CN107041119A - 部件安装系统以及部件安装方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种部件安装系统以及部件安装方法。在具有进行部件安装后的安装检查的检查装置的部件安装系统中，基于包括反馈的部件的位置偏离信息的基板检查信息来计算修正安装程序的修正值，通过基于计算出的修正值而修正后的安装程序而向基板安装部件，作为在该部件安装作业中基于基板检查信息表示安装时的精度的评价值，与基于最近的基板检查信息的“当前值”一起，一并使假定未进行基于计算出的修正值的修正的情况下的临时的位置偏离量而计算出的“修正前评价值”显示于评价值显示画面。

Description

部件安装系统以及部件安装方法

技术领域

本发明涉及向基板安装部件的部件安装系统以及部件安装方法。

背景技术

向基板安装部件来制造安装基板的部件安装系统是连结向基板印刷部件接合用焊料的焊料印刷装置、向焊料印刷后的基板安装部件的部件安装装置等的多个安装用装置而构成的。部件安装装置进行部件安装后的基板成为检查装置的检查对象，并执行如下动作，即，通过光学检查等检查部件的安装状态。在这种构成的部件安装系统中，以往提出了基于检查部件安装后的基板而获得的部件的位置偏离信息等来作成对部件安装装置的安装程序进行修正的修正信息并进行反馈的系统(例如专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-216353号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够明确地掌握检查结果的反馈所带来的修正效果来确认设备中的不良状况的部件安装系统以及部件安装方法。

用于解决课题的手段

本发明的部件安装系统具有：修正值计算部，基于至少包括向基板安装的部件的位置偏离信息的基板检查信息，来计算修正安装程序的修正值；部件安装部，通过基于由修正值计算部计算出的修正值而修正后的安装程序，向基板安装部件；评价值计算部，基于基板检查信息来计算表示部件安装部进行安装时的精度的评价值；和显示部，显示由评价值计算部计算出的评价值，评价值计算部计算特定时间点评价值和修正前评价值作为评价值，该特定时间点评价值是基于特定时间点的基板检查信息而计算出的评价值，该修正前评价值是基于从特定时间点的基板检查信息减去部件安装部向成为特定时间点的基板检查信息的对象的基板进行了安装时利用的修正值所得到的信息而计算出的，显示部显示最近评价值和修正前评价值。

本发明的部件安装方法，基于至少包括向基板安装的部件的位置偏离信息的基板检查信息，来计算修正安装程序的修正值，通过基于计算出的修正值而修正后的安装程序，向基板安装部件，基于基板检查信息来计算表示安装时的精度的评价值，显示计算出的评价值，评价值是特定时间点评价值和修正前评价值，该特定时间点评价值是基于特定时间点的基板检查信息而计算出的评价值，该修正前评价值是基于从特定时间点的基板检查信息减去向成为特定时间点的基板检查信息的对象的基板进行安装时利用的修正值得到的信息而计算出的，显示特定时间点评价值和修正前评价值。

发明效果

根据本发明，能够使得检查结果的反馈的修正效果明确地确认设备中的不良的状况。

附图说明

图1是本发明的一实施方式的部件安装系统的构成说明图。

图2是表示本发明的一实施方式的部件安装系统中利用的部件安装装置的构成的俯视图。

图3是本发明的一实施方式的部件安装系统中利用的部件安装装置的部分剖视图。

图4是本发明的一实施方式的部件安装系统中利用的部件安装装置的安装头以及部件供给部的构成说明图。

图5是表示本发明的一实施方式的部件安装系统的控制系统的构成的框图。

图6是本发明的一实施方式的部件安装系统中的安装后检查的说明图。

图7A是在本发明的一实施方式的部件安装系统中计算的工序能力指数的说明图。

图7B是在本发明的一实施方式的部件安装系统中计算的工序能力指数的说明图。

图8是表示本发明的一实施方式的部件安装方法中的评价值显示画面的说明图。

图9是表示本发明的一实施方式的部件安装方法中的评价值的当前值与修正前估算值的变动的图表。

符号说明

1 部件安装系统

6 基板

6a 安装区域

8 带式供给器

11 安装头

11a 吸附喷嘴

P 部件

ΔX、ΔY、Δθ 位置偏离量

具体实施方式

在说明本发明的实施方式之前，先简单地说明以往的系统中的问题点。在包括上述的专利文献例在内的以往的在先技术之中，存在以下的不足。即，虽然通过向安装程序反馈部件安装后的检查结果从而部件的安装精度被维持在高精度，但由于从安装后的检查结果之中只能确认位置偏离信息等最终部件的安装信息，因此无法确认被反馈的修正信息在最终部件的安装信息之中占有多少，从而无法明确地掌握被反馈的修正信息的效果。即，实际上即便发生部件安装装置等设备的不良，也会通过检查结果的反馈而被修正，从而设备的不良不会变得显著，因此无法判断实际上是否需要更正设备不良的维护。

