CN104459928A - 光模块及其制造方法 - Google Patents

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CN104459928A CN201410493928.8A CN201410493928A CN104459928A CN 104459928 A CN104459928 A CN 104459928A CN 201410493928 A CN201410493928 A CN 201410493928A CN 104459928 A CN104459928 A CN 104459928A
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lens carrier
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松末明洋
中村光一
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Abstract

提供一种能够确保高气密性且抑制透镜的位置波动的光模块的制造方法。提供一种能够提高部件间的定位精度的光模块及其制造方法。准备镜筒(30)和透镜支架(40)，从镜筒(30)的凸缘部(35)侧将透镜支架(40)嵌入筒部(32)内部，组装镜筒(30)和透镜支架(40)。此时，一边将钎料(70)夹入镜筒(30)和透镜支架(40)之间，一边组装镜筒(30)和透镜支架(40)。对组装后的镜筒(30)以及透镜支架(40)进行加热，使钎料(70)熔融，实施钎焊。使用冲压装置，利用模具夹持透镜用玻璃(47)而对透镜(48)进行冲压成型。此时，冲压成型的定位是以将线膨胀系数设定得较小的镜筒(30)为基准而进行的。

Description

光模块及其制造方法
技术领域
本发明涉及光模块及其制造方法。
背景技术
以往，例如如日本特开平5-127050号公报所公开的那样，已知一种光模块，该光模块具备透镜盖，该透镜盖是将具有彼此不同的线膨胀系数的多个部件组合而成的。透镜盖是保持透镜的部件。在该文献中，作为热疲劳的对策，利用纯铁形成与透镜连接的透镜支架，利用Kovar(注册商标)形成保持该透镜支架的保持部件，将它们软钎焊而成为1个透镜盖。
根据这种结构，透镜支架与保持部件相比具有更大的线膨胀系数。这样，透镜盖作为2分割构造而由2个部件构成，利用彼此不同的材料形成该2个部件。分别在组件接合部件中采用与组件材料相同的材料，在透镜接合部件中采用与透镜的热膨胀系数接近的材料。
专利文献1：日本特开平5-127050号公报
专利文献2：日本特开2009-37055号公报
专利文献3：日本特开2003-322755号公报
专利文献4：日本特开平8-241933号公报
对于向透镜盖安装透镜的方法，有将透镜软钎焊于透镜盖的方法，或者将透镜加压冲压成型于透镜盖的方法。特别是，在后者的加压冲压成型方法中，利用透镜盖的线膨胀系数和透镜用玻璃的线膨胀系数的差进行热铆接，由此能够提高透镜盖和透镜之间的气密性。
在透镜盖的制造工序中，包含在高温气氛下进行的工序，透镜的加压冲压成型也是其一。在如上述现有技术那样将具有彼此不同的线膨胀系数的多个部件组合而成为1个透镜盖的情况下，不得不注意在高温气氛下的部件间的热膨胀量的差异。在现有的制造方法中，没有重视这一点，因热膨胀量的差引起透镜的位置波动有可能变大。
发明内容
本发明就是为了解决如上所述的课题而提出的，其目的在于提供一种能够确保高气密性且能够抑制透镜的位置波动的光模块的制造方法。
另外，如上述现有技术所示，在将具有彼此不同的线膨胀系数的多个部件组合而形成1个透镜盖的情况下，由于热膨胀量不同，因此处于多个部件之间的间隙的大小发生变化。因此，本申请发明者通过对透镜盖的结构部件间的线膨胀系数的关系以及各结构部件的形状进行研究，从而发现利用在高温气氛下的部件间的热膨胀量的差能够提高定位精度的技术。
