CN105493402A - 弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器 - Google Patents

弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器 Download PDF

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Abstract

本发明获得一种能够抑制非线性失真并且能够实现小型化的单端口型的弹性波谐振器。在弹性波谐振器(1)中,在压电基板(2)上形成了第1、第2IDT电极(4、5)以及第1、第2反射器(6、7),在第1、第2IDT电极(4、5)中共用汇流条(8)被共用,在第1端子(9)与第2端子(10)之间并联连接了第1、第2IDT电极(4、5),共用汇流条(8)与第1反射器(6)一起连接至第1端子(9),第1、第2汇流条(4c、5c)与第2反射器(7)连接,进而连接至第2端子(10)。

Description

弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器
技术领域
本发明涉及在压电基板上形成了IDT电极的单端口型的弹性波谐振器。此外,本发明涉及具有上述单端口型的弹性波谐振器的弹性波滤波器装置以及双工器。
背景技术
以往,在构成滤波器装置的谐振器等中,声表面波谐振器被广泛使用。在下述的非专利文献1中,公开了在单端口型声表面波谐振器中IDT电极被串联分割的结构。在此,第1IDT电极与第2IDT电极被串联连接。第1、第2IDT电极的面积被设得较大,以使得成为与不分割的情况相同的阻抗。由此,降低了第1、第2IDT电极内的能量密度,并降低了非线性信号所引起的失真。
另一方面,在下述的专利文献1中,公开了用于提高耐热冲击性的声表面波装置。在该声表面波装置中,在压电基板上构成有2个声表面波谐振器部分。2个声表面波谐振器部分被并联地电连接。即构成第1、第2声表面波谐振器部分的第1、第2IDT电极被并联地电连接。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:JP特开2004-320411号公报
非专利文献
非专利文献1:“ATriple-Beat-FreePCSSAWDuplexer,”(IEEEUltrason.Symp.,pp.67-70,2012)
发明内容
发明要解决的课题
在非专利文献1所记载的声表面波装置中,能够减小非线性失真。但是,第1、第2IDT电极的面积变大。因此,小型化是很困难的。
另一方面,在专利文献1所记载的声表面波装置中,以提高耐热冲击性为目的而采用了并联连接结构。在该结构中,即使不增大IDT电极的面积,也能够抑制非线性失真。但是,在专利文献1所公开的并联连接结构中,用于连接第1、第2IDT电极的迂回布线占用较大的空间。因此,小型化同样是很困难的。
本发明的目的在于提供一种能够抑制非线性失真并且实现小型化的单端口型的弹性波谐振器。
本发明的另一目的在于提供一种具有能够抑制非线性失真并且实现小型化的弹性波谐振器的弹性波滤波器装置以及双工器。
用于解决课题的手段
本发明所涉及的弹性波谐振器是具有第1端子和第2端子的单端口型的弹性波谐振器。本发明的弹性波谐振器具备:压电基板、形成在上述压电基板上的第1、第2IDT电极、和配置在设置有上述第1、第2IDT电极的部分的两侧的第1、第2反射器。上述第1、第2反射器被上述第1、第2IDT电极共用。
上述第1IDT电极具有第1汇流条、和与第1汇流条隔开配置的共用汇流条。上述第2IDT电极与第1IDT电极共用上述共用汇流条,并具有与该共用汇流条隔开的第2汇流条。
