CN105838920A - 一种Ti/AlN金属陶瓷复合材料及其制备方法 - Google Patents
一种Ti/AlN金属陶瓷复合材料及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105838920A CN105838920A CN201610175079.0A CN201610175079A CN105838920A CN 105838920 A CN105838920 A CN 105838920A CN 201610175079 A CN201610175079 A CN 201610175079A CN 105838920 A CN105838920 A CN 105838920A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- aln
- green compact
- powder
- mean diameter
- slurry
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title abstract description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title abstract description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 title abstract description 13
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 60
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 43
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 27
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 21
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 claims description 60
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 58
- 238000000498 ball milling Methods 0.000 claims description 27
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000002905 metal composite material Substances 0.000 claims description 18
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 claims description 18
- 239000011268 mixed slurry Substances 0.000 claims description 18
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 15
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 15
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 claims description 9
- 238000013019 agitation Methods 0.000 claims description 9
- 238000005056 compaction Methods 0.000 claims description 9
- 229960000935 dehydrated alcohol Drugs 0.000 claims description 9
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 claims description 9
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 claims description 9
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 9
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 claims description 9
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 10
- 229910018509 Al—N Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 3
- 229910009594 Ti2AlN Inorganic materials 0.000 abstract 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 7
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- -1 titanium aluminum nitrogen Chemical compound 0.000 description 5
