JP2997956B2 - 波長検出装置 - Google Patents
波長検出装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光の波長を検出する波
長検出装置に関し、特に半導体装置製造用の縮小投影露
光装置用の光源として狭帯域エキシマレーザを用いる場
合の波長検出に採用して好適な波長検出装置に関する。
長検出装置に関し、特に半導体装置製造用の縮小投影露
光装置用の光源として狭帯域エキシマレーザを用いる場
合の波長検出に採用して好適な波長検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】エキシマレーザを半導体装置製造用の縮
小投影露光装置（ステッパ）の光源として用いる場合に
は、エキシマレーザの出力レーザ光を狭帯域化する必要
があり、この狭帯域化された出力レーザ光の波長を高精
度に安定化させるよう制御する必要がある。
小投影露光装置（ステッパ）の光源として用いる場合に
は、エキシマレーザの出力レーザ光を狭帯域化する必要
があり、この狭帯域化された出力レーザ光の波長を高精
度に安定化させるよう制御する必要がある。
【０００３】従来より、狭帯域発振エキシマレーザ等の
波長線幅を計測したり、波長を検出したりするためにモ
ニタエタロンが用いられている。モニタエタロンは部分
反射ミラーを所定の空隙をあけて対向配設したエアギャ
ップエタロンを用いて構成されているもので、このエア
ギャップエタロンの透過波長λはつぎのように表せられ
る。
波長線幅を計測したり、波長を検出したりするためにモ
ニタエタロンが用いられている。モニタエタロンは部分
反射ミラーを所定の空隙をあけて対向配設したエアギャ
ップエタロンを用いて構成されているもので、このエア
ギャップエタロンの透過波長λはつぎのように表せられ
る。
【０００４】ｍλ＝２ｎｄ・ｃｏｓθ …（１） ただし、ｍは整数、ｄはエタロンの部分反射ミラー間の
距離、ｎは部分反射ミラー間の屈折率、θはエタロンの
法線と入射光の光軸とのなす角度である。
距離、ｎは部分反射ミラー間の屈折率、θはエタロンの
法線と入射光の光軸とのなす角度である。
【０００５】この式により、ｎ、ｄ、ｍが一定とすれ
ば、波長λが変化するとθが変化することがわかる。モ
ニタエタロンではこの性質を利用して被検出光の波長を
検出している。
ば、波長λが変化するとθが変化することがわかる。モ
ニタエタロンではこの性質を利用して被検出光の波長を
検出している。
【０００６】ところで、上述したモニタエタロンにおい
て、エアギャップ内の圧力および周囲温度等が変化して
しまうと波長が一定でも上述した角θが変化してしま
う。このため、角θに基づいては波長λを正確に検出す
ることができない場合がある。そこで、モニタエタロン
を用いる場合、エアギャップ内の圧力および周囲温度等
を一定に制御して波長検出を行っていた。
て、エアギャップ内の圧力および周囲温度等が変化して
しまうと波長が一定でも上述した角θが変化してしま
う。このため、角θに基づいては波長λを正確に検出す
ることができない場合がある。そこで、モニタエタロン
を用いる場合、エアギャップ内の圧力および周囲温度等
を一定に制御して波長検出を行っていた。
【０００７】しかし、エアギャップ内の圧力および周囲
温度を高精度に制御することは困難であり、このため充
分な高精度で絶対波長を検出することはできなかった。
温度を高精度に制御することは困難であり、このため充
分な高精度で絶対波長を検出することはできなかった。
【０００８】そこで、被検出光（出力レーザ光）ととも
に予め波長がわかっている基準光（たとえば水銀ランプ
の発振線）をモニタエタロンに入力し、この基準光に対
する被検出光の相対波長を検出することにより被検出光
の絶対波長を精度よく検出する装置が提案されている。
かかる装置においては、モニタエタロンの透過光を直接
ＣＣＤイメージセンサ等の光検出器の検出面上に入射し
て、該光検出器の検出面上に干渉縞を形成し、干渉縞の
位置に基づき上記絶対波長を検出するようにしている。
に予め波長がわかっている基準光（たとえば水銀ランプ
の発振線）をモニタエタロンに入力し、この基準光に対
する被検出光の相対波長を検出することにより被検出光
の絶対波長を精度よく検出する装置が提案されている。
かかる装置においては、モニタエタロンの透過光を直接
ＣＣＤイメージセンサ等の光検出器の検出面上に入射し
て、該光検出器の検出面上に干渉縞を形成し、干渉縞の
位置に基づき上記絶対波長を検出するようにしている。
【０００９】この種の技術としては、たとえば特開平１
ー１０１６８３号公報に見られるごとく、干渉縞の光強
度分布を撮像素子で検出して、検出した光強度の最大値
に対応する検出位置、または光強度分布の山の半値幅の
中央に対応する検出位置を被検出光の中心波長を示す位
置であるとするものがある。
ー１０１６８３号公報に見られるごとく、干渉縞の光強
度分布を撮像素子で検出して、検出した光強度の最大値
に対応する検出位置、または光強度分布の山の半値幅の
中央に対応する検出位置を被検出光の中心波長を示す位
置であるとするものがある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ところが、出力レーザ
光のスペクトル波形が歪んでいる場合や、基準光源が低
圧水銀ランプであり、水銀蒸気による２５３．７ｎｍ線
のように水銀同位体による数１０本の発振線が重なり合
っていてスペクトル波形が歪んでしまう場合には、干渉
縞の光強度分布も同様に歪んでしまう。このため光強度
の最大値に対応する検出位置は中心波長を示す位置から
ずれてきてしまい、検出位置に基づいては精度よく中心
波長を求めることができない。たとえ基準光または出力
レーザ光のスペクトル波形がガウス型やローレンツ型等
のような対称的な波形であっても、自己吸収等によりス
ペクトル波形の頂部が変形している場合には、光強度の
最大値に基づき中心波長を精度よく検出することは困難
である。図６は光検出器上の位置と光強度Ｉとの関係を
示すものであり、光強度分布の山から干渉縞を形成する
円の半径を示す位置（半径位置）を検出する様子を示し
ている。干渉縞の半径位置を検出することができれば、
上記中心波長が検出される。
