JPWO2015033892A1 - 弾性波共振子、弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ - Google Patents

弾性波共振子、弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ Download PDF

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Abstract

非線形歪みを抑制することができ、かつ小型化を図り得る弾性波共振子を提供する。分極方向が矢印Ｐｘである圧電基板２上に、第１，第２のＩＤＴ電極４，５間に共有反射器８を介して弾性波伝搬方向に配置されており、第１のＩＤＴ電極４の第１のバスバー４ｃ及び第２の反射器７の第１の端部バスバー７ｂが配線電極１１に接続されて、第１の端子９とされており、第１のＩＤＴ電極４の第２のバスバー４ｄと共有反射器８の第２の端部バスバー８ｃとが接続されて第２の端子１０とされており、第１の端部バスバー８ｂと第１のバスバー５ｃとが電気的に接続されており、第２のバスバー５ｄと第２の端部バスバー７ｃとが電気的に接続されており、第１，第２の端子９，１０間に第１，第２のＩＤＴ電極４，５が並列に接続されている、弾性波共振子１。

Description

本発明は、圧電基板上にＩＤＴ電極が形成されている１ポート型の弾性波共振子に関する。また、本発明は、上記１ポート型の弾性波共振子を有する弾性波フィルタ装置及びデュプレクサに関する。
従来、フィルタ装置を構成する共振子などに、弾性表面波共振子が広く用いられている。下記の非特許文献１に記載の１ポート型弾性表面波共振子では、ＩＤＴ電極が直列分割されている。ここでは、第１のＩＤＴ電極と第２のＩＤＴ電極とが直列接続されている。分割していない場合と同じインピーダンスとなるように、第１，第２のＩＤＴ電極の面積が大きくされている。それによって、第１，第２のＩＤＴ電極内のエネルギー密度が低められ、非線形信号による歪みが低減されている。
他方、下記の特許文献１には、耐熱衝撃性を高めるための弾性表面波装置が開示されている。この弾性表面波装置では、圧電基板上に、２個の弾性表面波共振子部分が構成されている。２個の弾性表面波共振子部分は電気的に並列に接続されている。すなわち第１，第２の弾性表面波共振子部分を構成している第１，第２のＩＤＴ電極が電気的に並列に接続されている。
特開２００４−３２０４１１号公報
"Ａ Ｔｒｉｐｌｅ−Ｂｅａｔ−Ｆｒｅｅ ＰＣＳ ＳＡＷ Ｄｕｐｌｅｘｅｒ， "（ＩＥＥＥ Ｕｌｔｒａｓｏｎ． Ｓｙｍｐ．， ｐｐ． ６７−７０， ２０１２）
非特許文献１に記載の弾性表面波装置では、非線形歪みを小さくすることができる。しかしながら、第１，第２のＩＤＴ電極の面積が大きくなっていた。そのため、小型化が困難であった。
他方、特許文献１に記載の弾性表面波装置では、耐熱衝撃性の向上を目的として並列接続構造が採用されている。この構造では、ＩＤＴ電極の面積を大きくせずとも、非線形歪みを抑制することが可能である。しかしながら、特許文献１に開示されている並列接続構造では、第１，第２のＩＤＴ電極を接続するための引き回し配線が大きなスペースを占める。従って、やはり小型化が困難である。
本発明の目的は、非線形歪みを抑制し、かつ小型化を図ることができる１ポート型の弾性波共振子を提供することにある。
本発明の他の目的は、非線形歪みを抑制し、かつ小型化を図り得る弾性波共振子を有する、弾性波フィルタ装置及びデュプレクサを提供することにある。
本発明に係る弾性波共振子は、第１の端子と第２の端子とを有する１ポート型の弾性波共振子である。本発明に係る弾性波共振子は、分極方向を有する圧電基板と、第１，第２のＩＤＴ電極と、共有反射器と、第１，第２の反射器とを備える。
