KR101974692B1 - 분자 펌프 - Google Patents

Abstract

분자 펌프(1A)는, 터보 분자 펌프부(2a)가 마련된 펌프 본체(2)와, 제어부 및 전원부가 마련된 제어 유닛(4)과, 펌프 본체(2) 및 제어 유닛(4)을 냉각하는 냉각 유닛(3)을 구비한다. 제어 유닛(4)의 내부의 위치면서 또한 저온이 되는 제1의 위치에는, 제1 온도 검출부(90)가 마련되고, 제어 유닛(4)의 내부의 위치면서 또한 고온이 되는 제2의 위치에는, 습도 검출부겸 제2 온도 검출부(80)가 마련된다. 제어부는, 제1 온도 검출부(90) 및 습도 검출부겸 제2 온도 검출부(80)에 의해 검출된 온도 정보 및 습도 정보를 기초로 산출된 제1의 위치에서의 상대습도에 의거하여, 냉각 유닛(3)의 동작을 제어한다.

Description

분자 펌프{MOLECULAR PUMP}

본 발명은, 초고진공(超高眞空)상태를 만들어 내기 위한 진공 펌프의 일종인 분자 펌프에 관한 것으로, 보다 특정적으로는, 냉각계로서의 냉각 유닛을 구비한 분자 펌프에 관한 것이다.

분자 펌프는, 초고진공 상태를 만들어 내기 위한 진공 펌프로서, 예를 들면 반도체 제조 장치로 대표되는 각종 가공 장치, 각종 분석 장치, 전자현미경 등에 부설된다. 일반적으로, 분자 펌프는, 동익(動翼) 및 정익(靜翼)을 포함하는 터보 분자 펌프부가 마련된 펌프 본체와, 터보 분자 펌프부의 동작을 제어하기 위한 제어부나 터보 분자 펌프부를 구동하기 위한 전력을 공급하기 위한 전원부가 수용된 제어 유닛을 구비하고 있다.

분자 펌프에서는, 제어 유닛에 포함되는 전원부가 발열원인 승압 회로나 컨버터 회로, 인버터 회로 등을 포함하고 있기 때문에, 이들을 적절하게 냉각하는 것이 필요해진다. 또한, 펌프 본체에서도, 동익이 마련된 로터를 회전시키기 위한 모터나, 당해 로터를 회전시키기 위한 회전축을 지지하는 축받이 등에서 열이 발생하기 때문에, 이들을 적절하게 냉각할 필요가 생기는 경우가 있다.

그 때문에, 냉각액이 유통 가능하게 된 액냉식의 냉각 유닛이 부설된 구성의 분자 펌프가 알려져 있다. 예를 들면, 일본 특개평11-173293호 공보(특허 문헌 1)에는, 펌프 본체와 제어 유닛과의 사이에 냉각 유닛이 끼워 넣어진 구성의 분자 펌프가 개시되어 있고, 일본 특개2011-27031호 공보(특허 문헌 2)에는, 냉각 유닛상에 펌프 본체와 제어 유닛이 병설된 구성의 분자 펌프가 개시되어 있다.

여기서, 통상, 제어 유닛은, 적절하게 액적이나 분진의 침입이 방지된 방적(防滴) 구조 및 방진 구조를 갖는 외부에 연통한 반밀폐형으로 되는 경우가 많고, 그 경우에는, 제어 유닛의 내부의 노점(露点) 온도가 주위 환경의 노점 온도와 동등하게 된다. 그 때문에, 상술한 냉각 유닛이 접촉 배치 또는 접근 배치된 부분이 국소적으로 저온이 되고, 이것이 노점 온도를 하회(下回)하게 된 경우에는, 당해 부분에서 결로(結露)가 발생하게 된다.

당해 결로가 발생한 경우에는, 상술한 각종의 회로에 결로액이 부착함으로써 고장이나 오작동의 원인이 되어 버리기 때문에, 제어 유닛의 내부에서의 결로의 발생은, 가능한 한 이것을 억제하는 것이 필요하다.

당해 결로의 발생을 억제하기 위해, 예를 들면 일본 특개2009-174333호 공보(특허 문헌 3)에는, 제어 유닛의 내부에 냉각액이 유통 가능한 배관을 부설함과 함께, 제어 유닛의 내부에 결로 센서를 마련하고, 당해 결로 센서에 의해 결로가 검출된 경우에 냉각액의 유통을 정지하도록 구성된 분자 펌프가 개시되어 있다.

일본 특개평11-173293호 공보 일본 특개2011-27031호 공보 일본 특개2009-174333호 공보

그러나, 상기 특허 문헌 3에 개시된 구성을 채용한 경우에는, 결로 센서가 결로를 검출한 시점에서 이미 적잖이 결로가 발생하고 있는 상태에 있기 때문에, 그 이상의 결로의 발생은 억제할 수 있어도, 결로의 발생 자체를 방지할 수는 없다는 문제가 있다.

즉, 결로 센서를 제어 유닛의 내부의 어느 위치에 마련하느냐에도 의하지만, 가령 이것을 결로가 가장 발생하기 쉬운 부분(예를 들면 냉각액이 유통 가능한 배관의 부근 부분)에 배치한 경우에는, 결로를 검출한 시점에 있어서 이미 당해 부분에서 결로가 발생하고 있는 것으로 되어 버려, 결로액이 용이하게는 증발하지 않는 것을 고려하면, 어떠한 이유에 의해 당해 결로액이 비산함으로써 전원부 등의 각종의 회로에 악영향을 미치는 것이 우려되고, 가령 이것을 발열원인 전원부의 부근에 마련한 경우에는, 결로를 검출한 시점에서 이미 전원부에서도 결로가 발생하고 있는 것으로 되어 버려, 전원부에 악영향을 미치는 것을 피할 수가 없다.

그 때문에, 결로의 발생 자체를 보다 확실하게 방지하는 관점에서는, 결로 센서에 대신하여 습도 센서 등의 습도 검출부를 이용하고, 당해 습도 검출부를 제어 유닛의 내부에서의 결로가 가장 발생하기 쉬운 부분에 배치하고, 습도 검출부에 의해 검출된 습도 정보를 기초로 결로의 발생을 예측하고, 이에 의거하여 냉각액의 유통을 제어하는 것이 상정된다.

그러나, 이와 같이 구성한 경우에도, 예를 들면 분자 펌프의 정지시 등에 있어서 주위 환경의 변화에 기인하여, 습도 검출부에 결로액이 부착하여 버린 경우에는, 부착한 결로액이 증발할 때까지 상당 정도의 시간을 필요로 하게 되어, 결과적으로 그때까지의 동안, 습도 검출부에서 습도의 검출을 일체 행할 수가 없게 되어 버리는 문제가 생겨 버린다. 이것은, 결로가 생겨 버리는 같은 매우 높은 습도 환경하에서 연속해서 안정적이면서 정확하게 습도를 검출할 수 있는 실용적인 습도 검출부가 존재하지 않기 때문이고, 일반적인 습도 검출부가, 습도의 변화에 수반하여 전기적으로 이것을 검출하는 것이기 때문에, 그 검출 전극 등에 결로액이 부착하여 버림으로써 습도의 측정을 할 수가 없게 되어 버리기 때문이다.

그 때문에, 실제로는, 습도 검출부를 결로가 가장 발생하기 쉬운 부분부터 상당 정도 떨어져서 배치할 필요하게 되어 버려, 본래, 측정하여야 할 결로가 가장 발생하기 쉬운 부분의 습도를 측정할 수 없는 결과가 되고, 경우에 따라서는 불필요하게 냉각 동작을 정지시킬 수도 있어서, 결과로서 효율적인 분자 펌프의 운전을 행할 수가 없게 되어 버린다.

따라서 본 발명은, 상술한 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 제어 유닛의 내부의 결로가 가장 발생하기 쉬운 부분의 상대습도를 연속해서 안정적이면서 정확하게 산출할 수 있고, 이에 의해 결로의 발생을 확실하게 방지할 수 있으면서 효율적인 운전 동작이 실현 가능하게 된 분자 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제1의 국면에 의거한 분자 펌프는, 동익 및 정익을 포함하는 터보 분자 펌프부가 마련된 펌프 본체와, 제어부 및 전원부가 마련된 제어 유닛과, 상기 펌프 본체 및 상기 제어 유닛을 냉각하기 위한 냉각 유닛을 구비하고 있다. 당해 분자 펌프에서는, 상기 냉각 유닛과 상기 펌프 본체가 열접촉(熱接觸)함과 함께 상기 냉각 유닛과 상기 제어 유닛이 열접촉하도록, 상기 펌프 본체 및 상기 제어 유닛이 모두 상기 냉각 유닛에 접촉 배치 또는 접근 배치되어 있다. 상기 제어 유닛은, 상기 제어부 및 상기 전원부가 수용된 커버를 갖고 있다. 상기 커버의 내부의 위치면서 또한 상기 냉각 유닛의 작동시에 있어서 저온이 되는 제1의 위치에는, 제1 온도 검출부가 마련되어 있다. 상기 커버의 내부의 위치면서 또한 상기 냉각 유닛의 작동시에 있어서 상기 제1의 위치보다도 고온이 되는 제2의 위치에는, 습도 검출부 및 제2 온도 검출부가 마련되어 있다. 상기 제어부는, 상기 제1 온도 검출부 및 상기 제2 온도 검출부에 의해 검출된 온도 정보와 상기 습도 검출부에 의해 검출된 습도 정보를 기초로 산출된 상기 제1의 위치에서의 상대습도(相對濕度)에 의거하여, 상기 냉각 유닛의 동작을 제어하는 것이다.

