CN105848827A - 冷却剂再生装置以及冷却剂再生方法 - Google Patents

Abstract

冷却剂再生装置(1)包括：贮存包含淤渣(S2)的处理对象液，在处理对象液内形成淤渣(S2)多的区域和淤渣(S2)少的区域的第一罐部(11A)；第一罐部(11A)中的淤渣(S2)少的区域的处理对象液流入的第二罐部(11B)；以及由从第二罐部(11B)流入的处理对象液分离膜过滤液的膜分离组件(13)。

Description

冷却剂再生装置以及冷却剂再生方法

技术领域

本发明涉及一种用于将使用过的冷却剂再生处理为能够再利用的冷却剂再生装置以及冷却剂再生方法。

背景技术

在制造例如半导体元件、太阳能电池元件等制品的过程中，进行将块状的硅锭(硅材料)切断为预先规定的尺寸的切片工序。在该切片工序，在利用例如线锯切断装置切断硅锭时使用冷却剂。在切片工序使用后的使用过的冷却剂中包含硅切削屑。使用过的冷却剂使用冷却剂再生装置来再生为能够再利用的状态(例如专利文献1)。

冷却剂再生装置具备膜分离组件。被贮存在处理罐的使用过的冷却剂被供给至膜分离组件，在膜分离组件分离为成为再生冷却剂的膜过滤液和包含不能通过中空纤维膜等膜的硅切削屑的浓缩液。

此外，冷却剂再生装置也可以具备离心分离机。被贮存在处理罐的使用过的冷却剂被供给至离心分离机，在离心分离机分离为离心分离液和淤渣。被分离的离心分离液再次被返送到处理罐，淤渣从离心分离机排出。另外，冷却剂再生装置也可以具备例如压滤机来代替离心分离机。

从提高冷却剂的回收效率的观点出发，优选在膜分离组件被分离的浓缩液、从离心分离机排出的排出液等液体被返送至处理罐。但是，这些液体中有时包含成块儿(成团)的淤渣。如果此种淤渣被返送到处理罐，包含成块儿的淤渣的处理对象液从处理罐供给至膜分离组件，成为在膜分离组件诱发膜堵塞的原因。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2013-66994号

发明内容

本发明的目的在于抑制对使用过的冷却剂进行再生处理的冷却剂再生装置的膜分离组件中发生膜堵塞。

本发明的冷却剂再生装置包括：第一罐部，贮存包含淤渣的处理对象液，在所述处理对象液内形成所述淤渣多的区域和所述淤渣少的区域；第二罐部，所述第一罐部中的所述淤渣少的区域的处理对象液流入该第二罐部；以及膜分离组件，由从所述第二罐部流入的所述处理对象液分离出膜过滤液。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式所涉及的冷却剂再生装置的概略图。

图2是表示所述实施方式所涉及的冷却剂再生装置的处理罐的概略图。

图3是表示处理罐的变形例1的概略图。

图4是表示处理罐的变形例2的概略图。

图5是表示处理罐的变形例3的概略图。

图6是表示处理罐的变形例4的概略图。

图7是表示参考例的冷却剂再生装置的概略图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的实施方式所涉及的冷却剂再生装置1。

图1是表示本发明的一实施方式所涉及的冷却剂再生装置1的概略结构的图。例如，冷却剂再生装置1是对在制品的制造过程中使用后的使用过的冷却剂进行再生处理而使其能够再利用的装置。作为使用过的冷却剂，可例示包含切断硅材料时产生的硅切削屑的使用过的硅冷却剂，但并不限定于此。

具体而言，硅冷却剂例如被使用于利用线锯切断装置将块状的硅锭(硅材料)切断为预先规定的尺寸的切片工序。在切片工序使用的冷却剂使用例如含二甘醇、水、其它添加剂等的液体，但并不限定于此。在切片工序使用后的使用过的冷却剂S中含有硅切削屑。使用过的冷却剂S通过冷却剂再生装置1而分离为被再生为能再利用的状态的再生冷却剂S1和含有硅切削屑的淤渣S2。

