JP2000049566A - 表面弾性波フィルタ - Google Patents
表面弾性波フィルタInfo
- Publication number
- JP2000049566A JP2000049566A JP10216777A JP21677798A JP2000049566A JP 2000049566 A JP2000049566 A JP 2000049566A JP 10216777 A JP10216777 A JP 10216777A JP 21677798 A JP21677798 A JP 21677798A JP 2000049566 A JP2000049566 A JP 2000049566A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bus bar
- common bus
- surface acoustic
- acoustic wave
- reflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 露光・エッチングの精度に起因する電極パタ
ーンの丸みを少なくして、定在波の乱れを防止し、フィ
ルタ特性を向上させる。 【解決手段】 共通のバスバーと反射器の電極との接続
部を少なくするために、共通のバスバーと電極との接続
は最外端のみとし、他の電極はショートバーとのみ接続
する。あるいは、共通のバスバーとショートバーに交互
に接続する。
ーンの丸みを少なくして、定在波の乱れを防止し、フィ
ルタ特性を向上させる。 【解決手段】 共通のバスバーと反射器の電極との接続
部を少なくするために、共通のバスバーと電極との接続
は最外端のみとし、他の電極はショートバーとのみ接続
する。あるいは、共通のバスバーとショートバーに交互
に接続する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波フィル
タに係るもので、特に横結合型のフィルタの電極構造に
関するものである。
タに係るもので、特に横結合型のフィルタの電極構造に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】移動体通信用のＲＦフィルタやＩＦフィ
ルタ等として、表面弾性波フィルタが利用され、使用さ
れる周波数帯もＧＨｚ帯にまで及んでいる。その一つの
タイプとして、インターデイジタル電極を直列に接続し
てそれらを反射器で挟み、共振と横方向の結合を利用し
た横結合型の表面弾性波フィルタがある。
ルタ等として、表面弾性波フィルタが利用され、使用さ
れる周波数帯もＧＨｚ帯にまで及んでいる。その一つの
タイプとして、インターデイジタル電極を直列に接続し
てそれらを反射器で挟み、共振と横方向の結合を利用し
た横結合型の表面弾性波フィルタがある。
【０００３】図５は、そのような表面弾性波フィルタの
電極構造を示す平面図である。二つのインターデイジタ
ル電極31a、31bは共通のバスバー32に接続されており、
それらを反射器33a、33bが挟んだ構造となっている。一
般に、反射器33は開放型よりも短絡型の方が大きな反射
係数が得られるので、共通のバスバー32とショートバー
35に接続される。
電極構造を示す平面図である。二つのインターデイジタ
ル電極31a、31bは共通のバスバー32に接続されており、
それらを反射器33a、33bが挟んだ構造となっている。一
般に、反射器33は開放型よりも短絡型の方が大きな反射
係数が得られるので、共通のバスバー32とショートバー
35に接続される。
【０００４】ところが、パターンの露光・エッチング工
程での現像やエッチングの解像度に限界が有り、図６に
示したように共通のバスバー32と反射器の電極35の交差
する角の部分は丸みを帯びる。インターデイジタル電極
の場合は二倍のピッチがあるが、反射器はピッチが狭
く、その影響が無視できなくなる。
程での現像やエッチングの解像度に限界が有り、図６に
示したように共通のバスバー32と反射器の電極35の交差
する角の部分は丸みを帯びる。インターデイジタル電極
の場合は二倍のピッチがあるが、反射器はピッチが狭
く、その影響が無視できなくなる。
【０００５】この丸みは、その部分で表面弾性波の乱れ
を生じる。その結果、グレーテイングの反射効果が薄
れ、エネルギーの表面弾性波伝播方向の集中度の低下と
Ｑの低下を生じ、フィルタとしては挿入損失が大きくな
ってしまう。また、横結合共振子型フィルタの場合に
は、横方向の表面弾性波の分布の広がりによって共振器
間の結合が強くなって、所望の狭帯域通過帯域特性が得
られなくなることがある。反射器の長さをインターデイ
ジタル電極よりも十分大きくすればよいが、構造的ある
いはサイズの制約が有り難しい。
を生じる。その結果、グレーテイングの反射効果が薄
れ、エネルギーの表面弾性波伝播方向の集中度の低下と
Ｑの低下を生じ、フィルタとしては挿入損失が大きくな
ってしまう。また、横結合共振子型フィルタの場合に
は、横方向の表面弾性波の分布の広がりによって共振器
間の結合が強くなって、所望の狭帯域通過帯域特性が得
られなくなることがある。反射器の長さをインターデイ
ジタル電極よりも十分大きくすればよいが、構造的ある
いはサイズの制約が有り難しい。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、電極の交差
部に生じる導体膜の丸まりを防止して、表面弾性波の横
方向への広がりを防止して、挿入損失が低く、狭帯域の
表面弾性波フィルタを提供するものである。
部に生じる導体膜の丸まりを防止して、表面弾性波の横
方向への広がりを防止して、挿入損失が低く、狭帯域の