상기 본 발명에 의거한 분자 펌프에서는, 상기 제어부가, 상기 상대습도가 미리 정한 임계치 미만인 경우에 상기 냉각 유닛에 의한 냉각 동작을 실행시키고, 상기 상대습도가 상기 임계치 이상인 경우에 상기 냉각 유닛에 의한 냉각 동작을 정지시키는 것이 바람직하다.

상기 본 발명에 의거한 분자 펌프에서는, 상기 제1의 위치가, 상기 냉각 유닛에 접촉 배치 또는 접근 배치된 부분의 상기 커버의 내표면상의 위치인 것이 바람직하고, 또한, 상기 제2의 위치가, 상기 냉각 유닛에 접촉 배치 또는 접근 배치된 부분의 상기 커버의 내표면상의 위치 이외의 위치인 것이 바람직하다.

상기 본 발명에 의거한 분자 펌프에서는, 상기 제2의 위치가, 상기 제어 유닛의 내부에 배설된 회로 기판상의 위치인 것이 바람직하다.

상기 본 발명에 의거한 분자 펌프에서는, 상기 냉각 유닛이, 상기 펌프 본체와 상기 제어 유닛에 의해 끼워 넣어지도록 배설되어 있는 것이 바람직하다.

상기 본 발명에 의거한 분자 펌프에서는, 상기 펌프 본체 및 상기 제어 유닛이, 상기 냉각 유닛상에서 병설되어 있어도 좋다.

상기 본 발명에 의거한 분자 펌프에서는, 상기 제어부가, 상기 상대습도에 의거하여, 상기 터보 분자 펌프부의 동작을 제어하는 것이라도 좋다.

상기 본 발명에 의거한 분자 펌프는, 또한, 상기 제어 유닛의 내부의 기체를 환기시키기 위한 환기 기구를 구비하고 있는 것이 바람직하고, 그 경우에는, 상기 제어부가, 상기 상대습도에 의거하여, 상기 환기 기구의 동작을 제어하는 것이라도 좋다.

상기 본 발명에 의거한 분자 펌프는, 또한, 상기 제어 유닛의 내부의 기체를 가열하기 위한 가열 기구를 구비하고 있는 것이 바람직하고, 그 경우에는, 상기 제어부가, 상기 상대습도에 의거하여, 상기 가열 기구의 동작을 제어하는 것이라도 좋다.

본 발명의 제2의 국면에 의거한 분자 펌프는, 동익 및 정익을 포함하는 터보 분자 펌프부가 마련된 펌프 본체와, 제어부 및 전원부가 마련된 제어 유닛과, 상기 제어 유닛을 냉각하기 위한 냉각 유닛을 구비하고 있다. 당해 분자 펌프에서는, 상기 냉각 유닛과 상기 제어 유닛이 열접촉하도록, 상기 제어 유닛이 상기 냉각 유닛에 접촉 배치 또는 접근 배치되어 있다. 상기 제어 유닛은, 상기 제어부 및 상기 전원부가 수용된 커버를 갖고 있다. 상기 커버의 내부의 위치면서 또한 상기 냉각 유닛의 작동시에 있어서 저온이 되는 제1의 위치에는, 제1 온도 검출부가 마련되어 있다. 상기 커버의 내부의 위치면서 또한 상기 냉각 유닛의 작동시에 있어서 상기 제1의 위치보다도 고온이 되는 제2의 위치에는, 습도 검출부 및 제2 온도 검출부가 마련되어 있다. 상기 제어부는, 상기 제1 온도 검출부 및 상기 제2 온도 검출부에 의해 검출된 온도 정보와 상기 습도 검출부에 의해 검출된 습도 정보로부터 산출된 상기 제1의 위치에서의 상대습도에 의거하여, 상기 냉각 유닛의 동작을 제어하는 것이다.

본 발명에 의하면, 제어 유닛의 내부의 결로가 가장 발생하기 쉬운 부분의 상대습도를 연속해서 안정적이면서 정확하게 산출할 수 있고, 이에 의해 결로의 발생을 확실하게 방지할 수 있으면서 효율적인 운전 동작이 실현 가능하게 된 분자 펌프로 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에서의 분자 펌프의 정면도.
도 2는 발명의 실시의 형태 1에서의 분자 펌프의 모식 종단면도.
도 3은 본 발명의 실시의 형태 1에서의 분자 펌프의 모식 횡단면도.
도 4는 본 발명의 실시의 형태 1에서의 분자 펌프의 기능 블록의 구성을 도시하는 도면.
도 5는 포화 수증기압 곡선을 도시하는 그래프.
도 6은 본 발명의 실시의 형태 1에서의 분자 펌프의 제어부의 제어 동작의 제1 구성례를 도시하는 동작 테이블도.
도 7은 본 발명의 실시의 형태 1에서의 분자 펌프의 제어부의 제어 동작의 제1 구성례를 도시하는 플로차트.
도 8은 본 발명의 실시의 형태 1에서의 분자 펌프의 제어부의 제어 동작의 제2 구성례를 도시하는 동작 테이블도.
도 9는 본 발명의 실시의 형태 1에서의 분자 펌프의 제어부의 제어 동작의 제2 구성례를 도시하는 플로차트.
도 10은 본 발명의 실시의 형태 1에 의거한 제1 변형례에 관한 분자 펌프의 모식 횡단면도.
도 11은 본 발명의 실시의 형태 1에 의거한 제2 변형례에 관한 분자 펌프의 모식 횡단면도.
도 12는 본 발명의 실시의 형태 1에 의거한 제3 변형례에 관한 분자 펌프의 모식 종단면도.
도 13은 본 발명의 실시의 형태 2에서의 분자 펌프의 일부 파단 정면도.
도 14는 본 발명의 실시의 형태 2에서의 분자 펌프의 저면도.
도 15는 본 발명의 실시의 형태 3에서의 분자 펌프의 일부 파단 정면도.
도 16은 본 발명의 실시의 형태 3에서의 분자 펌프의 저면도.

이하, 본 발명의 실시의 형태에 관해, 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 이하에 도시하는 실시의 형태에서는, 터보 분자 펌프부와 나사홈 진공 펌프부가 병설된 구성의 이른바 복합 분자 펌프에 본 발명을 적용한 경우를 예시하여 설명을 행한다. 또한, 이하에 도시하는 실시의 형태에서는, 동일한 또는 공통되는 부분에 관해 도면 중 동일한 부호를 붙이고, 그 설명은 반복하지 않는다.

(실시의 형태 1)

도 1은, 본 발명의 실시의 형태 1에서의 분자 펌프의 정면도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 분자 펌프의 모식 종단면도이고, 도 3은, 도 2에 도시하는 Ⅲ-Ⅲ 선에 따른 분자 펌프의 모식 횡단면도이다. 또한, 도 4는, 도 1에 도시하는 분자 펌프의 기능 블록의 구성을 도시하는 도면이다. 우선, 이들 도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 실시의 형태에서의 분자 펌프(1A)의 구성에 관해 설명한다.

도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 본 실시의 형태에서의 분자 펌프(1A)는, 펌프 본체(2)와, 단일한 냉각 유닛(3)과, 제어 유닛(4)을 구비하고 있다. 펌프 본체(2), 냉각 유닛(3) 및 제어 유닛(4)은, 연직 방향에 따라 적층하여 배치되어 있고, 보다 구체적으로는, 냉각 유닛(3)이 제어 유닛(4)상에 배설되어 있고, 펌프 본체(2)가 냉각 유닛(3)상에 배설되어 있다. 이에 의해, 냉각 유닛(3)은, 펌프 본체(2)와 제어 유닛(4)에 의해 끼워 넣어진 상태로 되어 있다.

펌프 본체(2)는, 초고진공 상태를 만들어 내기 위한 것이다. 펌프 본체(2)는, 그 상부에 터보 분자 펌프부(2a)를 갖고 있고, 그 하부에게 나사홈 진공 펌프부(2b)를 갖고 있다. 또한, 펌프 본체(2)의 상부 및 하부에게는, 터보 분자 펌프부(2a) 및 나사홈 진공 펌프부(2b)에 연통하도록, 흡기구(31) 및 배기관(11)이 각각 마련되어 있다. 또한, 펌프 본체(2)의 구체적인 구조에 관해서는, 후술하기로 한다.

제어 유닛(4)은, 후술하는 제어부(5)나 전원부(6)(도 4 참조) 등을 구성하는 각종의 회로가 그 내부에 수용되어 이루어지는 것이고, 반(半)밀폐형의 커버(70)에 의해 덮이고 있다. 커버(70)의 내부에는, 주로 회로 기판으로서의 제1 기판(71) 및 제2 기판(72)이 마련되어 있고, 이들 제1 기판(71) 및 제2 기판(72)에는, 전자부품 등이 실장됨으로써 상술한 각종의 회로가 형성되어 있다. 또한, 제어 유닛(4)의 구체적인 구조에 관해서는, 후술하기로 한다.

냉각 유닛(3)은, 펌프 본체(2) 및 제어 유닛(4)을 냉각하기 위한 것이고, 냉각수 등의 냉각액이 유통 가능하게 구성된 냉각액 유통 경로(61)가 내부에 형성된 냉각 블록(60)과, 냉각액 유통 경로(61)에 접속된 후술하는 배관계에 의해 주로 구성되어 있다. 또한, 냉각 유닛(3)의 구체적인 구조에 관해서는, 후술하기로 한다.

