JP6620686B2 - 弾性波装置 - Google Patents

Description

本発明は、弾性波装置に関する。

従来、弾性波装置が携帯電話機のフィルタなどに広く用いられている。例えば、下記の特許文献１には、圧電基板上に、ＩＤＴ電極を囲むように放電電極が設けられた、弾性波装置が開示されている。放電電極は、ＩＤＴ電極には接続されていない。

特開２００１−２５７５５５号公報

圧電基板の表面には、焦電効果により電荷が発生することがある。圧電基板の端縁で発生した電荷により、分極軸方向と逆方向に電界が加わる。この電界強度が閾値（抗電界）を超えたとき、分極反転が生じる。分極反転は、圧電基板の端縁を起点に発生し、圧電基板の内部に進行する傾向がある。従って、ＩＤＴ電極を圧電基板の端縁に近い位置に配置すると、ＩＤＴ電極が設けられている部分にまで分極反転が進行し、インピーダンス特性などが劣化することがある。

そこで、分極反転によるインピーダンス特性などの劣化を防ぐため、圧電基板の端縁から遠い位置にＩＤＴ電極を配置することが考えられる。しかしながら、この場合には、弾性波装置の小型化は困難となる。

特許文献１では、焦電効果の影響を低減するために、上記放電電極が形成されている。しかしながら、ＩＤＴ電極を囲むように形成されており、電極配置のレイアウトの自由度が下がる。よって、焦電効果の影響の低減及び弾性波装置の小型化の両立は、なお困難であった。

本発明の目的は、焦電効果の影響を低減することができ、かつ小型化を進めることができる、弾性波装置を提供することにある。

本発明に係る弾性波装置は、主面を有し、かつ前記主面に対する傾斜角度がθ°である分極軸方向を有する圧電基板と、前記圧電基板の前記主面上に設けられているＩＤＴ電極と、前記圧電基板の前記主面上に設けられており、かつ前記主面の端縁と前記ＩＤＴ電極との間に設けられている、少なくとも１つの配線とを備え、前記主面の前記端縁から前記ＩＤＴ電極までの距離を距離ａとしたときに、ａ≦３１６｜ｃｏｓ（θ）｜μｍであり、前記端縁と前記ＩＤＴ電極とを結ぶ方向に沿う前記配線の寸法を幅とし、前記配線が１つである場合には前記配線の幅をｂとし、前記配線が複数である場合には前記複数の配線の幅の合計をｂとしたときに、ｂ≧２８μｍである。

本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、前記圧電基板がＬｉＴａＯ_３からなる。

本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記分極軸方向が、前記圧電基板の前記主面に対する傾斜角度が３０°以上、６５°以下である。この場合には、本発明を特に好適に適用し得る。

本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記端縁から前記ＩＤＴ電極までの距離ａが、ａ≦２３５μｍである。この場合には、小型化をより一層進めることができる。

本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記圧電基板の前記端縁が、前記分極軸方向と交叉する方向に延びている。

本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記圧電基板の前記端縁が、前記分極軸方向に直交する方向に延びている。この場合には、本発明を特に好適に適用し得る。

本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、少なくとも１つの前記配線が、グラウンド電位及び前記ＩＤＴ電極のうち一方に電気的に接続されている。

本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、少なくとも１つの前記配線が、グラウンド電位及び前記ＩＤＴ電極に電気的に接続されていない。

本発明によれば、焦電効果の影響を低減することができ、かつ小型化を進めることができる、弾性波装置を提供することができる。

本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の電極構造を示す略図的平面図である。 本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の略図的回路図である。 本発明の第１の実施形態における圧電基板の模式的斜視図である。 本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の第１，第３の端縁付近の略図的拡大平面図である。 本発明の第１の実施形態の変形例に係る弾性波装置の第１，第３の端縁付近の略図的拡大平面図である。 図１中のＩ−Ｉ線に沿う弾性波装置の略図的断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置が実装基板に実装された弾性波装置実装構造体の略図的正面断面図である。 圧電基板において分極反転が生じた部分の例を示す模式的拡大平面図である。 配線の幅の合計ｂと、分極反転進行距離との関係を示す図である。 比較例の弾性波装置のインピーダンス特性を示す図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の電極構造を示す略図的平面図である。図２は、第１の実施形態に係る弾性波装置の略図的回路図である。図１では、後述する各弾性波共振子を、矩形に２本の対角線を加えた略図で示す。