光のスペクトル波形が歪んでいる場合や、基準光源が低
圧水銀ランプであり、水銀蒸気による２５３．７ｎｍ線
のように水銀同位体による数１０本の発振線が重なり合
っていてスペクトル波形が歪んでしまう場合には、干渉
縞の光強度分布も同様に歪んでしまう。このため光強度
の最大値に対応する検出位置は中心波長を示す位置から
ずれてきてしまい、検出位置に基づいては精度よく中心
波長を求めることができない。たとえ基準光または出力
レーザ光のスペクトル波形がガウス型やローレンツ型等
のような対称的な波形であっても、自己吸収等によりス
ペクトル波形の頂部が変形している場合には、光強度の
最大値に基づき中心波長を精度よく検出することは困難
である。図６は光検出器上の位置と光強度Ｉとの関係を
示すものであり、光強度分布の山から干渉縞を形成する
円の半径を示す位置（半径位置）を検出する様子を示し
ている。干渉縞の半径位置を検出することができれば、
上記中心波長が検出される。
【００１１】しかし、図６（ｃ）に示すようにスペクト
ル波形が歪んでしまう場合には、干渉縞の光強度分布の
山の頂点はなだらかなカーブを描く。このため頂点のピ
ーク位置を正確に捕らえがたく、干渉縞の半径位置を正
確に検出することができないことがわかる。
ル波形が歪んでしまう場合には、干渉縞の光強度分布の
山の頂点はなだらかなカーブを描く。このため頂点のピ
ーク位置を正確に捕らえがたく、干渉縞の半径位置を正
確に検出することができないことがわかる。
【００１２】また、光強度分布の山の半値幅の中央値に
基づく波長検出は原理的にいって精度がよくないという
問題があった。すなわち、同図（ａ）に光強度分布の山
の半値幅の中央値を一点鎖線に示すように検出しても
（最大強度をＩmaxとして半値Ｉmax／２が定まり、この
半値に対応する半径ｒ1、ｒ2から半径ｒc＝（ｒ1＋ｒ
2）／２が求められる）、この検出位置に応じた半径ｒc
は求めたい、破線で示す干渉縞の半径位置とは一致しな
い。なお、同図（ｂ）はスペクトル波形が歪んでおら
ず、光強度のピーク値から正確に半径位置を検出できる
場合（半径はｒp）を示している。
基づく波長検出は原理的にいって精度がよくないという
問題があった。すなわち、同図（ａ）に光強度分布の山
の半値幅の中央値を一点鎖線に示すように検出しても
（最大強度をＩmaxとして半値Ｉmax／２が定まり、この
半値に対応する半径ｒ1、ｒ2から半径ｒc＝（ｒ1＋ｒ
2）／２が求められる）、この検出位置に応じた半径ｒc
は求めたい、破線で示す干渉縞の半径位置とは一致しな
い。なお、同図（ｂ）はスペクトル波形が歪んでおら
ず、光強度のピーク値から正確に半径位置を検出できる
場合（半径はｒp）を示している。
【００１３】本発明はこうした実状に鑑みてなされたも
のであり、光強度の所定値に対応する検出位置に基づき
光の波長を検出する場合に、たとえスペクトル波形が歪
んだりしたとしても精度よく波長を検出することができ
る波長検出装置を提供することをその目的としている。
のであり、光強度の所定値に対応する検出位置に基づき
光の波長を検出する場合に、たとえスペクトル波形が歪
んだりしたとしても精度よく波長を検出することができ
る波長検出装置を提供することをその目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】そこでこの発明では、分
光手段を通過した光を検出面に照射させることにより前
記光の干渉縞の光強度分布を光検出手段で検出し、前記
光強度の所定値に対応する前記検出面上の検出位置に基
づき前記光の波長を検出する波長検出装置において、前
記光強度の最大値よりも小さい所定の光強度に対応する
前記検出面上の２位置をそれぞれ前記干渉縞を形成する
内側の円の半径位置および外側の円の半径位置として前
記光検出手段で検出し、前記検出した内側半径位置に基
づき前記内側の円の半径の２乗を演算するとともに前記
検出した外側半径位置に基づき前記外側の円の半径の２
乗を演算し、これら両半径の２乗値の平均値に基づき前
記波長を演算するようにしている。
光手段を通過した光を検出面に照射させることにより前
記光の干渉縞の光強度分布を光検出手段で検出し、前記
光強度の所定値に対応する前記検出面上の検出位置に基
づき前記光の波長を検出する波長検出装置において、前
記光強度の最大値よりも小さい所定の光強度に対応する
前記検出面上の２位置をそれぞれ前記干渉縞を形成する
内側の円の半径位置および外側の円の半径位置として前
記光検出手段で検出し、前記検出した内側半径位置に基
づき前記内側の円の半径の２乗を演算するとともに前記
検出した外側半径位置に基づき前記外側の円の半径の２
乗を演算し、これら両半径の２乗値の平均値に基づき前
記波長を演算するようにしている。
【００１５】
【作用】すなわち、本発明では、分光手段を通過した光
の波長は、干渉縞を形成する同心円の半径の２乗に比例
するという原理に基づくものであり、光強度の最大値よ
りも小さい所定の光強度に対応する２位置として干渉縞
を形成する内側の円の半径位置と外側の円の半径位置と
が光検出手段で検出されると、検出した内側半径位置に
基づき内側の円の半径の２乗が演算されるとともに検出
した外側半径位置に基づき外側の円の半径の２乗が演算
され、これら両半径の２乗値の平均値に基づき中心波長
が正確に演算される。
の波長は、干渉縞を形成する同心円の半径の２乗に比例
するという原理に基づくものであり、光強度の最大値よ
りも小さい所定の光強度に対応する２位置として干渉縞
を形成する内側の円の半径位置と外側の円の半径位置と
が光検出手段で検出されると、検出した内側半径位置に
基づき内側の円の半径の２乗が演算されるとともに検出
した外側半径位置に基づき外側の円の半径の２乗が演算
され、これら両半径の２乗値の平均値に基づき中心波長
が正確に演算される。
【００１６】
【実施例】以下、図面を参照して本発明に係る波長検出
装置の実施例について説明する。図１は実施例装置の構
成を示したものである。この実施例では被検出光として
狭帯域発振エキシマレーザ１の出力光Ｌａが用いられ
る。なお、実施例では、狭帯域発振エキシマレーザとし
てＫｒＦエキシマレーザを想定している。
装置の実施例について説明する。図１は実施例装置の構