상술한 구성으로부터 분명한 바와 같이, 본 실시의 형태에서의 분자 펌프(1A)는, 냉각 유닛(3)과 펌프 본체(2)를 열접촉시키기 위해 이들을 접촉 배치시킴과 함께, 냉각 유닛(3)과 제어 유닛(4)을 열접촉시키기 위해 이들을 접촉 배치시킨 것이다. 당해 구성을 채용함에 의해, 단일한 냉각 유닛(3)에 의해 펌프 본체(2)와 제어 유닛(4)의 모두가 냉각 가능하게 되게 되고, 분자 펌프(1A) 전체로서의 구성이 간소화할 수 있게 된다.

또한, 냉각 효율의 향상을 도모하기 위해, 펌프 본체(2)와 냉각 유닛(3)과의 사이 및 제어 유닛(4)과 냉각 유닛(3)과의 사이에는, 필요에 응하여 고열 전도성의 시트 또는 그리스 등을 개재시키도록 하여도 좋다. 그 경우에는, 냉각 유닛(3)과 펌프 본체(2)가 열접촉하기 위해 이들이 접근 배치됨과 함께, 냉각 유닛(3)과 제어 유닛(4)이 열접촉하기 위해 이들이 접근 배치되게 된다.

도 1 내지 도 3에 도시하는 바와 같이, 펌프 본체(2)는, 베이스(10)와, 외측 스테이터(20a)와, 내측 스테이터(20b)와, 케이싱(30)과, 로터(40)와, 로터 구동 기구(50)에 의해 주로 구성되어 있다. 로터 구동 기구(50)는, 도 4에 도시하는 모터(53)와 자기(磁氣) 축받이(54)를 포함하고 있다.

펌프 본체(2)의 외각은, 이 중의 베이스(10), 외측 스테이터(20a) 및 케이싱(30)에 의해 구성되어 있고, 펌프 본체(2)의 내부에는, 나머지 내측 스테이터(20b), 로터(40) 및 로터 구동 기구(50)가 수용되어 있다. 또한, 펌프 본체(2)의 내부에는, 상술한 흡기구(31)와 배기관(11)을 연통하는 배기로(8)가 마련되어 있다.

베이스(10)는, 개략 원반형상의 형상을 갖고 있고, 그 하면이 냉각 블록(60)의 상면에 열접촉하도록 배치되어 있다. 베이스(10)상에는, 외측 스테이터(20a) 및 로터 구동 기구(50)가 재치되어 있고, 보다 구체적으로는, 베이스(10)의 주연부상에 외측 스테이터(20a)가 재치되어 있고, 베이스(10)의 중앙부상에 로터 구동 기구(50)가 재치되어 있다. 또한, 베이스(10)의 소정 위치에는, 상술한 배기관(11)이 접속되어 있다.

로터 구동 기구(50)는, 상술한 모터(53) 및 자기 축받이(54) 등이 수용된 하우징(51)과, 회전축(52)을 갖고 있고, 로터(40)를 고속으로 회전시키기 위한 것이다. 회전축(52)은, 그 하단측의 부분이 하우징(51)의 내부에 위치하고 있고, 그 상단측의 부분이 당해 하우징(51)의 외부에 노출하고 있다. 회전축(52)이 노출한 부분에는, 로터(40)가 고정되어 있다.

모터(53)는, 로터(40)가 고정된 회전축(52)을 회전 구동하는 것이고, 자기 축받이(54)는, 회전축(52)을 회전 가능하게 지지하는 것이다. 이들 모터(53) 및 자기 축받이(54)가 구동함에 의해, 회전축(52)이 회전함으로써 로터(40)가 고속으로 회전하게 된다.

로터(40)는, 회전축(52)에 고정된 개략 원주형상의 형상을 갖는 상부측 로터부(41)와, 개략 원통형상의 형상을 갖는 하부측 로터부(42)를 갖고 있다. 상부측 로터부(41)의 외주부에는, 축방향에 따라 간격을 두고 복수의 동익(動翼)(43)이 마련되어 있고, 당해 복수의 동익(43)은, 각각 지름방향 외측을 향하여 돌출하여 위치하고 있다. 한편, 하부측 로터부(42)는, 상술한 하우징(51)을 둘러싸도록 상부측 로터부(41)의 하단부터 하방을 향하여 연설(延設)되어 있다.

외측 스테이터(20a)는, 개략 원통형상의 형상을 갖고 있고, 상술한 하우징(51)을 둘러쌈과 함께, 그 일부가 상술한 하부측 로터부(42)의 외주면에 대향하도록 배치되어 있다.

내측 스테이터(20b)는, 거의 원통형상의 형상을 갖고 있고, 상술한 하우징(51)을 둘러쌈과 함께 하부측 로터부(42)의 내주면에 대향하도록, 외측 스테이터(20a)의 내부에 배치되어 있다. 또한, 내측 스테이터(20b)는, 그 하단부터 지름방향 외측을 향하여 늘어나오는 폐색부(23)을 갖고 있고, 하부측 로터부(42)의 하단은, 당해 폐색부(23)에 대향하여 위치하고 있다.

하부측 로터부(42)의 외주면에 대향하는 부분의 외측 스테이터(20a)의 내주면에는, 암나사 형상의 1차측 나사홈부(21)가 마련되어 있다. 한편, 하부측 로터부(42)의 내주면에 대향하는 부분의 내측 스테이터(20b)의 외주면에는, 수나사 형상의 2차측 나사홈부(22)가 마련되어 있다.

이에 의해, 하부측 로터부(42), 외측 스테이터(20a) 및 내측 스테이터(20b)에 의해 상술한 나사홈 진공 펌프부(2b)가 구성되게 되고, 분자 펌프(1A)의 작동시에 있어서, 하부측 로터부(42)가 외측 스테이터(20a)와 내측 스테이터(20b)와의 사이에서 고속으로 회전함에 의해, 당해 나사홈 진공 펌프부(2b)에 의해 배기 기능이 발휘되게 된다.

케이싱(30)은, 개략 원통형상의 형상을 갖고 있고, 외측 스테이터(20a)상에 재치됨으로써 상부측 로터부(41)를 둘러싸도록 배치되어 있다. 또한, 케이싱(30)의 상부에는, 상술한 흡기구(31)가 위치하고 있다.

케이싱(30)의 내주면상에는, 복수의 스페이서겸 지지 부재(32)가 마련되어 있고, 당해 복수의 스페이서겸 지지 부재(32)에 의해 복수의 정익(靜翼)(33)이 지지되어 있다. 복수의 정익(33)은, 축방향에 따라 간격을 두고 마련되어 있고, 각각 지름방향 내측을 향하여 돌출하여 위치하고 있다.

상술한 복수의 동익(43) 및 복수의 정익(33)은, 각각이 다른 방향을 향하여 경사한 터빈 날개를 갖고 있다. 또한, 상술한 복수의 동익(43) 및 복수의 정익(33)은, 이들이 축방향에 따라 엇갈리게 위치하도록 마련되어 있다.

이에 의해, 복수의 동익(43) 및 복수의 정익(33)에 의해 상술한 터보 분자 펌프부(2a)가 구성되게 되고, 분자 펌프(1A)의 작동시에 있어서, 복수의 동익(43)이 고속으로 회전함에 의해, 당해 터보 분자 펌프부(2a)에 의해 배기 기능이 발휘되게 된다.

또한, 베이스(10)와 외측 스테이터(20a)와의 사이, 외측 스테이터(20a)와 케이싱(30)과의 사이, 베이스(10)와 배기관(11)과의 사이 등에는, 각각 O링 등의 실 부재가 개재되어 있다. 이에 의해, 흡기구(31)로부터 배기관(11)에 달하는 배기로(8)의 기밀성이 확보되게 되고, 배기로(8)를 형성하는 각 부재 사이에서의 누기(漏氣)의 발생이 방지될 수 있게 된다.

도 1 내지 도 4에 도시하는 바와 같이, 냉각 유닛(3)은, 상술한 냉각 블록(60)에 더하여, 배관계로서의 입구측 포트(62), 출구측 포트(63) 및 개폐밸브(64)를 포함하고 있다.

입구측 포트(62)는, 냉각액 유통 경로(61)에 냉각액을 공급하기 위한 포트이고, 그 일단이 도시하지 않은 급액 설비에 접속되어 있고, 그 타단이 냉각 블록(60)에 마련된 냉각액 유통 경로(61)의 일단에 접속되어 있다.

출구측 포트(63)는, 냉각액 유통 경로(61)로부터 냉각액을 배출하기 위한 포트이고, 그 일단이 도시하지 않은 배액 설비에 접속되어 있고, 그 타단이 냉각 블록(60)에 마련된 냉각액 유통 경로(61)의 타단에 접속되어 있다.

개폐밸브(64)는, 냉각액 유통 경로(61)에 대한 냉각액의 공급 및 그 정지를 전환하기 위한 것이고, 입구측 포트(62)에 부설되어 있다.

이에 의해, 개폐밸브(64)가 개방된 상태에서, 냉각액이 냉각액 유통 경로(61)에 공급되게 되어 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작이 실행되게 되고, 개폐밸브(64)가 폐쇄된 상태에서, 냉각액의 냉각액 유통 경로(61)에 대한 공급이 정지되게 되어 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작이 정지되게 된다.

또한, 냉각액 유통 경로(61)는, 보다 넓은 범위를 냉각하는 것이 가능해지도록, 냉각 블록(60)보다 넓은 범위에 걸쳐서 분배되어 있는 것이 바람직하고, 본 실시의 형태에서는, 당해 관점에서 이것이 평면시(平面視) 개략 환형상으로 마련되어 있다.

