CN106770190A - 一种校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法 - Google Patents

一种校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106770190A
CN106770190A CN201611207421.7A CN201611207421A CN106770190A CN 106770190 A CN106770190 A CN 106770190A CN 201611207421 A CN201611207421 A CN 201611207421A CN 106770190 A CN106770190 A CN 106770190A
Authority
CN
China
Prior art keywords
spectral line
self
analyzed
line
absorption effect
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201611207421.7A
Other languages
English (en)
Inventor
侯佳佳
张雷
尹王保
肖连团
贾锁堂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanxi University
Original Assignee
Shanxi University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanxi University filed Critical Shanxi University
Priority to CN201611207421.7A priority Critical patent/CN106770190A/zh
Publication of CN106770190A publication Critical patent/CN106770190A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/71Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
    • G01N21/718Laser microanalysis, i.e. with formation of sample plasma

Abstract

本发明属于激光光谱分析与检测方法技术领域,具体涉及一种校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法。本方法主要是基于微量元素谱线所测等离子体电子密度和待分析谱线线宽来求得待分析谱线的自吸收系数,从而实现对谱线自吸收效应的校正。具体:1)选取相同测量条件下的微量元素谱线作为不受自吸收效应影响的光学薄参考线;2)通过所选参考线线宽计算对应的等离子体电子密度;3)通过电子密度和待分析谱线线宽计算待分析谱线自吸收系数并评估其自吸收程度;4)通过自吸收系数校正待分析谱线的峰值强度和积分强度。利用本方法可以便捷地校正等离子体谱线强度,提高光谱数据的准确性,进而更精确地进行物质成分定量分析。

