CN104669124A - 清洗装置以及清洗方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供清洗装置以及清洗方法。该清洗装置具有：喷射口部件，其从喷射口向具有贯通孔的清洗对象物喷射清洗剂；以及吸引口部件，其通过相对于上述清洗对象物设置在与上述喷射口相反侧的吸引口吸引上述清洗剂。

Description

清洗装置以及清洗方法
技术领域
本发明涉及清洗装置以及清洗方法。
背景技术
公知有从制冰(ice plant)喷嘴向树脂基板喷射含有冻结粒子的清洗介质而进行树脂基板的去毛刺清洗的去毛刺清洗装置以及去毛刺清洗方法。
专利文献1：日本特开2008-307624号公报
在形成有贯通孔的清洗对象物中，存在在贯通孔内也附着有附着物的情况。
发明内容
一个方面，本发明的目的在于提高对形成有贯通孔的清洗对象物去除附着物的去除能力。
在一个实施方式中，从喷射口向具有贯通孔的清洗对象物喷射清洗剂，并利用相对于清洗对象物设置在与喷射口相反侧的吸引口吸引清洗剂。
附图说明
图1是表示第一实施方式的清洗装置的主视图。
图2是表示第一实施方式的清洗装置的放大主视图。
图3是表示第一实施方式的清洗装置的放大主视图。
图4是表示第一实施方式的清洗装置的放大主视图。
图5是表示第一实施方式的清洗装置的吸引喷嘴的俯视图。
图6是表示金属掩模的立体图。
图7是图1的第一实施方式的清洗装置的框图。
图8A是放大表示金属掩模的贯通孔的附近的纵剖视图。
图8B是放大表示金属掩模的贯通孔的附近的横剖视图。
图9是表示第一实施方式的清洗装置的清洗工序的一个例子的时序图。
图10是表示将空气喷射喷嘴设置于腔室内的清洗装置的主视图。
具体实施方式
根据附图对第一实施方式详细地进行说明。
图1中示出第一实施方式的清洗装置12。
清洗装置12具有腔室14。亦如图2～图4中所示，腔室14为封闭的容器。在腔室14的内部收纳并保持金属掩模16。
金属掩模16例如是作为在印刷基板的基材上印刷涂覆焊膏20(参照图6)时的掩模使用的板状的部件。在图1～图4所示的例子中，金属掩模16具有板状的掩模主体16A和安装于掩模主体16A的周围的框状的加强部件16B。
亦如图6中所示，在金属掩模16形成有多个贯通孔18。在为了在印刷基板的基材上印刷涂覆焊膏20而使用后的金属掩模16，存在焊膏20的一部分作为附着物102而附着于贯通孔18内的情况。焊膏20例如处于焊剂20A与焊粒20B按照规定的体积比混合的状态。即，焊膏20是焊粒20B分散在焊剂20A中而形成的，焊膏20可能会残留在使用后的金属掩模16的贯通孔18内。在本实施方式中，金属掩模16是清洗对象物的一个例子，焊膏20是附着物的一个例子。
如图2～图4详细所示，在腔室14内设置有保持金属掩模16的保持部件22。在本实施方式中，保持部件22从外侧保持掩模主体16A以及加强部件16B，并且设置在腔室14内的规定位置。保持部件22是设置部的一个例子。
另外，保持部件22将金属掩模16保持在腔室14内，但不堵住金属掩模16的贯通孔18。而且，在腔室14内，在金属掩模16的下方形成下部空间14B，在金属掩模16的上方形成上部空间14A。
在腔室14的侧壁14C安装有一个或多个(在图2～图4所示的例子中，在左右的侧壁14C各安装2个，合计4个)清洗剂喷射喷嘴24。清洗剂喷射喷嘴24是喷射口部件的一个例子。如图3所示，清洗剂喷射喷嘴24从喷射口26向腔室14内喷射由清洗剂供给装置40(如图1所示)供给的清洗剂104。
