CN106149031A - 镀敷设备 - Google Patents

Abstract

一种镀敷设备，包括：台，能够可拆卸地保持基板的基板保持器放置在台上；保持镀敷溶液的镀敷部用于通过将基板在竖直面中浸没在镀敷溶液中而对基板进行镀敷；和用于在台和镀敷部之间运送基板保持器的基板保持器运送器，其包括用于保持基板保持器的保持部分；和用于打开和闭合基板保持器的基板保持器打开和闭合机构；基板保持器包括：可移动支撑构件；和用于与可移动支撑构件协同夹持基板的固定支撑构件；基板保持器打开和闭合机构包括：用于按压可移动支撑构件的头部分，其至少具有将可移动支撑构件相对于固定支撑构件紧固和释放的可旋转的一部分；用于竖直地移动头部分的第一致动器；和用于至少旋转头部分的一部分的第二致动器。

Description

镀敷设备

本申请为下述申请的分案申请：

原申请的申请日：2012年03月15日

原申请的申请号：201210069120.8

原申请的发明名称：镀敷设备和镀敷方法

技术领域

本发明涉及一种用于诸如半导体晶片的工件(基板)的表面进行镀敷的设备及镀敷方法，特别涉及一种适于在基板的表面中限定的微细互通的沟槽、孔或阻抗开口中形成镀敷薄膜，或者适于在基板的表面上形成与封装体(package)等的电极电连接的凸块(凸出电极)。对于用于半导体芯片等的三维外壳，需要在基板中形成多个被称为插入器(interposer)或分隔件(spacer)的直通塞(through via plug)。为了形成这种直通插头，根据本发明的镀敷设备和镀敷方法还可以用于填充通过孔以形成这样的直通塞。更具体地说，本发明是涉及一种用于通过将基板浸在镀敷槽中的镀敷溶液中，对由基板保持器保持的基板进行镀敷的浸没型(dip-type)镀敷设备和浸没型镀敷方法。

背景技术

用于对基板镀敷的设备大致分为面向下型(face-down type)镀敷设备和浸没型镀敷设备。

面向下型镀敷设备执行对例如半导体晶片的基板的镀敷时，基板被通过头部被水平地保持，并且其将要被镀敷的表面面向下。通常，基板被收容在例如前开式标准槽(FrontOpening Unified Pod)等的承载容器(carrier receptacle)中，并且基板被水平地保持，其将要被镀敷的表面面向上。因此，在基板被面向下型镀敷设备镀敷前，基板需要在面向下镀敷设备中被转动成上下翻转。

另一方面，浸没型设备通过使得基板竖直地进入镀敷槽内的镀敷溶液中对由基板保持器保持的基板进行镀敷。因此，当基板保持在基板保持器中时，需要保持基板保持器水平，并且当要将基板浸没在镀敷溶液中时，必需要保持基板保持器竖直。因此，浸没型镀敷设备具有用于将基板从竖直状态转动成水平状态并且将基板从水平状态转动成垂直状态的机构。

如图33所示，例如，常规的镀敷设备具有可转动地安装在运送器300上的臂304，臂304能够通过马达302而被转动。在臂304夹住基板保持器306的一端后，马达302被通电，以将臂304竖直转动90°，以将基板保持器306从竖直状态转动成水平状态。基板保持器306于是被水平地放置在台308上。如图34所示，另一个常规的镀敷设备具有固定区域316，固定区域316包括可竖直旋转的台310和可旋转的轴314，轴314夹住基板保持器312的一端并旋转基板保持器312。旋转的轴314围绕它自己的轴线旋转，以将基板保持器312从竖直状态转动成水平状态。

近些年，由于基板的尺寸较大，用于旋转这种基板的臂或台的机构的尺寸也较大，并且将基板保持器从竖直状态转动到水平状态所需的时间并将基板保持器从水平状态转动到竖直状态所需的时间也较长。用于旋转臂或台的大型机构需要镀敷设备内有较大的空间以旋转臂或台。因此，镀敷设备自身的尺寸较大且制造成本较高。

传统的镀敷设备还包括基板保持器开启和闭合机构，例如，用来将基板设置在基板保持器上的自动固定装置(fixing robot)。基板保持器开启和闭合机构具有以下问题：

已知一种镀敷设备，包括用于竖直地保持基板并将基板浸没在镀敷溶液中的基板保持器。在这个镀敷设备中，基板保持器通过将基板夹持在固定支撑构件和可动支撑构件之间来保持基板，该可动支撑构件能够围绕铰合部打开和闭合。可动支撑构件具有不可拆卸的可旋转支撑构件。当支撑构件被旋转以其外圆周部分滑入固定支撑构件的夹紧装置中时，可动支撑构件的密封环密封基板的外圆周边缘和固定支撑构件的某些区域，使固定支撑构件的电力馈送接触件能够接触基板的外圆周边缘(参见日本专利No3979847、日本专利No3778282、日本专利No3940265和日本专利No4162440)。

根据上述镀敷设备，当支撑构件旋转时，其本身被磨损，并导致可动支撑构件旋转，可能使基板偏移到无法与密封环对齐的位置并损坏密封环的密封能力。为了避免这种缺点，使用按压杆来按压可动支撑构件，并且按压杆被旋转且减少支撑构件与按压杆的磨损。然而，为了在旋转支撑构件时减少对支撑构件的磨损，镀敷设备需要沿着竖直轴竖直地往复运动且能够旋转的复杂机构。复杂机构使得基板保持器开启和闭合机构上比较复杂。复杂的基板保持器开启和闭合机构占据镀敷设备内的较大空间，使镀敷设备尺寸较大且制造昂贵。

传统的基板保持器开启和闭合机构具有另一个问题：如果基板保持器具有不同的厚度，按压杆按压密封环并使密封环抵住基板保持器的按压距离会变化。具体来说，如果基板保持器的厚度比常规厚度薄，因为密封环因此没有被充分挤压，支撑构件在旋转的时候更容易被磨损。如果基板保持器的厚度大于常规厚度，密封环则会被过分地挤压和受损。因此，没有被适当地制作成满足厚度要求的基板保持器会降低密封环的密封能力。

传统的基板保持器开口和闭合机构一般结合有位置偏移检测单元，当基板被安装到基板保持器中且当基板被偏移到未对齐的位置时，位置偏移检测单元用于检测该偏移。根据这个位置偏移检测单元，基板引导被设置在固定支撑构件上且靠近基板的外周边缘的位置上。例如光敏器件或激光传感器的水平光传感器，测量来自被水平地施加到基板保持器内的基板的上的光束的光线量。如果基板被放置在基板引导上，则基板被倾斜并阻挡光束。因此，与基板被适当地被设置在基板引导的基板保持器空隙中相比，则通过水平光传感器检测的光线量变得较小。用这样的方式，基于被检测到的光线量的减少，基板在基板保持器中的位置的偏移被检测。当基板在基板保持器中偏移出对齐位置时，基板引导将基板保持在基板引导上并保持基板的倾斜，防止基板在水平截面中偏移出对齐位置。

然而，水平光传感器的问题在于，当基板上有水滴、基板本身形状变形、基板保持器本身形状变形、放置基板保持器的台的本身形状也变形、或基板保持器由于放置基板保持器的台上存在的纸粉或纸屑而倾斜时，基板可能被错误地检测为在基板保持器中偏移出了对齐位置。水平光传感器还具有关于检测精确性的问题，因为基板引导的高度受到基板保持器的尺寸的限制，随着传感器的表面因时间流逝而由污迹引起的雾化，能够被传感器检测到的光线量随着时间流逝而减少。

在浸没型镀敷设备中，因此在工作前，基板保持器被存储在贮藏部中。当浸没型镀敷设备开始工作，基板保持器被从贮藏部中取出，并且将要被处理的基板被从它的储藏部中取出并被保持在基板保持器中。保持基板的基板保持器通过基板保持器运送器被运送到基板被相应地进行处理的镀敷槽和其他与镀敷处理有关的处理槽中。

当基板保持器被发现存在例如电力馈送故障等问题并要被维修以解决该问题时，传统的浸没型镀敷设备必需被关闭并因此它的可操作性较低。被发现存在电力馈送故障的基板保持器被退回到贮藏部并直到起被维修都不能再使用。当浸没型镀敷设备在进行镀敷处理时，通向浸没型镀敷设备的内部的入口为了安全起见而受到限制。因此，当基板保持器被维修时，至少需要等到在发生问题前刚刚开始的镀敷处理结束。因为不能被使用的基板保持器不能用在镀敷处理中，浸没型镀敷设备每个单位时间内的处理量减少。

在传统的浸没型镀敷设备中，用于存储基板保持器的贮藏部是被不可分地结合在设备中。当被放置在贮藏部中的基板保持器需要被维修时，基板保持器被手动地或通过专用起重机从贮藏部移去。可选地，贮藏部被运送到可以从浸没型镀敷设备的外部碰触的位于浸没型镀敷设备内的输送槽或服务区，然后基板保持器被手动地或通过专用起重机从贮藏部移去。将基板保持器从浸没型镀敷设备移去或装回浸没型镀敷设备是非常繁重和耗时的。因为将要被操作的基板的尺寸较大，所需要的人工劳力增加并且所需要的起重机的尺寸也较大，繁重的和耗时的维修过程变得更糟。

发明内容

鉴于以上情形，提供了本发明。

本发明提供了一种镀敷设备，包括：台，基板保持器放置在该台上，该基板保持器能够可拆卸地保持基板；镀敷部，在该镀敷部中保持镀敷溶液，该镀敷部用于通过将该基板在竖直面中浸没在该镀敷溶液中而对由该基板保持器保持的该基板进行镀敷；和基板保持器运送器，该基板保持器运送器用于在该台和该镀敷部之间运送该基板保持器，该基板保持器运送器包括用于保持该基板保持器的保持部分；和基板保持器打开和闭合机构，该基板保持器打开和闭合机构用于打开和闭合放置在该台上的该基板保持器；其中，该基板保持器包括：可移动支撑构件；和固定支撑构件，该固定支撑构件用于与该可移动支撑构件协同夹持该基板，该可移动支撑构件被可移除地紧固到该固定支撑构件；并且其中，该基板保持器打开和闭合机构包括：头部分，该头部分用于按压该可移动支撑构件，该头部分至少具有将该可移动支撑构件紧固到该固定支撑构件和将该可移动支撑构件从该固定支撑构件释放的可旋转的一部分，该可移动支撑构件被该头部分可移除地保持；第一致动器,该第一致动器用于竖直地移动该头部分；和第二致动器,该第二致动器用于至少旋转该头部分的该一部分。

本发明的第一目标是提供一种镀敷设备和镀敷方法，其允许基板保持器被简易地维修并且同时保证了基板在镀敷设备中进行处理时能够容易地触碰基板保持器。

本发明的第二目标都是提供一种镀敷设备、镀敷方法和转换使用在镀敷设备中的基板保持器的姿势的方法，其能够转换基板保持器的姿势，用于可拆卸地保持基板使其从水平状态变为竖直状态或从竖直状态变为水平状态，而不需要大尺寸的旋转机构。

本发明的第三目标是提供一种镀敷设备，其能够将基板放置在具有基板保持器开启和闭合机构的基板保持器中，基板保持器开启和闭合机构无需较大的尺寸，复杂的结构，并且能够在基板被安装在基板保持器中时基板偏移出对齐位置时进行检测，同时允许基板保持器具有不同的厚度。

本发明提供了一种镀敷设备，其包括：镀敷部，镀敷部用于镀敷基板；基板保持器，基板保持器用于保持基板；基板保持器运送器，基板保持器运送器用于保持和运送基板保持器；贮藏部，贮藏部用于存储基板保持器；和贮藏部安装部分，贮藏部安装部分用于将贮藏部存储在贮藏部安装部分中；其中，贮藏部包括移动机构，移动机构用于将贮藏部移入贮藏部安装部分和从贮藏部安装部分移出贮藏部。

利用这种结构，基板保持器能够被从贮藏部中取出而不需要停止基板在镀敷设备中的处理。因此，镀敷设备的每单位时间内的处理量不会变低，并且基板保持器能够被容易和快速地维护。