도 1 내지 도 3에 도시하는 바와 같이, 제어 유닛(4)은, 상술한 커버(70), 제1 기판(71) 및 제2 기판(72)에 더하여, 스페이서겸 지지 부재(73)와, 제1 온도 검출부로서의 온도 센서(90)와, 습도 검출부 및 제2 온도 검출부로서의 온습도(溫濕度) 센서(80)를 구비하고 있다.

커버(70)는, 도시하는 바와 같이, 예를 들면 그 외형이 정8각주형상인 상자 형상을 갖고 있고, 그 상면이 냉각 유닛(3)의 냉각 블록(60)의 하면에 열접촉하도록 배치되어 있다. 커버(70)의 냉각 유닛(3)에 접촉하는 부분인 천판부(天板部)에는, 고열전도 부재로 이루어지는 스페이서겸 지지 부재(73)가 커버(70)의 내부를 향하여 마련되어 있고, 당해 스페이서겸 지지 부재(73)에 의해 제1 기판(71) 및 제2 기판(72)이 지지되어 있다. 여기서, 제1 기판(71) 및 제2 기판(72)은, 스페이스 절약화의 관점에서, 상하 방향에 따라 소정의 거리로 대향하도록 배치되어 있다.

제1 기판(71)에는, 발열원인 승압 회로, 컨버터 회로, 인버터 회로 등을 포함하는 전원부(6)가 마련되어 있다. 전원부(6)는, 상용 전원 등 외부 전원으로부터 전력의 공급을 받음에 의해, 주로 이것을 로터(40)를 고속으로 회전 구동하기 위해 적합한 상태의 전력으로 변환하는 것이다.

제2 기판(72)에는, 분자 펌프(1A)의 전체로서의 동작을 제어하는 제어부(5)나, 후술하는 모터 구동 회로(55), 자기 축받이 구동 회로(56), 개폐밸브 구동 회로(67) 등으로 대표되는 각종 구동 회로 등이 마련되어 있다.

온도 센서(90)는, 커버(70)의 천판부의 내표면상의 소정 위치(제1의 위치에 상당)에 부착되어 있다. 온습도 센서(80)는, 온도 센서와 습도 센서를 구비한 복합 센서로 이루어지고, 상술한 제2 기판(72)상의 소정 위치(제2의 위치에 상당)에 실장되어 있다. 여기서, 온도 센서로서는, 예를 들면 서미스터 등을 알맞게 이용할 수 있고, 습도 센서로서는, 예를 들면 저항식 또는 정전용량식의 것 등을 알맞게 이용할 수 있다.

여기서, 온도 센서(90)가 마련된 상기 제1의 위치는, 냉각 유닛(3)의 작동시에 있어서 저온이 되는 위치이고, 온습도 센서(80)가 마련된 상기 제2의 위치는, 냉각 유닛(3)의 작동시에 있어서 상기 제1의 위치보다도 고온이 되는 위치이다. 또한, 온도 센서(90)는, 보다 알맞게는 도 3에 도시하는 바와 같이, 냉각 유닛(3)의 입구측 포트(62)에 접속된 부분 부근의 냉각액 유통 경로(61)에 대응한 위치의 커버(70)의 내표면상의 위치에 마련된다. 당해 위치는, 냉각 유닛(3)에 의해 가장 효율적으로 냉각되는 위치이고, 제어 유닛(4)의 내부에서 결로가 가장 발생하기 쉬운 부분에 상당한다.

도 4에 도시하는 바와 같이, 분자 펌프(1A)는, 상술한 제어부(5), 전원부(6), 모터(53), 자기 축받이(54), 개폐밸브(64), 온도 센서(90), 온습도 센서(80)에 더하여, 모터 구동 회로(55), 자기 축받이 구동 회로(56) 및 개폐밸브 구동 회로(67)를 갖고 있다.

모터 구동 회로(55)는, 제어부(5)로부터 입력된 제어 신호에 의거하여 모터(53)를 구동한다. 자기 축받이 구동 회로(56)는, 제어부(5)로부터 입력된 제어 신호에 의거하여 자기 축받이(54)를 구동한다. 개폐밸브 구동 회로(67)는, 제어부(5)로부터 입력된 제어 신호에 의거하여 개폐밸브(64)를 구동한다.

또한, 제어부(5)는, 도시하지 않은 연산 처리부, 메모리부 및 판단부를 포함하고 있고, 연산 처리부에서, 온도 센서(90) 및 온습도 센서(80)에 의해 검출된 온도 정보 및 습도 정보에 의거하여 후술하는 연산을 행하고, 판단부에서, 그 산출 결과와 메모리부에 기억된 임계치와의 비교를 행하고, 또한 그 결과에 의거하여 상술한 각종 구동 회로에 대해 제어 신호를 입력한다.

이상에서 설명한 분자 펌프(1A)로 함에 의해, 제어 유닛(4)의 내부에서의 결로가 가장 발생하기 쉬운 부분인 온도 센서(90)가 부착된 부분에서의 상대습도를, 연속해서 안정적이면서 정확하게 산출할 수 있게 된다. 이하, 그 이유에 관해 설명한다.

도 5는, 포화 수증기압 곡선을 도시하는 그래프이다. 이미 아는 같이, 포화 수증기압 곡선(P^WS)[h㎩]는, 횡축에 온도(T)[℃]를 취하고, 종축에 수증기압(P)[h㎩]를 취한 경우에, 도 5에 도시하는 바와 같은 곡선으로 표현된다. 여기서, 당해 포화 수증기압 곡선의 근사식인 함수(f(T))로서는, 다수의 것이 제안되어 있는데, 예를 들면 기상(氣象) 분야에서 널리 이용되고 있는 Magnus-Teten의 식(하기한 식(1))을 이용할 수 있다.

[수식 1]

온도 센서(90)가 마련된 제1의 위치에서의 온도를 T_B[℃], 상대습도를 H_B[%], 수증기압을 P_B[h㎩]로 한 경우, 이들의 사이에는, 상기 함수(f(T))를 이용하여 하기한 식(2)이 성립한다.

[수식 2]

또한, 온습도 센서(80)가 마련된 제2의 위치에서의 온도를 T_A[℃], 상대습도를 H_A[%], 수증기압을 P_A[h㎩]로 한 경우, 이들의 사이에는, 상기 함수(f(T))를 이용하여 하기한 식(3)이 성립한다.

[수식 3]

여기서, 상술한 바와 같이, 제어 유닛(4)은, 반밀폐형의 커버(70)로 덮여 있기 때문에, 제어 유닛(4)의 내부의 공간은 폐쇄 공간으로 간주하여도 좋기 때문에, 제1의 위치에서의 수증기압(P_A)[h㎩] 및 제2의 위치에서의 수증기압(P_B)[h㎩]은, 모두 제어 유닛(4)의 내부의 노점 온도(T_D)[℃]에서의 포화 수증기압(f(T_D))[h㎩]과 동등하게 되어, 하기한 식(4)이 성립한다.

[수식 4]

따라서 상기 식(2) 내지 식(4)에 근거하면, 하기한 식(5)이 도출되게 된다.

[수식 5]

이상에 의해, 제1의 위치에 마련된 온도 센서(90)에 의해 검출된 온도(T_B)[℃] 와, 제2의 위치에 마련된 온습도 센서(80)에 의해 검출된 온도(T_A)[℃] 및 상대습도(H_A)[%]에 의거하여, 제어부(5)의 연산 처리부에서 연산을 행함에 의해, 제1의 위치에서의 상대습도(H_B)[%]가 산출될 수 있게 된다.

다음에, 상기에 의거하여 산출된 제1의 위치에서의 상대습도(H_B)[%]에 의거한 제어부(5)의 제어 동작의 구체적인 구성례에 관해 설명한다. 도 6 및 도 7은, 본 실시의 형태에서의 분자 펌프의 제어부의 제어 동작의 제1 구성례를 도시하는 동작 테이블도 및 플로차트이다. 또한, 도 8 및 도 9는, 본 실시의 형태에서의 분자 펌프의 제어부의 제어 동작의 제2 구성례를 도시하는 동작 테이블도 및 플로차트이다.

도 6에 도시하는 바와 같이, 제1 구성례에서는, 산출된 상대습도(H_B)[%]와 미리 정한 제1 임계치(H_C)[%] 및 제2 임계치(H_E)[%]를 비교함에 의해, 제어부(5)가, 냉각 유닛(3)의 동작과 펌프 본체(2)의 동작(터보 분자 펌프부(2a) 및 나사홈 진공 펌프부(2b)를 구동시키기 위한 로터(40)의 회전 동작, 즉 모터(53)의 회전 동작)을 제어한다.

구체적으로는, 산출된 상대습도(H_B)[%]가 제1 임계치(H_C)[%] 미만인 경우에는, 제어부(5)는, 개폐밸브(64)를 개방함에 의해, 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작을 실행시킨다. 즉, 제1의 위치에서의 상대습도가 비교적 낮은 상태에서는, 결로가 발생하지 않는다고 판단할 수 있기 때문에, 냉각 동작이 실행된다.

또한, 산출된 상대습도(H_B)[%]가 제1 임계치(H_C)[%] 이상이고 제2 임계치(H_E)[%] 미만인 경우에는, 제어부(5)는, 개폐밸브(64)를 폐쇄함에 의해, 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작을 정지시킨다. 즉, 제1의 위치에서의 상대습도가 비교적 높은 상태에서는, 결로가 발생할 가능성이 있다고 판단할 수 있기 때문에, 냉각 동작이 정지된다.