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000010406 interfacial reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C14/00—Alloys based on titanium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C1/00—Making non-ferrous alloys
- C22C1/04—Making non-ferrous alloys by powder metallurgy
- C22C1/05—Mixtures of metal powder with non-metallic powder
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C32/00—Non-ferrous alloys containing at least 5% by weight but less than 50% by weight of oxides, carbides, borides, nitrides, silicides or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides, whether added as such or formed in situ
- C22C32/0047—Non-ferrous alloys containing at least 5% by weight but less than 50% by weight of oxides, carbides, borides, nitrides, silicides or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides, whether added as such or formed in situ with carbides, nitrides, borides or silicides as the main non-metallic constituents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F2998/00—Supplementary information concerning processes or compositions relating to powder metallurgy
- B22F2998/10—Processes characterised by the sequence of their steps
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
本发明涉及一种Ti/AlN金属陶瓷复合材料及其制备方法，属于金属陶瓷复合材料制备技术领域。本发明通过对原料中钛粉、氮化铝粉、铝粉和碳化硅粉含量配比进行限定，对生坯的制备方式进行限定，对烧结温度、压力和保温时间进行限定，从而制备出Ti/AlN金属陶瓷复合材料；Ti/AlN金属陶瓷复合材料的物相组成除了Ti和AlN还有Ti2AlN、Ti3Al2N2和Ti3AlN等Ti‑Al‑N固溶体，增加了其力学性能和电学性能。
Description
技术领域
本发明涉及一种Ti/AlN金属陶瓷复合材料及其制备方法，属于金属陶瓷复合材料领域。
背景技术
AlN 陶瓷由于其优良的热、电、力学性能，已成为当今世界最为理想的基板材料和电子器件封装材料，因此成为电子器材材料领域的热点研究对象。氮化铝陶瓷具有很好的高温强度， 较小的膨胀系数， 以及导热性较好的特性，利用这些特性能用作高温结构件的热交换器材料等。利用氮化铝陶瓷具有耐铝、铁等金属及其合金的溶蚀性的特性，因此可以用作Ag、Al、Cu、Pb等金属模具浇铸材料和熔炼的坩埚。但是纯的 AlN
陶瓷的封装性能并不能够满足人们对它的要求，而且纯的AlN陶瓷应用也比较少。为了提高AlN的性能，提高其作为封装材料的封装水平，通常在AlN中加入金属相来达到人们的要求。
为了让AlN陶瓷得到更加广泛的应用，可以通过对其金属化，在陶瓷的表面生成具有较强键合能力的合金或者化合物，使得陶瓷和金属材料之间有很强的粘合力。钛是变价活性金属，与多种陶瓷材料有较强的键合能力。国内外有很多研究者用TEM、AEM、AES、XPS等方法对有关Ti/ AlN的界面反应问题进行研究， Ti/AIN是一种新兴的材料，它是在AlN的基础上，通过加入熔点高、抗氧化性好、质轻的Ti，在高温的条件下热压烧结，来生成Ti/AlN陶瓷复合材料以提高AlN陶瓷作为封装材料的黏结性，扩大其在电子器材封装材料方面的应用。然而，因为不同的研究方法和实验条件，因此得到的复合材料，彼此之间存在较大的差别，往往力学性能和电学性能不是很好。
发明内容
为了解决以上技术问题，本发明提供了一种Ti/AlN金属陶瓷复合材料的制备方法。本发明在现有的金属陶瓷复合材料的制备方法上进行改进，主要利用冷等静压和热压的制备工艺；采用该制备工艺制备的Ti/AlN金属陶瓷复合材料，具有良好的微观结构、力学性能和导电性。
本发明中的纳米氧化铝增强氮氧化铝陶瓷材料的制备方法，包括下述步骤：
（1）制备Ti/AlN复合材料的生坯
将钛粉（平均粒径为5μm）、氮化铝粉体（平均粒径为1μm）、铝粉（平均粒径为1μm）、碳化硅粉（平均粒径为0.8μm）和无水乙醇按照2: 1: 0.3: 0.3: 20的质量比进行混合（铝粉和碳化硅粉为烧结助剂），在室温下进行磁力搅拌加超声分散20分钟得到混合浆料；随后将混合浆料放入聚四氟乙烯罐中球磨12小时，球磨介质为氧化铝球，分散剂为1wt%聚乙二醇；球磨后的浆料放入真空干燥箱中在120℃下干燥2h得混合粉体；混合粉体放入直径为45mm的模具中在10MPa压力下得到生坯，生坯再经过1小时300MPa的冷等静压成型最终得到Ti/AlN的生坯；
