JP2020182119A - 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 - Google Patents

Abstract

【課題】小型化可能な弾性波フィルタを提供する。【解決手段】圧電基板３と、前記圧電基板３上にてフィルタの直列腕を構成している複数の電極指１５を含む共振子１であって、第１共振部２３と、この第１共振部２３の弾性波の伝播方向の両側において前記第１共振部２３と縦結合する、前記第１共振部２３とは周波数設計の異なる第２共振部２５および第３共振部２７と、前記第１共振部２３，前記第２共振部２５および前記第３共振部２７の並びの両側に位置する１対の反射器９とを含む共振子１と、を備える弾性波フィルタF1である。【選択図】図２

Description

本発明は、弾性表面波（ＳＡＷ：Surface Acoustic Wave）等の弾性波を利用する弾性
波フィルタ、分波器および通信装置に関する。

弾性波を利用した共振子型フィルタとして、複数の共振子をラダー型に接続したラダー型フィルタが知られている（例えば特許文献１）。ラダー型フィルタは、入力側と出力側とを接続する直列腕と、直列腕の互いに異なる位置と基準電位部とを互いに並列に接続する複数の並列腕とを有している。直列腕は、入力側と出力側との間で互いに直列に接続された複数の直列腕共振子を有している。複数の並列腕それぞれは、前記複数の直列腕共振子のいずれかの入力側または出力側と、基準電位部とを接続する並列腕共振子を有している。直列腕共振子および並列腕共振子は、例えば、圧電基板と、圧電基板の主面上に設けられたＩＤＴ（InterDigital Transducer）電極と、その両側に配置された１対の反射器
とを有している。

特許文献１では、ラダー型フィルタにおいて、並列腕共振子と同等の共振周波数を有するとともに直列腕共振子に並列に接続される付加共振子を追加することを提案している。特許文献１では、このような付加共振子を設けることによって、減衰特性が向上することを示している。また、特許文献１では、直列共振子と付加共振子とで、両者の間に位置する反射器を共用する態様を開示している。

特開２００７−７４４５９号公報

特許文献１の技術では、減衰特性は向上する一方で、ラダー型フィルタの基本的な構成に付加共振子を追加することから、その分だけフィルタが大型化する。従って、小型化可能な高い減衰特性を備える弾性波共振子、およびそれを用いた弾性波フィルタ、分波器および通信装置が提供されることが望ましい。

本開示の一態様に係る弾性波フィルタは、圧電基板と、前記圧電基板上にてフィルタの直列腕を構成している複数の電極指を含む共振子とを含む。この共振子は、第１共振部と、第２共振部と、第３共振部と、反射器とを含む。第２共振部および第３共振部は、第１共振部の弾性波の伝播方向の両側において前記第１共振部と縦結合する、前記第１共振部とは周波数設計の異なるものである。一対の反射器は、前記第１共振部，前記第２共振部および前記第３共振部の並びの両側に位置する。

本開示の一実施態様に係る分波器は、アンテナ端子と、送信信号をフィルタリングして前記アンテナ端子に出力する送信フィルタと、前記アンテナ端子からの受信信号をフィルタリングする受信フィルタと、を有しており、前記送信フィルタおよび前記受信フィルタの少なくとも一方は、上記の弾性波フィルタを含んでいる。

本開示の一実施態様に係る通信装置は、アンテナと、前記アンテナに前記アンテナ端子が接続されている上記の分波器と、前記送信フィルタおよび前記受信フィルタに接続され
ているＩＣと、を有している。

上記の構成によれば、弾性波フィルタ、分波器および通信装置を小型化できる。

第１実施形態の弾性波フィルタに用いられる、共振子の構成を示す平面図である。 図２（ａ），図２（ｂ）は、図１に示す共振子の周波数特性を示す線図である。 フィルタＦ１の構成を示す平面図である。 図４（ａ）および図４（ｂ）は、図３に示すフィルタのフィルタ特性を示す図である。 フィルタＦ２の構成を示す平面図である。 図６（ａ）および図６（ｂ）は、図５に示すフィルタＦ２のフィルタ特性を示す線図である。 図７（ａ）および図７（ｂ）は、比較例に係るフィルタのフィルタ特性を示す線図である。 図８（ａ），図８（ｂ）は、変形例に係るフィルタのフィルタ特性を示す線図である。 図９（ａ）および図９（ｂ）は、フィルタ特性を示す線図である。 分波器の一実施形態を示すブロック図である。 通信装置の一実施形態を示すブロック図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。