如图1所示，冷却剂再生装置1具备原液罐10、处理罐11、离心分离机12、膜分离组件13、过滤液罐14、再生液罐15以及控制部4。此外，冷却剂再生装置1具备多个配管90～99以及多个泵P1～P4。另外，冷却剂再生装置1并不限定于图1所示的具体例，也可根据需要而省略一部分罐、一部分配管、一部分泵等。

原液罐10是用于贮存被回收的使用过的冷却剂S的容器。使用过的冷却剂S通过连接于原液罐10的配管90而流入原液罐10。此外，被贮存在原液罐10内的使用过的冷却剂S通过设有泵P1的配管91而被输送到处理罐11(具体而言，处理罐11的第一罐部11A)。

处理罐11是用于贮存从原液罐10输送来的使用过的冷却剂S的容器。在本实施方式所涉及的冷却剂再生装置1中，处理罐11具备第一罐部11A和第二罐部11B。

在本实施方式中，第一罐部11A内的处理对象液是包含从原液罐10流入的使用过的冷却剂S、从离心分离机12流入的排出液以及从膜分离组件13流入的浓缩液的混合液。即，流入第一罐部11A的这些液体均为淤渣含量高的液体、即SS(悬浮物；suspendedsubstance)浓度高的液体。因此，第一罐部11A内的处理对象液整体的SS浓度高。

此外，第二罐部11B内的处理对象液是包含从第一罐部11A流入的处理对象液和从离心分离机12流入的离心分离液的混合液。离心分离液是淤渣含量低的液体，即SS浓度低的液体。此外，从第一罐部11A流入的处理对象液如后所述是从第一罐部11A中的淤渣少的区域流入的液体。因此，第二罐部11B内的处理对象液整体的SS浓度低。

以处理罐11为中心的液体的流动如下所述。第一罐部11A内的处理对象液通过设有泵P2的配管92被输送至离心分离机12。离心分离机12将处理对象液分离为离心分离液和淤渣。离心分离液是通过离心分离机12的离心分离处理而淤渣的含量降低的液体。

在离心分离机12被进行离心分离处理的离心分离液通过配管93而被返送到第二罐部11B。在离心分离机12被分离的淤渣S2从离心分离机12排出。此外，来自离心分离机12的排出液通过配管94而被返送到第一罐部11A。排出液是例如清洗离心分离机12的内部而产生的液体(废液)。具体而言，离心分离机12的内部通过例如将被贮存于处理罐11的处理对象液供给并散布于离心分离机12的内部而被清洗。因此，排出液较多地含有成块儿(成团)的淤渣。

第二罐部11B内的处理对象液通过设有泵P3的配管95而被输送至膜分离组件13。膜分离组件13将处理对象液分离为膜过滤液和浓缩液。膜过滤液是通过膜分离组件13的膜而去除淤渣后的液体。浓缩液是通过膜分离组件13的膜分离处理而与膜过滤液分离的液体(淤渣含量多的液体)，含有硅切削屑。浓缩液是较多地含有成块儿(成团)的淤渣S2。

在膜分离组件13被进行膜分离处理的膜过滤液通过配管97而被输送至过滤液罐14。在膜分离组件13被进行膜分离处理后的浓缩液通过配管96而被返送到第一罐部11A。

过滤液罐14是贮存在膜分离组件13被进行膜分离处理后的膜过滤液S1(回收液S1)的容器。从膜分离组件13的滤液用开口13c流出的膜过滤液S1通过配管97而被输送至过滤液罐14。

再生液罐15是贮存从过滤液罐14输送来的膜过滤液S1(回收液S1)的容器。过滤液罐14内的膜过滤液S1通过设有泵P4的配管98而被输送至再生液罐15。被贮存于再生液罐15的膜过滤液S1(回收液S1)通过配管99而被输送至下一工序(例如硅锭的切片工序等)而被再利用。

离心分离机12是旋转体(旋窑)的旋转轴的方向朝上下方向的纵型的装置(纵型离心分离机)，但并不限定于此，也可为例如旋转体的旋转轴的方向朝水平方向的横型的装置(横型离心分离机)等。