（2）烧结
生坯于真空、1250-1450℃、20-50MPa条件下烧结1-2h，得产品；升温速度为10℃/分钟。
本发明的方法，步骤（1）中，原料中各个组分含量的控制会极大影响复合材料的相组成和微观结构，进而对复合材料的各项性能产生较大影响。采用本发明的原料配比和生坯制备方法所制备的复合材料结构致密，主晶相为钛、氮化铝和钛铝氮固溶体。步骤（2）中，温度的控制、压力的控制、烧结时间、升温速度的改变，对烧结过程中氮氧化铝反应生成及烧结过程具有显著影响，进而影响产品的最终性能。本发明所采用的烧结工艺，所制备的产品相成分主要为钛、氮化铝和钛铝氮固溶体，结构致密，力学性能优异。
本发明通过对原料配比进行限定，对烧结温度、烧结压力、烧结时间进行限定，从而使钛粉、氮化铝粉、铝粉和碳化硅粉粉体在烧结过程中达到致密烧结；由于钛和氮化铝在高温下发生元素扩散和固溶反应生成钛铝氮的固溶体（Ti2AlN、Ti3Al2N2和Ti3AlN），固溶体的存在提高了金属相钛和陶瓷相氮化铝的结合力，进而提高氮氧化铝陶瓷材料的力学性能。本发明制备的Ti/AlN金属陶瓷复合材料，相对密度为85.95-97.66 %；抗弯强度为150.78-212.93 MPa；断裂韧性为：2.47-3.88 MPa•m1/2；显微硬度为7.61-11.48 GPa；电阻率为5.07-10.21 Ω•m。
上述制备工艺方法，优选参数为：
钛粉、氮化铝粉、铝粉和碳化硅粉的质量比为2: 1: 0.3: 0.3；生坯的制备方式为干压压力10MPa和冷等静压1h压力为300MPa；烧结工艺为真空热压1350℃、30MPa保温1.5h；其相对密度为97.66 %；抗弯强度为212.93 MPa；断裂韧性为3.88 MPa•m1/2；显微硬度为11.48 GPa；电阻率为5.07 Ω•m。
本发明相比现有技术的优越性在于：
本发明相较于其他烧结工艺制备的Ti/AlN复合材料有优异的力学和电学综合性能；
由于钛铝氮固溶体的存在，可很好地降低体系烧结温度，促进烧结，节约烧结时间，降低成本；
钛铝氮固溶体的存在提高了金属相钛和陶瓷相氮化铝的结合力，进而提高氮氧化铝陶瓷材料的力学性能和电学性能。
附图说明
图1为实施例1中Ti/AlN金属陶瓷复合材料的XRD图谱；
图2为实施例1中Ti/AlN金属陶瓷复合材料的断面低倍SEM图；
图3为实施例1中Ti/AlN金属陶瓷复合材料的断面高倍SEM图；
图4为实施例1中Ti/AlN金属陶瓷复合材料的断面EDS图。
具体实施方式
实施例1
将钛粉（平均粒径为5μm）、氮化铝粉体（平均粒径为1μm）、铝粉（平均粒径为1μm）、碳化硅粉（平均粒径为0.8μm）和无水乙醇按照2: 1: 0.3: 0.3: 20的质量比进行混合（铝粉和碳化硅粉为烧结助剂），在室温下进行磁力搅拌加超声分散20分钟得到混合浆料；随后将混合浆料放入聚四氟乙烯罐中球磨12小时，球磨介质为氧化铝球，分散剂为1wt%聚乙二醇；球磨后的浆料放入真空干燥箱中在120℃下干燥2h得混合粉体；混合粉体放入直径为45mm的模具中在10MPa压力下得到生坯，生坯再经过1小时300MPa的冷等静压成型最终得到Ti/AlN的生坯；生坯于真空、1350℃、30MPa条件下烧结1.5h，得产品；升温速度为10℃/分钟。其相对密度为97.66%；抗弯强度为212.93MPa；断裂韧性为3.88MPa•m1/2；显微硬度为11.48GPa；电阻率为5.07Ω•m。图1中为制得的Ti/AlN金属陶瓷复合材料的样品XRD图谱，其物相组成主要为Ti、AlN以及Ti-Al-N固溶体；图2和图3为样品断面的SEM图片，金属相Ti和陶瓷相AlN结合紧密，基本实现了致密化烧结，且发现了部分层片状结构晶粒；图4为Ti/AlN金属陶瓷复合材料断面处层片状晶粒的SEM和EDS能谱图，可以确定为Ti-Al-N的固溶体，进而提高金属相Ti和陶瓷相AlN的结合力，在其界面处形成过渡组织，从而提高了其力学性能。
实施例2
将钛粉（平均粒径为5μm）、氮化铝粉体（平均粒径为1μm）、铝粉（平均粒径为1μm）、碳化硅粉（平均粒径为0.8μm）和无水乙醇按照2: 1: 0.3: 0.3: 20的质量比进行混合（铝粉和碳化硅粉为烧结助剂），在室温下进行磁力搅拌加超声分散20分钟得到混合浆料；随后将混合浆料放入聚四氟乙烯罐中球磨12小时，球磨介质为氧化铝球，分散剂为1wt%聚乙二醇；球磨后的浆料放入真空干燥箱中在120℃下干燥2h得混合粉体；混合粉体放入直径为45mm的模具中在10MPa压力下得到生坯，生坯再经过1小时300MPa的冷等静压成型最终得到Ti/AlN的生坯；生坯于真空、1450℃、20MPa条件下烧结1h，得产品；升温速度为10℃/分钟。其相对密度为95.24%；抗弯强度为181.98MPa；断裂韧性为：3.12MPa•m1/2；显微硬度为9.97GPa；电阻率为7.32Ω•m。
实施例3
将钛粉（平均粒径为5μm）、氮化铝粉体（平均粒径为1μm）、铝粉（平均粒径为1μm）、碳化硅粉（平均粒径为0.8μm）和无水乙醇按照2: 1: 0.3: 0.3: 20的质量比进行混合（铝粉和碳化硅粉为烧结助剂），在室温下进行磁力搅拌加超声分散20分钟得到混合浆料；随后将混合浆料放入聚四氟乙烯罐中球磨12小时，球磨介质为氧化铝球，分散剂为1wt%聚乙二醇；球磨后的浆料放入真空干燥箱中在120℃下干燥2h得混合粉体；混合粉体放入直径为45mm的模具中在10MPa压力下得到生坯，生坯再经过1小时300MPa的冷等静压成型最终得到Ti/AlN的生坯；生坯于真空、1250℃、50MPa条件下烧结2h，得产品；升温速度为10℃/分钟。其相对密度为92.41%；抗弯强度为175.63MPa；断裂韧性为2.88MPa•m1/2；显微硬度为8.98GPa；电阻率为8.69Ω•m。