上記第１，第２のＩＤＴ電極は、上記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置されている。上記共有反射器は、上記第１のＩＤＴ電極と上記第２のＩＤＴ電極との間に配置されている。上記第１の反射器は、上記第１のＩＤＴ電極を挟んで上記共有反射器とは反対側に配置されている。上記第２の反射器は、上記第２のＩＤＴ電極を挟んで上記共有反射器とは反対側に配置されている。
本発明に係る弾性波共振子では、上記圧電基板の分極方向を圧電基板面に投影した方向を投影分極方向とする。上記投影分極方向は、上記圧電基板上における弾性波伝搬方向と直交している。また、上記投影分極方向の先端側を第１の端部側、基端側を第２の端部側とする。
本発明では、上記第１の反射器、上記第１のＩＤＴ電極及び上記第２の反射器の上記第１の端部側部分同士を電気的に接続している配線電極がさらに備えられている。この配線電極が上記第１の端子とされている。
また、上記第１のＩＤＴ電極及び上記共有反射器の上記第２の端部側部分同士が電気的に接続されて、上記第２の端子とされている。上記共有反射器及び上記第２のＩＤＴ電極の上記第１の端部側部分同士が電気的に接続されている。上記第２のＩＤＴ電極及び上記第２の反射器の上記第２の端部側部分同士が電気的に接続されている。
上記第１の端子と上記第２の端子との間において、上記第１，第２のＩＤＴ電極が並列に接続されている。
本発明に係る弾性波共振子のある特定の局面では、上記第１のＩＤＴ電極における電圧印加方向及び第２のＩＤＴ電極における電圧印加方向は、上記投影分極方向において互いに逆方向とされている。
本発明に係る弾性波共振子の他の特定の局面では、上記第１の反射器の上記第１の端部側部分と、上記第１のＩＤＴ電極の上記第１の端部側部分とが電気的に接続されている。
本発明に係る弾性波共振子のさらに他の特定の局面では、上記第１の反射器、上記共有反射器及び上記第２の反射器が、それぞれ、上記第１の端部側に配置された第１の端部バスバーと、上記第２の端部側に配置された第２の端部バスバーとを有し、上記第１，第２のＩＤＴ電極が、それぞれ、上記第１の端部側に配置されている第１のバスバーと、上記第２の端部側に配置されている第２のバスバーとを有する。上記第１のＩＤＴ電極の上記第２のバスバーと上記共有反射器の上記第２の端部バスバーとが連ねられて一体化されている。上記共有反射器の上記第１の端部バスバーと上記第２のＩＤＴ電極の上記第１のバスバーとが連ねられて一体化されている。上記第２のＩＤＴ電極の上記第２のバスバーと上記第２の反射器の上記第２の端部バスバーとが連ねられて一体化されている。
本発明に係る弾性波共振子の他の特定の局面では、各バスバーと各端部バスバーとが連ねられて一体化している部分においてバスバーと端部バスバーとが同一方向に延び、かつ、同じ幅を有するように構成されている。
本発明に係る弾性波フィルタ装置は、複数の弾性波共振子を有し、少なくとも１つの弾性波共振子が本発明に従って構成された弾性波共振子からなる。
本発明に係る弾性波フィルタ装置のある特定の局面では、上記複数の弾性波共振子がラダー型回路を構成している。
本発明に係る弾性波フィルタ装置の別の特定の局面では、上記ラダー型回路が、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子を有し、上記複数の直列腕共振子及び上記複数の並列腕共振子が上記複数の弾性波共振子からなり、上記直列腕共振子及び上記並列腕共振子のうち少なくとも１つの共振子が、本発明に従って構成された弾性波共振子からなる。
本発明に係るデュプレクサは、アンテナ端に接続されている第１の帯域フィルタと、アンテナ端に接続されており、第１の帯域フィルタと通過帯域が異なる第２の帯域フィルタとを有する。上記第１の帯域フィルタ及び上記第２の帯域フィルタの少なくとも一方が、本発明に従って構成されている弾性波共振子を有する。
本発明に係るデュプレクサのある特定の局面では、第１及び第２の帯域フィルタの少なくとも一方において、複数の弾性波共振子を有し、該複数の弾性波共振子のうち上記アンテナ端に最も近い側の少なくとも１つの弾性波共振子が、本発明に従って構成された弾性波共振子からなる。