在腔室14的上壁14D安装有一个或多个(在图2～图4所示的例子中，在上壁14D的中央安装有一个)吸引喷嘴28。吸引喷嘴28是吸引口部件的一个例子，吸引喷嘴28的内部是吸引口30。吸引喷嘴28具有随着远离腔室14而阶梯地扩径的圆筒状的多个外壳32。在图2～图4所示的吸引喷嘴28中，具有随着朝向上方而阶梯地扩径的4个外壳32。
如图5详细所示，在吸引口30的内部，即在各个外壳32安装有一个或者多个(在图5的例子中，每一个外壳32安装4个)空气喷射喷嘴34。各个空气喷射喷嘴34通过轴36能够旋转地安装于外壳32。
各个空气喷射喷嘴34通过以轴36为中心的旋转而在图5中实线所示的第一姿势34A与双点划线所示的第二姿势34B之间改变姿势。对空气喷射喷嘴34构成为，处于第一姿势34A时，相对于朝向外壳32的中心的方向以一定的角度θ1倾斜，处于第二姿势34B时，向与第一姿势34A相反的一侧以一定的角度θ2倾斜。角度θ1与角度θ2可以相等，也可以不同。如图7所示，空气喷射喷嘴34的姿势由控制装置38控制。
空气喷射喷嘴34是将从空气供给装置42(如图1所示)供给的空气向外壳32内喷射的喷嘴，是空气喷射部件的一个例子。并且，空气喷射喷嘴34是使清洗剂104在腔室14内的移动方向相对于贯通孔18的贯通方向倾斜的倾斜部件的一个例子。
在各个空气喷射喷嘴34以上述的规定角度θ1或θ2倾斜的状态下，在外壳32内以及腔室14内产生漩涡106。此外，在本实施方式中，为便于表述，设空气喷射喷嘴34处于第一姿势34A(角度θ1)时在腔室14内产生的漩涡的朝向为朝右(图5所示的朝向)。因此，处于第二姿势34B(角度θ2)时在腔室14内产生的漩涡的朝向为朝左(与图5所示的朝向相反)。
清洗剂104在腔室14内的移动方向由于在腔室14内产生的漩涡106而改变。特别是，如图8A所示，相对于金属掩模16的贯通孔18的贯通方向(金属掩模16的法线方向)的、清洗剂104的移动方向M1倾斜。
另外，如图8B所示，俯视金属掩模16时，在贯通孔18的内部也产生漩涡108。由于该漩涡108，清洗剂104在贯通孔18的内部的移动方向M2能够为各种方向。
如图1所示，清洗装置12具有清洗剂供给装置40以及回收装置66。清洗剂供给装置40具有从供给口46经由第一泵48以及缓冲罐50并在第二泵52分支而到达清洗剂喷射喷嘴24的第一配管64A。在第一配管64A分支的分支部分64A1设置有粒状体生成装置54。第一配管64A是供给配管的一个例子。
与此相对地，回收装置66具有返回部件44。返回部件44具有从吸引喷嘴28经由第三泵56、过滤件58以及存积罐60、第一阀62而到达缓冲罐50的第二配管64B。在第一配管64A、64A1中，从缓冲罐50至清洗剂喷射喷嘴24的部分和第二配管64B是返回部件44。即，在第一配管64A、64A1中，从缓冲罐50至清洗剂喷射喷嘴24的部分兼作供给配管和返回配管。
回收装置66能够通过第三泵56的驱动而经由第二配管64B回收腔室14内的清洗剂104，并输送至存积罐60。
在存积罐60连接有由第二阀72进行开闭的排出配管70。
从第一配管64A的一端的供给口46供给清洗介质(在本实施方式的例中为水)，并将清洗介质暂时存积于缓冲罐50。若驱动第二泵52，则缓冲罐50内的清洗介质被输送至粒状体生成装置54。
在本实施方式中，粒状体生成装置54具有设置于第一配管64A1的喷雾器74以及冷却机76。液状的清洗介质经由喷雾器74的雾化与冷却机76的冷却后输送至清洗剂喷射喷嘴24。液状的水的一部分或全部通过雾化以及冷却而被固化，从而成为冰粒子。而且，如图3所示，冰粒子作为清洗剂104而被从清洗剂喷射喷嘴24喷射至腔室14内。冰粒子是粒状体的一个例子。