上述第1汇流条配置在隔着上述共用汇流条而与上述第2汇流条相反的一侧。
上述共用汇流条与上述第1反射器电连接,并且与上述第1端子连接。上述第2反射器与上述第1、第2汇流条连接,并且与上述第2端子连接。
上述第1、第2IDT电极在上述第1、第2端子之间并联地电连接。
在本发明所涉及的弹性波谐振器的某一特定的局面中,若将上述压电基板的极化方向投影于压电基板面的方向设为投影极化方向,则上述第1IDT电极中的上述第1汇流条与共用汇流条之间的电压施加方向是与上述投影极化方向相同的方向,第2IDT电极中的上述共用汇流条与上述第2汇流条之间的电压施加方向与上述投影极化方向设为反向。
在本发明所涉及的弹性波谐振器的另一特定的局面中,上述第1、第2反射器具备:多根电极指、连结该多根电极指的一方端部的第1端部汇流条、连结上述多根电极指的另一方端部彼此的第2端部汇流条、和连结上述多根电极指的中间部分的中间汇流条。
在本发明所涉及的弹性波谐振器的又一特定的局面中,上述第1汇流条与上述第2反射器的第1端部汇流条沿相同方向延伸并且相连而被一体化,上述第2汇流条与上述第2反射器的第2端部汇流条沿相同方向延伸并且相连而被一体化。
在本发明所涉及的弹性波谐振器的其他特定的局面中,上述共用汇流条与上述第1反射器的上述中间汇流条沿相同方向延伸并且相连。
本发明所涉及的弹性波滤波器装置具有多个弹性波谐振器,至少一个弹性波谐振器由按照本发明构成的弹性波谐振器构成。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的其他特定的局面中,上述多个弹性波谐振器构成了梯型电路。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的另一特定的局面中,上述梯型电路具有多个串联臂谐振器以及多个并联臂谐振器,多个串联臂谐振器以及多个并联臂谐振器由所述多个弹性波谐振器构成,上述串联臂谐振器以及并联臂谐振器之中的至少一个谐振器由按照本发明构成的弹性波谐振器构成。
本发明所涉及的双工器具有与天线端连接的第1带通滤波器、和与上述天线端连接且通频带与上述第1带通滤波器不同的第2带通滤波器。上述第1带通滤波器以及第2带通滤波器当中的至少一方具有按照本发明构成的弹性波谐振器。
在本发明所涉及的双工器的其他特定的局面中,第1以及第2带通滤波器当中的至少一方具有多个弹性波谐振器,该多个弹性波谐振器之中最接近上述天线端的一侧的至少一个弹性波谐振器由按照本发明构成的弹性波谐振器构成。
发明效果
根据本发明所涉及的弹性波谐振器,能够抑制非线性失真,并且能够实现小型化。
附图说明
图1(a)以及图1(b)是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波谐振器的俯视图以及侧视图。
图2是本发明的第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的俯视图。
图3是表示作为本发明的第3实施方式的双工器的电路图。
图4是表示作为本发明的第4实施方式的双工器的电路图。
图5是表示作为本发明的第5实施方式的双工器的电路图。
图6是表示作为本发明的第6实施方式的双工器的电路图。
图7是表示作为本发明的第7实施方式的双工器的电路图。
图8是表示对本发明的实施方式所涉及的弹性波谐振器、与第1、第2比较例的弹性波谐振器的二次谐波的响应进行表征的衰减量频率特性的图。
图9是表示声边界波装置的结构例的正面剖视图。
图10是第2比较例的弹性波谐振器的俯视图。
具体实施方式
以下,通过参照附图对本发明的具体实施方式进行说明,使得本发明明了。
图1(a)是表示本发明的第1实施方式所涉及的弹性波谐振器的俯视图,图1(b)是其侧视图。