本発明に係る弾性波共振子によれば、第１，第２の端子間に第１，第２のＩＤＴ電極が並列に接続されている構造において、各ＩＤＴ電極及び反射器を含む電極構造が上記のように構成されているため、非線形歪みを抑制することができ、しかも小型化を図ることが可能となる。
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波共振子の平面図及び側面図である。 図２は、本発明の第２の実施形態としてのデュプレクサを示す回路図である。 図３は、本発明の第３の実施形態としてのデュプレクサを示す回路図である。 図４は、本発明の第４の実施形態としてのデュプレクサを示す回路図である。 図５は、本発明の第５の実施形態としてのデュプレクサを示す回路図である。 図６は、本発明の実施形態に係る弾性波共振子と、第１，第２の比較例の弾性波共振子の二次高調波の応答を示す減衰量周波数特性を示す図である。 図７は、弾性境界波装置の構造例を示す正面断面図である。 図８は、第２の比較例の弾性波共振子の平面図である。
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、本発明の第１の実施形態としての弾性波共振子の平面図及び側面図である。弾性波共振子１は、圧電基板２を有する。圧電基板２は、本実施形態では、ＬｉＴａＯ３基板からなる。もっとも、圧電基板２は、ＬｉＮｂＯ３などの他の圧電単結晶や他の圧電セラミックスを用いて構成されてもよい。圧電基板２は、その分極方向がＰ方向である。この分極方向Ｐを圧電基板面に投影した方向を投影分極方向Ｐｘとする。
圧電基板２上に、電極構造３が構成されている。この電極構造３により、１ポート型の弾性波共振子が構成される。すなわち、第１の端子９と第２の端子１０とを有する１ポート型の弾性表面波共振子が構成される。
電極構造３は、本実施形態では、ＴｉとＡｌＣｕ合金の積層金属により形成されている。もっとも、電極構造３を構成する金属材料は、特に限定されず、Ａｇ、Ｐｄ、Ｗ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｔ及びこれらを主体する適宜の合金を用いて形成することができる。また、電極構造３は、積層金属膜により形成されていてもよい。上記電極構造３は、第１，第２のＩＤＴ電極４，５、第１，第２の反射器６，７、共有反射器８及び配線電極１１を有する。
第１のＩＤＴ電極４と第２のＩＤＴ電極５とは、弾性波伝搬方向において間に共有反射器８を介して配置されている。なお、弾性波伝搬方向は、上記投影分極方向Ｐｘと直交する方向である。
この投影分極方向Ｐｘの先端側を第１の端部側、基端側を第２の端部側とする。従って、図１（ａ）において、第１の端子９側が第１の端部側、第２の端子１０側が第２の端部側となる。
第１のＩＤＴ電極４は、第１の電極指４ａと、第２の電極指４ｂとを有する。第１の電極指４ａと第２の電極指４ｂとは互いに間挿し合っている。
第１の電極指４ａ及び第２の電極指４ｂは、上記投影分極方向Ｐｘと平行な方向に延びている。第１の電極指４ａの基端が、第１のバスバー４ｃに接続されている。第２の電極指４ｂの基端が第２のバスバー４ｄに接続されている。
第２のＩＤＴ電極５も同様に構成されており、第１，第２の電極指５ａ，５ｂ及び第１，第２のバスバー５ｃ，５ｄを有する。
上記第１，第２のＩＤＴ電極４，５において、各第１のバスバー４ｃ，５ｃが上記第１の端部側に位置しており、第２のバスバー４ｄ，５ｄが上記第２の端部側に位置している。
第１の反射器６は、複数本の電極指６ａを有する。複数本の電極指６ａの第１の端部側が第１の端部バスバー６ｂにより連結されている。また、複数本の電極指６ａの第２の端部側が第２の端部バスバー６ｃにより連結されている。共有反射器８も同様に、複数本の電極指８ａと、第１，第２の端部バスバー８ｂ，８ｃとを有する。第２の反射器７も、同様に、複数本の電極指７ａと、第１，第２の端部バスバー７ｂ，７ｃとを有する。
第１，第２の反射器６，７及び共有反射器８においては、第１の端部バスバー６ｂ，７ｂ，８ｂが第１の端部側に位置しており、第２の端部バスバー６ｃ，７ｃ，８ｃが第２の端部側に位置している。