Description

一种校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法
技术领域
本发明属于激光光谱分析与检测方法技术领域,具体涉及一种校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法。
背景技术
激光诱导击穿光谱(LIBS)通过测定激光诱导等离子体中发射谱线的波长和强度来确定样品中元素的种类和含量,实现对未知样品的定性和定量分析。然而,当样品中待测元素含量较高时,该元素的发射谱线容易出现自吸收现象,自吸收效应会导致相应谱线强度的降低和谱线宽度的增加,从而使谱线强度与元素含量间的线性关系被破坏,定量分析准确性大为降低。
为了减小谱线自吸收效应对定量分析的影响,目前普遍采用的校正方法有:1)建立光学厚等离子体模型来校正(Bulajic等,Spectrochim.Acta B,2002,57:339-353);2)通过计算光学厚等离子体发射谱线的光学深度来校正(D.M.Díaz Pace等,Appl.Spectrosc.,2011,65:1202-1212);3)选择待分析谱线同种元素的其中一条无自吸收谱线作为内参考线来校正(Sun L等,Talanta,2002,79:399-395)。然而,上述方法都需要利用待分析谱线来求得等离子体温度、电子密度等参数,计算过程复杂,难免引入误差,同时激光和靶样品相互作用机制的复杂性以及等离子体的快速演化都会降低这些校正方法对LIBS定量分析的适用性。
发明内容
本发明的目的是解决激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应影响定量分析结果的技术问题,提供了一种校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:
一种校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法,包括以下步骤:
(1)利用微量元素谱线求得等离子体电子密度ne
非氢元素,
氢元素,
其中,为非氢元素谱线线宽,为非氢元素谱线的Stark展宽系数,ΔλH为氢元素谱线的线宽,ωH为氢元素谱线的Stark展宽系数;
(2)计算待分析谱线的自吸收系数SA:
其中,Δλ为待分析谱线的线宽,ω为待分析谱线的Stark展宽系数;
(3)计算校正后待分析谱线的峰值强度I00):
其中,I(λ0)为待分析谱线的原始峰值强度;
(4)计算校正后待分析谱线的积分强度
其中,为待分析谱线的原始积分强度,至此完成激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的校正过程。
本发明提出一种通过直接分析等离子体发射谱线来评估并校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法,主要基于微量元素谱线所测等离子体电子密度和待分析谱线线宽来求得待分析谱线的自吸收系数,从而实现对待分析谱线自吸收效应的校正。本方法避免了传统校正方法中需要利用待分析谱线求得等离子体温度、电子密度等参数的复杂计算过程及所引入的误差,使得对谱线自吸收效应的校正更加直接简便。
附图说明
图1为本发明所述激光诱导击穿光谱测量装置原理图;
图中,1-Nd:YAG脉冲激光器,2-聚光系统,3-样品,4-荧光收集系统,5-光栅光谱仪,6-ICCD;
图2为本发明铝合金样品自吸收效应校正前的Boltzmann平面图;
图3为本发明对铝合金样品自吸收效应校正后的Boltzmann平面图。
具体实施方式
如图1所示,本实施例所使用的激光诱导击穿光谱测量装置包括Nd:YAG脉冲激光器1、聚光系统2、荧光收集系统4、光栅光谱仪5和ICCD 6,脉冲激光器1出射的532nm高能窄脉冲经过聚光系统2聚焦在样品3表面,产生等离子体,等离子体荧光经过荧光收集系统4收集后传输至光栅光谱仪5,光栅光谱仪5对等离子体荧光按波长进行分光后投射到ICCD 6上进行光电转换和模数转换后得到相应的光谱数据。其中,ICCD 6的外部触发信号由脉冲激光器1给出。
本实施例以铝合金样品为例,校正其激光诱导击穿光谱中Al元素原子谱线的自吸收效应。结合附图对本发明所述的一种校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法进一步描述,具体包括以下步骤:
(1)利用微量元素谱线求得等离子体电子密度ne
非氢元素,
氢元素,
其中,为非氢元素谱线线宽,为非氢元素谱线的Stark展宽系数,ΔλH为氢元素谱线的线宽,ωH为氢元素谱线的Stark展宽系数;
这里选择微量元素氢的Hα656.3nm线作为不受自吸收效应影响的光学薄参考线,利用Hα线求得等离子体电子密度ne
同理,此步骤也可以选取样品内其余非氢微量元素谱线(例如:Ca I 422.7nm线),利用非氢元素电子密度公式计算等离子体电子密度ne
(2)计算待分析谱线的自吸收系数SA:
其中,Δλ为待分析谱线的线宽,ω为待分析谱线的Stark展宽系数;
这里选择11条Al原子谱线作为待分析谱线,谱线相应参数及计算所得SA值见表1。例如,对于Al I 226.35nm谱线,其SA值为:
表1
(3)计算校正后待分析谱线的峰值强度I00):
其中,I(λ0)为待分析谱线的原始峰值强度;
这里计算校正后Al原子谱线的峰值强度I00),计算所得I00)值见表1。例如,对于Al I 226.35nm谱线,其I00)值为:
(4)计算校正后待分析谱线的积分强度
其中,为待分析谱线的原始积分强度;
这里计算校正后Al原子谱线的积分强度计算所得值见表1。例如,对于Al I 226.35nm谱线,其值为:
至此完成激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的校正过程。
为了说明本发明所述方法对铝合金样品的激光诱导击穿光谱中Al元素原子谱线自吸收效应的校正效果,利用本领域技术人员所公知的Boltzmann平面法进行了验证。由11条Al原子谱线在自吸收效应校正前后所作的Boltzmann平面分别见图2和图3,校正后Boltzmann平面的线性相关系数R2由0.97提高至0.99。由此可见,本方法明显降低了Al元素原子谱线的自吸收效应,所获谱线强度更加准确。

Claims (1)

1.一种校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)利用微量元素谱线求得等离子体电子密度ne
非氢元素,
氢元素,
其中,为非氢元素谱线线宽,为非氢元素谱线的Stark展宽系数,ΔλH为氢元素谱线的线宽,ωH为氢元素谱线的Stark展宽系数;
(2)计算待分析谱线的自吸收系数SA:
S A = ( 2 ωn e Δ λ ) 1.85 ,
其中,Δλ为待分析谱线的线宽,ω为待分析谱线的Stark展宽系数;
(3)计算校正后待分析谱线的峰值强度I00):
I 0 ( λ 0 ) = I ( λ 0 ) S A ,
其中,I(λ0)为待分析谱线的原始峰值强度;
(4)计算校正后待分析谱线的积分强度
I 0 ‾ ( λ ) = I ‾ ( λ ) ( S A ) 0.46 ,
其中,为待分析谱线的原始积分强度,至此完成激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的校正过程。
CN201611207421.7A 2016-12-23 2016-12-23 一种校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法 Pending CN106770190A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611207421.7A CN106770190A (zh) 2016-12-23 2016-12-23 一种校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611207421.7A CN106770190A (zh) 2016-12-23 2016-12-23 一种校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106770190A true CN106770190A (zh) 2017-05-31

