CN105531926A - 弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器 - Google Patents

弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器 Download PDF

Info

Publication number
CN105531926A
CN105531926A CN201480048224.8A CN201480048224A CN105531926A CN 105531926 A CN105531926 A CN 105531926A CN 201480048224 A CN201480048224 A CN 201480048224A CN 105531926 A CN105531926 A CN 105531926A
Authority
CN
China
Prior art keywords
elastic wave
electrode
wave resonator
busbar
reflector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201480048224.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105531926B (zh
Inventor
中川亮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Publication of CN105531926A publication Critical patent/CN105531926A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105531926B publication Critical patent/CN105531926B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
    • H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
    • H03H9/725—Duplexers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
    • H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
    • H03H9/0274—Intra-transducers grating lines
    • H03H9/02755—Meandering floating or grounded grating lines
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
    • H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
    • H03H9/02763—Left and right side electrically coupled reflectors
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
    • H03H9/132—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials characterized by a particular shape
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433—Coupled resonator filters
    • H03H9/644—Coupled resonator filters having two acoustic tracks
    • H03H9/6456—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled
    • H03H9/6469—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via two connecting electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433—Coupled resonator filters
    • H03H9/6483—Ladder SAW filters
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/58—Multiple crystal filters
    • H03H9/60—Electric coupling means therefor
    • H03H9/605—Electric coupling means therefor consisting of a ladder configuration

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)

Abstract

本发明提供一种能够抑制非线性失真并且能够实现小型化的弹性波谐振器。在弹性波谐振器(1)中，在极化方向为箭头Px的压电基板(2)上，第1、第2IDT电极(4、5)之间隔着共用反射器(8)而沿弹性波传播方向进行了配置，第1IDT电极(4)的第1汇流条(4c)以及第2反射器(7)的第1端部汇流条(7b)与布线电极(11)连接，设为第1端子(9)，第1IDT电极(4)的第2汇流条(4d)与共用反射器(8)的第2端部汇流条(8c)连接，设为第2端子(10)，第1端部汇流条(8b)与第1汇流条(5c)电连接，第2汇流条(5d)与第2端部汇流条(7c)电连接，在第1、第2端子(9、10)间并联连接了第1、第2IDT电极(4、5)。