表面弾性波フィルタを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、特に共通のバ
スバー側の電極の交差部を最小限とすることによって、
上記の課題を解決するものである。
スバー側の電極の交差部を最小限とすることによって、
上記の課題を解決するものである。
【０００８】すなわち、共通のバスバーを挟んで位置す
る二つのインターデイジタル電極と、それらを挟むとと
もに共通のバスバーに接続される反射器を具えた表面弾
性波フィルタにおいて、反射器の一部の共通のバスバー
側の端部が共通のバスバーに接続されず、反対側のショ
ートバーを介して共通のバスバーに接続されたことに特
徴を有するものである。
る二つのインターデイジタル電極と、それらを挟むとと
もに共通のバスバーに接続される反射器を具えた表面弾
性波フィルタにおいて、反射器の一部の共通のバスバー
側の端部が共通のバスバーに接続されず、反対側のショ
ートバーを介して共通のバスバーに接続されたことに特
徴を有するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】反射器の導体ストリップを共通の
バスバーの反対側に位置するショートバーに接続し、イ
ンターデイジタル電極から最も離れた電極のみ共通のバ
スバーにも接続する形態と、共通のバスバーとショート
バーにインターデイジタル構造で接続する形態があり、
またそれらを部分的に変える構造を採用することができ
る。
バスバーの反対側に位置するショートバーに接続し、イ
ンターデイジタル電極から最も離れた電極のみ共通のバ
スバーにも接続する形態と、共通のバスバーとショート
バーにインターデイジタル構造で接続する形態があり、
またそれらを部分的に変える構造を採用することができ
る。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例につ
いて説明する。
いて説明する。
【００１１】図１は、本発明による表面弾性波フィルタ
の電極構造を示す平面図である。二つのインターデイジ
タル電極11a、11bは共通のバスバー12に接続されてお
り、それらを反射器13a、13bが挟んだ構造となってい
る。反射器13の電極ストリップの共通のバスバー12側の
端部は共通のバスバーとは接続されず、他端側がショー
トバー15のみに接続される。ただし、最も外側の電極ス
トリップを介して共通のバスバー12とショートバー15が
接続される。
の電極構造を示す平面図である。二つのインターデイジ
タル電極11a、11bは共通のバスバー12に接続されてお
り、それらを反射器13a、13bが挟んだ構造となってい
る。反射器13の電極ストリップの共通のバスバー12側の
端部は共通のバスバーとは接続されず、他端側がショー
トバー15のみに接続される。ただし、最も外側の電極ス
トリップを介して共通のバスバー12とショートバー15が
接続される。
【００１２】この構造を採用することにより、図２に示
したように、共通のバスバー12と電極ストリップ14との
交差は一個所のみとなる。したがって、パターンに丸み
が生じるのもここ一個所だけとなる。
したように、共通のバスバー12と電極ストリップ14との
交差は一個所のみとなる。したがって、パターンに丸み
が生じるのもここ一個所だけとなる。
【００１３】図３は、本発明による表面弾性波フィルタ
他の例の電極構造を示す平面図である。二つのインター
デイジタル電極21a、21bは共通のバスバー22に接続され
ており、それらを反射器23a、23bが挟んだ構造となって
いる。反射器23の電極ストリップは、共通のバスバー22
とショートバー25交互に接続される。ただし、最も外側
の電極ストリップは共通のバスバー22とショートバー25
の双方に接続される。
他の例の電極構造を示す平面図である。二つのインター
デイジタル電極21a、21bは共通のバスバー22に接続され
ており、それらを反射器23a、23bが挟んだ構造となって
いる。反射器23の電極ストリップは、共通のバスバー22
とショートバー25交互に接続される。ただし、最も外側
の電極ストリップは共通のバスバー22とショートバー25
の双方に接続される。
【００１４】この構造を採用することにより、図４に示
したように、共通のバスバー22と電極ストリップ24との
交差は一つ置きとなる。したがって、パターンに丸みが
生じる個所も従来に比べ半分となる。
したように、共通のバスバー22と電極ストリップ24との
交差は一つ置きとなる。したがって、パターンに丸みが
生じる個所も従来に比べ半分となる。
【００１５】なお、本発明の電極構造は、横結合型の共
振子フィルタに限られず、反射器を用いる表面弾性波共
振器、表面弾性波フィルタ全般に応用できる。また、電
極のパターンも上記の例に限られるものではない。
振子フィルタに限られず、反射器を用いる表面弾性波共
振器、表面弾性波フィルタ全般に応用できる。また、電
極のパターンも上記の例に限られるものではない。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、露光・エッチング工程
の装置の能力に起因する共通バスバーと電極との接続部
に生じるパターンの丸みの発生を減少できる。したがっ
て、定在波の表面弾性波伝播路端部での乱れが少なくな
り、横方向のエネルギー集中度が高くなる。その結果、
共振のＱが上昇し、低損失のフィルタが得られる。
の装置の能力に起因する共通バスバーと電極との接続部
に生じるパターンの丸みの発生を減少できる。したがっ
て、定在波の表面弾性波伝播路端部での乱れが少なくな
り、横方向のエネルギー集中度が高くなる。その結果、