弹性波谐振器1是单端口型的弹性波谐振器。在本实施方式中,弹性波谐振器1是利用了声表面波的声表面波谐振器。
弹性波谐振器1具有压电基板2。在本实施方式中,压电基板2由LiTaO3构成。但是,压电基板2也可以通过LiNbO3等其他的压电单晶或压电陶瓷来构成。
压电基板2的极化方向是图1(b)所示的箭头P方向。图1(a)的投影极化方向Px是将图1(b)所示的极化方向P投影在压电基板2的主面的方向。
在压电基板2的上表面2a上,形成了电极结构3。在本实施方式中,该电极结构3由Ti与AlCu合金的层叠结构构成。但是,形成电极结构的金属材料并不限定于Ti/AlCu,能够使用Pt、Cu、Au、Al、Ti、Ag、Pd、W、Mo以及以它们为主体的适当的合金等。此外,电极结构3也可以通过层叠金属膜来形成。
上述电极结构3具有第1IDT电极4、第2IDT电极5和第1、第2反射器6、7。
第1IDT电极4具有多根第1电极指4a和多根第2电极指4b。多根第1电极指4a和多根第2电极指4b相互交错插入。
多根第1电极指4a以及多根第2电极指4b分别在与投影极化方向Px平行的方向上延伸。
多根第1电极指4a的一端与第1汇流条4c连接。此外,多根第2电极指4b的一端与共用汇流条8电连接。
第2IDT电极5具有多根第3电极指5a和多根第4电极指5b。多根第3电极指5a和多根第4电极指5b相互交错插入。多根第3、第4电极指5a、5b在与投影极化方向Px平行的方向上延伸。
多根第3电极指5a的一端与共用汇流条8连接。另一端朝向第2汇流条5c侧延伸。
多根第4电极指5b的一端与第2汇流条5c连接,另一端朝向共用汇流条8侧延伸。
在本实施方式中,第1汇流条4c、第2汇流条5c以及共用汇流条8在与上述投影极化方向Px正交的方向上延伸。此外,第1汇流条4c以及第2汇流条5c与共用汇流条8平行地延伸。
在上述电极结构3中,第1IDT电极4和第2IDT电极5隔着上述共用汇流条8而背对背地配置。即,在共用汇流条8的一侧构成了第1IDT电极4,在相反的一侧构成了第2IDT电极5。
在第1、第2IDT电极4、5中,共用汇流条8被共用,第1、第2IDT电极4、5背对背地配置。因此,能够实现形成了第1、第2IDT电极4、5的部分的小型化。
另一方面,第1、第2反射器6、7配置于设置有第1、第2IDT电极4、5的区域的声表面波传播方向两侧。第1、第2反射器6、7在由第1、第2IDT电极4、5分别构成的第1、第2谐振部分中被共用。即,第1、第2反射器6、7被配置为能够反射由第1IDT电极4激励的声表面波以及由第2IDT电极5激励的声表面波。
更具体来说,第1反射器6具有多根电极指6a和第1、第2端部汇流条6b、6c。多根电极指6a的一端通过第1端部汇流条6b而连结。多根电极指6a的另一端通过第2端部汇流条6c而连结。多根电极指6a位于上述第1、第2IDT电极4、5的侧方。更具体来说,为了如上所述对传播过来的声表面波进行反射,多根电极指6a位于第1、第2IDT电极4、5的电极指交叉部的侧方。
第2反射器7也与第1反射器6同样地,具有多根电极指7a和第1、第2端部汇流条7b、7c。第2反射器7也被设置为对由第1、第2IDT电极4、5激励的声表面波进行反射。
然而,本实施方式的弹性波谐振器1是具有第1端子9和第2端子10的单端口型的弹性波谐振器。上述共用汇流条8与第1反射器6电连接。即,在本实施方式中,共用汇流条8向第1反射器6侧延伸,与第1反射器6的电极指6a的中间部分连结。而且,第1端子9与该共用汇流条8以及第1反射器6电连接。