弾性波共振子１では、第１の端部バスバー６ｂと、第１のバスバー４ｃとが電気的に接続されている。本実施形態では、第１の端部バスバー６ｂと、第１のバスバー４ｃは、同じ幅で、同じ方向に延びかつ連ねられて一体化されている。従って、第１の端部バスバー６ｂ及び第１のバスバー４ｃを印刷法や堆積法などにより容易に形成することができる。
第１の端部バスバー６ｂ及び第１のバスバー４ｃと、第１の端部バスバー７ｂとが、配線電極１１により電気的に接続されている。この配線電極１１が、第１の端子９に接続されている。図１（ａ）では、第１の端子９が、配線電極１１と別に設けられているが、配線電極１１自体が第１の端子９とされてもよい。
なお、本実施形態では、第１の端部バスバー６ｂが、第１のバスバー４ｃと電気的に接続され、かつ配線電極１１に電気的に接続されている。もっとも、本発明においては、第１の端部バスバー６ｂは、第１のバスバー４ｃと電気的に接続されておらずともよい。その場合には、第１のバスバー４ｃのみが配線電極１１に電気的に接続されておればよい。すなわち、第１のＩＤＴ電極４と、第２の反射器７の第１の端部側同士が電気的に接続されて、第１の端子９に電気的に接続されておりさえすればよい。
もっとも、第１の反射器６の第１の端部バスバー６ｂを、第１のバスバー４ｃと連ねて一体化することにより、電極構造全体の対称性を高めることができる。
配線電極１１は、ＩＤＴ電極４，５及び第１，第２の反射器６，７並びに共有反射器８が弾性波伝搬方向に沿って設けられている部分において、第１の端部側において弾性波伝搬方向と平行に延ばされている。従って、電極構造３全体の構造をさほど大きくすることなくこの配線電極１１を形成することができる。
第２のバスバー４ｄと、第２の端部バスバー８ｃとが連ねられて一体化されている。第１の端部バスバー８ｂと第１のバスバー５ｃとが連ねられて一体化されている。第２のバスバー５ｄと第２の端部バスバー７ｃとが連ねられて一体化されている。
本実施形態では、各端部バスバーとバスバーとが連ねられて一体化されている部分は、上記第１の端部バスバー６ｂと第１のバスバー４ｃとが連ねられて一体化されている部分と同様に、両者が同じ幅を有し、かつ同じ方向に延ばされて連ねられている。
もっとも、各端部バスバーとバスバーとの接続は、両者が電気的に接続されてさえおればよく、同じ幅で同じ方向に延ばされて連ねられておらずともよい。
本実施形態では、上記のようにして電極構造３が形成されている。この場合、第２のバスバー４ｄと第２の端部バスバー８ｃとが連ねられて一体化されている部分が第２の端子１０とされている。従って、第１の端子９と第２の端子１０との間に、第１，第２のＩＤＴ電極４，５が電気的に並列に接続されている。
第１のＩＤＴ電極４における電圧印加方向と、第２のＩＤＴ電極５における電圧印加方向とは、上記投影分極方向Ｐｘにおいて互いに逆方向とされている。ここで、電圧印加方向とは、第１の端子９がホット側の場合、図１（ａ）に矢印Ｖ１で示すように第１のＩＤＴ電極４においては、ホット側のバスバーである第１のバスバー４ｃからアース側のバスバーである第２のバスバー４ｄに向かう方向である。図１（ａ）に示すように、第１のＩＤＴ電極４における電圧印加方向Ｖ１と、第２のＩＤＴ電極５における電圧印加方向Ｖ２とは、逆方向とされている。
弾性波共振子１は上記のように構成されているため、非線形歪みを効果的に抑制することができる。これを、具体的な実験例に基づき説明する。
上記弾性波共振子１を以下の仕様で作製した。
弾性波共振子１の仕様：
ＩＤＴ電極４，５：電極材料〔Ｔｉ／ＡｌＣｕ膜、厚み３０／３８０（ｎｍ）の積層構造〕。電極指の対数＝〔４０対〕。電極指交差幅＝〔１００μｍ〕。第１，第２のバスバー４ｃ，４ｄ，５ｃ，５ｄの幅方向寸法＝〔１５μｍ〕。第１，第２の反射器６，７及び共有反射器８における電極指６ａ，７ａ，８ａの本数＝各１５本。第１，第２の端部バスバー６ｂ，６ｃ，７ｂ，７ｃ，８ｂ，８ｃの幅方向寸法＝〔１５μｍ〕。