膜分离组件13是将处理对象液分离为膜过滤液和浓缩液的交叉流动(cross-flow)方式，但并不限定于此。膜分离组件13可采用例如在细长形状的壳体内设置了中空纤维膜的结构，但并不限定于此。膜分离组件13只要能从使用过的冷却剂S去除切削屑等即可，也可为中空纤维膜以外的其它分离膜被设于壳体内的结构。

液体通过配管连接部13a、13b出入于膜分离组件13。此外，在膜分离组件13的壳体的侧面形成有使壳体的内部空间(中空纤维膜的外侧空间)与壳体外部连通的滤液用开口13c。通过中空纤维膜被过滤的膜过滤液通过该滤液用开口13c被导出于壳体的外部。

通过使用膜分离组件13，能够分离为通过中空纤维膜的膜过滤液S1和含有无法通过中空纤维膜的硅切削屑的浓缩液。此外，也可采用利用该滤液用开口13c将反洗用流体导入于膜分离组件13内的结构。在反洗时将反洗用流体导入于膜分离组件13内的情况下，可使用例如设于配管97的未图示的泵。此外，也可使用为了在反洗时将反洗用流体导入于膜分离组件13内而另外设置的未图示的配管和泵。

此外，膜分离组件13具备切换送液方向的机构。具体而言，该送液方向切换机构具备多个阀13v和连接这些阀13v的配管13p。通过由控制部4控制阀13v的开闭动作，能够切换在膜分离组件13内流动的液体的送液方向。

在本实施方式中，在将第二罐部11B的处理对象液输送至膜分离组件13的配管95设有1个或多个去除机构。在图1的实施方式中，作为去除机构设置有粗滤器21和淤渣微粒化机构22。

粗滤器21具有用于从处理对象液去除固体成分的网状部。在本实施方式中，粗滤器21与泵P3相比设置在上游侧。

淤渣微粒化机构22用于利用因处理对象液在内部流动时的冲撞而产生的能量、剪切力等，将淤渣的块微粒化。作为淤渣微粒化机构22，可使用例如吉田机械兴业株式会社制“分散器”等。

控制部4具备未图示的中央运算处理装置(CPU)、存储器等。控制部4控制冷却剂再生装置1的动作。具体而言，控制部4控制离心分离机12的旋转体的旋转动作、多个泵P1～P4的动作等。

下面，说明处理罐11的具体结构。如图2所示，在本实施方式中，第一罐部11A和第二罐部11B是彼此独立的容器。但是，第一罐部11A和第二罐部11B也可以例如图3及图4所示通过用分隔壁W将1个容器内隔开而形成。此外，在本实施方式中，如图2所示，第一罐部11A及第二罐部11B分别呈圆柱形状，但并不限定于此，也可为例如长方体形状等其它的形状。

在第一罐部11A中，在处理对象液内形成淤渣S2多的区域和淤渣S2少的区域。具体而言，在第一罐部11A的处理对象液内，因淤渣S2的比重大于液体的比重而淤渣的一部分聚集于下部区域L，从而形成淤渣S2多的区域。图2表示淤渣S2的一部分沉淀于第一罐部11A的底部的状态。

在第一罐部11A的处理对象液内，下部区域L中的淤渣的含量比上部区域H中的淤渣的含量多。此外，在本实施方式中，下部区域L中的淤渣的含量比高度方向的中部区域M中的淤渣的含量多，中部区域M中的淤渣的含量比上部区域H中的淤渣的含量多。此外，在图2中，下部区域L是将第一罐部11A内的从下端部(底面)至上端部(溢流的位置)的高度三等分后的区域中的最下面的区域，上部区域H是如上所述地三等分后的区域中的最上面的区域，中部区域M是下部区域L与上部区域H之间的区域(在后述的图3所示的变形例1中也一样)。

第一罐部11A的处理对象液中的上部区域H的处理对象液流入第二罐部11B。具体而言，在本实施方式中，第二罐部11B被配置在比第一罐部11A低的位置。而且，从第一罐部11A溢流的处理对象液流入第二罐部11B。

如图2所示在第一罐部11A和第二罐部11B为彼此独立的容器的情况下，可使处于第一罐部11A中的上部区域H的处理对象液例如以如下方式流入第二罐部11B。

例如，第一罐部11A也可采用第一罐部11A中的上部区域H的处理对象液从第一罐部11A的侧壁的上缘溢流而流出到第一罐部11A之外的结构。此时，也可在第一罐部11A的侧壁的上缘设有成为处理对象液溢流的部位的缺口(例如V字状缺口)。