根据本发明的一个优选方面，该移动机构包括脚轮，脚轮用于从镀敷设备移动和分离贮藏部。

该贮藏部安装部分可以包括：门，门能够选择性地打开和闭合；和闸板，闸板能够选择性地打开和闭合，用于在门打开时，使贮藏部安装部分中的空气和镀敷设备中的空气彼此隔离。

该基板保持器运送器可以包括传感器，传感器用于检测基板保持器当前是否位于贮藏部中，或者检测基板保持器在贮藏部中的位置。

该镀敷设备可以进一步包括：控制器，控制器用于监测和控制基板保持器运送器和贮藏部安装部分的状态；和指示部分，指示部分用于向控制器指示贮藏部的移动。该贮藏部可以包括锁销把手，锁销把手用于将贮藏部锁在贮藏部安装部分中，并且贮藏部安装部分包括用于与锁销把手接合的锁销接收部。

根据本发明的一个优选方面，该贮藏部安装部分包括用于限制门的开启的门开关和用于限制闸板的打开的闸板开关，其中，门开关和闸板开关彼此协同工作。

本发明提供了一种用于控制镀敷设备自动地执行步骤的镀敷方法，其包括以下步骤：将基板保持器从贮藏部移出；使用基板保持器保持基板；使用基板保持器运送器将保持基板的基板保持器运送到镀敷部；在镀敷部中对基板进行镀敷；和使用基板保持器运送器将基板保持器运送回贮藏部；其中，镀敷方法包括：当镀敷设备在自动地执行上述步骤时，使用贮藏部的移动机构将贮藏部从镀敷设备中移出。

根据本发明的一个优选方面，移动机构包括脚轮，脚轮用于从镀敷设备移动和分离贮藏部。

根据本发明的一个优选方面，该镀敷方法进一步包括：在镀敷设备自动地执行上述步骤时，在贮藏部被移动出镀敷设备前，向镀敷设备的控制器指示贮藏部移出镀敷设备。

根据本发明的一个优选方面，该镀敷方法进一步包括：在贮藏部被移出镀敷设备前，闭合闸板以将镀敷设备内部与外界空气隔离；和在贮藏部已被移动进入镀敷设备后，打开闸板，以允许基板保持器运送器触碰贮藏部。

本发明提供了一种用于存储在镀敷设备中使用的基板保持器的贮藏部，该贮藏部包括：基板保持器存储区，基板保持器存储区用于在该基板保持器存储区中存储基板保持器；和移动机构；其中，贮藏部通过移动机构被从镀敷设备移动和分离。

贮藏部可以包括设置在贮藏部底部的排水盘。

基板保持器存储区能够在该基板保持器存储区中存储阳极保持器。

本发明提供了另一种用于存储镀敷设备中使用的阳极保持器的贮藏部，该贮藏部包括：阳极保持器存储区，阳极保持器存储区用于在该阳极保持器存储区中存储阳极保持器；排水盘，排水盘设置在贮藏部的底部；和移动机构；其中，贮藏部通过移动机构被从镀敷设备移动和分离。

本发明提供了另一种镀敷设备，该镀敷设备包括：基板保持器，基板保持器用于可拆卸地保持基板；台，基板保持器被水平地放置在台上；镀敷部，镀敷部具有镀敷槽，镀敷槽用于通过将基板在竖直面中浸没在镀敷溶液中而对被基板保持器保持的基板进行镀敷；和基板保持器运送器，基板保持器运送器用于在台和镀敷部之间运送基板保持器，基板保持器运送器包括用于保持基板保持器的保持部分；其中，台具有水平移动机构，当水平移动机构支撑基板保持器的下端时，水平移动机构能够水平地移动；和其中，基板保持器运送器包括能够竖直移动的臂，当基板保持器的下端被水平移动机构支撑并且通过竖直移动保持部分水平移动机构水平移动时，臂用于将基板保持器的姿势从竖直状态变成水平状态，或者从水平状态变成竖直状态。

利用这种结构，基板保持器能够稳定地旋转而无需大尺寸的旋转机构，并且该镀敷设备能够节省空间并能够以低成本制造。尤其是，因为用于将基板保持器传送到镀敷区的基板保持器运送器被用于旋转基板保持器，不需要附加的动力机构来旋转基板保持器。因此，镀敷设备以很低的成本制造。

镀敷设备可以进一步包括：传感器，传感器用于检测基板保持器运送器是否保持基板保持器，或者检测到被基板保持器运送器保持的基板保持器的距离

本发明的一个优选方面，如果传感器检测到当基板保持器运送器没有保持基板保持器或者到被基板保持器运送器保持的基板保持器的距离偏离参考值，能够竖直移动的臂被停止运作。

基板保持器可以包括圆形手柄，并且保持部分保持圆形手柄。

保持部分可以具有可旋转地支撑圆形手柄的形状。

水平移动机构支撑的基板保持器的下端可以具有与水平移动机构接触的半圆部分。

通过从水平移动机构悬挂的重物，水平移动机构在沿着降低保持部分的方向上正常地偏置。

基板保持器运送器可以包括用于在基板保持器被运送时防止基板保持器摇晃的夹持器。

本发明提供了一种转换用于可拆卸地保持基板的基板保持器的姿势的方法，该方法包括：使用基板保持器运送器的保持部分保持基板保持器的一个端部；在台上方移动由保持部分保持的基板保持器；降低保持部分以使得基板保持器的另一个端部与台上的水平移动机构接触；和为了将基板保持器的姿势从竖直状态转换为水平状态，进一步降低保持部分以水平地移动水平移动机构。

该方法进一步包括：使用传感器检测基板保持器运送器是否保持基板保持器，或者检测到被基板保持器运送器保持的基板保持器的距离；和如果传感器检测到当基板保持器运送器没有保持基板保持器或者到被基板保持器运送器保持的基板保持器的距离偏离参考值，停止保持部分的运作。

该方法进一步包括：在基板的另一端与水平移动机构接触后，水平地移动基板保持器运送器，以使得基板保持器倾斜预定角度。

本发明提供了另一种镀敷方法，该镀敷方法包括：将基板保持器放置在台上；使用放置在台上的基板保持器安装和保持基板；使用基板保持器运送器的保持部分保持基板保持器的端部；抬升基板保持器运送器并且水平地移动位于台上的水平移动机构，以将基板保持器的姿势从水平状态变成竖直状态；使用基板保持器运送器将基板保持器移动到位于具有镀敷溶液的镀敷槽的上方的位置；和使用基板保持器运送器降低基板保持器，以将基板浸没在镀敷槽中的镀敷溶液中。

本发明提供了另一种镀敷设备，该镀敷设备包括：基板保持器，基板保持器用于可拆卸地保持基板；台，基板保持器被水平地放置在台上；镀敷部，镀敷部具有镀敷槽，镀敷槽用于通过将由基板保持器保持的基板在竖直面中浸没在镀敷溶液中而对基板进行镀敷；和基板保持器运送器，基板保持器运送器用于在台和镀敷部之间运送基板保持器，基板保持器运送器包括用于保持基板保持器的保持部分；基板保持器打开和闭合机构，基板保持器打开和闭合机构用于打开和闭合位于台上的基板保持器；其中，基板保持器包括：可移动支撑构件，可移动支撑构件具有可旋转支撑构件；和固定支撑构件，固定支撑构件用于与可移动支撑构件协同工作以夹持基板，可移动支撑构件被可移除地紧固到固定支撑构件；和其中，基板保持器打开和闭合机构包括：头部分，头部分用于按压可移动支撑构件，头部分至少具有将可移动支撑构件紧固到固定支撑构件和将可移动支撑构件从固定支撑构件释放的可旋转的部分，可移动支撑构件被头部分可移除地保持；第一致动器，第一致动器用于竖直地移动头部分；和第二致动器，第二致动器用于旋转头部分的至少一部分。

这能够简化用于开启和关闭基板保持器的机构，以减少镀敷设备的尺寸，以使得镀敷设备的成本能够被降低。

根据本发明的一个优选的方面，该头部分包括旋转板和按压片，按压片具有用于保持可移动支撑构件的吊钩，按压片用于按压可移动支撑构件；支撑构件包括突出部；固定支撑构件包括夹持器；旋转板被连接到轴，并且当轴由第二致动器推压时，旋转板被旋转以旋转支撑构件；和随着支撑构件旋转，突出部与夹持器适配接合，以将移动支撑构件紧固到固定支撑构件，或将移动支撑构件移动到被吊钩悬吊的位置。

头部分可以包括基板位置检测部分，基板位置检测部分用于确定基板在基板保持器中的位置。

因此，在基板被放置在基板保持器中时基板的偏移位置能够被精确地检测，而无论例如基板和基板保持器的变形和施加到基板和基板保持器上的水滴。

按压片可以具有按压块，按压块用于按压可移动支撑构件，按压块包括设置在按压块中的预压缩弹簧。

这能减少当基板保持器被打开和关闭时施加到组件上的摩擦阻力，并且即使基板保持器具有不同的厚度也能达到用于密封基板保持器的稳定的密封能力

附图说明

图1是根据本发明的一个实施例的镀敷设备的示意性侧视图；

图2是图1所示的镀敷设备的平面图；

图3是显示基板保持器的结构的示意图；

图4A是显示基板保持器运送器的结构的示意性视图；图4B是显示图4A中显示的基板保持器运送器保持基板保持器的方式的示意性视图；并且图4C是沿着图4B的线Y-Y'的截面图；

图5A到5F是示意性地显示用于水平移动台的水平移动机构和基板保持器运送器的臂的操作顺序的示意图，用于将基板保持器水平地放置在台上；

图6A到6F是以图5A到图5F中的操作顺序详细地显示基板保持器和水平移动机构的视图；

图7A到图7D是显示用于将基板保持器放置在水平移动机构上的基板保持器运送器的操作顺序的视图；

图8A到8C是示意性地显示，用于水平移动台的水平移动机构和基板保持器传送器的臂的另一个操作顺序的示意图，用于将基板保持器水平地放置在台上；

图9A到9C是示意性地显示用于水平地移动台的水平移动机构和基板保持器传送器的臂的另一个操作顺序的示意图，用于将基板保持器水平地放置在台上，

图10是显示另一个基板保持器的结构的示意性视图；

图11A是显示图10显示的基板保持器的固定支撑构件的示意性视图；并且图11B是显示图10显示的基板保持器的可动支撑构件的示意性视图；

图12是图10中显示的基板保持器的可动支撑构件和固定支撑构件的部分放大截面图；

图13是显示基板保持器开启和闭合机构的结构的示意性示图；

图14A是显示基板保持器开口和闭合机构的头部分的结构的平面图；并且图14B是显示图14A中的头部分的正视图；

图15是头部分上的按压块的截面图；

图16A和16B说明是使用传感器检测基板的位置偏移的过程的示意性视图；

图17是基板保持器的平面图，该基板保持器具有在基板放置位置被限定在基板保持器内的凹进部分；

图18A和18B说明是使用传感器检测基板的位置偏移的过程的示意性视图；

图19是显示基板保持器开启和闭合机构的工作的方式的立体图；

图20是显示基板保持器开启和闭合机构的工作的方式的立体图；

图21是显示基板保持器开启和闭合机构工作的方式的立体图；

图22是显示基板保持器开启和闭合机构工作的方式的立体图；

图23是显示货车式贮藏部的结构的示意图；

图24是显示另一个货车式贮藏部的结构的立体图；

图25是示意地显示镀敷设备内的贮藏部安装部和货车式贮藏部的侧视图；

图26是示意地显示镀敷设备内的贮藏部安装部和货车型贮藏部的后视图；

图27是贮藏部安装部中的导板和货车式贮藏部中的竖直辊和水平辊的平面图；

图28是贮藏部安装部中的导板和货车式贮藏部中的竖直辊和水平辊的正视图；

图29A是显示货车式贮藏部上的锁柄和贮藏部安装部的门上的锁引导之间关系的示意图；图29B是显示锁引导被安装在其上的门的表面和锁柄的关系的示意图；和图29C是安装有锁引导的门的侧视图；