第２実施形態以降において、既に説明した実施形態の構成と同一または類似する構成については、既に説明した実施形態の構成に付した符号と同一の符号を付すことがあり、また、説明を省略することがある。

同一または類似する構成については、「第１櫛歯電極１１Ａ」、「第２櫛歯電極１１Ｂ」のように、同一名称に対して互いに異なるアルファベットを付して呼称することがあり、また、この場合において、単に「櫛歯電極１１」といい、これらを区別しないことがある。

＜第１実施形態＞
（基本形のＳＡＷ共振子の構成）
図１は、本発明の第１実施形態に係る弾性波フィルタ（ＳＡＷフィルタ）５１（図３）に用いられる共振子１の構成を示す平面図である。

共振子１（ＳＡＷフィルタ５１）は、いずれの方向が上方または下方とされてもよいものであるが、以下の説明では、便宜的に、Ｄ１軸、Ｄ２軸およびＤ３軸からなる直交座標系を定義し、Ｄ３軸の正側（図１の紙面手前側）を上方として、上面等の語を用いることがあるものとする。なお、Ｄ１軸は、後述する圧電基板３の上面（紙面手前側の面。通常は主面。）に沿って伝搬するＳＡＷの伝搬方向に平行になるように定義され、Ｄ２軸は、圧電基板３の上面に平行かつＤ１軸に直交するように定義され、Ｄ３軸は、圧電基板３の上面に直交するように定義されている。

共振子１は、いわゆる１ポートＳＡＷ共振子を構成しており、例えば、模式的に示す第１端子３１Ａおよび第２端子３１Ｂの一方から所定の周波数の電気信号が入力されると共振を生じ、その共振を生じた信号を第１端子３１Ａおよび第２端子３１Ｂの他方から出力する。

このような１ポートＳＡＷ共振子としての共振子１は、例えば、圧電基板３上に設けられた共振子電極部５とを有している。共振子電極部５は、ＩＤＴ電極７と、ＩＤＴ電極７の両側に位置する１対の反射器９とを有している。

圧電基板３は、例えば、圧電性を有する単結晶からなる。単結晶は、例えば、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）単結晶またはタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３）単結晶である。カット角は、利用するＳＡＷの種類等に応じて適宜に設定されてよい。例えば、圧電基板３は、回転ＹカットＸ伝搬のものである。すなわち、圧電結晶のＸ軸は圧電基板３の上面（Ｄ１軸）に平行であり、Ｙ軸は、圧電基板３の上面の法線に対して所定の角度で傾斜している。なお、圧電基板３は、比較的薄く形成され、裏面（Ｄ３軸負側の面）に無機材料または有機材料からなる支持基板が直接的または間接的に貼り合わされたものであってもよい。

ＩＤＴ電極７および反射器９は、圧電基板３上に設けられた層状導体によって構成されている。ＩＤＴ電極７および反射器９は、例えば、互いに同一の材料および厚さで構成されている。これらを構成する層状導体は、例えば、金属である。金属は、例えば、ＡｌまたはＡｌを主成分とする合金（Ａｌ合金）である。Ａｌ合金は、例えば、Ａｌ−Ｃｕ合金である。層状導体は、複数の金属層が積層されて構成されてもよい。層状導体の厚さは、ＳＡＷ共振子１に要求される電気特性等に応じて適宜に設定される。一例として、層状導体の厚さは５０ｎｍ〜４００ｎｍである。

ＩＤＴ電極７は、第１櫛歯電極１１Ａ（視認性をよくする便宜上ハッチングを付す）および第２櫛歯電極１１Ｂを有している。各櫛歯電極１１は、バスバー１３と、バスバー１３から互いに並列に延びる複数の電極指１５と、複数の電極指１５の間にてバスバー１３から突出する複数のダミー電極１７とを有している。１対の櫛歯電極１１は、複数の電極指１５が互いに噛み合うように（交差するように）配置されている。すなわち、１対の櫛歯電極１１の２本のバスバー１３は互いに対向して配置され、第１櫛歯電極１１Ａの電極指１５と第２櫛歯電極１１Ｂの電極指１５とはその幅方向に基本的に交互に配列されている。また、一方の櫛歯電極１１の複数のダミー電極は、その先端が他方の櫛歯電極１１の電極指１５の先端と対向している。