比較のために、以下の第１及び第２の比較例を用意した。第１の比較例：並列分割せずに、１つのＩＤＴ電極の両側に反射器が配置されている通常の１ポート型弾性波共振子を用意した。ＩＤＴ電極の電極指交差幅を１００μｍ、電極指対数８０対とし、ＩＤＴ電極を並列分割しなかったこと、両側の反射器をＩＤＴ電極に電気的に接続していないことを除いては、上記実施形態と同様とした。
第２の比較例：図８に示す電極構造の弾性波共振子１０１を作製した。図８に示す弾性波共振子１０１では、弾性波共振子１と同様にＩＤＴ電極１０４，１０５が第１，第２の端子１０９，１１０間において並列に接続されている。もっとも、第１のＩＤＴ電極１０４及び第２のＩＤＴ電極１０５の各一方のバスバーを引き回し配線１０６により接続し、第１の端子１０９に接続している。また、第１，第２のＩＤＴ電極１０４，１０５の各他方のバスバーを、引き回し配線１０７により共通接続している。この引き回し配線１０７を第２の端子１１０に接続している。引き回し配線１０７は、第１，第２のＩＤＴ電極１０４，１０５の要部が設けられている部分を囲むように配置されている。従って、大きなスペースを必要としている。その他の構成は上記実施形態と同様とした。
図６は、上記実施形態及び第１，第２の比較例における二次高調波の減衰量周波数特性を示す図であり、実線が上記実施形態の結果を、破線が第１の比較例の結果を、一点鎖線が第２の比較例の結果を示す。
図６から明らかなように、第１の比較例に比べ、第２の比較例によれば、二次高調波の応答を小さくすることができる。さらに、上記実施形態によれば、第２の比較例に比べても、二次高調波の応答をより効果的に低減することができる。すなわち、二次の非線形歪みを効果的に抑制し得ることがわかる。第２の比較例に対して非線形歪みが改善したのは、共有の反射器を介して２つのＩＤＴ間で波動が結合され、構造内での振幅の対称性が改善されたため、と考えられる。
しかも、本実施形態では、電極構造３が上記のように構成されているため、大幅な小型化を図り得る。すなわち、第１のＩＤＴ電極４で構成される共振部と、第２のＩＤＴ電極５を有する共振部とが、共有反射器８を共有している。従って、図８に示した第２の比較例に比べ、反射器の数を１つ少なくすることができる。また、上記配線電極１１が、電極構造３の第１の端部側において第１のバスバー４ｃと第１の端部バスバー７ｂとを電気的に接続すればよいため、配線電極１１の引き回しに必要なスペースも大幅に小さくすることができる。そのため、弾性波共振子１では、大幅な小型化を図ることができる。
なお、上記実施形態では、第１の端部バスバー６ｂと、第１のＩＤＴ電極４の第１のバスバー４ｃとを連ねていたが、両者は電気的に分離されていてもよい。その場合には、配線電極１１は、第１のバスバー４ｃにのみ電気的に接続すればよい。
次に、本発明の第２〜第５の実施形態としてのデュプレクサを説明する。
図２は、本発明の第２の実施形態としてのデュプレクサの回路図である。デュプレクサ３１ではアンテナ３２にアンテナ端子３３が接続されている。アンテナ端子３３に、第１の帯域フィルタ３４と第２の帯域フィルタ３５との各一端が接続されている。本実施形態では、第１の帯域フィルタ３４が、携帯電話機の送信フィルタを構成しており、第２の帯域フィルタ３５が受信フィルタを構成している。すなわち、第２の帯域フィルタ３５の通過帯域は、第１の帯域フィルタ３４の通過帯域と異なっている。
第２の実施形態では、第１の帯域フィルタ３４が、複数の直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ４及び複数の並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２を有する。すなわち、ラダー型回路が構成されている。
複数の直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ４及び複数の並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２は弾性波共振子からなる。本実施形態では、これらの弾性波共振子のうち、アンテナ端子３３に最も近い直列腕共振子Ｓ１及び並列腕共振子Ｐ１が、上記実施形態の弾性波共振子１により構成されている。従って、非線形歪みを効果的に抑制することができると共に、弾性波フィルタ装置からなる第１の帯域フィルタ３４の小型化、ひいてはデュプレクサ３１の小型化を図ることが可能とされている。