此外，第一罐部11A也可采用第一罐部11A中的上部区域H的处理对象液通过被设置在第一罐部11A的上壁或侧壁的开口并溢流而流出到第一罐部11A之外的结构。

然后，流出到第一罐部11A之外的处理对象液例如也可以从所述侧壁的上缘或所述开口通过朝所述第二罐部11B延伸的配管而流入第二罐部11B。此外，在从所述侧壁的上缘或所述开口溢流的处理对象液流下的位置设有第二罐部11B的情况下，也可省略上述的配管。

如图2所示，也可在第二罐部11B内设有搅拌处理对象液的搅拌机构23。

图3是表示处理罐11的变形例1的概略图，图4是表示处理罐11的变形例2的概略图。在这些变形例1、2中，处理罐11的第一罐部11A和第二罐部11B通过用分隔壁W将处理罐11内隔开而形成。

在变形例1中，从第一罐部11A溢流的处理对象液流入第二罐部11B。如图3所示，在变形例1中，被设置在处理罐11内的分隔壁W的上缘设在比处理罐11的侧壁的上缘低的位置(比处理罐11的上壁低的位置)。据此，在第一罐部11A中的上部区域H的处理对象液能够从分隔壁W的上缘溢流而流入第二罐部11B。

在变形例2中，在分隔壁W设有1个或多个贯穿孔A，第一罐部11A的处理对象液通过贯穿孔A流入第二罐部11B。在变形例2中，贯穿孔A被设置在上部区域H。

图5是表示处理罐11的变形例3的概略图，图6是表示处理罐11的变形例4的概略图。在图5所示的变形例3中，处理罐11的第一罐部11A和第二罐部11B是彼此独立的容器。在图6所示的变形例4中，处理罐11的第一罐部11A和第二罐部11B通过用分隔壁W将处理罐11内隔开而形成。在这些变形例3、4中，第一罐部11A的处理对象液中的上部区域H的处理对象液通过被设置在配管100的泵P5流入第二罐部11B。即，在变形例3、4中，通过泵P5抽出处于第一罐部11A内的上部区域H的处理对象液，并通过配管100流入第二罐部11B。

此外，图4所示的变形例2及图6所示的变形例4中，下部区域L是将分隔壁W的从下端部至上端部的高度三等分后的区域中的最下面的区域，上部区域H是如上所述地三等分后的区域中的最上面的区域，中部区域M是下部区域L与上部区域H之间的区域。此外，在图5所示的变形例3中，下部区域L是第一罐部11A内的从下端部(底面)至上端部(顶面)的高度三等分后的区域中的最下面的区域，上部区域H是如上所述地三等分后的区域中的最上面的区域，中部区域M是下部区域L与上部区域H之间的区域。

[实施方式的概括]

在本实施方式中，设有第一罐部11A和第二罐部11B，第一罐部11A中的淤渣S2少的区域的处理对象液流入第二罐部11B，已流入的处理对象液会流入膜分离组件13。即，在该结构中，相较于例如图7所示的参考例的冷却剂再生装置那样仅设置1个罐111作为处理罐的情况，能够减少流入膜分离组件13的处理对象液中所含的淤渣S2的量。据此，能够抑制用于对使用过的冷却剂进行再生处理的冷却剂再生装置1的膜分离组件13中发生膜堵塞。

此外，以抑制膜分离组件13中的膜堵塞为目的，可考虑例如在膜分离组件13的上游侧设置多个离心分离机的结构。然而，从离心分离机排出的淤渣含有较多的冷却剂。因此，如果设置多个离心分离机，冷却剂的回收率会降低。相对于此，在本实施方式中，仅设置1个离心分离机12，而且，如上所述地设置第一罐部11A和第二罐部11B，从而抑制在膜分离组件13中的膜堵塞，因此，相较于设置多个离心分离机的情况，能够抑制冷却剂的回收率降低。但是，在本实施方式的冷却剂再生装置1也可设置多个离心分离机12。