成を示したものである。この実施例では被検出光として
狭帯域発振エキシマレーザ１の出力光Ｌａが用いられ
る。なお、実施例では、狭帯域発振エキシマレーザとし
てＫｒＦエキシマレーザを想定している。
【００１７】基準光源としては、面光源である低圧水銀
ランプ２２が用いられ、低圧水銀ランプ２２で発生する
光が、この低圧水銀ランプ２２を囲む水銀ランプハウジ
ング２１の射出口から射出される。この射出光がバンド
バスフィルタＦＴを通過することにより、該フィルタＦ
Ｔにより波長２５３．７ｎｍの光のみが透過される。こ
の波長２５３．７ｎｍの光は低圧水銀ランプ２２に封入
された天然水銀蒸気の発振線である。なお、水銀ランプ
として低圧のものを使用するのは、波長２５３．７ｎｍ
線の強度が大きいという理由によるが、低圧ランプ以外
のランプを使用する実施も可能である。ハウジング２１
はランプ２２で発生する熱が大気中に拡散しないように
しており、また、ハウジング２１の壁面にはファン２３
が配設されている。ランプ２２にはランプ２２の雰囲気
温度を検出する温度センサ２５が付設されており、この
温度センサ２５の検出値は温度コントローラ２４に出力
される。温度コントローラ２４は温度センサ２５の検出
値をフィードバック量としてランプ２２の雰囲気温度が
一定温度になるようにファン２３に対して駆動信号を出
力する。
ランプ２２が用いられ、低圧水銀ランプ２２で発生する
光が、この低圧水銀ランプ２２を囲む水銀ランプハウジ
ング２１の射出口から射出される。この射出光がバンド
バスフィルタＦＴを通過することにより、該フィルタＦ
Ｔにより波長２５３．７ｎｍの光のみが透過される。こ
の波長２５３．７ｎｍの光は低圧水銀ランプ２２に封入
された天然水銀蒸気の発振線である。なお、水銀ランプ
として低圧のものを使用するのは、波長２５３．７ｎｍ
線の強度が大きいという理由によるが、低圧ランプ以外
のランプを使用する実施も可能である。ハウジング２１
はランプ２２で発生する熱が大気中に拡散しないように
しており、また、ハウジング２１の壁面にはファン２３
が配設されている。ランプ２２にはランプ２２の雰囲気
温度を検出する温度センサ２５が付設されており、この
温度センサ２５の検出値は温度コントローラ２４に出力
される。温度コントローラ２４は温度センサ２５の検出
値をフィードバック量としてランプ２２の雰囲気温度が
一定温度になるようにファン２３に対して駆動信号を出
力する。
【００１８】さて、狭帯域発振エキシマレーザ１から出
力されたレーザ光Ｌａの一部はビームスプリッタ３によ
ってサンプリングされ、このサンプリング光はスリガラ
ス５に照射、散乱されて、ビームスプリッタ４に照射さ
れる。また、ハウジング２１の射出口から出力された２
５３．７ｎｍ線は基準光Ｌｂとしてビームスプリッタ４
の他の面に照射される。
力されたレーザ光Ｌａの一部はビームスプリッタ３によ
ってサンプリングされ、このサンプリング光はスリガラ
ス５に照射、散乱されて、ビームスプリッタ４に照射さ
れる。また、ハウジング２１の射出口から出力された２
５３．７ｎｍ線は基準光Ｌｂとしてビームスプリッタ４
の他の面に照射される。
【００１９】スリガラス５により散乱されたサンプリン
グ光Ｌａの一部はビームスプリッタ４を透過してエタロ
ン６に照射される。またハウジング２１の射出口から出
力され、フィルタＦＴを透過した基準光Ｌｂの一部もビ
ームスプリッタ４で反射してエタロン６に照射される。
グ光Ｌａの一部はビームスプリッタ４を透過してエタロ
ン６に照射される。またハウジング２１の射出口から出
力され、フィルタＦＴを透過した基準光Ｌｂの一部もビ
ームスプリッタ４で反射してエタロン６に照射される。
【００２０】ここにエタロン６は、内側の面が部分反射
ミラーとされた２枚の透明板６ａ、６ｂから構成され、
エタロン６に対する入射光の角度に対応してそれぞれ透
過波長が異なるものである。すなわち、エタロン６は、
波長の異なる基準光Ｌｂおよびエキシマレーザ光Ｌａを
双方透過させるための反射膜を２波長コートしている。
なお、誘電体膜による反射膜であれば、基準光Ｌｂの波
長２５３．７ｎｍとエキシマレーザ光の波長２４８．３
９ｎｍに対する反射率はほとんど変わらないため、必ず
しも２波長コートをしなくてもよい。
ミラーとされた２枚の透明板６ａ、６ｂから構成され、
エタロン６に対する入射光の角度に対応してそれぞれ透
過波長が異なるものである。すなわち、エタロン６は、
波長の異なる基準光Ｌｂおよびエキシマレーザ光Ｌａを
双方透過させるための反射膜を２波長コートしている。
なお、誘電体膜による反射膜であれば、基準光Ｌｂの波
長２５３．７ｎｍとエキシマレーザ光の波長２４８．３
９ｎｍに対する反射率はほとんど変わらないため、必ず
しも２波長コートをしなくてもよい。
【００２１】このエタロン６を透過した光は集光レンズ
７に入射される。この集光レンズ７はたとえば、色収差
補正が施された色消しレンズであり、かかる色消し集光
レンズ７を経ることにより色収差が補正される。なお色
消しレンズを用いているのは、ＫｒＦエキシマレーザの
波長２４８．３９ｎｍと基準となる水銀蒸気発振線の波
長２５３．７ｎｍとが多少異なるためである。なお、色
消しレンズの替わりに凹面鏡を用いる実施も可能であ
る。
７に入射される。この集光レンズ７はたとえば、色収差
補正が施された色消しレンズであり、かかる色消し集光
レンズ７を経ることにより色収差が補正される。なお色
消しレンズを用いているのは、ＫｒＦエキシマレーザの
波長２４８．３９ｎｍと基準となる水銀蒸気発振線の波
長２５３．７ｎｍとが多少異なるためである。なお、色
消しレンズの替わりに凹面鏡を用いる実施も可能であ
る。
【００２２】光検出器８は集光レンズ７の焦点上に配設
されており、これにより集光レンズ７を経た光は、光検
出器８に結像され、この光検出器８の検出面上に基準光
の波長に対応した第１の干渉縞８ｂおよび被検出光の波
長に対応した第２の干渉縞８ａを形成する。光検出器８
ではこの第１および第２の干渉縞８ｂ、８ａの光強度分
布を検出し、検出信号を波長コントローラ１０に出力す
る。なお、光検出器８としては１次元または２次元のイ
メージセンサを用いて構成することができる。波長コン
トローラ１０のＣＰＵでは、入力された干渉縞の光強度