Family

ID=58919811

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611207421.7A Pending CN106770190A (zh) 2016-12-23 2016-12-23 一种校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106770190A (zh)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108572168A (zh) * 2018-04-24 2018-09-25 山西大学 基于谱线自吸收量化的激光诱导等离子体参数表征方法
CN108918474A (zh) * 2018-04-26 2018-11-30 安徽师范大学 用于降低激光诱导击穿光谱自吸收效应的基体稀释方法
CN110398488A (zh) * 2019-06-11 2019-11-01 中国科学院合肥物质科学研究院 应用于激光诱导击穿光谱的非线性定量分析方法
CN112113928A (zh) * 2020-09-01 2020-12-22 中国计量大学 基于分子光谱学及实验数据的中红外甲烷传感器校正方法
CN113281325A (zh) * 2021-05-07 2021-08-20 华中科技大学 一种激光诱导击穿光谱免标样定量方法及系统
CN113376141A (zh) * 2021-06-03 2021-09-10 西安电子科技大学 一种基于温度迭代校正等离子体自吸收效应的方法
CN114460062A (zh) * 2022-02-17 2022-05-10 华中科技大学 一种基于单标样定标的激光诱导击穿光谱定量方法及系统
CN115201180A (zh) * 2022-07-22 2022-10-18 华中科技大学 一种单标样校正激光诱导击穿光谱定量方法及系统

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101509872A (zh) * 2009-03-20 2009-08-19 清华大学 一种基于回归分析的煤质在线检测分析方法
CN101750404A (zh) * 2008-12-12 2010-06-23 中国科学院沈阳自动化研究所 校正等离子体发射谱线自吸收效应的方法
CN102313731A (zh) * 2010-07-09 2012-01-11 中国科学院沈阳自动化研究所 一种未知物组成元素含量在线检测方法
JP5767691B2 (ja) * 2013-05-08 2015-08-19 クヮンジュ・インスティテュート・オブ・サイエンス・アンド・テクノロジー レーザ誘起崩壊分光法を利用したcigs薄膜の定量分析方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101750404A (zh) * 2008-12-12 2010-06-23 中国科学院沈阳自动化研究所 校正等离子体发射谱线自吸收效应的方法
CN101509872A (zh) * 2009-03-20 2009-08-19 清华大学 一种基于回归分析的煤质在线检测分析方法
CN102313731A (zh) * 2010-07-09 2012-01-11 中国科学院沈阳自动化研究所 一种未知物组成元素含量在线检测方法
JP5767691B2 (ja) * 2013-05-08 2015-08-19 クヮンジュ・インスティテュート・オブ・サイエンス・アンド・テクノロジー レーザ誘起崩壊分光法を利用したcigs薄膜の定量分析方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
A.M. EL SHERBINI等: "Evaluation of self-absorption coefficients of aluminum emission lines in laser-induced breakdown spectroscopy measurements", 《SPECTROCHIMICA ACTA PART B》 *
谢承利: "激光诱导击穿光谱数据处理方法及在煤分析中的应用研究", 《中国博士学位论文全文数据库》 *