本发明的另一个目的在于提供一种能够使部件间的定位精度提高的光模块的制造方法。
本发明的再另一个目的在于提供一种能够提高部件间的定位精度的光模块。
第1发明所涉及的光模块的制造方法的特征在于，
其具备：
准备工序，在该工序中，准备镜筒以及透镜支架，其中，该镜筒具备筒部、以及具有在所述筒部的一端设置的通孔的盖部，所述筒部的另一端开口，该镜筒由具有第1线膨胀系数的材料形成，该透镜支架具备透镜安装孔，并由具有比所述第1线膨胀系数大的第2线膨胀系数的材料形成；
组装工序，在该工序中，以所述通孔和所述透镜安装孔的位置对准的方式，组装所述镜筒和所述透镜支架；以及
透镜成型工序，在该工序中，通过在组装所述镜筒和所述透镜支架之后，一边利用所述镜筒进行定位，一边在所述透镜安装孔内对透镜用玻璃进行冲压成型、冷却，从而在所述透镜支架上设置透镜，其中，所述透镜用玻璃具有比所述第2线膨胀系数小的第3线膨胀系数。
第2发明所涉及的光模块的制造方法的特征在于，
其具备：
准备工序，在该工序中，准备镜筒以及透镜支架，其中，该镜筒具备筒部、以及具有在所述筒部的一端设置的通孔的盖部，所述筒部的另一端开口，该镜筒由具有第1线膨胀系数的材料形成，该透镜支架具备透镜安装孔，并由具有比所述第1线膨胀系数大的第2线膨胀系数的材料形成；
组装工序，在该工序中，以所述通孔和所述透镜安装孔的位置对准的方式，组装所述镜筒和所述透镜支架；以及
透镜成型工序，该工序在所述组装工序之前或者之后，在所述透镜支架上设置透镜，
所述透镜支架具备沿着所述透镜安装孔的边缘的凸部，
将所述凸部嵌入所述通孔中。
第3发明所涉及的光模块的制造方法，
其具备：
准备工序，在该工序中，准备镜筒以及透镜支架，其中，该镜筒具备筒部、以及具有在所述筒部的一端设置的通孔的盖部，所述筒部的另一端开口，该镜筒由具有第1线膨胀系数的材料形成，该透镜支架具备透镜安装孔，并由具有比所述第1线膨胀系数大的第2线膨胀系数的材料形成；
组装工序，在该工序中，以所述通孔和所述透镜安装孔的位置对准的方式，组装所述镜筒和所述透镜支架；以及
透镜成型工序，该工序在所述组装工序之前或者之后，在所述透镜支架上设置透镜，
在所述盖部设置凹部，
将所述透镜支架的一部分或者全部嵌入所述凹部中。
第4发明所涉及的光模块的特征在于，
其具备：
镜筒，其具备筒部、以及具有在所述筒部的一端设置的通孔的盖部，所述筒部的另一端开口，该镜筒由具有第1线膨胀系数的材料形成；
透镜支架，其具备透镜安装孔，并由具有比所述第1线膨胀系数大的第2线膨胀系数的材料形成；
透镜，其是通过在所述透镜安装孔内对透镜用玻璃进行冲压成型而设置的，该透镜用玻璃具有比所述第2线膨胀系数小的第3线膨胀系数；以及
芯柱，其具备上表面以及设置在所述上表面上的光学元件，在所述光学元件上覆盖所述镜筒，所述另一端与所述上表面接合，
所述透镜支架具备沿着所述透镜安装孔的边缘的凸部，
所述凸部嵌入所述通孔中。
第5发明所涉及的光模块的特征在于，
其具备：
镜筒，其具备筒部、以及具有在所述筒部的一端设置的通孔的盖部，所述筒部的另一端开口，该镜筒由具有第1线膨胀系数的材料形成；
透镜支架，其具备透镜安装孔，并由具有比所述第1线膨胀系数大的第2线膨胀系数的材料形成；
透镜，其是通过在所述透镜安装孔内对透镜用玻璃进行冲压成型而设置的，该透镜用玻璃具有比所述第2线膨胀系数小的第3线膨胀系数；以及
芯柱，其具备上表面以及设置在所述上表面上的光学元件，在所述光学元件上覆盖所述镜筒，所述另一端与所述上表面接合，
在所述盖部上设置凹部，
所述透镜支架的一部分或者全部嵌入所述凹部中。
发明的效果
根据第1发明，通过考虑线膨胀系数的不同而进行组装，适当地确定透镜成型的顺序以及基准，从而提供一种能够确保高气密性、且抑制透镜的位置波动的光模块的制造方法。
根据第2以及第3发明，通过考虑线膨胀系数的不同而适当地确定制造工序，从而提供一种能够提高部件间的定位精度的光模块的制造方法。