在本实施方式中，优选在第一罐部11A的处理对象液内，淤渣S2的一部分聚集于下部区域L而形成淤渣S2多的区域。在该结构中，第一罐部11A的处理对象液内的淤渣S2的一部分沉淀于下方并聚集从而形成淤渣S2多的区域。而且，伴随于此，在处理对象液内的高度方向的中央附近以及上部形成淤渣S2少的区域。

并且，在该情况下，优选第一罐部11A的处理对象液中的上部区域H的处理对象液流入第二罐部11B。即，在处理对象液内的下部形成淤渣S2多的区域的情况下，在处理对象液内的上部区域的淤渣S2容易变少。因此，通过使上部区域H的处理对象液流入第二罐部11B，能够更有效地减少第二罐部11B内的处理对象液中所含的淤渣S2的量。另外，作为第一罐部11A的处理对象液中的上部区域H的处理对象液流入第二罐部11B的方式，虽然例示了图2～图6所示的各种方式，但并不限定于这些。

在本实施方式中，从第一罐部11A溢流的处理对象液流入第二罐部11B。即，在处理对象液内的下部形成淤渣S2多的区域的情况下，从第一罐部11A溢流的处理对象液中所含的淤渣S2的量变少。因此，通过使溢流的处理对象液流入第二罐部11B，能够更有效地减少第二罐部11B内的处理对象液中所含的淤渣S2的量。

在本实施方式中，膜分离组件13将处理对象液分离为膜过滤液和淤渣S2的浓缩液，浓缩液被返送至第一罐部11A。在该结构中，较多地含有淤渣S2的浓缩液不会被返送到第二罐部11B而是被返送到第一罐部11A，因此，能够抑制第二罐部11B中所含的淤渣S2变多。

在本实施方式中，作为原液的使用过的冷却剂流入第一罐部11A。在该结构中，淤渣S2含量多的原液不会被返送到第二罐部11B而是被返送到第一罐部11A，因此，能够抑制第二罐部11B中所含的淤渣S2变多。

在本实施方式中，冷却剂再生装置1具备将处理对象液分离为离心分离液和淤渣S2的离心分离机12，离心分离液被返送到第二罐部11B。在该结构中，通过离心分离机12而与淤渣S2分离的离心分离液、即淤渣S2的量少的离心分离液不经由第一罐部11A而直接被返送到第二罐部11B。据此，在冷却剂再生装置1的液循环系统中，能够减少经由第一罐部11A流入第二罐部11B的处理对象液的量。如果能够减少经由第一罐部11A流入第二罐部11B的处理对象液的量，则能够减少与淤渣含量多的第一罐部11A内的处理对象液一起流入第二罐部11B的淤渣的量。其结果，能够抑制第二罐部11B的处理对象液中所含的淤渣S2变多。

在本实施方式中，第一罐部11A的处理对象液流入离心分离机12。在该结构中，在离心分离机12，如果处理对象液中所含的淤渣S2的量多，则离心分离的效率好。因此，在该结构中，相较于第二罐部11B的处理对象液流入离心分离机12的情况，能够提高在离心分离机12中的离心分离效率。此外，在该结构中，由于第一罐部11A的处理对象液被输送至离心分离机12，因此，能够减少从第一罐部11A流入第二罐部11B的处理对象液的量。其结果，能够抑制第二罐部11B的处理对象液中所含的淤渣S2变多。

在本实施方式中，来自离心分离机12的排出液被返送到第一罐部11A。排出液是例如在离心分离机12中进行内部清洗等时被排出的废液，较多地含有成块儿(成团)的淤渣S2。因此，如该结构，通过使排出液被返送至第一罐部11A，能够抑制第二罐部11B中所含的淤渣S2变多。

在本实施方式中，冷却剂再生装置1具备去除机构，其用于在将第二罐部11B的处理对象液输送至膜分离组件13的流路中去除淤渣S2的一部分。在该结构中，由于在朝向膜分离组件13的流路设有去除机构，因此，能够进一步减少被输送至膜分离组件13的处理对象液中所含的淤渣S2的量。