在冷却机76中，也能够在雾状的水中混合氧以外的气体(例如二氧化碳、氮气)。氧以外的气体被输送至腔室14内，从而腔室14内的氧量减少。由于腔室14内的氧量减少，从而能够抑制焊膏20所含有的焊剂20A氧化而粘度上升的情况。
腔室14内的清洗剂104的一部通过设置于第二配管64B的第三泵56的驱动被吸引喷嘴28吸引。被吸引喷嘴28吸引的清洗剂104经过过滤件58而被输送至存积罐60。
过滤件58将清洗剂104所含有的附着物(从金属掩模16去除的焊膏20等)的一部分从清洗剂104中分离。分离出附着物的清洗剂104暂时存积于存积罐60。
在存积罐60设置有凝固点传感器78。若在清洗剂104残留有较多的附着物，则清洗剂104的凝固点变低。即，通过利用凝固点传感器78来测定清洗剂104的凝固点，从而能够判断清洗剂104是否含有有较多的附着物。如图7所示，凝固点传感器78所测定的测定数据被输送至控制装置38。
在因残留在清洗剂104中的附着物较多等理由而不再利用清洗剂104的情况下，控制装置38打开排出配管70的第二阀72。能够从排出配管80排出存积罐60内的清洗剂104。
与此相对地，在因残留在清洗剂104的附着物较少等理由而再利用清洗剂104的情况下，控制装置38打开第一阀62，从而使存积罐60内的清洗剂104能够移动至缓冲罐50。返回缓冲罐50的清洗剂104再次用于清洗腔室14内的金属掩模16。
此外，也可以在第二配管64B中的存积罐60与缓冲罐50之间的部分也设置有过滤件，从而能够进一步从清洗剂104分离附着物。
如图1～图4所示，在腔室14的下壁14E安装有一个或多个(在图1～图4所示的例子中，在下壁14E的中央安装有一个)相反侧吸引喷嘴82。相反侧吸引喷嘴82形成为圆筒状，且相反侧吸引喷嘴82的内部是相反侧吸引口84。相反侧吸引喷嘴82相对于金属掩模16位于与吸引喷嘴28相反的一侧。而且，相反侧吸引口84也相对于金属掩模16位于与吸引口30相反的一侧。
在相反侧吸引喷嘴82设置有回收装置68。回收装置68具有连接于相反侧吸引喷嘴82的排出配管86。
在排出配管86设置有第四泵88、沉淀罐90、过滤件92以及第三阀94。回收装置68能够通过第四泵88的驱动而经由排出配管86回收腔室14内的清洗剂104，并输送至沉淀罐90。
在沉淀罐90中，对清洗剂104内的附着物102进行沉淀。能够按照规定的条件(例如定期地)从沉淀罐90废弃沉积在沉淀罐90内的附着物(沉淀物)。而且，控制装置38打开第三阀94，从而能够从排出配管86的排出口排出沉淀罐90内的清洗剂104的清水部分。
如图1～图4所示，在腔室14的上壁14D的下表面形成有多个反射部件96。反射部件96是倾斜部件的一个例子。
各个反射部件96具有相对于收纳在腔室14内的金属掩模的贯通方向(箭头P1方向)倾斜的一个或多个(在图1～图4的例子中为2个)倾斜面98。在图1～图4所示的例子中，邻接的倾斜面98彼此向相反的方向倾斜。撞击到倾斜面98的清洗剂104以与相对于上壁14D的入射角不同的反射角反射。
反射部件96的形状不进行限定，例如，可以举出圆锥状或方锥状的形状(底面在上的朝向)。在多个反射部件96之间也可以空开间隙，若如图1～图4所示无间隙地形成多个反射部件96，则每规定面积能够形成的反射部件96的数量变多。
在本实施方式中，倾斜面98作为腔室14的内表面的一部分而形成。即，在腔室14内，反射部件96与腔室14一体化。