Description

弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器
技术领域
本发明涉及在压电基板上形成了IDT电极的单端口型的弹性波谐振器。此外，本发明涉及具有上述单端口型的弹性波谐振器的弹性波滤波器装置以及双工器。
背景技术
以往，在构成滤波器装置的谐振器等中，声表面波谐振器被广泛使用。在下述的非专利文献1所记载的单端口型声表面波谐振器中，IDT电极被串联分割。在此，第1IDT电极与第2IDT电极被串联连接。第1、第2IDT电极的面积被设得较大，以使得成为与不分割的情况相同的阻抗。由此，降低了第1、第2IDT电极内的能量密度，并降低了非线性信号所引起的失真。
另一方面，在下述的专利文献1中，公开了用于提高耐热冲击性的声表面波装置。在该声表面波装置中，在压电基板上构成有2个声表面波谐振器部分。2个声表面波谐振器部分被并联地电连接。即构成第1、第2声表面波谐振器部分的第1、第2IDT电极被并联地电连接。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开2004-320411号公报
非专利文献
非专利文献1：“ATriple-Beat-FreePCSSAWDuplexer，”(IEEEUltrason.Symp.，pp.67-70，2012)
发明内容
发明要解决的课题
在非专利文献1所记载的声表面波装置中，能够减小非线性失真。但是，第1、第2IDT电极的面积变大。因此，小型化是很困难的。
另一方面，在专利文献1所记载的声表面波装置中，以提高耐热冲击性为目的而采用了并联连接结构。在该结构中，即使不增大IDT电极的面积，也能够抑制非线性失真。但是，在专利文献1所公开的并联连接结构中，用于连接第1、第2IDT电极的迂回布线占用较大的空间。因此，小型化同样是很困难的。
本发明的目的在于提供一种能够抑制非线性失真并且实现小型化的单端口型的弹性波谐振器。
本发明的另一目的在于提供一种具有能够抑制非线性失真并且实现小型化的弹性波谐振器的弹性波滤波器装置以及双工器。
用于解决课题的手段
本发明所涉及的弹性波谐振器是具有第1端子和第2端子的单端口型的弹性波谐振器。本发明所涉及的弹性波谐振器具备：具有极化方向的压电基板、第1、第2IDT电极、共用反射器和第1、第2反射器。
上述第1、第2IDT电极在上述压电基板上沿着弹性波传播方向进行了配置。上述共用反射器配置在上述第1IDT电极与上述第2IDT电极之间。上述第1反射器配置在隔着上述第1IDT电极而与上述共用反射器相反的一侧。上述第2反射器配置在隔着上述第2IDT电极而与上述共用反射器相反的一侧。
在本发明所涉及的弹性波谐振器中，将上述压电基板的极化方向投影于压电基板面的方向设为投影极化方向。上述投影极化方向与上述压电基板上的弹性波传播方向正交。此外，将上述投影极化方向的前端侧设为第1端部侧，将基端侧设为第2端部侧。
在本发明中，还具备将上述第1反射器、上述第1IDT电极以及上述第2反射器的上述第1端部侧部分彼此电连接的布线电极。该布线电极设为上述第1端子。
此外，上述第1IDT电极以及上述共用反射器的上述第2端部侧部分彼此电连接，并设为上述第2端子。上述共用反射器以及上述第2IDT电极的上述第1端部侧部分彼此电连接。上述第2IDT电极以及上述第2反射器的上述第2端部侧部分彼此电连接。
上述第1、第2IDT电极在上述第1端子与上述第2端子之间并联连接。
在本发明所涉及的弹性波谐振器的某一特定的局面中，上述第1IDT电极中的电压施加方向以及第2IDT电极中的电压施加方向在上述投影极化方向上设为相互反向。
在本发明所涉及的弹性波谐振器的另一特定的局面中，上述第1反射器的上述第1端部侧部分与上述第1IDT电极的上述第1端部侧部分电连接。
在本发明所涉及的弹性波谐振器的又一特定的局面中，上述第1反射器、上述共用反射器以及上述第2反射器分别具有配置在上述第1端部侧的第1端部汇流条、和配置在上述第2端部侧的第2端部汇流条，上述第1、第2IDT电极分别具有配置在上述第1端部侧的第1汇流条、和配置在上述第2端部侧的第2汇流条。上述第1IDT电极的上述第2汇流条与上述共用反射器的上述第2端部汇流条相连而被一体化。上述共用反射器的上述第1端部汇流条与上述第2IDT电极的上述第1汇流条相连而被一体化。上述第2IDT电极的上述第2汇流条与上述第2反射器的上述第2端部汇流条相连而被一体化。
在本发明所涉及的弹性波谐振器的其他特定的局面中，在各汇流条与各端部汇流条相连而被一体化的部分中，汇流条与端部汇流条构成为沿同一方向延伸并且具有相同宽度。
本发明所涉及的弹性波滤波器装置具有多个弹性波谐振器，至少一个弹性波谐振器由按照本发明构成的弹性波谐振器构成。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的某一特定的局面中，上述多个弹性波谐振器构成了梯型电路。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的另一特定的局面中，上述梯型电路具有多个串联臂谐振器以及多个并联臂谐振器，上述多个串联臂谐振器以及上述多个并联臂谐振器由上述多个弹性波谐振器构成，上述串联臂谐振器以及上述并联臂谐振器之中的至少一个谐振器由按照本发明构成的弹性波谐振器构成。