バスバー１３は、例えば、概ね一定の幅でＳＡＷの伝搬方向（Ｄ１軸方向）に直線状に延びる長尺状に形成されている。そして、一対のバスバー１３は、ＳＡＷの伝搬方向に直交する方向（Ｄ２軸方向）において互いに対向している。なお、バスバー１３は、幅が変化していたり、ＳＡＷの伝搬方向に対して傾斜していたりしてもよい。

各電極指１５は、例えば、概ね一定の幅でＳＡＷの伝搬方向に直交する方向（Ｄ２軸方向）に直線状に延びる長尺状に形成されている。複数の電極指１５は、例えば、ＳＡＷの伝搬方向に配列されており、また、互いに同等の長さである。なお、ＩＤＴ電極７は、複数の電極指１５の長さ（別の観点では交差幅）が伝搬方向の位置に応じて変化する、いわゆるアポダイズが施されていてもよい。

電極指１５の本数は、ＳＡＷ共振子１に要求される電気特性等に応じて適宜に設定されてよい。なお、図１等は模式図であることから、電極指１５の本数は少なく示されている。実際には、図示よりも多く（例えば１００本以上）の電極指１５が配列されてよい。後述する反射器９のストリップ電極２１についても同様である。

複数の電極指１５のピッチｐ（電極指ピッチ）は、例えば、互いに隣り合う２本の電極指１５（または後述するストリップ電極２１）の中心間距離である。ピッチｐは、基本的に、圧電基板３上を伝搬するＳＡＷのうち共振させたい周波数と同等の周波数を有するＳＡＷの波長λの半分（ｐ＝λ／２）とされている。

複数のダミー電極１７は、例えば、概ね一定の幅でＳＡＷの伝搬方向に直交する方向（Ｄ２軸方向）に直線状に突出する長尺状に形成されている。その先端と複数の電極指１５の先端とのギャップは、例えば、複数のダミー電極１７間で同等である。複数のダミー電極１７の幅、本数およびピッチは、複数の電極指１５と同等である。

なお、ＩＤＴ電極７は、ダミー電極１７を有さないものであってもよい。以下の説明では、ダミー電極１７の説明および図示を省略する。

反射器９は、例えば、格子状に形成されている。すなわち、反射器９は、互いに対向する１対のバスバー１９と、１対のバスバー１９間において延びる複数のストリップ電極２１とを有している。

バスバー１９およびストリップ電極２１の形状は、ストリップ電極２１の両端が１対のバスバー１９に接続されていることを除いては、ＩＤＴ電極７のバスバー１３および電極指１５と同様とされてよい。

なお、特に図示しないが、圧電基板３の上面は、ＩＤＴ電極７および反射器９の上から、ＳｉＯ_２等からなる保護膜によって覆われていてもよい。保護膜は、単にＩＤＴ電極７等の腐食を抑制するためのものであってもよいし、温度補償に寄与するものであってもよい。また、保護膜が設けられる場合等において、ＩＤＴ電極７および反射器９の上面または下面には、ＳＡＷの反射係数を向上させるために、絶縁体または金属からなる付加膜が設けられてもよい。

また、ＳＡＷ共振子１を含むＳＡＷ装置では、例えば、特に図示しないが、圧電基板３の上面の振動を許容してＳＡＷの伝搬を容易化する空間が圧電基板３上に構成される。この空間は、例えば、圧電基板３の上面に被せられる箱型のカバーを形成することによって、または、回路基板の主面と圧電基板３の上面とをバンプを介在させつつ対向させることによって構成される。

ここで、ＩＤＴ電極７は、３つの共振部（第１共振部２３，第２共振部２５，第３共振部２７）を有する。これらの共振部２３，２５，２７は弾性波の伝搬方向に沿って配列されており、第２共振部２５と第３共振部２７との間に第１共振部２３が位置している。

これら第２共振部２５と第３共振部２７とは、それぞれ、第１共振部２３と縦結合している。すなわち、第１共振部２３，第２共振部２５，第３共振部２７とで一方のバスバーを共有し、他方のバスバーが分離している。そして、第２共振部２５および第３共振部２７の分離されている側のバスバーは基準電位に接続されている。なお、第１共振部２３，第２共振部２５，第３共振部２７とで一方のバスバー１９も分割し、それぞれに高周波信号が入出力できるよう配線を接続してもよい。

