JP3183410U

JP3183410U - グローブボックスのガス循環ダクト構造

Info

Publication number: JP3183410U
Application number: JP2013001074U
Authority: JP
Inventors: 和雄櫻井
Original assignee: 株式会社エイエルエステクノロジー
Priority date: 2013-02-27
Filing date: 2013-02-27
Publication date: 2013-05-16
Anticipated expiration: 2023-02-27

Abstract

【課題】簡易な構造で気体の循環量を増加することのできるグローブボックス装置のガス循環ダクト構造を提供する。
【解決手段】作業空間２を画成するハウジング３と、作業空間２内に延出する複数のグローブと、作業空間２内に高純度のガスを供給するガス供給手段とを備える。作業空間２の下方と作業空間の上方を連通する循環経路８と、作業空間２の下方から作業空間２内のガスを吸引して作業空間２の上方から作業空間２内にガスを排出する送風機７８と、循環経路８上に配置され、通過するガスから湿度及び塵埃を除去するフィルタ７９とを具備し、循環経路８が、ハウジング３を構成する側壁３１，３２内に形成されたガス通路７３，７４を有する。
【選択図】図１

Description

本考案は、高純度のガスを封入し、外気、湿度及び不純物を嫌う物質を扱うグローブボックスにおいて、湿度及び不純物の除去効率を簡易な構造で実現するガス循環ダクト構造に関する。

特許文献１（特開２００４−１７４６５９号公報）に開示されるグローブボックス装置は、作業室と搬出入室とを有しており、作業室と搬出入室の底面、天井及び側面には第一、第二のヒータが引き回され、第一、第二のヒータに通電すると、作業室の内壁面が加熱されて、内壁面に付着した水分を蒸発させ、作業室内と搬出入室に循環する不活性ガスによって内部空間から除去されるようになっているものである。

特許文献２（特開２０１３−７４９９号公報）に開示される気体置換装置は、空間を形成するグローブボックス内の気体を置換するためのものであり、窒素ガスを供給する送風部と、前記グローブボックスに接続されて前記送風部から供給される窒素ガスを前記グローブボックスに導入する導入管を含む導入部と、前記グローブボックス内の窒素ガスを排出する排出部と、前記導入管の開口面積を変更する三方バルブを備え、この三方バルブが、前記グローブボックス内について、気体が置換される前よりも置換された後において前記導入管の開口面積が大きくなるように変更するものである。

特開２００４−１７４６５９号公報特開２０１３−７４９９号公報

上述した特許文献に開示されるように、グローブボックスは、密閉した作業空間に高純度の気体を封入し、不純物の少ない環境にて作業を行うことが要求されるもので、高度の作業を行う場合には、クリーンルーム並みの低発塵環境が要求される場合がある。この低発塵環境を得る手段として、従来はグローブボックス上方にフィルタを設け、これに送風機を取り付けてグローブボックスから気体を吸引しフィルタを通過させて塵埃を除去してグローブボックス内に戻す系統が採用されている。

しかしながら、フィルタを通過する気体の循環量を得るためには、配管コンダクタンスを向上させる必要があり、このためには配管の断面積を大きくすること若しくは配管の本数を増加させることが要求されるが、この場合、グローブホックスの外部の空間を多く必要とするため、グローブボックスの設置場所が制約されるという不具合が生じる。

また、送風機の風圧を上げて、気体の循環量を増やそうとした場合には、送風機を高速度で回転させるか送風機自体を大型化する必要が生じる。送風機を高速度で回転させる場合、送風機の劣化速度上昇が生じ、送風効率が著しく低下するという不具合が生じ、また送風機を大型化した場合には、消費電力が増加する、騒音振動が増加するなどの不具合が生じる。

このため、本考案は、簡易な構造で気体の循環量を増加することのできるグローブボックス装置のガス循環ダクト構造を提供することにある。

本考案は、作業空間を画成するハウジングと、作業空間内に延出する複数のグローブと、作業空間内に高純度のガスを供給するガス供給手段とを具備するグローブボックス装置において、前記作業空間の下方と前記作業空間の上方を連通する循環経路と、前記作業空間の下方から作業空間内のガスを吸引して前記作業空間の上方から前記作業空間内にガスを排出する吸引排出手段と、前記循環経路上に配置され、通過するガスから湿度及び塵埃を除去するフィルタ手段とを具備し、前記循環経路が、前記ハウジングを構成する側壁内に形成されたガス通路を有することにある。

循環経路が、ハウジングを構成する側壁内に形成されたガス通路を有することにより、ガス通路の幅を最大側壁全体まで拡大できるため、ガス通路のコンダクタンスを向上させることができるものである。

前記循環経路には、冷却装置が配置されることが望ましい。

さらに、前記ガス通路は、前記作業空間の対向する２つの側壁のそれぞれに形成されることが望ましい。

さらにまた、１時間当たりのガス循環量／作業空間に基づく作業空間のガス循環量は、毎時０．５回以上毎時１０回未満であることが望ましい。

また、前記フィルタ手段は、前記作業空間の上面に配置されることが望ましい。

以上のように、本考案によれば、循環経路のガス通路をハウジングの側壁部に形成することによって、コンダクタンスを向上させることができるため、フィルタ手段以外での通気抵抗による循環量の減少を抑制できるため、送風機を小型化できるため、消費電力の低下、騒音振動を抑制できるものである。