另一方面,在本实施方式中,第1汇流条4c与第2反射器7的第1端部汇流条7b相连而被一体化。同样地,第2汇流条5c也与第2端部汇流条7c相连而被一体化。在本实施方式中,第1汇流条4c与第1端部汇流条7b以相同宽度沿相同方向延伸,并且相连而被一体化。第2汇流条5c与第2端部汇流条7c也以相同宽度沿相同方向延伸,并相连而被一体化。而且,第2端子10与该第2反射器7以及第1、第2汇流条4c、5c连接。
因此,在第1端子9与第2端子10之间,第1IDT电极4与第2IDT电极5并联地电连接。并且,第1IDT电极4中的第1汇流条4c与共用汇流条8之间的电压施加方向V1和第2IDT电极5中的共用汇流条8与第2汇流条5c之间的电压施加方向V2如图所示设为反向。更具体来说,上述电压施加方向V1是与投影极化方向Px相同的方向,上述电压施加方向V2与投影极化方向Px设为反向。
在本实施方式的弹性波谐振器1中,由于如上述那样构成,因此能够抑制非线性失真,并且能够实现小型化。参照图8对此具体进行说明。
图8的实线是按以下规格对上述弹性波谐振器1进行了制作的情况下的表示产生非线性失真的二次谐波的响应的衰减量频率特性。
弹性波谐振器1的规格:
IDT电极4、5:电极材料〔Ti/AlCu膜,厚度30/380(nm)的层叠结构〕。电极指的对数=〔80对〕。电极指交叉宽度=〔50μm〕。共用汇流条8的宽度方向尺寸=〔15μm〕。第1、第2汇流条4c、5c的宽度方向尺寸=〔15μm〕。第1、第2反射器6、7中的电极指6a、7a的根数=各15根。第1、第2端部汇流条6b、6c、7b、7c的宽度方向尺寸=〔15μm〕。
为了进行比较,准备了以下的第1以及第2比较例。第1比较例:准备了不进行并联分割而在1个IDT电极的两侧配置了反射器的通常的单端口型弹性波谐振器。将IDT电极的电极指交叉宽度设为100μm,未对IDT电极进行并联分割,未将两侧的反射器与IDT电极进行电连接,除了这些构成以外与上述实施方式相同。
第2比较例:制作了图10所示的电极结构的弹性波谐振器101。在图10所示的弹性波谐振器101中,与弹性波谐振器1同样地,IDT电极104、105在第1、第2端子109、110之间被并联连接。但是,通过迂回布线106来连接第1IDT电极104以及第2IDT电极105的各一方的汇流条,并与第1端子109连接。此外,通过迂回布线107来共同连接第1、第2IDT电极104、105的各另一方的汇流条,该迂回布线107被设置为包围设置了IDT电极104、105的部分。将该迂回布线107与第2端子110连接。其他构成与上述实施方式相同。
图8的虚线表示上述第1比较例的结果。此外,单点划线表示上述第2比较例的结果。
从图8可知,与第1比较例相比,根据具有并联反转连接结构的第2比较例以及上述实施方式,能够有效地抑制二次谐波的响应。尤其可知,根据上述实施方式,即使与第2比较例相比,也能够抑制二次谐波的响应,即能够更有效地抑制二次非线性失真。相对于第2比较例而言非线性失真之所以得到了改善,可以认为是通过共用了汇流条,由此在2个IDT间产生波动的耦合从而结构的对称性得到了改善的缘故。
另一方面,对图10与图1(a)进行比较可知,在第2比较例中,必须设置会占据较大面积的迂回布线。此外,第1、第2IDT电极的汇流条未进行共同化,反射器也按照第1、第2IDT电极104、105单独地设置。因此可知,压电基板上的电极结构形成面积非常大。相对于此,在上述实施方式的弹性波谐振器1中,能够实现电极结构3的小型化。即,可知能够有效地抑制非线性失真,并且能够大幅实现弹性波谐振器的小型化。