そして、第１共振部２３と、第２共振部２５および第３共振部２７とは周波数設計が異なる。第１共振部２３は、SAW共振子１としての共振特性を支配するものであり、SAW共振子１の所望の共振周波数を実現できるように、電極指１５の厚み、ピッチ、Duty比を調整
する。

第２共振部２５および第３共振部２７は、具体的には、第１共振部２３よりも共振周波数が高くなるような周波数設計を行なう。このように共振周波数を異ならせるためには、各共振部で電極指１５の厚み、ピッチ、Ｄｕｔｙ比（電極指ピッチに対する電極指１５の幅の比）等を変化させてもよい。例えば、第１共振部２３のピッチに比べ、第２共振部２５，第３共振部２７のピッチを小さくしてもよい。

第２共振部２５，第３共振部２７の第１共振部２３に対する割合は、第１共振部２３が主となる共振周波数を決定すべく第１共振部２３の割合を最も大きくすれば特に制限はない。例えば、第１共振部２３を構成する電極指１５の本数に対して、第２共振部２５，第３共振部２７を構成する電極指１５の本数をそれぞれ２０％以下としてもよい。その場合には、主共振周波数の共振特性の劣化を抑制することができる。さらに１０％以下とすると、さらに前述の効果を強めることができる。

また、第２共振部２５と第３共振部２７とを構成する電極指１５の電極指設計（本数、ピッチ、Ｄｕｔｙ等）は同一としてもよい。その場合には、意図せぬスプリアスの発生を低減することができる。

このように、ＩＤＴ電極７を分割してそれらを縦結合させることで、共振子１の共振周波数と反共振周波数との間にもう１つ共振を作ることができる。その結果、Δｆを小さくすることができるので、これをフィルタ（例えば、後述のＳＡＷフィルタ５１）に適用すると、通過帯域の高周波数側において急峻度を向上させることができ、減衰特性を高めることができる。

図２に、このような共振子１の周波数特性を示す。図２において横軸は周波数を、縦軸は図２（ａ）はインピーダンスの絶対値を、図２（ｂ）は位相をそれぞれ示している。図２中において実線は本開示の共振子１の特性を示し、破線はＩＤＴ電極７が１つの共振部で構成される従来の共振子の特性を示している。

共振子１の具体的な電極指設計は以下の通りである。
ＩＤＴ電極７の電極指交差幅：７０．５μｍ
電極指の膜厚：３６０ｎｍ
第１共振部２３：電極指１５の本数 １５０本
電極指１５のピッチ ２．３５μｍ
第２共振部２５：電極指１５の本数 １０本
電極指１５のピッチ ２．２１μｍ
第３共振部２７：電極指１５の本数 １０本
電極指１５のピッチ ２．２１μｍ
反射器９のストリップ電極２１の厚み：３６０ｎｍ
ストリップ電極２１の本数：３０本
ストリップ電極２１のピッチ：２．３５μｍ
図２からも明らかなように本開示の共振子１は、共振周波数と反共振周波数との間にもう１つ共振を作ることができ、この間に位置する共振を用いることでΔｆ（共振周波数と反共振周波数との差）を小さくすることができる。また、図２（ｂ）中に矢印で示すように、高周波数側の肩特性がよいため、損失の少ない狭Δｆ共振子を提供することができる。さらに、本開示のSAW素子１は、反共振周波数の周波数を高くすることができる。これは、以下のメカニズムによるものと推察される。すなわち、共振周波数は、IDT電極７の中央、すなわち、第１共振部２３の振動の割合が多いので変化は少ない。これに対して、反共振周波数ではIDT電極７の全体から端部にかけて全体的に振動する。ここで端部に位置する第２共振部２５，第３共振部２７の周波数が高いため、反共振周波数が高周波数側にシフトする。その結果、SAW素子１をフィルタに適用すると、通過帯域の高周波数側の特性を向上させることができる。

次に、このような共振子をフィルタＦ１を構成する直列共振子として用いる例について説明する。

図３にフィルタＦ１であるラダー型フィルタ５１を示す。ラダー型フィルタ５１は、入出力端子Ｐ１，Ｐ２との間に、直列に接続される直列共振子Ｓ１，Ｓ２とこれと基準電位との間に接続される並列共振子Ｐ１，Ｐ２とを有する。これら直列共振子Ｓ１，Ｓ２と、並列共振子Ｐ１，Ｐ２とがラダー型に接続されている。