本考案の実施例１に係るグローブボックス装置の概略構成図である。本考案の実施例２に係るグローブボックス装置の概略構成図である。

以下、この考案の実施例について図面により説明する。

図１に示されるグローブボックス装置１は、作業空間２を画成するハウジング３と、作業空間２内に延出するグローブに手を差し込みための開口部４と、作業空間２内で作業される物品が載置される作業台５と、作業される物品を作業空間２に搬入出するために前記作業空間２に連設される搬入出室６と、図示しない高純度ガスを供給するガス供給装置と、作業空間２内のガスを循環させ、ガス中の塵埃を除去するガス循環装置７とによって構成される。

本考案に係るガス循環装置７は、前記作業空間２の下方であって、二重壁に形成された側壁３１，３２の下部に開口する吸入口７１，７２と、側壁３１，３２の二重壁内に形成されたガス通路７３，７４と、前記作業空間２の上方に位置する上部空間７７と、前記ガス通路７３，７４と上部空間７７とを連通する連通路７５，７６とによって構成される循環経路８を具備し、さらに前記上部空間７７と前記作業空間２の間には、送風機７８とフィルタ７９とを具備するものである。

これによって、送風機７８を作動させることによって、作業空間２内の高純度ガスが、前記作業空間２の下方両側に形成された吸入口７１，７２から吸い込まれ、側壁３１，３２内に形成されたガス通路７３，７４及び連通路７５，７６を介して上部空間７７に吸引され、フィルタ７９を通過して塵埃が吸着され、前記作業空間２に戻るように循環するものである。

このように、側壁３１，３２に、作業空間２の下方と作業空間２の上方に設けられた上部空間７７との間を連通するガス通路７３，７４を形成するようにしたことによって、ガス通路７３，７４の断面積を側壁の幅一杯まで拡大することができるため、循環経路８の通気抵抗若しくは通気コンダクタンスを最適に調整することが可能となるものである。

また、これによって、ハウジング３の外に配管を設ける必要が無くなるため、省スペース化も達成できるものである。

図２で示される本考案の実施例２に係るグローブボックス装置１Ａの循環経路８Ａは、作業空間２の下方に開口する吸入口７１Ａと、ハウジング３の一部を構成する側壁３１Ａ内に形成されるガス通路７３Ａと、前記作業空間２の上部に配置される上部空間７７Ａとを具備し、さらに前記吸入口７１Ａと前記ガス通路７３Ａとの間を連通する冷却通路８１が設けられる。この冷却通路８１には、送風機７８Ａが設けられ、さらにこの送風機７８Ａの下流には、冷却用熱交換器８０が設置されるものである。

さらに、上部空間７７Ａと前記作業空間２との間にはフィルタ７９Ａが設けられる。

以上の構成により、送風機７８Ａの稼働により、吸入口７１Ａから吸引された高純度ガスは、冷却通路８１を通過することによって冷却用熱交換器８０により冷却されて余熱が排除され、ガス通路７３Ａから上部空間７７に至り、フィルタ７９Ａを通過して塵埃が除去されて作業空間２に戻されるものである。

以上のように、実施例１では作業空間２の両側の対向する位置に配置される側壁３１，３２のそれぞれにガス通路７３，７４が形成されるものであり、実施例２では作業空間２の片側の側壁３１Ａにガス通路７３Ａが形成されるものである。

このように、本考案によれば、側壁３１，３２，３１Ａにガス通路７３，７４，７４Ａを形成したことによって、上述したように通気コンダクタンスを増大させることができるので、送風機７８，７８Ａを小型化することが可能となるものである。

また、循環経路８のガス循環量は、フィルタ７９，７９Ａのメッシュ径及び送風機７８，７８Ａによる送風量に基づいて調整可能である。特に１時間当たりのガス循環量を前記作業空間２の容積で割ることによって求められる１時間当たりの換気効率は、毎時０．５回以上毎時１０回未満であることが望ましい。

以上のように構成することによって、本考案に係るグローブボックス装置１，１Ａは、低発塵環境を実現することができるものである。

１，１Ａグローブボックス装置
２作業空間
３ハウジング
４開口部
５作業台
６搬入出室
７ガス循環装置
８，８Ａ循環経路
７１，７２，７１Ａ吸入口
７３，７４，７３Ａガス流路
７７上部空間
７８，７８Ａ送風機
７９，７９Ａフィルタ

Claims

作業空間を画成するハウジングと、作業空間内に延出する複数のグローブと、作業空間内に高純度のガスを供給するガス供給手段とを具備するグローブボックス装置において、
前記作業空間の下方と前記作業空間の上方を連通する循環経路と、
前記作業空間の下方から作業空間内のガスを吸引して前記作業空間の上方から前記作業空間内にガスを排出する吸引排出手段と、前記循環経路上に配置され、通過するガスから湿度及び塵埃を除去するフィルタ手段とを具備し、
前記循環経路が、前記ハウジングを構成する側壁内に形成されたガス通路を有することを特徴とするガス循環ダクト構造。
前記循環経路には、冷却装置が配置されることを特徴とする請求項１記載のガス循環ダクト構造。
前記ガス通路は、前記作業空間の対向する２つの側壁のそれぞれに形成されることを特徴とする請求項１又は２記載のガス循環ダクト構造。
１時間当たりのガス循環量／作業空間に基づく作業空間のガス循環量は、毎時０．５回以上毎時１０回未満であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のガス循環ダクト構造。