图2是本发明的第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的俯视图。在第2实施方式的弹性波谐振器中,第1、第2反射器6、7具有中间汇流条6d、7d。其他点与第1实施方式相同。因此,通过对同一部分标注相同的参照编号来省略其说明。在本实施方式中,中间汇流条6d、7d分别设置为连结多根电极指6a、7a的中间部分。因此,增加了经过第1、第2反射器6、7而到达第1、第2端子9、10的电流路径。因而,与第1实施方式相比,根据第2实施方式,能够降低电极指的电阻所引起的传输信号的损失。
另外,在第1、第2实施方式中,第1汇流条4c以及第2汇流条5c分别以与第1、第2端部汇流条7b、7c相同的宽度沿相同方向延伸。但是,在本发明中,第1汇流条4c以及第2汇流条5c无需是与第1、第2汇流条7b、7c相同的宽度。
此外,第1汇流条4c、第2汇流条5c也可以沿与第1、第2端部汇流条7b、7c不同的方向延伸。
但是,优选的是,如上所述,期望以相同宽度沿相同方向延伸,由此能够实现进一步的小型化。
共用汇流条8虽然与第1、第2汇流条4c、5c平行地延伸,但也可以是不平行的。
进而,期望形成了第1反射器6以及第2反射器7、和IDT电极4、5的区域,即形成了由它们构成的电极结构3的区域如图1(a)所示,形成矩形的区域。由此,能够进一步实现小型化。
接着,说明作为本发明的第3~第7实施方式的双工器。
图3是作为本发明的第3实施方式的双工器的电路图。在双工器31中,天线32连接了天线端子33。天线端子33连接了第1带通滤波器34与第2带通滤波器35的各一端。在本实施方式中,第1带通滤波器34构成了便携式电话机的发送滤波器,第2带通滤波器35构成了接收滤波器。即,第2带通滤波器35的通频带与第1带通滤波器34的通频带不同。
在第3实施方式中,第1带通滤波器34具有多个串联臂谐振器S1~S4以及多个并联臂谐振器P1、P2。即,构成了梯型电路。
多个串联臂谐振器S1~S4以及多个并联臂谐振器P1、P2由弹性波谐振器构成。在本实施方式中,这些弹性波谐振器之中最接近天线端子33的串联臂谐振器S1以及并联臂谐振器P1由上述实施方式的弹性波谐振器1构成。因此,能够有效地抑制非线性失真,并且能够实现由弹性波滤波器装置构成的第1带通滤波器34的小型化,进而实现双工器31的小型化。
另外,在双工器31中,在第1带通滤波器34中,串联臂谐振器S1以及并联臂谐振器P1由上述实施方式的弹性波谐振器1构成,但也可以仅串联臂谐振器S1由上述弹性波谐振器1构成。进而,也可以多个串联臂谐振器S1~S4以及并联臂谐振器P1、P2全都由上述弹性波谐振器1构成。即,只要多个弹性波谐振器之中的至少一个由本发明的弹性波谐振器构成即可。
但是,在双工器31的第1带通滤波器34中,期望在最接近合成端侧的弹性波谐振器中抑制非线性失真。因此,如上述实施方式那样,期望作为串联臂谐振器S1以及并联臂谐振器P1而使用上述实施方式的弹性波谐振器1。在该情况下,也可以仅对于最接近天线端子33的串联臂谐振器S1使用上述弹性波谐振器1。
在图4所示的作为第4实施方式的双工器41中,第1带通滤波器34与第3实施方式的双工器31同样地构成。在此,第2带通滤波器35具有纵耦合谐振器型弹性波滤波器42、和弹性波谐振器43、44。弹性波谐振器43被连接在纵耦合谐振器型弹性波滤波器42与天线端子33之间,弹性波谐振器44被连接在弹性波谐振器43和纵耦合谐振器型弹性波滤波器42间的连接点、与接地电位之间。
在这样的具有纵耦合谐振器型弹性波滤波器42的第2带通滤波器35中,也期望通过上述弹性波谐振器1来构成上述弹性波谐振器43、44之中的至少一方。由此,能够抑制第2带通滤波器35中的非线性失真。在该情况下,也可以仅弹性波谐振器43由弹性波谐振器1构成。此外,也可以仅弹性波谐振器44由弹性波谐振器1构成。
