CN104755765B - 分子泵 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种分子泵，该分子泵(1A)包括：泵主体(2)，该泵主体(2)设有涡轮分子泵部(2a)；控制单元(4)，该控制单元(4)设有控制部和电源部；以及冷却单元(3)，其用于对泵主体(2)和控制单元(4)进行冷却。在处于控制单元(4)的内部的位置且成为低温的位置即第1位置设有第1温度检测部(90)，在处于控制单元(4)的内部的位置且成为高温的位置即第2位置设有兼用作湿度检测部的第2温度检测部(80)。控制部基于由第1温度检测部(90)和兼用作湿度检测部的第2温度检测部(80)检测出的温度信息和湿度信息计算出所述第1位置处的相对湿度，控制部根据该计算出的所述第1位置处的相对湿度来对冷却单元(3)的动作进行控制。

Description

分子泵
技术领域
本发明涉及作为用于形成超高真空状态的真空泵的一种的分子泵，更具体而言，涉及一种具有作为冷却系统的冷却单元的分子泵。
背景技术
分子泵作为用于形成超高真空状态的真空泵而附设于例如以半导体制造装置为代表的各种加工装置、各种分析装置、电子显微镜等。通常，分子泵包括：泵主体，该泵主体设有具有动叶片和静叶片的涡轮分子泵部；以及控制单元，该控制单元容纳有用于对涡轮分子泵部的动作进行控制的控制部、用于供给用以驱动涡轮分子泵部的电力的电源部。
在分子泵中，由于控制单元所包括的电源部具有作为发热源的升压电路、转换电路、逆变电路等，因此需要对这些电路适当地进行冷却。另外，在泵主体中，在用于使设有动叶片的转子旋转的马达、用以对用于使该转子旋转的旋转轴进行支承的轴承等处也会产生热，因此有时需要对这些构件适当地进行冷却。
因此，公知有一种为附设有供冷却液流通的液冷式的冷却单元的结构的分子泵。例如，在日本特开平11－173293号公报(专利文献1)中，公开有一种为在泵主体与控制单元之间夹持有冷却单元的结构的分子泵，在日本特开2011－27031号公报(专利文献2)中，公开有一种为在冷却单元上排列设置有泵主体和控制单元的结构的分子泵。
在此，通常，控制单元大多为具有适当地防止液滴、粉尘进入的防滴构造和防尘构造的与外部相连通的半密闭型，在该情况下，控制单元的内部的露点温度等于周围环境的露点温度。因此，控制单元的被配置为与所述冷却 单元相接触或被配置为接近所述冷却单元的部分会局部地变成低温，在该部分低于露点温度的情况下，会在该部分产生结露。
在产生了该结露的情况下，会因结露液附着于所述各种电路而导致故障、误工作，因此，需要尽可能地抑制在控制单元的内部产生结露。
为了抑制该结露的产生，在例如日本特开2009－174333号公报(专利文献3)中，公开了一种如下结构的分子泵：在控制单元的内部敷设有供冷却液流通的配管，并且在控制单元的内部设置结露传感器，在利用该结露传感器检测到结露的情况下，使冷却液停止流通。
专利文献1：日本特开平11－173293号公报
专利文献2：日本特开2011－27031号公报
专利文献3：日本特开2009－174333号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而，在采用所述专利文献3所公开的结构的情况下，存在如下问题：在结露传感器检测到结露的时刻，处于已经产生了不少结露的状态，因此，即使抑制不再产生结露，也不能防止结露产生这一事实。
即，虽然这也并不取决于将结露传感器设于控制单元的内部的哪个位置，但假设将结露传感器配置于最容易产生结露的部分(例如在供冷却液流通的配管的附近部分)的情况下，在检测到结露的时刻，已经在该部分产生了结露，若考虑到结露液不容易蒸发，则担心在因某些原因而使该结露液飞散从而对电源部等各种电路造成不良影响，假设在将结露传感器设于作为发热源的电源部的附近的情况下，在检测到结露的时刻，也已经在电源部产生了结露，从而无法避免对电源部造成不良影响。
因此，从更可靠地防止产生结露这一事实的观点考虑，设想：替代结露 传感器而使用湿度传感器等湿度检测部，将该湿度检测部配置在控制单元的内部的最容易产生结露的部分，基于湿度检测部所检测出的湿度信息来预测结露的产生，并基于此来控制冷却液的流通。
然而，即使在为如上所述的结构的情况下，例如，在因分子泵的停止时等周围环境的变化而导致结露液附着于湿度检测部的情况下，附着了的结露液需要经过相当长的时间才会蒸发，结果产生了如下问题，即，在结露液蒸发之前的期间内，完全不能由湿度检测部进行湿度检测。其原因在于，不存在在产生了结露那样的非常高的湿度环境下能够连续地对湿度进行稳定且准确的检测的实用的湿度检测部，通常的湿度检测部是随着湿度的变化而电气地对湿度进行检测的构件，若在其检测电极等上附着有结露液，则不能再测定湿度。
因此，实际上，需要将湿度检测部配置在与最容易产生结露的部分保持相当程度的距离的位置，结果是，不能对原本应该进行测定的、最容易产生结露的部分的湿度进行测定，根据情况，很有可能要使冷却动作不必要地停止，其结果，不能使分子泵高效地进行运转。
因而，本发明是为了解决所述问题点而做出的，其目的在于，提供一种通过能够连续地对控制单元的内部的最容易产生结露的部分的相对湿度进行稳定且准确的计算、从而可靠地防止产生结露且实现高效的运转动作的分子泵。
用于解决问题的方案
本发明的第1技术方案提供一种分子泵，该分子泵包括：泵主体，该泵主体设有具有动叶片和静叶片的涡轮分子泵部；控制单元，该控制单元设有控制部和电源部；以及冷却单元，其用于对所述泵主体和所述控制单元进行冷却。在该分子泵中，以使所述冷却单元和所述泵主体热接触且使所述冷却单元和所述控制单元热接触的方式将所述泵主体和所述控制单元均配置为 与所述冷却单元相接触或接近所述冷却单元。所述控制单元具有容纳有所述控制部和所述电源部的罩。在处于所述罩的内部的位置且是在所述冷却单元进行工作时成为低温的位置即第1位置设有第1温度检测部。在处于所述罩的内部的位置且是在所述冷却单元进行工作时成为温度比所述第1位置处的温度高的位置即第2位置设有湿度检测部和第2温度检测部。所述控制部基于由所述第1温度检测部和所述第2温度检测部检测出的温度信息和由所述湿度检测部检测出的湿度信息计算出所述第1位置处的相对湿度，所述控制部根据该计算出的所述第1位置处的相对湿度来对所述冷却单元的动作进行控制。
在基于所述本发明的分子泵中，优选的是，在所述相对湿度小于预先设定的阈值的情况下，所述控制部使所述冷却单元执行冷却动作，在所述相对湿度为所述阈值以上的情况下，所述控制部使所述冷却单元的冷却动作停止。
在基于所述本发明的分子泵中，所述第1位置优选是所述罩的内表面上的位于被配置为与所述冷却单元相接触或被配置为接近所述冷却单元的部分的位置，另外，所述第2位置优选是所述罩的内表面上的除了位于被配置为与所述冷却单元相接触或被配置为接近所述冷却单元的部分的位置以外的位置。
在基于所述本发明的分子泵中，所述第2位置优选是配置在所述控制单元的内部的电路基板上的位置。
在基于所述本发明的分子泵中，优选的是，所述冷却单元以被所述泵主体和所述控制单元夹持的方式配置。
在基于所述本发明的分子泵中，也可以是，所述泵主体和所述控制单元排列设置在所述冷却单元之上。
在基于所述本发明的分子泵中，也可以是，所述控制部根据所述相对湿 度来对所述涡轮分子泵部的动作进行控制。
优选的是，基于所述本发明的分子泵还包括用于对所述控制单元的内部的气体进行换气的换气机构，在该情况下，所述控制部也可以根据所述相对湿度来对所述换气机构的动作进行控制。
优选的是，基于所述本发明的分子泵还包括用于对所述控制单元的内部的气体进行加热的加热机构，在该情况下，所述控制部也可以根据所述相对湿度来对所述加热机构的动作进行控制。
本发明的第2技术方案提供一种分子泵，该分子泵包括：泵主体，该泵主体设有具有动叶片和静叶片的涡轮分子泵部；控制单元，该控制单元设有控制部和电源部；以及冷却单元，其用于对所述控制单元进行冷却。在该分子泵中，以使所述冷却单元和所述控制单元热接触的方式将所述控制单元配置为与所述冷却单元相接触或接近所述冷却单元。所述控制单元具有容纳有所述控制部和所述电源部的罩。在处于所述罩的内部的位置且是在所述冷却单元进行工作时成为低温的位置即第1位置设有第1温度检测部。在处于所述罩的内部的位置且是在所述冷却单元进行工作时成为温度比所述第1位置处的温度高的位置即第2位置设有湿度检测部和第2温度检测部。所述控制部基于由所述第1温度检测部和所述第2温度检测部检测出的温度信息和由所述湿度检测部检测出的湿度信息计算出所述第1位置处的相对湿度，所述控制部根据该计算出的所述第1位置处的相对湿度来对所述冷却单元的动作进行控制。
发明的效果
采用本发明，能够形成如下那样的分子泵，在该分子泵中，能够连续地对控制单元的内部的最容易产生结露的部分的相对湿度进行稳定且准确的计算，由此，能够可靠地防止结露的产生且能够实现高效的运转动作。
附图说明
图1是本发明的实施方式1的分子泵的主视图。
图2是本发明的实施方式1的分子泵的示意性纵剖视图。
图3是本发明的实施方式1的分子泵的示意性横剖视图。
图4是表示本发明的实施方式1的分子泵的功能组件的结构的图。
图5是表示饱和水蒸气压曲线的图表。
图6是表示本发明的实施方式1的分子泵的控制部的控制动作的第1结构例的动作表图。
图7是表示本发明的实施方式1的分子泵的控制部的控制动作的第1结构例的流程图。
图8是表示本发明的实施方式1的分子泵的控制部的控制动作的第2结构例的动作表图。
图9是表示本发明的实施方式1的分子泵的控制部的控制动作的第2结构例的流程图。
图10是基于本发明的实施方式1的第1变形例的分子泵的示意性横剖视图。
图11是基于本发明的实施方式1的第2变形例的分子泵的示意性横剖视图。
图12是基于本发明的实施方式1的第3变形例的分子泵的示意性纵剖视图。
图13是本发明的实施方式2的分子泵的局部剖主视图。
图14是本发明的实施方式2的分子泵的仰视图。
图15是本发明的实施方式3的分子泵的局部剖主视图。
图16是本发明的实施方式3的分子泵的仰视图。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的实施方式。在以下所示的实施方式中，例示将本发明应用于为同时设置有涡轮分子泵部和螺纹槽真空泵部的结构的所谓复合分子泵的情况并进行说明。此外，在以下所示的实施方式中，在图中，对于相同或共用的部分标注相同的附图标记而不再赘述其说明。
实施方式1
图1是本发明的实施方式1的分子泵的主视图。图2是图1所示的分子泵的示意性纵剖视图，图3是沿着图2所示的III－III线的分子泵的示意性横剖视图。另外，图4是表示图1所示的分子泵的功能组件的结构的图。首先，参照所述图1～图4说明本实施方式的分子泵1A的结构。
如图1和图2所示，本实施方式的分子泵1A包括泵主体2、单个冷却单元3以及控制单元4。泵主体2、冷却单元3以及控制单元4沿着铅垂方向层叠地配置，更具体而言，冷却单元3配置在控制单元4上，泵主体2配置在冷却单元3上。由此，冷却单元3成为被泵主体2和控制单元4夹持的状态。
泵主体2用于形成超高真空状态。在泵主体2的上部具有涡轮分子泵部2a，在泵主体2的下部具有螺纹槽真空泵部2b。另外，在泵主体2的上部设有与涡轮分子泵部2a相连通的进气口31，在泵主体2的下部设有与螺纹槽真空泵部2b相连通的排气管11。此外，后面叙述泵主体2的具体构造。
控制单元4在内部容纳有构成后述的控制部5、电源部6(参照图4)等的各种电路并被半密闭型的罩70覆盖。在罩70的内部，主要配置有作为电路基板的第1基板71和第2基板72，在这些第1基板71和第2基板72上，通过安装电子零件等而形成有所述各种电路。此外，后面叙述控制单元4的具体构造。
冷却单元3用于将泵主体2和控制单元4冷却，其主要由冷却组件60和后述的配管系统构成，在该冷却组件60的内部形成有构成为供冷却水等冷却液流通的冷却液流通路径61，该配管系统与冷却液流通路径61相连接。此外， 后面叙述冷却单元3的具体构造。
由所述结构可知，在本实施方式的分子泵1A中，为了使冷却单元3和泵主体2热接触而将它们配置为相接触，并且，为了使冷却单元3和控制单元4热接触而将它们配置为相接触。通过采用该结构，能够利用单个冷却单元3来冷却泵主体2和控制单元4这两者，从而能够简化分子泵1A的整体结构。
此外，为了谋求提高冷却效率，也可以根据需要而在泵主体2与冷却单元3之间和控制单元4与冷却单元3之间设置高热传导性的片或润滑脂等。在该情况下，为了使冷却单元3和泵主体2热接触而将它们接近地配置，并且，为了使冷却单元3和控制单元4热接触而将它们接近地配置。
如图1～图3所示，泵主体2主要由基座10、外侧定子20a、内侧定子20b、壳体30、转子40、以及转子驱动机构50构成。转子驱动机构50具有图4所示的马达53和磁轴承54。
泵主体2的外壳由其中的基座10、外侧定子20a以及壳体30构成，在泵主体2的内部容纳有余下的内侧定子20b、转子40以及转子驱动机构50。另外，在泵主体2的内部设有用于将所述进气口31和排气管11相连通的排气路径8。
基座10具有大致圆盘状的形状，基座10以其下表面与冷却组件60的上表面热接触的方式配置。在基座10上载置有外侧定子20a和转子驱动机构50，更具体而言，在基座10的周缘部上载置有外侧定子20a，在基座10的中央部上载置有转子驱动机构50。另外，在基座10的规定位置上连接有所述排气管11。
转子驱动机构50具有旋转轴52以及容纳有所述马达53和磁轴承54等的罩壳(日文：ハウジング)51，转子驱动机构50用于使转子40高速地旋转。旋转轴52的靠下端侧的部分位于罩壳51的内部，旋转轴52的靠上端侧的部分暴露到该罩壳51的外部。在旋转轴52的暴露出的部分固定有转子40。
马达53用于对固定有转子40的旋转轴52进行驱动而使其旋转，磁轴承54 用于以能够使旋转轴52旋转的方式支承旋转轴52。通过对这些马达53和磁轴承54进行驱动来使旋转轴52旋转，由此使转子40以高速进行旋转。
转子40具有：上部侧转子部41，其具有大致圆柱状的形状并固定于旋转轴52；以及下部侧转子部42，其具有大致圆筒状的形状。在上部侧转子部41的外周部，沿着轴向空开间隔地设有多个动叶片43，该多个动叶片43分别朝向径向外侧突出设置。另一方面，下部侧转子部42以包围所述罩壳51的方式自上部侧转子部41的下端朝向下方延伸设置。
外侧定子20a具有大致圆筒状的形状，并以包围所述罩壳51且该外侧定子20a的一部分与所述下部侧转子部42的外周面相对的方式配置。
内侧定子20b具有大致圆筒状的形状，并以包围所述罩壳51且与下部侧转子部42的内周面相对的方式配置于外侧定子20a的内部。另外，内侧定子20b具有自内侧定子20b的下端朝向径向外侧延伸出的闭塞部23，下部侧转子部42的下端位于与该闭塞部23相对的位置。
在外侧定子20a的内周面上的与下部侧转子部42的外周面相对的部分设有内螺纹形状的初级侧螺纹槽部21。另一方面，在内侧定子20b的外周面的与下部侧转子部42的内周面相对的部分设有外螺纹形状的次级侧螺纹槽部22。
由此，由下部侧转子部42、外侧定子20a以及内侧定子20b构成所述螺纹槽真空泵部2b，在分子泵1A进行工作时，通过使下部侧转子部42在外侧定子20a与内侧定子20b之间高速地进行旋转，能够利用该螺纹槽真空泵部2b来发挥排气功能。
壳体30具有大致圆筒状的形状，并以载置在外侧定子20a上而包围上部侧转子部41的方式配置。此外，所述进气口31位于壳体30的上部。
在壳体30的内周面上设有多个兼用作间隔件的支承构件32，利用该多个兼用作间隔件的支承构件32来支承多个静叶片33。多个静叶片33沿着轴向空 开间隔地设置并分别朝向径向内侧突出设置。
所述多个动叶片43和多个静叶片33分别具有朝向不同的方向倾斜的涡轮叶片。另外，所述多个动叶片43和多个静叶片33配置为分别位于沿着轴向彼此错开的位置。
由此，由多个动叶片43和多个静叶片33构成所述涡轮分子泵部2a，在分子泵1A进行工作时，通过使多个动叶片43高速地进行旋转，能够利用该涡轮分子泵部2a来发挥排气功能。
此外，在基座10与外侧定子20a之间、外侧定子20a与壳体30之间、以及基座10与排气管11之间等分别设有O型密封圈等密封构件。由此，能确保自进气口31起到排气管11为止的排气路径8的气密性，从而能够防止在形成排气路径8的各构件之间产生漏气。
如图1～图4所示，冷却单元3除了具有所述冷却组件60之外，还具有作为配管系统的入口侧端口62、出口侧端口63以及开闭阀64。
入口侧端口62是用于向冷却液流通路径61供给冷却液的端口，入口侧端口62的一端与未图示的供液设备相连接，入口侧端口62的另一端与设于冷却组件60的冷却液流通路径61的一端相连接。
出口侧端口63是用于将冷却液自冷却液流通路径61排出的端口，出口侧端口63的一端与未图示的排液设备相连接，出口侧端口63的另一端与设于冷却组件60的冷却液流通路径61的另一端相连接。
开闭阀64用于对向冷却液流通路径61供给冷却液和停止向冷却液流通路径61供给冷却液进行切换，该开闭阀64附设于入口侧端口62。
由此，在将开闭阀64打开的状态下，向冷却液流通路径61供给冷却液而使冷却单元3执行冷却动作，在将开闭阀64封闭的状态下，停止向冷却液流通路径61供给冷却液而使冷却单元3的冷却动作停止。
此外，冷却液流通路径61优选配置在比冷却组件60更大的范围中，以能 够对更大范围进行冷却，在本实施方式中，从该观点考虑，将冷却液流通路径61设置为俯视大致环状。
如图1～图3所示，控制单元4除了具有所述罩70、第1基板71以及第2基板72之外，还具有兼用作间隔件的支承构件73、作为第1温度检测部的温度传感器90、以及作为湿度检测部和第2温度检测部的温湿度传感器80。
如图示那样，罩70具有其外形为例如正八棱柱状的箱形形状，罩70以其上表面与冷却单元3的冷却组件60的下表面热接触的方式配置。在罩70的与冷却单元3相接触的部分即顶板部上，朝向罩70的内部直立设置有由高热传导构件构成的兼用作间隔件的支承构件73，利用该兼用作间隔件的支承构件73来支承第1基板71和第2基板72。在此，从省空间化的观点考虑，第1基板71和第2基板72配置为沿着上下方向隔着规定的距离相对。
在第1基板71上设有作为发热源的具有升压电路、转换电路、逆变电路等的电源部6。电源部6的作用在于，接收自商用电源等外部电源供给过来的电力，将该电力主要变换为适合于驱动转子40并使其高速地进行旋转的状态的电力。
在第2基板72上设有用于对分子泵1A的整体动作进行控制的控制部5、以后述的马达驱动电路55、磁轴承驱动电路56、开闭阀驱动电路67等为代表的各种驱动电路等。
温度传感器90安装于罩70的顶板部的内表面上的规定位置(相当于第1位置)。温湿度传感器80由具有温度传感器和湿度传感器的复合传感器构成，其安装于所述第2基板72上的规定位置(相当于第2位置)。在此，作为温度传感器，优选使用例如热敏电阻等，作为湿度传感器，优选使用例如电阻式或静电电容式的湿度传感器等。
在此，设有温度传感器90的所述第1位置是在冷却单元3进行工作时成为低温的位置，设有温湿度传感器80的所述第2位置是在冷却单元3进行工作时 温度比所述第1位置的温度高的位置。此外，更优选的是，温度传感器90如图3所示那样设于罩70的内表面上的、与冷却液流通路径61的连接于冷却单元3的入口侧端口62的部分附近相对应的位置。该位置是能被冷却单元3最高效地冷却的位置，相当于控制单元4的内部的最容易产生结露的部分。
如图4所示，分子泵1A除了具有所述控制部5、电源部6、马达53、磁轴承54、开闭阀64、温度传感器90、温湿度传感器80之外，还具有马达驱动电路55、磁轴承驱动电路56以及开闭阀驱动电路67。
马达驱动电路55根据自控制部5输入的控制信号来驱动马达53。磁轴承驱动电路56根据自控制部5输入的控制信号来驱动磁轴承54。开闭阀驱动电路67根据自控制部5输入的控制信号来驱动开闭阀64。
此外，控制部5具有未图示的运算处理部、存储器部以及判断部，在运算处理部中，根据由温度传感器90和温湿度传感器80检测出的温度信息和湿度信息来进行后述的运算，在判断部中，对该计算结果和存储在存储器部中的阈值进行比较，并根据比较结果来对所述各种驱动电路输入控制信号。
通过构成以上说明的分子泵1A，能够连续地对在控制单元4的内部的最容易产生结露的部分、即安装有温度传感器90的部分处的相对湿度进行稳定且准确的计算。以下，说明其原因。
图5是表示饱和水蒸气压曲线的图表。如已知那样，在以温度T(℃)为横轴、以水蒸气压P(hPa)为纵轴的情况下，饱和水蒸气压曲线PWS(hPa)被表示成图5所示那样的曲线。作为该饱和水蒸气压曲线的近似式的函数f(T)，提出有多个函数，但在此，能够利用在例如气象领域中广泛使用的Magnus－Teten(马格努斯)公式(下述数学式(1))。
数学式(1)
P WS = f ( T ) = 6.107 × 10 7.5 × T T + 237.3 · · · ( 1 )
在将设有温度传感器90的第1位置处的温度设为TB(℃)、将相对湿度设为HB(％)、将水蒸气压设为PB(hPa)的情况下，在它们之间使用所述函数f(T)，从而使下述数学式(2)成立。
数学式(2)
H B = P B f ( T B ) × 100 · · · ( 2 )
另外，在将设有温湿度传感器80的第2位置处的温度设为TA(℃)、将相对湿度设为HA(％)、将水蒸气压设为PA(hPa)的情况下，通过在它们之间使用所述函数f(T)，从而使下述数学式(3)成立。
数学式(3)
H A = P A f ( T A ) × 100 · · · ( 3 )
在此，如上所述，控制单元4被半密闭型的罩70覆盖，因此，可以将控制单元4的内部的空间认为是封闭空间，第1位置处的水蒸气压PA(hPa)和第2位置处的水蒸气压PB(hPa)均与控制单元4的内部的露点温度TD(℃)下的饱和水蒸气压f(TD)(hPa)相等，由此，下述数学式(4)成立。
数学式(4)
PA＝PB…(4)
因而，根据所述数学式(2)～数学式(4)，能导出下述数学式(5)。
数学式(5)
H B = f ( T A ) f ( T B ) × H A · · · ( 5 )
由此，通过根据由设于第1位置的温度传感器90检测出的温度TB(℃) 和由设于第2位置的温湿度传感器80检测出的温度TA(℃)和相对湿度HA(％)而在控制部5的运算处理部中进行运算，能够计算出第1位置处的相对湿度HB(％)。
接下来，说明控制部5的根据所述内容计算出的第1位置处的相对湿度HB(％)而进行控制动作的具体结构例。图6和图7分别是表示本实施方式的分子泵的控制部的控制动作的第1结构例的动作表图和流程图。另外，图8和图9分别是表示本实施方式的分子泵的控制部的控制动作的第2结构例的动作表图和流程图。
如图6所示，在第1结构例中，通过对计算出的相对湿度HB(％)与预先设定的第1阈值HC(％)和第2阈值HE(％)这两者进行比较，从而控制部5对冷却单元3的动作和泵主体2的动作(用于对涡轮分子泵部2a和螺纹槽真空泵部2b进行驱动的转子40的旋转动作、即马达53的旋转动作)进行控制。
具体而言，在计算出的相对湿度HB(％)小于第1阈值HC(％)的情况下，控制部5使开闭阀64打开，由此使冷却单元3执行冷却动作。即，在第1位置处的相对湿度较低的状态下，能够判断为没有结露，因此执行冷却动作。
另外，在计算出的相对湿度HB(％)为第1阈值HC(％)以上且小于第2阈值HE(％)的情况下，控制部5使开闭阀64封闭，由此使冷却单元3的冷却动作停止。即，在第1位置处的相对湿度较高的状态下，能够判断为存在产生结露的可能性，因此使冷却动作停止。
另外，在计算出的相对湿度HB(％)为第2阈值HE(％)以上的情况下，控制部5进行预先设定的结露错误处理而向用户通知结露错误。即，在第1位置处的相对湿度显著较高的状态下，能够判断为产生结露的可能性非常高或者存在已产生结露的可能性，因此将该状态通知给用户。
能够通过例如图7所示的控制流程来实现所述控制动作。此外，控制部5通过读取并执行被存储在所述存储器部等中的程序来进行该控制流程。
如图7所示，在步骤S101中，控制部5对温度TB(℃)、温度TA(℃)以及相对湿度HA(％)进行检测。具体而言，控制部5从温度传感器90和温湿度传感器80中取得由温度传感器90和温湿度传感器80检测出的温度信息和湿度信息。
接下来，在步骤S102中，控制部5对相对湿度HB(％)进行计算。具体而言，控制部5基于在步骤S101中取得的温度TB(℃)、温度TA(℃)以及相对湿度HA(％)而在运算处理部中进行基于所述式子(1)和式子(5)的运算处理，由此计算出相对湿度HB(％)。
接下来，在步骤S103中，控制部5对相对湿度HB(％)是否小于第2阈值HE(％)进行判断。具体而言，控制部5通过在判断部中对在步骤S102中计算出的相对湿度HB(％)与预先设定的第2阈值HE(％)进行比较，由此进行所述判断。
在控制部5判断为相对湿度HB(％)小于第2阈值HE(％)的情况(在步骤S103中为YES(是)的情况)下，跳转至步骤S104，在控制部5判断为相对湿度HB(％)为第2阈值HE(％)以上的情况(在步骤S103中为NO(否)的情况)下，跳转至步骤S107。
在步骤S104中，控制部5对相对湿度HB(％)是否小于第1阈值HC(％)进行判断。具体而言，控制部5通过在判断部中对在步骤S102中计算出的相对湿度HB(％)与预先设定的第1阈值HC(％)进行比较，由此进行所述判断。
在控制部5判断为相对湿度HB(％)小于第1阈值HC(％)的情况(在步骤S104中为YES(是)的情况)下，跳转至步骤S105，在控制部5判断为相对湿度HB(％)为第1阈值HC(％)以上的情况(在步骤S104中为NO(否)的情况)下，跳转至步骤S106。
在步骤S105中，控制部5使开闭阀64打开。由此，使冷却单元3执行冷却 动作。此外，在步骤S105完成之后，控制部5再次回到步骤S101的动作。
在步骤S106中，控制部5使开闭阀64关闭。由此，使冷却单元3的冷却动作停止。此外，在步骤S106完成之后，控制部5再次回到步骤S101的动作。
另一方面，在步骤S107中，控制部5使开闭阀64关闭。由此，使冷却单元3的冷却动作停止。
接下来，在步骤S108中，控制部5输出结露错误，通知用户产生结露的可能性非常高或者存在已产生结露的可能性，并接着在步骤S109中对马达53的旋转是否停止进行判断。
在控制部5判断为马达53的旋转已经停止的情况(在步骤S109中为YES(是)的情况)下，跳转至步骤S111，在控制部5判断为马达53的旋转尚未停止的情况(在步骤S109中为NO(否)的情况)下，跳转至步骤S110而将马达53的动作切换为制动动作。
在步骤S111中，控制部5对有无用户输入的复位指令进行判断，在判断为用户没有输入复位指令的情况(在步骤S111中为NO(否)的情况)下，进行待机，在判断为用户输入了复位指令的情况(在步骤S111中为YES(是)的情况)下，跳转至步骤S112而使结露错误复位。此外，在步骤S112完成之后，控制部5再次回到步骤S101的动作。
如图8所示，在第2结构例中，通过对计算出的相对湿度HB(％)与预先设定的第1阈值HC(％)和第2阈值HE(％)这两者进行比较并对检测出的温度TA(℃)与预先设定的第3阈值TC(℃)和第4阈值TD(℃)这两者进行比较，从而控制部5对冷却单元3的动作和泵主体2的动作(用于对涡轮分子泵部2a和螺纹槽真空泵部2b进行驱动的转子40的旋转动作、即马达53的旋转动作)进行控制。
具体而言，在检测出的温度TA(℃)小于第3阈值TC(℃)且计算出的相对湿度HB(％)小于第2阈值HE(％)的情况下，控制部5使开闭阀64封闭， 由此使冷却单元3的冷却动作停止。即，在第2位置处的温度较低的状态下，不管产生结露的可能性的大小如何，能够判断为原本进行冷却的必要性就较低，因此使冷却动作停止。
另外，在计算出的相对湿度HB(％)小于第1阈值HC(％)并且检测出的温度TA(℃)为第3阈值TC(℃)以上且小于第4阈值TD(℃)的情况下，控制部5使开闭阀64打开，由此使冷却单元3执行冷却动作。即，在第2位置处的温度较高且第1位置处的相对湿度较低的状态下，能够判断为尚未产生结露，因此执行冷却动作。
另外，在计算出的相对湿度HB(％)为第1阈值HC(％)以上且小于第2阈值HE(％)，并且检测出的温度TA(℃)为第3阈值TC(℃)以上且小于第4阈值TD(℃)的情况下，控制部5使开闭阀64封闭，由此使冷却单元3的冷却动作停止。即，在第2位置处的温度较高且第1位置处的相对湿度较高的状态下，能够判断为存在产生结露的可能性，因此使冷却动作停止。
另外，在检测出的温度TA(℃)为第4阈值TD(℃)以上且计算出的相对湿度HB(％)小于第2阈值HE(％)的情况下，控制部5使开闭阀64打开，由此使冷却单元3执行冷却动作。即，在第2位置处的温度显著较高的状态下，不管产生结露的可能性的大小如何，均能够判断为原本进行冷却的必要性就较高，因此执行冷却动作。
另外，在计算出的相对湿度HB(％)为第2阈值HE(％)以上的情况下，控制部5进行预先设定的结露错误处理而向用户通知结露错误。即，在第1位置处的相对湿度显著较高的状态下，能够判断为产生结露的可能性非常高或者存在已产生结露的可能性，因此将该状态通知用户。
能够通过例如图9所示的控制流程来实现所述控制动作。此外，该控制流程与所述第1结构例的情况同样地，控制部5通过读取并执行被存储在所述存储器部等中的程序来执行该控制流程。另外，由于图9所示的控制流程中 的、步骤S201、步骤S202以及步骤S209～步骤S214与所述第1结构例的步骤S101、步骤S102以及步骤S107～步骤S112是相同的，因此，不再赘述其说明。
如图9所示，在步骤S203中，控制部5对相对湿度HB(％)是否小于第2阈值HE(％)进行判断。具体而言，控制部5通过在判断部中对在步骤S202中计算出的相对湿度HB(％)与预先设定的第2阈值HE(％)进行比较，由此进行所述判断。
在控制部5判断为相对湿度HB(％)小于第2阈值HE(％)的情况(在步骤S203中为YES(是)的情况)下，跳转至步骤S204，在控制部5判断为相对湿度HB(％)为第2阈值HE(％)以上的情况(在步骤S203中为NO(否)的情况)下，跳转至步骤S209。
在步骤S204中，控制部5对温度TA(℃)是否高于第3阈值TC(℃)进行判断。具体而言，控制部5通过在判断部中对在步骤S201中检测出的温度TA(℃)与预先设定的第3阈值TC(℃)进行比较，由此进行所述判断。
在控制部5判断为温度TA(℃)高于第3阈值TC(℃)的情况(在步骤S204中为YES(是)的情况)下，跳转至步骤S205，在控制部5判断为温度TA(℃)为第3阈值TC(℃)以下的情况(在步骤S204中为NO(否)的情况)下，跳转至步骤S208。
在步骤S205中，控制部5对相对湿度HB(％)是否小于第1阈值HC(％)进行判断。具体而言，控制部5通过在判断部中对在步骤S202中计算出的相对湿度HB(％)与预先设定的第1阈值HC(％)进行比较，由此进行所述判断。
在控制部5判断为相对湿度HB(％)小于第1阈值HC(％)的情况(在步骤S205中为YES(是)的情况)下，跳转至步骤S206，在控制部5判断为相对湿度HB(％)为第1阈值HC(％)以上的情况(在步骤S205中为NO(否)的情况)下，跳转至步骤S207。
在步骤S207中，控制部5对温度TA(℃)是否高于第4阈值TD(℃)进行判断。具体而言，控制部5通过在判断部中对在步骤S201中检测出的温度TA(℃)与预先设定的第4阈值TD(℃)进行比较，由此进行所述判断。
在控制部5判断为温度TA(℃)高于第4阈值TD(℃)的情况(在步骤S207中为YES(是)的情况)下，跳转至步骤S206，在控制部5判断为温度TA(℃)为第4阈值TD(℃)以下的情况(在步骤S207中为NO(否)的情况)下，跳转至步骤S208。
在步骤S206中，控制部5使开闭阀64打开。由此，使冷却单元3执行冷却动作。此外，在步骤S206完成之后，控制部5再次回到步骤S201的动作。
在步骤S208中，控制部5使开闭阀64封闭。由此，使冷却单元3的冷却动作停止。此外，在步骤S208完成之后，控制部5再次回到步骤S201的动作。
如以上说明那样，通过构成本实施方式的分子泵1A，能够连续地对控制单元4的内部的作为最容易产生结露的部分的所述第1位置处的相对湿度进行稳定且准确的计算。此处，在将湿度传感器设于该第1位置的情况下，如上所述，因产生结露而附着于湿度传感器的结露液需要经过相当长的时间才会蒸发，结果产生了如下问题，即，在结露液蒸发之前的期间内，完全不能由湿度传感器进行湿度检测，但在本实施方式的分子泵1A中，由于为没有将湿度传感器设于该第1位置的结构，因此，当然不会产生这样的问题。
因此，通过设成所述那样的结构，能够连续地对原本应该进行测定的、最容易产生结露的部分的湿度进行稳定且准确的计算，因此，不仅能够可靠地防止产生结露，还不会使冷却动作不必要地停止，其结果，能够使分子泵高效地进行运转。因而，通过采用所述结构，能够构成高可靠性且高性能的分子泵。
第1变形例
图10是基于本实施方式的第1变形例的分子泵的示意性横剖视图。以下， 参照该图10来说明基于本实施方式的第1变形例的分子泵1B。
如图10所示，第1变形例的分子泵1B仅在设于冷却单元3的配管系统的结构上与所述本实施方式的分子泵1A不同。即，在分子泵1B中，作为与设于冷却组件60的冷却液流通路径61相连接的配管系统而具有入口侧端口62、出口侧端口63、旁路管65、以及切换阀66。
旁路管65是用于将入口侧端口62和出口侧端口63连接起来的配管，旁路管65的一端与设于入口侧端口62的切换阀66相连接，旁路管65的另一端与出口侧端口63相连接。切换阀66用于切换被供给到入口侧端口62的冷却液的流路。
由此，在通过切换阀66的切换而将未图示的供液设备和冷却液流通路径61经由入口侧端口62连接起来的状态下，向冷却液流通路径61供给冷却液而使冷却单元3执行冷却动作，在通过切换阀66的切换而将未图示的供液设备和旁路管65经由入口侧端口62连接起来的状态下，停止向冷却液流通路径61供给冷却液，从而使冷却单元3的冷却动作停止。
在为如此结构的情况下，通过替代在所述实施方式1中说明的开闭阀64的开闭控制而进行切换阀66的切换控制，也能够在冷却单元3执行冷却动作和使冷却单元3的冷却动作停止的动作之间进行切换，因此能够获得与在所述实施方式1中说明的效果相同的效果。
此处，本变形例的分子泵1B特别优选应用于如下情况：将多个分子泵以相互接近的方式设置且将设于这些多个分子泵的冷却单元经由供冷却液流通的配管串联地连接起来的情况。即，在这样的情形中，存在需要选择性地使在冷却单元被经由配管串联地连接起来的分子泵中的任意一个分子泵的冷却单元的冷却动作停止的情况，但在该情况下，通过采用所述结构，在位于冷却动作停止了的分子泵的下游侧的分子泵中，也能够继续地执行冷却动作。
第2变形例
图11是基于本实施方式的第2变形例的分子泵的示意性横剖视图。以下，参照该图11说明基于本实施方式的第2变形例的分子泵1C。
如图11所示，第2变形例的分子泵1C仅在控制单元4的罩70上设有作为换气机构的导入管74和导出管75这点上与所述本实施方式的分子泵1A不同。即，在分子泵1C中，由于具有作为所述换气机构的导入管74和导出管75，因此能根据需要对控制单元4的内部的气体进行换气。
导入管74用于向控制单元4的内部的空间供给氮气等非活性气体或空气等干燥气体，导入管74的一端与未图示的供气设备相连接，导入管74的另一端与罩70相连接。另一方面，导出管75用于将气体自控制单元4的内部的空间排出，导出管75的一端与未图示的排气设备相连接，导出管75的另一端与罩70相连接。
由此，通过自供气设备供给干燥气体，从而对控制单元4的内部的气体进行换气(即置换)。该换气动作优选在设有温度传感器90的所述第1位置处的相对湿度较高的状态(即，在能够判断为存在产生结露的可能性的情况)下执行，特别优选在例如图7所示的控制流程的步骤S106之后、步骤S107之后或者图9所示的控制流程的步骤S208之后、步骤S209之后执行。
在为如此结构的情况下，不仅具有所述实施方式1中说明的效果，而且通过所述换气机构的换气动作，能够进一步可靠地防止产生结露，同时能够使分子泵进一步高效地进行运转。
第3变形例
图12是基于本实施方式的第3变形例的分子泵的示意性纵剖视图。以下，参照该图12说明基于本实施方式的第3变形例的分子泵1D。
如图12所示，第3变形例的分子泵1D仅在在控制单元4的内部设有作为加热机构的加热器78这点上与所述第2变形例的分子泵1C不同。即，在分子泵 1D中，由于具有作为所述加热机构的加热器78，因此能根据需要对控制单元4的内部的气体进行加热。此外，虽然没有在图12中示出，但在第3变形例的分子泵1D中，也在罩70上设有作为换气机构的导入管74和导出管75。
加热器78由例如内置有电热线等的面状加热器构成，通过利用通电来对控制单元4的内部的气体进行加热，从而促进在控制单元4的内部产生的结露液进行蒸发。通过该加热器78的加热而蒸发了的水分会随着所述换气机构的换气动作而排出到控制单元4的外部。因而，该加热动作优选在设有温度传感器90的所述第1位置处的相对湿度显著较高的状态(即，在能够判断为产生结露的可能性非常高或者存在已产生结露的可能性的情况)下执行，特别优选在例如图7所示的控制流程的步骤S107之后或者图9所示的控制流程的步骤S209之后与所述换气动作连动地执行。
在为如此结构的情况下，不仅具有在所述第2变形例中说明的效果，而且通过所述加热机构的加热动作，能够在产生了结露的情况下迅速地消除该结露，从而能够使分子泵进一步高效地进行运转。
实施方式2
图13是本发明的实施方式2的分子泵的局部剖主视图，图14是图13所示的分子泵的仰视图。以下，参照这些图13和图14说明本实施方式的分子泵1E。
如图13和图14所示，本实施方式的分子泵1E仅在泵主体2、单个冷却单元3以及控制单元4的布局上与所述实施方式1的分子泵1A不同。具体而言，在分子泵1E中，泵主体2和控制单元4以在水平方向上相邻的方式配置，泵主体2和控制单元4均配置在冷却单元3上。由此，泵主体2和控制单元4成为排列设置在冷却单元3上的状态。
由该结构可知，同样地，在本实施方式的分子泵1E中，为了使冷却单元3和泵主体2热接触而也将它们配置为相接触，并且，为了使冷却单元3和控制单元4热接触而将它们配置为相接触。通过采用该结构，与所述实施方式1 的分子泵1A的情况同样地，能够利用单个冷却单元3来冷却泵主体2和控制单元4这两者，从而能够简化分子泵1E的整体结构。
此处，在本实施方式的分子泵1E中，温度传感器90安装于罩70的底板部的内表面上的规定位置(相当于第1位置)。另一方面，温湿度传感器80安装于第2基板72上的规定位置(第2位置)。此外，更优选的是，温度传感器90如图14所示那样设于罩70的内表面上的、与冷却组件60中的被配置为同罩70相接触的部位中的位于冷却液流通路径61的最上游侧的部分相对应的位置。该位置是能被冷却单元3最高效地冷却的位置，相当于控制单元4的内部的最容易产生结露的部分。
在为如此结构的情况下，也能够获得与在所述实施方式1中说明的效果相同的效果。即，通过设成所述那样的结构，能够连续地对原本应该进行测定的、最容易产生结露的部分的湿度进行稳定且准确的计算，因此，不仅能够可靠地防止产生结露，还不会使冷却动作不必要地停止，其结果，能够使分子泵高效地进行运转。因而，通过采用所述结构，能够构成高可靠性且高性能的分子泵。
实施方式3
图15是本发明的实施方式3的分子泵的局部剖主视图，图16是图15所示的分子泵的仰视图。以下，参照这些图15和图16说明本实施方式的分子泵1F。
如图15和图16所示，本实施方式的分子泵1F仅在与泵主体2和控制单元4分别相对应地设有一对冷却单元3这点上与所述实施方式2的分子泵1E不同。具体而言，在分子泵1F中，在一个冷却单元3的冷却组件60A上配置有泵主体2，在另一个冷却单元3的冷却组件60B上配置有控制单元4。
此处，一对冷却单元3分别具有设于各个冷却组件60A、60B的冷却液流通路径61以及作为与该冷却液流通路径61相连接的配管系统的、入口侧端口62、出口侧端口63和开闭阀64。此外，能够通过所述一对开闭阀64中的设置 在以与控制单元4相关联的方式设置的冷却单元3上的开闭阀64来执行对控制单元4实施的冷却动作和使该冷却动作停止的动作。
在为如此结构的情况下，也能够获得与在所述实施方式2中说明的效果相同的效果。即，通过设成所述那样的结构，能够连续地对原本应该进行测定的、最容易产生结露的部分的湿度进行稳定且准确的计算，因此，不仅能够可靠地防止产生结露，还不会使冷却动作不必要地停止，其结果，能够使分子泵高效地进行运转。因而，通过采用所述结构，能够制成高可靠性且高性能的分子泵。
在所述本发明的实施方式1～实施方式3和实施方式的变形例中，例示了通过对设于冷却单元的开闭阀的开闭动作或切换阀的切换动作进行控制来使冷却单元执行冷却动作和使该冷却动作停止的情况，但在分子泵本身内置有用于压送冷却液的泵等压送机构的情况下，也可以通过对该压送机构的动作进行控制来对冷却单元执行的冷却动作和使该冷却动作停止的动作进行控制。另外，也可以是，通过替代开闭阀或切换阀而将流量控制阀设于冷却单元，从而适当调节该流量控制阀的开度以对冷却单元执行的冷却动作更精细地进行控制。
另外，在基于所述本发明的实施方式1的第2变形例和第3变形例中，例示了将作为换气机构的导入管和导出管设于控制单元的罩的情况并进行了说明，但也可以是，不设置作为换气机构的导入管和导出管，而是将风扇等用于压送气体的压送机构作为换气机构内置在控制单元内，或者在设有作为换气机构的导入管和导出管的基础上将风扇等用于压送气体的压送机构作为换气机构内置在控制单元内。在该情况下，通过控制该压送机构的动作来对执行的换气动作和使该换气动作停止的动作进行控制即可。并且，若考虑到罩为半密闭型，则可以不必设置排气管。
另外，在所述本发明的实施方式1～实施方式3和实施方式的变形例中， 例示了作为设有温度传感器的所述第1位置而选择了罩的最容易产生结露的部分的情况，但未必需要选择该部分，作为所述第1位置，只要是比较容易产生结露的部分，就可以选择任何位置。
另外，在所述本发明的实施方式1～实施方式3和实施方式的变形例中，例示了作为设有温湿度传感器的所述第2位置而选择了电路基板上的位置的情况，但不一定必须选择该位置，作为所述第2位置，只要是比较难以产生结露的位置，就可以选择任何位置。
另外，在所述本发明的实施方式1～实施方式3和实施方式的变形例中，例示了将具有温度传感器和湿度传感器的复合传感器安装于所述第2位置的情况，但也可以将所述温度传感器和湿度传感器由彼此独立的单独的传感器构成。
另外，在所述本发明的实施方式1～实施方式3和实施方式的变形例中，例示了如下情况，即，不仅根据计算出的所述第1位置处的相对湿度而对冷却单元的冷却动作进行控制，还对泵主体的动作进行控制、在此基础上对换气机构的动作以及加热机构的动作进行控制，但当然，也可以根据计算出的所述第1位置处的相对湿度而仅对冷却单元的冷却动作进行控制。
另外，在所述本发明的实施方式1中示出的控制动作的第1结构例和第2结构例只不过示出了具体的控制动作的一个例子。当然也可以采用这些第1结构例和第2结构例以外的其他控制动作。
另外，在所述本发明的实施方式1～实施方式3和实施方式的变形例中，例示了将本发明应用于同时设置有涡轮分子泵部和螺纹槽真空泵部的所谓复合分子泵的情况，但当然也能够将本发明应用于不具有螺纹槽真空泵部的涡轮分子泵。
并且，在所述本发明的实施方式1～实施方式3和实施方式的变形例中示出的特征性的结构当然能够依照本发明的主旨在容许的范围内进行组合。
如上所述，此次公开的所述实施方式和其变形例的所有的发明点均为例示，而并不用于限定本发明。本发明的保护范围由权利要求所划定，另外，本发明的保护范围包括在与权利要求书的记载均等的含义和范围内进行的所有的变更。
附图标记说明
1A～1F、分子泵；2、泵主体；2a、涡轮分子泵部；2b、螺纹槽真空泵部；3、冷却单元；4、控制单元；5、控制部；6、电源部；8、排气路径；10、基座；11、排气管；20a、外侧定子；20b、内侧定子；21、初级侧螺纹槽部；22、次级侧螺纹槽部；23、闭塞部；30、壳体；31、进气口；32、兼用作间隔件的支承构件；33、静叶片；40、转子；41、上部侧转子部；42、下部侧转子部；43、动叶片；50、转子驱动机构；51、罩壳；52、旋转轴；53、马达；54、磁轴承；55、马达驱动电路；56、磁轴承驱动电路；60、冷却组件；61、冷却液流通路径；62、入口侧端口；63、出口侧端口；64、开闭阀；65、旁路管；66、切换阀；67、开闭阀驱动电路；70、罩；71、第1基板；72、第2基板；73、兼用作间隔件的支承构件；74、导入管；75、导出管；78、加热器；80、温湿度传感器；90、温度传感器。

Claims (10)

1.一种分子泵，该分子泵包括：泵主体，该泵主体设有具有动叶片和静叶片的涡轮分子泵部；控制单元，该控制单元设有控制部和电源部；以及冷却单元，其用于对所述控制单元进行冷却，该分子泵的特征在于，
以使所述冷却单元和所述控制单元热接触的方式将所述控制单元配置为与所述冷却单元相接触或接近所述冷却单元，
所述控制单元具有容纳有所述控制部和所述电源部的罩，
在处于所述罩的内部的位置且是在所述冷却单元进行工作时成为低温的位置即第1位置设有第1温度检测部，
在处于所述罩的内部的位置且是在所述冷却单元进行工作时成为温度比所述第1位置处的温度高的位置即第2位置设有湿度检测部和第2温度检测部，
所述控制部基于由所述第1温度检测部和所述第2温度检测部检测出的温度信息和由所述湿度检测部检测出的湿度信息计算出所述第1位置处的相对湿度，所述控制部根据该计算出的所述第1位置处的相对湿度来对所述冷却单元的动作进行控制。
2.根据权利要求1所述的分子泵，其中，
以使所述冷却单元和所述泵主体热接触的方式将所述泵主体配置为与所述冷却单元相接触或接近所述冷却单元。
3.根据权利要求2所述的分子泵，其中，
在所述相对湿度为预先设定的阈值以下的情况下，所述控制部使所述冷却单元执行冷却动作，在所述相对湿度高于所述阈值的情况下，所述控制部使所述冷却单元的冷却动作停止。
4.根据权利要求2或3所述的分子泵，其中，
所述第1位置是所述罩的内表面上的位于被配置为与所述冷却单元相接触或被配置为接近所述冷却单元的部分的位置，
所述第2位置是所述罩的内表面上的除了位于被配置为与所述冷却单元相接触或被配置为接近所述冷却单元的部分的位置以外的位置。
5.根据权利要求2或3所述的分子泵，其中，
所述第2位置是配置在所述控制单元的内部的电路基板上的位置。
6.根据权利要求2或3所述的分子泵，其中，
所述冷却单元以被所述泵主体和所述控制单元夹持的方式配置。
7.根据权利要求2或3所述的分子泵，其中，
所述泵主体和所述控制单元排列设置在所述冷却单元之上。
8.根据权利要求2或3所述的分子泵，其中，
所述控制部根据所述相对湿度来对所述涡轮分子泵部的动作进行控制。
9.根据权利要求2或3所述的分子泵，其中，
该分子泵还包括用于对所述控制单元的内部的气体进行换气的换气机构，
所述控制部根据所述相对湿度来对所述换气机构的动作进行控制。
10.根据权利要求9所述的分子泵，其中，
该分子泵还包括用于对所述控制单元的内部的气体进行加热的加热机构，
所述控制部根据所述相对湿度来对所述加热机构的动作进行控制。
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