图30是显示镀敷设备的控制器、基板保持器运送器、贮藏部安装部，贮藏部触碰指示部和可触碰/不可触碰显示部之间联系的方块图；

图31A到31E是示意地显示用于将货车式贮藏部放置到货车式贮藏部的贮藏部安装部和从货车式贮藏部移除贮藏部安装部的步骤的立体图；

图32是当镀敷设备在工作时，用于将货车式贮藏部放置到货车式贮藏部的贮藏部安装部和从货车式贮藏部移除贮藏部安装部的步骤的流程图；

图33是显示用于将设置在传统的镀敷设备中的基板保持器进行旋转的机构的示意图；和

图34是显示用于将设置在另一个传统的镀敷设备中的基板保持器进行旋转的另一个机构的示意图。

具体实施方式

在下文中，将参考附图来详细描述本发明的较佳实施例。图1是显示根据本发明的实施例的镀敷设备的侧视图，图2是图1显示的镀敷设备的平面图。

如图1和2所示，镀敷设备包括设备框架100、用于支撑基板500的基板保持器110(参见图3)、用于将存储基板500的例如FOUP的承载容器放置在其上的一对装载口170、基板自动运送器180、旋转式冲洗干燥器(SRD)190、台120、镀敷部130、基板保持器运送器140、货车式贮藏部150和校准器195。货车式贮藏部150被放置在设备框架100中的贮藏部安装部分160。上述实施例中，货车式贮藏部150被用作贮藏部。

基板自动运送器180将基板500从放置在一个装载口170上的承载容器中取出，并将基板500传送到台120。基板自动运送器180还运送来自台120的处理过的基板，并将处理过的基板存储在被放置在一个装载口170上的承载容器中。基板自动运送器180可旋转并在装载口170、台120、旋转式冲洗干燥器190和校准器195之间运送基板500。旋转式冲洗干燥器190旋转镀敷完的基板500，同时冲洗镀敷完的基板500，并最后通过以高速旋转镀敷完的基板500来使得基板500干燥。

校准器195与基板500在基板500的圆周方向上的特定位置角度对齐。具体来说，校准器195检测基板500内限定的凹口或凹陷的位置，并将凹口导向为与标出的角位置对齐，从而将基板500转动到标出的角位置。当基板500转动时，校准器195还在预定位置与基板500的中心位置对齐。

镀敷设备还包括运送轴101，该运送轴101用于将基板座运送器140沿着该运送轴101移动、基板保持器开启和闭合机构102和控制器200，该控制器200包括基板保持器运送器控制器。

当基板500被镀敷时，基板保持器110保持基板500，并将基板500的端部和反面密封并将待镀敷的表面露出。基板保持器110还具有电气触点，该电气触点用于电接触基板500的待镀敷的表面的外边缘，并且该电气触点由外接电源供电。在镀敷处理前，基板保持器110被存储在货车式贮藏部150中。在镀敷处理中，基板保持器110通过基板保持器运送器140被在台120和镀敷部130之间移动。在镀敷处理后，基板保持器110被存储在货车式贮藏部150的后部。

基板保持器110能够被水平地放置在台120上。基板自动运送器180将基板500放置到被水平地放置在台120上的基板保持器110中，或将基板500从被水平地放置在台120上的基板保持器110中取出。

镀敷设备在其镀敷处理中使用两种镀敷溶液。镀敷部130包括按照镀敷处理的顺序被依次排列的预洗涤槽130a、预处理槽130b、冲洗槽130c、第一镀敷槽130d、冲洗槽130e、第二镀敷槽130f、冲洗槽130g和熔解槽130h。优选地，处理槽130a到130h被以镀敷处理的顺序沿着从x朝向x'的方向依次地排列，排除其他额外的运送路径。镀敷设备中槽的类型、数目和布置能够基于基板处理的目的而被自由选择。

在图1和2所述的镀敷设备中，通过基板保持器110被保持的基板500通过镀敷部130的处理槽130a到130h中的处理流体被处理。特别的，通过基板保持器110被保持的基板500被竖直地浸没在镀敷槽130f中的镀敷溶液中，并被在镀敷溶液中被镀敷，同时镀敷溶液被从下引入镀敷槽130f并溢出镀敷槽130f。在本实施例中，镀敷槽130f被分成多个区域，通过基板保持器110被保持的一个基板500在每个区域被竖直地浸没在镀敷溶液中并被镀敷。镀敷槽130f的每个区域具有用于将基板保持器110从其中穿过的插入槽、用于供应电能到基板保持器110的电源单元、正极、搅拌装置和屏蔽板。正极被安装在正极保持器上，与基板500同轴并且具有面对基板500的露出表面。

基板保持器运送器140能够通过传送机构沿着运送轴101在台120、镀敷部130和货车式贮藏部150之间移动，传送机构例如是线性电机等等，但未在图中显示。基板保持器运送器140运送基板保持器110并同时保持基板保持器110处于竖直姿势。

货车式贮藏部150能够存储多个基板保持器110，每个基板保持器110在竖直平面内延伸。在图1中，货车式贮藏部150被设置为靠近镀敷设备的后表面。然而，货车式贮藏部150可以被设置在其它位置，例如在台120和镀敷部130之间。

以下将通过举例简要说明镀敷设备的操作顺序。操作顺序包括以下步骤(a)到步骤(h)。

(a)基板保持器运送器140移动到货车式贮藏部150上方的位置，保持和取出存储在货车式贮藏部中的基板保持器110。

(b)然后，基板保持器运送器140移动到台120上方的位置，同时保持基板保持器110，并将基板保持器110水平的放置在台120上。

(c)基板500被安置到基板保持器110。

(d)基板保持器运送器140竖直地保持基板保持器110，并移动到镀敷部130的预洗涤槽130a。此后，基板保持器运送器140在从x到x'的方向上依次通过镀敷部130的处理槽130a到镀敷部130的处理槽130h，同时通过基板保持器110被保持的基板500在处理槽130a到处理槽130h中被处理。

(e)基板500在镀敷部130中的处理完成后，基板保持器运送器140移动到台120，同时竖直地保持基板保持器110，然后将基板保持器110水平的放置在台120上。

(f)基板500被从基板保持器110移去。

(g)如果多个待处理的基板500要被连续地处理，则下一个未被处理的基板500被安置在基板保持器110中，并重复以上从步骤(d)到步骤(f)的顺序。

(h)当全部的镀敷处理完成后，基板保持器运送器140竖直地保持已将基板500从其移除的基板保持器110，基板保持器运送器140移动到货车式贮藏部150，并将基板保持器110竖直地存储到货车式贮藏部150中。

在上述操作顺序中，在将基板500安置在基板保持器110中后，基板保持器运送器140将保持基板500的基板保持器110移动到镀敷部130的预洗涤槽130a。然而，在将基板500安置在基板保持器110后，基板保持器运送器140可以将基板保持器110运送到货车式贮藏部150，并可以暂时将基板保持器110放置在货车式贮藏部150上。

以下将描述基板保持器110结构上的细节。图3是显示基板保持器110的结构的示意性视图；

如图3所示，基板保持器110在它的一端具有操纵柄111。操纵柄111通过基板保持器运送器140被保持。操纵柄111的形式为可以绕自身轴线旋转的圆杆，该圆杆用于将基板保持器110的姿势从竖直状态转换为水平状态和从水平状态转换为竖直状态。

操纵柄111希望是由耐腐蚀性的不锈钢制成，以使其自身能够抵抗可能施加到其上的镀敷溶液。在操纵柄111由不锈钢制成，但仍然因为与镀敷溶液接触而易受到腐蚀的情况下，操纵柄111的表面希望应当涂覆有铬镀敷层或碳化钛(TiC)层，用于增加耐腐蚀性。操纵柄111可以由具有高度抗腐蚀性的钛制成。在这种情况下，因为基板保持器运送器140的表面摩擦阻力的等级通常较高，需要将基板保持器运送器最后加工成能平稳地旋转滑动接触基板保持器运送器140的升降器142，该升降器142将稍后描述。

基板保持器110具有一对吊架112，每个吊架112分别位于基板保持器110的相对的上端上。每一个吊架112是长方体或立方体形式。吊架112被分别地放置在吊架接收器中，吊架120的作用是在基板保持器110被放置在镀敷部130的处理槽130a到130h中时吊起基板保持器110。吊架112中的一个具有电能馈送触点114。如果镀敷槽130d和130f是电镀敷槽，则在吊架112上的电能馈送触点114被保持与位于相应的吊架接收器上的电气触点接触，该电气触点用于将电流从外部电源供应到基板500的待镀敷表面。当基板保持器110被放置在吊架接收器上的吊架112吊起时，电能馈送触点114位于不与镀敷槽中的镀敷溶液接触的位置。当基板保持器110被存储在货车式贮藏部150中时，吊架112被支撑在货车式贮藏部150的吊架接收器152上，该吊架接收器152将稍后描述。

每个吊架112的形式为长方体或立方体，每个吊架112被设计成当基板保持器110移动时防止基板保持器110摇晃，抵抗沿着图3中的箭头A表示的方向被施加到基板保持器运送器140上的力。当基板保持器110处于竖直状态并且它的下端113面向下时，吊架112使它们的上表面水平布置。

基板保持器110的下端113具有半圆形的横截面(参见图6A到6F)，用于与台120的水平移动机构121平滑地旋转滑动接触，该水平移动机构121将稍后描述。

图4A是显示基板保持器110的结构的示意性视图。图4B是显示通过图4A显示的基板保持器运送器140保持基板保持器110的方式的示意性视图。图4C是沿着图4B的线Y–Y'的截面图。基板保持器运送器140包括结合在竖直支撑柱145中的上升下降机构，该上升下降机构没有显示。上升下降机构竖直地运行以抬升和降低基板保持器110。上升下降机构包括用于吊起基板保持器110的水平臂141。臂141具有作为保持部分的升降器142，用于通过从下方支撑操纵柄111来吊起和保持基板保持器110。为了从下方支撑操纵柄111，升降器或保持部分142具有用于与操纵柄111接合的一对半圆形指状元件142a。半圆形指状元件142具有略微大于操纵柄111的外侧直径的内侧直径。升降器142在半圆形指状元件142a之间具有空隙，并还包括传感器144，该传感器144作为基板保持器检测器，用于检测操纵柄111目前是否出现在空间中，并且用于检测到空间中的操纵柄111的距离。如果传感器或基板保持器检测器144检测到反常状态或没有检测到操纵柄111，即，基板保持器110，或检测到当到操纵柄111的距离偏离参考值，即，当基板保持器110偏移出相对于臂141的位置时，传感器144将反常状态显示给上升下降机构控制器，该上升下降机构控制器停止抬升和降低臂141，该上升下降机构控制器在图中未显示。传感器144还能够检测另一个反常状态，在该另一个反常状态中，当指状元件142a想要从下方支撑操纵柄111时，因为基板保持器110的位置偏移，升降器142的指状元件142a没有适当地支撑操纵柄111。

优选地，指状元件142a在它们保持为与操纵柄111接触的表面应当结合有例如PTFE等等的合成树脂层，或被TUFRAM处理过或被覆盖有PEEK的铝层，以减少表面的摩擦系数，使操纵柄111相对于指状元件142a平滑地转动。

基板保持器运送器140包括一对夹持器143，用于防止基板保持器110摇晃。当基板保持器运送器140水平地移动，夹持器143对基板保持器110的吊架112的上水平面施加向下的力，以防止基板保持器110在沿着基板保持器运送器140移动的方向上摇晃。为了更有效地防止基板保持器110摇晃，吊架112可以被设计成具有与夹持器143适配接合的形状。

在这个实施例中，夹持器143具有向下开放的C形，用于对基板保持器110的吊架112的上水平面施加向下的力，并支撑吊架112的相反的竖直表面，以防止基板保持器110摇晃。如果从夹持器143竖直地施加到吊架112的上水平面的力的程度能够被设置成大于使基板保持器110趋向于摇晃的力，则夹持器143不需要支撑吊架的相反的竖直表面。基本上，因为吊架112的上水平面不具有较大的面积，优选地，夹持器143应当支撑吊架112的相反的垂直表面。

当基板保持器110被从竖直状态改变为水平状态，夹持器143被向上移动以释放基板保持器110。夹持器143通过被安装在臂141上的独立的致动器146，例如气缸、电动执行器等等被竖直地移动。在本实施例中，两个致动器146被用于移动夹持器143，夹持器143在基板保持器110的相反端上支撑吊架112支撑。然而，单个致动器146可以被安装在臂141上，并与基板保持器110的中心对准，附接件可以安装在致动器146的可动部件上，并被连接到两个夹持器146，该附接件没有显示。

通过从水平状态转变为垂直状态，台120被用于在其上水平地放置基板保持器110。台120包括用于支撑基板保持器110的下端113的水平移动机构121(参见图5A到5F)。水平移动机构121能够随着引导物在沿着基板保持器运送器140的运送轴101的方向上滑动，例如线性运动(LM)引导来引导基板保持器110的下端113进行线性运动，引导物没有在图中显示。