在图5所示的第5实施方式的双工器51中,第1带通滤波器34与第3实施方式的双工器31同样地构成。第2带通滤波器35是具有多个串联臂谐振器S11~S14以及多个并联臂谐振器P11、P12的梯型滤波器。这样第2带通滤波器35也可以由梯型滤波器构成。在该情况下,多个串联臂谐振器S11~S14以及多个并联臂谐振器P11、P12由弹性波谐振器构成。而且,期望多个弹性波谐振器之中的至少一个弹性波谐振器由上述实施方式的弹性波谐振器1构成。
更优选的是,最接近天线端子33即合成端的串联臂谐振器S11以及并联臂谐振器P11之中的至少一方由按照本发明构成的弹性波谐振器构成。由此,能够有效地抑制第2带通滤波器35侧的二次非线性失真。
图6是本发明的第6实施方式所涉及的双工器61的电路图。在双工器61中,第1带通滤波器34具有在天线端子33侧将串联臂谐振器S1A、S1B相互串联连接的结构。在第2带通滤波器35中,也具有在天线端子33侧将多个弹性波谐振器S43A、S43B串联连接的结构。
除了上述方面以外,第1带通滤波器34与第3实施方式的双工器31的第1带通滤波器34相同。此外,除了上述方面以外,第2带通滤波器35与第4实施方式的双工器41的第2带通滤波器35相同。这样也可以将最接近合成端的串联臂谐振器分割成两部分。在该情况下,也通过例如由上述实施方式的弹性波谐振器1来构成并联臂谐振器P1以及弹性波谐振器44,从而能够有效地抑制二次非线性失真,并且能够实现小型化。
图7是第7实施方式所涉及的双工器71的电路图。在双工器71中,第1带通滤波器34与第6实施方式的第1带通滤波器34同样地构成。此外,在第2带通滤波器35中,将最接近天线端子33的串联臂谐振器分割成2个串联臂谐振器S11A、S11B。除了上述方面以外,第2带通滤波器35与第5实施方式的双工器51的第2带通滤波器35同样地构成。
在第7实施方式中,也通过由上述实施方式的弹性波谐振器1来构成并联臂谐振器P1、P11,从而能够有效地抑制二次非线性失真,并且能够实现小型化。
在上述第3~第7实施方式中,示出了具有第1、第2带通滤波器34、35的双工器,但本发明也能够应用于这种第1带通滤波器34、第2带通滤波器35那样的带通滤波器装置。因此,例如,像第3实施方式的第1带通滤波器34那样,使用了多个弹性波谐振器的梯型电路构成的滤波器装置也相当于本发明的滤波器装置。同样地,并不限于具有梯型电路构成的装置,能够将本发明普遍应用于具有多个弹性波谐振器的弹性波滤波器装置。进而,能够如也具有纵耦合谐振器型弹性波滤波器42的第4实施方式的第2带通滤波器35那样,将本发明也应用于包含弹性波谐振器与其他滤波器元件的滤波器装置。
进而,并不限于声表面波谐振器,也能够将本发明应用于具有图9所示那样的结构的声边界波谐振器。图9所示的声边界波谐振器81具有压电基板82、和与压电基板82不同的固体的第2媒介83。在压电基板82与媒介83的界面处构成了IDT电极84以及反射器85、86。通过将包含这些IDT电极84以及反射器85、86的电极结构设为与上述实施方式的弹性波谐振器1的电极结构3同样,从而能够按照本发明来提供单端口型的声边界波谐振器。
符号说明
1...弹性波谐振器
2...压电基板
2a...上表面
3...电极结构
4...第1IDT电极
4a、4b...第1、第2电极指
4c...第1汇流条
5...第2IDT电极
5a、5b...第3、第4电极指
5c...第2汇流条
6...第1反射器
6a...电极指
6b、6c...第1、第2端部汇流条
6d...中间汇流条
7...第2反射器
7a...电极指
7b、7c...第1、第2端部汇流条
7d...中间汇流条
8...共用汇流条
9、10...第1、第2端子
31、41、51、61、71...双工器
32...天线
33...天线端子
34、35...第1、第2带通滤波器
42...纵耦合谐振器型弹性波滤波器