図１及び図２に示すように、本実施形態では、弾性波装置１０は、互いに通過帯域が異なる第１，第２の帯域通過型フィルタ１Ａ，１Ｂを有するデュプレクサである。第１，第２の帯域通過型フィルタ１Ａ，１Ｂは、アンテナに接続されるアンテナ端子６に共通接続されている。第２の帯域通過型フィルタ１Ｂの構成は、特に限定されず、図１及び図２ではブロック図により略図的に示す。

図１に示すように、弾性波装置１０は圧電基板２を有する。圧電基板２は４２°ＹカットのＬｉＴａＯ_３からなる。なお、圧電基板２のカット角は、特に限定されないが、３０°以上、６５°以下であることが好ましい。この場合には、本発明を特に好適に適用することができる。圧電基板２は、ＬｉＮｂＯ_３などの、ＬｉＴａＯ_３以外の圧電材料からなっていてもよい。

圧電基板２は、第１の主面２ａと、第１の主面２ａに対向している第２の主面とを有する。第１の主面２ａ及び第２の主面は、矩形形状を有する。第１の主面２ａは、第１の端縁２ａ１と、第１の端縁２ａ１に対向している第２の端縁２ａ２とを有する。第１の主面２ａは、第１の端縁２ａ１と第２の端縁２ａ２とを接続する、第３，４の端縁２ａ３，２ａ４も有する。

図３は、第１の実施形態における圧電基板の模式的斜視図である。図３においては、一点鎖線の矢印により、圧電基板の分極軸を模式的に示している。

圧電基板２は、第１の主面２ａに対する傾斜角度がθ°である分極軸方向Ｃを有する。本実施形態では、分極軸方向Ｃの傾斜角度θ°＝４２°である。上述した圧電基板２のカット角と同様に、傾斜角度θ°は特に限定されないが、３０°以上、６５°以下であることが好ましい。圧電基板２の第１の端縁２ａ１及び第２の端縁２ａ２は、分極軸方向Ｃに直交する方向に延びている。

図１に戻り、第１の帯域通過型フィルタ１Ａは、複数の弾性波共振子である、直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ５及び並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ４を有する。直列腕共振子Ｓ１は、圧電基板２の第１の主面２ａ上に設けられたＩＤＴ電極３を有する。直列腕共振子Ｓ１以外の各弾性波共振子も、それぞれＩＤＴ電極を有する。各弾性波共振子においては、ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側に反射器が設けられている。

直列腕共振子Ｓ１のＩＤＴ電極３は、複数のＩＤＴ電極のうち、第１の主面２ａの第１の端縁２ａ１に最も近い位置に配置されている。第１の端縁２ａ１とＩＤＴ電極３との間には、第１，第２の配線４ａ，４ｂが設けられている。第１の配線４ａは、いずれのＩＤＴ電極にも接続されておらず、グラウンド電位にも接続されない。すなわち、第１の配線４ａは浮き電極である。第２の配線４ｂは、ＩＤＴ電極３に接続されている。

図４は、第１の実施形態に係る弾性波装置の第１，第３の端縁付近の略図的拡大平面図である。図４では、図１と同様に、各弾性波共振子を矩形に２本の対角線を加えた略図で示す。後述する図５〜図７においても同様である。

図４に示すように、第１の端縁２ａ１とＩＤＴ電極３とを結ぶ方向に沿う第１，第２の配線４ａ，４ｂの寸法を幅とし、第１の配線４ａの幅をｂ１、第２の配線４ｂの幅をｂ２とする。第１，第２の配線４ａ，４ｂの幅の合計をｂ１＋ｂ２＝ｂとする。このとき、本実施形態では、ｂ≧２８μｍである。