实施例4
将钛粉（平均粒径为5μm）、氮化铝粉体（平均粒径为1μm）、铝粉（平均粒径为1μm）、碳化硅粉（平均粒径为0.8μm）和无水乙醇按照2: 1: 0.3: 0.3: 20的质量比进行混合（铝粉和碳化硅粉为烧结助剂），在室温下进行磁力搅拌加超声分散20分钟得到混合浆料；随后将混合浆料放入聚四氟乙烯罐中球磨12小时，球磨介质为氧化铝球，分散剂为1wt%聚乙二醇；球磨后的浆料放入真空干燥箱中在120℃下干燥2h得混合粉体；混合粉体放入直径为45mm的模具中在10MPa压力下得到生坯，生坯再经过1小时300MPa的冷等静压成型最终得到Ti/AlN的生坯；生坯于真空、1250℃、20MPa条件下烧结1h，得产品；升温速度为10℃/分钟。其相对密度为85.95%；抗弯强度为150.78MPa；断裂韧性为2.47MPa•m1/2；显微硬度为7.61GPa；电阻率为10.21Ω•m。
对比例1
将钛粉（平均粒径为5μm）、氮化铝粉体（平均粒径为1μm）和无水乙醇按照2: 1: 20的质量比进行混合，在室温下进行磁力搅拌加超声分散20分钟得到混合浆料；随后将混合浆料放入聚四氟乙烯罐中球磨12小时，球磨介质为氧化铝球，分散剂为1wt%聚乙二醇；球磨后的浆料放入真空干燥箱中在120℃下干燥2h得混合粉体；混合粉体放入直径为45mm的模具中在10MPa压力下得到生坯，生坯再经过1小时300MPa的冷等静压成型最终得到Ti/AlN的生坯；生坯于真空、1350℃、30MPa条件下烧结1.5h，得产品；升温速度为10℃/分钟。得到的Ti/AlN金属陶瓷复合材料未观察到明显地Ti-Al-N固溶体及气层片状结构，其相对密度为82.31%；抗弯强度为189.78MPa；断裂韧性为2.81MPa•m1/2；显微硬度为8.96GPa；电阻率为8.23Ω•m。
对比例2
将钛粉（平均粒径为5μm）、氮化铝粉体（平均粒径为1μm）、铝粉（平均粒径为1μm）、碳化硅粉（平均粒径为0.8μm）和无水乙醇按照2: 1: 0.3: 0.3: 20的质量比进行混合，在室温下进行磁力搅拌加超声分散20分钟得到混合浆料；随后将混合浆料放入聚四氟乙烯罐中球磨12小时，球磨介质为氧化铝球，分散剂为1wt%聚乙二醇；球磨后的浆料放入真空干燥箱中在120℃下干燥2h得混合粉体；混合粉体放入直径为45mm的模具中在10MPa压力下得到生坯，生坯再经过1小时300MPa的冷等静压成型最终得到Ti/AlN的生坯；于真空、1000℃、20MPa条件下烧结1h，取出时样品断裂，未实现烧结。
Claims (2)
1.一种Ti/AlN金属陶瓷复合材料，其特征在于，采用如下步骤制备而成：
1）制备Ti/AlN复合材料的生坯
将平均粒径为5μm钛粉、平均粒径为1μm氮化铝粉体、平均粒径为1μm铝粉、平均粒径为0.8μm碳化硅粉和无水乙醇按照2: 1: 0.3: 0.3: 20的质量比进行混合，在室温下进行磁力搅拌加超声分散20分钟得到混合浆料；随后将混合浆料放入聚四氟乙烯罐中球磨12小时，球磨介质为氧化铝球，分散剂为1wt%聚乙二醇；球磨后的浆料放入真空干燥箱中在120℃下干燥2h得混合粉体；混合粉体放入直径为45mm的模具中在10MPa压力下得到生坯，生坯再经过1小时300MPa的冷等静压成型最终得到Ti/AlN的生坯；
2）烧结
生坯于真空、1250-1450℃、20-50MPa条件下烧结1-2h，得Ti/AlN金属陶瓷复合材料；升温速度为10℃/分钟。
2.一种权利要求1所述的Ti/AlN金属陶瓷复合材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
1）制备Ti/AlN复合材料的生坯
将平均粒径为5μm钛粉、平均粒径为1μm氮化铝粉体、平均粒径为1μm铝粉、平均粒径为0.8μm碳化硅粉和无水乙醇按照2: 1: 0.3: 0.3: 20的质量比进行混合，在室温下进行磁力搅拌加超声分散20分钟得到混合浆料；随后将混合浆料放入聚四氟乙烯罐中球磨12小时，球磨介质为氧化铝球，分散剂为1wt%聚乙二醇；球磨后的浆料放入真空干燥箱中在120℃下干燥2h得混合粉体；混合粉体放入直径为45mm的模具中在10MPa压力下得到生坯，生坯再经过1小时300MPa的冷等静压成型最终得到Ti/AlN的生坯；
2）烧结
生坯于真空、1250-1450℃、20-50MPa条件下烧结1-2h，得Ti/AlN金属陶瓷复合材料；升温速度为10℃/分钟。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610175079.0A CN105838920B (zh) | 2016-03-25 | 2016-03-25 | 一种Ti/AlN金属陶瓷复合材料及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610175079.0A CN105838920B (zh) | 2016-03-25 | 2016-03-25 | 一种Ti/AlN金属陶瓷复合材料及其制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105838920A true CN105838920A (zh) | 2016-08-10 |
| CN105838920B CN105838920B (zh) | 2017-08-08 |
Family