其次，参照附图来说明本发明的实施方式。首先，参照图1，说明应用本实施方式的部件安装系统1的构成。部件安装系统1具有向基板安装电子部件来制造安装基板的功能，并具有焊料印刷装置M1、部件安装装置M2、M3以及检查装置M4。这些装置经由通信网络2而与管理计算机3连接。

焊料印刷装置M1向安装对象的基板丝网印刷部件接合用的焊料。部件安装装置M2、M3通过部件安装部10(参照图2)来执行如下的部件安装作业，即，将从部件供给部取出的部件移送搭载至印刷有部件接合用的焊料的基板。检查装置M4对由部件安装装置M2、M3安装部件的安装后的基板中的部件的安装状态进行检查来检测从准确的安装位置的位置偏离状态。管理计算机3不仅具有线管理功能，还具有基于由检查装置M4获取到的基板检查信息来计算表示部件安装装置M2、M3安装时的精度的评价值的功能。

接下来，参照图2、图3，说明部件安装装置M2、M3的构成。另外，图3表示图2中的A-A剖面。在图2中，在基台4的上表面的中央，在X方向(基板搬送方向)上配设有基板搬送机构5，基板搬送机构5搬送从上游侧装置转移的基板6，并将基板6定位保持至以下说明的部件安装部10的安装作业位置。在本实施方式中，在基板6设定有将该基板中的安装范围分割为栅格状的分块区域而成的安装区域6a(i)。在计算前述的评价值的过程中，能够按照由索引(i)确定的每个安装区域6a来单独地计算评价值。

在基板搬送机构5的两侧配置有部件供给部7，在部件供给部7并排设置有多个带式供给器8。带式供给器8通过对保持有安装对象的部件的载带进行间距传送，由此向部件安装部的安装头的部件吸附位置供给部件。在基台4的上表面，在X方向的一侧的端部，在与X方向正交的Y方向上配设有Y轴梁部13，在Y轴梁部13上结合2台X轴梁部12以在Y方向上自如移动。

在2台X轴梁部12上分别装有安装头11以在X方向上自如移动。安装头11是具有多个保持头11b(参照图4)的多联型头，在各个保持头11b的下端部，如图3所示那样装有能够吸附保持电子部件并单独升降的吸附喷嘴11a。

通过驱动Y轴梁部13和X轴梁部12，从而安装头11在X方向、Y方向上移动。由此，2个安装头11通过吸附喷嘴11a从分别对应的部件供给部7的带式供给器8的部件吸附位置吸附保持并取出部件，然后将部件移送搭载至被基板搬送机构5定位的基板6的安装点。Y轴梁部13、X轴梁部12以及安装头11构成了向基板6安装部件的部件安装部10。

在部件供给部7与基板搬送机构5之间配设有部件辨识摄像机9。当从部件供给部7取出部件的安装头11在部件辨识摄像机9的上方移动时，部件辨识摄像机9对被保持于安装头11的状态的部件进行摄像来辨识。在安装头11装有位于X轴梁部12的下表面侧且分别与安装头11一体地移动的基板辨识摄像机14。通过安装头11的移动，从而基板辨识摄像机14移动至被基板搬送机构5定位的基板6的上方，对基板6进行摄像来辨识。在安装头11向基板6安装部件的部件安装动作中，考虑部件辨识摄像机9的部件的辨识结果与基板辨识摄像机14的基板辨识结果来进行搭载位置修正。

如图3所示，在部件供给部7设置了在供给器基底15a预先装有多个带式供给器8的状态的台车15。在供给器基底15a设定了用于对装有各个带式供给器8的供给器位置进行确定的供给器地址。设置于供给器基底15a的各个带式供给器8(i)经由这些供给器地址来确定。在装于部件供给部7的台车15保持了容纳有部件的载带17以卷绕状态进行容纳的供给卷筒16。从供给卷筒16抽出的载带17被带式供给器8间距传送至吸附喷嘴11a的部件吸附位置。