如图7所示，凝固点传感器78的测定数据被输送至控制装置38。利用控制装置38对第一～第四泵48、52、56、88、第一～第三阀62、72、94以及空气喷射喷嘴34进行控制。控制装置38可以是对第一～第四泵48、52、56、88、第一～第三阀62、72、94以及空气喷射喷嘴34的驱动进行控制的计算机，也可以是进行顺序控制的控制装置。
接下来，对本实施方式的作用以及清洗方法进行说明。
为了利用清洗装置12清洗金属掩模16，如图2所示，使保持部件22将金属掩模16保持在腔室14内。由此，以将金属掩模16保持在规定位置的状态进行设置，因此能够抑制清洗时金属掩模16的位置偏移。
而且，根据需要使用泵等对腔室14内进行减压。此时使用的泵例如能够使用为对腔室14内进行减压而设置的泵。
图9中示出第二泵52的驱动/停止、第三泵56的驱动/停止、空气喷射喷嘴34的姿势变化以及第四泵88的驱动/停止的时刻的一个例子。此外，在图9中所示的各时刻(T1～T10)是为了便于说明的一个例子。例如，在图9中，T1～T10间的各时间间隔是一定的，但上述时间间隔也可以不是一定的。
对设置于腔室14内的金属掩模16进行清洗时，驱动第二泵52来向腔室14内供给清洗剂104(T1～T2)。由此，如图3所示，从清洗剂喷射喷嘴24朝向金属掩模16喷射清洗剂104。此时，还驱动第三泵56，从而边在腔室14内产生漩涡106，边利用吸引口30对腔室14内进行吸引。并且，从空气喷射喷嘴34(位于第一姿势34A)喷射空气。由此，在腔室14内产生漩涡106。此外，此时，第四泵88停止，因此不从相反侧吸引口84吸引清洗剂104。
然后，清洗剂104在通过贯通孔26时，与焊膏20碰撞，从而从金属掩模16去除焊膏20。
在本实施方式中，喷射口26与吸引口30相对于金属掩模16彼此位于相反侧。因此，与没有吸引口30的构造、或者吸引口30相对于金属掩模16位于与喷射口26相同侧的构造相比，从喷射口26喷射的清洗剂104容易从下部空间14B穿过金属掩模16的贯通孔18。因此，去除贯通孔18内的附着物102的能力较强。
特别是，如图6所示，存在在贯通孔18内残存有焊膏20的情况，但在本实施方式的清洗装置12中，去除该焊膏20的能力较强。此外，清洗剂104被吸引口30吸引从而也猛烈地撞击金属掩模16中的除贯通孔18以外的位置。由于清洗剂104猛烈地撞击，因此本实施方式的清洗装置12对贯通孔18以外的位置的清洗能力也较强。
在本实施方式中，在吸引口30，由于从空气喷射喷嘴34喷射空气而在腔室14内产生漩涡106。此外，在该状态下，空气喷射喷嘴34处于第一姿势34A，因此漩涡106为右旋。
如图8A中箭头M1所示，清洗剂104由于该漩涡106而相对于金属掩模16的贯通孔18的内表面18S倾斜，从而去除附着物102。另外，如图8B中箭头M2所示，清洗剂104在贯通孔18内旋转，相对于贯通孔18的内表面18S以与箭头M2不同的方向倾斜，从而去除附着物102。因此，与在腔室14内产生漩涡106的构造比较，对金属掩模16的清洗效果较好。
此外，为了在腔室14内产生漩涡106，空气喷射喷嘴34也可以设置于腔室14内。如图1～图4所示，若空气喷射喷嘴34设置在吸引口30的内部，则不需要用于在腔室14内设置多个空气喷射喷嘴34的空间，从而能够实现腔室14的小型化。
与此相对地，如图10所示，也可以是空气喷射喷嘴34设置在腔室14内的构造。在图10所示的构造中，难以设置多个空气喷射喷嘴34，但能够在靠近金属掩模16的位置产生漩涡。