在本实施例中，水平移动机构121受到由重物123经由线122施加的外力，水平移动机构121趋向于将水平移动机构121返回到初始位置，即，当基板保持器运送器140被朝着台120降低时，水平移动机构121总是与基板保持器110的下端113接触的位置。重物123可以用螺旋弹簧代替。优选地，水平移动机构121应当具有适合于与基板保持器110的下端113滑动接触的形状和材料。

以下将参考图5A到5F，6A到6F，7A到7D描述用于将基板保持器110从竖直状态改变成水平状态和将基板保持器110水平地放置在台120上的操作顺序。

图5A到5F是示意性地显示为了将基板保持器110水平地放置在台120上，用于水平移动台120的水平移动机构121和基板保持器运送器140的上升下降机构的臂141的操作顺序的视图。图6A到6F是详细地显示图5A到5F的操作顺序中的基板保持器110和水平移动机构121的视图。图7A到7D是显示用于将基板保持器110放置在水平移动机构121上的基板保持器运送器140的操作顺序的视图。

随着臂141的升降器142将基板保持器110吊起并且夹持器143夹紧基板保持器110以抵抗摇晃，基板保持器运送器140移动到台120上方的位置。此时基板保持器110和水平移动机构121之间的空间关系显示在图7A和7B中。台120包括在支撑基板保持器110的下端113的同时能够水平移动的水平移动机构121。当基板保持器运送器140移动到台120上方的位置时，竖直地保持基板保持器110的臂141开始下降。图5A显示了基板保持器110的下端113被降低到略微高于水平移动机构121的位置的状态。此时基板保持器110和水平移动机构121之间的位置关系显示在图6A和7B中。

然后，如图7C所示，夹持器143释放基板保持器110。如5B、6B和7D所示，臂141被降低，直到基板保持器110的下端113接触水平移动机构121。

在如图5A和5B所示的基板保持器110的向下运动期间，优选地，臂141应当被以高速降低，并且夹持器143支撑基板保持器110以抵抗摇晃运动，直到基板保持器110的下端113到达略微高于水平移动机构121的位置。然后，优选地，夹持器143释放基板保持器110并以低速度降低臂141，直到基板保持器110的下端113接触水平移动机构121。用这样的方式，基板保持器110在短时间段内被稳定地降低。

当基板保持器110的下端113刚刚接触到水平移动机构121时，基板保持器110位于它的旋转圆周的底部死点并且不能平滑地旋转。因此，在基板保持器110的下端113接触到水平移动机构121后，如图5C所示，臂141被稍微降低并被稍微地朝向镀敷部130水平移动。因此，如图6C所示，基板保持器110现在倾斜并开始平滑旋转。

在基板保持器110被倾斜一定预定角度后，优选地大约为15°，臂141被降低以使得基板保持器110的下端113在基板保持器110的重量下推动水平移动机构121，如图6D所示。当基板保持器110的下端113被降低，臂141可以被略微地朝向基板自动运送器180移动。如图5D和5E所示，基板保持器110的下端113通过水平移动机构121被支撑，臂141的下降使基板保持器110被旋转并从竖直状态倾斜成水平状态。具体来说，如图6E所示，当臂141从图6D所示的位置降低，基板保持器110被倾斜成水平状态，同时在点A被支撑。

当臂141被进一步降低时，基板保持器110水平布置，如图5F和6F所示，基板保持器运送器140的向下运动和水平移动机构121的水平运动完成。水平基板保持器110的全部重量由台120负担。臂141进一步被降低，然后朝镀敷部130退回，并此后被抬起。

如上所述，基板保持器110从竖直姿势转换为水平姿势，而不需要具有用于旋转基板保持器110的大扭矩的大尺寸旋转机构。根据本发明，重要的是优化以下设计：基板保持器运送器140初始移动以使基板保持器110倾斜的距离、臂141降低的速度、被施加以使得水平移动机构121回到初始位置的力、操纵柄111和升降器142的指状元件142a之间的滑动阻力、基板保持器110的下端113和水平移动机构121之间的滑动阻力、基板保持器110的下端113和水平移动机构121的形状。

根据本发明，基板保持器110的姿势随着水平移动机构121的水平运动被转换。根据另一个姿势转换方案，如图8A到8C所述，基板保持器110的下端113可以被保持为与台120的左端接触，臂141可以被弧形地移动，以使基板保持器110变为水平姿势。然而，如图1所示，当基板自动运送器180将基板500运送到基板保持器110或从基板保持器110接收基板500时基板保持器开启和闭合机构102能够使基板保持器110释放基板500，基板保持器开启和闭合机构102被设置在台120的上方，基板保持器运送器140和基板保持器开启和闭合机构102易于相互干扰。

根据另一个姿势转换方案，如图9A到9C所述，基板保持器110的下端113可以被保持为与台120的右端接触，臂141可以使基板保持器110朝向镀敷部130倾斜，直至基板保持器110水平，并最终臂141将基板保持器110移动到台120上。然而，如图9B所示，因为基板保持器运送器140从台120朝向镀敷部130突出较大的距离，有可能干扰镀敷部130的处理操作。

根据本发明改变基板保持器110的姿势的过程，不同于以上其它的姿势变换方案，基板保持器运送器140转换基板保持器110的姿势时，基板保持器运送器140没有干扰基板保持器开启和闭合机构102和镀敷部130中的处理操作。因此，不用考虑基板保持器运送器140与基板保持器开启和闭合机构102和镀敷部130之间的距离。根据本发明的基板保持器110的姿势改变的过程对于节省镀敷设备的空间非常有效。

水平移动机构121可以包括用于通过其自身而不需要基板保持器110的重量就可水平移动的机构。然而，为了转换基板保持器110的姿势，这种机构需要它自己的电源并且必须与臂141配合工作，结果导致了复杂的控制过程。相应地，希望使得水平移动机构121能够滑动，并且也希望控制一个机构以使水平移动机构121在重物123或螺旋弹簧施加的外力下水平移动，使得水平移动机构121返回到其初始位置。

随着基板保持器110从竖直状态改变成水平状态，在本实施例中，操纵柄111和升降器142的指状元件142、基板保持器110的下端113和水平移动机构121彼此滑动抵靠。如果不需要它们彼此相互滑动抵靠，则操纵柄111的相反端可以通过轴承支撑，辊可以被安装在基板保持器110的下端113。然而，因为基板保持器110被浸没在镀敷溶液中，轴承和辊被设置在镀敷溶液中或靠近镀敷溶液的表面。可能不想要轴承和辊被镀敷溶液影响。因此，为了避免部件的滑动移动，辊可以被安装在升降器142的指状元件142a或水平移动机构121上，以使操纵柄111或基板保持器110的下端113可旋转。

处理过的基板500被从放置在台120上的基板保持器110移去或下一个待处理的基板500被基板保持器110保持后，基板保持器110将它的姿势从水平状态改变为竖直状态。为了这种姿势转换，升降器142的指状元件142a进入操纵柄111的下方，并与操纵柄111接合，随着臂141上升，升降器142将基板保持器110吊起。水平移动机构121没有与基板保持器110的下端113脱离接合，并回到它的初始位置，使得基板保持器110变成竖直姿势。臂141被进一步升起，当臂141被升起时，夹持器143如上所述地工作，防止基板保持器110摇晃。

在本实施例中,为了将基板保持器110的姿势在竖直姿势和水平姿势之间转换，只要求动力水平地移动水平移动机构121并且抬升和降低臂141。用于产生水平和竖直移动的基板保持器运送器140的机构被要求将基板保持器110移动到处理槽并将基板500浸没在处理槽中的处理溶液中。因此，不需要专用的动力来改变基板保持器110的姿势。

本发明适用于很多使用基板保持器来保持基板、运输基板保持器和镀敷基板的设备。在本实施例中，通过实例来说明本发明的原则如何被用于镀敷设备。然而，发明的原则也合适酸洗设备和无镀敷敷设备等等。本发明的原则不但适用于将基板保持器完全浸没在处理槽中的处理设备，也适用于包括这样的处理槽的处理设备：开口被限定在该处理槽的竖直侧壁上并水平地靠近被基板保持器保持的基板。在本实施例中，镀敷设备包括单个基板保持器运送器，该基板保持器运送器通常被用来改变基板保持器的姿势并且将基板保持器运送到包括镀敷槽的处理槽。然而，本发明的原则适用于包括多个基板保持器运送器的镀敷设备，例如，多个基板保持器运送器中的一个用于改变基板保持器的姿势，另一个例如用于将基板保持器运送到镀敷部130。

根据本发明，如上所述，因为基板保持器能够稳定地旋转而不再需要大尺寸的旋转机构，该镀敷设备节省了空间并降低制造成本。特别地，因为被用来将基板保持器运送到镀敷槽的基板保持器运送器又被用来旋转基板保持器，不需要单独的用于旋转基板保持器的动力机构，该镀敷设备的制造成本能够被极大地降低。

以下将描述基板保持器打开和闭合机构102的操作顺序。基板保持器打开和闭合机构102的作用是安装和移动基板保持器110的罩，即，以下将描述的可动支撑构件11，为了将基板500安装到水平地放置在台120上的基板保持器110，并从该基板保持器110移除。

图10是显示基板保持器110的结构的平面图，在该基板保持器110中，可动支撑构件11被安装在固定支撑构件15上，同时突出部(lobe)13被分别保持为与夹持器16适配接合。图11A是显示基板保持器110的固定支撑构件15的平面图。图11B说显示基板保持器110的可动支撑构件11固定平面图。图12是基板保持器110的固定支撑构件15和可动支撑构件11的一部分的放大截面图。

如图10到12所示，基板保持器110具有作为罩的可动支撑构件11和被放置在台120上的固定支撑构件15。基板500被夹紧在可动支撑构件11和固定支撑构件15之间。可动支撑构件11形成为大致圆环状并具有支撑构件12和多个突出部13，多个突出部13与支撑构件12一体形成且从支撑构件12向外突出。可动支撑构件11能够被固定到固定支撑构件15并且能够从可动支撑构件11移除。如图10所示，可动支撑构件11被固定到固定支撑构件15的上表面上。固定支撑构件15具有多个夹持器16，该多个夹持器16的位置分别与突出部13对应。夹持器16具有倒转的L形状，并具有向内弯曲的顶端。当突出部13被适配进夹持器16的向内弯曲的顶端时，夹持器16将可动支撑构件11紧固到固定支撑构件15。优选地，突出部13和夹持器16应当具有用于使突出部13和夹持器16能够方便地相互适配的锥形表面。

支撑构件12能够相对于可动支撑构件11旋转，并被分离防止构件(dislodgmentprevention member)12b不可分地保持，支撑构件12和突出部13可一起围绕可动支撑构件11的中心R在大致水平的平面上可旋转。支撑构件12形成为例如大致圆环状。支撑构件12具有设置在支撑构件12的圆周表面上并朝向基板保持器打开和闭合机构的头部分1100突出的突起12a，该突起12a将稍后描述。支撑构件12通过分离防止构件12b被防止从可动支撑构件11中分离。

基板500被夹持在可动支撑构件11和固定支撑构件15之间，当支撑构件12被旋转以使突出部13与夹持器16适配接合时，可动支撑构件11和固定支撑构件15被紧固在一起。为了安装和移除基板500，支撑构件12被旋转以使突出部13从与夹持器16的适配接合中脱离。基板500被放置在固定支撑构件15的基板放置区域14中。

可动支撑构件11具有第一密封环18a和第二密封环18b，用于密封基板500的不需要被镀敷的部分，例如基板500边缘和反面，从而不与镀敷溶液接触。第一密封环18a被保持与基板500的外周边缘接触，第二密封环18b被保持与固定支撑构件15的表面接触。基板保持器110被用在镀敷设备中。因此，基板保持器110具有电触点20，该电触点20用于接触通过被第一密封环18a密封的基板500的边缘区域并将电力提供到基板500。电触点20被电气连接到外部电源，且基板500被夹持在可动支撑构件11和固定支撑构件15之间。第一密封环18a和第二密封环18b由密封环保持19保持。为了简明而要，第一密封环18a和第二密封环18b可以被笼统地认为是密封环18。

为了将基板500从基板保持器110移去，可动支撑构件11被移动远离固定支撑构件13。此时，第一密封环18a可以和基板500紧固在一起，基板500可能被附着到可动支撑构件11并同可动支撑构件11一起升起。为了防止基板500被附着到可动支撑构件11，优选地，可动支撑构件11具有剥落弹簧，用于当基板500被移动远离第一密封环18a时将基板500朝向固定支撑构件15偏置，并将基板500从第一密封环18a剥落。剥落弹簧被专利号为No4162440的日本专利公开。

然而，即使可动支撑构件11具有弹簧构件，根据被施加到基板500的保护层的性质和特性，例如材料和厚度，因为在可动支撑构件11被移除时密封环18a和基板500被紧固在一起，基板500可以从基板放置区域14被位置偏移。特别地，基板500的边缘的一部分可以被紧固到第一密封环18a，基板500可以被倾斜地升起并落入固定支撑构件15的未对齐位置。

如后所描述，当基板保持器打开和闭合机构102的传感器1140检测到基板500的位置未对齐时，通过阻止镀敷设备继续对偏移的基板500的操作来解决了这个问题。

图13是显示基板保持器打开和闭合机构102的结构的示意性视图。如图13所示，基板保持器打开和闭合机构102包括头部分1100、第一致动器1200和第二致动器1300。

被放置在台120上方的头部分1100能够保持被放置在台120上的基板保持器110的可动支撑构件11。头部分1100能够旋转可动支撑构件11的支撑构件12以旋转突出部13，用于将可动支撑构件11紧固到固定支撑构件15或从固定支撑构件15释放可动支撑构件11，并保持可动支撑构件11，。

第一致动器1200通过头部分1100的连接凸起1170被连接到头部分1100。当操作时，第一致动器1200竖直地移动头部分1100。在本实施例中，第一致动器1200具有致动器单元1210和轴1220，该轴1220具有连接到头部分1100的端部。随着轴1220被延伸和缩短，第一致动器1200竖直地移动头部分1100。

第二致动器1300具有单轴移动的致动器单元1310和固定到致动器单元1310的移动板1320的轴钩1330。通过用于使轴1130在被推动时能够滑动的辊轴1350，两个辊1340在该两个辊1340之间相互间隔的位置上被旋转地安装到轴钩1330。当第二致动器1300被运作时，轴钩1330被水平地往复移动，以推动从头部分1100延伸的轴1130，以旋转头部分1100的旋转板1150。第二致动器1300可以包含球形螺钉。

图14A和14B显示头部分1100的结构上的详情。如图14A和14B，头部分1100包括按压片1110和被安装在按压片1100的旋转板1150。按压片1110包括吊钩1111、旋转板引导1112、引导辊1113和按压块1114。传感器1140被沿着它的外周以一定间隔被稳固地支撑在按压片1110上。

旋转板1150具有紧固钩1151并被连接到轴1130的端部。旋转板1150为大致的圆环状并被按压片圆盘1110上的旋转板引导1112夹持。旋转板1150能够围绕其中心轴线在大致水平平面中旋转并与引导辊1113接合。

轴1130例如包括杆。当第二致动器1300运转以水平地移动轴钩1330时，轴1130也被水平地移动，旋转板1150被旋转。具体地，旋转板1150的旋转能够通过控制第二致动器1300的运转来控制。用于检测轴1130的位置的传感器1131被安装到按压片1110上。

当旋转板1150围绕其中心轴线旋转时，旋转板1150旋转支撑构件12和突出部13。在本实施例中，两个紧固钩1151在各自的两个周向位置从旋转板1150向下延伸。当旋转板1150通过第二致动器1300被旋转时，紧固钩1151中一个推动支撑构件12的突起12a，旋转支撑构件12。

按压块1114被安装在按压片1110的底面上。当第一致动器1120降低头部分1100时，例如，按压块1114在图12中的点P与可动支撑构件11接触，向下按压可动支撑构件11。当可动支撑构件11被这样按压时，密封环18变形，且变形距离为可动支撑构件11被向下按压的距离。随着可动支撑构件11被下降,在突出部13和夹持器16之间产生了空隙。因此，施加以旋转支撑构件12的力，即，通过第二致动器1300产生的驱动力可以较小，以使得夹持器16和突出部13上的磨损最小化。

按压块1114向下按压可动支撑构件11的距离通过头部分1100被下降到的位置确定。如果基板保持器110具有不同的厚度，则密封环18被变形或被压缩的距离会不同。具体地，如果基板保持器110比正常厚度薄，则因为密封环18没有被充分地压缩，支撑构件12在旋转时易于被更多地磨损。如果基板保持器110比正常厚度厚，则密封环18被过度地压缩和破坏，相反地，密封环18的密封能力就会被影响。

如图15所示，上述问题能够通过使用具有弹性构件30的活塞解决，该弹性构件30例如为如每个按压块1114一样被设置在活塞内部的弹簧。活塞还容纳保持抵靠弹性构件30并且突出活塞之外的销31。具有弹力的弹性构件30被预先压缩一定程度并被容纳在活塞中，以便弹性构件30常态地偏置销31，以使销31从活塞中伸出并与基板保持器110接触。按压块1114因此被构造成能够减小密封环18因为各个基板保持器110的几何特性导致的距离上的差别。因此，可以容许基板保持器110具有厚度差别，稳定地减小产生在基板保持器110被打开和关闭时在元件之间的摩擦力，并且稳定了密封环18的密封能力。

按压片1110在其外边缘具有多个吊钩1111。当可动支撑构件11的突出部13被旋转到多个吊钩1111的各个吊挂件的正上方的位置时，头部分1100被升起。可动支撑构件11的突出部13现在通过吊钩1111被吊挂，以使可动支撑构件11随着头部分1100同步上升。此时，在可动支撑构件11和固定支撑构件15之间产生空隙，允许基板500被放置在固定支撑构件15上或被从固定支撑构件15上移除。

如上所述，可动支撑构件11的支撑构件12被旋转以将可动支撑构件11紧固到固定支撑构件15，可动支撑构件11通过分离致动器被抬升和下降，每个步骤通过头部分1100在单个动作中运行。因此，在此不需要传统镀敷设备所需要的复杂的往复和旋转机构，镀敷设备的尺寸较小并且结构简单，制造成本低。包括通过铰链被彼此连接的移动支撑构件11和固定支撑构件15的传统的基板保持器，其需要用于抬升可动支撑构件11到低于台的位置的机构。根据本发明的基板保持器110不需要专门的致动器用于打开和关闭基板保持器110。

传感器1140被安装在按压片110的外周边缘，传感器1140作为用于检测被放置在台120上的基板保持器110中的基板500的位置的位置检测器。以下将参考图16A和16B描述检测基板500的位置的过程。

如图16A和16B，基板保持器打开和关闭机构102的每个传感器1140被放置在基板保持器110的上方。传感器1140可以是例如激光传感器，但并不局限于此。基板保持器打开和关闭机构102的至少一个传感器1140能够精确地检测基板500的位置不对齐。基板保持器110的固定支撑构件15具有被限定在固定支撑构件15的外周边缘的凹部17，凹部17与传感器1140施加激光束的位置对齐。例如，如图17所示，基板保持器打开和关闭机构102具有三个传感器1140，固定支撑构件15在基板安置区域14的外周边缘具有三个凹部17。优选地，每个凹部17具有倾斜的底面，该底面与来自传感器1140的激光束的轴线基本垂直，并允许镀敷溶液流出凹部17，以便在传感器1140和凹部17的倾斜底面之间保持有恒定距离。

传感器1140测量到对象的距离，并确定测得的距离是否在预先确定的范围中。例如，如果被设置在与凹部17的倾斜底面相隔距离A的特定高度处的传感器1140，如图16A所示，传感器1140检测距离A作为到倾斜底面的距离，然后，判断出传感器1140检测到了到倾斜底面的正确距离，而不是到固定支撑构件15上的基板500的距离。因此，发现基板500不是位于传感器1140和倾斜底面，即凹部17，之间。

另一方面，如果所述传感器1140检测到小于距离A的距离W₁，如图16B所示，则判断出传感器1140测量到了到基板500的距离，并且基板500处于的位置不对齐。

如果距离多个凹部17的倾斜底面的正确距离是由对应的传感器1140检测出的，则发现基板500在任何凹处17的方向上的位置没有出现不对齐。因此基板500的位置不对齐能够被更精确地检测。

可以通过调节传感器1140与基板500法线的倾斜度R和距离A和来设定用于确定基板500的位置不对齐的阈值D为适当的值。优选地，阈值D应当处于05毫米到15毫米的范围内。

当基板500没有位于传感器1140和凹部17之间的位置时，基板500可能不位于固定支撑构件15上。例如，基板500可能附着在可动支撑构件11，并可能同可动支撑构件11一起被抬升。为了防止这个情况发生，如图18A和18B所示，传感器1140可以随着头部分1100上升，并可以再次测量从传感器1140之前测量到凹部17的倾斜底面的距离时所处的高度到凹部17的倾斜底面的距离。

具体地，如图18A所示，当传感器1140从传感器1140之前测量到凹部17的倾斜底面的距离时所处的高度上升高度H，传感器1140与基板500间隔距离W₂。

如果传感器1140测量距离基板500的距离W₂，则判断出传感器1140已测量了到基板500的正确距离，并发现基板500被放置在固定支撑构件15上。

如图18B所示，另一方面，如果传感器1140测量小于距离W₂的距离B，则判断出传感器1140已测量到凹部17的倾斜底面的距离，并发现基板500不位于固定支撑构件15上。

以下将参照图19到22描述用于将基板500放置在基板保持器110内和将基板500从基板保持器110移除的基板保持器打开和关闭机构102的运转顺序。

图19是显示通过基板保持器运送器140被水平地放置在台120上的基板保持器110的立体图。在该状态下，通过连接凸起1170被连接到第一致动器1200的头部分1100被与基板保持器110向上地间隔。轴1130从头部分1100延伸到第二致动器1300上方的位置。基板保持器110没有保持基板500，可动支撑构件11通过突出部13被暂时地紧固到固定支撑构件15，该突出部13与夹持器16轻微地接合保持。

然后，头部分1100通过第一致动器1200被降低，从而使轴1130位于两个辊1340之间的位置。

其后，如图20所示，第二致动器1300被运转以将可动支撑构件11从固定支撑构件15释放，即，从夹持器16释放突出部13。如图20所示，轴钩1330在由箭头X'指示出的方向上通过第二致动器1300被移动，将旋转板1150反时针方向转动。因此，如上所述，紧固钩1151中的一个推动支撑构件12的突起12a，将突出部13移动到吊钩1111。

在箭头X，X'所示的方向上，第二致动器1300移动到其初始位置，以将轴钩1330从图20所示的位置返回到其中间位置。然后，第一致动器1200被运转以提升头部分1100，提升可动支撑构件11。如图21所示，基板自动运送器180将基板500放置在固定支撑构件15的基板放置区域14。

然后，第一致动器1200被运转以将头部分1100从图21所示的位置降低。如上所述，当位于按压片1110的下表面上的按压块1114按压可动支撑构件11时，因为按压块1114各自在其中包括弹性构件30，弹性构件30能够减小密封环18因为基板保持器110的不同厚度而被压缩的距离上的差别。

当第一致动器1200降低头部分1100并且第二致动器1300在箭头X指示的方向上从图21所示的位置移动轴钩1330时，轴钩1330在箭头X指示的方向上推动轴1130，顺时针方向转动旋转板1150，如图22所示。紧固钩1151推动支撑构件12的突起12a，该突起12a也顺时针转动。突出部13现在与夹持器16适配接合。移动支撑构件11现在被固定到固定支撑构件15，以将基板500夹持在移动支撑构件11和固定支撑构件15之间。

图22显示被保持为彼此适配接合的突出部13和夹持器16，基板500被夹持在移动支撑构件11和固定支撑构件15之间。如果移动支撑构件11将被暂时地紧固到固定支撑构件15，而基板500没有被夹紧在移动支撑构件11和固定支撑构件15之间，轴钩1330可能被停止在比图22所示的位置稍微靠前的位置上。

如图22所示，在突出部13和夹持器16被保持为相互适配接合时，第二致动器1300移动到其初始位置，以将轴钩1330在箭头X，X'指示的方向上返回到其中间位置。保持基板500的基板保持器110然后由基板保持器运送器140运送到基板500将被处理的镀敷部130。

在基板500被处理后，保持已被处理的基板500的基板保持器110被放置在台120上，并且基板500通过基板保持器打开和关闭机构102和基板自动运送器180被从基板保持器110移除。为了将基板500从基板保持器110移除，将固定支撑构件15从移动支撑构件11分离的过程通过第一致动器1200第二致动器1300以与上述方法相同的方式进行。图21也显示了在保持已被处理基板500的基板保持器110被放置在台120上后，头部分1100抬升的可动支撑构件11。如果基板500被紧固到第一密封环18a并被第一密封环18a抬起，然后落入固定支撑构件15上的不对齐位置，或如果基板500继续附着在可动支撑构件11，则当传感器1140如上所述测量到固定支撑构件15和到基板500的距离时，这样的问题被位于头部分1100上的传感器1140检测。

如上所述，因为基板保持器打开和关闭机构102以简单的组件组合而成，其尺寸相对较小，并且成本较低。因为本实施例中的基板保持器打开和关闭机构102包括位于可竖直移动的头部分1100上的传感器1140，该传感器1140用于检测基板500的位置不对齐，基板保持器打开和关闭机构102能够比现有的设备更精确地检测基板500的位置不对齐，而无论基板500和基板保持器110是否变形以及基板500上是否有水滴。另外，因为用于按压基板保持器1100的按压块1114分别在其中包括各自的弹性构件30，弹性构件30能够减小密封环18因为基板保持器110的不同厚度而被压缩的距离上的差别，并稳定密封环18相对于基板500的密封能力。

在这本实施例中，第二致动器1300被沿着台120设置。然而，因为第二致动器1300起到相对于按压片1110旋转旋转板1150的作用，第二致动器1300可以被安装在按压片1110上，用于旋转旋转板1150的。在本实施例中，分别包括弹性构件30的按压块114减小密封环18因为基板保持器110的不同厚度而被压缩的距离上的差别。然而，用于竖直地移动头部分1100的第一致动器1200可以包含具有扭矩监测能力的伺服电机，可以控制伺服电机以控制头部分1100的下降，以使得压缩密封环18的力为恒定。以此方法，密封环18被压缩的距离可以为恒定，而不论基板保持器110的不同厚度。本实施例中的货车型贮藏部150(参见图1和2)适用于存储每个在竖直平面内延伸的基板保持器110。货车型贮藏部150能够存储至少与镀敷部130中的镀敷槽130f中的隔室的数目相同的基板保持器110。优选地，货车型贮藏部150应该存储额外的一组基板保持器110，作为被发现因为电力馈送故障等而出现问题的基板保持器110的备用。

货车型贮藏部150位于贮藏部安装部分160。如图1所示，贮藏部安装部分160设置为靠近镀敷设备的后表面，在镀敷设备的前表面上具有装载口170。贮藏部安装部分160和货车型贮藏部150可以被放置在其他位置，例如，在台120和镀敷部130之间。然而，台120、镀敷部130和贮藏部安装部分160应当被以如图1的顺序依次排列，以提高效率，因为这样的布局可以在每单位时间里产生较高的吞吐量。具体地,当镀敷设备在连续运转中，在基板保持器110运送已经在镀敷部130处理过的基板500后，基板保持器110接收下一个待处理基板500。因此，除非基板保持器110遇到例如电力馈送故障等问题时，货车型贮藏部150中的相应隔室变空，并会导致用于基板保持器110从空的货车型贮藏部150上方经过的运送时间损耗。换句话说，当镀敷设备处于连续运转时，基板保持器110不会被向右运送超出图1中的X表示的点。

如果货车型贮藏部150和贮藏部安装部分160设置在台120和镀敷部130之间，面对图1的观察者的镀敷设备的侧壁需要具有开口，并且货车型贮藏部150必须通过该开口被放入贮藏部安装部分160和从贮藏部安装部分160中取出。然而，镀敷设备通常与邻近的设备间隔开大约1米，提供了有限空间，其中操作者将货车型贮藏部150放进贮藏部安装部分160和从贮藏部安装部分160中取出，并继续在货车型贮藏部150上工作。很难制造在这样的有限空间里可移动且能存储多个基板保持器的货车型贮藏部。根据本实施例，贮藏部安装部分160被设置在靠近镀敷设备的后表面，因为在镀敷设备的后表面后面具有较大的空间，可以自由地接近贮藏部安装部分160。

接着，以下将描述货车型贮藏部150的结构上的细节。当镀敷设备断电时，即，当没有基板500被处理时，货车型贮藏部150在其中存储所有的基板保持器110。当镀敷设备处于工作中时，即，当基板500被处理时，必需的基板保持器110被从货车型贮藏部150中取出，并且没有被使用的基板保持器110或者遇到例如电力馈送故障等问题的基板保持器110被储存在货车型贮藏部150中。

图23是显示货车型贮藏部150的结构的示意性视图。如图23所示，货车型贮藏部150包括作为用于移动货车型贮藏部150的多个脚轮151、用于支撑基板保持器110的吊架112以吊起基板保持器110的多个吊架接收器152、和用于防止通过吊架接收器152吊起的基板保持器110摇晃的基板保持器摇晃防止构件153。货车型贮藏部150包括例如锁销等的用于将货车型贮藏部150锁在贮藏部安装部分160中的一对贮藏部锁159、框架155、竖直辊156、水平辊157、排水盘158和手柄154。这些部件的细节将在下文中描述。货车型贮藏部150具有限定在框架155内的基板保持器存储区，作为用于在其中储存多个基板保持器110的空间。

因为货车型贮藏部150具有作为移动机构的脚轮151，货车型贮藏部150能够被移进贮藏部安装部分160和从贮藏部安装部分160移出，即，移进镀敷设备和从镀敷设备移出。在这本实施例中，脚轮151被用作移动机构。然而，货车型贮藏部150可以具有另一个移动机构以代替脚轮151。例如，可以设置轨道以滑动地将货车型贮藏部150引导进贮藏部安装部分160或者从贮藏部安装部分160移出。因为货车型贮藏部150能够从镀敷设备内的贮藏部安装部分160拉出，基板保持器110能够被放入位于镀敷设备外的货车型贮藏部150并从该货车型贮藏部150取出，操作者的负担相比于基板保持器110被手动地或通过位于镀敷设备内的升降机被放入货车型贮藏部150和从货车型贮藏部150中取出。

因为货车型贮藏部150由于脚轮151而可以移动，货车型贮藏部150能够被完全地从镀敷设备分离。从吊钩接收器152悬挂的基板保持器110能够经由凹陷155a从货车型贮藏部150容易地被取出，基板保持器110能够被容易地引导进货车型贮藏部150并经由凹陷155a从吊钩接收器152悬挂。凹陷155a使基板保持器110能够被容易地经由凹陷凹处放进和取出货车型贮藏部150，不需要将货车型贮藏部150台升出基板保持器110。图24是显示另一个货车型贮藏部150的结构的立体图。如图24所示，货车型贮藏部150的框架155具有被限定在框架155的侧壁的凹陷155a。从吊钩接收器152悬挂的基板保持器110能够经由凹陷155a从货车型贮藏部150容易地被取出，基板保持器110能够被容易地引导进货车型贮藏部150并经由凹陷155a从吊钩接收器152悬挂。凹陷155a使基板保持器110能够被容易地经由凹陷155a放进和取出货车型贮藏部150，不需要将货车型贮藏部150台升出基板保持器110。

图25是位于镀敷设备中的贮藏部安装部分160和货车型贮藏部150的示意性侧视图。图26是位于镀敷设备中的贮藏部安装部分160和货车型贮藏部150的示意性后视图。

优选地，贮藏部安装部分160被放置在基板保持器运送器140的运送轴101的延伸方向上接近镀敷设备的后表面的位置上，因为基板保持器110不经过空的货车型贮藏部150的上方并且应答时间被减小，不会有运送时间的损耗。例如，如图1和2所示，贮藏部安装部分160可以被设置在台120和溶解槽130h之间，而不是接近镀敷设备的后表面。然而，当货车型贮藏部150被从位于台120和溶解槽130h之间的贮藏部安装部分160拉出时，货车型贮藏部150被放置在镀敷设备的侧部。因为在镀敷设备的侧部的空间被邻近的设备限制，从而不能使货车型贮藏部150可以被自由触碰，贮藏部安装部分160希望被设置在接近镀敷设备的后表面的位置。

如图25和26所示，贮藏部安装部分160包括门161，经由该门161货车型贮藏部150被放入贮藏部安装部分160和贮藏部安装部分160取出，该门161被设置在被限定在镀敷设备的后表面的开口中，闸板162作为打开和关闭装置，用于在门161打开时将可使周围空气流入镀敷设备的空隙最小化。在本实施例中，门161包括和闸板162一起工作的锁定机构。当闸板162打开时，锁定机构将门161锁在关闭位置。

本实施例中的锁定机构包括用于锁住闸板162的闸板开关165a和用于锁住门161的门开关165b。闸板开关165a和门开关165b被设置在贮藏部安装部分160。每个闸板开关165a和门开关165b优选地为致动器组合开关。当被安装在闸板162或门161上的致动器被插入闸板开关165a或门开关165b中时，闸板开关165a或门开关165b检测闸板162或门161被关闭，闸板开关165a或门开关165b锁住致动器防止其被移除。当解锁信号被传送给闸板开关165a或门开关165b时，闸板开关165a或者门开关165b将致动器解锁。当闸板开关165a锁住了致动器时，闸板162不能被打开，当门开关165b锁住致动器时，门162不能被打开。闸板开关165a和门开关165b彼此协同工作，从而门开关165b不能被解锁，除非闸板开关165a被锁住，并且闸板开关165a不能解锁，除非门开关165b被锁住。因此，只要闸板开关165a和门开关165b中的一个打开，另一个必须被关闭，以使流入诸如镀敷部130和基板保持器运送器140的区域的环境空气最小化。

闸板开关165a中和门开关165b中的每一个可以包含电磁控制的安全开关。镀敷设备的后面板可以被用作货车型贮藏部150的并与货车型贮藏部150一体的门，而不用贮藏部安装部分160的门。闸板162包括枢轴旋转的闸板，为了节省空间，该闸板通过闸板旋转机构162a在打开位置和关闭位置之间能够角度移动。贮藏部安装部分160通过闸板开关165a检测闸板162何时被打开或关闭。

在本实施例中,贮藏部锁或贮藏部锁销159中的每个包括用于牢固地将货车型贮藏部150固定到贮藏部安装部分160的锁销手柄159a。当货车型贮藏部150处于贮藏部安装部分160中时，贮藏部锁或贮藏部锁销159将货车型贮藏部150不可移动地保持在贮藏部安装部分160中。由橡胶等制成的弹性块167被安装在货车型贮藏部150的一端，当货车型贮藏部150移动进入贮藏部安装部分160时，该端作为前端，或在货车型贮藏部150进入贮藏部安装部分160时贮藏部安装部分160抵靠货车型贮藏部150的后表面上。弹性块167起到当货车型贮藏部150和贮藏部安装部分160的后表面彼此接触时减小冲击的作用。当货车型贮藏部150被引导进贮藏部安装部分160时，操作者推动货车型贮藏部150进入贮藏部安装部分160，直到货车型贮藏部150挤压弹性块167，然后使用贮藏部锁或贮藏部锁销159将货车型贮藏部150紧固在贮藏部安装部分160中的位置上。

在本实施例中,贮藏部安装部分160具有设置在贮藏部安装部分160中的水平导向板163，用于在货车型贮藏部150被放入贮藏部安装部分160和从贮藏部安装部分160中取出时调节货车型贮藏部150的位置和高度。图27是设置在贮藏部安装部分160中的导向板163和位于货车型贮藏部150上的竖直辊156和水平辊157的平面图。图28是被设置在贮藏部安装部分160中的导向板163和位于货车型贮藏部150上的竖直辊156和水平辊157的侧视图。

如图27和28,货车型贮藏部150包括位于脚轮150旁的竖直辊156，贮藏部安装部分160包括导向板163。当货车型贮藏部150被推进贮藏部安装部分160中时，竖直辊156位于导向板163上。在这时候，脚轮151被抬离地板。

各个镀敷设备通常具有不同的距离地板的高度。如果贮藏部安装部分160没有导向板，当货车型贮藏部150被推入贮藏部安装部分160时，脚轮151保持与地板的接触，然后货车型贮藏部150可以相对不同的镀敷设备不能被适当地竖直定位。已经相对一个镀敷设备被竖直调整的货车型贮藏部150，可能不能相对于另一个镀敷设备适当地竖直定位。这样的缺点能够通过导向板163而被避免，该导向板163被竖直定位且被作为在不同镀敷设备中的部件的公共高度的参照。因为货车型贮藏部150被支撑在导向板163上，当货车型贮藏部150处于贮藏部安装部分160中时，货车型贮藏部150可以被不同的镀敷设备公用。除非另有说明，多个货车型贮藏部150可以被用在一个镀敷设备中。

为了顺畅地将货车型贮藏部150放进贮藏部安装部分160，在本实施例中，导向板163具有中心垂直导轨163a，在货车型贮藏部150移动进入贮藏部安装部分160时，位于货车型贮藏部150上的水平辊157被保持为与导轨163a的侧面滚动接触。当水平辊157被保持为与导轨163a的侧面滚动接触时，水平辊限制脚轮151的侧向移动，从而调节脚轮151的位置。

在这本实施例中，导向板163的上表面具有斜坡163b，该斜坡163b靠近上表面的前端，用于允许竖直辊156顺畅地滚动到导向板163上。导轨163a具有一对斜坡163c，该对斜坡163c位于其相反侧面上且靠近其前端，用于允许水平辊157顺畅地滚动到导轨163a上。导轨163a可以具有宽度，该宽度在远离斜坡163c的方向上逐渐地变大，以逐渐地减小水平辊157和导轨163a之间的空隙。水平辊157被顺畅地移动并与导轨163a滚动接触，将货车型贮藏部150调节到贮藏部安装部分160中更精确的位置。

除了货车式贮藏部150上的竖直辊156，球形脚轮可以被安装在导向板163上，并且当货车式贮藏部150被推进贮藏部安装部分160时，货车式贮藏部150可以在导向板163上的球形脚轮上移动。货车式贮藏部150可以具有辊，并且贮藏部安装部分160可以具有用于调节货车式贮藏部150在贮藏部安装部分160中的位置的引导。

在本实施例中，支撑柱164被安装在导向板163的下表面，用于承担货车式贮藏部150的重量。支撑柱164具有调节高度的功能。整个镀敷设备的距离地板的高度通过位于镀敷设备的下表面上的调节器168(参见图25)调节。在图25中，导向板163具有固定到镀敷设备的左端，并且通过支撑柱164的高度调节功能被调节为与地板平行。

贮藏部安装部分160可以具有贮藏部检测器，该贮藏部检测器没有显示，诸如红外线传感器或照相机，用于确定货车式贮藏部150是否位于贮藏部安装部分160中和货车式贮藏部150是否被紧固在贮藏部安装部分160中的适当位置。贮藏部安装部分160还可以具有指示部，诸如灯泡等，用于向操作者指示货车式贮藏部150是否位于贮藏部安装部分160中。

除非贮藏部检测器检测到货车式贮藏部150被紧固在贮藏部安装部分160中的适当位置，并且除非门开关165b将门161锁住，解锁信号不会被发送到正锁住闸板162的闸板开关165a，即闸板162保持关闭。这样能够防止基板保持器110在货车式贮藏部150被安装在贮藏部安装部分160中的错误位置时导致的运送问题，或防止外界空气被引入镀敷部130和基板保持器运送器140的乱流。

如图29A到29C所示，锁销手柄159a被安装在货车式贮藏部150面对门161的侧壁上。贮藏部安装部分160具有用于分别接收锁销手柄159a的锁销接收器159b。锁销手柄159a和锁销接收器159b联结组成锁销或贮藏部锁159，用于将货车式贮藏部150锁在贮藏部安装部分160中。门161在该门161面对货车式贮藏部150的表面上具有锁销引导169，锁销引导169用于引导各自的锁销手柄159a。

图29A是显示货车式贮藏部150上的锁销手柄和贮藏部安装部分160的门161的锁销引导169之间关系的示意图；图29B是显示锁销引导169被安装在其上的门161的表面和锁销手柄159a的关系的侧视图；和图29C是安装有锁销引导169的门161的侧视图。

当锁销手柄159a与锁销接收器159b接合时，货车式贮藏部150被锁在贮藏部安装部分160中的适当位置。当锁销手柄159a通过锁销接收器159b在来自被挤压的弹性块的反作用力下，锁销手柄159a与锁销接收器159接合。

锁销引导169被设置在门161的内表面上，当货车式贮藏部150被放置在贮藏部安装部分160中时，该内表面面对货车式贮藏部150。如图29C所示，锁销引导169的形式是从门161突出的支架形式并基本水平地延伸，其形状能够将锁销手柄159a保持在其当中。为了将货车式贮藏部150安装在贮藏部安装部分160中并且关闭门161，锁销手柄159a必需被定位为大致水平，以便锁销手柄159a被保持在锁销引导169之间。

为了将锁销手柄159a定位为大致水平，货车式贮藏部150需要被推进贮藏部安装部160中的的预定位置。当货车式贮藏部150位于贮藏部安装部分160中的预定位置时，货车式贮藏部150通过由锁销手柄159a和锁销接收器159b组成的锁销159被锁在贮藏部安装部分160中。除非锁销手柄159a被定位成大致水平，锁销手柄159a和锁销接收器159b相互干涉，并防止门161被关闭。因此，门161不能被关闭，除非货车式贮藏部150被推进贮藏部安装部分160中的预定位置。

用这样的方式，货车式贮藏部150必需被安装和锁在贮藏部安装部分160中的预定位置中。货车式贮藏部150可以具有开关和致动器，该开关和致动器没有显示，该开关用于检测锁销手柄159a与锁销接收器159在适当位置接合的时候，该致动器用于紧固锁销手柄159a防止不适当的移动。

如图23、25和26所示，排水盘158被设置在货车式贮藏部150的较低部分上或货车式贮藏部150的底部。如图25所示，开口166被限定在贮藏部安装部分160的上方，通过基板保持器运送器140保持的基板保持器110经过开口166进入和离开贮藏部安装部分160。开口166被设置成小于货车式贮藏部150中的排水盘158。相应地，闸板162打开时，液滴通过开口166坠落，液滴通过排水盘158被接收在货车式贮藏部150中而不是坠落在地板上并弄脏地板。

贮藏部安装部分160可以具有足够大的尺寸，以将货车式贮藏部150放置在其中。然而，优选地，当货车式贮藏部150被放入贮藏部安装部分160中时，货车式贮藏部150和贮藏部安装部分160之间不应具有较大的空间，以防止当闸板162打开时，过多的外界空气进入镀敷部130。无论货车式贮藏部150是否被放置在贮藏部安装部分中，为了将让外界空气进入镀敷设备的开口的面积的变化最小化并防止内部气体和液滴从镀敷设备排出，隔离物可以设置在货车式贮藏部150的周围，隔离物没有在图中显示。

根据本实施例的镀敷设备，即使当镀敷设备正在操作中，货车式贮藏部150能够被从镀敷设备中拉出，即，镀敷设备的外面板的外侧，而不需要中断镀敷设备的操作。因此，货车式贮藏部150能够被从镀敷设备中取出，并且基板保持器110能够被维护而不会降低镀敷设备的可操作性。当镀敷设备正在运转中，为了将货车式贮藏部150放入或离开镀敷设备，需要考虑镀敷设备的操作安全性，并尽量使因为触碰货车式贮藏部150而导致的干扰镀敷设备的气流最小化。若要在镀敷设备未运转时触碰货车式贮藏部150，以上用于镀敷设备的操作安全和最小化干扰气流的要求应当被符合，若要在镀敷设备运转时触碰货车式贮藏部150，以上要求要被更精确地满足。

当基板保持器运送器140将基板保持器110放入到货车式贮藏部150中或将基板保持器110从货车式贮藏部150移除时，优选地，应当控制镀敷设备以锁住货车式贮藏部150，使其不能从镀敷设备中移去。因此，镀敷设备包括用于掌握和控制基板保持器运送器140的运转状态的基板保持器运送器控制器210(参见图30)。

图30是显示镀敷设备的控制器200、基板保持器运送器140、贮藏部安装部分160、贮藏部触碰指示部250和可触碰/不触碰显示部260之间联系的方框图。如图30所示，镀敷设备包括控制器200，该控制器200包括基板保持器运送器控制器210、贮藏部安装部分控制器220、指示部控制器230和显示部控制器240。

基板保持器运送器控制器210监测和控制基板保持器运送器140，并接收来自被安装在基板保持器运送器140上的传感器144的检测信号(参见图4A到4C)。贮藏部安装部分控制器220监测和控制贮藏部安装部分160的各个组件，包括门161、用于锁住门161的门开关165b、闸板162、和用于锁住闸板162的闸板开关165a。

指示部控制器230接收来自贮藏部触碰指示部250的触碰指示。显示部控制器240控制可触碰/不可触碰显示部260，基于关于贮藏部安装部分160是否能够被触碰的信息显示贮藏部安装部分160可触碰或贮藏部安装部分160不可触碰。

贮藏部触碰指示部250(以下简称“指示部”)向指示部控制器230指示将货车式贮藏部150从贮藏部安装部分160取出过程的操作开始和货车式贮藏部150返回贮藏部安装部分160的操作的过程的结束，并控制基板保持器运送器控制器210以限制基板保持器运送器140对贮藏部安装部分160的触碰。指示部250的形式可以是用于输入处理指令的可触面板或设置在靠近镀敷设备的后表面的专用按钮。指示部250向指示部控制器230指示货车式贮藏部150可触碰，指示部控制器230将指示传送到基板保持器运送器控制器210。基板保持器运送器控制器210限制通过基板保持器运送器140对贮藏部安装部分160的触碰。

当指示部250向指示部控制器230指示即将发生的对货车式贮藏部150的触碰，指示部控制器230发送该指示到贮藏部安装部分控制器220。贮藏部安装部分控制器220基于贮藏部安装部分160的状态和基板保持器运送器140的运转状态，确定对贮藏部安装部分160的可触碰性或不可触碰性，其中基板保持器运送器140的运转状态由基板保持器运送器控制器210掌控。可触碰/不可触碰显示部260向操作者显示经确定的可触碰性或不可触碰性。

可触碰/不可触碰显示部260可以包括灯泡、GUI屏幕图像或警报器，以向操作者或设备使用者指示可触碰或不可触碰。可触碰/不可触碰显示部260可以显示关于货车式贮藏部150是否被安装在贮藏部安装部分160中的信息，以允许操作者容易地确认贮藏部安装部分160是否可触碰以及贮藏部安装部分160的状态。

当基板保持器运送器140被操作以将基板保持器110存储在货车式贮藏部150中时，对货车式贮藏部150的触碰被禁止，贮藏部安装部分控制器220判断出货车式贮藏部150为不可触碰。当贮藏部安装部分控制器220判断货车式贮藏部150为不可触碰时，门161被牢固地锁住，以防止门161被意外地打开。

门161通过由开关165锁住，开关165由用于锁住闸板162的闸板开关165a和用于锁住门161的门开关165b组成。

门161可以包括打开和关闭传感器，以防止以下这种情况：即尽管闸板162被打开，但由于用于锁住门161的门开关165发生故障的某些原因，门161也被打开。该打开和关闭传感器没有显示。还可以包括联锁机构，当门161被打开时，联锁机构可以被用于检测并基于来自开口和关闭传感器的信号产生出错信号。

在本实施例中，被安装在基板保持器运送器140上的传感器144(参见图4A到4C)还被用于检测存储在货车式贮藏部15中的基板保持器110的数量和位置。当镀敷设备被启动和初始化时，传感器144检测存储在货车式贮藏部150中的基板保持器110的数量和位置。随后，根据用于开始镀敷处理的指令，基板保持器运送器140将基板保持器110从货车式贮藏部150中移去。镀敷设备的控制器200总是掌握哪个基板保持器110已经被从货车式贮藏部150中取出。因此，在货车式贮藏部150被从贮藏部安装部分160移去之前，镀敷设备的控制器200能够知道多少基板保持器110被存储在货车式贮藏部150中。另外，在货车式贮藏部150被从贮藏部安装部分160移去之前，基板保持器110可以被再次检测和检查。

然后，货车式贮藏部150被从镀敷设备中移去，存储在货车式贮藏部150中的基板保持器110被维护，货车式贮藏部150被放回镀敷设备中。当货车式贮藏部150被放回贮藏部安装部分160时，传感器144检测货车式贮藏部150中的基板保持器110。此时，如果在货车式贮藏部150被放回到贮藏部安装部分160之后检测到的基板保持器110的数量大于在货车式贮藏部150被从贮藏部安装部分160移去之前检测到的基板保持器110的数量，传感器144可以发送报警信号。因为基板保持器110的数量增加意味着货车式贮藏部150将没有可供镀敷设备中的基板保持器110被放回的空间，所以传感器144要发生报警信号。