如图4所示，安装头11是具有多个保持头11b的多联头，各保持头11b具有驱动机构11c。通过对驱动机构11c进行驱动，从而能够使装于各保持头11b的下端部的吸附喷嘴11a升降(箭头a)，并且使吸附喷嘴11a绕着喷嘴轴AN旋转(箭头b)。

在部件安装部10的部件安装作业中，反复执行如下的单位作业，即，由安装头11具有的吸附喷嘴11a从装于部件供给部7的带式供给器8之中取出部件并移送搭载至基板6。在该部件安装作业中，按照各个单位作业的每一个来确定基板6中的安装区域6a(i)(参照图2)、部件供给部7中的带式供给器8(i)、部件安装系统1内的部件安装装置M2、M3中的安装头11(i)、以及安装头11中的吸附喷嘴11a(i)。

并且，在表示由检查装置M4执行的安装后检查的检查结果的基板检查信息之中，检查结果与由索引(i)单独确定的安装区域6a(i)、带式供给器8(i)、安装头11(i)、吸附喷嘴11a(i)单独地建立关联。由此，能够按照安装区域6a(i)、带式供给器8(i)、安装头11(i)、吸附喷嘴11a(i)的各自的评价对象的每一个来求出表示部件安装部10安装时的精度的评价值。

接下来，参照图5，说明控制系统的构成。在图5中，管理计算机3、部件安装装置M2、M3以及检查装置M4经由通信网络2而连接。部件安装装置M2、M3具有安装控制部20、存储部21、运算处理部23、显示部24、以及辨识处理部25。安装控制部20基于存储部21中存储的程序、数据来控制以下的各部分。在存储部21中存储有用于执行前述的部件安装作业的安装程序22，安装控制部20基于安装程序22控制部件安装部10(参照图1)，由此来执行部件安装作业。

运算处理部23是部件安装装置M2、M3具有的运算功能部，根据需要来执行后述的修正值计算处理、评价值计算处理等的运算处理。另外，在由管理计算机3具有的运算处理部46来执行这些运算处理的情况下，不需要运算处理部23的功能。显示部24是液晶面板等的显示装置，根据需要来显示由运算处理部23执行的运算结果等。

辨识处理部25对基板辨识摄像机14、部件辨识摄像机9的摄像结果进行辨识处理。通过对基板辨识摄像机14的摄像结果进行辨识处理，由此来检测基板6的位置，通过对部件辨识摄像机9的摄像结果进行辨识处理，由此来检测被保持于安装头11的状态下的部件的位置。在部件安装部10的部件安装作业中，安装控制部20考虑这些位置检测结果来控制部件安装部10。

检查装置M4具有检查控制部30、存储部31、以及检查处理部34，检查处理部34基于检查用摄像机35(省略图示)的摄像结果来进行给定的检查处理。检查控制部30基于存储部31中存储的程序、数据来控制以下的各部分。在存储部31中存储有用于执行前述的检查处理的检查用数据32，检查处理部34的检查结果作为基板检查信息33而存储在存储部31中。

在此，参照图6，说明以部件安装后的基板6为对象而执行的安装后检查以及表示检查结果的基板检查信息。在部件安装作业中，以设定于基板6的安装点M为目标位置，来移送搭载由安装头11的吸附喷嘴11a从部件供给部7的带式供给器8取出的部件P。此时，部件P的部件中心C未必限于相对于安装点M准确地一致，处于在X方向上位置偏离了ΔX、在Y方向上位置偏离了ΔY、在θ方向(XY面内的旋转方向)上位置偏离了Δθ的状态。

该位置偏离状态，通过检查处理部34对由检查用摄像机35摄像被安装于基板6的部件P的结果进行辨识处理，由此来获取。ΔX、ΔY、Δθ是部件P的位置偏离信息，对于被安装于一个基板6的所有部件P，通过汇集这些位置偏离信息，由此来创建关于该基板6的基板检查信息。并且，在存储部31的基板检查信息33中包括关于成为对象的多个基板6的基板检查信息。即，基板检查信息33成为至少包括向基板6安装的部件的位置偏离信息的形态。

在本实施方式中，构成基板检查信息的位置偏离信息与作为安装位置的安装点M所属于的安装区域6a(i)、取出成为对象的部件P的带式供给器8(i)、进行了安装动作的安装头11(i)、以及吸附喷嘴11a(i)单独建立关联。由此，对于由部件安装装置M2、M3执行的部件安装作业而执行的安装后检查的检查结果，能够按照每个安装位置、每个单独的带式供给器8、每个安装头11、每个吸附喷嘴11a来区分，作为评价对象。而且，这些基板检查信息33经由通信网络2而发送至管理计算机3。