本发明所涉及的双工器具有与天线端连接的第1带通滤波器、和与天线端连接且通频带与第1带通滤波器不同的第2带通滤波器。上述第1带通滤波器以及上述第2带通滤波器当中的至少一方具有按照本发明构成的弹性波谐振器。
在本发明所涉及的双工器的某一特定的局面中，第1以及第2带通滤波器当中的至少一方具有多个弹性波谐振器，该多个弹性波谐振器之中最接近上述天线端的一侧的至少一个弹性波谐振器由按照本发明构成的弹性波谐振器构成。
发明效果
根据本发明所涉及的弹性波谐振器，由于在第1、第2端子间并联连接了第1、第2IDT电极的结构中，如上述那样构成了包含各IDT电极以及反射器的电极结构，因此能够抑制非线性失真，并且能够实现小型化。
附图说明
图1(a)以及图1(b)是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波谐振器的俯视图以及侧视图。
图2是表示作为本发明的第2实施方式的双工器的电路图。
图3是表示作为本发明的第3实施方式的双工器的电路图。
图4是表示作为本发明的第4实施方式的双工器的电路图。
图5是表示作为本发明的第5实施方式的双工器的电路图。
图6是表示对本发明的实施方式所涉及的弹性波谐振器、与第1、第2比较例的弹性波谐振器的二次谐波的响应进行表征的衰减量频率特性的图。
图7是表示声边界波装置的结构例的正面剖视图。
图8是第2比较例的弹性波谐振器的俯视图。
具体实施方式
以下，通过参照附图对本发明的具体实施方式进行说明，使得本发明明了。
图1(a)以及图1(b)是作为本发明的第1实施方式的弹性波谐振器的俯视图以及侧视图。弹性波谐振器1具有压电基板2。在本实施方式中，压电基板2由LiTaO3基板构成。但是，压电基板2也可以使用LiNbO3等其他压电单晶或者其他压电陶瓷来构成。压电基板2的极化方向是P方向。将该极化方向P投影在压电基板面的方向设为投影极化方向Px。
在压电基板2上，构成了电极结构3。由该电极结构3构成了单端口型的弹性波谐振器。即，构成了具有第1端子9和第2端子10的单端口型的声表面波谐振器。
在本实施方式中，电极结构3由Ti与AlCu合金的层叠金属形成。但是，构成电极结构3的金属材料并无特别限定，能够使用Ag、Pd、W、Mo、Ti、Al、Cu、Au、Pt以及以它们为主体的适当的合金来形成。此外，电极结构3也可以通过层叠金属膜来形成。上述电极结构3具有第1、第2IDT电极4、5、第1、第2反射器6、7、共用反射器8以及布线电极11。
第1IDT电极4和第2IDT电极5在弹性波传播方向上中间隔着共用反射器8而配置。另外，弹性波传播方向是与上述投影极化方向Px正交的方向。
将该投影极化方向Px的前端侧设为第1端部侧，将基端侧设为第2端部侧。因此，在图1(a)中，第1端子9侧成为第1端部侧，第2端子10侧成为第2端部侧。
第1IDT电极4具有第1电极指4a和第2电极指4b。第1电极指4a和第2电极指4b相互交错插入。
第1电极指4a以及第2电极指4b在与上述投影极化方向Px平行的方向上延伸。第1电极指4a的基端与第1汇流条4c连接。第2电极指4b的基端与第2汇流条4d连接。
第2IDT电极5也同样地构成，具有第1、第2电极指5a、5b以及第1、第2汇流条5c、5d。
在上述第1、第2IDT电极4、5中，各第1汇流条4c、5c位于上述第1端部侧，第2汇流条4d、5d位于上述第2端部侧。
第1反射器6具有多根电极指6a。多根电极指6a的第1端部侧通过第1端部汇流条6b而连结。此外，多根电极指6a的第2端部侧通过第2端部汇流条6c而连结。共用反射器8也同样地，具有多根电极指8a和第1、第2端部汇流条8b、8c。第2反射器7也同样地，具有多根电极指7a和第1、第2端部汇流条7b、7c。
在第1、第2反射器6、7以及共用反射器8中，第1端部汇流条6b、7b、8b位于第1端部侧，第2端部汇流条6c、7c、8c位于第2端部侧。
在弹性波谐振器1中，第1端部汇流条6b与第1汇流条4c电连接。在本实施方式中，第1端部汇流条6b与第1汇流条4c以相同宽度沿相同方向延伸并且相连而被一体化。因此，能够通过印刷法、沉积法等来容易地形成第1端部汇流条6b以及第1汇流条4c。
第1端部汇流条6b以及第1汇流条4c、和第1端部汇流条7b通过布线电极11而被电连接。该布线电极11与第1端子9连接。在图1(a)中，第1端子9与布线电极11分开设置，但也可以将布线电极11自身作为第1端子9。
另外，在本实施方式中，第1端部汇流条6b与第1汇流条4c电连接，并且与布线电极11电连接。但是，在本发明中，第1端部汇流条6b也可以不与第1汇流条4c电连接。在该情况下，仅第1汇流条4c与布线电极11电连接即可。即，只要第1IDT电极4与第2反射器7的第1端部侧彼此电连接，并与第1端子9电连接即可。
但是，通过将第1反射器6的第1端部汇流条6b与第1汇流条4c相连而一体化，从而能够提高电极结构整体的对称性。
布线电极11在沿着弹性波传播方向设置了IDT电极4、5以及第1、第2反射器6、7以及共用反射器8的部分，在第1端部侧与弹性波传播方向平行地延伸。因此，无需使电极结构3整体的结构增大太多便能够形成该布线电极11。