根据第4以及第5发明，通过将具有不同的线膨胀系数的镜筒和透镜支架嵌合，从而提供一种利用线膨胀系数的差而提高了部件间的定位精度的光模块。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式1所涉及的光模块的剖面图。
图2是表示本发明的实施方式1所涉及的光模块用透镜盖的剖面图。
图3是表示本发明的实施方式1所涉及的光模块用透镜盖的剖面图。
图4是表示本发明的实施方式1所涉及的光模块的制造方法的流程图。
图5是以时间序列表示本发明的实施方式1所涉及的光模块的制造工艺的图。
图6是表示本发明的实施方式2所涉及的光模块的制造方法的流程图。
图7是以时间序列表示本发明的实施方式2所涉及的光模块的制造工艺的图。
图8是表示本发明的实施方式3所涉及的光模块用透镜盖的剖面图。
图9是表示本发明的实施方式3所涉及的光模块用透镜盖的剖面图。
图10是表示本发明的实施方式4所涉及的光模块的剖面图。
图11是表示本发明的实施方式4所涉及的光模块用透镜盖的剖面图。
图12是表示本发明的实施方式4所涉及的光模块用透镜盖的剖面图。
图13是表示本发明的实施方式5所涉及的光模块的剖面图。
图14是表示本发明的实施方式5所涉及的光模块用透镜盖的剖面图。
图15是表示本发明的实施方式5所涉及的光模块的制造方法的流程图。
图16是以时间序列表示本发明的实施方式5所涉及的光模块的制造工艺的图。
图17是表示本发明的实施方式6所涉及的光模块的制造方法的流程图。
图18是以时间序列表示本发明的实施方式6所涉及的光模块的制造工艺的图。
图19是表示本发明的实施方式7所涉及的光模块用透镜盖的剖面图。
图20是表示本发明的实施方式7所涉及的光模块用透镜盖的剖面图。
图21是表示本发明的实施方式8所涉及的光模块用透镜盖的剖面图。
图22是表示本发明的实施方式8所涉及的光模块的制造方法的流程图。
图23是表示本发明的实施方式9所涉及的光模块的制造方法的流程图。
图24是表示本发明的实施方式10所涉及的光模块用透镜盖的剖面图。
图25是表示本发明的实施方式10所涉及的光模块用透镜盖的剖面图。
图26是表示本发明的实施方式10所涉及的光模块的制造方法的流程图。
图27是以时间序列表示本发明的实施方式10所涉及的光模块的制造工艺的图。
图28是表示本发明的实施方式11所涉及的光模块的制造方法的流程图。
图29是以时间序列表示本发明的实施方式11所涉及的光模块的制造工艺的图。
图30是表示本发明的实施方式12所涉及的光模块用透镜盖的剖面图。
标号的说明
10、110、210光模块，12芯柱，12a上表面，13导向销，14金属块，15帕尔贴模块，16辅助安装件，17激光二极管，18插座用支架，19插座，20、80、120、220、221、520透镜盖(光模块用透镜盖)，22钎焊层，30、50、130、230、260、530镜筒，31、51、131、231、261、531盖部，31a、41a、42a、51a、61a、131a、141、231a、237a、267a、531a、541a上表面，31b、41b、51b、61b、62a、131b、142、231b、237b、267b、531b、541b下表面，31c、31d、131c、231c、237c、261c、267c、531c通孔，32筒部，33厚壁部，34侧壁，34a外表面，34b内表面，35凸缘部，36底面，37空心部，40、60、140、540透镜支架，41主体部，41c、42b、62b、131e、143、231d、538a、541c侧面，42凸部，43开口，44、64、144、544透镜安装孔，47透镜用玻璃，48透镜，61主体部，62凸部，63开口部，70钎料，131d凹部，237底部，238薄壁部，238a、238c内侧面，238b内底面，250平板玻璃，251低熔点玻璃，252玻璃主体，267底部，410凸焊焊接部，538阶差部，538a侧面，538b底面，541主体部，542内侧凸部，543外侧凸部。
具体实施方式
实施方式1.