なお、デュプレクサ３１では、第１の帯域フィルタ３４において、直列腕共振子Ｓ１及び並列腕共振子Ｐ１が、上記実施形態の弾性波共振子１で構成されていたが、直列腕共振子Ｓ１のみが上記弾性波共振子１により構成されていてもよい。さらに、複数の直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ４及び並列腕共振子Ｐ１，Ｐ２の全てが上記弾性波共振子１により構成されていてもよい。すなわち、複数の弾性波共振子のうち少なくとも１個が本発明の弾性波共振子により構成されていればよい。
もっとも、デュプレクサ３１の第１の帯域フィルタ３４では、合成端側に最も近い弾性波共振子において非線形歪みを抑制することが望ましい。従って、上記実施形態のように、直列腕共振子Ｓ１及び並列腕共振子Ｐ１として、上記実施形態の弾性波共振子１を用いることが望ましい。この場合、アンテナ端子３３に最も近い直列腕共振子Ｓ１にのみ上記弾性波共振子１を用いてもよい。
図３に示す第３の実施形態としてのデュプレクサ４１では、第１の帯域フィルタ３４は第２の実施形態のデュプレクサ３１と同様に構成されている。ここでは、第２の帯域フィルタ３５が縦結合共振子型弾性波フィルタ４２と、弾性波共振子４３，４４とを有する。弾性波共振子４３は、縦結合共振子型弾性波フィルタ４２とアンテナ端子３３との間に接続されており、弾性波共振子４４は、弾性波共振子４３と縦結合共振子型弾性波フィルタ４２との間の接続点とグラウンド電位との間に接続されている。
このような縦結合共振子型弾性波フィルタ４２を有する第２の帯域フィルタ３５においても、上記弾性波共振子４３，４４のうち少なくとも一方を、上記弾性波共振子１により構成することが望ましい。それによって、第２の帯域フィルタ３５における非線形歪みを抑制することができる。この場合においても、弾性波共振子４３のみを弾性波共振子１で構成してもよい。また、弾性波共振子４４のみを弾性波共振子１で構成してもよい。
図４に示す第４の実施形態のデュプレクサ５１では、第１の帯域フィルタ３４は第３の実施形態のデュプレクサ４１と同様に構成されている。第２の帯域フィルタ３５は、複数の直列腕共振子Ｓ１１〜Ｓ１４及び複数の並列腕共振子Ｐ１１，Ｐ１２を有するラダー型フィルタである。このように第２の帯域フィルタ３５もまたラダー型フィルタにより構成されていてもよい。この場合、複数の直列腕共振子Ｓ１１〜Ｓ１４及び複数の並列腕共振子Ｐ１１，Ｐ１２が弾性波共振子からなる。そして、複数の弾性波共振子のうち少なくとも１つの弾性波共振子が上記実施形態の弾性波共振子１により構成されていることが望ましい。
より好ましくは、アンテナ端子３３すなわち合成端に最も近い直列腕共振子Ｓ１１及び並列腕共振子Ｐ１１のうち少なくとも一方が本発明に従って構成された弾性波共振子からなることが望ましい。それによって、第２の帯域フィルタ３５側における二次の非線形歪みを効果的に抑制することができる。
図５は、本発明の第５の実施形態に係るデュプレクサ６１の回路図である。デュプレクサ６１では、第１の帯域フィルタ３４が、アンテナ端子３３側に、直列腕共振子Ｓ１Ａ，Ｓ１Ｂを互いに直列接続した構造を有する。第２の帯域フィルタ３５においても、アンテナ端子３３側において、複数の弾性波共振子Ｓ４３Ａ，Ｓ４３Ｂを直列に接続した構造を有する。
第１の帯域フィルタ３４は、上記の点を除けば、第２の実施形態のデュプレクサ３１の第１の帯域フィルタ３４と同様である。また、第２の帯域フィルタ３５は、上記の点を除けば、第３の実施形態のデュプレクサ４１の第２の帯域フィルタ３５と同様である。このように、合成端に最も近い直列腕共振子が２分割されていてもよい。この場合においても、例えば、並列腕共振子Ｐ１及び弾性波共振子４４を上記実施形態の弾性波共振子１で構成することにより、二次の非線形歪みを効果的に抑圧することができると共に、小型化を図ることができる。