なお、直列共振子Ｓの数や並列共振子Ｐの数は所望のフィルタ特性に応じて適宜増減させることができる。また、直列共振子Ｓや並列共振子Ｐの電極指１５本数やピッチ，Ｄｕｔｙ等も適宜自由に設定することができる。

ここで、直列共振子Ｓ２に上述の共振子１を用いる。具体的には共振子１の第１端子３１Ａを直列共振子Ｓ１と電気的に接続し、第２端子３１Ｂを入出力端子Ｐ２に電気的に接続している。なお、直列共振子Ｓ２以外の共振子（直列共振子Ｓ１，並列共振子Ｐ１，Ｐ２）は、ＩＤＴ電極７が１つの共振部で構成されている。以下、このようなＩＤＴ電極７が１つの共振部で構成されている共振子を「従来型共振子」という。

このようなラダー型フィルタ５１のフィルタ特性を図４に示す。図４において横軸は周波数を、縦軸は透過特性を示し、図４（ｂ）は図４（ａ）の要部拡大図である。図４中において、ラダー型フィルタ５１の特性を線LE1で示し、段数および共振子容量等はラダー
型フィルタ５１と同様であるが、直列共振子Ｓ２を含む全ての共振子を従来型共振子で構成した比較例１に係るフィルタの周波数特性を線LC1で示す。

図４からも明らかなように、ラダー型フィルタ５１は比較例１のフィルタに比べて、帯域の高周波数側の肩特性が向上している様子が確認できる。また、通過帯域内の通過特性も維持できていることが確認できる。

以上より、共振子１をラダー型フィルタ５１の直列共振子Ｓに適用することで、フィルタの急峻な減衰特性を実現できる。

また、共振子１は、図２に示すように、共振周波数よりも高周波数側に２つのインピーダンスの極大値をとる。そのうち低周波数側の（共振点に隣接する）インピーダンス極大値は、通過帯域よりも高く、かつ、他の直列共振子Sの反共振周波数よりも低くすること
で、フィルタとしての減衰特性を向上させることができる。

＜第２実施形態＞
次に、図５に、入出力端子Ｐ１，Ｐ２間に、２つの直列共振子Ｓ１，Ｓ２とその間に位置する縦結合型フィルタ５２とが直列に接続されたフィルタＦ２を示す。ここで、縦結合型フィルタ５２はＤＭＳ型フィルタであり、直列共振子Ｓ１，Ｓ２は、上述の共振子１としている。

このような構成のフィルタＦ２のフィルタ特性を図６に示す。図６において横軸は周波数を、縦軸は透過特性を示しており、図６（ｂ）は図６（ａ）の要部拡大図である。図６中において、フィルタＦ２の特性を線LE2で示し、直列共振子Ｓ１，Ｓ２を従来型共振子
に代えた比較例２に係るフィルタの周波数特性を破線LC2で示す。

図６からも明らかなように、フィルタＦ２は比較例２のフィルタに比べて、帯域の高周波数側の肩特性が向上している様子が確認できる。また、通過帯域内の通過特性も維持できていることが確認できる。

なお、一般的に共振子のΔｆを狭くして急峻性を高める手法として、従来型の共振子に対して並列に容量を付加することが知られている。そこで、フィルタＦ２の構成において、直列共振子Ｓ１，Ｓ２を従来型の共振子にするとともに、それぞれに対して並列に付加容量を加えた場合（比較例３という）のフィルタ特性を図７に示す。図７は図６と同様の図であり、線LC3で比較例３のフィルタ特性を示し、線LE2でフィルタＦ２のフィルタ特性を示している。

図７からも明らかなように、フィルタＦ２のフィルタ特性は付加容量を用いるフィルタ特性と同等の減衰特性を実現できることが分かった。ただし、付加容量を用いる場合には、単純に新たな部品（または付加容量を構成する新たな電極パターン）が必要となり、装置の大型化を招く虞があった。これに対して、本開示の共振子１を用いる場合には、１つの共振子で減衰特性を向上させることができるので、小型で高い減衰特性を備えるフィルタを実現することができる。

＜共振子１の変形例＞
上述の例では、共振子１の各共振部２３〜２７間で電極指１５のピッチを異ならせた場合を例に説明したが、その他の手段で周波数設計を異ならせてもよい。