第2汇流条4d与第2端部汇流条8c相连而被一体化。第1端部汇流条8b与第1汇流条5c相连而被一体化。第2汇流条5d与第2端部汇流条7c相连而被一体化。
在本实施方式中，各端部汇流条和汇流条相连而被一体化的部分，与上述第1端部汇流条6b和第1汇流条4c相连而被一体化的部分同样地，两者具有相同宽度，且沿相同方向延伸并相连。
但是，各端部汇流条与汇流条的连接只要将两者电连接即可，也可以并不以相同宽度沿相同方向延伸并相连。
在本实施方式中，如上所述形成了电极结构3。在该情况下，第2汇流条4d与第2端部汇流条8c相连而被一体化的部分设为第2端子10。因此，在第1端子9与第2端子10之间，第1、第2IDT电极4、5被并联地电连接。
第1IDT电极4中的电压施加方向与第2IDT电极5中的电压施加方向，在上述投影极化方向Px上相互反向。在此，所谓电压施加方向，是指在第1端子9为高电位侧(hotside)的情况下，如图1(a)中箭头V1所示在第1IDT电极4中，从作为高电位侧的汇流条的第1汇流条4c朝向作为地电位侧(ground-side)的汇流条的第2汇流条4d的方向。如图1(a)所示，第1IDT电极4中的电压施加方向V1与第2IDT电极5中的电压施加方向V2设为反向。
由于弹性波谐振器1如上述那样构成，因此能够有效地抑制非线性失真。基于具体的实验例对此进行说明。
按以下规格对上述弹性波谐振器1进行了制作。
弹性波谐振器1的规格：
IDT电极4、5：电极材料〔Ti/AlCu膜，厚度30/380(nm)的层叠结构〕。电极指的对数＝〔40对〕。电极指交叉宽度＝〔100μm〕。第1、第2汇流条4c、4d、5c、5d的宽度方向尺寸＝〔15μn〕。第1、第2反射器6、7以及共用反射器8中的电极指6a、7a、8a根数＝各15根。第1、第2端部汇流条6b、6c、7b、7c、8b、8c的宽度方向尺寸＝〔15μm〕。
为了进行比较，准备了以下的第1以及第2比较例。第1比较例：准备了不进行并联分割而在1个IDT电极的两侧配置了反射器的通常的单端口型弹性波谐振器。将IDT电极的电极指交叉宽度设为100μm，将电极指对数设为80对，未对IDT电极进行并联分割，未将两侧的反射器与IDT电极进行电连接，除了这些构成以外与上述实施方式相同。
第2比较例：制作了图8所示的电极结构的弹性波谐振器101。在图8所示的弹性波谐振器101中，与弹性波谐振器1同样地，IDT电极104、105在第1、第2端子109、110之间被并联连接。但是，通过迂回布线106来连接第1IDT电极104以及第2IDT电极105的各一方的汇流条，并与第1端子109连接。此外，通过迂回布线107来共同连接第1、第2IDT电极104、105的各另一方的汇流条。将该迂回布线107与第2端子110连接。迂回布线107被配置为包围设置了第1、第2IDT电极104、105的主要部分的部分。因此，需要较大的空间。其他的构成与上述实施方式相同。
图6是表示上述实施方式以及第1、第2比较例中的二次谐波的衰减量频率特性的图，实线表示上述实施方式的结果，虚线表示第1比较例的结果，单点划线表示第2比较例的结果。
从图6可知，与第1比较例相比，根据第2比较例，能够减小二次谐波的响应。进而，根据上述实施方式，与第2比较例相比，也能够更有效地降低二次谐波的响应。即，可知，能够有效地抑制二次非线性失真。相对于第2比较例而言非线性失真之所以得到了改善，可以认为是经由共用的反射器而在2个IDT间发生波动耦合从而结构内的振幅的对称性得到了改善的缘故。
而且，在本实施方式中，由于如上述那样构成了电极结构3，因此能够大幅实现小型化。即，由第1IDT电极4构成的谐振部、和具有第2IDT电极5的谐振部共用了共用反射器8。因此，与图8所示的第2比较例相比，能够将反射器的数量减少一个。此外，由于上述布线电极11只要在电极结构3的第1端部侧将第1汇流条4c与第1端部汇流条7b电连接即可，因此也能够大幅减小布线电极11的迂回所需要的空间。因此，在弹性波谐振器1中，能够大幅实现小型化。
另外，在上述实施方式中，将第1端部汇流条6b与第1IDT电极4的第1汇流条4c进行了相连，但也可以将两者电分离。在该情况下，布线电极11仅与第1汇流条4c电连接即可。
接着，对作为本发明的第2～第5实施方式的双工器进行说明。
图2是作为本发明的第2实施方式的双工器的电路图。在双工器31中，天线32连接了天线端子33。天线端子33连接了第1带通滤波器34与第2带通滤波器35的各一端。在本实施方式中，第1带通滤波器34构成了便携式电话机的发送滤波器，第2带通滤波器35构成了接收滤波器。即，第2带通滤波器35的通频带与第1带通滤波器34的通频带不同。
在第2实施方式中，第1带通滤波器34具有多个串联臂谐振器S1～S4以及多个并联臂谐振器P1、P2。即，构成了梯型电路。
多个串联臂谐振器S1～S4以及多个并联臂谐振器P1、P2由弹性波谐振器构成。在本实施方式中，这些弹性波谐振器之中最接近天线端子33的串联臂谐振器S1以及并联臂谐振器P1由上述实施方式的弹性波谐振器1构成。因此，能够有效地抑制非线性失真，并且能够实现由弹性波滤波器装置构成的第1带通滤波器34的小型化，进而实现双工器31的小型化。