上記第２〜第５の実施形態では、第１，第２の帯域フィルタ３４，３５を有するデュプレクサを示したが、本発明は、このような第１の帯域フィルタ３４や第２の帯域フィルタ３５のような帯域フィルタ装置にも適用することができる。
従って、例えば、第３の実施形態の第１の帯域フィルタ３４のように、複数の弾性波共振子を用いたラダー型回路構成のフィルタ装置もまた、本発明のフィルタ装置に相当する。同様に、ラダー型回路構成を有するものに限らず、複数の弾性波共振子を有する弾性波フィルタ装置に一般的に本発明を適用することができる。さらに、縦結合共振子型弾性波フィルタ４２をも有する第３の実施形態の第２の帯域フィルタ３５のように、弾性波共振子と他のフィルタ素子とを含むフィルタ装置にも本発明を適用することができる。
さらに、弾性表面波共振子に限らず、図７に示すような構造を有する弾性境界波共振子にも本発明を適用することができる。図７に示す弾性境界波共振子８１は、圧電基板８２と、圧電基板８２とは異なる固体の媒質８３とを有する。圧電基板８２と媒質８３との界面にＩＤＴ電極８４及び反射器８５，８６が構成されている。これらのＩＤＴ電極８４及び反射器８５，８６を含む電極構造を、上記実施形態の弾性波共振子１の電極構造３と同様とすることにより、本発明に従って１ポート型の弾性境界波共振子を提供することができる。
１…弾性波共振子
２…圧電基板
３…電極構造
４…第１のＩＤＴ電極
４ａ…第１の電極指
４ｂ…第２の電極指
４ｃ…第１のバスバー
４ｄ…第２のバスバー
５…第２のＩＤＴ電極
５ａ…第１の電極指
５ｂ…第２の電極指
５ｃ…第１のバスバー
５ｄ…第２のバスバー
６…第１の反射器
６ａ…電極指
６ｂ…第１の端部バスバー
６ｃ…第２の端部バスバー
７…第２の反射器
７ａ…電極指
７ｂ…第１の端部バスバー
７ｃ…第２の端部バスバー
８…共有反射器
８ａ…電極指
８ｂ…第１の端部バスバー
８ｃ…第２の端部バスバー
９…第１の端子
１０…第２の端子
１１…配線電極
３１…デュプレクサ
３２…アンテナ
３３…アンテナ端子
３４…第１の帯域フィルタ
３５…第２の帯域フィルタ
４１…デュプレクサ
４２…縦結合共振子型弾性波フィルタ
４３…弾性波共振子
４４…弾性波共振子
５１…デュプレクサ
６１…デュプレクサ
８１…弾性境界波共振子
８２…圧電基板
８３…媒質
８４…ＩＤＴ電極
８５，８６…反射器
１０１…弾性波共振子
１０４…第１のＩＤＴ電極
１０５…第２のＩＤＴ電極
１０６…引き回し配線
１０７…引き回し配線
１０９…第１の端子
１１０…第２の端子
Ｐ１…並列腕共振子
Ｐ２…並列腕共振子
Ｐ１１…並列腕共振子
Ｐ１２…並列腕共振子
Ｓ１〜Ｓ４…直列腕共振子
Ｓ１Ａ，Ｓ１Ｂ…直列腕共振子
Ｓ１１〜Ｓ１４…直列腕共振子
Ｓ１１Ａ，Ｓ１１Ｂ…弾性波共振子

Claims (10)

  1. 第１の端子と、第２の端子とを有する１ポート型の弾性波共振子であって、
    分極方向を有する圧電基板と、
    前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置された第１，第２のＩＤＴ電極と、
    前記第１のＩＤＴ電極と前記第２のＩＤＴ電極との間に配置された共有反射器と、
    前記第１のＩＤＴ電極を挟んで前記共有反射器とは反対側に配置された第１の反射器と、
    前記第２のＩＤＴ電極を挟んで前記共有反射器とは反対側に配置された第２の反射器とを備え、
    前記圧電基板の分極方向を該圧電基板の基板面に投影した方向を投影分極方向としたときに、該投影分極方向が前記弾性波伝搬方向と直交しており、前記投影分極方向の先端側を第１の端部側、該投影分極方向の基端側を第２の端部側としたときに、
    前記第１の反射器、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２の反射器の前記第１の端部側部分同士を電気的に接続し、前記第１の端子とされている配線電極をさらに備え、
