CN105284049A - 滤波器装置以及双工器 - Google Patents

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Abstract

提供一种使用虚拟接地布线，且能够压制在滤波器特性上出现的波动的滤波器装置。滤波器装置(1)在输入端子与输出端子之间并联连接第1、第2滤波器部(14、15)，第1滤波器部(14)是具有通过第1、第2级间布线(18、19)而被2级级联连接的构造的纵耦合谐振器型弹性波滤波器，第2滤波器部(15)是具有通过第3、第4级间布线(23、24)而被2级级联连接的构造的纵耦合谐振器型弹性波滤波器，流过第3级间布线(23)和第2级间布线(19)的信号的相位相反，与第2级间布线(19)连接的IDT电极、和与第3级间布线(23)连接的IDT电极的与并非HOT侧电位的电位连接的端子部分彼此通过虚拟接地布线(20)而连接，与该虚拟接地布线(20)相邻的HOT侧布线部分(25)配置在设置于压电基板(2)上的绝缘膜(26)上。

Description

滤波器装置以及双工器
技术领域
本发明涉及在压电基板上构成了多个弹性波谐振器的滤波器装置，特别涉及具有纵耦合谐振器型弹性波滤波器部的滤波器装置以及双工器。
背景技术
以往，作为移动电话的双工器的接收滤波器而广泛使用纵耦合谐振器型滤波器装置。对于纵耦合谐振器型滤波器装置而言，强烈地谋求小型化。
在下述的专利文献1中，将2个纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元级联连接而成的第1、第2纵耦合谐振器型滤波器部被并联连接。即，公开了2级4个元件构成的纵耦合谐振器型弹性波滤波器装置。在专利文献1中，第1、第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器部的第1级的纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元的相邻的IDT电极的接地端子彼此通过布线而被电连接。因此，不将布线连接于大地电位，而设为虚拟接地布线。因此，无需将虚拟接地布线与大地电位连接。因此能够实现小型化。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开2008-118277号公报
发明内容
发明要解决的课题
在使用了专利文献1所记载的虚拟接地布线的情况下，能够省略用于与大地电位连接的端子、布线。因此，能够推进小型化。
但是，对于平衡型的弹性波滤波器装置而言，存在若使用接地布线，则在一对平衡端子间的振幅差、相位差的特性上出现较大的波动的问题。此外，对于不平衡型的弹性波滤波器装置而言，存在若使用虚拟接地布线，则在通频带内出现较大的波动的问题。因此，以往，没有使用虚拟接地布线。
本发明的目的在于，提供一种使用虚拟接地布线，并且能够降低在滤波器特性上出现的波动的滤波器装置。
解决课题的手段
本申请的第1发明所涉及的滤波器装置具备：压电基板；输入端子；输出端子；和形成在压电基板上的第1、第2滤波器部。第1滤波器部连接在上述输入端子与上述输出端子之间。第2滤波器部连接在上述输入端子与上述输出端子之间，并与上述第1滤波器部并联连接。
在第1发明中，第1滤波器部具有：第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；与第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元级联连接的第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；和将第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元与第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元连接的第1、第2级间布线。
第2滤波器部具有：第3纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；与第3纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元级联连接的第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；和将第3、第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元连接的第3、第4级间布线。
在第1发明中，第1滤波器部和第2滤波器部具有与HOT侧电位连接的多个第1端子部分、和与并非HOT侧电位的电位连接的多个第2端子部分。