在本实施方式中，冷却剂再生装置1具备被设置在流路的泵P3，去除机构被设置在泵P3的上游侧，基于泵P3的负荷的上升来检测去除机构的堵塞状态(去除机构的堵塞程度)。即，在泵P3被设置在去除机构的下游侧的情况下，随着淤渣S2堆积于去除机构，泵P3的负荷会上升。基于此种泵P3的负荷的上升，能够检测出去除机构中的淤渣S2的堆积程度。

在本实施方式中，冷却剂再生装置1具备被设置在第二罐部11B，并搅拌处理对象液的搅拌机构。在该结构中，第二罐部11B的处理对象液中也含有淤渣S2，如果此种淤渣S2堆积于第二罐部11B的底部(具体而言，底部的角落)，则会结成块儿(成团)。对此，在该结构中，通过用搅拌机构来搅拌第二罐部11B的处理对象液，能够抑制淤渣S2堆积于第二罐部11B的底部。

在本实施方式中，通过反洗膜分离组件13而排出的液体被返送至第一罐部11A。在该结构中，会含有淤渣S2的块的反洗时的排出液被返送至第一罐部11A，因此，能够抑制第二罐部11B的处理对象液中所含的淤渣S2变多。

在本实施方式中，膜分离组件13具备切换送液方向的机构。在该结构中，通过在膜分离组件13切换送液方向，能够进一步抑制膜分离组件13的堵塞。

在本实施方式中，第一罐部11A和第二罐部11B是彼此独立的容器。如该结构，在第一罐部11A和第二罐部11B为独立的情况下，各罐部的形状、大小等的设计自由度提高。例如，在罐部为角柱状的情况下，淤渣S2会堆积于罐部的底部的角落等而滞留，但是通过将罐部设成圆柱状，能够抑制此种淤渣S2的滞留。

在变形例1、2中，第一罐部11A和第二罐部11B通过用分隔壁将容器内隔开而形成。

[其他的变形例]

以上，说明了本发明的实施方式所涉及的冷却剂再生装置1，但本发明并不限定于实施方式，可在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变更、改良等。

例如，例示了在第一罐部11A的处理对象液内通过淤渣S2的一部分聚集于下部区域而形成淤渣多的区域的情况，但并不限定于此。例如，在淤渣的比重与液体的比重相同程度或比其小的情况下，通过例如设于第一罐部11A内的过滤器等捕获装置，也能形成淤渣S2局部聚集的区域(淤渣多的区域)。此时，在第一罐部11A内，偏离捕获装置的区域(例如捕获装置的下游侧的区域)成为淤渣少的区域。

在所述实施方式中，例示了膜分离组件13采用将处理对象液分离为膜过滤液和浓缩液的交叉流动方式的情况，但并不限定于此，也可为不进行浓缩液的分离的全过滤方式。

在所述实施方式中，例示了离心分离机12分离的离心分离液被返送到第二罐部11B的情况，但并不限定于此，离心分离液也可被返送到第一罐部11A。

在所述实施方式中，例示了设有去除机构及搅拌机构的情况，但也可省略去除机构及搅拌机构中其中一方或双方。在所述实施方式中，例示了通过反洗膜分离组件而排出的液体被返送到第一罐部11A的情况，但此种反洗也可省略。此外，在所述实施方式中，例示了膜分离组件13具备切换送液方向的机构的情况，但也可省略该机构。

也可以设置检测第一罐部11A的液面高度的检测机和检测第二罐部11B的液面高度的检测机的其中之一或双方。能够根据由检测机检测出的液面高度控制例如从原液罐10向处理罐11的原液的补充时机。

此外，也可在第一罐部11A的底部设置排出口，将沉淀于该底部的淤渣S2排出于第一罐部11A之外。此时，也可在连接于排出口的配管设置用于开闭该配管的开闭阀。如果在第一罐部11A的底部堆积大量的淤渣S2，则开闭阀被设为打开状态而使淤渣S2通过排出口排出于第一罐部11A之外。

另外，在所述实施方式中，例示了冷却剂再生装置1具备离心分离机12和膜分离组件13的情况，但也可以设置例如压滤机来取代离心分离机12。此时，被贮存在处理罐11(具体而言，第1处理罐部11A)的处理对象液被供给至压滤机，在压滤机被分离为分离液和淤渣(滤饼)。被分离的分离液被返送到处理罐11(例如第2处理罐部11B)，淤渣从压滤机排出。