図８に共振部２３〜２７間で電極指１５のＤｕｔｙを変化させた共振子１Ａの周波数特性を示す。具体的には第１共振部２３のＤｕｔｙに比べ第２共振部２５，第３共振部２７のＤｕｔｙを小さくしている。図８は図２に相当する図である。図８中に、破線で従来型の共振子（分割なし）の特性を示し、実線で共振子１Ａの特性を、一点破線で共振子１の特性をそれぞれ示している。

図８からも明らかなように、Ｄｕｔｙを変えることでも共振子１と同様にΔｆを小さくすることができることを確認した。

なお、共振部間でピッチとＤｕｔｙとの双方を異ならせて周波数設計を異ならせてもよい。

＜共振子１の変形例＞
共振子１において、第１共振部２３に対する第２共振部２５および第３共振部２７のピッチを８９％〜９９％まで変化させた。具体的には、第１共振部２３のピッチを２．３５μｍとし、第２，第３共振部２５，２７のピッチを２．１μｍ〜２．３５μｍとした。その結果を図９に示す。

図９（a）は、図３に示すフィルタＦ１において、共振子１の第１共振部２３に対する
第２共振部２５および第３共振部２７のピッチを８９％〜９９％まで変化させたときのフィルタ特性の変化の様子を示すものである。図９（ｂ）は図９（a）の部分拡大図である。図９において、横軸は周波数、縦軸は透過特性を示している。図中において、高周波数側の肩特性において減衰がみられる位置を矢印で示すとともに、それを実現するピッチの数字（単位：μｍ）を示している。

図９からも明らかなように、第２，第３共振部２５，２７のピッチが第１共振部２３の
ピッチに近すぎる（例えば２．３μｍ）と、十分な減衰を得ることができない。一方で、第２，第３共振部２５，２７のピッチが第１共振部２３のピッチと遠すぎる（例えば２．１μｍ）と、減衰極が通常のフィルタに近すぎて効果が少なくなる。このため、第２，第３共振部２５，２７のピッチを２．１５〜２．２５μｍ、すなわち、第１共振部２３に対する第２共振部２５および第３共振部２７のピッチを９０％以上９５％以下とすることで、より急峻性の高いフィルタを実現することができる。

＜分波器＞
（分波器の構成）
図１０は、上述した実施形態に係るフィルタの利用例としての分波器１０１を示す模式図である。なお、この図の説明では、第１実施形態のフィルタＦ１（ラダー型フィルタ５１）の構成および符号を引用するが、フィルタＦ１に代えて、他の実施形態のＳＡＷフィルタが用いられてもよい。

分波器１０１は、例えば、送信端子１０５からの送信信号をフィルタリングしてアンテナ端子１０３へ出力する送信フィルタ１０９と、アンテナ端子１０３からの受信信号をフィルタリングして１対の受信端子１０７に出力する受信フィルタ１１１とを有している。

送信フィルタ１０９は、フィルタＦ１を含む、多段式のラダー型フィルタによって構成されている。

受信フィルタ１１１は、例えば、互いに直列に接続されたＳＡＷ共振子６１およびＳＡＷフィルタ６３によって構成されている。これらを構成するＩＤＴ電極７および反射器９は、例えば、同一の圧電基板３に設けられている。受信フィルタ１１１が構成される圧電基板３は、送信フィルタ１０９が構成される圧電基板３と同一であってもよいし、異なっていてもよい。

受信フィルタ１１１は、ＳＡＷ共振子６１は、例えば、従来型の共振子の構成である。ＳＡＷフィルタ６３は、例えば、縦結合多重モード（２重モードを含むものとする）型共振子フィルタであり、ＳＡＷの伝搬方向に配列された複数のＩＤＴ電極７と、その両側に配置された１対の反射器９とを有している。

なお、上述の例では送信フィルタ１０９として、フィルタＦ１を用いた場合を例に説明したが、受信フィルタ１１１にフィルタＦ２を用いてもよい。

＜通信装置＞
図１１は、上述した分波器１０１の利用例としての通信装置１５１の要部を示すブロック図である。

通信装置１５１において、送信すべき情報を含む送信情報信号ＴＩＳは、ＲＦ−ＩＣ（Radio Frequency Integrated Circuit）１５３によって変調および周波数の引き上げ（搬送波周波数の高周波信号への変換）がなされて送信信号ＴＳとされる。送信信号ＴＳは、バンドパスフィルタ１５５によって送信用の通過帯以外の不要成分が除去され、増幅器１５７によって増幅されて分波器１０１（送信端子１０５）に入力される。そして、分波器１０１は、入力された送信信号ＴＳから送信用の通過帯以外の不要成分を除去し、その除去後の送信信号ＴＳをアンテナ端子１０３からアンテナ１５９に出力する。アンテナ１５９は、入力された電気信号（送信信号ＴＳ）を無線信号（電波）に変換して送信する。