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108572168A (zh) * 2018-04-24 2018-09-25 山西大学 基于谱线自吸收量化的激光诱导等离子体参数表征方法
CN108918474A (zh) * 2018-04-26 2018-11-30 安徽师范大学 用于降低激光诱导击穿光谱自吸收效应的基体稀释方法
CN108918474B (zh) * 2018-04-26 2022-07-08 安徽师范大学 用于降低激光诱导击穿光谱自吸收效应的基体稀释方法
CN110398488B (zh) * 2019-06-11 2021-09-07 中国科学院合肥物质科学研究院 应用于激光诱导击穿光谱的非线性定量分析方法
CN110398488A (zh) * 2019-06-11 2019-11-01 中国科学院合肥物质科学研究院 应用于激光诱导击穿光谱的非线性定量分析方法
CN112113928B (zh) * 2020-09-01 2022-10-14 中国计量大学 基于分子光谱学及实验数据的中红外甲烷传感器校正方法
CN112113928A (zh) * 2020-09-01 2020-12-22 中国计量大学 基于分子光谱学及实验数据的中红外甲烷传感器校正方法
CN113281325A (zh) * 2021-05-07 2021-08-20 华中科技大学 一种激光诱导击穿光谱免标样定量方法及系统
CN113376141A (zh) * 2021-06-03 2021-09-10 西安电子科技大学 一种基于温度迭代校正等离子体自吸收效应的方法
CN113376141B (zh) * 2021-06-03 2023-02-03 西安电子科技大学 一种基于温度迭代校正等离子体自吸收效应的方法
CN114460062A (zh) * 2022-02-17 2022-05-10 华中科技大学 一种基于单标样定标的激光诱导击穿光谱定量方法及系统
CN114460062B (zh) * 2022-02-17 2024-02-09 华中科技大学 一种基于单标样定标的激光诱导击穿光谱定量方法及系统
CN115201180A (zh) * 2022-07-22 2022-10-18 华中科技大学 一种单标样校正激光诱导击穿光谱定量方法及系统
CN115201180B (zh) * 2022-07-22 2024-04-23 华中科技大学 一种单标样校正激光诱导击穿光谱定量方法及系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106770190A (zh) 一种校正激光诱导击穿光谱中谱线自吸收效应的方法
CN102262076B (zh) 基于谱线组合的激光诱导击穿光谱元素浓度测量方法
KR101423988B1 (ko) 레이저 플라즈마 스펙트럼을 이용한 시료 내 측정 대상 원소의 정량 분석 방법
CN101750404B (zh) 校正等离子体发射谱线自吸收效应的方法
JP5983779B2 (ja) ガス吸収分光装置及びガス吸収分光方法
Andrade et al. Classical univariate calibration and partial least squares for quantitative analysis of brass samples by laser-induced breakdown spectroscopy
US9816934B2 (en) Laser induced breakdown spectroscopy (LIBS) apparatus with automatic wavelength calibration
US10024802B2 (en) Method for laser-induced breakdown spectroscopy and calibration
CN102410993B (zh) 基于激光诱导等离子体发射光谱标准化的元素测量方法
CN109781711A (zh) 一种基于单标样定标的激光诱导击穿光谱定量分析方法
US10557792B2 (en) Spectral modeling for complex absorption spectrum interpretation
Stipe et al. Laser-induced breakdown spectroscopy of steel: a comparison of univariate and multivariate calibration methods
CN105572103A (zh) 一种基于激光诱导击穿光谱技术同时定量检测皮革中多种重金属的方法
CN102410992B (zh) 简化的激光诱导等离子体光谱标准化的元素测量方法
CN102830096A (zh) 基于人工神经网络的元素浓度测量误差修正方法
CN109030467B (zh) 一种用于激光击穿光谱的自吸收效应修正方法
CN103792214A (zh) 一种提高钢铁中碳元素含量测量精度的方法
US8082111B2 (en) Optical emission spectroscopy qualitative and quantitative analysis method
CN102103079B (zh) 一种光谱分析方法
US11719627B2 (en) Calibration curve setting method used for drug analysis
CN111272735A (zh) 一种激光诱导击穿光谱的检测方法
US6845147B2 (en) Scatter spectra method for x-ray fluorescent analysis with optical components
CN109975275B (zh) 提高激光诱导击穿光谱测量煤中氮元素精度的方法
Han et al. Fast determination of calcium concentration in the internal tissues of a single seed using laser-induced breakdown spectroscopy
CN110208251A (zh) 等离子体发射光谱干扰校正方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20170531