还具备虚拟接地布线，以对上述第1滤波器部的多个上述第2端子部分的至少1个端子部分、和上述第2滤波器部的上述多个第2端子部分的至少1个端子部分进行连接。
此外，在第1发明中，还具备与上述虚拟接地布线相邻的HOT侧布线部分、和设置在压电基板上的绝缘膜。与虚拟接地布线相邻的上述HOT侧布线部分位于上述绝缘膜上。
本申请的第2发明所涉及的滤波器装置具备：压电基板；输入端子；输出端子；和在压电基板上形成的第1、第2滤波器部。第1滤波器部连接在上述输入端子与上述输出端子之间。第2滤波器部连接在上述输入端子与上述输出端子之间，并与上述第1滤波器部并联连接。
在本发明中，第1滤波器部具有：第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；与第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元级联连接的第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；和将第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元与第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元连接的第1、第2级间布线。
第2滤波器部具有：第3纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；与第3纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元级联连接的第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；和将第3、第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元连接的第3、第4级间布线。
在第2发明中，第1滤波器部和第2滤波器部具有与HOT侧电位连接的多个第1端子部分、和与并非HOT侧电位的电位连接的多个第2端子部分。
还具备虚拟接地布线，以对上述第1滤波器部的多个上述第2端子部分的至少1个端子部分、和上述第2滤波器部的多个上述第2端子部分的至少1个端子部分进行连接。
在第2发明中，还具备与虚拟接地布线立体交叉的HOT侧布线部分。而且，在该立体交叉的部分，在虚拟接地布线与HOT侧布线部分之间还具备层间绝缘膜。经由该层间绝缘膜而立体交叉的部分的虚拟接地布线的宽度比该虚拟接地布线的剩余部分的宽度更细。
在本发明(以下，将第1、第2发明总称为本发明)的滤波器装置的某特定的方式中，所述虚拟接地布线也可以对所述第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元的至少1个所述第2端子部分、和所述第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元的至少1个所述第2端子部分进行电连接。
在本发明所涉及的滤波器装置中，所述输入端子也可以为不平衡输入端子，所述输出端子也可以为不平衡输出端子。即，本发明的滤波器装置也可以为不平衡型的滤波器装置。
此外，本发明所涉及的滤波器装置，所述输入端子也可以为不平衡输入端子，所述输出端子也可以为第1、第2平衡输出端子。即，本发明所涉及的滤波器装置也可以为平衡型的滤波器装置。
本发明所涉及的滤波器装置也可以进一步具备连接在所述输入端子与所述输出端子之间，并与所述第1、第2滤波器部并联连接的至少1个第3滤波器部。
本发明所涉及的双工器具备：按照本发明而构成的滤波器装置所组成的第1带通型滤波器装置；和设置在上述压电基板上，与第1带通型滤波器装置不同的第2带通型滤波器装置。
发明效果
根据本发明，与虚拟接地布线相邻的HOT侧布线部分位于绝缘膜上，或者虚拟接地布线和HOT侧布线部分经由层间绝缘膜而立体交叉的部分的虚拟接地布线部分的宽度比剩余的虚拟接地布线部分的宽度更窄，因此能够有效地压制在滤波器特性上出现的波动。因此，不仅能够使用虚拟接地布线实现小型化，还能够提供一种特性良好的滤波器装置。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式所涉及的双工器的电路图。
图2是图1所示的双工器的俯视图。
图3是将图2所示的双工器的主要部分放大表示的部分抠取俯视图。
图4是比较例的双工器的俯视图。
图5是表示第1实施方式以及比较例的双工器的接收滤波器的滤波器特性的图。
图6是表示作为图1所示的实施方式中的接收滤波器来使用的滤波器装置的电极构造的示意俯视图。
图7是表示应用本发明的滤波器装置的电极构造的第1变形例的示意俯视图。