在腔室14内从下部空间14B通过贯通孔18向上部空间14A上升的清洗剂104撞击到倾斜面98而被反射。而且，如图4所示，再次通过贯通孔18。倾斜面98相对于贯通孔18的贯通方向倾斜，从而反射后的清洗剂104以与上升时不同的角度下降。即，清洗剂104在下降时以与上升时不同的角度通过贯通孔18的可能性较高。因此，与没有倾斜面98的构造相比，对金属掩模16的清洗能力较强。
并且，在本实施方式中，在邻接的倾斜面98中，倾斜方向相互不同。因此，与全部的倾斜面98的角度相同的构造相比，能够随机反射清洗剂104。即，清洗剂104以各种角度撞击金属掩模16的可能性较高，因此对金属掩模16的清洗能力较强。
此外，在图1～图4所示的例子中，举出处于各个反射部件96的两侧的倾斜面98为对称形状，但倾斜面98的角度也可以是随机的。
在上述实施方式中，具有倾斜面98的反射部件96形成于腔室14的内表面。具有倾斜面98的反射部件96与腔室14也可以是分体的，但若如上所述形成于腔室14的内表面，则倾斜面98与腔室14一体化，因此部件个数减少。另外，也不需要用于将倾斜面(反射部件)安装于腔室14的部件。
如图9所示，第二泵52以及第三泵56在驱动一定时间之后停止(T2)。空气喷射喷嘴34也停止。
接下来，控制装置38驱动第四泵88(T2～T3)。由此，腔室14内的清洗剂104被相反侧吸引口84吸引。即，除了基于倾斜面98的反射、作用于清洗剂104的重力之外，还被相反侧吸引口84吸引，从而能够积极地使清洗剂104向下方移动，通过贯通孔18。
并且，利用吸引口30吸引的时刻与利用相反侧吸引口84吸引的时刻不同，因此能够高效地交替进行清洗剂104在腔室14内的上下移动。
在第四泵88驱动一定时间之后，控制装置38使空气喷射喷嘴34成为第二姿势34B(T3)。然后，驱动第二泵52以及第三泵56(T3～T4)。由此，清洗剂104在腔室14内上升，并通过金属掩模16的贯通孔18。此时，空气喷射喷嘴34为第二姿势34B，因此在腔室14内产生朝左的漩涡。即，在时间T1～T2与时间T3～T4中，在腔室14内产生不同朝向的漩涡。因此，与仅在一个方向上产生漩涡的构造相比，以不同的角度使清洗剂104通过贯通孔18内，因此对金属掩模16的清洗效果较强。
之后，控制装置38交替地进行通过第二泵52的驱动从腔室14内吸引(从上方吸引)清洗剂104与通过第三泵56的驱动从腔室14内吸引(从下方吸引)清洗剂104(T5～T9)。在图9所示的例子中，在时间T1～T9，重复四次第二泵52的驱动与第三泵56的驱动。由此，能够在腔室14内，交替地产生清洗剂104向上方的移动与向下方的移动，从而清洗剂104能够多次通过贯通孔18。
另外，控制装置38在每次驱动第二泵52时将空气喷射喷嘴34的姿势交替地切换为第一姿势34A(T1～T2、T5～T6)与第二姿势34B(T3～T4、T7～T8)。由此，在腔室14内，交替地产生右旋的漩涡与左旋的漩涡，从而清洗剂104以各种角度撞击金属掩模16。
控制装置38在重复进行规定次数第二泵52的驱动与第三泵56的驱动之后，一起驱动第二泵52以及第三泵56(T9～T10)。通过第二泵52的驱动能够从喷射口26向腔室14内喷射新的清洗剂104。特别是，在多次进行从相反侧吸引口84吸引清洗剂104之后，腔室14内的清洗剂减少，但是，由于通过第二泵52的驱动向腔室14内供给清洗剂104，从而能够维持对金属掩模16的清洗能力。而且，通过第二泵52的驱动，腔室14内的清洗剂104通过吸引口30而被向上方吸引。
若如上所述在腔室14内进行清洗金属掩模16的动作，则存在腔室14内的清洗剂104的一部分进入吸引口30或相反侧吸引口84内的情况。