또한, 산출된 상대습도(H_B)[%]가 제2 임계치(H_E)[%] 이상인 경우에는, 제어부(5)는, 미리 정한 결로 에러 처리를 행하여 유저에게 결로 에러를 통보한다. 즉, 제1의 위치에서의 상대습도가 현저하게 높은 상태에서는, 결로가 발생할 가능성이 매우 높든지, 또는 결로가 발생하고 있을 가능성이 있다고 판단할 수 있기 때문에, 당해 상태를 유저에게 통보한다.

상기 제어 동작은, 예를 들면 도 7에 도시하는 제어 플로에 의해 실현할 수 있다. 또한, 당해 제어 플로는, 제어부(5)가, 상술한 메모리부 등에 격납된 프로그램을 판독하여 이것을 실행함으로써 행하여진다.

도 7에 도시하는 바와 같이, 제어부(5)는, 스탭 S101에서, 온도(T_B)[℃], 온도(T_A)[℃] 및 상대습도(H_A)[%]의 검출을 행한다. 구체적으로는, 제어부(5)는, 온도 센서(90) 및 온습도 센서(80)에 의해 검출된 온도 정보 및 습도 정보를 이들로부터 취득한다.

다음에, 제어부(5)는, 스탭 S102에서, 상대습도(H_B)[%]의 산출을 행한다. 구체적으로는, 제어부(5)는, 스탭 S101에서 취득한 온도(T_B)[℃], 온도(T_A)[℃] 및 상대습도(H_A)[%]에 의거하여, 연산 처리부에서 상술한 식(1) 및 식(5)에 의거한 연산 처리를 행함으로써 상대습도(H_B)[%]를 산출한다.

다음에, 제어부(5)는, 스탭 S103에서, 상대습도(H_B)[%]가 제2 임계치(H_E)[%] 미만인지의 여부를 판단한다. 구체적으로는, 제어부(5)는, 스탭 S102에서 산출한 상대습도(H_B)[%]와 미리 정한 제2 임계치(H_E)[%]를 판단부에서 비교함에 의해, 상기한 판단을 행한다.

제어부(5)는, 상대습도(H_B)[%]가 제2 임계치(H_E)[%] 미만이라고 판단한 경우(스탭 S103에서 YES인 경우)에는 스탭 S104로 이행하고, 상대습도(H_B)[%]가 제2 임계치(H_E)[%] 이상이라고 판단한 경우(스탭 S103에서 NO인 경우)에는 스탭 S107로 이행한다.

스탭 S104에서는, 제어부(5)는, 상대습도(H_B)[%]가 제1 임계치(H_C)[%] 미만인지의 여부를 판단한다. 구체적으로는, 제어부(5)는, 스탭 S102에서 산출한 상대습도(H_B)[%]와 미리 정한 제1 임계치(H_C)[%]를 판단부에서 비교함에 의해, 상기한 판단을 행한다.

제어부(5)는, 상대습도(H_B)[%]가 제1 임계치(H_C)[%] 미만이라고 판단한 경우(스탭 S104에서 YES인 경우)에는 스탭 S105로 이행하고, 상대습도(H_B)[%]가 제1 임계치(H_C)[%] 이상이라고 판단한 경우(스탭 S104에서 NO인 경우)에는 스탭 S106으로 이행한다.

스탭 S105에서는, 제어부(5)는, 개폐밸브(64)를 개방한다. 이에 의해, 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작이 실행되게 된다. 또한, 스탭 S105가 완료된 후는, 제어부(5)는, 재차 스탭 S101의 동작으로 복귀한다.

스탭 S106에서는, 제어부(5)는, 개폐밸브(64)를 폐쇄한다. 이에 의해, 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작이 정지되게 된다. 또한, 스탭 S106이 완료된 후는, 제어부(5)는, 재차 스탭 S101의 동작으로 복귀한다.

한편, 스탭 S107에서는, 제어부(5)는, 개폐밸브(64)를 폐쇄한다. 이에 의해, 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작이 정지되게 된다.

다음에, 제어부(5)는, 스탭 S108에서 결로 에러의 출력을 행하여, 결로가 발생할 가능성이 매우 높든지, 또는 결로가 발생하고 있을 가능성이 있음을 유저에게 통보함과 함께, 계속해서 스탭 S109에서 모터(53)의 회전이 정지하고 있는지의 여부를 판단한다.

제어부(5)는, 모터(53)의 회전이 정지하고 있다고 판단한 경우(스탭 S109에서 YES인 경우)에는 스탭 S111로 이행하고, 모터(53)의 회전이 정지하고 있지 않다고 판단한 경우(스탭 S109에서 NO인 경우)에는 스탭 S110으로 이행하여 모터(53)의 동작을 브레이크 동작으로 전환한다.

스탭 S111에서는, 제어부(5)는, 유저에 의한 리셋 지령의 입력이 있었는지 여부를 판단하고, 유저에 의한 리셋 지령의 입력이 없다고 판단한 경우(스탭 S111에서 NO인 경우)에는 대기하고, 유저에 의한 리셋 지령의 입력이 있다고 판단한 경우(스탭 S111에서 YES인 경우)에는 스탭 S112로 이행하여 결로 에러를 리셋하다. 또한, 스탭 S112가 완료된 후는, 제어부(5)는, 재차 스탭 S101의 동작으로 복귀한다.

도 8에 도시하는 바와 같이, 제2 구성례에서는, 산출된 상대습도(H_B)[%]와 미리 정한 제1 임계치(H_C)[%] 및 제2 임계치(H_E)[%]를 비교함과 함께, 검출된 온도(T_A)[℃]와 미리 정한 제3 임계치(T_C)[℃] 및 제4 임계치(T_D)[℃]를 비교함에 의해, 제어부(5)가, 냉각 유닛(3)의 동작과 펌프 본체(2)의 동작(터보 분자 펌프부(2a) 및 나사홈 진공 펌프부(2b)를 구동시키기 위한 로터(40)의 회전 동작, 즉 모터(53)의 회전 동작)을 제어한다.

구체적으로는, 검출된 온도(T_A)[℃]가 제3 임계치(T_C)[℃] 미만이고, 산출된 상대습도(H_B)[%]가 제2 임계치(H_E)[%] 미만인 경우에는, 제어부(5)는, 개폐밸브(64)를 폐쇄함에 의해, 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작을 정지시킨다. 즉, 제2의 위치에서의 온도가 비교적 낮은 상태에서는, 결로의 발생의 가능성의 높낮이에 관계없이 원래 냉각의 필요성이 낮다고 판단할 수 있기 때문에, 냉각 동작이 정지된다.

또한, 산출된 상대습도(H_B)[%]가 제1 임계치(H_C)[%] 미만이고, 검출된 온도(T_A)[℃]가 제3 임계치(T_C)[℃] 이상이고 제4 임계치(T_D)[℃] 미만인 경우에는, 제어부(5)는, 개폐밸브(64)를 개방함에 의해, 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작을 실행시킨다. 즉, 제2의 위치에서의 온도가 비교적 높고, 제1의 위치에서의 상대습도가 비교적 낮은 상태에서는, 결로가 발생하지 않는다고 판단할 수 있기 때문에, 냉각 동작이 실행된다.

또한, 산출된 상대습도(H_B)[%]가 제1 임계치(H_C)[%] 이상이고 제2 임계치(H_E)[%] 미만이고, 검출된 온도(T_A)[℃]가 제3 임계치(T_C)[℃] 이상이고 제4 임계치(T_D)[℃] 미만인 경우에는, 제어부(5)는, 개폐밸브(64)를 폐쇄함에 의해, 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작을 정지시킨다. 즉, 제2의 위치에서의 온도가 비교적 높고, 제1의 위치에서의 상대습도가 비교적 높은 상태에서는, 결로가 발생할 가능성이 있다고 판단할 수 있기 때문에, 냉각 동작이 정지된다.

또한, 검출된 온도(T_A)[℃]가 제4 임계치(T_D)[℃] 이상이고, 산출된 상대습도(H_B)[%]가 제2 임계치(H_E)[%] 미만인 경우에는, 제어부(5)는, 개폐밸브(64)를 개방함에 의해, 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작을 실행시킨다. 즉, 제2의 위치에서의 온도가 현저하게 높은 상태에서는, 결로의 발생의 가능성의 높낮이에 관계없이 원래 냉각의 필요성이 높다고 판단할 수 있기 때문에, 냉각 동작이 실행된다.

또한, 산출된 상대습도(H_B)[%]가 제2 임계치(H_E)[%] 이상인 경우에는, 제어부(5)는, 미리 정한 결로 에러 처리를 행하여 유저에게 결로 에러를 통보한다. 즉, 제1의 위치에서의 상대습도가 현저하게 높은 상태에서는, 결로가 발생할 가능성이 매우 높든지, 또는 결로가 발생하고 있을 가능성이 있다고 판단할 수 있기 때문에, 당해 상태를 유저에게 통보한다.

상기 제어 동작은, 예를 들면 도 9에 도시하는 제어 플로에 의해 실현할 수 있다. 또한, 당해 제어 플로는, 상술한 제1 구성례의 경우와 마찬가지로, 제어부(5)가, 상술한 메모리부 등에 격납된 프로그램을 판독하여 이것을 실행함으로써 행하여진다. 또한, 도 9에 도시하는 제어 플로 중, 스탭 S201, 스탭 S202 및 스탭 S209 내지 스탭 S214에 관해서는, 상술한 제1 구성례의 스탭 S101, 스탭 S102 및 스탭 S107 내지 스탭 S112와 공통되기 때문에, 그 설명은 반복하지 않는다.