图8是表示应用本发明的滤波器装置的电极构造的第2变形例的示意俯视图。
图9是表示应用本发明的滤波器装置的电极构造的第3变形例的示意俯视图。
图10是表示应用本发明的滤波器装置的电极构造的第4变形例的示意俯视图。
图11是表示应用本发明的滤波器装置的电极构造的第5变形例的示意俯视图。
图12是本发明的第2实施方式所涉及的双工器的俯视图。
图13是表示图12所示的双工器的主要部分的部分抠取放大俯视图。
图14是表示针对第2实施方式的比较例的滤波器构成的图。
图15是表示第2实施方式以及比较例的双工器中的接收滤波器的滤波器特性的图。
具体实施方式
以下，通过参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，来明确本发明。
图1是第1实施方式的双工器的电路图。双工器1通过在图2所示的压电基板2上形成图2所示的电极构造而构成。回到图1，双工器1具有天线端子5、发送端子6、和接收端子7。天线端子5与公共连接点8连接。在公共连接点8与发送端子6之间连接有发送滤波器3。在公共连接点8与接收端子7之间连接有接收滤波器4。
接收滤波器4构成了本发明的滤波器装置的一个实施方式。以下，对发送滤波器3以及接收滤波器4的详情进行说明。
发送滤波器3为梯子型滤波器。由具有IDT电极的弹性波谐振器组成的多个串联臂谐振器S1～S7被设置于串联臂。此外，并联臂谐振器P1～P3分别被设置于不同的并联臂。并联臂谐振器P1～P3也由具有IDT电极的弹性波谐振器构成。
在图2中，简略地图示了上述串联臂谐振器S1～S7以及并联臂谐振器P1～P3。串联臂谐振器S1～S7以及并联臂谐振器P1～P3都由单端口型弹性波谐振器构成。单端口型弹性波谐振器具有IDT电极、和在IDT电极的弹性波传播方向两侧配置的反射器。在本说明书中，将这种弹性波谐振器、弹性波滤波器中的设置有IDT电极的部分以及设置有反射器的部分分别以用矩形的框包围了X的形状来简略地表示。
另外，在图2中，图示了构成公共连接点8的电极焊盘，该电极焊盘还兼作图1的天线端子5。
此外，在图2中，与并联臂谐振器P1、P2连接的接地端子12、和与并联臂谐振器P3连接的接地端子11设置在压电基板2上。
回到图1，接收滤波器4具有弹性波谐振器13、第1滤波器部14、和第2滤波器部15。弹性波谐振器13为单端口型的弹性波谐振器，一端与公共连接点8连接，另一端与连接点13A连接。在接收滤波器4中，上述公共连接点8成为输入端子，接收端子7成为输出端子。
在公共连接点8与接收端子7之间，连接有第1滤波器部14和第2滤波器部15。更具体来说，在连接点13A与接收端子7之间，并联连接有第1滤波器部14和第2滤波器部15。第1滤波器部14以及第2滤波器部15通过如图2所示在压电基板2上形成图示的电极构造而构成。
如图1所示，第1滤波器部14具有第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元16和第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元17。第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元16和第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元17被级联连接。即，第1滤波器部14具有2级级联连接构造。
第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元16以及第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元17分别由3IDT型的弹性波谐振器组成。第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元16具有沿着弹性波传播方向依次配置的第1～第3IDT16a～16c。第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元17也同样具有第1～第3IDT电极17a～17c。
IDT电极16a的一端与接地电位连接，另一端通过第1级间布线18与IDT电极17a的一端连接。IDT电极17a的另一端与接地电位连接。同样，IDT电极16b的一端与连接点13A连接，另一端与接地电位连接。IDT电极16c的一端与接地电位连接，另一端与第2级间布线19连接。IDT电极17b的一端与接地电位连接，另一端与接收端子7连接。IDT电极17c的一端与第2级间布线19连接。接收端子侧的另一端与虚拟接地布线20连接。