这样，在本实施方式中，能够从相反侧吸引口84以及吸引口30双方回收腔室14内的清洗剂104，因此能够抑制附着有焊膏20的清洗剂104滞留在腔室14内。
从腔室14内回收清洗剂104也可以仅从相反侧吸引口84与吸引口30的一方进行。特别是，由于附着有较多的焊膏的清洗剂104的比重较大，因此与吸引口30相比，更容易进入相反侧吸引口84。换言之，由于相反侧吸引口84比吸引口30位于下方，因此与比金属掩模16位于上方的吸引口30相比，附着有较多的焊膏而不适合再利用的清洗剂104更容易进入相反侧吸引口84。
而且，由于将相反侧吸引喷嘴82设置在相反侧吸引口84，从而能够高效地回收相反侧吸引喷嘴82所吸引的清洗剂104。
这样进入相反侧吸引口84的清洗剂104被沉淀罐90回收。
在沉淀罐90中，比重比清洗剂104、焊剂20A大的焊粒20B从清洗剂104沉淀。而且，控制装置38在规定的时刻或在沉淀罐90沉积了一定量的焊粒的情况下，打开第三阀94。通过打开第一阀62能够从相反侧吸引口84废弃清洗剂104的清水成分。
例如作业者定期地回收沉淀在沉淀罐90内的焊粒20B。
与此相对地，在吸引口30所吸引的清洗剂104中，利用过滤件58能够分离焊膏20的一部分。
并且，使吸引口30所吸引的清洗剂104存积在存积罐60，从而也能够使清洗剂104内的焊膏20的一部分沉淀并将其分离。
吸引口30所吸引的清洗剂104比相反侧吸引口84所吸引的清洗剂104的比重小的情况较多。吸引口30所吸引的清洗剂104回收于存积罐60。
而且，在去除了焊膏20的一部分的清洗剂104中，根据凝固点传感器78的测定结果判断为可再利用的清洗剂104经由第二配管64B(第一配管64A的局部)而返回缓冲罐50。即，能够实现清洗剂104的再利用。
与此相对地，在根据凝固点传感器78的测定结果判断清洗剂104为可再利用的情况下，控制装置38打开第二阀72。通过排出配管70排出存积罐60内的清洗剂104。
在本实施方式中，清洗剂104包含粒状体(冰粒子)。粒状体撞击清洗对象物的附着物，从而以从清洗对象物刮掉附着物的方式将其去除。因此，与使用不包含粒状体的清洗剂的构造相比，对清洗对象物进行清洗的效果较好。
并且，清洗剂104包含冰粒子，因此容易将腔室14内维持在低温。由于将腔室14内维持在低温，从而焊膏20的粘着性降低，因此容易从金属掩模16去除附着物。
另外，本实施方式的清洗装置12在焊膏20(附着物)的去除中使用冰粒子，而不使用挥发性有机溶剂。与挥发性有机溶剂相比，冰粒子(水)容易操作、再利用，从而能够以较低的成本对清洗对象物进行清洗。通过再利用作为清洗剂104的水，从而还能够减少清洗剂的废弃量。
而且，由于作为清洗剂而不使用有机溶剂，从而对粘合掩模主体16A与加强部件16B的粘合剂等造成的影响也较小。
并且，若作为清洗剂104而使用冰粒子，则冰粒子的形状、粒子尺寸的自由度较大。因此，能够根据金属掩模16的尺寸、贯通孔18的尺寸、焊膏20的物理性质等来缩短清洗时间、提高清洗效果。
本实施方式的清洗对象物不限定于上述金属掩模16。主要是，只要是具有贯通孔的部件，就能够提高清洗剂相对于贯通孔的通过性，从而能够提高去除附着于清洗对象物的附着物的能力。
另外，本实施方式的清洗对象物并不局限于焊膏，也能够应用在从清洗对象物去除导电性膏涂料、研磨用膏等的情况。例如，在导电性膏涂料中，存在与焊膏物理性质类似的物质。另外，在研磨用膏中，存在含有硬质的研磨剂(钻石粉等)的物质。在从清洗对象物去除这样的导电性膏涂料、研磨用膏等的情况下，对本实施方式的清洗对象物而言，从贯通孔去除附着物能力较强。