共振のＱが上昇し、低損失のフィルタが得られる。
【００１７】また、横結合型フィルタでは、各々の共振
器内に集中する表面弾性波のエネルギーが高まるので、
共通バスバー付近での表面弾性波の結合が相対的に小さ
くなるので狭帯域のフィルタが得られる。
器内に集中する表面弾性波のエネルギーが高まるので、
共通バスバー付近での表面弾性波の結合が相対的に小さ
くなるので狭帯域のフィルタが得られる。
【図１】 本発明の実施例を示す平面図
【図２】 図１の部分拡大図
【図３】 本発明の他の実施例を示す平面図
【図４】 図３の部分拡大図
【図５】 従来の表面弾性波フィルタの電極の平面図
【図６】 図５の部分拡大図
11、21、31：インターデイジタル電極 12、22、32：共通のバスバー 12、23、33：反射器 15、25、35：ショートバー
Claims (3)
- 【請求項１】 共通のバスバーを挟んで位置する二つの
インターデイジタル電極と、それらを挟むとともに共通
のバスバーに接続される反射器を具えた表面弾性波フィ
ルタにおいて、反射器の一部の共通のバスバー側の端部
が共通のバスバーに接続されず、反対側のショートバー
を介して共通のバスバーに接続されたことを特徴とする
表面弾性波フィルタ。 - 【請求項２】 共通のバスバーを挟んで位置する二つの
インターデイジタル電極と、それらを挟むとともに共通
のバスバーに接続される反射器を具えた表面弾性波フィ
ルタにおいて、反射器の端部が共通のバスバーと反対側
のショートバーに交互に接続され、反対側の端部がショ
ートバーまたは共通のバスバーに接続されないことを特
徴とする表面弾性波フィルタ。 - 【請求項３】 共通のバスバーを挟んで位置する二つの
インターデイジタル電極と、それらを挟むとともに共通
のバスバーに接続される反射器を具えた表面弾性波フィ
ルタにおいて、反射器の端部が共通のバスバーと反対側
のショートバーに交互に接続され、反対側の端部がショ
ートバーまたは共通のバスバーに接続されず、インター
デイジタル電極から最も離れた反射器が共通のバスバー
とショートバーに接続されたことを特徴とする表面弾性
波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10216777A JP2000049566A (ja) | 1998-07-31 | 1998-07-31 | 表面弾性波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10216777A JP2000049566A (ja) | 1998-07-31 | 1998-07-31 | 表面弾性波フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000049566A true JP2000049566A (ja) | 2000-02-18 |
Family
ID=16693738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10216777A Pending JP2000049566A (ja) | 1998-07-31 | 1998-07-31 | 表面弾性波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000049566A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015033891A1 (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-12 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振子、弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ |
-
1998
- 1998-07-31 JP JP10216777A patent/JP2000049566A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015033891A1 (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-12 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振子、弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ |
| CN105493402A (zh) * | 2013-09-06 | 2016-04-13 | 株式会社村田制作所 | 弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器 |
| JPWO2015033891A1 (ja) * | 2013-09-06 | 2017-03-02 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振子、弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ |
| US9847770B2 (en) | 2013-09-06 | 2017-12-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave resonator, elastic wave filter apparatus, and duplexer |
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