なお、図５に示す第１の実施形態の変形例のように、１つの配線２４が、ＩＤＴ電極３と第１の端縁２ａ１との間に設けられていてもよい。この場合には、配線２４の幅を幅ｂとし、ｂ≧２８μｍであればよい。このように、ＩＤＴ電極３と第１の端縁２ａ１との間に、少なくとも１つの配線が設けられていればよい。なお、この変形例においては、配線２４はＩＤＴ電極３に接続されているが、配線２４はＩＤＴ電極３に接続されていなくともよい。

他方、図４に戻り、第１の端縁２ａ１からＩＤＴ電極３までの距離をａとする。このとき、ａは、図３に示す圧電基板２の分極軸方向Ｃの傾斜角度θ°を用いた式で表すと、ａ≦３１６｜ｃｏｓ（θ）｜μｍである。この式の詳細は後述する。なお、本実施形態では、傾斜角度θ°＝４２°であるため、ａ≦２３５μｍである。

図６は、図１中のＩ−Ｉ線に沿う弾性波装置の略図的断面図である。

弾性波装置１０は、ＷＬＰ（Ｗａｆｅｒ Ｌｅｖｅｌ Ｐａｃｋａｇｅ）構造を有する。より具体的には、圧電基板２上に、支持部材８が設けられている。支持部材８は、図１に示した直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ５及び並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ４を囲んでいる開口部８ａを有する。開口部８ａを覆うように、支持部材８上にカバー部材９が設けられている。

カバー部材９及び支持部材８を貫通するように、複数のビア電極１８が設けられている。各ビア電極１８の圧電基板２側の端部は、圧電基板２上に設けられたグラウンド端子７及び入力端子５にそれぞれ接続されている。なお、上記アンテナ端子にもビア電極１８が接続されている。ビア電極１８のカバー部材９側の端部には、バンプ１９が接合されている。

図７は、第１の実施形態に係る弾性波装置が実装基板に実装された弾性波装置実装構造体の略図的正面断面図である。

弾性波装置実装構造体１０Ａにおいては、弾性波装置１０は、バンプ１９を介して実装基板１２上に実装されている。より具体的には、実装基板１２上に設けられた電極ランド１５にバンプ１９が接合されている。第１，第２の帯域通過型フィルタは、入力端子５、アンテナ端子及びグラウンド端子７などの端子、ビア電極１８、バンプ１９並びに電極ランド１５を介して、外部に電気的に接続される。実装基板１２上には、弾性波装置１０を覆うように、封止樹脂１３が設けられている。

なお、弾性波装置１０におけるＷＬＰ構造は一例であり、弾性波装置１０は、ＷＬＰ構造以外の、例えばＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａｃｋａｇｅ）構造などを有していてもよい。

図１に戻り、本実施形態の特徴は、第１の端縁２ａ１とＩＤＴ電極３との間に少なくとも１つの配線が設けられており、ｂ≧２８μｍであり、かつａ≦３１６｜ｃｏｓ（θ）｜μｍであるという構成にある。それによって、焦電効果の影響を低減することができ、かつ弾性波装置１０の小型化を進めることができる。これを、第１の帯域通過型フィルタ１Ａの構成と共に、以下において説明する。

図２に示すように、第１の帯域通過型フィルタ１Ａは上記入力端子５を有する。入力端子５と上記アンテナ端子６との間に、直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ５が互いに直列に接続されている。

直列腕共振子Ｓ１と直列腕共振子Ｓ２との間の接続点とグラウンド電位との間に、並列腕共振子Ｐ１が接続されている。直列腕共振子Ｓ２と直列腕共振子Ｓ３との間の接続点とグラウンド電位との間に、並列腕共振子Ｐ２が接続されている。直列腕共振子Ｓ３と直列腕共振子Ｓ４との間の接続点とグラウンド電位との間に、並列腕共振子Ｐ３が接続されている。直列腕共振子Ｓ４と直列腕共振子Ｓ５との間の接続点とグラウンド電位との間に、並列腕共振子Ｐ４が接続されている。