分布検出信号に基づき基準光の波長に対する被検出光の
波長の相対波長が検出され、既知の基準光の波長と検出
した相対波長に基づき被検出光の絶対波長が検出され
る。こうして被検出光であるエキシマレーザ光の絶対波
長が検出されたならば、コントローラ１０は狭帯域化素
子ドライバ１１を介して図示せぬレーザの共振器内に配
設された狭帯域化素子（たとえば２つのエタロンまたは
グレーティング）の角度等を変化させることによってエ
キシマレーザ光の発振波長を設定波長（目標値）に固定
するように制御し、波長安定化を行う。
されており、これにより集光レンズ７を経た光は、光検
出器８に結像され、この光検出器８の検出面上に基準光
の波長に対応した第１の干渉縞８ｂおよび被検出光の波
長に対応した第２の干渉縞８ａを形成する。光検出器８
ではこの第１および第２の干渉縞８ｂ、８ａの光強度分
布を検出し、検出信号を波長コントローラ１０に出力す
る。なお、光検出器８としては１次元または２次元のイ
メージセンサを用いて構成することができる。波長コン
トローラ１０のＣＰＵでは、入力された干渉縞の光強度
分布検出信号に基づき基準光の波長に対する被検出光の
波長の相対波長が検出され、既知の基準光の波長と検出
した相対波長に基づき被検出光の絶対波長が検出され
る。こうして被検出光であるエキシマレーザ光の絶対波
長が検出されたならば、コントローラ１０は狭帯域化素
子ドライバ１１を介して図示せぬレーザの共振器内に配
設された狭帯域化素子（たとえば２つのエタロンまたは
グレーティング）の角度等を変化させることによってエ
キシマレーザ光の発振波長を設定波長（目標値）に固定
するように制御し、波長安定化を行う。
【００２３】さて、ここで実施例に適用される原理につ
いて図５を参照して説明する。
いて図５を参照して説明する。
【００２４】図５はファブリペロ干渉計（モニタエタロ
ン）の原理を示したものである。なお、以下、式におい
てＸ＾NとあるのはＸのＮ乗を表すものとする。
ン）の原理を示したものである。なお、以下、式におい
てＸ＾NとあるのはＸのＮ乗を表すものとする。
【００２５】同図（ａ）に示すように光Ｌがミラー間隔
ｄのエタロン６に入射角度θをもって入射され、エタロ
ン６、集光レンズ７を透過すると集光レンズ７から焦点
距離ｆだけ離間した検出面上に光Ｌの干渉縞８ｃが形成
される。
ｄのエタロン６に入射角度θをもって入射され、エタロ
ン６、集光レンズ７を透過すると集光レンズ７から焦点
距離ｆだけ離間した検出面上に光Ｌの干渉縞８ｃが形成
される。
【００２６】ここで、エタロンの基本式は前述したよう
に（１）式、 ２ｎｄ・ｃｏｓθ＝ｍλ …（１） であり、（１）式で、角度θ＝０の時のｍをｍ0、波長
をλとすると、 ２ｎｄ＝ｍ0λ …（２） となる。（２）式ー（１）式を行い、これに半角公式
（ｃｏｓθ＝１ー２ｓｉｎ＾2（θ／２））を適用する
と、 ２ｓｉｎ＾2（θ／２）＝（λ／２ｎｄ）（ｍ0ーｍ） …（３） が得られる。角度θが比較的小さな角度の場合はｓｉｎ
（θ／２）＝θ／２と近似でき、これを（３）式に代入
して整理すると、 θ＾2＝（λ／ｎｄ）（ｍ0ーｍ） …（４） となる。ここで、同図（ｂ）に示すように干渉縞８ｃの
中心からの距離をｒとすれば、集光レンズ７の焦点距離
はｆであるから、 ｒ＝ｆθ＝ｆ（λ／ｎｄ）＾1/2（ｍ0ーｍ）＾1/2 …（５） となり、ｃ＝ｆ＾2・λ／（ｎｄ）として（５）式の両
辺を２乗すると、 ｒ＾2＝ｃ（ｍ0−ｍ） …（６） となる（図５（ｂ）参照）。
に（１）式、 ２ｎｄ・ｃｏｓθ＝ｍλ …（１） であり、（１）式で、角度θ＝０の時のｍをｍ0、波長
をλとすると、 ２ｎｄ＝ｍ0λ …（２） となる。（２）式ー（１）式を行い、これに半角公式
（ｃｏｓθ＝１ー２ｓｉｎ＾2（θ／２））を適用する
と、 ２ｓｉｎ＾2（θ／２）＝（λ／２ｎｄ）（ｍ0ーｍ） …（３） が得られる。角度θが比較的小さな角度の場合はｓｉｎ
（θ／２）＝θ／２と近似でき、これを（３）式に代入
して整理すると、 θ＾2＝（λ／ｎｄ）（ｍ0ーｍ） …（４） となる。ここで、同図（ｂ）に示すように干渉縞８ｃの
中心からの距離をｒとすれば、集光レンズ７の焦点距離
はｆであるから、 ｒ＝ｆθ＝ｆ（λ／ｎｄ）＾1/2（ｍ0ーｍ）＾1/2 …（５） となり、ｃ＝ｆ＾2・λ／（ｎｄ）として（５）式の両
辺を２乗すると、 ｒ＾2＝ｃ（ｍ0−ｍ） …（６） となる（図５（ｂ）参照）。
【００２７】ここで、ｐ番目とｐ＋１番目のピークを考
えると、（６）式より、 ｃ＝ｃ（ｍpーｍp+1）＝ｒp＾2ーｒp+1＾2…（７） となる。 また、（２）式において整数ｍを波長λで微
分すると、 Δλ＝（λ＾2／２ｎｄ）・Δｍ＝ＦＳＲ・Δｍ …（８） となる。ただし、ＦＳＲ＝（λ＾2／２ｎｄ）は、エタ
ロン６のフリースペクトルレンジである。ここで、
（８）式に（６）式を代入すると、 Δλ＝ＦＳＲ・ｒ＾2／ｃ …（９） となる。ここでｍ＝ｍ0のときの波長をλ0とすると、求
める波長λは（９）式から、 λ＝λ0ーＦＳＲ・ｒ＾2／ｃ …（１０） として得られる。ここで（１０）式は、波長λが干渉縞
８ｃの半径ｒ＾2に比例していることを示している。し
たがって、干渉縞の半径の２乗を正しく求めることがで
きれば、被検出光の波長を正確に求め得る。
えると、（６）式より、 ｃ＝ｃ（ｍpーｍp+1）＝ｒp＾2ーｒp+1＾2…（７） となる。 また、（２）式において整数ｍを波長λで微
分すると、 Δλ＝（λ＾2／２ｎｄ）・Δｍ＝ＦＳＲ・Δｍ …（８） となる。ただし、ＦＳＲ＝（λ＾2／２ｎｄ）は、エタ
ロン６のフリースペクトルレンジである。ここで、
（８）式に（６）式を代入すると、 Δλ＝ＦＳＲ・ｒ＾2／ｃ …（９） となる。ここでｍ＝ｍ0のときの波長をλ0とすると、求
める波長λは（９）式から、 λ＝λ0ーＦＳＲ・ｒ＾2／ｃ …（１０） として得られる。ここで（１０）式は、波長λが干渉縞
８ｃの半径ｒ＾2に比例していることを示している。し
たがって、干渉縞の半径の２乗を正しく求めることがで
きれば、被検出光の波長を正確に求め得る。
【００２８】以下、図２を参照しつつ、上記波長コント
ローラ１０で行われる処理について説明する。
ローラ１０で行われる処理について説明する。
【００２９】まず、ステップ１０１では基準光Ｌｂがハ