在第2滤波器部15中，第3纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元21和第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元22也被2级级联连接。第3纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元21具有第1～第3IDT电极21a～21c。第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元22具有第1～第3IDT电极22a～22c。第1IDT电极21a的天线端子侧的一端与接地电位连接，接收端子侧的另一端与第3级间布线23连接。
IDT电极21b的一端与连接点13A连接，另一端与接地电位连接。IDT电极21c的一端与接地电位连接，另一端与第4级间布线24连接。IDT电极22a的一端通过第3级间布线23与上述IDT电极21a连接。IDT电极22a的接收端子侧的另一端与虚拟接地布线20连接，并与IDT电极17c的接收端子侧的另一端电连接。
IDT电极22b的一端与接地电位连接，另一端与接收端子7连接。IDT电极22c的一端与第4级间布线24连接，另一端与接地电位连接。IDT电极16a～16c以及IDT电极17a～17c的朝向被设定为使得流经第1级间布线18的信号的相位与流经第2级间布线19的信号的相位相反。同样，选择IDT电极21a～21c以及IDT电极22a～22c的朝向，使得流经第3级间布线23的信号的相位、与流经第4级间布线24的信号的相位相反。
此外，流经第2级间布线19和第3级间布线23的信号的相位也被设为相反。因此，在第1、第2滤波器部14、15间相邻的IDT电极17c和IDT电极22a的被给予的信号的相位相反。另一方面，IDT电极17c的应与接地电位连接的一侧的端部、和IDT电极22a的应与接地电位连接的一侧的端部，通过上述虚拟接地布线20而连接。如前所述，给予IDT电极17c和IDT电极22a的信号的相位被设为相反，因此通过如上所述由虚拟接地布线20将两者连接，也可以使IDT电极17c、22a不连接于接地电位。
因此，如图2所示，在将虚拟接地布线20设置在压电基板2上的构成中，不需要将虚拟接地布线20与接地端子连接。因此，能够推进小型化。
不过，如前所述，在这种设置了虚拟接地布线的构成中，有在滤波器特性、尤其是通频带中产生波动的问题。相对于此，在本实施方式的双工器1中，如图2所示与虚拟接地布线20相邻的HOT侧布线部分25(hot-sidewiringportion)设置在绝缘膜26上。因此，能够有效地抑制上述波动。以下对此更具体地进行说明。
如图2所示，HOT侧布线部分25是与IDT电极22b的一端和IDT电极17b的一端连接，并且与接收端子7连接的布线部分。此外，该HOT侧布线部分25和IDT电极17b、22b的与接收端子7连接的一侧的端部电连接，因此与上述虚拟接地布线20相邻。
在本申请中，发现了在具有虚拟接地布线20的构成中，若将与虚拟接地布线20相邻的HOT侧布线部分25配置在绝缘膜26上则能够有效地抑制上述波动，以致完成了本发明。作为上述绝缘膜26，可以使用能够使HOT侧布线部分25相对于压电基板2电绝缘的适当的绝缘性材料来形成。作为这种绝缘性材料，可以使用合成树脂或绝缘性陶瓷等。优选可以合适地使用聚酰亚胺树脂等。在该情况下，能够容易地形成绝缘膜26。
此外，在本发明中，与虚拟接地布线相邻的HOT侧布线部分是指，最接近虚拟接地布线的HOT侧的布线部分。
另外HOT是指，与输入端子、输出端子连接的信号线。
如图3所示，HOT侧布线部分25在本实施方式中与虚拟接地布线20大体平行。由此，能够减小图2所示的纵向尺寸、即第1、第2滤波器部的级间连接方向的尺寸。不过，HOT侧布线部分25也可以不与虚拟接地布线20平行地设置。
另一方面，如图3所示，上述HOT侧布线部分25不需要其整体位于绝缘膜26上，只要至少在与虚拟接地布线20相邻的部分位于绝缘膜26上即可。在本实施方式中，超过设置有虚拟接地布线20的部分而在接收端子7的附近一侧，HOT侧布线部分25直接形成在压电基板2上。
图5是表示上述实施方式的接收滤波器4以及比较例的滤波器特性的图。为了比较，准备了具有图4所示的俯视图的电极构造的比较例的双工器。在比较例的双工器101中，发送滤波器3与上述实施方式相同。此外，在接收滤波器中，除了不设置绝缘膜26而将上述HOT侧布线部分25直接形成在压电基板2上之外，与上述实施方式完全相同。
图5的实线表示上述实施方式的结果，虚线表示上述比较例的结果。
从图5可知，在上述比较例中，如箭头A、B所示，在通频带内出现了较大的波动。相对于此，根据本实施方式，可知能够压制这种波动A、B。