管理计算机3具有整体控制部40、存储部41、运算处理部46、以及显示部49。整体控制部40基于存储部41中存储的程序、数据来控制以下说明的各部分。由此，执行构成部件安装系统1的各装置的作业动作、运算处理。在存储部41中存储有安装程序42、基板检查信息43、评价值计算数据44以及维护需要与否判定数据45，运算处理部46具有修正值计算部47以及评价值计算部48。显示部49是液晶面板等的显示装置，显示图8、图9等显示画面。

安装程序42包括用于执行部件安装作业的动作程序、安装坐标数据等的信息，在从上级系统等其他装置送给管理计算机3之后，经由通信网络2而传递给部件安装装置M2、M3。基板检查信息43是由检查装置M4获取到的基板检查信息33经由通信网络2而传递给管理计算机3的数据。评价值计算数据44是在后述的评价值计算部48所执行的评价值计算处理中被参照的数据。维护需要与否判定数据45是用于基于由评价值计算部48计算出的“修正前评价值”53b(参照图8)来判定是否需要维护设备的数据(警告基准值)。

修正值计算部47基于至少包括向基板6安装的部件的位置偏离信息的基板检查信息43来进行计算对安装程序42进行修正的修正值的处理。即，将图6所示的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的100％或者预先规定的给定比例作为修正量来计算。进而，修正值计算部47基于计算出的修正值来进行修正安装程序42的修正处理。在该修正处理中，修正值计算部47基于包括最近的基板检查信息43在内的给定期间的多个基板检查信息43来计算修正值。例如，关于作为用于计算修正值的数据获取对象个数被预先设定的基板个数而蓄积基板检查信息43，利用对蓄积的基板检查信息43进行统计处理而获得的平均值等，来计算用于修正安装程序42的修正值。

并且，如此修正后的安装程序42经由通信网络2而送至部件安装装置M2、M3，在存储部21中作为动作执行用的安装程序22来存储。在由安装控制部20控制部件安装部10来进行部件安装时，通过修正后的安装程序22而向基板6安装部件。评价值计算数据44是为了由评价值计算部48计算评价值而使用的数据。

评价值计算部48基于存储部41中存储的基板检查信息43来进行计算表示部件安装部10安装时的精度的评价值的处理。在该评价值计算处理中，参照了存储部41中存储的评价值计算数据44。在此，作为评价值，利用了以下说明的工序能力指数Cp、Cpk。参照图7A、7B，说明基于基板检查信息43计算的工序能力指数Cp、Cpk。

图7A所示的标准宽度T规定能够正常地对安装的部件进行焊料接合的容许位置偏离量，实际上通过对接合了部件的实验结果进行评价，从而凭经验来决定。此外，容许范围上限UCL以及容许范围下限LCL规定位置偏离量的容许范围的上限以及下限。在此，成为对象的部件的接合特性、即对该部件接合给定次数而获得的位置偏离量进行统计处理所求出的标准偏差σ的±3倍的±3σ，被采用为容许范围上限UCL以及容许范围下限LCL。

图7B表示基于基板检查信息43而计算的各统计量。首先，通过对表示位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的数据值单独进行统计处理，从而针对每一个而求出表示数据值的零散偏差的程度的标准偏差σ以及数据值的平均(M)。然后，基于预先赋予的标准宽度T与计算出的标准偏差σ，求出(1)式所表示的Cp＝T/6σ。其次，求出(2)式所表示的偏差值k＝|M|/(T/2)，进而，利用求出的k、Cp来计算(3)式所表示的工序能力指数Cpk＝(1-k)·Cp。然后，关于位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ而分别计算该工序能力指数Cpk。

在本实施方式中，在计算作为评价值的工序能力指数Cp、Cpk时，除了基于以从特定时间点(在此是指最近的时间点)溯及的给定个数的基板为对象的基板检查信息43而计算出的特定时间点评价值(当前值工序能力指数)之外，还按照时间序列来计算表示假定未对该基板进行修正的情况下的评价值的修正前估算值(修正前估算工序能力指数)以及表示工序能力指数Cpk的累积平均值的累计平均值，并以具有一览功能的显示画面(参照图8)以及图表(参照图9)显示这些值。该显示处理由显示部49来进行，显示部49显示由评价值计算部48计算出的评价值，更详细而言，显示特定时间点评价值与修正前评价值。