另外，在双工器31中，在第1带通滤波器34中，串联臂谐振器S1以及并联臂谐振器P1由上述实施方式的弹性波谐振器1构成，但也可以仅串联臂谐振器S1由上述弹性波谐振器1构成。进而，也可以多个串联臂谐振器S1～S4以及并联臂谐振器P1、P2全都由上述弹性波谐振器1构成。即，只要多个弹性波谐振器之中的至少一个由本发明的弹性波谐振器构成即可。
但是，在双工器31的第1带通滤波器34中，期望在最接近合成端侧的弹性波谐振器中抑制非线性失真。因此，如上述实施方式那样，期望作为串联臂谐振器S1以及并联臂谐振器P1而使用上述实施方式的弹性波谐振器1。在该情况下，也可以仅对于最接近天线端子33的串联臂谐振器S1使用上述弹性波谐振器1。
在图3所示的作为第3实施方式的双工器41中，第1带通滤波器34与第2实施方式的双工器31同样地构成。在此，第2带通滤波器35具有纵耦合谐振器型弹性波滤波器42、和弹性波谐振器43、44。弹性波谐振器43被连接在纵耦合谐振器型弹性波滤波器42与天线端子33之间，弹性波谐振器44被连接在弹性波谐振器43和纵耦合谐振器型弹性波滤波器42间的连接点、与接地电位之间。
在这样的具有纵耦合谐振器型弹性波滤波器42的第2带通滤波器35中，也期望通过上述弹性波谐振器1来构成上述弹性波谐振器43、44之中的至少一方。由此，能够抑制第2带通滤波器35中的非线性失真。在该情况下，也可以仅弹性波谐振器43由弹性波谐振器1构成。此外，也可以仅弹性波谐振器44由弹性波谐振器1构成。
在图4所示的第4实施方式的双工器51中，第1带通滤波器34与第3实施方式的双工器41同样地构成。第2带通滤波器35是具有多个串联臂谐振器S11～S14以及多个并联臂谐振器P11、P12的梯型滤波器。这样第2带通滤波器35也可以由梯型滤波器构成。在该情况下，多个串联臂谐振器S11～S14以及多个并联臂谐振器P11、P12由弹性波谐振器构成。而且，期望多个弹性波谐振器之中的至少一个弹性波谐振器由上述实施方式的弹性波谐振器1构成。
更优选的是，最接近天线端子33即合成端的串联臂谐振器S11以及并联臂谐振器P11之中的至少一方由按照本发明构成的弹性波谐振器构成。由此，能够有效地抑制第2带通滤波器35侧的二次非线性失真。
图5是本发明的第5实施方式所涉及的双工器61的电路图。在双工器61中，第1带通滤波器34具有在天线端子33侧将串联臂谐振器S1A、S1B相互串联连接的结构。在第2带通滤波器35中，也具有在天线端子33侧将多个弹性波谐振器S43A、S43B串联连接的结构。
除了上述方面以外，第1带通滤波器34与第2实施方式的双工器31的第1带通滤波器34相同。此外，除了上述方面以外，第2带通滤波器35与第3实施方式的双工器41的第2带通滤波器35相同。这样也可以将最接近合成端的串联臂谐振器分割成两部分。在该情况下，也通过例如由上述实施方式的弹性波谐振器1来构成并联臂谐振器P1以及弹性波谐振器44，从而能够有效地抑制二次非线性失真，并且能够实现小型化。
在上述第2～第5实施方式中，示出了具有第1、第2带通滤波器34、35的双工器，但本发明也能够应用于这种第1带通滤波器34、第2带通滤波器35那样的带通滤波器装置。
因此，例如，像第3实施方式的第1带通滤波器34那样，使用了多个弹性波谐振器的梯型电路构成的滤波器装置也相当于本发明的滤波器装置。同样地，并不限于具有梯型电路构成的装置，能够将本发明普遍应用于具有多个弹性波谐振器的弹性波滤波器装置。进而，能够如也具有纵耦合谐振器型弹性波滤波器42的第3实施方式的第2带通滤波器35那样，将本发明也应用于包含弹性波谐振器与其他滤波器元件的滤波器装置。
进而，并不限于声表面波谐振器，也能够将本发明应用于具有图7所示那样的结构的声边界波谐振器。图7所示的声边界波谐振器81具有压电基板82、和与压电基板82不同的固体的媒介83。在压电基板82与媒介83的界面处构成了IDT电极84以及反射器85、86。通过将包含这些IDT电极84以及反射器85、86的电极结构设为与上述实施方式的弹性波谐振器1的电极结构3同样，从而能够按照本发明来提供单端口型的声边界波谐振器。
符号说明
1…弹性波谐振器
2…压电基板
3…电极结构
4…第1IDT电极
4a…第1电极指
4b…第2电极指
4c…第1汇流条
4d…第2汇流条
5…第2IDT电极
5a…第1电极指
5b…第2电极指
5c…第1汇流条
5d…第2汇流条
6…第1反射器
6a…电极指
6b…第1端部汇流条
6c…第2端部汇流条
7…第2反射器
7a…电极指
7b…第1端部汇流条
7c…第2端部汇流条
8…共用反射器
8a…电极指
8b…第1端部汇流条
8c…第2端部汇流条
9…第1端子
10…第2端子
11…布线电极
31…双工器
32…天线
33…天线端子
34…第1带通滤波器
35…第2带通滤波器
41…双工器
42…纵耦合谐振器型弹性波滤波器
43…弹性波谐振器
44…弹性波谐振器
51…双工器
61…双工器
81…声边界波谐振器
82…压电基板
83…媒介
84…IDT电极
85、86…反射器
101…弹性波谐振器
104…第1IDT电极
105…第2IDT电极
106…迂回布线
107…迂回布线
109…第1端子
110…第2端子
P1…并联臂谐振器
P2…并联臂谐振器
P11…并联臂谐振器
P12…并联臂谐振器
S1～S4…串联臂谐振器
S1A、S1B…串联臂谐振器
S11～S14…串联臂谐振器
S11A、S11B…弹性波谐振器