ID=56583285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201610175079.0A Active CN105838920B (zh) | 2016-03-25 | 2016-03-25 | 一种Ti/AlN金属陶瓷复合材料及其制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105838920B (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109104839A (zh) * | 2017-06-20 | 2018-12-28 | 谢孟修 | 陶瓷散热器及其制造方法 |
| CN109136610A (zh) * | 2018-09-11 | 2019-01-04 | 张家港市六福新材料科技有限公司 | 一种氮化铝基金属陶瓷材料的制备方法 |
| CN109734452A (zh) * | 2019-03-15 | 2019-05-10 | 济南大学 | 一种无压烧结制备高致密Ti2AlN陶瓷的方法 |
| CN110436898A (zh) * | 2019-09-12 | 2019-11-12 | 南昌航空大学 | 一种原位合成钛铝氮和氮化钛强化氧化铝陶瓷力学性能的制备方法 |
| CN113956062A (zh) * | 2021-10-25 | 2022-01-21 | 燕山大学 | 一种陶瓷基板AlN/Ti层状复合材料及其制备方法和应用 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI640495B (zh) * | 2018-01-12 | 2018-11-11 | 中國鋼鐵股份有限公司 | 複合構件及其用途與製作方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1037323A (zh) * | 1988-01-13 | 1989-11-22 | 唐化学原料公司 | 陶瓷金属复合材料的致密 |
| JPH09184037A (ja) * | 1995-12-27 | 1997-07-15 | Fuji Corp:Kk | ブレーキディスク用アルミニウム合金複合材 |
| JPH11172348A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-29 | Nippon Cement Co Ltd | 金属−セラミックス複合材料及びその製造方法 |
| CN1422970A (zh) * | 2001-12-06 | 2003-06-11 | 北京有色金属研究总院 | 颗粒增强铝基复合材料及其制造方法 |
| CN102134664A (zh) * | 2010-12-20 | 2011-07-27 | 昆明理工大学 | 一种均匀弥散颗粒增强金属基复合材料及其制备方法 |
| CN103436728A (zh) * | 2013-08-27 | 2013-12-11 | 西北工业大学 | 强韧化金属基复合材料的方法 |
-
2016
- 2016-03-25 CN CN201610175079.0A patent/CN105838920B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1037323A (zh) * | 1988-01-13 | 1989-11-22 | 唐化学原料公司 | 陶瓷金属复合材料的致密 |
| JPH09184037A (ja) * | 1995-12-27 | 1997-07-15 | Fuji Corp:Kk | ブレーキディスク用アルミニウム合金複合材 |
| JPH11172348A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-29 | Nippon Cement Co Ltd | 金属−セラミックス複合材料及びその製造方法 |
| CN1422970A (zh) * | 2001-12-06 | 2003-06-11 | 北京有色金属研究总院 | 颗粒增强铝基复合材料及其制造方法 |
| CN102134664A (zh) * | 2010-12-20 | 2011-07-27 | 昆明理工大学 | 一种均匀弥散颗粒增强金属基复合材料及其制备方法 |
| CN103436728A (zh) * | 2013-08-27 | 2013-12-11 | 西北工业大学 | 强韧化金属基复合材料的方法 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109104839A (zh) * | 2017-06-20 | 2018-12-28 | 谢孟修 | 陶瓷散热器及其制造方法 |
| CN109104839B (zh) * | 2017-06-20 | 2020-10-20 | 谢孟修 | 陶瓷散热器及其制造方法 |
| CN109136610A (zh) * | 2018-09-11 | 2019-01-04 | 张家港市六福新材料科技有限公司 | 一种氮化铝基金属陶瓷材料的制备方法 |
| CN109734452A (zh) * | 2019-03-15 | 2019-05-10 | 济南大学 | 一种无压烧结制备高致密Ti2AlN陶瓷的方法 |
| CN109734452B (zh) * | 2019-03-15 | 2021-08-31 | 济南大学 | 一种无压烧结制备高致密Ti2AlN陶瓷的方法 |