도 9에 도시하는 바와 같이, 제어부(5)는, 스탭 S203에서, 상대습도(H_B)[%]가 제2 임계치(H_E)[%] 미만인지의 여부를 판단한다. 구체적으로는, 제어부(5)는, 스탭 S202에서 산출한 상대습도(H_B)[%]와 미리 정한 제2 임계치(H_E)[%]를 판단부에서 비교함에 의해, 상기한 판단을 행한다.

제어부(5)는, 상대습도(H_B)[%]가 제2 임계치(H_E)[%] 미만이라고 판단한 경우(스탭 S203에서 YES인 경우)에는 스탭 S204로 이행하고, 상대습도(H_B)[%]가 제2 임계치(H_E)[%] 이상이라고 판단한 경우(스탭 S203에서 NO인 경우)에는 스탭 S209로 이행한다.

스탭 S204에서는, 제어부(5)는, 온도(T_A)[℃]가 제3 임계치(T_C)[℃]보다도 높은지의 여부를 판단한다. 구체적으로는, 제어부(5)는, 스탭 S201에서 검출한 온도(T_A)[℃]와 미리 정한 제3 임계치(T_C)[℃]를 판단부에서 비교함에 의해, 상기한 판단을 행한다.

제어부(5)는, 온도(T_A)[℃]가 제3 임계치(T_C)[℃]보다도 높다고 판단한 경우(스탭 S204에서 YES인 경우)에는 스탭 S205로 이행하고, 온도(T_A)[℃]가 제3 임계치(T_C)[℃] 이하라고 판단한 경우(스탭 S204에서 NO인 경우)에는 스탭 S208으로 이행한다.

스탭 S205에서는, 제어부(5)는, 상대습도(H_B)[%]가 제1 임계치(H_C)[%] 미만인지의 여부를 판단한다. 구체적으로는, 제어부(5)는, 스탭 S202에서 산출한 상대습도(H_B)[%]와 미리 정한 제1 임계치(H_C)[%]를 판단부에서 비교함에 의해, 상기한 판단을 행한다.

제어부(5)는, 상대습도(H_B)[%]가 제1 임계치(H_C)[%] 미만이라고 판단한 경우(스탭 S205에서 YES인 경우)에는 스탭 S206으로 이행하고, 상대습도(H_B)[%]가 제1 임계치(H_C)[%] 이상이라고 판단한 경우(스탭 S205에서 NO인 경우)에는 스탭 S207으로 이행한다.

스탭 S207에서는, 제어부(5)는, 온도(T_A)[℃]가 제4 임계치(T_D)[℃]보다도 높은지의 여부를 판단한다. 구체적으로는, 제어부(5)는, 스탭 S201에서 검출한 온도(T_A)[℃]와 미리 정한 제4 임계치(T_D)[℃]를 판단부에서 비교함에 의해, 상기한 판단을 행한다.

제어부(5)는, 온도(T_A)[℃]가 제4 임계치(T_D)[℃]보다도 높다고 판단한 경우(스탭 S207에서 YES인 경우)에는 스탭 S206으로 이행하고, 온도(T_A)[℃]가 제4 임계치(T_D)[℃] 이하라고 판단한 경우(스탭 S207에서 NO인 경우)에는 스탭 S208으로 이행한다.

스탭 S206에서는, 제어부(5)는, 개폐밸브(64)를 개방한다. 이에 의해, 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작이 실행되게 된다. 또한, 스탭 S206이 완료된 후는, 제어부(5)는, 재차 스탭 S201의 동작으로 복귀한다.

스탭 S208에서는, 제어부(5)는, 개폐밸브(64)를 폐쇄한다. 이에 의해, 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작이 정지되게 된다. 또한, 스탭 S208이 완료된 후는, 제어부(5)는, 재차 스탭 S201의 동작으로 복귀한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시의 형태에서의 분자 펌프(1A)로 함에 의해, 제어 유닛(4)의 내부의 결로가 가장 발생하기 쉬운 부분인 상기 제1의 위치에서의 상대습도를 연속해서 안정적이면서 정확하게 산출하는 것이 가능해진다. 여기서, 당해 제1의 위치에 습도 센서를 마련한 경우에는, 전술한 바와 같이, 결로가 발생함에 의해 습도 센서에 부착한 결로액이 증발할 때까지 상당 정도의 시간을 필요로 하고, 결과적으로 그때까지의 동안, 습도 센서에서 습도의 검출을 일체 행할 수 없게 되어 버리는데, 본 실시의 형태에서의 분자 펌프(1A)에서는, 당해 제1의 위치에 습도 센서를 마련하지 않은 구성이기 때문에, 당연히 이와 같은 문제가 생기는 일이 없다.

그 때문에, 상기한 바와 같이 구성함에 의해, 본래, 측정하여야 할 결로가 가장 발생하기 쉬운 부분의 습도를 연속해서 안정적이면서 정확하게 산출할 수 있기 때문에, 결로의 발생을 확실하게 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 불필요하게 냉각 동작을 정지시키는 일도 없어지기 때문에, 결과로서 효율적인 분자 펌프의 운전을 행할 수 있게 된다. 따라서 상기 구성을 채용함에 의해, 고신뢰성이면서 고성능의 분자 펌프로 할 수 있다.

(제1 변형례)

도 10은, 본 실시의 형태에 의거한 제1 변형례에 관한 분자 펌프의 모식 횡단면도이다. 이하, 이 도 10을 참조하여, 본 실시의 형태에 의거한 제1 변형례에 관한 분자 펌프(1B)에 관해 설명한다.

도 10에 도시하는 바와 같이, 제1 변형례에 관한 분자 펌프(1B)는, 냉각 유닛(3)에 마련된 배관계의 구성에서만, 상술한 본 실시의 형태에서의 분자 펌프(1A)와 상위하고 있다. 즉, 분자 펌프(1B)는, 냉각 블록(60)에 마련된 냉각액 유통 경로(61)에 접속된 배관계로서, 입구측 포트(62)와, 출구측 포트(63)와, 바이패스관(65)과, 전환밸브(66)를 갖고 있다.

바이패스관(65)은, 입구측 포트(62)와 출구측 포트(63)를 접속하는 배관이고, 그 일단이 입구측 포트(62)에 마련된 전환밸브(66)에 접속되어 있고, 그 타단이 출구측 포트(63)에 접속되어 있다. 전환밸브(66)는, 입구측 포트(62)에 공급된 냉각액의 유로를 전환하기 위한 것이다.

이에 의해, 전환밸브(66)가 전환됨으로써 도시하지 않은 급액 설비와 냉각액 유통 경로(61)가 입구측 포트(62)를 통하여 접속된 상태에서는, 냉각액이 냉각액 유통 경로(61)에 공급되게 되고 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작이 실행되게 되고, 전환밸브(66)가 전환됨으로써 도시하지 않은 급액 설비와 바이패스관(65)이 입구측 포트(62)를 통하여 접속된 상태에서는, 냉각액의 냉각액 유통 경로(61)에 대한 공급이 정지되게 되어 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작이 정지되게 된다.

이와 같이 구성한 경우에도, 상술한 실시의 형태 1에서의 설명한 개폐밸브(64)의 개폐 제어에 대신하여 전환밸브(66)의 전환 제어를 행함에 의해, 냉각 유닛(3)에 의한 냉각 동작의 실행과 정지가 전환 가능하게 되기 때문에, 상술한 실시의 형태 1에서 설명한 효과와 같은 효과를 얻을 수 있다.

여기서, 본 변형례에 관한 분자 펌프(1B)는, 복수의 분자 펌프를 상호 접근시켜서 마련한 경우면서 이들 복수의 분자 펌프에 마련된 냉각 유닛을 냉각액이 유통하는 배관을 통하여 직렬로 접속한 경우에 특히 알맞게 이용할 수 있는 것이다. 즉, 이와 같은 케이스에서는, 냉각 유닛이 배관을 통하여 직렬로 접속된 분자 펌프 중의 어느 하나에서 선택적으로 그 냉각 동작을 정지시킬 필요가 생기는 경우가 있는데, 그 경우에 상기 구성을 채용함에 의해, 냉각 동작을 정지시킨 분자 펌프의 하류측에 위치하는 분자 펌프에서도 계속적으로 냉각 동작을 실행할 수 있게 된다.

(제2 변형례)

도 11은, 본 실시의 형태에 의거한 제2 변형례에 관한 분자 펌프의 모식 횡단면도이다. 이하, 이 도 11을 참조하여, 본 실시의 형태에 의거한 제2 변형례에 관한 분자 펌프(1C)에 관해 설명한다.

도 11에 도시하는 바와 같이, 제2 변형례에 관한 분자 펌프(1C)는, 제어 유닛(4)의 커버(70)에 환기 기구로서의 도입관(74) 및 도출관(75)이 마련되어 있는 점에서만, 상술한 본 실시의 형태에서의 분자 펌프(1A)와 상위하고 있다. 즉, 분자 펌프(1C)에서는, 상술한 환기 기구로서의 도입관(74) 및 도출관(75)을 구비함에 의해, 필요에 응하여 제어 유닛(4)의 내부의 기체의 환기가 행하여지게 된다.