[实施方式1的装置的结构]
图1是表示本发明的实施方式1所涉及的光模块10的剖面图。光模块10具备：芯柱12；光模块用透镜盖20，其覆盖在该芯柱12上；插座用支架18，其固定于透镜盖20上；以及插座19。以下，为了说明的方便，将光模块用透镜盖简称为“透镜盖”。
透镜盖20是向镜筒30中嵌入有透镜支架40的装置。在透镜支架40的中央固定有透镜48。镜筒30整体为圆筒状，其内部中空。在透镜支架40的下方，由镜筒30的内表面以及芯柱12的上表面12a形成有空心部37。
在芯柱12的上表面12a上设置有帕尔贴模块15。在帕尔贴模块15的上方设置有金属块14。在金属块14的侧面设置有辅助安装件16，在该辅助安装件16上安装有作为光学元件的激光二极管17。在图1中省略图示，但激光二极管17的电极与导向销13适当地通过金属线连接。
图2以及图3是表示本发明的实施方式1所涉及的光模块用透镜盖20的剖面图。图2是透镜盖20的完成图，图3是透镜盖20的分解图。
如图2所示，透镜盖20是由镜筒30和透镜支架40组装而成的。镜筒30和透镜支架40被钎焊层22钎焊在一起。镜筒30具备盖部31以及筒部32。
盖部31设置在筒部32的一端。盖部31具备厚壁部33以及通孔31c、31d，该通孔31c、31d设置在该厚壁部33的中央。盖部31具备彼此反向的上表面31a以及下表面31b，下表面31b朝向筒部32的内侧。通孔31d是具有一定直径的圆形的孔，通孔31c是以直径从通孔31d的一端朝向盖部31的上表面31a逐渐增大的方式设置的孔。
镜筒30为金属制，是铁、镍以及钴的合金，具体而言是由Kovar(注册商标)形成的镜筒。作为镜筒30的材料，优选与后述的透镜支架40的材料相比线膨胀系数小的材料，具体而言，优选具有小于或等于8×10-6[1/K]的线膨胀系数的材料，也能够使用42Ni-Fe等。
筒部32是圆筒状的筒，其内部是空心部37。筒部32的侧壁34制造得较薄，在其内部设置有空心部37。侧壁34具备外表面34a以及内表面34b。筒部32的另一端开口，在其另一端设置有凸缘部35。凸缘部35的底面36固定在芯柱12的上表面12a上，并被气密封装。
透镜支架40是具备透镜安装孔44的环状部件。透镜支架40为金属制，具体而言由SUS430形成。作为透镜支架40的材料，优选与镜筒30的材料相比线膨胀系数大的材料，具体而言优选具有线膨胀系数大于或等于10×10-6[1/K]的材料，能够使用铁素体不锈钢，具体而言SF-20T(下村特殊精工)等。
透镜安装孔44是具有一定直径的圆形的孔。在透镜安装孔44的前端连接有开口43，该开口43设置成为直径朝向外侧逐渐增大。
在透镜安装孔44中设置有透镜48。透镜48是通过将透镜用玻璃在透镜安装孔44内冲压成型而设置的。此处所使用的冲压透镜用玻璃的线膨胀系数是6×10-6[1/K]～8×10-6[1/K]左右，选择与透镜支架40的材料相比线膨胀系数小的玻璃。
由此，在600～800℃下进行透镜成型之后的冷却过程中，由于透镜用玻璃和镜筒30之间的线膨胀系数差，能够通过镜筒30将透镜48紧固而提高透镜48和镜筒30之间的气密性。