Claims (10)

1.一种弹性波谐振器，是具有第1端子和第2端子的单端口型的弹性波谐振器，其中，
所述弹性波谐振器具备：
压电基板，具有极化方向；
第1IDT电极、第2IDT电极，在所述压电基板上沿着弹性波传播方向进行配置；
共用反射器，配置在所述第1IDT电极与所述第2IDT电极之间；
第1反射器，配置在隔着所述第1IDT电极而与所述共用反射器相反的一侧；和
第2反射器，配置在隔着所述第2IDT电极而与所述共用反射器相反的一侧，
在将所述压电基板的极化方向投影于该压电基板的基板面的方向设为投影极化方向时，该投影极化方向与所述弹性波传播方向正交，
在将所述投影极化方向的前端侧设为第1端部侧，将该投影极化方向的基端侧设为第2端部侧时，
所述弹性波谐振器还具备：布线电极，将所述第1反射器、所述第1IDT电极以及所述第2反射器的所述第1端部侧部分彼此电连接，并设为所述第1端子，
所述第1IDT电极以及所述共用反射器的所述第2端部侧部分彼此电连接，并设为所述第2端子，
所述共用反射器以及所述第2IDT电极的所述第1端部侧部分彼此电连接，
所述第2IDT电极以及所述第2反射器的所述第2端部侧部分彼此电连接，
所述第1IDT电极以及第2IDT电极在所述第1端子与所述第2端子之间并联连接。
2.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其中，
所述第1IDT电极中的电压施加方向与所述第2IDT电极中的电压施加方向在所述投影极化方向上设为相互反向。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波谐振器，其中，
所述第1反射器的所述第1端部侧部分与所述第1IDT电极的所述第1端部侧部分电连接。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波谐振器，其中，
所述第1反射器、所述共用反射器以及所述第2反射器分别具有配置在所述第1端部侧的第1端部汇流条、和配置在所述第2端部侧的第2端部汇流条，
所述第1IDT电极、第2IDT电极分别具有配置在所述第1端部侧的第1汇流条、和配置在所述第2端部侧的第2汇流条，
所述第1IDT电极的所述第2汇流条与所述共用反射器的所述第2端部汇流条相连而被一体化，
所述共用反射器的所述第1端部汇流条与所述第2IDT电极的所述第1汇流条相连而被一体化，
所述第2IDT电极的所述第2汇流条与所述第2反射器的所述第2端部汇流条相连而被一体化。
5.根据权利要求4所述的弹性波谐振器，其中，
在各所述汇流条与各所述端部汇流条相连而被一体化的部分中，相连的端部汇流条与汇流条沿相同方向延伸并且设为相同宽度。
6.一种弹性波滤波器装置，具有多个弹性波谐振器，其中，
至少一个所述弹性波谐振器由权利要求1～5中任一项所述的弹性波谐振器构成。
7.根据权利要求6所述的弹性波滤波器装置，其中，
由所述多个弹性波谐振器构成了梯型电路。
8.根据权利要求7所述的弹性波滤波器装置，其中，
所述梯型电路具有多个串联臂谐振器以及多个并联臂谐振器，所述多个串联臂谐振器以及所述多个并联臂谐振器由所述多个弹性波谐振器构成，所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器之中的至少一个谐振器由权利要求1～5中任一项所述的弹性波谐振器构成。
9.一种双工器，具有与天线端连接的第1带通滤波器、和与所述天线端连接且通频带与所述第1带通滤波器不同的第2带通滤波器，其中，
所述第1带通滤波器以及所述第2带通滤波器当中的至少一方具有权利要求1～5中任一项所述的弹性波谐振器。
10.根据权利要求9所述的双工器，其中，
所述第1带通滤波器以及第2带通滤波器当中的至少一方具有多个弹性波谐振器，该多个弹性波谐振器之中最接近所述天线端的一侧的至少一个弹性波谐振器由权利要求1～5中任一项所述的弹性波谐振器构成。
CN201480048224.8A 2013-09-06 2014-09-01 弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器 Active CN105531926B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013185421 2013-09-06
JP2013-185421 2013-09-06
PCT/JP2014/072948 WO2015033892A1 (ja) 2013-09-06 2014-09-01 弾性波共振子、弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105531926A true CN105531926A (zh) 2016-04-27
CN105531926B CN105531926B (zh) 2018-03-16