도입관(74)은, 제어 유닛(4)의 내부의 공간에 질소 가스 등의 불활성가스 또는 공기 등의 건조 기체를 공급하기 위한 것이고, 그 일단이 도시하지 않은 급기 설비에 접속되어 있고, 그 타단이 커버(70)에 접속되어 있다. 한편, 도출관(75)은, 제어 유닛(4)의 내부의 공간으로부터 기체를 배출하기 위한 것이고, 그 일단이 도시하지 않은 배기 설비에 접속되어 있고, 그 타단이 커버(70)에 접속되어 있다.

이에 의해, 급기 설비로부터 건조 기체가 공급됨에 의해, 제어 유닛(4)의 내부의 기체의 환기(즉 치환)가 행하여지게 된다. 당해 환기 동작은, 온도 센서(90)가 마련된 상기 제1의 위치에서의 상대습도가 비교적 높은 상태(즉, 결로가 발생할 가능성이 있다고 판단할 수 있는 경우)에서 실행되는 것이 바람직하고, 예를 들면 도 7에 도시한 제어 플로의 스탭 S106 이후나 스탭 S107 이후, 또는 도 9에 도시한 제어 플로의 스탭 S208 이후나 스탭 S209 이후에서 실행되는 것이 특히 알맞다.

이와 같이 구성한 경우에는, 상술한 실시의 형태 1에서 설명한 효과에 더하여, 상기 환기 기구에 의한 환기 동작에 의해, 더욱 확실하게 결로의 발생이 방지될 수 있음과 함께, 더욱 효율적인 분자 펌프의 운전을 행할 수 있게 된다.

(제3 변형례)

도 12는, 본 실시의 형태에 의거한 제3 변형례에 관한 분자 펌프의 모식 종단면도이다. 이하, 이 도 12를 참조하여, 본 실시의 형태에 의거한 제3 변형례에 관한 분자 펌프(1D)에 관해 설명한다.

도 12에 도시하는 바와 같이, 제3 변형례에 관한 분자 펌프(1D)는, 제어 유닛(4)의 내부에 가열 기구로서의 히터(78)가 마련되어 있는 점에서만, 상술한 제2 변형례에 관한 분자 펌프(1C)와 상위하고 있다. 즉, 분자 펌프(1D)에서는, 상술한 가열 기구로서의 히터(78)를 구비함에 의해, 필요에 응하여 제어 유닛(4)의 내부의 기체의 가열이 행하여지게 된다. 또한, 도 12에서는 도시하지 않지만, 제3 변형례에 관한 분자 펌프(1D)에서도, 커버(70)에 환기 기구로서의 도입관(74) 및 도출관(75)이 마련되어 있다.

히터(78)는, 예를 들면 전열선 등을 내장한 면형상 히터로 이루어지고, 통전에 의해 제어 유닛(4)의 내부의 기체의 가열을 행함으로써 제어 유닛(4)의 내부에 생기고 있는 결로액의 증발을 촉진한다. 당해 히터(78)에 의한 가열에 의해 증발한 수분은, 상술한 환기 기구에 의한 환기 동작에 동반하여 제어 유닛(4)의 외부로 배출되게 된다. 따라서 당해 가열 동작은, 온도 센서(90)가 마련된 상기 제1의 위치에서의 상대습도가 현저하게 높은 상태(즉, 결로가 발생할 가능성이 매우 높든지, 또는 결로가 발생하고 있을 가능성이 있다고 판단할 수 있는 경우)에 있어서 실행되는 것이 바람직하고, 예를 들면 도 7에 도시한 제어 플로의 스탭 S107 이후, 또는 도 9에 도시한 제어 플로의 스탭 S209 이후에 있어서 상기 환기 동작이라고 연동하여 실행되는 것이 특히 알맞다.

이와 같이 구성한 경우에는, 상술한 제2 변형례에서 설명한 효과에 더하여, 상기 가열 기구에 의한 가열 동작에 의해, 결로가 발생하고 있는 경우에 당해 결로의 해소가 신속하게 행하여지게 되어, 더욱 효율적인 분자 펌프의 운전을 행할 수 있게 된다.

(실시의 형태 2)

도 13은, 본 발명의 실시의 형태 2에서의 분자 펌프의 일부 파단 정면도이고, 도 14는, 도 13에 도시하는 분자 펌프의 저면도이다. 이하, 이들 도 13 및 도 14를 참조하여, 본 실시의 형태에서의 분자 펌프(1E)에 관해 설명한다.

도 13 및 도 14에 도시하는 바와 같이, 본 실시의 형태에서의 분자 펌프(1E)는, 펌프 본체(2), 단일한 냉각 유닛(3) 및 제어 유닛(4)의 레이아웃에서만, 상술한 실시의 형태 1에서의 분자 펌프(1A)와 상위하고 있다. 구체적으로는, 분자 펌프(1E)에서는, 펌프 본체(2)와 제어 유닛(4)이 수평 방향으로 이웃하도록 배치되어 있고, 그 어느 것이나 냉각 유닛(3)상에 부착되어 있다. 이에 의해, 펌프 본체(2) 및 제어 유닛(4)은, 냉각 유닛(3)상에서 병설된 상태로 되어 있다.

당해 구성으로부터 분명한 바와 같이, 본 실시의 형태에서의 분자 펌프(1E)에서도, 냉각 유닛(3)과 펌프 본체(2)를 열접촉시키기 위해 이들이 접촉 배치시킴과 함께, 냉각 유닛(3)과 제어 유닛(4)을 열접촉시키기 위해 이들이 접촉 배치시켜져 있다. 당해 구성을 채용함에 의해, 상술한 실시의 형태 1에서의 분자 펌프(1A)의 경우와 마찬가지로, 단일한 냉각 유닛(3)에 의해 펌프 본체(2)와 제어 유닛(4)의 모두가 냉각 가능해지게 되고, 분자 펌프(1E) 전체로서의 구성을 간소화할 수 있게 된다.

여기서, 본 실시의 형태에서의 분자 펌프(1E)에서는, 온도 센서(90)가, 커버(70)의 저판부의 내표면상의 소정 위치(제1의 위치에 상당)에 부착되어 있다. 한편, 온습도 센서(80)는, 제2 기판(72)상의 소정 위치(제2의 위치)에 실장되어 있다. 또한, 온도 센서(90)는, 보다 알맞게는 도 14에 도시하는 바와 같이, 커버(70)가 접촉 배치된 부분에서의 냉각 블록(60) 중의 냉각액 유통 경로(61)의 가장 상류측에 위치하는 부분에 대응한 위치의 커버(70)의 내표면상의 위치에 마련된다. 당해 위치는, 냉각 유닛(3)에 의해 가장 효율적으로 냉각된 위치이고, 제어 유닛(4)의 내부에서의 결로가 가장 발생하기 쉬운 부분에 상당한다.

이와 같이 구성한 경우에도, 상술한 실시의 형태 1에서 설명한 효과와 같은 효과를 얻을 수 있다. 즉, 상기한 바와 같이 구성함에 의해, 본래, 측정하여야 할 결로가 가장 발생하기 쉬운 부분의 습도를 연속해서 안정적이면서 정확하게 산출할 수 있기 때문에, 결로의 발생을 확실하게 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 불필요하게 냉각 동작을 정지시키는 일도 없어지기 때문에, 결과로서 효율적인 분자 펌프의 운전을 행할 수 있게 된다. 따라서 상기 구성을 채용함에 의해, 고신뢰성이면서 고성능의 분자 펌프로 할 수 있다.

(실시의 형태 3)

도 15는, 본 발명의 실시의 형태 3에서의 분자 펌프의 일부 파단 정면도이고, 도 16은, 도 15에 도시하는 분자 펌프의 저면도이다. 이하, 이들 도 15 및 도 16을 참조하여, 본 실시의 형태에서의 분자 펌프(1F)에 관해 설명한다.

도 15 및 도 16에 도시하는 바와 같이, 본 실시의 형태에서의 분자 펌프(1F)는, 펌프 본체(2) 및 제어 유닛(4)의 각각에 대응하여 한 쌍의 냉각 유닛(3)이 마련되어 있는 점에서만, 상술한 실시의 형태 2에서의 분자 펌프(1E)와 상위하고 있다. 구체적으로는, 분자 펌프(1F)에서는, 일방의 냉각 유닛(3)의 냉각 블록(60A)상에 펌프 본체(2)가 배치되어 있고, 타방의 냉각 유닛(3)의 냉각 블록(60B)상에 제어 유닛(4)이 배치되어 있다.

여기서, 한 쌍의 냉각 유닛(3)의 각각은, 각각 냉각 블록(60A, 60B)에 마련된 냉각액 유통 경로(61)와, 당해 냉각액 유통 경로(61)에 접속된 배관계인 입구측 포트(62), 출구측 포트(63) 및 개폐밸브(64)를 갖고 있다. 또한, 제어 유닛(4)에 대한 냉각 동작의 실행 및 그 정지는, 상술한 한 쌍의 개폐밸브(64) 중의 제어 유닛(4)에 대응시켜서 마련된 냉각 유닛(3)에 마련된 개폐밸브(64)에 의해 행하여진다.

이와 같이 구성한 경우에도, 상술한 실시의 형태 2에서 설명한 효과와 같은 효과를 얻을 수 있다. 즉, 상기한 바와 같이 구성함에 의해, 본래, 측정하여야 할 결로가 가장 발생하기 쉬운 부분의 습도를 연속해서 안정적이면서 정확하게 산출할 수 있기 때문에, 결로의 발생을 확실하게 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 불필요하게 냉각 동작을 정지시키는 일도 없어지기 때문에, 결과로서 효율적인 분자 펌프의 운전이 행할 수 있게 된다. 따라서 상기 구성을 채용함에 의해, 고신뢰성이면서 고성능의 분자 펌프로 할 수 있다.