参照图8，说明显示部49的显示画面49a中显示的评价值显示画面50。在评价值显示画面50中显示有评价对象区分选择栏51、评价识别代码显示栏52、评价值显示栏53、以及警告显示栏56。评价对象区分选择栏51表示计算评价值的评价对象的区分。如前所述，在本实施方式中，能够按照每个安装区域6a、每个带式供给器8、每个安装头11，进而按照每个吸附喷嘴11a来区分并计算表示部件安装部10安装时的精度的评价值。

在评价对象区分选择栏51，与上述的区分对应地设定有选择“安装位置”51a、“带式供给器”51b、“安装头”51c以及“吸附喷嘴”51d的操作按钮。通过操作这些操作按钮，从而能够选择并切换评价对象。进而，通过操作评价识别代码显示栏52的滚动按钮52a，从而在评价对象区分选择栏51中选择出的区分之中，作为评价对象确定应使评价值显示于评价值显示栏53的要素(安装区域6a、带式供给器8、安装头11、吸附喷嘴11a)的对象识别代码被显示至评价识别代码显示栏52。

在评价值显示栏53，关于由评价对象区分选择栏51、评价识别代码显示栏52确定出的评价对象的两种评价值(工序能力指数Cp、Cpk)分别被显示至Cp显示栏54、Cpk显示栏55。在此，关于工序能力指数Cp、Cpk，均按照每个位置偏离方向X、Y、A(θ旋转方向)来显示“当前值”53a(与特定时间点评价值对应)、“修正前评价值”53b以及“累计平均值”53c。这些评价值的计算由评价值计算部48来进行。

即，评价值计算部48作为表示部件安装部10安装时的精度的评价值，计算作为基于特定时间点(最近时间点)的基板检查信息43而计算出的评价值的特定时间点评价值(“当前值”53a)、以及修正前评价值53b。修正前评价值53b是指，从特定时间点的基板检查信息43之中减去部件安装部10向成为的特定时间点的基板检查信息43的对象安装基板6时所利用的修正值而得到的信息，换言之，是根据假定未基于由检查装置M4执行的安装后检查获得的检查结果进行修正的情况下的位置偏离信息而计算出的评价值。

更具体地进行记述，评价值计算部48基于根据最近的基板检查信息43获得的部件在XYθ方向上的位置偏离量与根据由修正值计算部47计算出的修正值获得的部件朝向XYθ方向的修正量而得到的临时(仮)的位置偏离量，来计算修正前评价值。在此，临时的位置偏离量，是指假定未由修正值计算部47计算出的修正值进行修正的情况下的位置偏离量。另外，在上述记载中，作为成为修正对象的位置偏离方向，虽然记载了X方向、Y方向、θ方向的3方向，但并非一定要将这些全部包括在对象中，可以仅将X方向、Y方向这2个方向设为对象。

图9表示对如此计算出的“当前值”53a、“修正前评价值”53b、“累计平均值”53c进行图表显示的评价值图表60的例子。即，在例示的评价值图表60中，关于X方向、Y方向、θ方向的任意一者的位置偏离量而求出的工序能力指数Cpk的随时间变化以折线(53a)、(53b)、(53c)来图表显示。在此，折线(53a)、(53b)、(53c)分别与“当前值”53a、“修正前评价值”53b、“累计平均值”53c对应。

在此，表示折线(53a)与折线(53b)之差的等级差D表征基于检查装置M4所执行的安装后检查的检查结果的反馈的安装程序42的修正的效果。即，在评价值图表60中，即便是“当前值”53a处于高水平而判定为在安装质量的方面没有问题的情况，在与表示“修正前评价值”53b的折线(53b)的等级差D大时，也表示在部件安装装置M2、M3存在使位置偏离状态恶化的设备上的不良。

为了向作业者通知这种设备上的不良的存在，图8所示的评价值显示画面50构成为包括警告显示栏56。在警告显示栏56中，在评价值显示栏53中显示出的“修正前评价值”53b达到存储部41中预先存储的维护需要与否判定数据45所规定的警告基准值的情况下，显示如下的内容的显示消息56a，即，向作业者通知该意思，来促使该要素的维护。

即，显示部49在“修正前评价值”53b达到给定的警告基准值的情况下，向作业者显示促使部件安装部10的维护。由此，即便在进行基于检查装置M4的安装后检查的检查结果的反馈的安装程序42的修正从而部件安装装置M2、M3的设备状态的不良变得不显著的情况下，也能够可靠地掌握设备状态是否处于需要维护的程度的不良状态。