なお、図１に示す上記グラウンド端子７が、図２に示すグラウンド電位に接続される。

上述したように、焦電効果により図３に示す圧電基板２に発生した電荷により、分極軸方向Ｃと逆方向に電界が加わり、電界強度が抗電界を超えたときに、分極反転が生じる。分極軸の長さを長さｄとしたときに、長さｄが短いほど電界強度は大きい。第１の端縁２ａ１においては、長さｄがほぼ０となるため、電界強度は最も大きい。そのため、分極反転は第１の端縁２ａ１を起点に生じる。第１の主面２ａにおいては、第１の端縁２ａ１からの距離ｃが短いほど電界強度は大きく、分極反転が生じ易い。

ここで、ｄ｜ｓｉｎ（θ）｜が圧電基板２の厚み寸法よりも小さい部分においては、第１の端縁２ａ１からの距離ｃは、ｃ＝ｄ｜ｃｏｓ（θ）｜の式で表すことができる。

模式的拡大平面図である図８により、圧電基板１０２において分極反転が生じた部分の例を示す。圧電基板１０２の第１の主面１０２ａ上において分極反転が生じた部分には、複数の略三角形状の斑点Ａなどが生じる。複数の斑点Ａは列状に生じる傾向がある。

ここで、本実施形態における圧電基板と同様の、４２°Ｙカットの圧電基板であって、電極が設けられていない圧電基板における焦電効果の影響を測定した。より具体的には、圧電基板の温度を−４０℃から１２５℃に加熱する加熱工程及び１２５℃から−４０℃に冷却する冷却工程を１サイクルとし、この加熱／冷却工程を１００サイクル繰り返した。次に、圧電基板の第１の主面において、分極反転が第１の端縁から進行した距離である、分極反転進行距離を測定した。

さらに、圧電基板のカット角が４２°であり、かつ図７に示した構成と同様の構成を有する弾性波装置実装構造体を複数作製した。上記複数の弾性波装置実装構造体は、第１，第２の配線の幅の合計ｂを異ならせて作製した。ｂの値は、２０μｍ、３０μｍ及び５０μｍとした。次に、複数の弾性波装置実装構造体において上記加熱／冷却工程を１００サイクル行い、分極反転進行距離を測定した。これにより、第１，第２の配線の幅の合計ｂと、分極反転進行距離との関係を求めた。

なお、電極を設けていない上記圧電基板の結果はｂ＝０の結果とした。また、圧電基板のカット角４２°の場合と同様に、カット角３０°及び６５°における分極反転進行距離を下記の図９に示す。

図９は、配線の幅の合計ｂと、分極反転進行距離との関係を示す図である。実線及び円形のプロットは、圧電基板のカット角４２°における結果を示し、破線及び四角形のプロットはカット角３０°における結果を示し、一点鎖線及び三角形のプロットはカット角６５°における結果を示す。

図９中の実線で示すように、圧電基板のカット角が４２°のとき、第１，第２の配線が設けられていないｂ＝０の場合には、分極反転進行距離は２３５μｍである。第１，第２の配線を設けることにより、分極反転進行距離が２３５μｍよりも短くなっていることがわかる。焦電効果によって生じた電荷が第１，第２の配線により分散されるため、電界強度が小さくなる。よって、分極反転が生じ難くなっている。

本実施形態では、第１，第２の配線が設けられているため、第１の端縁とＩＤＴ電極との距離ａをａ≦２３５μｍとしても、ＩＤＴ電極が設けられている部分において分極反転が生じ難い。よって、焦電効果の影響を低減することができ、ＩＤＴ電極を圧電基板の第１の端縁に近づけることができる。それによって、弾性波装置の小型化を進めることができる。

第１，第２の配線が設けられていない場合、図２に示す第１の端縁２ａ１からの距離ｃが、ｃ≦２３５μｍの部分において、分極反転が生じ易い。すなわち、分極軸の長さｄが、ｄ≦２３５／ｃｏｓ４２°＝３１６μｍとなる部分においては分極反転が生じ易い。