如上所述，在本实施方式中，通频带内的波动A、B被压制是由于在绝缘膜26上设置了HOT侧布线部分25。这可以认为是由于设置了绝缘膜26，从而HOT侧布线部分25与虚拟接地布线20之间的寄生电容变小的缘故。
即，可以认为产生上述波动A、B是由于在虚拟接地布线20和相接的HOT侧布线部分之间形成寄生电容，且HOT侧的信号经由该寄生电容而传输到虚拟接地布线20。由于虚拟接地布线20没有与接地电位连接，因此若这种寄生电容较大，则虚拟接地布线20的电位有可能从0V较大地发生变化。其结果，可以认为与虚拟接地布线20连接的IDT电极17c的接地端子侧电位、和IDT电极22a的接地端子侧的电位变得非对称，由此产生了上述波动A、B。
在本实施方式中，可以认为通过设置上述绝缘膜26，从而上述寄生电容变小，因此上述波动A、B得到了压制。
因此，在本实施方式中，如上所述，不仅能够通过使用虚拟接地布线20来推进小型化，还能够有效地压制通频带内的波动。
另外，图6是表示上述实施方式中的接收滤波器4的除了弹性波谐振器13以外的电极构造的示意俯视图。不过，本发明不限于具有上述实施方式的电极构造的滤波器装置，也可以应用于具有图7～图11所示的第1～第5变形例所涉及的电极构造的滤波器装置。
在图7所示的滤波器装置31中，具备输入端子32、和作为输出端子的一对平衡端子33、34。即，滤波器装置31是具有一对平衡端子33、34的平衡型的滤波器装置。像这样，本发明还能够应用于平衡型的滤波器装置。
如图7所示，在滤波器装置31中，第1滤波器部14的第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元17的IDT电极17b的一端与第1平衡端子33连接。此外，第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元22的IDT电极22b的一端与第2平衡端子34连接。即，在平衡端子33、34间，第1滤波器部14和第2滤波器部15经由接地电位被电串联连接。其他的构成与图6所示的第1滤波器部14和第2滤波器部15相对于不平衡端子被电并联连接的电极构造等相同。
在该变形例中，也能够通过虚拟接地布线20来实现小型化。此外，在本变形例中，与虚拟接地布线20相邻的HOT侧布线部分是指对IDT电极17b和第1平衡端子33进行连接的HOT侧布线部分35以及对IDT电极22b和第2平衡端子34进行连接的HOT侧布线部分36。即，只要使HOT侧布线部分35、36配置在绝缘层上即可。如前所述，在这种平衡型的滤波器装置中，表示一对平衡端子间的相位差以及振幅差的特性出现较大的波动。相对于此，根据该变形例，通过使HOT侧布线部分35、36位于上述绝缘膜上，能够与上述实施方式同样地有效地压制波动。
在图8所示的滤波器装置41中，在输入端子42与输出端子43之间，第1滤波器部44和第2滤波器部45被并联连接。在此，第1滤波器部44以及第2滤波器部45的第1、第3纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元，通过5IDT型的一个纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元46而被公共化。
即，纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元46具有第1～第5IDT电极46a～46e。中央的IDT电极46c在弹性波传播方向上被分割为两份。即，具有分割IDT部46c1、46c2。分割IDT部46c1、46c2分别与第2、第3级间布线19、23连接。此外，IDT电极46a与第1级间布线18连接，IDT电极46e与第4级间布线24连接。其他的构成与图7所示的电极构造大体相同。
在本变形例中，通过使与虚拟接地布线20相邻的HOT侧布线部分25位于绝缘层上也能够获得与上述实施方式同样的效果。
图9所示的第3变形例所涉及的滤波器装置51，从不平衡端子来观察时，与具有第1滤波器部和第2滤波器部被相互电并联连接的构成的上述滤波器装置41大体相同。不同的是，IDT电极17b、22b与图7所示的滤波器装置31同样地，在与平衡端子33、34连接的HOT侧布线部分35、36之间，第1滤波器部和第2滤波器部经由接地电位而被电串联连接。即，构成了平衡型的滤波器装置51。在本变形例中，通过将与虚拟接地布线20相邻的HOT侧布线部分35、36设置在绝缘层上，也能够抑制滤波器特性的结果。即，能够有效地压制一对平衡端子33、34间的相位差以及振幅差的特性上所出现的波动。
在图10所示的第4变形例的滤波器装置61中，除了第1、第2滤波器部14、15之外，还在横向上设置了第3滤波器部62。第3滤波器部62与第1滤波器部14同样地构成。即，第3滤波器部62具有对第5纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元63和第6纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元64进行了2级级联连接的构造。