如上述所说明的那样，在部件安装系统1的部件安装方法中，基于至少包括向基板6安装的部件P的位置偏离信息的基板检查信息43，来计算修正安装程序42的修正值，通过基于计算出的修正值而修正后的安装程序42向基板6安装部件P。在该部件安装作业中，由修正值计算部47基于基板检查信息43来计算表示安装时的精度的评价值，并将计算出的评价值显示于显示部49。

并且，上述的计算的评价值是作为基于特定时间点的基板检查信息43而计算出的评价值的特定时间点评价值(“当前值”53a)、与基于从特定时间点的基板检查信息43之中减去向成为特定时间点的基板检查信息43的对象的基板6安装时利用的修正值而获得的信息所计算出的修正前评价值53b，在显示部49中显示特定时间点评价值(“当前值”53a)与修正前评价值53b。由此，能够明确地掌握由检查装置M4执行的安装后检查的检查结果的反馈的修正效果，能够确认部件安装装置M2、M3等的设备中的不良的状况。

另外，在上述实施方式中，虽然示出由作为管理计算机3具有的运算功能部的运算处理部46来执行修正值计算处理、评价值计算处理的例子，但在部件安装装置M2、M3包括具有同样运算处理功能的运算处理部23的情况下，也可以由部件安装装置M2、M3的运算处理部23来执行修正值计算处理、评价值计算处理。在该情况下，图8、图9所示的显示画面由部件安装装置M2、M3的显示部24来显示。

产业上的可利用性

本发明的部件安装系统以及部件安装方法具有能够使得基于检查结果的反馈的修正效果变得明确来确认设备中的不良的状况的效果，在向基板安装部件的部件安装领域中是有用的。

Claims (7)

1.一种部件安装系统，具备：

修正值计算部，基于至少包括向基板安装的部件的位置偏离信息的基板检查信息，来计算修正安装程序的修正值；

部件安装部，通过基于由所述修正值计算部计算出的所述修正值进行了修正的安装程序，向基板安装部件；

评价值计算部，基于所述基板检查信息来计算表示所述部件安装部进行安装时的精度的评价值；和

显示部，显示由所述评价值计算部计算出的评价值，

所述评价值计算部计算特定时间点评价值和修正前评价值作为所述评价值，该特定时间点评价值是基于特定时问点的所述基板检查信息计算出的评价值，该修正前评价值是基于从所述特定时间点的所述基板检查信息减去所述部件安装部向成为所述特定时间点的所述基板检查信息的对象的所述基板进行了安装时利用的所述修正值所得到的信息而计算出的，

所述显示部显示所述特定时间点评价值和所述修正前评价值。

2.根据权利要求1所述的部件安装系统，其中，

所述修正值计算部基于包括最近的所述基板检查信息在内的给定期间的多个所述基板检查信息来计算所述修正值。

3.根据权利要求1所述的部件安装系统，其中，

所述评价值计算部基于根据最近的基板检查信息获得的部件在XY方向上的位置偏离量、与未通过根据由所述修正值获得的部件朝向XY方向的修正量而得到的所述修正值进行修正的情况下的临时的位置偏离量，来计算所述修正前评价值。

4.根据权利要求1所述的部件安装系统，其中，

按照所述基板的每个安装位置来计算所述评价值。

5.根据权利要求1所述的部件安装系统，其中，

按照安装有所述基板的每个安装头来计算所述评价值。

6.根据权利要求1所述的部件安装系统，其中，

在所述修正前评价值达到给定的警告基准值的情况下，所述显示部向作业者进行促使所述部件安装部的维护的显示。

7.一种部件安装方法，

基于至少包括向基板安装的部件的位置偏离信息的基板检查信息，来计算修正安装程序的修正值，

通过基于计算出的所述修正值进行了修正的安装程序，向基板安装部件，

基于所述基板检查信息来计算表示安装时的精度的评价值，

显示计算出的所述评价值，

所述评价值是特定时间点评价值和修正前评价值，该特定时间点评价值是基于特定时间点的所述基板检查信息而计算出的评价值，该修正前评价值是基于从所述特定时间点的所述基板检查信息减去向成为所述特定时间点的所述基板检查信息的对象的所述基板进行安装时利用的所述修正值所得到的信息而计算出的，

显示所述特定时间点评价值和所述修正前评价值。