透镜支架40具备平面形状是直径Ф41的圆形、且具有厚度的圆柱形的主体部41。主体部41具备上表面41a、下表面41b以及将它们连结的侧面41c。从主体部41的上表面41a凸出有凸部42。凸部42沿着直径Ф42的透镜安装孔44的边缘而设置，其直径是Ф43。凸部42与透镜安装孔44的延伸方向平行地凸出，具备上表面42a以及侧面42b。
镜筒30的外形是直径Ф31的圆柱。筒部32的内径是Ф32，通孔31d的直径是Ф34，通孔31d的最大直径是Ф33。
通过在通孔31d中嵌入凸部42而组装镜筒30和透镜支架40。当在通孔31d中嵌入凸部42时，盖部31的下表面31b与透镜支架40中的主体部41的上表面41a抵接。通过钎焊将下表面31b和上表面41a连接而设置有钎焊层22。
具体而言，通过在下表面31b和上表面41a之间加入有钎料的状态下进行加热而进行钎焊连接，形成钎焊层22。该钎料的外形小于直径Ф41，在中央处设置有大于或等于直径Ф43的大小的通孔。
凸部42在盖部31和透镜支架40之间的钎焊部位、和透镜安装孔44的边缘(更正确而言为开口43的边缘)之间，在该边缘侧形成凸起的阶差部。由于存在该阶差部，因此能够阻止熔化的钎料流到透镜安装孔44以及透镜48侧。
在透镜盖20的表面设置有镀层。该镀层以覆盖钎焊层22的方式设置在镜筒30以及透镜支架40上。
在透镜盖20中，线膨胀系数大的透镜支架40安装在镜筒30的内侧。因此，在高温气氛中，与镜筒30的热膨胀(收缩)相比，透镜支架40更大地热膨胀(收缩)，透镜支架40与镜筒30的内侧表面抵接而调整部件间的位置关系，抑制透镜48的位置波动。
[实施方式1的制造方法]
图4是表示本发明的实施方式1所涉及的光模块的制造方法的流程图。图5是以时间序列表示本发明的实施方式1所涉及的光模块的制造工艺的图。
(步骤S101)
如图4的流程图所示，首先，进行部件准备工序。部件准备工序是如下工序，在该工序中，准备镜筒30以及透镜支架40，从镜筒30的凸缘部35侧将透镜支架40嵌入筒部32内部，对镜筒30和透镜支架40进行组装。此时，如图5(a)所示，一边将钎料70夹入至镜筒30和透镜支架40之间，一边以通孔31c、31d和透镜安装孔44的中心一致的方式组装镜筒30和透镜支架40。钎料70例如为银钎料。
此外，通孔31d的直径Ф34和凸部42的直径Ф42之间的间隙优选以如下方式确定。即，为了使该间隙在钎料70的熔融温度下成为最小，优选在常温下，将通孔31d的直径Ф34的最小值设定为比凸部42的直径Ф42的最大值大5μm左右。
(步骤S102)
通过对组装后的镜筒30以及透镜支架40进行加热，使钎料70熔融而实施钎焊。由此，镜筒30以及透镜支架40被一体化，完成透镜48安装之前的透镜盖20。在钎料70熔融的温度下，与镜筒30相比透镜支架40较大地膨胀。此时，嵌合的镜筒30以及透镜支架40之间的间隙变窄，具有修正这些部件间的位置的效果。
(步骤S103)
对钎焊后的透镜盖20实施镀敷(Ni、Au等)。此外，镀敷也可以在将透镜成型之后(即，在后述的步骤S105之后)。
(步骤S104)
然后，如图5(c)所示，将透镜用玻璃47设置在透镜安装孔44中。
(步骤S105)
然后，如图5(d)所示，使用冲压装置，利用模具夹持透镜用玻璃47而冲压成型出透镜48。此时，冲压成型的定位是以镜筒30为基准而进行的。