IDT电极63b的一端与连接点13A连接，另一端与接地电位连接。IDT电极63a、63c的各一端与接地电位连接。IDT63a、63c的另一端分别与第5、第6级间布线65、66连接。
IDT电极64b的一端与接地电位连接，另一端与接收端子7连接。IDT电极64a的一端与第5级间布线65连接，另一端与虚拟接地20A连接。虚拟接地布线20A与第2滤波器部15的IDT电极22c连接。IDT电极64c的一端与接地电位连接，另一端与第6级间布线66连接。
在滤波器装置61中，选择IDT电极63a～63c、IDT电极64a～64c的朝向，使得流经第5级间布线65的信号的相位、和流经第6级间布线66的信号的相位相反。此外，流经第5级间布线65的信号的相位被设为与流经第4级间布线24的信号的相位相反。
因此，虚拟接地布线20A与前述的虚拟接地布线20同样地发挥作用。因此，在该变形例中通过除了虚拟接地布线20之外还设置虚拟接地布线20A也能够实现小型化。而且，通过使与虚拟接地布线20相邻的HOT侧布线部分25和同样与虚拟接地布线20A相邻的HOT侧布线部分25A分别位于相同的绝缘层或另外的绝缘层上，能够降低在滤波器特性上出现的波动。
图11所示的第5变形例的滤波器装置71，除了将滤波器装置61变更为平衡型之外，被设为同样。即，在滤波器装置71中，IDT电极22b具有分割IDT部22b1、22b2。分割IDT部22b2和IDT电极17b被公共连接，并与第1平衡端子33连接。此外，分割IDT部22b1和IDT电极64b被公共连接，并与第2平衡端子34连接。
在本变形例中，也能够通过虚拟接地布线20、20A来实现小型化。此外，通过使HOT侧布线部分、即与虚拟接地布线20相邻的HOT侧布线部分35位于绝缘层上，而且使与虚拟接地布线20A相邻的HOT侧布线部分36位于绝缘层上，能够抑制波动。即，能够有效地压制第1、第2平衡端子33、34间的相位特性以及振幅特性中出现的波动。
图12是本发明的第2实施方式所涉及的双工器的俯视图。在双工器81中，将IDT电极17b、22b与接收端子7连接的HOT侧布线部分25B通过立体交叉部82、83与虚拟接地布线20B立体交叉。更具体来说，在虚拟接地布线20B上形成了层间绝缘膜84、85。将HOT侧布线部分25B形成为在该层间绝缘膜84、85上通过。由此设置了立体交叉部82、83。
如图13中放大所示，虚拟接地布线20B在上述立体交叉部82具有宽度相对较细的部分20B1。在本实施方式中，宽度相对较窄的部分20B1设置于在上面层叠有层间绝缘膜84的部分。而且，宽度校对较窄的部分20B1以外的部分20B2的宽度相对较宽。
本实施方式在设置有上述立体交叉部82、83，且HOT侧布线部分25B在立体交叉部82、83处位于层间绝缘膜84、85上这一点上，与第1实施方式不同。另外通过对与第1实施方式相同的部分标注相同的参照编号，来援用第1实施方式的说明。
在本实施方式中也能够通过使用虚拟接地布线20B来实现小型化。而且，在本实施方式中，经由上述层间绝缘膜84、85，将HOT侧布线部分25B相对于虚拟接地布线20B而分离。因此，能够减小虚拟接地布线20B与HOT侧布线部分25B之间的寄生电容。因此，与第1实施方式的情况同样地，能够压制在通频带出现的波动。
特别是，在本实施方式中，经由层间绝缘膜84而与上述HOT侧布线部分25B重叠的部分，成为宽度较窄的部分20B1，构成了虚拟接地布线20B。因此，能够进一步减小上述寄生电容。因此，能够更有效地压制上述波动。像这样，经由层间绝缘膜84、85而与HOT侧布线部分25B重合的虚拟接地布线部分的宽度比剩余部分窄较为理想。
在本实施方式中，位于层间绝缘膜83的下方的虚拟接地布线部分整体被设为宽度较细的部分20B1，但如上所述，也可以仅在与HOT侧布线部分25B重合的部分，使虚拟接地布线20B的宽度较窄。此外，宽度较窄的部分20B1也可以与层叠了层间绝缘膜84的部分相比到达更外侧。
图14表示在虚拟接地布线与HOT侧布线部分之间追加了0.1pF的静电电容92的比较例的滤波器构成。本比较例的其他构成与第2实施方式大体相同。
图15是第2实施方式和图14所示的比较例的S21特性的测定结果。在图15中，用实线表示第2实施方式，用虚线表示图14的比较例。
与第2实施方式相比，在比较例中，可知伴随虚拟接地布线与HOT侧布线部分之间的静电电容的增加，通频带内的波动增加。
因此，可知由于虚拟接地布线与HOT侧布线部分之间的静电电容减少，所以在上述第2实施方式中，通频带内的波动减少。