Family

ID=52628366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201480048224.8A Active CN105531926B (zh) 2013-09-06 2014-09-01 弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9843305B2 (zh)
JP (1) JP6115646B2 (zh)
CN (1) CN105531926B (zh)
DE (1) DE112014004085B4 (zh)
WO (1) WO2015033892A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109478875A (zh) * 2016-08-10 2019-03-15 株式会社村田制作所 弹性波装置以及梯型滤波器
CN109937534A (zh) * 2016-11-09 2019-06-25 株式会社村田制作所 弹性波装置、高频前端电路以及通信装置
CN110114973A (zh) * 2016-12-26 2019-08-09 株式会社村田制作所 弹性波装置

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10418971B2 (en) * 2015-03-31 2019-09-17 Kyocera Corporation Acoustic wave module
JP6365435B2 (ja) 2015-06-24 2018-08-01 株式会社村田製作所 弾性波装置
JP6365436B2 (ja) * 2015-06-24 2018-08-01 株式会社村田製作所 弾性波装置
JP6620686B2 (ja) * 2016-06-27 2019-12-18 株式会社村田製作所 弾性波装置
DE102017110233A1 (de) * 2017-05-11 2018-11-15 RF360 Europe GmbH SAW-Vorrichtung mit unterdrücktem Parasitärsignal
US10637438B2 (en) * 2018-06-15 2020-04-28 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonators for high power applications
US11206009B2 (en) 2019-08-28 2021-12-21 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with interdigital transducer with varied mark and pitch
US10601392B2 (en) 2018-06-15 2020-03-24 Resonant Inc. Solidly-mounted transversely-excited film bulk acoustic resonator
US20220116015A1 (en) 2018-06-15 2022-04-14 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with optimized electrode thickness, mark, and pitch
US11936358B2 (en) 2020-11-11 2024-03-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with low thermal impedance
US10911023B2 (en) 2018-06-15 2021-02-02 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with etch-stop layer
US11323089B2 (en) 2018-06-15 2022-05-03 Resonant Inc. Filter using piezoelectric film bonded to high resistivity silicon substrate with trap-rich layer
US11323090B2 (en) 2018-06-15 2022-05-03 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator using Y-X-cut lithium niobate for high power applications
US11146232B2 (en) 2018-06-15 2021-10-12 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with reduced spurious modes
WO2019220853A1 (ja) 2018-05-14 2019-11-21 株式会社村田製作所 マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路および通信装置
US10826462B2 (en) 2018-06-15 2020-11-03 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with molybdenum conductors
US12119805B2 (en) 2018-06-15 2024-10-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Substrate processing and membrane release of transversely-excited film bulk acoustic resonator using a sacrificial tub
US10917072B2 (en) 2019-06-24 2021-02-09 Resonant Inc. Split ladder acoustic wave filters
US11888463B2 (en) 2018-06-15 2024-01-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multi-port filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators
US10998882B2 (en) 2018-06-15 2021-05-04 Resonant Inc. XBAR resonators with non-rectangular diaphragms
US11909381B2 (en) 2018-06-15 2024-02-20 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with two-layer electrodes having a narrower top layer
US11967945B2 (en) 2018-06-15 2024-04-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversly-excited film bulk acoustic resonators and filters
US11323091B2 (en) 2018-06-15 2022-05-03 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with diaphragm support pedestals
US12081187B2 (en) 2018-06-15 2024-09-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator
US10985728B2 (en) 2018-06-15 2021-04-20 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator and filter with a uniform-thickness dielectric overlayer
US11876498B2 (en) 2018-06-15 2024-01-16 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with multiple diaphragm thicknesses and fabrication method
US12113512B2 (en) 2021-03-29 2024-10-08 Murata Manufacturing Co., Ltd. Layout of XBARs with multiple sub-resonators in parallel
US11916539B2 (en) 2020-02-28 2024-02-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Split-ladder band N77 filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators
US12119808B2 (en) 2018-06-15 2024-10-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator package
US11901878B2 (en) 2018-06-15 2024-02-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with two-layer electrodes with a wider top layer
US12040781B2 (en) 2018-06-15 2024-07-16 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator package
US11949402B2 (en) 2020-08-31 2024-04-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. Resonators with different membrane thicknesses on the same die
US11264966B2 (en) 2018-06-15 2022-03-01 Resonant Inc. Solidly-mounted transversely-excited film bulk acoustic resonator with diamond layers in Bragg reflector stack
US11996822B2 (en) 2018-06-15 2024-05-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wide bandwidth time division duplex transceiver
US11146238B2 (en) 2018-06-15 2021-10-12 Resonant Inc. Film bulk acoustic resonator fabrication method
US12021496B2 (en) 2020-08-31 2024-06-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Resonators with different membrane thicknesses on the same die
CN118316415A (zh) 2019-04-05 2024-07-09 株式会社村田制作所 横向激励薄膜体声波谐振器封装和方法
US11811391B2 (en) 2020-05-04 2023-11-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with etched conductor patterns
CN114421923B (zh) * 2022-01-11 2023-08-01 无锡市好达电子股份有限公司 一种高性能的声表面波滤波器

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001267885A (ja) * 2000-03-17 2001-09-28 Fujitsu Media Device Kk 弾性表面波装置
CN1497846A (zh) * 2002-10-18 2004-05-19 富士通媒体部品株式会社 多模表面声波滤波器器件和双工器
JP2004320411A (ja) * 2003-04-16 2004-11-11 Toyo Commun Equip Co Ltd 弾性表面波デバイス
CN101051824A (zh) * 2006-04-03 2007-10-10 京瓷株式会社 声表面波装置以及通信装置
JP4901398B2 (ja) * 2006-09-28 2012-03-21 京セラ株式会社 弾性表面波装置
CN203027216U (zh) * 2013-02-06 2013-06-26 中国电子科技集团公司第二十六研究所 一种高阻抗声表面波谐振器结构