当货车式贮藏部150被从镀敷设备移去，贮藏在其中的基板保持器110被维护，然后已被维护的基板保持器110被放回到货车式贮藏部150中，已被维护的基板保持器110可以贮藏在货车式贮藏部150中与其被移去的原位置不同的位置上。此时，当已被维护的基板保持器110被放回到货车式贮藏部150时，基板保持器110被如上所述地检测，基板保持器110在货车式贮藏部150中的的位置信息被更新。因此，当基板保持器运送器140将基板保持器110放回到货车式贮藏部150时，如果基板保持器110要被贮藏的位置已经被另一个基板保持器110占据，传感器144将检测到另一个基板保持器110已经占据了该位置，并产生用于停止基板保持器运送器140将基板保持器110放回的信号。传感器144不是一定要被安装在基板保持器运送器140内，而是可以被安装在能够检测被贮藏在货车式贮藏部150中的基板保持器110的数量和位置的任何位置上。

为了将货车式贮藏部150可靠地放入贮藏部安装部分160和从贮藏部安装部分160取出，当货车式贮藏部150被放入贮藏部安装部分160和从贮藏部安装部分160中取出时，基板保持器运送器140被防止移动到贮藏部安装部分160上方的位置。基板保持器运送器140被防止通过例如移动基板保持器运送器140的伺服电机的驱动部而被移动到贮藏部安装部分160上方的位置。

以下将参考图31A到31E描述用于将货车式贮藏部150放入贮藏部安装部分160和将货车式贮藏部150从贮藏部安装部分160移去的操作。图31A到31E是示意地显示用于的将货车式贮藏部150放入贮藏部安装部分160和将货车式贮藏部150从贮藏部安装部分160移去的操作过程的立体图。

首先，如图31A所示，货车型贮藏部150被移动到靠近贮藏部安装部分160的门161的位置。然后，如图31B所示，门161打开。当传感器检测到正在接近的货车型贮藏部150时，门161可以被手动地打开或可以被自动地打开。然后，如图31C所示，货车型贮藏部150被移入贮藏部安装部分160的预定位置。如图31D所示，在门161被关闭后，确认货车型贮藏部150被放到贮藏部安装部分160的预定位置。然后，如图31E所示，在确认货车型贮藏部150被放入到贮藏部安装部分160中的预定位置后，门161被关闭，贮藏部安装部分160中的闸板162被打开。贮藏部安装部分160可能具有用于指示闸板162被打开并且货车型贮藏部150可以被进行镀敷处理的显示部。

货车型贮藏部150以如下步骤从贮藏部安装部分160中移去：

首先，如图31D所示，确认门161被关闭，然后闸板162被关闭。然后，如图31C所示，门161被打开。货车型贮藏部150现在开始从贮藏部安装部分160中移去。如图31B所示，货车型贮藏部150从贮藏部安装部分160移出，直到货车型贮藏部150完全地与贮藏部安装部分160分离。在确认货车型贮藏部150完全地与贮藏部安装部分160分离后，门161被关闭，如图31A所示。

以下将参考附图32描述当镀敷设备在运转时，用于将货车型贮藏部150放入贮藏部安装部分160和将货车型贮藏部150从贮藏部安装部分160移去的操作。图32是该操作过程的流程图，其中连续的步骤通过标识的参考标号标识，并且之前加有前缀“S”。

当镀敷设备在正常运转时，货车型贮藏部150被放入贮藏部安装部分160，门161被关闭和锁住，闸板162被打开(步骤S101)。

当为了对货车型贮藏部150中的基板保持器110进行维护而必需将货车型贮藏部150从贮藏部安装部分160移去时，例如，指示部250发送将货车型贮藏部150从贮藏部安装部分160移出操作开始的指示，指示部控制器230接收来自指示部250的指示(步骤S102)。当指示部控制器230接收来自指示部250的指示时，基板保持器运送器控制器210确认基板保持器运送器140的状态。基于被基板保持器运送器210确认的基板保持器140的状态，贮藏部安装部分控制器220确定货车型贮藏部150是否可触碰或不可触碰，例如，基板保持器运送器140是否将基板保持器110从货车型贮藏部150移去或基板保持器运送器140是否将基板保持器110放进货车型贮藏部150(步骤S103)。

如果贮藏部安装部分控制器220判断货车型贮藏部150为不可触碰，显示部控制器240控制可触碰/不可触碰显示部260以指示货车型贮藏部150是不可触碰的(步骤S104)。此时，门161保持锁定且不能打开。随后，如果基板保持器运送器140的状态不久后被改变，贮藏部安装部分控制器220判断货车型贮藏部150为可触碰，控制进行到步骤S105

如果贮藏部安装部分控制器220判断货车型贮藏部150为可触碰，显示部控制器240控制可触碰/不可触碰显示部260，以显示货车型贮藏部150是可触碰的(步骤S105)。闸板162通过开关165a被关闭和锁住，门161通过开关165b被释放，并释放联锁机构。贮藏部安装部分控制器220现在允许门161被打开(步骤S106)。

当门161被打开以允许触碰货车型贮藏部150时，贮藏部锁或锁销159可以被手动地释放。贮藏部安装部分控制器220使用安装在贮藏部安装部分160上的传感器等检测到货车型贮藏部150从贮藏部安装部分160被移去(步骤S107)。

在货车型贮藏部150被从贮藏部安装部分160移去后，门161被关闭，贮藏部安装部分控制器220检测到门161被关闭(步骤S108)。从贮藏部安装部分160中被移去的货车型贮藏部150中的基板保持器110被从货车型贮藏部150中取出并被维护(步骤S109)。当基板保持器110的维护完成后，门161被打开并将货车型贮藏部150放回贮藏部安装部分160。门161的打开通过贮藏部安装部分控制器220被检测(步骤S110)。

货车型贮藏部150被放置在贮藏部安装部分160中，然后通过贮藏部锁或锁销159被锁住。通过贮藏部安装部分控制器220检测到货车型贮藏部150在贮藏部安装部分160中通过贮藏部锁或锁销159被锁住(步骤S111)。在货车型贮藏部150被放置在贮藏部安装部分160中并通过贮藏部锁或锁销159被锁住后，门161被关闭。门161的关闭通过贮藏部安装部分控制器220被检测(步骤S112)。

当指示部250发送货车型贮藏部150的安装完成的指示后，指示部控制器230接收来自指示部250的指示(步骤S113)。贮藏部安装部分控制器220控制开关165b，以锁住门161，并且贮藏部安装部分控制器220控制开关165a以释放和打开闸板162(步骤S114)。在闸板162在步骤S105中被关闭后，直至步骤S114，闸板162被保持关闭以阻挡外界空气进入。

在本实施例中，货车型贮藏部150将基板保持器110贮藏在其中。如果镀敷设备为执行电子镀敷的镀敷设备，货车型贮藏部150可以存储阳极保持器以在镀敷槽中使用，或者可以存储基板保持器110和阳极保持器两者。在基板保持器110和阳极保持器被存储在货车型贮藏部150中的情况下，用于将基板保持器110存储在货车型贮藏部150中的基板保持器储存区还起到阳极保持器储存区的作用。

保持阳极的阳极保持器被放置在镀敷槽中的镀敷溶液中。在镀敷槽中，阳极通过阳极保持器被保持，基板500通过基板保持器110被设置成与阳极相对，阳极和基板500的表面相互平行。当镀敷电源在阳极和基板500之间提供电流时，从基板保持器110露出的基板500的将要被镀敷的表面被电子镀敷。阳极保持器的外形与显示在图3中的基板保持器110的外轮廓相似，例如，阳极保持器包括主体、吊架和手柄，阳极保持器把阳极保持在主体上。通过阳极保持器保持的阳极被电连接到位于吊架上的电源馈送触点，该连接方法与图3所示的大致相同。

阳极保持器以如下方法被放置在货车型贮藏部中：首先，阳极保持器被从镀敷槽中向上拉出。阳极保持器通常的具有阳极后部，用于防止阳极残渣扩散。因此，当阳极保持器被从镀敷槽向上拉出后，在短时间内，镀敷溶液仍继续从阳极后部滴下。在镀敷溶液液滴开始以足够长的间隔滴落，阳极保持器在冲洗槽中被冲洗。当大部分冲洗水被从阳极保持器去除时，阳极保持器被放回到货车型贮藏部150中。因为即使在阳极保持器被贮藏在货车型贮藏部150中后镀敷溶液仍然继续从阳极保持器滴落，位于货车型贮藏部150的下部分或底部的排水盘158接收和保持滴落的镀敷溶液。

存储有阳极保持器的货车型贮藏部150具有与存储有基板保持器110的货车型贮藏部150相同的优点。具体来说，因为货车型贮藏部150能够被从镀敷设备中拉出，以及阳极保持器能够被放入在镀敷设备外的货车型贮藏部和从在镀敷设备外的货车型贮藏部取出，与如果阳极保持器是通过在镀敷设备中的升降机人工地放入货车型贮藏部和从货车型贮藏部拿出相比，操作者的负担较小。

在本实施例中，货车型贮藏部150被用作贮藏部。也可以使用被构造成沿着轨道移进贮藏部安装部分和从贮藏部安装部分移出的贮藏部，而不使用货车型贮藏部150。

虽然已经详细描述了本发明的某些优选实施例，本发明不局限于上述实施例，并且应该理解的是可以在不脱离附加的权利要求的范围里在其中做出各种变化和修改。

Claims (6)

1.一种镀敷设备，其特征在于，包括：

台，基板保持器放置在所述台上，所述基板保持器能够可拆卸地保持基板；

镀敷部，在所述镀敷部中保持镀敷溶液，所述镀敷部用于通过将所述基板在竖直面中浸没在所述镀敷溶液中而对由所述基板保持器保持的所述基板进行镀敷；和

基板保持器运送器，所述基板保持器运送器用于在所述台和所述镀敷部之间运送所述基板保持器，所述基板保持器运送器包括用于保持所述基板保持器的保持部分；和

基板保持器打开和闭合机构，所述基板保持器打开和闭合机构用于打开和闭合放置在所述台上的所述基板保持器；

其中，所述基板保持器包括：

可移动支撑构件；和

固定支撑构件，所述固定支撑构件用于与所述可移动支撑构件协同夹持所述基板，所述可移动支撑构件被可移除地紧固到所述固定支撑构件；并且

其中，所述基板保持器打开和闭合机构包括：

头部分，所述头部分用于按压所述可移动支撑构件，所述头部分至少具有将所述可移动支撑构件紧固到所述固定支撑构件和将所述可移动支撑构件从所述固定支撑构件释放的可旋转的一部分，所述可移动支撑构件被所述头部分可移除地保持；

第一致动器,所述第一致动器用于竖直地移动所述头部分；和

第二致动器,所述第二致动器用于至少旋转所述头部分的所述一部分。

2.如权利要求1所述的镀敷设备，其特征在于，

所述头部分包括旋转板和按压片，所述按压片具有能够保持所述可移动支撑构件的吊钩，所述按压片被构造成按压所述可移动支撑构件。

3.如权利要求2所述的镀敷设备，其特征在于，所述头部分包括基板位置检测部分，所述基板位置检测部分用于确定所述基板在所述基板保持器中的位置。

4.如权利要求2或3所述的镀敷设备，其特征在于，所述按压片具有按压块，所述按压块用于按压所述可移动支撑构件，所述按压块包括设置在所述按压块中的预压缩弹簧。

5.如权利要求1所述的镀敷设备，其特征在于，所述台被构造成将所述基板保持器水平地放置在所述台上。

6.如权利要求2所述的镀敷设备，其特征在于，

所述可移动支撑构件具有可旋转支撑构件；

所述可旋转支撑构件包括突出部；

所述固定支撑构件包括夹持器；

所述旋转板连接到轴，并且当所述轴由所述第二致动器推压时，所述旋转板被旋转以使得所述可旋转支撑构件旋转；并且

随着所述可旋转支撑构件的旋转，所述突出部与所述夹持器适配接合，以将所述可移动支撑构件紧固到所述固定支撑构件，或将所述可移动支撑构件移动到被所述吊钩悬吊的位置。