| CN110436898A (zh) * | 2019-09-12 | 2019-11-12 | 南昌航空大学 | 一种原位合成钛铝氮和氮化钛强化氧化铝陶瓷力学性能的制备方法 |
| CN113956062A (zh) * | 2021-10-25 | 2022-01-21 | 燕山大学 | 一种陶瓷基板AlN/Ti层状复合材料及其制备方法和应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105838920B (zh) | 2017-08-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105838920B (zh) | 一种Ti/AlN金属陶瓷复合材料及其制备方法 | |
| JP5666749B1 (ja) | 冷却板、その製法及び半導体製造装置用部材 | |
| JP4997431B2 (ja) | 高熱伝導窒化ケイ素基板の製造方法 | |
| KR101751531B1 (ko) | 질화 규소 기판 제조방법 | |
| JP2014198662A (ja) | 緻密質複合材料、その製法及び半導体製造装置用部材 | |
| CN100355701C (zh) | 一种高热导氮化硅陶瓷的制备方法 | |
| WO2022089379A1 (zh) | 一种基于放电等离子烧结的氮化硅/碳化钛陶瓷材料制备方法 | |
| JPWO2016117553A1 (ja) | 高熱伝導性窒化珪素焼結体、それを用いた窒化珪素基板および窒化珪素回路基板並びに半導体装置 | |
| CN106904985B (zh) | 一种钛-硅-碳增强型氧化铝基多相复合材料及其制备方法 | |
| CN102115332A (zh) | 一种高强度β-SiAlON陶瓷及其无压烧结制备方法 | |
| CN113480315B (zh) | 一种高熵低硼化物陶瓷及其制备方法 | |
| JP5046221B2 (ja) | 高い信頼性を持つ高熱伝導窒化ケイ素セラミックスの製造方法 | |
| CN111285692A (zh) | 一种高导热Si3N4陶瓷及其制备方法 | |
| CN111302809A (zh) | 一种高热导率、高强度氮化硅陶瓷材料及其制备方法 | |
| CN108863395B (zh) | 一种高热导率、高强度氮化硅陶瓷材料及其制备方法 | |
| JP4556162B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法、並びにそれを用いた回路基板 | |
| CN107399972A (zh) | 一种基于sps方法制备透明氮化铝陶瓷的方法 | |
| CN110734290A (zh) | 一种氮化硅陶瓷材料及其制备方法 | |
| CN110937903B (zh) | 一种高强度、高导热性的氮化硅陶瓷材料及其制备方法 | |
| JP5224293B2 (ja) | 反応焼結基窒化ケイ素セラミックス及びその製造方法 | |
| Liu et al. | Pressureless sintered Al4SiC4 ceramics with Y2O3 addition | |
| CN111704465A (zh) | 原位生成氮化铝-碳化硅固溶体复相陶瓷及其制备方法 | |
| CN113173800B (zh) | 一种β-Sialon多孔陶瓷及其制备方法 | |
| JPH055780B2 (zh) | ||
| JP2001151575A (ja) | 窒化アルミニウム質焼結体の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20211213 Address after: 314000 west of first floor, building 1, No. 368, Zhongshan Road, Chongfu Town, Tongxiang City, Jiaxing City, Zhejiang Province Patentee after: Jiaxingrui innovative materials Co.,Ltd. Address before: 250022 No. 336, South Xin Zhuang West Road, Shizhong District, Ji'nan, Shandong Patentee before: University of Jinan |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20231219 Address after: 314511 West of the first floor of Building 1, No. 368 Zhongshan Road, Chongfu Town, Tongxiang City, Jiaxing City, Zhejiang Province Patentee after: Zhejiang Hangyin New Material Technology Co.,Ltd. Address before: 314000 west of first floor, building 1, No. 368, Zhongshan Road, Chongfu Town, Tongxiang City, Jiaxing City, Zhejiang Province Patentee before: Jiaxingrui innovative materials Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right |