また、通信装置１５１において、アンテナ１５９によって受信された無線信号（電波）は、アンテナ１５９によって電気信号（受信信号ＲＳ）に変換されて分波器１０１に入力される。分波器１０１は、入力された受信信号ＲＳから受信用の通過帯以外の不要成分を除去して増幅器１６１に出力する。出力された受信信号ＲＳは、増幅器１６１によって増
幅され、バンドパスフィルタ１６３によって受信用の通過帯以外の不要成分が除去される。そして、受信信号ＲＳは、ＲＦ−ＩＣ１５３によって周波数の引き下げおよび復調がなされて受信情報信号ＲＩＳとされる。

なお、送信情報信号ＴＩＳおよび受信情報信号ＲＩＳは、適宜な情報を含む低周波信号（ベースバンド信号）でよく、例えば、アナログの音声信号もしくはデジタル化された音声信号である。無線信号の通過帯は、ＵＭＴＳ（Universal Mobile Telecommunications System）等の各種の規格に従ったものでよい。変調方式は、位相変調、振幅変調、周波数変調もしくはこれらのいずれか２つ以上の組み合わせのいずれであってもよい。回路方式は、図１１では、ダイレクトコンバージョン方式を例示したが、それ以外の適宜なものとされてよく、例えば、ダブルスーパーヘテロダイン方式であってもよい。また、図１１は、要部のみを模式的に示すものであり、適宜な位置にローパスフィルタやアイソレータ等が追加されてもよいし、また、増幅器等の位置が変更されてもよい。

本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。

実施形態では、複数の共振子、複数の共振部は、電極指ピッチ以外のパラメータ（例えば、電極指の材料、電極指の厚さまたはデューティー比）が互いに同一であるものとした。ただし、複数の共振子および複数の共振部は、電極指ピッチ以外の共振周波数に影響を及ぼすパラメータが互いに異なっていてもよい。

共振子１，３…圧電基板，１５…電極指，２３…第１共振部，２５…第２共振部，２７…第３共振部，９…反射器，Ｆ１…ＳＡＷフィルタ（弾性波フィルタ）。

Claims (7)

1. 圧電基板と、
   前記圧電基板上にてフィルタの直列腕を構成している複数の電極指を含む共振子であって、第１共振部と、この第１共振部の弾性波の伝播方向の両側において前記第１共振部と縦結合する、前記第１共振部とは周波数設計の異なる第２共振部および第３共振部と、前記第１共振部，前記第２共振部および前記第３共振部の並びの両側に位置する１対の反射器とを含む共振子と、
   を備える弾性波フィルタ。
2. 前記第２共振部および前記第３共振部は前記電極指の数およびピッチが同一である、請求項１に記載の弾性波フィルタ。
3. 前記第２共振部および前記第３共振部は、前記第１共振部と前記電極指のピッチが異なる、請求項１または２に記載の弾性波フィルタ。
4. 前記フィルタは、直列共振子と並列共振子とがラダー型に接続されたラダー型フィルタであって、前記共振子は、前記直列共振子に用いられる、請求項１乃至３のいずれかに記載の弾性波フィルタ。
5. 前記フィルタは、直列共振子と縦結合型フィルタとが直列に接続されてなり、前記共振子は、前記直列共振子に用いられる、請求項１乃至３のいずれかに記載の弾性波フィルタ。
6. アンテナ端子と、
   送信信号をフィルタリングして前記アンテナ端子に出力する送信フィルタと、
   前記アンテナ端子からの受信信号をフィルタリングする受信フィルタと、
   を有しており、
   前記送信フィルタおよび前記受信フィルタの少なくとも一方は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波フィルタを含んでいる
   分波器。
7. アンテナと、
   前記アンテナに前記アンテナ端子が接続されている請求項６に記載の分波器と、
   前記送信フィルタおよび前記受信フィルタに接続されているＩＣと、
   を有している通信装置。