    前記第１のＩＤＴ電極及び前記共有反射器の前記第２の端部側部分同士が電気的に接続されて、前記第２の端子とされており、
    前記共有反射器及び前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の端部側部分同士が電気的に接続されており、
    前記第２のＩＤＴ電極及び前記第２の反射器の前記第２の端部側部分同士が電気的に接続されており、
    前記第１の端子と前記第２の端子との間に、前記第１及び第２のＩＤＴ電極が並列に接続されている、弾性波共振子。
  2. 前記第１のＩＤＴ電極における電圧印加方向と、前記第２のＩＤＴ電極における電圧印加方向が、前記投影分極方向において互いに逆方向とされている、請求項１に記載の弾性波共振子。
  3. 前記第１の反射器の前記第１の端部側部分が、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の端部側部分と電気的に接続されている、請求項１または２に記載の弾性波共振子。
  4. 前記第１の反射器、前記共有反射器及び前記第２の反射器が、それぞれ、前記第１の端部側に配置された第１の端部バスバーと、前記第２の端部側に配置された第２の端部バスバーとを有し、
    前記第１，第２のＩＤＴ電極が、それぞれ、前記第１の端部側に配置されている第１のバスバーと、前記第２の端部側に配置されている第２のバスバーとを有し、
    前記第１のＩＤＴ電極の前記第２のバスバーと前記共有反射器の前記第２の端部バスバーとが連ねられて一体化されており、
    前記共有反射器の前記第１の端部バスバーと前記第２のＩＤＴ電極の前記第１のバスバーとが連ねられて一体化されており、
    前記第２のＩＤＴ電極の前記第２のバスバーと前記第２の反射器の前記第２の端部バスバーとが連ねられて一体化されている、請求項１から３のいずれか１項に記載の弾性波共振子。
  5. 前記各バスバーと前記各端部バスバーとが連ねられて一体化されている部分において、連ねられている端部バスバーとバスバーとが同じ方向に延び、かつ、同じ幅とされている、請求項４に記載の弾性波共振子。
  6. 複数の弾性波共振子を有する弾性波フィルタ装置であって、少なくとも１つの前記弾性波共振子が、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波共振子からなる、弾性波フィルタ装置。
  7. 前記複数の弾性波共振子によりラダー型回路が構成されている、請求項６に記載の弾性波フィルタ装置。
  8. 前記ラダー型回路が、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子を有し、前記複数の直列腕共振子及び前記複数の並列腕共振子が前記複数の弾性波共振子からなり、前記直列腕共振子及び前記並列腕共振子のうち少なくとも１つの共振子が、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波共振子からなる、請求項７に記載の弾性波フィルタ装置。
  9. アンテナ端に接続されている第１の帯域フィルタと、前記アンテナ端に接続されており、通過帯域が前記第１の帯域フィルタと異なる第２の帯域フィルタとを有するデュプレクサであって、
    前記第１及び前記第２の帯域フィルタの少なくとも一方が請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波共振子を有する、デュプレクサ。
  10. 前記第１及び第２の帯域フィルタの少なくとも一方において、複数の弾性波共振子を有し、該複数の弾性波共振子のうち前記アンテナ端に最も近い側の少なくとも１つの弾性波共振子が、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波共振子からなる、請求項９に記載のデュプレクサ。
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