상술한 본 발명의 실시의 형태 1 내지 3 및 그 변형례에서는, 냉각 유닛에 의한 냉각 동작의 실행 및 그 정지를 냉각 유닛에 마련된 개폐밸브의 개폐 동작 또는 전환밸브의 전환 동작을 제어함에 의해 행하는 것으로 한 경우를 예시하였지만, 분자 펌프 자체에 냉각액을 압송하는 펌프 등의 압송기구가 내장되어 있는 경우에는, 당해 압송기구의 동작을 제어함으로써 냉각 유닛에 의한 냉각 동작의 실행 및 그 정지를 제어하여도 좋다. 또한, 개폐밸브 또는 전환밸브에 대신하여 유량 제어 밸브를 냉각 유닛에 마련함에 의해, 당해 유량 제어 밸브의 개방도를 적절히 조절함으로써 냉각 유닛에 의한 냉각 동작의 실행을 보다 세밀하게 제어하도록 하여도 좋다.

또한, 상술한 본 발명의 실시의 형태 1에 의거한 제2 및 제3 변형례에서는, 환기 기구로서의 도입관 및 도출관을 제어 유닛의 커버에 마련한 경우를 예시하여 설명을 행하였지만, 이에 대신하여 또는 이에 더하여서, 제어 유닛이 팬 등의 기체를 압송하기 위한 압송기구를 환기 기구로서 내장하고 있어도 좋다. 그 경우에는, 당해 압송기구의 동작을 제어함으로써 환기 동작의 실행 및 그 정지를 제어하면 좋다. 나아가서는, 커버가 반밀폐형인 것을 고려하면, 반드시 배기관을 마련하지 않아도 좋다.

또한, 상술한 본 발명의 실시의 형태 1 내지 3 및 그 변형례에서는, 온도 센서가 설치되는 상기 제1의 위치로서, 커버의 결로가 가장 발생하기 쉬운 부분을 선택한 경우를 예시하였지만, 반드시 당해 부분을 선택할 필요는 없고, 상기 제1의 위치로서는, 비교적 결로가 발생하기 쉬운 부분이라면, 어느 위치를 선택하여도 좋다.

또한, 상술한 본 발명의 실시의 형태 1 내지 3 및 그 변형례에서는, 온습도 센서가 마련된 상기 제2의 위치로서, 회로 기판상의 위치를 선택한 경우를 예시하였지만, 반드시 당해 위치를 선택할 필요는 없고, 상기 제2의 위치로서는, 비교적 결로가 발생하기 어려운 위치라면, 어느 위치를 선택하여도 좋다.

또한, 상술한 본 발명의 실시의 형태 1 내지 3 및 그 변형례에서는, 상기 제2의 위치에 온도 센서 및 습도 센서를 구비한 복합 센서를 마련하도록 구성한 경우를 예시하였지만, 이들을 독립한 별개의 센서로 구성하는 것으로 하여도 좋다.

또한, 상술한 본 발명의 실시의 형태 1 내지 3 및 그 변형례에서는, 산출된 상기 제1의 위치에서의 상대습도에 의거하여, 냉각 유닛에 의한 냉각 동작뿐만 아니라, 펌프 본체의 동작이나 이에 더하여 환기 기구, 가열 기구의 동작도 제어하도록 구성한 경우를 예시하였지만, 당연히 냉각 유닛에 의한 냉각 동작만을 제어하도록 하여도 좋다.

또한, 상술한 본 발명의 실시의 형태 1에서 나타낸 제어 동작의 제1 구성례 및 제2 구성례는, 어디까지나 구체적인 제어 동작의 한 예를 나타낸 것으로 그치고, 이들 제1 구성례 및 제2 구성례 이외의 다른 제어 동작을 채용하는 것도 당연히 가능하다.

또한, 상술한 본 발명의 실시의 형태 1 내지 3 및 그 변형례에서는, 터보 분자 펌프부와 나사홈 진공 펌프부가 병설된 이른바 복합 분자 펌프에 본 발명을 적용한 경우를 예시하였지만, 나사홈 진공 펌프부를 구비하지 않은 터보 분자 펌프에 본 발명을 제공하는 것도 당연히 가능하다.

나아가서는, 상술한 본 발명의 실시의 형태 1 내지 3 및 그 변형례에서 나타낸 특징적인 구성은, 본 발명의 취지에 비추어서 허용된 범위에서 당연히 그 조합이 가능하다.

이와 같이, 금회 개시한 상기 실시의 형태 및 그 변형례는 모든 점에서 예시이고, 제한적인 것이 아니다. 본 발명의 기술적 범위는 청구의 범위에 의해 확정되고, 또한 청구의 범위의 기재와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경을 포함하는 것이다.

1A 내지 1F : 분자 펌프
2 : 펌프 본체
2a : 터보 분자 펌프부
2b : 나사홈 진공 펌프부
3 : 냉각 유닛
4 : 제어 유닛
5 : 제어부
6 : 전원부
8 : 배기로
10 : 베이스
11 : 배기관
20a : 외측 스테이터
20b : 내측 스테이터
21 : 1차측 나사홈부
22 : 2차측 나사홈부
23 : 폐색부
30 : 케이싱
31 : 흡기구
32 : 스페이서겸 지지 부재
33 : 정익
40 : 로터
41 : 상부측 로터부
42 : 하부측 로터부
43 : 동익
50 : 로터 구동 기구
51 : 하우징
52 : 회전축
53 : 모터
54 : 자기 축받이
55 : 모터 구동 회로
56 : 자기 축받이 구동 회로
60 : 냉각 블록
61 : 냉각액 유통 경로
62 : 입구측 포트
63 : 출구측 포트
64 : 개폐밸브
65 : 바이패스관
66 : 전환밸브
67 : 개폐밸브 구동 회로
70 : 커버
71 : 제1 기판
72 : 제2 기판
73 : 스페이서겸 지지 부재
74 : 도입관
75 : 도출관
78 : 히터
80 : 온습도 센서
90 : 온도 센서

Claims (10)

1. 동익 및 정익을 포함하는 터보 분자 펌프부가 마련된 펌프 본체와,
   제어부 및 전원부가 마련된 제어 유닛과,
   상기 제어 유닛을 냉각하기 위한 냉각 유닛과,
   상기 제어 유닛의 내부의 기체를 환기시키기 위한 환기 수단을 구비한 분자 펌프로서,
   상기 냉각 유닛과 상기 제어 유닛이 열접촉하도록, 상기 제어 유닛이 상기 냉각 유닛에 접촉 배치 또는 접근 배치되고,
   상기 제어 유닛은, 상기 제어부 및 상기 전원부가 수용된 커버를 가지며,
   상기 커버의 내부의 위치이면서 또한 상기 냉각 유닛의 작동시에 있어서 저온이 되는 제1의 위치에 제1 온도 검출 수단이 마련되고,
   상기 커버의 내부의 위치이면서 또한 상기 냉각 유닛의 작동시에 있어서 상기 제1의 위치보다도 고온이 되는 제2의 위치에 습도 검출 수단 및 제2 온도 검출 수단이 마련되고,
   상기 제어부가, 상기 제1 온도 검출 수단 및 상기 제2 온도 검출 수단에 의해 검출된 온도 정보와 상기 습도 검출 수단에 의해 검출된 습도 정보로부터 산출된 상기 제1의 위치에서의 상대습도에 의거하여, 상기 냉각 유닛의 동작 및 상기 환기 수단의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 분자 펌프.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제어부가, 상기 상대습도가 미리 정한 임계치 이하인 경우에 상기 냉각 유닛에 의한 냉각 동작을 실행시키고, 상기 상대습도가 상기 임계치보다도 높은 경우에 상기 냉각 유닛에 의한 냉각 동작을 정지시키는 것을 특징으로 하는 분자 펌프.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제1의 위치가, 상기 냉각 유닛에 접촉 배치 또는 접근 배치된 부분의 상기 커버의 내표면상의 위치이고,
   상기 제2의 위치가, 상기 냉각 유닛에 접촉 배치 또는 접근 배치된 부분의 상기 커버의 내표면상의 위치 이외의 위치인 것을 특징으로 하는 분자 펌프.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제2의 위치가, 상기 제어 유닛의 내부에 배설된 회로 기판상의 위치인 것을 특징으로 하는 분자 펌프.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제어부가, 상기 상대습도에 의거하여, 상기 터보 분자 펌프부의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 분자 펌프.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제어 유닛의 내부의 기체를 가열하기 위한 가열 수단을 또한 구비하고,
   상기 제어부가, 상기 상대습도에 의거하여, 상기 가열 수단의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 분자 펌프.
7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 냉각 유닛이, 상기 제어 유닛에 더하여 상기 펌프 본체도 냉각하기 위한 것이고,
   상기 냉각 유닛과 상기 펌프 본체가 열접촉하도록, 상기 펌프 본체가 상기 냉각 유닛에 접촉 배치 또는 접근 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 분자 펌프.
8. 제7항에 있어서,
   상기 냉각 유닛이, 상기 펌프 본체와 상기 제어 유닛에 의해 끼워 넣어지도록 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 분자 펌프.
9. 제7항에 있어서,
   상기 펌프 본체 및 상기 제어 유닛이, 상기 냉각 유닛상에서 병설되어 있는 것을 특징으로 하는 분자 펌프.
10. 삭제

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