在此，概括说明所述实施方式。

所述实施方式的冷却剂再生装置包括：第一罐部，贮存包含淤渣的处理对象液，在所述处理对象液内形成所述淤渣多的区域和所述淤渣少的区域；第二罐部，所述第一罐部中的所述淤渣少的区域的处理对象液流入该第二罐部；以及膜分离组件，由从所述第二罐部流入的所述处理对象液分离出膜过滤液。

在该结构中，设有第一罐部和第二罐部，第一罐部中的淤渣少的区域的处理对象液流入第二罐部，流入的处理对象液流入膜分离组件。即，在该结构中，相较于例如图7所示的参考例的冷却剂再生装置那样仅设置1个罐111作为处理罐的情况，能够减少流入膜分离组件的处理对象液中所含的淤渣的量。据此，能够抑制对使用过的冷却剂进行再生处理的冷却剂再生装置的膜分离组件中发生膜堵塞。

在所述冷却剂再生装置中，优选：在所述第一罐部的所述处理对象液内，所述淤渣的一部分聚集在下部，从而形成所述淤渣多的区域。在该结构中，第一罐部的处理对象液内的淤渣的一部分沉淀于下方并聚集从而形成淤渣多的区域。而且，伴随于此，在处理对象液内的高度方向的中央附近(中部)以及上部形成淤渣少的区域。

并且，此时优选：所述第一罐部的所述处理对象液中的上部的处理对象液流入所述第二罐部。即，在处理对象液内的下部形成淤渣多的区域的情况下，在处理对象液内的上部淤渣容易变少。因此，通过使上部的处理对象液流入第二罐部，能够更有效地减少第二罐部内的处理对象液中所含的淤渣的量。此外，作为第一罐部的处理对象液中的上部的处理对象液流入第二罐部的方式，可举出例如所述的图2～图6所示的各种方式。

在所述冷却剂再生装置中，优选：从所述第一罐部溢流的所述处理对象液流入所述第二罐部。即，在处理对象液内的下部形成淤渣多的区域的情况下，从第一罐部溢流的处理对象液中所含的淤渣的量变少。因此，通过使溢流的处理对象液流入第二罐部，能够更有效地减少第二罐部内的处理对象液中所含的淤渣的量。

在所述冷却剂再生装置中，优选：所述膜分离组件将所述处理对象液分离为所述膜过滤液和淤渣的浓缩液，所述浓缩液被返送至所述第一罐部。在该结构中，较多地含有淤渣的浓缩液不会被返送至第二罐部而是被返送至第一罐部，因此，能够抑制第二罐部中所含的淤渣变多。

所述冷却剂再生装置优选还包括：离心分离机，将所述处理对象液分离为离心分离液和淤渣，其中，所述离心分离液被返送至所述第二罐部。在该结构中，将通过离心分离机与淤渣分离的离心分离液、即淤渣的量少的离心分离液不经由第一罐部而直接返送至第二罐部。据此，在冷却剂再生装置的液循环系统中，能够减少经由第一罐部流入第二罐部的处理对象液的量。其结果，能够抑制第二罐部的处理对象液中所含的淤渣变多。

在所述冷却剂再生装置中，优选：所述离心分离机中流入所述第一罐部的所述处理对象液。在该结构中，如果处理对象液中所含的淤渣的量多，则离心分离机的离心分离效率更好。因此，在该结构中，相较于第二罐部的处理对象液流入离心分离机的情况，能够提高离心分离机中的离心分离效率。此外，在该结构中，由于第一罐部的处理对象液被输送至离心分离机，因此，能够减少从第一罐部流入第二罐部的处理对象液的量。其结果，能够抑制第二罐部的处理对象液中所含的淤渣变多。

在所述冷却剂再生装置中，优选：来自所述离心分离机的排出液被返送至所述第一罐部。排出液是例如在离心分离机中进行内部的清洗等时被排出的废液，较多地含有成块儿(成团)的淤渣。因此，如该结构通过使排出液返回到第一罐部，能够抑制第二罐部中所含的淤渣变多。

