は気密容器１２の一端側に第
１の高反射ミラ−３１が配置され、他端側にプリズム３
２がその一部をレ−ザ光Ｌのビ−ム断面の一部に挿入し
て配置されている。それによって、上記気密容器１２か
ら出力されたレ−ザ光Ｌは上記プリズム３２によって分
割される。
一実施例とレ−ザ光Ｌを狭帯域化させるための構成が異
なる。つまり、この実施例は気密容器１２の一端側に第
１の高反射ミラ−３１が配置され、他端側にプリズム３
２がその一部をレ−ザ光Ｌのビ−ム断面の一部に挿入し
て配置されている。それによって、上記気密容器１２か
ら出力されたレ−ザ光Ｌは上記プリズム３２によって分
割される。
【００２９】プリズム３２に入射することで分割された
レ−ザ光Ｌは、エタロン３３で狭帯域化されてから上記
第１の高反射ミラ−３１とで光共振器３４を形成する第
２の高反射ミラ−３５で反射して上記気密容器１２へ戻
される。それによって、狭帯域化されたレ−ザ光Ｌは増
幅されてから出力される。
レ−ザ光Ｌは、エタロン３３で狭帯域化されてから上記
第１の高反射ミラ−３１とで光共振器３４を形成する第
２の高反射ミラ−３５で反射して上記気密容器１２へ戻
される。それによって、狭帯域化されたレ−ザ光Ｌは増
幅されてから出力される。
【００３０】この実施例においても、上記エタロン３３
が上記一実施例と同様、駆動装置２４によって駆動され
るようになっており、この駆動装置２４は制御装置１８
によって制御される。したがって、上記エタロン３３を
常に所定の最適配置角度に設定し、エタロン３３を交換
したときなどに同一波長のレ−ザ光Ｌを得ることができ
る。
が上記一実施例と同様、駆動装置２４によって駆動され
るようになっており、この駆動装置２４は制御装置１８
によって制御される。したがって、上記エタロン３３を
常に所定の最適配置角度に設定し、エタロン３３を交換
したときなどに同一波長のレ−ザ光Ｌを得ることができ
る。
【００３１】なお、上記各実施例では狭帯域化手段とし
てエタロンを挙げたが、第１の実施例における高反射ミ
ラ−あるいは第２の実施例における第２の高反射ミラ−
を狭帯域化手段である回析格子に置き換えた構成の狭帯
域レ−ザ装置においても、上記回析格子の配置角度を制
御することで、この発明を適用することができる。
てエタロンを挙げたが、第１の実施例における高反射ミ
ラ−あるいは第２の実施例における第２の高反射ミラ−
を狭帯域化手段である回析格子に置き換えた構成の狭帯
域レ−ザ装置においても、上記回析格子の配置角度を制
御することで、この発明を適用することができる。
【００３２】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、狭帯域化
手段を微小角度変位させたときに、スペクトルモニタが
検出するスペクトルのピ−ク位置の変化から狭帯域化手
段の設置角度を算出し、その設置角度と最適配置角度と
の差に応じて駆動手段を作動させ上記狭帯域化手段を上
記最適配置角度に設定するようにした。
手段を微小角度変位させたときに、スペクトルモニタが
検出するスペクトルのピ−ク位置の変化から狭帯域化手
段の設置角度を算出し、その設置角度と最適配置角度と
の差に応じて駆動手段を作動させ上記狭帯域化手段を上
記最適配置角度に設定するようにした。
【００３３】そのため、狭帯域化手段を使用にともなう
劣化などで交換するような場合、その狭帯域化手段を常
に所定の最適配置角度に設置することができるから、交
換前と同じ波長のレ−ザ光を容易かつ確実に得ることが
できる。
劣化などで交換するような場合、その狭帯域化手段を常
に所定の最適配置角度に設置することができるから、交
換前と同じ波長のレ−ザ光を容易かつ確実に得ることが
できる。
【図１】この発明の一実施例を示す装置全体の概略図。
【図２】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれエタロンの角度とス
ペクトルモニタに表示されるスペクトル分布の移動方向
との関係の説明図。
ペクトルモニタに表示されるスペクトル分布の移動方向
との関係の説明図。
【図３】エタロンの配置角度とレ−ザ光の波長の変化量
との関係を示すグラフ。
との関係を示すグラフ。
【図４】エタロンを最適配置角度に設定する手順を示す
フロ−チャ−ト。
フロ−チャ−ト。
【図５】この発明の他の実施例を示す狭帯域レ−ザ装置
の構成図。
の構成図。
【図６】従来の狭帯化レ−ザ装置の構成図。
１２…気密容器、１４…主電極（励起手段）、１８…制
御装置、１９…高反射ミラ−、２０…光共振器、２１出
力ミラ−、２２…角度設定機構（駆動手段）、２３…エ
タロン、２４…駆動装置（駆動手段）、２６…スペクト
ルモニタ。
御装置、１９…高反射ミラ−、２０…光共振器、２１出
力ミラ−、２２…角度設定機構（駆動手段）、２３…エ
タロン、２４…駆動装置（駆動手段）、２６…スペクト
ルモニタ。
Claims (1)
- 【請求項１】 ガスレ−ザ媒質が封入された気密容器
と、上記ガスレ−ザ媒質を励起してレ−ザ光を発生させ
る励起手段と、上記気密容器の一端側と他端側とにそれ
ぞれ配設された一対の反射ミラ−を有した光共振器と、
この光共振器内に配設され上記気密容器で発生したレ−
ザ光を狭帯域化する狭帯域化手段と、この狭帯域化手段
を上記レ−ザ光の光軸を回転中心として駆動する駆動手
段と、上記光共振器から出力されるレ−ザ光のスペクト
ルを検出するスペクトルモニタと、上記駆動手段によっ
て上記狭帯域化手段を微小角度変位させたときの上記ス
ペクトルモニタが検出するスペクトルのピ−ク位置の変
化から上記狭帯域化手段の設置角度を算出し、その設置
角度と最適配置角度との差に基いて上記駆動手段を作動
させ上記狭帯域化手段を上記最適配置角度に設定する制
御手段とを具備したことを特徴とする狭帯域レ−ザ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3260020A JP3061908B2 (ja) | 1991-10-08 | 1991-10-08 | 狭帯域レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3260020A JP3061908B2 (ja) | 1991-10-08 | 1991-10-08 | 狭帯域レ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05102588A JPH05102588A (ja) | 1993-04-23 |
| JP3061908B2 true JP3061908B2 (ja) | 2000-07-10 |
Family
ID=17342196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3260020A Expired - Fee Related JP3061908B2 (ja) | 1991-10-08 | 1991-10-08 | 狭帯域レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3061908B2 (ja) |
-
1991
- 1991-10-08 JP JP3260020A patent/JP3061908B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05102588A (ja) | 1993-04-23 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |