JP2009092325A - ファンフィルターユニットおよびそれを用いたクリーンシステム - Google Patents
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Abstract
【課題】ファンフィルターユニットにおいて装着されているモータの発熱を清浄空気に対し、温度影響を与えないファンフィルターユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端に磁性体の駆動プレート7を設け、前記ファン3には両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13とこのファンシャフト13の前記モーター2に対峙する一端にマグネット15を設けた誘導プレート14を設けることで、前記モーター2の回転が非接触でファン3に伝達され、前記モーター2の発熱が前記ファン3、清浄空気28に伝わることを防止出来、清浄空気28に対して温度影響を与えないファンフィルターユニットが得られる。
【選択図】図1
【解決手段】チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端に磁性体の駆動プレート7を設け、前記ファン3には両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13とこのファンシャフト13の前記モーター2に対峙する一端にマグネット15を設けた誘導プレート14を設けることで、前記モーター2の回転が非接触でファン3に伝達され、前記モーター2の発熱が前記ファン3、清浄空気28に伝わることを防止出来、清浄空気28に対して温度影響を与えないファンフィルターユニットが得られる。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体工場、FPD工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットおよびシステムに関する。
従来、この種のファンフィルターユニットを半導体やFPDを製造工程で一時的に保管するストッカーと呼ばれる装置や製造装置等に使用する場合、ファンフィルターユニットのモーターの発熱による装置内の温度上昇を防止する手段として、図14に示すようにドライコイルユニット等の冷却装置を設けるシステム構成としている(例えば特許文献1参照)。
特開2004−101027号公報(図1,2)
このような従来のファンフィルターユニットを使用したシステムでは、ドライコイルユニットで冷却させるため、装置内に冷水の配管を引き込む必要があり、施工が複雑になると共に水漏れというリスクがあり、また、その構成上ファンフィルターユニットから吹出された直後の空気はモーターの発熱の影響を受けて温度上昇を生じること、吹出し空気の部位によって温度差が生じ、温度分布が悪くなるという課題がある。また、最近のFPDパネルの大型化の動きに伴い、ストッカーにおいては多い場合、百台以上のファンフィルターユニットが使用されることもあり、ドライコイルユニットも多数設置する必要が多くなってきており、信頼性を高め、リスクを低減させるために、ファンフィルターユニットの発熱を抑制する技術が求められている。
また、モーターを冷却する手段についても種々提案されているが、モーターの発熱はモーターに直結したファンにシャフトを介して伝達、ファンから吹出す清浄空気へ熱を放出することで、モーターの冷却が充分に機能しないという課題がある。
本発明は、このような従来のファンフィルターユニットの課題を解決するものであり、その吹出し空気に与えるモーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を抑えられるファンフィルターユニットが得られる。
本発明のファンフィルターユニットは、上記目的を達成するためにチャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備え、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルターユニットにあって、前記モーターと前記ファンの間の熱伝達を防止する熱絶縁の構造としたファンフィルターユニット。
他の手段は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備え、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルターユニットにあって、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設けると共に、前記モーターのケースに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを設けることにより、モーターの回転はシャフトに取り付けた磁性体の駆動プレート回転により、マグネットを設けた誘導プレートを非接触で回転させることになり、ファンシャフトを通してファンに回転を伝え、送風を行うことになる。この時前記モーターと前記ファンは非接触のため熱的に絶縁された状態であり、前記モーターの発熱が前記ファンに伝熱することを防止すると共に、空気供給用のポートに接続された供給用導管に空気(一般的にはドライエアー)を供給することでモーターを冷却し、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部へ排気されることになり、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
また、他の手段は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備え、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルターユニットにあって、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、この駆動プレートに相対する面を非磁性体で構成した前記モーターを覆うカバーを設けると共に、このカバーに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトのモーターに対峙する一端にマグネットを装着した誘導プレートを設けることにより、発熱部である前記モーターをカバー内に密閉すると共に、モーターの回転はシャフトに取り付けた磁性体の駆動プレート回転により、カバーの非磁性体部を通してマグネットを設けた誘導プレートを非接触で回転させることになり、ファンシャフトを通してファンに回転を伝え、送風を行うことになる。この時前記モーターと前記ファンは非接触となり、熱的に絶縁された状態であるため、前記モーターの発熱が前記ファンに伝熱することを防止すると共に、空気供給用のポートに接続された供給用導管に空気(一般的にはドライエアー)を供給することでカバー内のモーターを冷却し、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部へ排気されることになり、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気へのモーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
また、他の手段は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備え、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルターユニットにあって、前記モーターのシャフトの一端にゴム継ぎ手を設けると共に、前記モーターのケースに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端を前記ゴム継ぎ手に連結することにより、前記モーターの回転はゴム継ぎ手を介して前記ファンに伝えられ送風を行うことになる。この時前記モーターと前記ファンはゴム継ぎ手の熱抵抗によって熱絶縁された状態にあるため、前記モーターの発熱が前記ファンに伝熱することを防止すると共に、空気供給用のポートに接続された供給用導管に空気(一般的にはドライエアー)を供給することでカバー内のモーターを冷却し、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部へ排気されることになり、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気へのモーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
また、他の手段はチャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備え、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルターユニットにあって、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、前記モーターのケースに設けた1以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを設けることにより、前記モーターの回転はシャフトに取り付けた磁性体の駆動プレート回転により、マグネットを設けた誘導プレートを非接触で回転させることになり、ファンシャフトを通して前記ファンに回転を伝え、送風を行うことになる。この時前記モーターと前記ファンは熱的に絶縁された状態であるため、前記モーターの発熱が前記ファンに伝熱することを防止すると共に、空気排出用ポートに接続された排出用導管より空気を誘引することで、前記モーターのケースに設けられた空気取り入れ用穴から前記モーター周辺の吸込み空気が誘引されることになり、この吸込み空気が前記モーターを冷却した後、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部に排気されることになり、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気へのモーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
また、他の手段はチャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備え、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルターユニットにあって、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、この駆動プレートに相対する面を非磁性体で構成した前記モーターを覆うカバーを設けると共に、前記モーターを覆うカバーに設けた1以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを設けることにより、前記モーターの回転はシャフトに取り付けた磁性体の駆動プレート回転により、カバーの非磁性体部を通して、マグネットを設けた誘導プレートを非接触で回転させることになり、発熱部である前記モーターをカバー内に密閉することが出来、吹出す清浄空気への熱影響を抑制すると共に、前記空気排出用ポートに接続された排出用導管より空気を誘引することで、前記モーターのカバーに設けられた空気取り入れ用穴から、前記モーター周辺の吸込み空気が誘引され、この吸込み空気は前記モーターの発熱を冷却した後、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部に排気されることになり、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
また、他の手段はチャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備え、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルターユニットにあって、前記モーターのシャフトの一端にゴム継ぎ手を設け、前記モーターのケースに設けた1以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端を前記ゴム継ぎ手に連結することにより、前記モーターの回転はゴム継ぎ手を介してファンに伝えられ送風を行うことになる。この時前記モーターと前記ファンはゴム継ぎ手の熱抵抗により、熱絶縁された状態にあるため、前記モーターの発熱が前記ファンに伝熱することを防止すると共に、空気排出用ポートに接続された排出用導管より空気を誘引することで、前記モーターのケースに設けられた空気取り入れ用穴から前記モーター周辺の吸込み空気が誘引されることになり、この空気が前記モーターを冷却した後、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部に排気されることになり、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
また、他の手段はモーターのケースの外郭を断熱材で覆ったものである。
また、他の手段はモーターのカバーの外郭を断熱材で覆ったものである。
また、他の手段は導管の一端に流量調整弁を設けたものである。
また、他の手段は導管の一端に定流量弁を設けたものである。
また、他の手段は導管の一端にサーモバルブを設けたものである。
このような手段を有することにより、クリーンルーム内におけるファンフィルターユニットのモーターの発熱による清浄空気の温度上昇を抑制することが出来、冷却用としてドライコイルユニット等の設置が不要となると共に、ファンフィルターユニットの吹出す清浄空気に対するモーター発熱の影響が抑制出来、吹出す清浄空気の温度分布が均一になり、半導体やFPDに対する熱影響を防止出来るファンフィルターユニットが得られる。
また、他の手段は、空気供給用ポートを持ったファンフィルターユニットを複数台設け、それぞれのファンフィルターユニットの空気供給用ポートに接続した供給用導管同士を集合配管で接続し、供給用導管に接続しない前記集合配管の他端に送風装置と冷却装置を設けて、各ファンフィルターユニットのモータのケース内に冷却された空気を供給することを特徴とするファンフィルターユニットを用いたクリーンシステムである。
本発明によれば、モータ発熱による温度上昇が抑えられ、また、温度分布も均一な清浄空気が得られる。モータ発熱による温度上昇が抑えられ、温度分布が均一な清浄空気が吹出される。
また、本発明によれば、モーターとファンの間に熱絶縁の構造とすることおよび供給用導管を通してモーターのケース内に冷却用の空気が供給されることにで、モーターの発熱をファンに伝えることなく、モーターの発熱を冷却し、空気排出用ポートから排出用導管を経て外部に排出され、ファンフィルターユニットの清浄空気がモーターの発熱による温度上昇を生じることなく吹出されることになり、ファンフィルターユニットの清浄空気の冷却用ドライコイルユニットを設ける必要が無くなる。さらに、吹出す清浄空気の温度上昇が抑えられることから、吹出す清浄空気の温度分布も均一になる。また、モーターから発生するケミカルガスについても導管を通して排出されることになり半導体やFPDに対する熱やケミカルガスによる悪影響も防止出来る効果が得られる。
また、本発明によれば、カバーによって発熱部であるモーターを密閉することで清浄空気への熱影響が軽減でき、また、空気供給用ポートに接続された供給用導管を通してモーターのカバー内に冷却用の空気が供給されることで、モーターの発熱を冷却する効果が得られる。
また、本発明によれば、モーターのケースまたはカバーに断熱材を貼り付けることによって、モーターからの放熱の影響を抑制できる効果が得られる。
また、本発明によれば、ストッカーのように多くの数量のファンフィルターユニットが設置され、冷却用空気の供給経路の抵抗が大きく異なる場合やモーターの出力の異なるファンフィルターユニットを混在設置する場合において、個々のファンフィルターユニットごとにモーターを冷却する空気流量を適切に調整できる効果が得られる。
本発明の請求項1記載の発明は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設けると共に、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを備えたものであり、前記モーターと前記ファンを非接触としながらマグネットの吸引効果でモーターの回転をファンに伝達することで、前記モーターの発熱を前記ファンに伝えることがなくなることになる。これらのことにより、前記ファンの温度上昇を抑えられ、ファンの温度が上昇したことによるファン送風空気の温度上昇と温度上昇による温度分布のムラ、不均一を防止でき、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制でき、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を防止する作用を有する。
本発明の請求項2記載の発明は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設けると共に、このモーターのケースに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを備えたものであり、前記モーターと前記ファンを非接触としながらマグネットの吸引効果でモーターの回転をファンに伝達することで、前記モーターの発熱を前記ファンに伝えることがなくなると共に、空気供給用のポートに接続された供給用導管に冷却用空気(一般的にはドライエアー)を供給することにより、前記モーターのケース内に冷却用空気が送られ、前記モーターの発熱体であるステーターやローターを冷却することになり、前記モーターを冷却して温度が上昇した冷却用空気は、空気排出用ポートに接続された排出用導管を通して装置外部へ排気されることになる。
これらのことにより、前記ファンの温度上昇を抑えると共に前記モーターのケースの表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気へのモーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置を不要にするとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を防止すると共に、前記モーターから発生するケミカルガスを冷却用空気と併せて排出することになり、半導体やFPDに対するケミカルガスの影響を防止する作用を有する。
本発明の請求項3記載の発明は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、この駆動プレートに相対する面を非磁性体で構成した前記モーターを覆うカバーを設けると共に、このカバーに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを装着した誘導プレートを備えたものであり、前記モーターと前記ファンを非接触としながらマグネットの吸引効果で前記モーターの回転を前記ァンに伝達することで、発熱部である前記モーターをカバー内に密閉することが出来、吹出す清浄空気への熱影響を抑制すると共に、空気供給用のポートに接続された供給用導管に冷却用空気(一般的にはドライエアー)を供給することにより、前記モーターのカバー内に冷却用空気が送られ、前記モーターを冷却することになり、前記モーターを冷却して温度が上昇した冷却用空気は、空気排出用ポートに接続された排出用導管を通して装置外部へ排気されることになる。
これらのことにより、前記ファンの温度上昇を抑えると共にカバー内の前記モーターの温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置を不要にし、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を防止すると共に、前記モーターから発生するケミカルガスを冷却用空気と併せて排出することになり、半導体やFPDに対するケミカルガスの影響を防止する作用を有する。
本発明の請求項4記載の発明は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端にゴム継ぎ手を設けると共に、前記モーターのケースに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端を前記ゴム継ぎ手に連結する機構を備える。モーターシャフトとファンシャフトをゴム継ぎ手で接続することにより、前記モーター供給用導管に冷却用空気(一般的にはドライエアー)を供給することにより、前記モーターのカバー内に冷却用空気が送られ、モーターを冷却することになり、モーターを冷却して温度が上昇した冷却用空気は、空気排出用ポートに接続された排出用導管を通して装置外部へ排気されることになる。
これらのことにより、前記ファンの温度上昇を抑えると共にカバー内の前記モーターの温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置を不要にし、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を防止すると共に、前記モーターから発生するケミカルガスを冷却用空気と併せて排出することになり、半導体やFPDに対するケミカルガスの影響を防止する作用を有する。
本発明の請求項5記載の発明は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、前記モーターのケースに設けた1以上の空気取り入れ用穴と、この穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを備える。
このことにより前記モーターと前記ファンを非接触としながらマグネットの吸引効果で前記モーターの回転を前記ファンに伝達することで、前記モーターの発熱を前記ファンに伝えることがなくなると共に、空気排出用ポートに接続された排出用導管より空気を誘引することで、前記モーターのケースに設けられた1以上の空気取り入れ用穴から、前記モーター周辺の吸込み空気が誘引され、この空気は前記モーターの発熱を冷却した後、空気誘引用ポートに接続された排出用導管より装置外部に排気されることになり、前記ファンの温度上昇を抑えると共に、前記モーターのケースの表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を防止すると共に、前記モーターから発生するケミカルガスを冷却用空気と併せて排出することになり、半導体やFPDに対するケミカルガスの影響を防止する作用を有する。
本発明の請求項6記載の発明は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、この駆動プレートに相対する面を非磁性体で構成した前記モーターを覆うカバーを設けると共に、前記モーターを覆うカバーに設けた1以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを備える。
このことにより、前記モーターの回転はシャフトに取り付けた磁性体の駆動プレート回転により、カバーの非磁性体部を通して、マグネットを設けた誘導プレートを非接触で回転させることになり、発熱部である前記モーターをカバー内に密閉することが出来、吹出す清浄空気への熱影響を抑制すると共に、前記空気排出用ポートに接続された排出用導管より空気を誘引することで、前記モーターのカバーに設けられた空気取り入れ用穴から、前記モーター周辺の吸込み空気が誘引され、この吸込み空気は前記モーターの発熱を冷却した後、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部に排気されることになり、前記ファンの温度上昇を抑えると共に、前記モーターのカバーの表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を防止すると共に、前記モーターから発生するケミカルガスを冷却用空気と併せて排出することになり、半導体やFPDに対するケミカルガスの影響を防止する作用を有する。
本発明の請求項7記載の発明は、チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端にゴム継ぎ手を設け、前記モーターのケースに設けた1以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端をゴム継ぎ手に連結する機能を備え、このことにより、モーターシャフトとファンシャフトをゴム継ぎ手で接続することにより、前記モーターの発熱が前記ファンに伝達することがなくなると共に、前記空気排出用ポートに接続された排出用導管より空気を誘引することで、前記モーターのケースに設けられた空気取り入れ用穴から、前記モーター周辺の吸込み空気が誘引され、この吸込み空気は前記モーターの発熱を冷却した後、空気排出用ポートに接続された排出用導管より装置外部に排気されることになり、前記ファンの温度上昇を抑えると共に、前記モーターのケースの表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気への前記モーターの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置を不要にするとともに、吹出す清浄空気の温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を防止すると共に、モーターから発生するケミカルガスを冷却用空気と併せて排出することになり、半導体やFPDに対するケミカルガスの影響を防止する作用を有する。
本発明の請求項8記載の発明は、モーターのケースを断熱材で覆うことにより、モーターのケースからの放熱を低減し、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気へのモーターの発熱の影響を抑制し、温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を防止する作用を有する。
本発明の請求項9記載の発明は、モーターを覆うカバーを断熱材で覆うことにより、カバーからの放熱を低減し、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気へのモーターの発熱の影響を抑制し、温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を防止する作用を有する。
本発明の請求項10記載の発明は、ストッカーのように多くの数量のファンフィルターユニットが設置され、冷却用空気の供給経路の抵抗が大きく異なる場合やモーターの出力の異なるファンフィルターユニットを混在設置する場合において、供給用または排出用導管の一端に流量調整弁を備えることにより、個々のファンフィルターユニットごとにモーターを冷却する空気流量を適切に調整できる作用を有する。
本発明の請求項11記載の発明は、供給用または排出用導管の一端に定流量弁を備えることにより、あらかじめ決定された流量の冷却空気を安定して供給できる作用を有する。
本発明の請求項12記載の発明は、供給用または排出用導管の一端にサーモバルブを備えることにより、排気される冷却空気の温度(またはモーターケース温度等)を検知、そのレベルに応じて自動的に調整することになるため、設置後に各ファンフィルターユニットごとに空気流量を調整する必要が無く省施工になると共に、ファンフィルターユニットのモーターをインバーターなどで速度調整されることで、モーターの出力が変化するシステムにおいても適切に空気流量の調整ができる作用を有する。
本発明の請求項13記載の発明は、空気供給用ポートを持ったファンフィルターユニットを複数台設け、それぞれのファンフィルターユニットの空気供給用ポートに接続した供給用導管同士を集合配管で接続し、導管に接続しない前記集合配管の他端に送風装置と冷却装置を設けて、各ファンフィルターユニットのモーターのケースまたはカバー内に冷却空気を供給することを特徴とするファンフィルターユニットを用いたクリーンシステムであり、複数台設置されるファンフィルターユニットのモーターに対し冷却した空気を一括して供給することができる作用を有する。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
図1に示すようにチャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端に磁性体の駆動プレート7を設けると共に、ファン3には両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13とこのファンシャフト13のモーター2に対峙する一端にマグネット15を設けた誘導プレート14を設ける。
図1に示すようにチャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端に磁性体の駆動プレート7を設けると共に、ファン3には両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13とこのファンシャフト13のモーター2に対峙する一端にマグネット15を設けた誘導プレート14を設ける。
上記構成において、モーター2の回転はシャフト6に取り付けた磁性体の駆動プレート7の回転により、マグネット15を設けた誘導プレート14を非接触で回転させることになり、ファンシャフト13を通してファン3に回転を伝え、送風を行うことになる。この時モーター2とファン3は熱的に絶縁された状態であるため、モーター2の発熱がファン3に伝熱することを防止することになり、ファンフィルターユニットからの吹出す清浄空気28へのモーター2の発熱の影響を抑制することが出来る。
(実施の形態2)
図2に示すようにチャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端に磁性体の駆動プレート7を設けると共に、前記モーター2のケースに空気供給用ポート8とこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポート9を設け、外部から空気を導く供給用導管10を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管11を設け、前記ファン3には両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13とこのファンシャフト13の前記モーター2に対峙する一端にマグネット15を設けた誘導プレート14を設ける。
図2に示すようにチャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端に磁性体の駆動プレート7を設けると共に、前記モーター2のケースに空気供給用ポート8とこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポート9を設け、外部から空気を導く供給用導管10を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管11を設け、前記ファン3には両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13とこのファンシャフト13の前記モーター2に対峙する一端にマグネット15を設けた誘導プレート14を設ける。
上記構成において、前記モーター2の回転はシャフト6に取り付けた磁性体の駆動プレート7の回転により、マグネット15を設けた誘導プレート14を非接触で回転させることになり、ファンシャフト13を通して前記ファン3に回転を伝え、送風を行うことになる。この時前記モーター2と前記ファン3は熱的に絶縁された状態であるため、前記モーター2の発熱が前記ファン3に伝熱することを防止すると共に、空気供給用ポート8に接続された供給用導管10に冷却用空気26(一般的にはドライエアー)を供給することで前記モーター2を冷却し、空気排出用ポート9に接続された排出用導管11より装置外部へ冷却排気27として排出されることになり、ファンフィルターユニットからの吹出す清浄空気28への前記モーター2の発熱の影響を抑制することが出来る。また、前記モーター2の内部で発生するケミカルガスについても冷却排気27と共に排出され、清浄空気28にケミカルガスの混入を防止することが出来る。
(実施の形態3)
図3に示すように、チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端に磁性体の駆動プレート7を設け、この駆動プレート7に相対する面を非磁性体19で構成した前記モーター2を覆うカバー18を設けると共に、このカバー18に空気供給用ポート8とこの空気供給ポート8に相対する位置に空気排出用ポート9を設け、外部から空気を導く供給用導管10を空気供給用ポート8に接続すると共に、空気排出用ポート9に接続して空気を外部に導く排出用導管11を設け、前記ファン3には両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13とこのファンシャフト13の前記モーター2に対峙する一端にマグネット15を装着した誘導プレート14を設ける。
図3に示すように、チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端に磁性体の駆動プレート7を設け、この駆動プレート7に相対する面を非磁性体19で構成した前記モーター2を覆うカバー18を設けると共に、このカバー18に空気供給用ポート8とこの空気供給ポート8に相対する位置に空気排出用ポート9を設け、外部から空気を導く供給用導管10を空気供給用ポート8に接続すると共に、空気排出用ポート9に接続して空気を外部に導く排出用導管11を設け、前記ファン3には両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13とこのファンシャフト13の前記モーター2に対峙する一端にマグネット15を装着した誘導プレート14を設ける。
上記構成において、発熱部である前記モーター2をカバー18内に密閉すると共に、前記モーター2の回転はシャフト6に取り付けた磁性体の駆動プレート7の回転により、カバー18の非磁性体19を通してマグネット15を設けた誘導プレート14を非接触で回転させることになり、ファンシャフト13を通して前記ファン3に回転を伝え、送風を行うことになる。この時前記モーター2と前記ファン3は熱的に絶縁された状態であるため、前記モーター2の発熱が前記ファン3に伝熱することを防止すると共に、空気供給用のポート8に接続された供給用導管10に空気(一般的にはドライエアー)を供給することでカバー18内の前記モーター2を冷却し、空気排出用ポート9に接続された排出用導管11より装置外部へ排気されることになり、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気28への前記モーター2の発熱の影響を抑制することが出来る。
また、前記モーター2の内部で発生するケミカルガスについても冷却排気27と共に排出され、清浄空気28にケミカルガスの混入を防止することが出来る。
(実施の形態4)
図4に示すように、チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端にゴム継ぎ手20を設けると共に、前記モーター2のケースに空気供給用ポート8とこの空気供給用ポート8に相対する位置に空気排出用ポート9を設け、外部から空気を導く供給用導管10を空気供給用ポート8に接続すると共に、空気排出用ポート9に接続して空気を外部に導く排出用導管11を設け、前記ファン3には両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13とこのファンシャフト13の前記モーター2に対峙する一端を前記ゴム継ぎ手20に連結する機構を備える。
図4に示すように、チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端にゴム継ぎ手20を設けると共に、前記モーター2のケースに空気供給用ポート8とこの空気供給用ポート8に相対する位置に空気排出用ポート9を設け、外部から空気を導く供給用導管10を空気供給用ポート8に接続すると共に、空気排出用ポート9に接続して空気を外部に導く排出用導管11を設け、前記ファン3には両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13とこのファンシャフト13の前記モーター2に対峙する一端を前記ゴム継ぎ手20に連結する機構を備える。
上記構成において、前記モーター2のシャフト6とファンシャフト13をゴム継ぎ手20で接続することにより、前記モーター2の発熱が前記ファン3に伝達することがなくなると共に、空気供給用のポート8に接続された供給用導管10に冷却用空気(一般的にはドライエアー)を供給することにより、モーターのカバー内に冷却用空気26が送られ、前記モーター2を冷却することになり、前記モーター2を冷却して温度が上昇した冷却排気27は、空気排出用ポート9に接続された排出用導管11を通して装置外部へ排気されることになる。これらのことにより、シャフト6の伝熱による前記ファン3の温度上昇を抑えると共に、カバー18内の前記モーター2の温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気28への前記モーター2の発熱の影響を抑制することが出来る。また、前記モーター2の内部で発生するケミカルガスについても冷却排気27と共に排出され、清浄空気28にケミカルガスの混入を防止することが出来る。
(実施の形態5)
図5に示すように、チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端に磁性体の駆動プレート7を設け、前記モーター2のケースに設けた1以上の空気取り入れ用穴21aと、この空気取り入れ用穴21aに相対する位置に空気排出用ポート9と空気排出用ポート9から外部に空気を導く排出用導管11を設け、前記ファン3には両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13とこのファンシャフト13の前記モーター2に対峙する一端にマグネット15を設けた誘導プレート14を備える。
図5に示すように、チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端に磁性体の駆動プレート7を設け、前記モーター2のケースに設けた1以上の空気取り入れ用穴21aと、この空気取り入れ用穴21aに相対する位置に空気排出用ポート9と空気排出用ポート9から外部に空気を導く排出用導管11を設け、前記ファン3には両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13とこのファンシャフト13の前記モーター2に対峙する一端にマグネット15を設けた誘導プレート14を備える。
上記構成において、前記モーター2と前記ファン3を非接触としながらマグネット15の吸引効果で前記モーター2の回転を前記ファン3に伝達することで、前記モーター2の発熱を前記ファン3に伝えることがなくなると共に、空気排出用ポート9に接続された排出用導管11より空気を誘引することで、前記モーター2のケース16に設けられた1以上の空気取り入れ用穴21aから、前記モーター2周辺の吸込み空気29が誘引され、この吸込み空気29は前記モーター2の発熱を冷却した後、空気排出用ポート9に接続された排出用導管11より装置外部に冷却排気27として排出されることになり、前記ファン3の温度上昇を抑えると共に、前記モーター2のケースの表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気28への前記モーター2の発熱の影響を抑制することが出来る。また前記モーター2から発生するケミカルガスが冷却排気27と共に排出され、清浄空気28にケミカルガスの混入を防止することが出来る。
(実施の形態6)
図6に示すように、チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端に磁性体の駆動プレート7を設け、この駆動プレート7に相対する面を非磁性体19で構成した前記モーター2を覆うカバー18を設けると共に、前記モーター2を覆うカバー18に設けた1以上の空気取り入れ用穴21bと、この空気取り入れ用穴21bに相対する位置に空気排出用ポート9と空気排出用ポート9から外部に空気を導く排出用導管11を設け、前記ファン3には両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13とこのファンシャフト13の前記モーター2に対峙する一端にマグネット15を設けた誘導プレート14を備える。
図6に示すように、チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端に磁性体の駆動プレート7を設け、この駆動プレート7に相対する面を非磁性体19で構成した前記モーター2を覆うカバー18を設けると共に、前記モーター2を覆うカバー18に設けた1以上の空気取り入れ用穴21bと、この空気取り入れ用穴21bに相対する位置に空気排出用ポート9と空気排出用ポート9から外部に空気を導く排出用導管11を設け、前記ファン3には両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13とこのファンシャフト13の前記モーター2に対峙する一端にマグネット15を設けた誘導プレート14を備える。
上記構成において、前記モーター2の回転はシャフト6に取り付けた磁性体の駆動プレート7の回転により、カバー18の非磁性体19を通して、マグネット15を設けた誘導プレート14を非接触で回転させることになり、発熱部である前記モーター2をカバー18内に密閉することが出来る。また、空気排出用ポート9に接続された排出用導管11より空気を誘引することで、カバー18に設けられた1以上の空気取り入れ用穴21bから、周辺の吸込み空気29が誘引され、この吸込み空気29は前記モーター2の発熱を冷却した後、空気排出用ポート9に接続された排出用導管11より装置外部に冷却排気27として排気されることになり、前記ファン3の温度上昇を抑えると共に、カバー18の表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気28への前記モーター2の発熱の影響を抑制することが出来ると共に、前記モーター2から発生するケミカルガスが冷却排気27と共に排出され、清浄空気28にケミカルガスの混入を防止することが出来る。
(実施の形態7)
図7に示すように、チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端にゴム継ぎ手20を設け、両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13と連結すると共に、前記モーター2のケースに設けた1以上の空気取り入れ用穴21aと、この複数の空気取り入れ用穴21aに相対する位置に空気排出用ポート9と空気排出用ポート9から外部に空気を導く排出用導管11を設ける。
図7に示すように、チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のシャフト6の一端にゴム継ぎ手20を設け、両端をベアリング12にて保持されたファンシャフト13と連結すると共に、前記モーター2のケースに設けた1以上の空気取り入れ用穴21aと、この複数の空気取り入れ用穴21aに相対する位置に空気排出用ポート9と空気排出用ポート9から外部に空気を導く排出用導管11を設ける。
上記構成により、前記モータ2のシャフト6とファンシャフト13をゴム継ぎ手20で接続することにより、前記モーター2の発熱が前記ファン3に伝達することがなくなると共に、空気排出用ポート9に接続された排出用導管11より空気を誘引することで、前記モーター2のケースに設けられた複数の空気取り入れ用穴から、モーター2周辺の吸込み空気29が誘引され、この吸込み空気29は前記モーター2の発熱を冷却した後、空気排出用ポート9に接続された排出用導管11より装置外部に排気されることになり、前記ファン3の温度上昇を抑えると共に、前記モーター2のケースの表面温度は低く抑えられ、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気28への前記モーター2の発熱の影響を抑制することができる。また前記モーター2から発生するケミカルガスが冷却排気27と共に排出され、清浄空気28にケミカルガスの混入を防止することが出来る。
(実施の形態8)
図8に示すように、チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のケースを断熱材22(例えばEPDMスポンジ)で覆う。
図8に示すように、チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2のケースを断熱材22(例えばEPDMスポンジ)で覆う。
上記構成において、前記モーター2のケースからの放熱を低減し、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気28への前記モーター2の発熱の影響を抑制することが出来る。
(実施の形態9)
図9に示すように、チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2を覆うカバー18を断熱材22で覆うことにより、カバー18からの放熱を低減し、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気28への前記モーター2の発熱の影響を抑制することができる。
図9に示すように、チャンバー4の上部に吸込口1とモーター2を設け、モーター2にはケース16とシャフト6を備え、ファン3をチャンバー4に内蔵し、その下方にフィルタ5を設けたファンフィルターユニットにおいて、前記モーター2を覆うカバー18を断熱材22で覆うことにより、カバー18からの放熱を低減し、ファンフィルターユニットから吹出す清浄空気28への前記モーター2の発熱の影響を抑制することができる。
(実施の形態10)
図10に示すように、空気供給用ポート8に接続した供給用導管10、または空気排出用ポート9に接続した排出用導管11の一端に流量調整弁23を設ける。
図10に示すように、空気供給用ポート8に接続した供給用導管10、または空気排出用ポート9に接続した排出用導管11の一端に流量調整弁23を設ける。
上記構成において、ファンフィルターユニットに供給される冷却用空気26の量の調整が容易に行なえる。
(実施の形態11)
図11に示すように、空気供給用ポート8に接続した供給用導管10、または空気排出用ポート9に接続した排出用導管11の一端に定流量弁24を設ける。
図11に示すように、空気供給用ポート8に接続した供給用導管10、または空気排出用ポート9に接続した排出用導管11の一端に定流量弁24を設ける。
上記構成において、複数台のファンフィルターユニットが使用される場合において、ファンフィルターユニットの据付場所に関係なく、あらかじめ決定された一定量の冷却用空気26が各ファンフィルターユニットに均等に供給される。
(実施の形態12)
図12に示すように、空気排出用ポート9に接続した排出用導管11の一端にサーモバルブ25を設ける。サーモバルブ25は温度を検知し、その温度を一定にするようにバルブ開度を調整するものである。
図12に示すように、空気排出用ポート9に接続した排出用導管11の一端にサーモバルブ25を設ける。サーモバルブ25は温度を検知し、その温度を一定にするようにバルブ開度を調整するものである。
上記構成において、複数台のファンフィルターユニットが使用される場合において、ファンフィルターユニットの据付場所に関係なく、検知する温度が設定温度になるように冷却用空気26の流量を調整するため、清浄空気28を供給する空間の温度ムラをなくすことが可能になると共に、据付場所に応じて個別に冷却用空気26の流量を調整する必要がなくなり、省施工となる。
(実施の形態13)
図13に示すように、モータ冷却用空気の空気供給用ポート31と空気排出用ポート32を有したファンフィルターユニット33をストッカーに複数台設け、それぞれのファンフィルターユニット33の空気供給用ポート31に接続した供給用導管34を集合配管36に接続し、集合配管36の他端に送風装置37と冷却装置38を設けると共に、ファンフィルターユニット33の空気排出用ポート32に接続された排出用導管35を設ける。
図13に示すように、モータ冷却用空気の空気供給用ポート31と空気排出用ポート32を有したファンフィルターユニット33をストッカーに複数台設け、それぞれのファンフィルターユニット33の空気供給用ポート31に接続した供給用導管34を集合配管36に接続し、集合配管36の他端に送風装置37と冷却装置38を設けると共に、ファンフィルターユニット33の空気排出用ポート32に接続された排出用導管35を設ける。
上記構成により、各ファンフィルターユニット33のモーターには、冷却装置38で冷却された空気が送風装置37より一括して冷却用の空気が空気供給用ポート31より供給されるため、一般の空気より少ない流量で冷却効果が得られ、送風装置の搬送動力が削減できると共に、ストッカーに供給する清浄空気は、モータの発熱による影響をなくすことができる。また、排出用導管35を冷却装置38の上流側に戻し、循環させること(図示せず)により、更に搬送動力を削減することができる。
以上のように本発明によれば、モータ発熱による温度上昇が抑えられ、また、温度分布も均一な清浄空気が得られる。モータ発熱による温度上昇が抑えられた清浄空気が得られ、また、温度分布が均一な清浄空気が吹出されることとなる。
また、モーターのシャフトとファンを熱絶縁または熱抵抗を増す方法にて回転力を伝達する構成にすることで、チャンバー上部にモーターと吸込口を有し、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトとファンを熱絶縁または熱抵抗を増す方法にて回転力を伝達する構成にすると共に、モーターのケースまたはカバーに空気供給用ポートと、この空気供給用ポートに相対する位置に空気吸引用ポートを設け、チャンバー外部から空気を導く導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続してチャンバー外部に空気を導く導管を設けたことにより、冷却用空気をモーター内部に供給することが可能となり、この冷却空気によってモータの発熱の影響を抑制すると共に、モーターの発熱をファンに伝達し難くする構造の採用で、その冷却効果をさらに高めることが出来、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要とすることで設備費の削減、ランニングコストの低減、水漏れのリスク回避が図れ、また、温度分布の均一性を高めることで半導体やFPDに対する熱影響を抑えられることになる。
半導体やFPD用のストッカーに使用されるファンフィルタユニットなどにも適用できる。
1 吸込口
2 モーター
3 ファン
4 チャンバー
5 フィルタ
6 シャフト
7 駆動プレート
8 空気供給用ポート
9 空気排出用ポート
10 供給用導管
11 排出用導管
12 ベアリング
13 ファンシャフト
14 誘導プレート
15 マグネット
16 ケース
18 カバー
19 非磁性体
20 ゴム継ぎ手
21a 空気取り入れ用穴
21b 空気取り入れ用穴
22 断熱材
23 流量調整弁
24 定流量弁
25 サーモバルブ
26 冷却用空気
27 冷却排気
28 清浄空気
29 吸込み空気
31 空気供給用ポート
32 空気排出用ポート
33、41 ファンフィルターユニット
34 供給用導管
35 排出用導管
36 集合配管
37、42 送風装置
38 冷却装置
39、45 半導体またはFPD用カセット
43 ドライコイル
44 ドライコイルユニット
2 モーター
3 ファン
4 チャンバー
5 フィルタ
6 シャフト
7 駆動プレート
8 空気供給用ポート
9 空気排出用ポート
10 供給用導管
11 排出用導管
12 ベアリング
13 ファンシャフト
14 誘導プレート
15 マグネット
16 ケース
18 カバー
19 非磁性体
20 ゴム継ぎ手
21a 空気取り入れ用穴
21b 空気取り入れ用穴
22 断熱材
23 流量調整弁
24 定流量弁
25 サーモバルブ
26 冷却用空気
27 冷却排気
28 清浄空気
29 吸込み空気
31 空気供給用ポート
32 空気排出用ポート
33、41 ファンフィルターユニット
34 供給用導管
35 排出用導管
36 集合配管
37、42 送風装置
38 冷却装置
39、45 半導体またはFPD用カセット
43 ドライコイル
44 ドライコイルユニット
Claims (13)
- チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターと前記ファンの間の熱伝達を防止する熱絶縁の構造としたファンフィルターユニット。
- チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設けると共に、この前記モーターのケースに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを設けてなるファンフィルターユニット。
- チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、この駆動プレートに相対する面を非磁性体で構成したモーターを覆うカバーを設けると共に、このカバーに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを装着した誘導プレートを設けてなるファンフィルターユニット。
- チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端にゴム継ぎ手を設けると共に、前記モーターのケースに空気供給用ポートとこの空気供給ポートに相対する位置に空気排出用ポートを設け、外部から空気を導く供給用導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続して空気を外部に導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端を前記ゴム継ぎ手に連結してなるファンフィルターユニット。
- チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、前記モーターのケースに設けた1以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを設けてなるファンフィルターユニット。
- チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端に磁性体の駆動プレートを設け、この駆動プレートに相対する面を非磁性体で構成した前記モーターを覆うカバーを設けると共に、前記モーターを覆うカバーに設けた1以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端にマグネットを設けた誘導プレートを設けてなるファンフィルターユニット。
- チャンバー上部に吸込口とモーターを有し、モーターにはケースとシャフトを備えると共に、ファンをこのチャンバーに内蔵し、この下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットにおいて、前記モーターのシャフトの一端にゴム継ぎ手を設け、前記モーターのケースに設けた1以上の空気取り入れ用穴と、この空気取り入れ用穴に相対する位置に空気排出用ポートと空気排出用ポートから外部に空気を導く排出用導管を設け、前記ファンには両端をベアリングにて保持されたファンシャフトとこのファンシャフトの前記モーターに対峙する一端を前記ゴム継ぎ手に連結してなるファンフィルターユニット。
- モーターのケースの外郭を断熱材で覆った請求項1、2、4、5または7に記載のファンフィルターユニット。
- モーターのカバーの外郭を断熱材で覆った請求項3または6に記載のファンフィルターユニット。
- 空気供給用ポートに接続した導管または空気排出用ポートに接続した導管の一端に流量調整弁を設けた請求項2〜7のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
- 空気供給用ポートに接続した導管または空気排出用ポートに接続した導管の一端に定流量弁を設けた請求項2〜7のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
- 空気供給用ポートに接続した導管または空気排出用ポートに接続した導管の一端にサーモバルブを設けた請求項2〜7のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
- 請求項1〜4のいずれか、または8〜12のいずれかに記載のファンフィルターユニットを複数台設け、それぞれのファンフィルターユニットの空気供給用ポートに接続した供給用導管または空気排出用ポートに接続した排出用導管同士を集合配管で接続し、前記供給用導管に接続しない前記集合配管の他端に送風装置と冷却装置を設けて、各ファンフィルターユニットのモーターのケースまたはカバー内に空気を供給することを特徴とするファンフィルターユニットを用いたクリーンシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007264301A JP2009092325A (ja) | 2007-10-10 | 2007-10-10 | ファンフィルターユニットおよびそれを用いたクリーンシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007264301A JP2009092325A (ja) | 2007-10-10 | 2007-10-10 | ファンフィルターユニットおよびそれを用いたクリーンシステム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009092325A true JP2009092325A (ja) | 2009-04-30 |
Family
ID=40664478
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007264301A Pending JP2009092325A (ja) | 2007-10-10 | 2007-10-10 | ファンフィルターユニットおよびそれを用いたクリーンシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2009092325A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109116896A (zh) * | 2018-03-20 | 2019-01-01 | 国网浙江桐庐县供电有限公司 | 一种变电站设备用散热控湿装置 |
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2007
- 2007-10-10 JP JP2007264301A patent/JP2009092325A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN109116896A (zh) * | 2018-03-20 | 2019-01-01 | 国网浙江桐庐县供电有限公司 | 一种变电站设备用散热控湿装置 |
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