ウジング２１の射出口から出力されるとともに、被検出
光であるレーザ光Ｌａが発振されて、これら両光がエタ
ロン６に入射される（ステップ１０１）。このため、光
検出器８で第１の干渉縞８ｂ（基準光）の光強度分布が
検出されるとともに、第２の干渉縞８ａ（レーザ光）の
光強度分布が検出される（ステップ１０２）。
ウジング２１の射出口から出力されるとともに、被検出
光であるレーザ光Ｌａが発振されて、これら両光がエタ
ロン６に入射される（ステップ１０１）。このため、光
検出器８で第１の干渉縞８ｂ（基準光）の光強度分布が
検出されるとともに、第２の干渉縞８ａ（レーザ光）の
光強度分布が検出される（ステップ１０２）。
【００３０】図３（ａ）は上記検出された基準光Ｌｂの
第１の干渉縞８ｂの光強度分布を示したものであり、横
軸は検出面上の位置を、縦軸は光強度Ｉを示す。
第１の干渉縞８ｂの光強度分布を示したものであり、横
軸は検出面上の位置を、縦軸は光強度Ｉを示す。
【００３１】同図（ａ）に示すように、コントローラ１
０のＣＰＵは光強度分布信号に基づき光強度の最大値Ｉ
ｍａｘを検出し、この半値Ｉｍａｘ／２を演算する。そ
して、この半値Ｉｍａｘ／２に対応する２位置Ａ、Ｂを
干渉縞８ｂを形成する内側の円の半径を示す位置、外側
の円の半径を示す位置であるとして検出する。これら２
位置は干渉縞８ｂの２つの山についてそれぞれ求めてお
く（ステップ１０３）。
０のＣＰＵは光強度分布信号に基づき光強度の最大値Ｉ
ｍａｘを検出し、この半値Ｉｍａｘ／２を演算する。そ
して、この半値Ｉｍａｘ／２に対応する２位置Ａ、Ｂを
干渉縞８ｂを形成する内側の円の半径を示す位置、外側
の円の半径を示す位置であるとして検出する。これら２
位置は干渉縞８ｂの２つの山についてそれぞれ求めてお
く（ステップ１０３）。
【００３２】つぎに２つの山の検出位置Ａ，Ａ間の距離
２ｒ1は内側円の直径を表すので、これより内側円の半
径ｒ1が演算される。同様にして、検出位置Ｂ、Ｂ間の
距離２ｒ2から外側円の半径ｒ2が演算される（ステップ
１０４）。
２ｒ1は内側円の直径を表すので、これより内側円の半
径ｒ1が演算される。同様にして、検出位置Ｂ、Ｂ間の
距離２ｒ2から外側円の半径ｒ2が演算される（ステップ
１０４）。
【００３３】そして、これら求めた両半径の２乗値ｒ1
＾2、ｒ2＾2の平均値を求める演算、 ｒm＾2＝（ｒ1＾2＋ｒ2＾2）／２ …（１１） が行われる。こうして得られるｒm＾2は第１の干渉縞８
ｂの半径ｒmの２乗を示している。
＾2、ｒ2＾2の平均値を求める演算、 ｒm＾2＝（ｒ1＾2＋ｒ2＾2）／２ …（１１） が行われる。こうして得られるｒm＾2は第１の干渉縞８
ｂの半径ｒmの２乗を示している。
【００３４】ここで、上記（８）式から明かなように半
径ｒmは光強度の最大値に対応する半径位置から求めた
半径ｒpと一致していており（図６（ｂ）参照）、干渉
縞の半径位置が精度よく検出されているのがわかる。し
かも、実施例の演算では、ピーク位置に対応する位置を
検出することはしていないので、たとえスペクトル波形
が歪んでしまい、ピーク位置の検出が困難な場合であっ
ても、確実に干渉縞の半径位置を求めることができる
（ステップ１０５）。なお、上記ステップ１０３〜１０
５の処理は被検出光Ｌａについても行われ、上記（１
１）式と同様にして第２の干渉縞８ａの半径ｒ´mの２
乗ｒ´m＾2が演算される。
径ｒmは光強度の最大値に対応する半径位置から求めた
半径ｒpと一致していており（図６（ｂ）参照）、干渉
縞の半径位置が精度よく検出されているのがわかる。し
かも、実施例の演算では、ピーク位置に対応する位置を
検出することはしていないので、たとえスペクトル波形
が歪んでしまい、ピーク位置の検出が困難な場合であっ
ても、確実に干渉縞の半径位置を求めることができる
（ステップ１０５）。なお、上記ステップ１０３〜１０
５の処理は被検出光Ｌａについても行われ、上記（１
１）式と同様にして第２の干渉縞８ａの半径ｒ´mの２
乗ｒ´m＾2が演算される。
【００３５】そしてつぎに、演算された基準光の干渉縞
８ｂの半径の２乗値ｒm＾2と被検出光の干渉縞８ａの半
径の２乗値ｒ´m＾2と、基準光Ｌｂの既知の波長２５
３．７ｎｍとから被検出光である出力レーザ光の波長λ
が演算される。この演算は、波長は干渉縞の半径の２乗
に比例するという上述した原理に基づくものである。
８ｂの半径の２乗値ｒm＾2と被検出光の干渉縞８ａの半
径の２乗値ｒ´m＾2と、基準光Ｌｂの既知の波長２５
３．７ｎｍとから被検出光である出力レーザ光の波長λ
が演算される。この演算は、波長は干渉縞の半径の２乗
に比例するという上述した原理に基づくものである。
【００３６】すなわち、上記エタロンの基本式（１）に
おいて、ｍsを基準光に対応する整数、ｍｅを被検出光
に対応する整数、λsを基準光の波長、λｅを被検出光
の波長、ｎsを基準光のエアギャップ内の屈折率、ｎｅ
を被検出光のエアギャップ内の屈折率とすると、 ｍs・λs＝２ｎs・ｄ・ｃｏｓθ …（１２） ｍe・λe＝２ｎe・ｄ・ｃｏｓθ …（１３） となる。ここで、基準光の干渉縞と被検出光の干渉縞の
直径が一致する場合の波長λeは、上記（１２）、（１
３）式からｄ・ｃｏｓθを消去して整理して求めると、 λe＝（ｎe／ｎs）・（ｍs／ｍｅ）・λs …（１４） となる。したがって、被検出光の干渉縞の半径をｒm
´、基準光の干渉縞の半径をｒmとすると、上記（９）
式より出力レーザ光の波長λは、 λーλe＝ＦＳＲ・（ｒm＾2ーｒm´＾2）／ｃ …（１５） という関係から求めることができる。ここで、基準光と
出力レーザ光とは同一のエタロン６を透過したものであ
るから、エタロン６の温度等が変化したとしても、この
変化による誤差が相殺されて絶対波長を精度よく検出す
ることができる（ステップ１０６）。
おいて、ｍsを基準光に対応する整数、ｍｅを被検出光
に対応する整数、λsを基準光の波長、λｅを被検出光
の波長、ｎsを基準光のエアギャップ内の屈折率、ｎｅ
を被検出光のエアギャップ内の屈折率とすると、 ｍs・λs＝２ｎs・ｄ・ｃｏｓθ …（１２） ｍe・λe＝２ｎe・ｄ・ｃｏｓθ …（１３） となる。ここで、基準光の干渉縞と被検出光の干渉縞の
直径が一致する場合の波長λeは、上記（１２）、（１