在600℃～800℃的高温下进行透镜成型之后，进行冷却。由此在透镜支架40中设置透镜48，如图5(e)所示，完成透镜盖20。利用由透镜用玻璃47和透镜支架40的材料之间的热收缩量不同而引起的热铆接固定透镜48。透镜支架40使用线膨胀系数较大的材料，由此能够获得将透镜用玻璃47成型后的热铆接的效果。
(步骤S106)
然后，将在至此为止的工序中制造出的透镜盖20向已经安装有激光二极管17等的芯柱12进行覆盖并固定。并且，通过安装插座用支架18以及插座19而完成光模块10。
如以上说明那样，根据实施方式1，在将线膨胀系数不同的镜筒30和透镜支架40组装后，能够一边以具有较小的线膨胀系数的镜筒30为基准进行定位，一边在具有较高的热膨胀率的透镜支架40上对透镜用玻璃进行冲压成型。
由于以镜筒30和透镜支架40中的线膨胀系数较低的镜筒30为基准而进行冲压成型的定位，因此能够抑制透镜48的位置波动。另外，通过镜筒30使用低线膨胀系数材料，从而能够抑制热变形。利用透镜用玻璃和透镜支架40的热膨胀率差引起的热铆接效果所产生的紧固力，能够在透镜48和透镜支架40间确保高气密性。其结果，能够确保高气密性，并且能够抑制透镜48的位置波动。
并且，通过对透镜支架40和镜筒30进行嵌合并利用它们的线膨胀系数的差，还具有使这些部件间的间隙变窄，修正这些部件间的位置的效果。
另外，如果钎焊层22暴露于外部空气中，则在高温高湿环境下有可能产生钎料的变色。另外，在利用He的透镜盖气密性试验中，He吸附在钎焊层22的表面，有可能影响气密性的判断。关于这方面，通过如实施方式1所示利用镀层覆盖钎料，能够抑制这种钎料变色、He吸附的问题。
实施方式2.
实施方式2涉及的透镜盖以及具备该透镜盖的光模块，具备形状以及材料与实施方式1所涉及的透镜盖20以及光模块10相同的部件。实施方式2和实施方式1的区别在于透镜盖20的制造方法。
图6是表示本发明的实施方式2所涉及的光模块的制造方法的流程图。图7是以时间序列表示本发明的实施方式2所涉及的光模块的制造工艺的图。
在实施方式1中，在镜筒30和透镜支架40的组装以及钎焊之后，进行透镜成型。与其相对，在实施方式2中，预先在透镜支架40上进行透镜成型，将设置有透镜48的透镜支架40钎焊于镜筒30。
首先，如图7(a)所示，进行部件即透镜支架40的准备(步骤S112)以及与实施方式1相同地进行透镜用玻璃的准备(步骤S104)。然后如图7(b)所示，通过冲压成型而形成透镜48(步骤S114)。这样，在透镜支架40以及镜筒30的组装之前进行透镜48的冲压成型这一点，与实施方式1不同。
然后，另外再准备一个部件即镜筒30(步骤S113)，并且，如图7(c)所示，一边夹持钎料70，一边组装镜筒30和透镜支架40。而后，与实施方式1相同地进行钎焊(步骤S102)，在钎焊之后，对完成的透镜盖20的表面进行镀敷工序(步骤S103)。通过上述方式，完成透镜盖20。
然后，与实施方式1的步骤S106相同地，对已经事先安装有激光二极管17等的芯柱12、插座用支架18以及插座19进行组装，完成光模块。
根据实施方式2，通过在向线膨胀系数较小的镜筒30中嵌入线膨胀系数较大的透镜支架40后进行加热，从而能够提高这些部件间的定位精度，能够提高透镜48的位置精度。
实施方式3.