在第2实施方式的滤波器装置中，第1、第2滤波器部的电极构造也没有特别限定，可以如前述的图7～图11所示的第1～第5变形例那样适当变形。
进而，在第1实施方式中，设置有对IDT电极17c与IDT电极22a进行连接的虚拟接地布线20，在第2实施方式中，设置有对IDT电极17a、17c、22a、22c进行连接的虚拟接地布线20B。在本发明中，与虚拟接地布线连接的IDT电极不限定于这些。即，在第1～第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元中，构成IDT电极的一端以及另一端部分，与HOT侧电位连接的端子部分为第1端子部分，与并非HOT侧电位的电位连接的端子部分为第2端子部分。在本发明中，只要具备上述虚拟接地布线，以使对第1滤波器部的第2端子部分的至少1个和第2滤波器部的多个第2端子部分之中的至少1个端子部分进行连接即可。
另外，在上述实施方式中，示出了在输入端子以及输出端子的至少一方侧，从不平衡端子来观察时，第1滤波器部和第2滤波器部被电并联连接的构成。上述构成并不排除如上述实施方式所示，第1滤波器部和第2滤波器部在输入端子以及输出端子的至少一方侧的平衡端子间经由接地电位而被电串联连接的构成。本发明也适合具有包含3IDT型的弹性波谐振器的3个以上的IDT的纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元。
此外，本发明的滤波器装置能够由利用了弹性波表面波或弹性边界波等的各种各样的弹性波的装置来构成。
符号说明
1...双工器
2...压电基板
3...发送滤波器
4...接收滤波器
5...天线端子
6...发送端子
7...接收端子
8...公共连接点
11、12...接地端子
13...弹性波谐振器
13A...连接点
14...第1滤波器部
15...第2滤波器部
16...第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元16a～16c...IDT电极
17...第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元
17a～17c...IDT电极
18...第1级间布线
19...第2级间布线
20、20A...虚拟接地布线
21a～21c、22a～22c...IDT电极
22...第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元
22b1、22b2...分割IDT部
23...第3级间布线
24...第4级间布线
25、25A、25B...HOT侧布线部分
26...绝缘膜
31...滤波器装置
32...输入端子
33...第1平衡端子
34...第2平衡端子
35、36...HOT侧布线部分
41...滤波器装置
42...输入端子
43...输出端子
44...第1滤波器部
45...第2滤波器部
46...纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元
46a～46e...IDT电极
46c1、46c2...分割IDT部
51...滤波器装置
61...滤波器装置
62...第3滤波器部
63...第5纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元
63a～63c、64a～64c...IDT电极
65...第5级间布线
66...第6级间布线
71...滤波器装置
81...双工器
82、83...立体交叉部
84、85...层间绝缘膜
92...静电电容
P1～P3...并联臂谐振器
S1～S7...串联臂谐振器

Claims (7)

1.一种滤波器装置，具备：
压电基板；
输入端子；
输出端子；
第1滤波器部，其形成在所述压电基板上，且连接在所述输入端子与所述输出端子之间；和
第2滤波器部，其形成在所述压电基板上，且连接在所述输入端子与所述输出端子之间，与所述第1滤波器部并联连接，
所述第1滤波器部具有：第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；与所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元级联连接的第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；和将所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元与所述第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元连接的第1、第2级间布线，
所述第2滤波器部具有：第3纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；与所述第3纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元级联连接的第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；和将所述第3、第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元连接的第3、第4级间布线，
所述第1滤波器部和所述第2滤波器部具有与HOT侧电位连接的多个第1端子部分、和与并非HOT侧电位的电位连接的多个第2端子部分，
所述滤波器装置还具备：
虚拟接地布线，其将所述第1滤波器部的多个所述第2端子部分的至少1个端子部分、和所述第2滤波器部的多个所述第2端子部分的至少1个端子部分连接；
HOT侧布线部分，其与所述虚拟接地布线相邻；和
绝缘膜，其设置在所述压电基板上，
与所述虚拟接地布线相邻的所述HOT侧布线部分位于所述绝缘膜上。
2.一种滤波器装置，具备：
压电基板；
输入端子；
输出端子；
第1滤波器部，其形成在所述压电基板上，且连接在所述输入端子与所述输出端子之间；和
第2滤波器部，其形成在所述压电基板上，且连接在所述输入端子与所述输出端子之间，与所述第1滤波器部并联连接，
所述第1滤波器部具有：第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；与所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元级联连接的第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；和将所述第1纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元与所述第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元连接的第1、第2级间布线，
所述第2滤波器部具有：第3纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；与所述第3纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元级联连接的第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元；和将所述第3、第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元连接的第3、第4级间布线，
所述第1滤波器部和所述第2滤波器部具有与HOT侧电位连接的多个第1端子部分、和与并非HOT侧电位的电位连接的多个第2端子部分，
所述滤波器装置还具备：
虚拟接地布线，其将所述第1滤波器部的多个所述第2端子部分的至少1个端子部分、和所述第2滤波器部的多个所述第2端子部分的至少1个端子部分连接；和
HOT侧布线部分，其与所述虚拟接地布线立体交叉，
在该立体交叉的部分，还具备在所述虚拟接地布线与所述HOT侧布线部分之间设置的层间绝缘膜，在经由该层间绝缘膜而立体交叉的部分，所述虚拟接地布线的宽度比该虚拟接地布线的剩余部分的宽度更细。
3.根据权利要求1或2所述的滤波器装置，其中，
所述虚拟接地布线将所述第2纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元的至少1个所述第2端子部分、和所述第4纵耦合谐振器型弹性波滤波器单元的至少1个所述第2端子部分电连接。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的滤波器装置，其中，
所述输入端子为不平衡输入端子，所述输出端子为不平衡输出端子。
5.根据权利要求1～3中任一项所述的滤波器装置，其中，
所述输入端子为不平衡输入端子，所述输出端子为第1、第2平衡输出端子。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的滤波器装置，其中，
还具备至少1个第3滤波器部，其设置在所述输入端子与所述输出端子之间，并与所述第1、第2滤波器部并联连接。
7.一种双工器，具备：
第1带通型滤波器装置，其由权利要求1～6中任一项所述的滤波器装置构成；和
第2带通型滤波器装置，其设置在所述压电基板上，并且与所述第1带通型滤波器装置不同。
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