ここで、例えば、図９中の破線及び一点鎖線で示すように、圧電基板のカット角を４２°以外としても、図９中の実線で示すカット角４２°の結果と同様の傾向である。そのため、第１，第２の配線が設けられていない場合、分極軸方向Ｃを４２°以外の傾斜角度θ°としても、ｄ≦３１６μｍとなる部分において、分極反転は生じ易い。そのため、ｃ＝ｄ｜ｃｏｓ（θ）｜≦３１６｜ｃｏｓ（θ）｜μｍのときにおいて、分極反転は生じ易い。

これに対して、本実施形態のように、第１，第２の配線が設けられている場合には、ｃ≦３１６｜ｃｏｓ（θ）｜μｍのときにおいても、分極反転は生じ難い。従って、第１の端縁とＩＤＴ電極との距離ａを、ａ≦３１６｜ｃｏｓ（θ）｜μｍとした場合においても、ＩＤＴ電極が設けられている部分において分極反転は生じ難い。

他方、図９中の実線で示すように、ａ≧０．０７５ｂ^２−８．４０３８ｂ＋２３３．８５μｍとすることにより、焦電効果の影響を低減することができる。例えば、本実施形態ではｂ≧２８μｍであるため、ａ≧５７．３μｍとした場合において、焦電効果の影響を効果的に低減することができる。よって、ａ≧０．０７５ｂ^２−８．４０３８ｂ＋２３３．８５μｍであり、かつａ≧ｂとすることが好ましい。

より好ましくは、ｂ≧５０μｍとすることが望ましい。図９に示すように、ｂ≧５０μｍとした場合には、分極反転進行距離をほぼ０とし得ることがわかる。

次に、分極反転のインピーダンス特性に対する影響を以下において、より具体的に説明する。

比較例の弾性波装置実装構造体を作製した。比較例においては、第１，第２の配線の幅の合計ｂをｂ＝１６μｍとし、第１の端縁とＩＤＴ電極との距離ａをａ＝６５μｍとした。ＩＤＴ電極の電極指の対数を８０対とし、交叉幅を２０λとした。なお、λは、ＩＤＴ電極の電極指ピッチにより規定される波長である。上記加熱／冷却工程を行っていない場合、上記加熱／冷却工程を１００サイクル行った場合及び２００サイクル行った場合において、インピーダンス特性を測定した。

図１０は、比較例の弾性波装置のインピーダンス特性を示す図である。実線は上記加熱／冷却工程を行っていない場合の結果を示し、破線は、上記加熱／冷却工程を１００サイクル行った場合の結果を示し、一点鎖線は、上記加熱／冷却工程を２００サイクル行った場合の結果を示す。

図１０中の実線で示す結果は、分極反転が生じていない状態におけるインピーダンス特性である。破線及び一点鎖線で示す結果は、実線で示す結果よりもインピーダンス特性が劣化していることがわかる。上記加熱／冷却工程により、焦電効果が発生し、分極反転が生じる。比較例においては、ＩＤＴ電極が設けられている部分において分極反転が生じる。そのため、図１０に示すように、インピーダンス特性が劣化している。

もっとも、第１の実施形態では、ＩＤＴ電極が設けられている部分において分極反転が生じ難いため、上記加熱／冷却工程により、インピーダンス特性の劣化は生じ難い。

加えて、第１の実施形態では、圧電基板が第１，第２の配線により覆われている。そのため、弾性波装置の製造工程において、圧電基板に熱が加えられた際においても、圧電基板の酸化を抑制することができる。これにより、圧電基板の導電性やパイロフリー性を改善することができ、第１の端縁付近に生じた電荷を、圧電基板自体が中和する効果を維持し得る。従って、焦電効果の影響をより一層低減することができる。

第１の実施形態のように、図３に示す第１の端縁２ａ１は、分極軸方向Ｃに直交していることが好ましい。それによって、本発明を特に好適に適用することができる。なお、第１の端縁２ａ１が分極軸方向Ｃに直交していなくとも、焦電効果の影響を低減し得る。例えば、第１の端縁２ａ１と分極軸方向Ｃとが、斜めに交叉していてもよい。