[实施方式3的装置的结构]
图8以及图9是表示本发明的实施方式3所涉及的光模块用透镜盖80的剖面图。实施方式3所涉及的光模块除了将透镜盖20替换为透镜盖80这一点以外，具备形状以及材料与实施方式1所涉及的光模块10相同的部件。因此，在以下的说明中，对与实施方式1相同或者相当的结构标注相同的标号而进行说明，并且，以与实施方式1的不同点为中心进行说明，对于共通事项，简化或省略说明。
图9是透镜盖80的剖面图，图8是将透镜盖80分解后的剖面图。如图9所示，透镜盖80具备镜筒50以及透镜支架60。镜筒50的材料与镜筒30相同，透镜支架60的材料与透镜支架40相同。
镜筒50与实施方式1的镜筒30相同地具备筒部32，在筒部32的一端具备盖部51，筒部32的另一端开放。盖部51具备上表面51a、下表面51b以及贯穿它们的直径Ф54的通孔51c。
如图8所示，透镜支架60具备：主体部61，其具备上表面61a以及下表面61b；以及凸部62，其从该主体部61的下表面61b凸出成圆柱状。凸部62具备下表面62a以及侧面62b。
在透镜支架60的中央设置有透镜安装孔64，且设置有直径从该透镜安装孔64的一端朝向主体部61的上表面61a逐渐增大的开口部63。凸部62沿着透镜安装孔64的边缘而延伸。透镜安装孔64具有直径Ф63，凸部62具有比该直径Ф63大一圈的直径Ф62。
如图8所示，凸部62嵌入至通孔51c，透镜支架60的下表面61b与镜筒50的上表面51a接触，对它们之间进行钎焊，由此，作为透镜盖80而被一体化。在透镜支架60的下表面61b和镜筒50的上表面51a之间设置有钎焊层22。凸部62的侧面62b隔着规定间隙而与通孔51c的壁面相邻。
在实施方式3中，通过向线膨胀系数较小的镜筒30嵌入线膨胀系数较大的透镜支架40，从而能够提高这些部件间的定位精度，能够提高透镜48的位置精度。
另外，凸部62的侧面62b能够挡住钎焊层22的流出。
[实施方式3的装置的制造方法]
实施方式3所涉及的透镜盖80以及具备该透镜盖80的光模块的制造方法，可以是上述的实施方式1所涉及的制造方法。即，预先一边将钎料70夹入至透镜支架60和镜筒50之间，一边进行组装及钎焊。然后，可以以镜筒50为定位基准，通过向透镜支架60加压冲压而进行透镜成型。
或者，也可以按照上述的实施方式2所涉及的制造方法，制造透镜盖80以及具备该透镜盖80的光模块。即，预先向透镜支架60加压冲压而进行透镜成型。然后，一边将钎料70夹入至透镜48成型后的透镜支架60和镜筒50之间，一边进行组装及钎焊。
此外，如实施方式1所述，也可以在钎焊后进行镀敷工序，利用镀层将钎焊层22覆盖。
实施方式4.