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05129872A (ja) 1991-11-07 1993-05-25 Hitachi Ltd 表面波共振子、表面波フイルタ、分波器および移動無線装置
DE59913935D1 (de) * 1998-03-23 2006-11-30 Epcos Ag Akustisches oberflächenwellenfilter
JP2001185980A (ja) * 1999-12-24 2001-07-06 Kyocera Corp 弾性表面波装置
FR2821997B1 (fr) * 2001-03-06 2003-05-30 Thomson Csf Filtre a ondes acoustiques de surface
JP4030795B2 (ja) * 2002-05-09 2008-01-09 日本電波工業株式会社 弾性表面波デバイス
KR101139193B1 (ko) * 2004-04-28 2012-06-21 파나소닉 주식회사 탄성 표면파 공진자
JP2006303932A (ja) * 2005-04-21 2006-11-02 Seiko Epson Corp 弾性表面波素子および弾性表面波装置
US7535323B2 (en) * 2006-07-10 2009-05-19 Skyworks Solutions, Inc. Bulk acoustic wave filter with reduced nonlinear signal distortion
US7515018B2 (en) * 2006-08-31 2009-04-07 Martin Handtmann Acoustic resonator
JP5036435B2 (ja) * 2006-09-01 2012-09-26 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス、フィルタおよび分波器
US7548140B2 (en) * 2007-04-16 2009-06-16 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Bulk acoustic wave (BAW) filter having reduced second harmonic generation and method of reducing second harmonic generation in a BAW filter
US7786825B2 (en) * 2007-05-31 2010-08-31 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Bulk acoustic wave device with coupled resonators
US20090231060A1 (en) * 2008-03-11 2009-09-17 Rf Monolithics, Inc. Ladder resonator filter and related system
JP5844939B2 (ja) * 2013-02-27 2016-01-20 京セラ株式会社 弾性波素子、分波器および通信モジュール
WO2015002047A1 (ja) * 2013-07-02 2015-01-08 株式会社村田製作所 弾性表面波共振器及び弾性表面波フィルタ装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001267885A (ja) * 2000-03-17 2001-09-28 Fujitsu Media Device Kk 弾性表面波装置
CN1497846A (zh) * 2002-10-18 2004-05-19 富士通媒体部品株式会社 多模表面声波滤波器器件和双工器
JP2004320411A (ja) * 2003-04-16 2004-11-11 Toyo Commun Equip Co Ltd 弾性表面波デバイス
CN101051824A (zh) * 2006-04-03 2007-10-10 京瓷株式会社 声表面波装置以及通信装置
JP4901398B2 (ja) * 2006-09-28 2012-03-21 京セラ株式会社 弾性表面波装置
CN203027216U (zh) * 2013-02-06 2013-06-26 中国电子科技集团公司第二十六研究所 一种高阻抗声表面波谐振器结构

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109478875A (zh) * 2016-08-10 2019-03-15 株式会社村田制作所 弹性波装置以及梯型滤波器
CN109478875B (zh) * 2016-08-10 2022-10-04 株式会社村田制作所 弹性波装置以及梯型滤波器
CN109937534A (zh) * 2016-11-09 2019-06-25 株式会社村田制作所 弹性波装置、高频前端电路以及通信装置
CN109937534B (zh) * 2016-11-09 2023-09-08 株式会社村田制作所 弹性波装置、高频前端电路以及通信装置
CN110114973A (zh) * 2016-12-26 2019-08-09 株式会社村田制作所 弹性波装置
CN110114973B (zh) * 2016-12-26 2024-04-26 株式会社村田制作所 弹性波装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE112014004085T5 (de) 2016-05-25
WO2015033892A1 (ja) 2015-03-12
DE112014004085B4 (de) 2018-11-22
JPWO2015033892A1 (ja) 2017-03-02
JP6115646B2 (ja) 2017-04-19
US20160149554A1 (en) 2016-05-26
US9843305B2 (en) 2017-12-12
CN105531926B (zh) 2018-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105531926A (zh) 弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器
CN105493402A (zh) 弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器
CN106253877B (zh) 梯型弹性波滤波器和天线共用器
JP5100890B2 (ja) 弾性表面波フィルタおよびそれを用いた分波器
JP6465047B2 (ja) 弾性波共振子、帯域通過型フィルタ及びデュプレクサ
CN110089033A (zh) 声表面波装置以及声表面波滤波器
CN106471737B (zh) 梯子型滤波器
CN110235364A (zh) 弹性波装置、双工器以及滤波器装置
CN110114973A (zh) 弹性波装置
CN105284049A (zh) 滤波器装置以及双工器
US10177740B2 (en) Ladder filter and duplexer
CN106797206A (zh) 弹性波谐振器以及梯型滤波器
KR101974830B1 (ko) 탄성파 공진자, 탄성파 필터 및 듀플렉서
CN110089029A (zh) 声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器
CN109478875A (zh) 弹性波装置以及梯型滤波器
JP5796604B2 (ja) 分波装置
CN105284050A (zh) 声表面波滤波器装置以及双工器
CN109643985A (zh) 弹性波装置
JP2006311330A (ja) 弾性表面波デバイス
JP2000031780A (ja) 弾性表面波装置
JP7132841B2 (ja) 弾性表面波素子、分波器および通信装置
JP2020182119A (ja) 弾性波フィルタ、分波器および通信装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant