JP5012203B2 - ファンフィルターユニット - Google Patents

Description

本発明は、半導体や液晶、プラズマディスプレイの製造工場にて、清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニット及びシステムに関する。

従来、この種のファンフィルターユニットを半導体やＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）を製造工程で一時的に保管するストッカーと呼ばれる装置や製造装置等に使用する場合、図１７に示すようにファンフィルターユニット４１のモーターの発熱による装置内の温度上昇を防止する手段として、ドライコイルユニット４４等の冷却装置を設けるシステム構成としている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００４−１０１０２７号公報 （図１、２）

このような従来のファンフィルターユニットを使用したシステムでは、ドライコイルユニットで冷却させるため、装置内に冷水の配管を引き込む必要があり、施工が複雑になるとともに、水漏れというリスクがあり、またその構成上ファンフィルターユニットから吹出された直後の空気はモーターの発熱の影響を受けて温度上昇を生じること、吹出し空気の部位によって温度差が生じ、温度分布が悪くなるという課題がある。また、最近のＦＰＤパネル大型化の動きに伴い、ストッカーにおいては多い場合、数十台から数百台以上のファンフィルターユニットが使用されることもあり、ドライコイルユニットも多数設置する必要が多くなってきており、信頼性の向上やリスク低減のために、ファンフィルターユニットの発熱を抑制する技術が求められている。

本発明は、このような課題を解決するもので、吹出し空気に与えるモーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置台数を削減するとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤパネルに対する熱影響を抑制できるファンフィルターユニットが得られることを目的とする。

本発明のファンフィルターユニットは、上記の目的を達成するために、箱型形状のチャンバー上部に吸込部を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、このファンユニットの吹出側にフィルターを取り付けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーターはモーターサポートによってチャンバーに固定されるとともに、上流側に負荷となる前記ファンを設け、前記モーターの反負荷側ハウジングには複数の風穴を設け、その反負荷側ハウジング全体は空気排気用ポートを設けた冷却用カバーで覆われており、また、前記モーターの負荷側ハウジングには空気供給用ポートが設けられ、前記チャンバー外部から空気を導く導管を空気供給用ポートに接続するとともに、空気排気用ポートに前記チャンバー外部へ空気を導く導管を接続したものである。

上記構成により、この空気供給用ポートに接続された導管に冷却用空気（一般的にはドライエアー）を供給することで、モーターの内部を冷却し、反負荷側ハウジングの複数の風穴から冷却用カバーの内部へ放出された後に、空気排気用ポートに接続された導管よりファンフィルターユニット外部へ排気することになり、ファンフィルターユニットから吹出される清浄空気へのモーターからの発熱の影響を抑制し、冷却用としてのドライコイルユニット等の装置内への設置台数を削減するとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤパネルに対する熱影響を抑えるようにしたものである。

また、他の手段は、複数の空気供給用ポートと複数の空気排気用ポートを設けたものである。

また、他の手段は、空気供給用ポートに接続した導管と空気排気用ポートに接続した導管を断熱材で覆った構造からなるものである。

また、他の手段は、空気供給用ポートに接続した導管の内径が、空気排気用ポートに接続した導管の内径よりも細い構造からなるものである。

また、他の手段は、冷却用カバーを断熱材で覆った構造からなるものである。

また、他の手段は、モーターに内蔵されている負荷側のベアリングはＯリング付密閉型ベアリングを使用するものである。

また、他の手段は、空気供給用ポートに接続した導管の一端に流量調整バルブを設けたものである。

また、他の手段は、空気供給用ポートに接続した導管の一端に圧力調整バルブを設けたものである。

また、他の手段は、モータの負荷側ハウジングの天面に風穴を設け、その風穴を覆うようにトンネル型の空気供給用ポートを設け、前記モーター天面より空気を導入させるよう設けられたものである。

このような手段を有することにより、ファンフィルターユニットから吹出される清浄空気へのモーターからの発熱の影響を抑制し、冷却用としてのドライコイルユニット等の装置内への設置台数を削減するとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤパネルに対する熱影響を抑えるようにしたものである。

また、他の手段は、導管には、フレキシブルな性質を持つチューブを使用したものである。

このような手段を有することにより、チャンバー内での導管経路が狭い場合でも自在に配管することが出来る。

本発明によれば、空気供給用ポートに接続した導管を通して、モーター内部や冷却用カバー内部へ冷却用空気が供給されることで、モーターの発熱を冷却し、空気排気用ポートに接続した導管を経てチャンバー外部へ排出されることにより、ファンフィルターユニットからの清浄空気がモーターの発熱の影響による温度上昇を生じることなく吹出されることになり、ファンフィルターユニットから吹出される清浄空気を冷却するためのドライコイルユニットの設置台数を削減することが出来る。さらに、清浄空気の温度上昇が抑えられることから、清浄空気が吹出される際の温度分布も均一になる。

また、本発明によれば、空気供給用ポート及び空気排気用ポートを複数個設けることで、モーター内部や冷却カバー内部に、より多くの冷却用空気を送り込むことができることによって、モーターの発熱を冷却する効果が得られる。

また、本発明によれば、空気供給用ポートに接続した冷却用空気（給気）を導く導管と空気排気用ポートや送風装置の吐出部に接続した冷却用空気（排気）を導く導管を断熱材で覆うことによって、導管内部を通る冷却用空気（給気）や冷却用空気（排気）によって発生する輻射熱の影響を抑制する効果が得られる。

また、空気供給用ポートに接続した導管の管径が、空気排気用ポートに接続した導管の管径よりも細い構造とすることによって、モーター内部へ流入する冷却用空気により、内圧が上昇することを抑制し、モーター内部で使用しているケミカル物質が外部へ噴出してしまうことを抑止する効果が得られる。

また、本発明によれば、冷却用カバーを断熱材で覆うことによって、冷却用カバーからの輻射熱の影響を抑制する効果が得られる。

また、本発明によれば、モーターに内蔵されている負荷側のベアリングはＯリング付密閉型ベアリングを使用することによって、モーター内部で使用しているケミカル物質が外部へ噴出してしまうことを抑止する効果が得られる。

また、本発明によれば、空気供給用ポートに接続した導管の一端に流量調整バルブや圧力調整バルブを設けることによって、多数のファンフィルターユニットが設置され、冷却用空気の供給経路での抵抗が大きく異なる場合やモーターの出力が異なるファンフィルターユニットを混在設置する場合において、個々のファンフィルターユニットごとに冷却用空気の導入流量や導入圧力が適切に調整できる効果がある。

また、本発明によれば、空気供給用ポートの形状をトンネル型の形状とし、モーター天面より空気を導入させるよう設けることにより、冷却用空気がモーターの負荷側ハウジングの上面全体から内部へ流入することで接触効率を向上させることによって、モーターの発熱を冷却する効果が得られる。

また、本発明によれば、導管には、フレキシブルな性質を持つチューブを使用することによって、ファンフィルターユニットの内部にて導管経路を自在に配管できる効果が得られる。

本発明の実施の形態１を示す縦断面図 参考例１を示す縦断面図 参考例２を示す縦断面図 参考例２の風向ガイド内蔵冷却用カバー詳細図 参考例３を示す縦断面図 本発明の実施の形態２を示す縦断面図 本発明の実施の形態３を示す縦断面図 本発明の実施の形態４を示す縦断面図 本発明の実施の形態５を示す縦断面図 本発明の実施の形態６を示すモーターの負荷側ハウジング内部の縦断面図 本発明の実施の形態７を示す縦断面図 本発明の実施の形態８を示す縦断面図 本発明の実施の形態９を示す縦断面図 本発明の実施の形態９のトンネル形状ポートの等角投影図 本発明の実施の形態９のトンネル形状ポートを示す図（（ａ）平面図、（ｂ）断面図、（ｃ）側面図） 本発明の実施の形態１０を示す縦断面図 従来のファンフィルターユニットを使用したシステムを示す図

本発明の請求項１記載の発明は、箱型形状のチャンバー上部に吸込部を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、このファンユニットの吹出側にフィルターを取り付け、前記モーターはモーターサポートによってチャンバーに固定されるとともに、上流側に負荷となる前記ファンを設け、前記モーターの反負荷側ハウジングには複数の風穴を設け、その反負荷側ハウジング全体は空気排気用ポートを設けた冷却用カバーで覆われており、また、前記モーターの負荷側ハウジングには空気供給用ポートが設けられ、前記チャンバー外部から空気を導く導管を空気供給用ポートに接続するとともに、空気排気用ポートに前記チャンバー外部へ空気を導く導管を接続したものであり、この空気供給用ポートに接続された導管に冷却用空気を供給することで、モーターの内部を冷却し、反負荷側ハウジングの複数の風穴から冷却用カバーの内部へ放出された後に、空気排気用ポートに接続された導管よりファンフィルターユニット外部へ排気することになり、ファンフィルターユニットから吹出される清浄空気へのモーターからの発熱の影響を抑制し、冷却用としてのドライコイルユニット等の装置内への設置台数を削減するとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤパネルに対する熱影響を抑えるようにしたものである。

また、複数の空気供給用ポートと複数の空気排気用ポートを設けたものであり、冷却用空気の導入量や吐出量が増加して、冷却効果を向上させるとともに、モーター内部へかかる圧力を低減させることになり、モーター内部で使用しているケミカル物質の外部への噴出を抑止できるという作用を有する。

また、空気供給用ポートに接続した導管と空気排気用ポートに接続した導管を断熱材で覆った構造からなるものであり、温度が上昇した冷却用空気が導管内部を通過することで発生する導管からの輻射熱を抑制されることになる。このことにより、ファンフィルターユニットから吹出される清浄空気への導管からの熱影響を抑制し、冷却用としてのドライコイルユニットの装置内への設置台数を削減するとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤパネルへの熱影響を抑制する作用を有する。

また、空気供給用ポートに接続した導管の内径が、空気排気用ポートに接続した導管の内径よりも細い構造からなるものであり、冷却用空気の吐出量が導入量より多くなって、
モーター内部へかかる圧力が上昇することを抑制するとともに、モーター内部で使用しているケミカル物質の外部への噴出を抑止できるという作用を有する。

また、冷却用カバーを断熱材で覆った構造からなるものであり、冷却用カバーからの輻射熱を抑制して、ファンフィルターユニットから吹出される空気の温度上昇を防止する。従って、冷却用としてのドライコイルユニットの装置内への設置台数を削減するとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤパネルへの熱影響を抑制する作用を有する。

また、モーターに内蔵されている負荷側のベアリングはＯリング付密閉型ベアリングを使用するものであり、モーター負荷側ハウジングのベアリングハウス内壁とベアリングとの密閉性が向上して、シャフト周辺からの冷却用空気の漏れが抑制され、漏れと同時に発生するケミカル物質の噴出を抑止できるという作用を有する。

また、空気供給用ポートに接続した導管の一端に流量調整バルブを設けたものであり、多数のファンフィルターユニットが設置され、冷却用空気の供給経路での抵抗が大きく異なる場合やモーターの出力が異なるファンフィルターユニットを混在設置する場合において、個々のファンフィルターユニットごとに流量調整バルブを設けて冷却用空気の導入流量が適切に調整できる作用を有する。

また、空気供給用ポートに接続した導管の一端に圧力調整バルブを設けたものであり、多数のファンフィルターユニットが設置され、冷却用空気の供給経路での抵抗が大きく異なる場合やモーターの出力が異なるファンフィルターユニットを混在設置する場合において、個々のファンフィルターユニットごとに圧力調整バルブを設けて冷却用空気の導入圧力が適切に調整できる作用を有する。

また、モータの負荷側ハウジングの天面に風穴を設け、その風穴を覆うようにトンネル型の空気供給用ポートを設け、前記モーター天面より空気を導入させるよう設けられたものであり、冷却用空気がモーターの負荷側ハウジングの天面全体からモーター内部へ流入し、発熱体であるステーターやローターと冷却用空気との接触効率が向上することで、モーターの発熱を冷却することになり、温度が上昇した冷却用空気は空気排気用ポートに接続された導管よりファンフィルターユニット外部へ排気されることになる。このことにより、モーターのハウジングの表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出される清浄空気へのモーターの発熱の影響を抑制し、冷却用としてのドライコイルユニットの装置内への設置台数を削減するとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤパネルへの熱影響を抑制する作用を有する。

また、導管には、フレキシブルな性質を持つチューブを使用したものである。

このような手段を有することにより、チャンバー内での導管経路が狭い場合でも自在に配管することが出来る。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

（実施の形態１）
図１に示すように、箱型形状のチャンバー５に吸込部１を有し、ファン２とモーター３からなるファンユニット４をチャンバー５に内蔵し、その下方にフィルター６を取り付けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター３の負荷側ハウジング３ａに設けた空気供給用ポート９と前記チャンバー５の外部から冷却用空気（給気）１２を導く導管７を接続するとともに、反負荷側ハウジング３ｂはモーターサポート１５へ取り付けた冷却
用カバー８で覆い、冷却用カバー８には空気排気用ポート１０と前記チャンバー５の外部へ冷却用空気（排気）１３を導く導管７を接続する。

上記構成において、外部から導入された冷却用空気（給気）１２は、モーター３の負荷側ハウジング３ａ内部に導かれ、反負荷側ハウジング３ｂの複数の風穴１１から放出されることで、モーター３を冷却することになる。モーター３を冷却することで温度上昇した冷却用空気（排気）１３は空気排気用ポート１０から接続された導管７を通って、チャンバー５の外部へ排気されることによって、ファンフィルターユニットから吹出される清浄空気１４に対するモーター３の発熱の影響を抑制することができる。

また、複数の風穴１１を設けることで、冷却用空気（給気）１２の通気性が良好になるため、噴出される冷却用空気（排気）１３の流量を増加させて、冷却効果を向上させることが可能であり、かつモーター３内部へかかる圧力の上昇を抑制できることから、モーター３内部で使用しているケミカル物質が噴出してしまうことも抑止する作用を有する。

（参考例１）
図２に示すように、箱型形状のチャンバー５に吸込部１を有し、ファン２とモーター３からなるファンユニット４をチャンバー５に内蔵し、その下方にフィルター６を取り付けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター３全体はモーターサポート１５へ取り付けられた冷却用カバー８で覆い、冷却用カバー８に設けた空気供給用ポート９と前記チャンバー５の外部から冷却用空気（給気）１２を導く導管７を接続するとともに、相対する位置に空気排気用ポート１０を設けて、前記チャンバー５の外部へ冷却用空気（排気）１３を導く導管７を接続する。

上記構成において、外部から導入された冷却用空気（給気）１２は、冷却用カバー８内部に導かれ、モーター３の外表面全体に接触することで、モーター３を冷却することになる。モーター３を冷却することで温度上昇した冷却用空気（排気）１３は空気排気用ポート１０から接続された導管７を通って、チャンバー５の外部へ排気されることによって、ファンフィルターユニットから吹出される清浄空気１４に対するモーター３の発熱の影響を抑制することができる。

また、実施の形態１とは異なりモーター３内部には冷却用空気（給気）１２が導入されない形態であるため、冷却効果の向上を目的として冷却用空気（給気）１２の流量を増加させても、モーター３内部に圧力がかかることは無く、モーター３内部で使用しているケミカル物質が外部へ噴出してしまうことを抑止する作用を有する。

（参考例２）
図３に示すように、箱型形状のチャンバー５に吸込部１を有し、ファン２とモーター３からなるファンユニット４をチャンバー５に内蔵し、その下方にフィルター６を取り付けたファンフィルターユニットにおいて、内部に風向ガイド１７が設けられ、前記モーター３全体はモーターサポート１５へ取り付けられた風向ガイド内蔵冷却用カバー１６で覆い、風向ガイド内蔵冷却用カバー１６に設けた空気供給用ポート９と前記チャンバー５の外部から冷却用空気（給気）１２を導く導管７を接続するとともに、相対する位置に空気排気用ポート１０を設けて、前記チャンバー５の外部へ冷却用空気（排気）１３を導く導管７を接続する。

上記構成において、外部から導入された冷却用空気（給気）１２は、風向ガイド内蔵冷却用カバー１６内部に導かれ、螺旋状に設けられた風向ガイド１７に従い、旋回しながら、モーター３の外表面に順次接触することで、効率的にモーター３を冷却することになる。モーター３を冷却することで温度上昇した冷却用空気（排気）１３は空気排気用ポート
１０から接続された導管７を通って、チャンバー５の外部へ排気されることによって、ファンフィルターユニットから吹出される清浄空気１４に対するモーター３の発熱の影響を抑制することができる。

また、実施の形態１とは異なりモーター３内部には冷却用空気（給気）１２が導入されない形態であるため、更なる冷却効果の向上を目的として冷却用空気（給気）１２の流量を増加させても、モーター３内部に圧力がかかることは無く、モーター３内部で使用しているケミカル物質が外部へ噴出してしまうことを抑止する作用を有する。

図４は風向ガイド内蔵冷却用カバー詳細図である。風向ガイド内蔵冷却用カバー１６には空気供給用ポート９を設けるとともに、相対する位置には空気排気用ポート１０を設けて、それぞれに導管７を接続する。風向ガイド内蔵冷却用カバー１６の内部には、螺旋状に風向ガイド１７を配設する。

上記構成において、外部から導入された冷却用空気（給気）１２は、風向ガイド１７に沿って旋回しながら風向ガイド内蔵冷却用カバー１６内部を流れ、モーター３の外表面に順次接触することで、風向ガイド１７が無い場合よりも、冷却効果が効果的である。

なお、本参考例においては、風向ガイド内蔵冷却用カバー１６には、螺旋状の風向ガイド１７を用いたが、空気供給用ポート９から空気排気用ポート１０に空気を案内する形状であれば、その他の形状でもよい。

（参考例３）
図５に示すように、箱型形状のチャンバー５に吸込部１を有し、ファン２とモーター３からなるファンユニット４をチャンバー５に内蔵し、その下方にフィルター６を取り付けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター３の負荷側ハウジング３ａと反負荷側ハウジング３ｂには複数の風穴１１が開けられており、反負荷側ハウジング３ｂはモーターサポート１５に取り付けた冷却用カバー８で覆い、冷却用カバー８の内部には送風装置１８を設け、送風装置１８の吐出部には、空気排気用ポート１０と前記チャンバー５の外部へ冷却用空気（排気）１３を導く導管７を接続する。

上記構成において、送風装置１８を稼動させることにより、チャンバー５内部の空気が負荷側ハウジング３ａの複数の風穴１１よりモーター３の内部へ導かれ、反負荷側ハウジング３ｂの複数の風穴１１から放出されることで、モーター３を冷却することになる。モーター３を冷却することで温度上昇した冷却用空気（排気）１３は送風装置１８に吸込まれ、空気排気用ポート１０から接続された導管７を通って、チャンバー５の外部へ排気されることによって、ファンフィルターユニットから吹出される清浄空気１４に対するモーター３の発熱の影響を抑制することができる。また、冷却用空気（給気）１２を必要としないことから、冷却用空気の発生装置や供給用配管が不要となるため、コストダウンにつながる。

また、送風装置１８が稼動することで、モーター３内部を冷却用空気（給気）１２が通過するものの、送風装置１８によって吸引されているので、モーター３内部の圧力が上昇することは抑制されるとともに、モーター３内部で使用しているケミカル物質が外部へ噴出してしまうことを抑止する作用を有する。

（実施の形態２）
第２の実施の形態について、図６を用いて説明する。実施の形態１〜３と同じ構成については同じ番号を付し詳細な説明を省略する。

図６に示すように、モーター３全体はモーターサポート１５へ取り付けられた冷却用カバー８で覆い、その冷却用カバー８には、複数個の空気供給用ポート９と複数個の空気排気用ポート１０を設ける。空気供給用ポート９には、前記チャンバー５の外部から冷却用空気（給気）１２を導く導管７を接続する。空気排気用ポート１０には、前記チャンバー５の外部へ冷却用空気（排気）１３を導く導管７を接続する。

上記構成によって、モーター３内部や冷却用カバー８内部へ導入される冷却用空気（給気）１２が増加し、冷却効果を向上させることができる。また、冷却用空気（排気）１３の吐出量が増えることで、モーター３内部へかかる圧力が上昇することを抑制するとともに、モーター３内部に使用しているケミカル物質が外部へ噴出することを抑止させることができる。

（実施の形態３）
第３の実施の形態について、図７を用いて説明する。前述の実施の形態、参考例と同じ構成については同じ番号を付し詳細な説明を省略する。

図７に示すように、チャンバー５外部から冷却用空気（給気）１２を導くために空気供給用ポート９と接続されている導管７全体と、チャンバー５外部へ冷却用空気（排気）１３を導くために空気排気用ポート１０と接続されている導管７全体を、断熱材１９ａで覆う。

上記構成において、冷却用空気（給気）１２や、特にモーター３を冷却することで温度上昇した冷却用空気（排気）１３の熱が導管７へ伝わるが、断熱材１９ａによって導管７からの放熱を抑制し、ファンフィルターユニットから吹出される清浄空気１４に対するモーター３の発熱の影響を抑制することができる。

（実施の形態４）
第４の実施の形態について、図８を用いて説明する。前述の実施の形態、参考例と同じ構成については同じ番号を付し詳細な説明を省略する。

図８に示すように、チャンバー５外部から冷却用空気（給気）１２を導入するために空気供給用ポート９と接続されている導管７の内径よりも、チャンバー５外部へ冷却用空気（排気）１３を導くために空気排気用ポート１０と接続されている内径拡大導管７ａの内径のほうが太くなっている。

上記構成において、冷却用空気（排気）１３の吐出量が増えることで、モーター３内部及び冷却用カバー８内部へかかる圧力を低下させつつ、冷却用空気（給気）１２を導入させることが可能となり、それによって、モーター３への冷却効果がより効果的となる。また、モーター３内部に使用しているケミカル物質の噴出を抑止させることができる。

（実施の形態５）
第５の実施の形態について、図９を用いて説明する。前述の実施の形態、参考例と同じ構成については同じ番号を付し詳細な説明を省略する。

図９に示すように、冷却用空気（給気）１２が導入される冷却用カバー８及び風向ガイド内蔵冷却用カバー１６の外表面全体を断熱材１９ｂで覆う。

上記構成において、モーター３を冷却することで温度上昇した冷却用空気（排気）１３の熱が冷却用カバー８からの輻射熱としての発生することを抑制し、ファンフィルターユニットから吹出される清浄空気１４に対するモーター３の発熱の影響を抑制することが出
来る。

（実施の形態６）
第６の実施の形態について、図１０を用いて説明する。前述の実施の形態、参考例と同じ構成については同じ番号を付し詳細な説明を省略する。

図１０に示すように、モーター３に内蔵されている負荷側ハウジング３ａのベアリングに、Ｏリング付密閉型ベアリング２０を内蔵する。

上記構成において、負荷側ハウジング３ａの内壁と、Ｏリング付密閉型ベアリング２０のＯリングが密着していることから、シール性が向上する。それにより、モーター３内部へ導入された冷却用空気（給気）１２がベアリング外周から漏洩することがなく、冷却用空気流れ方向１２ａのような流れとなることから、ベアリング周辺に塗付されているケミカル物質がシャフト周辺から噴出することを抑止することが出来る。

（実施の形態７）
第７の実施の形態について、図１１を用いて説明する。前述の実施の形態、参考例と同じ構成については同じ番号を付し詳細な説明を省略する。

図１１に示すように、空気供給用ポート９に接続した導管７の経路途中に流量調整バルブ２１を設ける。

上記構成によって、ファンフィルターユニットに供給される冷却用空気（給気）１２の流量調整を容易に行なうことが出来る。ファンフィルターユニットをストッカーへ設置する場合、多い時には数十台から数百台を同時に使用する場合があり、設置台数が多い場合はそれぞれに供給される冷却用空気（給気）１２の流量がばらつくので、容易な流量調整が必要となる。

（実施の形態８）
第８の実施の形態について、図１２を用いて説明する。前述の実施の形態、参考例と同じ構成については同じ番号を付し詳細な説明を省略する。

図１２に示すように、空気供給用ポート９に接続した導管７の経路途中に圧力調整バルブ２２を設ける。

上記構成によって、ファンフィルターユニットに供給される冷却用空気（給気）１２の圧力調整を容易に行なうことが出来る。ファンフィルターユニットをストッカーへ設置する場合、多い時には数十台から数百台を同時に使用する場合があり、設置台数が多い場合はそれぞれに供給される冷却用空気（給気）１２の圧力がばらつくので、容易な圧力調整が必要となる。

（実施の形態９）
第９の実施の形態について、図１３、１４、１５を用いて説明する。前述の実施の形態、参考例と同じ構成については同じ番号を付し詳細な説明を省略する。

図１３に示すように、モーター３天面を覆うようにトンネル形状ポート２３を設ける。トンネル形状ポート２３には、冷却用空気（給気）１２を導くために内部が空洞となっている。モーター３の負荷側のハウジング３ａの天面にはモーター３内に空気を導入する風穴が設けられている。トンネル形状ポート２３は、トンネルの形状を成すようにモーター３の天面の風穴を覆うように設けられる。

上記構成において、外部から導入された冷却用空気（給気）１２は、トンネル形状ポート２３によってモーター３天面から均一に導入され、反負荷側ハウジング３ｂの複数の風穴１１から放出されることで、モーター３を冷却することになる。モーター３を冷却することで温度上昇した冷却用空気（排気）１３は空気排気用ポート１０から接続された導管７を通って、チャンバー５の外部へ排気されることによって、ファンフィルターユニットから吹出される清浄空気１４に対するモーター３の発熱の影響を抑制することができる。また、冷却用空気（給気）１２は、モーター３天面から均一に導入されることで、モーター３内部の発熱体にも均一に接触することになり、効率的な冷却効果が可能となる。

図１４、１５はトンネル形状ポートの等角投影図と正面図、断面図、側面図である。

トンネル形状ポート２３は、冷却用空気導入口２６が設けてあり、かつ内部は空洞となっている。トンネル形状ポート２３が配設されるモーター３の負荷側ハウジング３ａの天面には、モーター天面口２７があけられており、冷却用空気（給気）１２が均一にモーター３内部へ流入する構造となっている。

上記構成において、冷却用空気導入口２６から導入された冷却用空気（給気）１２は、トンネル形状ポート２３によって、モーター３天面へ均一に拡がり、モーター天面口２７からモーター３内部へ導入される。

（実施の形態１０）
第１０の実施の形態について、図１６を用いて説明する。前述の実施の形態、参考例と同じ構成については同じ番号を付し詳細な説明を省略する。

図１６に示すように、チャンバー５外部から冷却用空気（給気）１２を導くために空気供給用ポート９にフレキシブルチューブ２４を接続するとともに、チャンバー５外部へ冷却用空気（排気）１３を導くための空気排気用ポート１０にフレキシブルチューブ２４を接続する。フレキシブルチューブ２４は、ファン２への干渉を防ぐため、結束バンド２５にてモーターサポート１５に固定する。

上記構成において、薄形化が望まれるファンフィルターユニットではチャンバー５内部が非常に狭い状況であり、鋼管などでは配管することが困難となることが考えられ、フレキシブルチューブ２４のような可とう性のある配管材料にて自在に配管できることで、作業性の向上を図ることができる。

本発明によれば、モーターの発熱の影響を抑制することができ、ドライコイルユニットの装置内への設置台数を削減することで設備費の削減、水漏れリスクの低減が図れ、また温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤパネルへの熱影響を抑えられることになり、半導体やＦＰＤ用のストッカーに使用されるファンフィルターユニットに適用できる。

１ 吸込部
２ ファン
３ モーター
３ａ 負荷側ハウジング
３ｂ 反負荷側ハウジング
４ ファンユニット
５ チャンバー
６ フィルター
７ 導管
７ａ 内径拡大導管
８ 冷却用カバー
９ 空気供給用ポート
１０ 空気排気用ポート
１１ 風穴
１２ 冷却用空気（給気）
１２ａ 冷却用空気流れ方向
１３ 冷却用空気（排気）
１４ 清浄空気
１５ モーターサポート
１６ 風向ガイド内蔵冷却用カバー
１７ 風向ガイド
１８ 送風装置
１９ａ，１９ｂ 断熱材
２０ Ｏリング付密閉型ベアリング
２１ 流量調整バルブ
２２ 圧力調整バルブ
２３ トンネル形状ポート
２４ フレキシブルチューブ
２５ 結束バンド
２６ 冷却用空気導入口
２７ モーター天面口
４１ ファンフィルターユニット
４２ 送風装置
４３ ドライコイル
４４ ドライコイルユニット
４５ 半導体またはＦＰＤ用カセット

Claims (10)

1. 箱型形状のチャンバー上部に吸込部を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、このファンユニットの吹出側にフィルターを取り付けたファンフィルターユニットにおいて、
   前記モーターはモーターサポートによってチャンバーに固定されるとともに、
   上流側に負荷となる前記ファンを設け、
   前記モーターの反負荷側ハウジングには複数の風穴を設け、
   その反負荷側ハウジング全体は空気排気用ポートを設けた冷却用カバーで覆われており、また、前記モーターの負荷側ハウジングには空気供給用ポートが設けられ、
   前記チャンバー外部から空気を導く導管を空気供給用ポートに接続するとともに、空気排気用ポートに前記チャンバー外部へ空気を導く導管を接続したファンフィルターユニット。
2. 複数の空気供給用ポートと複数の空気排気用ポートを設けた請求項１に記載のファンフィルターユニット。
3. 空気供給用ポートに接続した導管と空気排気用ポートに接続した導管を断熱材で覆った構造からなる請求項１または２に記載のファンフィルターユニット。
4. 空気供給用ポートに接続した導管の内径が、空気排気用ポートに接続した導管の内径よりも細い構造からなる請求項１〜３いずれか１項に記載のファンフィルターユニット。
5. 冷却用カバーを断熱材で覆った構造からなる請求項１〜４いずれか１項に記載のファンフィルターユニット。
6. モーターに内蔵されている負荷側のベアリングはＯリング付密閉型ベアリングを使用する構造からなる請求項１〜５のいずれか１項に記載のファンフィルターユニット。
7. 空気供給用ポートに接続した導管の一端に流量調整バルブを設けた構造からなる請求項１〜６いずれか１項に記載のファンフィルターユニット。
8. 空気供給用ポートに接続した導管の一端に圧力調整バルブを設けた構造からなる請求項１〜７いずれか１項に記載のファンフィルターユニット。
9. 前記モータの負荷側ハウジングの天面に風穴を設け、その風穴を覆うようにトンネル型の空気供給用ポートを設け、前記モーター天面より空気を導入させるよう設けられた構造からなる請求項１〜８いずれか１項に記載のファンフィルターユニット。
10. 導管には、フレキシブルな性質を持つチューブを使用した構造からなる請求項１〜９いずれか１項に記載のファンフィルターユニット。

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