上記においては、図１に示す、第１の端縁２ａ１に最も近い位置に配置されている直列腕共振子Ｓ１のＩＤＴ電極３を例として説明した。なお、第１の実施形態のように、第１の端縁２ａ１との間に他のＩＤＴ電極が設けられていない、並列腕共振子Ｐ１のＩＤＴ電極と第１の端縁２ａ１との間にも、ｂ≧２８μｍとなるように配線が設けられていることが好ましい。それによって、並列腕共振子Ｐ１においても、焦電効果の影響を低減することができる。

第１の実施形態においては、第１の配線４ａは浮き電極であり、第２の配線４ｂはＩＤＴ電極３に電気的に接続されている。なお、弾性波装置１０は、ＩＤＴ電極３と第１の端縁２ａ１との間に設けられており、かつグラウンド電位に接続される、少なくとも１つの配線を有していてもよい。この場合には、焦電効果により生じた電荷をグラウンド電位に移動させることができるため、焦電効果の影響をより一層低減することができる。

第１の端縁２ａ１に最も近い位置に配置されたＩＤＴ電極３は、例えば、縦結合共振子型弾性波フィルタのＩＤＴ電極であってもよい。この場合にも、焦電効果の影響を低減することができ、かつ弾性波装置の小型化を進めることができる。

第１の実施形態においては、弾性波装置１０はデュプレクサであったが、帯域通過型フィルタやマルチプレクサなどの、デュプレクサ以外の弾性波装置にも、本発明を好適に適用することができる。

１Ａ，１Ｂ…第１，第２の帯域通過型フィルタ
２…圧電基板
２ａ…第１の主面
２ａ１〜２ａ４…第１〜第４の端縁
３…ＩＤＴ電極
４ａ，４ｂ…第１，第２の配線
５…入力端子
６…アンテナ端子
７…グラウンド端子
８…支持部材
８ａ…開口部
９…カバー部材
１０…弾性波装置
１０Ａ…弾性波装置実装構造体
１２…実装基板
１３…封止樹脂
１５…電極ランド
１８…ビア電極
１９…バンプ
２４…配線
１０２…圧電基板
１０２ａ…第１の主面
Ｐ１〜Ｐ４…並列腕共振子
Ｓ１〜Ｓ５…直列腕共振子

Claims (7)

1. 主面を有し、かつ前記主面に対する傾斜角度がθ°であり、弾性波伝搬方向に対して垂直である分極軸方向を有する圧電基板と、
   前記圧電基板の前記主面上に設けられているＩＤＴ電極と、
   前記圧電基板の前記主面上に設けられており、かつ前記主面の端縁と前記ＩＤＴ電極との間に設けられている、少なくとも１つの配線と、
   を備え、
   前記主面の前記端縁から前記ＩＤＴ電極までの距離を距離ａとしたときに、ａ≦３１６｜ｃｏｓ（θ）｜μｍであり、
   前記分極軸方向における、前記圧電基板の前記主面に対する傾斜角度θ°が３０°以上、６５°以下であり、
   前記端縁と前記ＩＤＴ電極とを結ぶ方向に沿う前記配線の寸法を幅とし、前記配線が１つである場合には前記配線の幅をｂとし、前記配線が複数である場合には前記複数の配線の幅の合計をｂとしたときに、ｂ≧２８μｍである、弾性波装置。
2. 前記圧電基板がＬｉＴａＯ_３からなる、請求項１に記載の弾性波装置。
3. 前記端縁から前記ＩＤＴ電極までの距離ａが、ａ≦２３５μｍである、請求項１または２に記載の弾性波装置。
4. 前記圧電基板の前記端縁が、前記分極軸方向と交叉する方向に延びている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
5. 前記圧電基板の前記端縁が、前記分極軸方向に直交する方向に延びている、請求項４に記載の弾性波装置。
6. 少なくとも１つの前記配線が、グラウンド電位及び前記ＩＤＴ電極のうち一方に電気的に接続されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
7. 少なくとも１つの前記配線が、グラウンド電位及び前記ＩＤＴ電極に電気的に接続されていない、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。

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