３）式からｄ・ｃｏｓθを消去して整理して求めると、 λe＝（ｎe／ｎs）・（ｍs／ｍｅ）・λs …（１４） となる。したがって、被検出光の干渉縞の半径をｒm
´、基準光の干渉縞の半径をｒmとすると、上記（９）
式より出力レーザ光の波長λは、 λーλe＝ＦＳＲ・（ｒm＾2ーｒm´＾2）／ｃ …（１５） という関係から求めることができる。ここで、基準光と
出力レーザ光とは同一のエタロン６を透過したものであ
るから、エタロン６の温度等が変化したとしても、この
変化による誤差が相殺されて絶対波長を精度よく検出す
ることができる（ステップ１０６）。
【００３７】こうして被検出光（エキシマレーザ光）の
絶対波長が検出されると、設定波長（目標値）と検出絶
対波長との差Δλが計算され、コントローラ１０は計算
Δλに応じて狭帯域化素子ドライバ１１を介して図示せ
ぬ共振器内のエタロンの角度等を変化させる。この結
果、上記エタロンを透過するエキシマレーザ光の波長が
Δλだけシフトされて、設定波長（目標値）に固定され
る。
絶対波長が検出されると、設定波長（目標値）と検出絶
対波長との差Δλが計算され、コントローラ１０は計算
Δλに応じて狭帯域化素子ドライバ１１を介して図示せ
ぬ共振器内のエタロンの角度等を変化させる。この結
果、上記エタロンを透過するエキシマレーザ光の波長が
Δλだけシフトされて、設定波長（目標値）に固定され
る。
【００３８】なお、このフローチャートでは、基準光お
よび被検出光の干渉縞を同時に検出するようにしている
が、両干渉縞の位置は近く、同時に検出することは困難
な場合がある。そこで、基準光の干渉縞を検出し、その
後、エキシマレーザ光を発振させ、その干渉縞を検出す
るという具合に両者を別の時刻において検出する実施も
可能である。
よび被検出光の干渉縞を同時に検出するようにしている
が、両干渉縞の位置は近く、同時に検出することは困難
な場合がある。そこで、基準光の干渉縞を検出し、その
後、エキシマレーザ光を発振させ、その干渉縞を検出す
るという具合に両者を別の時刻において検出する実施も
可能である。
【００３９】また、実施例では、光強度の最大値Ｉmax
の半値Ｉmax／２に対応する半径ｒ1、ｒ2から干渉縞の
半径の２乗を演算するようにしているが、図３（ｂ）に
示すように最大値Ｉmaxのａ分の１の値に対応する半径
ｒ1、ｒ2から干渉縞の半径ｒmを演算する実施も可能で
ある。
の半値Ｉmax／２に対応する半径ｒ1、ｒ2から干渉縞の
半径の２乗を演算するようにしているが、図３（ｂ）に
示すように最大値Ｉmaxのａ分の１の値に対応する半径
ｒ1、ｒ2から干渉縞の半径ｒmを演算する実施も可能で
ある。
【００４０】また、図３（ｃ）に示すように光強度の最
大値Ｉmaxを検出するとともに、最小値Ｉminを検出し、
これらの平均値Ｉav＝（Ｉmax＋Ｉmin）／２に対応する
半径ｒ1、ｒ2から干渉縞の半径ｒmを演算する実施も可
能である。この場合は特に光のスペクトル線幅が大きい
場合や水銀蒸気の２５３．７ｎｍ発振線のようにスペク
トル線が何本も重なり合っている場合に非常に高精度に
干渉縞の半径を求めることができる。
大値Ｉmaxを検出するとともに、最小値Ｉminを検出し、
これらの平均値Ｉav＝（Ｉmax＋Ｉmin）／２に対応する
半径ｒ1、ｒ2から干渉縞の半径ｒmを演算する実施も可
能である。この場合は特に光のスペクトル線幅が大きい
場合や水銀蒸気の２５３．７ｎｍ発振線のようにスペク
トル線が何本も重なり合っている場合に非常に高精度に
干渉縞の半径を求めることができる。
【００４１】ところで、基準光たる水銀蒸気の発振線は
温度に応じてその光強度分布が変化する。図４は水銀ラ
ンプ２２の雰囲気温度が４５°Ｃ（同図（ａ））、同温
度が６５°Ｃ（同図（ｂ））、同温度が７０°Ｃの場合
の光強度分布を示している。これら図から明かなように
水銀蒸気の温度を上昇させていくと、干渉縞８ｂは所定
の水銀同位体の発振線（波長２５３．６５０６３ｎｍ）
に対応する干渉縞と所定の水銀同位体の発振線（波長２
５３．６５２７７ｎｍ）に対応する干渉縞とに徐々に分
離され、光強度分布の山３０は、山３１と山３２とに分
離される。温度コントローラ２４はランプ２２の温度を
一定値にしてスペクトル波形を安定化させるようにして
いる。
温度に応じてその光強度分布が変化する。図４は水銀ラ
ンプ２２の雰囲気温度が４５°Ｃ（同図（ａ））、同温
度が６５°Ｃ（同図（ｂ））、同温度が７０°Ｃの場合
の光強度分布を示している。これら図から明かなように
水銀蒸気の温度を上昇させていくと、干渉縞８ｂは所定
の水銀同位体の発振線（波長２５３．６５０６３ｎｍ）
に対応する干渉縞と所定の水銀同位体の発振線（波長２
５３．６５２７７ｎｍ）に対応する干渉縞とに徐々に分
離され、光強度分布の山３０は、山３１と山３２とに分
離される。温度コントローラ２４はランプ２２の温度を
一定値にしてスペクトル波形を安定化させるようにして
いる。
【００４２】天然水銀の２５３．７ｎｍ線を基準光とす
る場合の波長は次のようにして求める。一種類の同位体
のみを封入した水銀ランプの干渉縞と或る一定温度に制
御した天然水銀ランプの干渉縞を上述した演算を行っ
て、両水銀ランプの波長差Δλを計算する。そして予め
判明している一種類の同位体のみの場合の波長λ0にΔ
λを加算することによって一定温度に制御した天然水銀
ランプの波長を求めることができる。
る場合の波長は次のようにして求める。一種類の同位体
のみを封入した水銀ランプの干渉縞と或る一定温度に制
御した天然水銀ランプの干渉縞を上述した演算を行っ
て、両水銀ランプの波長差Δλを計算する。そして予め
判明している一種類の同位体のみの場合の波長λ0にΔ
λを加算することによって一定温度に制御した天然水銀
ランプの波長を求めることができる。
【００４３】なお、実施例では被検出光としてＫｒＦエ
キシマレーザ光を想定しているが、ＡｒＦエキシマレー
ザ光を被検出光とする実施も可能である。
キシマレーザ光を想定しているが、ＡｒＦエキシマレー
ザ光を被検出光とする実施も可能である。
【００４４】また、実施例では、エキシマレーザの波長
制御装置に適用した場合について説明したが、これに限
定されることなく、光の波長を精度よく検出することが
必要な装置であれば、任意に適用可能である。