以上，对本申请所公开的技术的实施方式进行了说明，但本申请所公开的技术并不限定于上述内容，除上述以外，当然也能够在不脱离其主旨的范围内进行各种变形来实施。
根据本申请所公开的技术，对形成有贯通孔的清洗对象物的附着物的去除能力较强。
本说明书所记载的全部的文献、专利申请以及技术标准，与具体且分别记载了各个文献、专利申请以及技术标准作为参照而引入情况，同等程度地作为参照而引入本说明书中。

Claims (18)

1.一种清洗装置，其特征在于，具有：
喷射口部件，其从喷射口向具有贯通孔的清洗对象物喷射清洗剂；以及
吸引口部件，其通过相对于所述清洗对象物位于与所述喷射口相反侧的吸引口吸引所述清洗剂。
2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，具有：
粒状体生成装置，其使所述清洗剂含有粒状体。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，
具有腔室，在该腔室中具有设置所述清洗对象物的设置部，并且所述喷射口部件以及所述吸引口部件安装于该腔室。
4.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，具有：
倾斜部件，其使所述清洗剂的移动方向相对于所述贯通孔的贯通方向倾斜。
5.根据权利要求4所述的清洗装置，其特征在于，
所述倾斜部件具有空气喷射部件，该空气喷射部件向所述清洗剂喷射空气来产生漩涡。
6.根据权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，
所述空气喷射部件设置于所述吸引口的内部。
7.根据权利要求4所述的清洗装置，其特征在于，
所述倾斜部件设置于所述腔室内。
8.根据权利要求4所述的清洗装置，其特征在于，
所述倾斜部件具有相对于所述贯通孔的贯通方向倾斜的倾斜面。
9.根据权利要求8所述的清洗装置，其特征在于，
所述腔室的内表面的一部分形成为所述倾斜面。
10.根据权利要求8所述的清洗装置，其特征在于，
形成有多个所述倾斜面，且邻接的倾斜面的倾斜方向不同。
11.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，具有：
相反侧吸引口部件，其通过相对于所述清洗对象物设置在与所述吸引口相反侧的相反侧吸引口吸引所述清洗剂。
12.根据权利要求11所述的清洗装置，其特征在于，
通过所述吸引口与所述相反侧吸引口吸引所述清洗剂的的时刻不同。
13.根据权利要求11所述的清洗装置，其特征在于，具有：
回收装置，其回收从所述吸引口与所述相反侧吸引口的至少一方所吸引的所述清洗剂。
14.根据权利要求13所述的清洗装置，其特征在于，
所述相反侧吸引口比所述清洗对象物位于下方。
15.根据权利要求14所述的清洗装置，其特征在于，
所述回收装置回收所述相反侧吸引口部件所吸引的所述清洗剂。
16.根据权利要求13～15中任一项所述的清洗装置，其特征在于，具有：
分离部件，其从被所述回收装置回收的所述清洗剂中分离从所述清洗对象物去除的附着物的至少一部分。
17.根据权利要求16所述的清洗装置，其特征在于，具有：
返回部件，其将被所述分离部件分离出所述附着物的至少一部分的所述清洗剂返回所述喷射口。
18.一种清洗方法，其特征在于，
其从喷射口向具有贯通孔的清洗对象物喷射清洗剂，
通过相对于所述清洗对象物设置在与所述喷射口相反侧的吸引口吸引所述清洗剂。
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