所述冷却剂再生装置优选还包括：去除机构，被设置在所述第二罐部的所述处理对象液被输送到所述膜分离组件的流路上，用于去除所述淤渣的一部分。

在该结构中，在朝向膜分离组件的流路上设有去除机构，因此，能够进一步减少被输送至膜分离组件的处理对象液中所含的淤渣的块的量。

并且，所述冷却剂再生装置优选还包括：泵，被设置在所述流路上，其中，所述去除机构与所述泵相比设置在上游侧，基于所述泵的负荷的上升，检测出所述去除机构的堵塞状态(去除机构的堵塞程度)。即，在泵被设置于去除机构的下游侧的情况下，伴随淤渣堆积于去除机构，泵的负荷会上升。基于此种泵的负荷的上升，能够检测出去除机构的淤渣堆积程度。

在所述冷却剂再生装置中，优选：所述第一罐部和所述第二罐部为彼此独立的容器。如该结构，在第一罐部和第二罐部为独立的容器的情况下，各罐部的形状、大小等的设计自由度提高。例如，在罐部为角柱形状的情况下，淤渣会堆积于罐部的底部的角落等而滞留，但是通过将罐部设为圆柱形状，能够抑制此种淤渣的滞留。

在所述冷却剂再生装置中，也可以为：所述第一罐部和所述第二罐部通过用分隔壁将容器内隔开而形成。

所述实施方式的冷却剂再生方法在贮存于第一罐部的包含淤渣的处理对象液内形成所述淤渣多的区域和所述淤渣少的区域，使所述第一罐部中所述淤渣少的区域的处理对象液流入第二罐部，使所述第二罐部的处理对象液流入膜分离组件，在所述膜分离组件从处理对象液分离出膜过滤液。

Claims (12)

1.一种冷却剂再生装置，其特征在于包括：

第一罐部，贮存包含淤渣的处理对象液，在所述处理对象液内形成所述淤渣多的区域和所述淤渣少的区域；

第二罐部，所述第一罐部中的所述淤渣少的区域的处理对象液流入该第二罐部；以及

膜分离组件，由从所述第二罐部流入的所述处理对象液分离出膜过滤液。

2.根据权利要求1所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

在所述第一罐部的所述处理对象液内，所述淤渣的一部分聚集在下部，从而形成所述淤渣多的区域。

3.根据权利要求2所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

所述第一罐部的所述处理对象液中的上部的处理对象液流入所述第二罐部。

4.根据权利要求2或3所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

从所述第一罐部溢流的所述处理对象液流入所述第二罐部。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

所述膜分离组件将所述处理对象液分离为所述膜过滤液和淤渣的浓缩液，

所述浓缩液被返送至所述第一罐部。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的冷却剂再生装置，其特征在于还包括：

离心分离机，将所述处理对象液分离为离心分离液和淤渣，其中，

所述离心分离液被返送至所述第二罐部。

7.根据权利要求6所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

所述离心分离机中流入所述第一罐部的所述处理对象液。

8.根据权利要求6或7所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

来自所述离心分离机的排出液被返送至所述第一罐部。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的冷却剂再生装置，其特征在于还包括：

去除机构，被设置在所述第二罐部的所述处理对象液被输送到所述膜分离组件的流路上，用于去除所述淤渣的一部分；以及

泵，被设置在所述流路上，其中，

所述去除机构与所述泵相比设置在上游侧，

基于所述泵的负荷的上升，检测出所述去除机构的堵塞状态。

10.根据权利要求1至9任一项所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

所述第一罐部和所述第二罐部为彼此独立的容器。

11.根据权利要求1至9任一项所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

所述第一罐部和所述第二罐部通过用分隔壁将容器内隔开而形成。

12.一种冷却剂再生方法，其特征在于：

在贮存于第一罐部的包含淤渣的处理对象液内形成所述淤渣多的区域和所述淤渣少的区域，

使所述第一罐部中所述淤渣少的区域的处理对象液流入第二罐部，

使所述第二罐部的处理对象液流入膜分离组件，

在所述膜分离组件从处理对象液分离出膜过滤液。