制御装置に適用した場合について説明したが、これに限
定されることなく、光の波長を精度よく検出することが
必要な装置であれば、任意に適用可能である。
【００４５】なお、実施例ではエタロン６を用いている
が、これに限定されることなく回折格子等、所定の分光
手段を用いることができる。
が、これに限定されることなく回折格子等、所定の分光
手段を用いることができる。
【００４６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、た
とえスペクトル波形が歪んだりしてピーク位置を検出し
難い場合でも、波長を正確かつ確実に検出することがで
きる。このため本発明の波長検出装置を狭帯域発振エキ
シマレーザに搭載することによってエキシマレーザ光の
波長が精度よく検出され、発振波長を高精度に安定化す
ることができるようになる。
とえスペクトル波形が歪んだりしてピーク位置を検出し
難い場合でも、波長を正確かつ確実に検出することがで
きる。このため本発明の波長検出装置を狭帯域発振エキ
シマレーザに搭載することによってエキシマレーザ光の
波長が精度よく検出され、発振波長を高精度に安定化す
ることができるようになる。
【図１】図１は本発明に係る波長検出装置を狭帯域発振
エキシマレーザの出力レーザ光の波長検出に適用した一
実施例を示す図である。
エキシマレーザの出力レーザ光の波長検出に適用した一
実施例を示す図である。
【図２】図２は図１に示す波長コントローラで行われる
波長検出処理の手順を例示したフローチャートである。
波長検出処理の手順を例示したフローチャートである。
【図３】図３は図１に示す光検出器上の位置と光強度と
の関係を示す図である。
の関係を示す図である。
【図４】図４は水銀ランプの温度変化に応じて変化する
基準光の光強度分布の変化の様子を示す図である。
基準光の光強度分布の変化の様子を示す図である。
【図５】図５は本発明に適用される原理を説明するため
に用いた図である。
に用いた図である。
【図６】図６は光検出器上の位置と光強度との関係を示
す図であり、従来の技術を説明するために用いた図であ
る。
す図であり、従来の技術を説明するために用いた図であ
る。
６ エタロン ８ 光検出器 ８ａ 干渉縞 ８ｂ 干渉縞 ２２ 水銀ランプ Ｌａ 被検出光 Ｌｂ 基準光 １０ 波長コントローラ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−101683（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−199584（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−36622（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−39582（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−153583（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−144321（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−238329（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−199584（ＪＰ，Ａ) ＡＰＰＬＩＥＤ ＯＰＴＩＣＳ Ｖｏ ｌ．26 Ｎｏ．17 ｐ．3659−3662 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01S 3/00 H01S 3/13 - 3/139 G01J 3/00 - 3/52
Claims (8)
- 【請求項１】 分光手段を通過した光を検出面に照
射させることにより前記光の干渉縞の光強度分布を光検
出手段で検出し、前記光強度の所定値に対応する前記検
出面上の検出位置に基づき前記光の波長を検出する波長
検出装置において、前記光強度の最大値よりも小さい所
定の光強度に対応する前記検出面上の２位置をそれぞれ
前記干渉縞を形成する内側の円の半径位置および外側の
円の半径位置として前記光検出手段で検出し、前記検出
した内側半径位置に基づき前記内側の円の半径の２乗を
演算するとともに前記検出した外側半径位置に基づき前
記外側の円の半径の２乗を演算し、これら両半径の２乗
値の平均値に基づき前記波長を演算するようにした波長
検出装置。 - 【請求項２】 前記分光手段としてエタロンを用い
た請求項１記載の波長検出装置。 - 【請求項３】 前記所定の光強度は、前記光強度の
最大値の略２分の１である請求項１記載の波長検出装
置。 - 【請求項４】 前記所定の光強度は、前記光強度の
最大値と最小値との略平均値である請求項１記載の波長
検出装置。 - 【請求項５】 基準光源から発生される基準光と被
検出光とを分光手段に照射させ、該分光手段を通過した
光を検出面に照射させることにより前記基準光および被
検出光にそれぞれ対応する第１および第２の干渉縞の光
強度分布を光検出手段で検出し、前記第１および第２の
干渉縞の光強度の所定値にそれぞれ対応する前記検出面
上の第１および第２の検出位置と前記基準光の既知の波
長とに基づき前記被検出光の波長を検出する波長検出装
置において、前記光検出手段によって前記第１の干渉縞
の光強度の最大値よりも小さい所定の光強度に対応する
前記検出面上の２位置をそれぞれ前記第１の干渉縞を形
成する内側の円の半径位置および外側の円の半径位置と
して検出するとともに、前記第２の干渉縞の光強度の最
大値よりも小さい所定の光強度に対応する前記検出面上
の２位置をそれぞれ前記第２の干渉縞を形成する内側の
円の半径位置および外側の円の半径位置として検出し、
前記検出した第１の干渉縞の内側半径位置に基づき前記
内側の円の半径の２乗を演算するとともに前記検出した
第１の干渉縞の外側半径位置に基づき前記外側の円の半
径の２乗を演算して得られた両半径の２乗値の平均値
と、前記検出した第２の干渉縞の内側半径位置に基づき
前記内側の円の半径の２乗を演算するとともに前記検出
した第２の干渉縞の外側半径位置に基づき前記外側の円
の半径の２乗を演算して得られた両半径の２乗値の平均