43、44、S43A、S43B...弹性波谐振器
81...声边界波谐振器
82...压电基板
83...媒介
84...IDT电极
85、86...反射器
P1、P2、P11、P12...并联臂谐振器
S1~S4、S11~S14、S1A、S1B、S11A、S11B...串联臂谐振器

Claims (10)

1.一种弹性波谐振器,是具有第1端子和第2端子的单端口型的弹性波谐振器,其中,
所述弹性波谐振器具备:
压电基板;
第1IDT电极、第2IDT电极,形成在所述压电基板上;和
第1反射器、第2反射器,配置在设置有所述第1IDT电极、第2IDT电极的部分的弹性波传播方向两侧,被所述第1IDT电极、第2IDT电极共用,
所述第1IDT电极具有第1汇流条、和与所述第1汇流条隔开配置的共用汇流条,
所述第2IDT电极具有与所述第1IDT电极共用的所述共用汇流条、和与所述共用汇流条隔开的第2汇流条,
所述第1汇流条配置在隔着所述共用汇流条而与所述第2汇流条相反的一侧,
所述共用汇流条与所述第1反射器电连接,并且与所述第1端子连接,
所述第2反射器与所述第1汇流条、第2汇流条电连接,并且与所述第2端子连接,
所述第1IDT电极、第2IDT电极在所述第1端子、第2端子之间并联地电连接。
2.根据权利要求1所述的弹性波谐振器,其中,
所述第1IDT电极中的所述第1汇流条与所述共用汇流条之间的电压施加方向是与将所述压电基板的极化方向投影于压电基板面的投影极化方向相同的方向,所述第2IDT电极中的所述共用汇流条与所述第2汇流条之间的电压施加方向与所述投影极化方向设为反向。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波谐振器,其中,
所述第1反射器、第2反射器具备:多根电极指、连结所述多根电极指的一方端部的第1端部汇流条、连结所述多根电极指的另一方端部彼此的第2端部汇流条、和连结所述多根电极指的中间部分的中间汇流条。
4.根据权利要求3所述的弹性波谐振器,其中,
所述第1汇流条与所述第2反射器的所述第1端部汇流条沿相同方向延伸并且相连而被一体化,所述第2汇流条与所述第2反射器的所述第2端部汇流条沿相同方向延伸并且相连而被一体化。
5.根据权利要求3或4所述的弹性波谐振器,其中,
所述共用汇流条与所述第1反射器的所述中间汇流条沿相同方向延伸并且相连。
6.一种弹性波滤波器装置,具有多个弹性波谐振器,其中,
至少一个所述弹性波谐振器由权利要求1~5中任一项所述的弹性波谐振器构成。
7.根据权利要求6所述的弹性波滤波器装置,其中,
由所述多个弹性波谐振器构成了梯型电路。
8.根据权利要求7所述的弹性波滤波器装置,其中,
所述梯型电路具有多个串联臂谐振器以及多个并联臂谐振器,所述多个串联臂谐振器以及所述多个并联臂谐振器由所述多个弹性波谐振器构成,所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器之中的至少一个谐振器由权利要求1~5中任一项所述的弹性波谐振器构成。
9.一种双工器,具有与天线端连接的第1带通滤波器、和与所述天线端连接且通频带与所述第1带通滤波器不同的第2带通滤波器,其中,
所述第1带通滤波器以及第2带通滤波器当中的至少一方具有权利要求1~5中任一项所述的弹性波谐振器。
10.根据权利要求9所述的双工器,其中,
所述第1带通滤波器以及第2带通滤波器当中的至少一方具有多个弹性波谐振器,该多个弹性波谐振器之中最接近所述天线端的一侧的至少一个弹性波谐振器由权利要求1~5中任一项所述的弹性波谐振器构成。
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