値と、前記基準光の既知の波長とに基づき前記被検出光
の波長を演算するようにした波長検出装置。 - 【請求項６】 前記被検出光は、狭帯域発振エキシ
マレーザ光であり、前記波長検出装置で検出した波長
を、前記狭帯域発振エキシマレーザ光の発振波長を設定
波長に固定する制御に用いるようにした請求項５記載の
波長検出装置。 - 【請求項７】 前記基準光源は、水銀蒸気が封入さ
れた水銀ランプであり、該水銀蒸気からの発振線を前記
基準光とした請求項５記載の波長検出装置。 - 【請求項８】 前記水銀蒸気の温度が所定値になる
よう制御する請求項７記載の波長検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15703891A JP2997956B2 (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | 波長検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15703891A JP2997956B2 (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | 波長検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH057031A JPH057031A (ja) | 1993-01-14 |
| JP2997956B2 true JP2997956B2 (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=15640838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15703891A Expired - Fee Related JP2997956B2 (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | 波長検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2997956B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109314366A (zh) * | 2016-07-22 | 2019-02-05 | 极光先进雷射株式会社 | 窄带化KrF准分子激光装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6243170B1 (en) | 1999-02-04 | 2001-06-05 | Cymer, Inc. | Double pass etalon spectrometer |
| US6320663B1 (en) | 1999-01-22 | 2001-11-20 | Cymer, Inc. | Method and device for spectral measurements of laser beam |
| US6359693B2 (en) | 1999-02-04 | 2002-03-19 | Cymer, Inc. | Double pass double etalon spectrometer |
| JP4615147B2 (ja) * | 2001-05-24 | 2011-01-19 | ギガフォトン株式会社 | 光スペクトル検出装置及びそれを用いた分光装置とレーザ装置 |
| JP4629910B2 (ja) * | 2001-05-24 | 2011-02-09 | ギガフォトン株式会社 | 光スペクトル検出方法、及び、それを用いた光スペクトル検出プログラム、光スペクトル検出装置、分光装置、レーザ装置 |
| WO2016084263A1 (ja) | 2014-11-28 | 2016-06-02 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化レーザ装置 |
| CN108352673B (zh) | 2015-12-10 | 2020-07-24 | 极光先进雷射株式会社 | 窄带化激光装置和谱线宽度计测装置 |
| WO2021262373A1 (en) | 2020-06-24 | 2021-12-30 | Cymer, Llc | Determination of measurement error in an etalon |
-
1991
- 1991-06-27 JP JP15703891A patent/JP2997956B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ＡＰＰＬＩＥＤ ＯＰＴＩＣＳ Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．１７ ｐ．３６５９−３６６２ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109314366A (zh) * | 2016-07-22 | 2019-02-05 | 极光先进雷射株式会社 | 窄带化KrF准分子激光装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH057031A (ja) | 1993-01-14 |
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Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081105 |
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Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091105 |
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Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101105 |
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