[实施方式4的装置的结构]
图10是表示本发明的实施方式4所涉及的光模块110的剖面图。实施方式4所涉及的光模块110除了将透镜盖20替换为透镜盖120这一点以外，具备与实施方式1所涉及的光模块10相同的结构部件。因此，在以下的说明中，对与实施方式1相同或者相当的结构标注相同的标号而进行说明，并且以与实施方式1的不同点为中心进行说明，对于共同事项，简化或者省略说明。
图11以及图12是表示本发明的实施方式4所涉及的光模块用透镜盖120的剖面图。图11是透镜盖120的剖面图，图12是将透镜盖120分解后的剖面图。透镜盖120具备镜筒130和透镜支架140。镜筒130的材料与实施方式1所涉及的镜筒30相同，透镜支架140的材料与实施方式1所涉及的透镜支架40相同。
透镜支架140是整体为直径Ф141的圆柱状、且在其中央具备直径Ф142的透镜安装孔144的环状部件。透镜支架140具备彼此反向的上表面141、下表面142以及将它们连结的侧面143。透镜支架140不具备与透镜支架40的凸部42相当的凸部。
镜筒130与实施方式1的镜筒30相同地具备筒部32，在筒部32的一端具备盖部131，筒部32的另一端开放。盖部131具备上表面131a、下表面131b以及贯穿它们的直径Ф133的通孔131c。
在盖部131的下表面131b侧设置有凹部131d。凹部131d是由下表面131f和侧面131e构成的圆柱形的凹陷，其直径是在透镜支架140的直径Ф141上加上规定间隙后的值。
在凹部131d中嵌入透镜支架140。凹部131d的深度与透镜支架140的高度大致一致。然而，本发明并不限定于此，凹部131d的深度也可以比透镜支架140的高度大，反之，也可以小。其理由在于只要透镜支架140的至少一部分能够嵌入凹部131d即可。
在实施方式4中，通过向线膨胀系数小的镜筒130嵌入线膨胀系数大的透镜支架140，从而也能够提高这些部件间的定位精度，能够提高透镜48的位置精度。
[实施方式4的装置的制造方法]
实施方式4所涉及的透镜盖120以及具备该透镜盖120的光模块的制造方法，可以是上述的实施方式1所涉及的制造方法。即，预先一边将钎料70夹入至透镜支架140和镜筒130之间，一边进行组装及钎焊。然后，可以以镜筒130为定位基准，通过向透镜支架140加压冲压而进行透镜成型。
或者，也可以按照上述的实施方式2所涉及的制造方法，制造透镜盖120以及具备该透镜盖120的光模块。即，通过预先向透镜支架140加压冲压而进行透镜成型。然后，一边将钎料70夹入至透镜48成型后的透镜支架140和镜筒130之间，一边进行组装及钎焊。
此外，如实施方式1所述，也可以在钎焊后进行镀敷工序，利用镀层将钎焊层22覆盖。
此外，在实施方式4中，在盖部131的下表面131b侧设置有凹部131d，但本发明并不限定于此。也可以在盖部131的上表面131a侧设置直径与凹部131d相同直径的凹部，在该凹部中嵌入透镜支架140。
实施方式5.
[实施方式5的装置的结构]
图13是表示本发明的实施方式5所涉及的光模块210的剖面图。实施方式5所涉及的光模块210除了将透镜盖20替换为透镜盖220这一点以外，具备与实施方式1所涉及的光模块10相同的结构部件。因此，在以下的说明中，对与实施方式1相同或者相当的结构标注相同的标号而进行说明，并且以与实施方式1的不同点为中心进行说明，对于共同事项，简化或者省略说明。
图14是表示本发明的实施方式5所涉及的光模块用透镜盖220的剖面图。透镜盖220是将镜筒230和实施方式4所涉及的透镜支架140组装，并通过激光深熔焊进行固定而成的装置。透镜支架140如实施方式4所述那样是与透镜支架40相同的材料，镜筒230的材料与实施方式1所涉及的镜筒30相同。
镜筒230与实施方式1的镜筒30相同地具备筒部32，在筒部32的一端具备盖部231，筒部32的另一端开放。
盖部231具备上表面231a、下表面231b以及贯穿它们的直径Ф233的通孔231c。在通孔231c的中途设置有底部237。底部237是从通孔231c的壁面向内侧凸出的环状部分。在底部237的中央设置有直径Ф235(其中，Ф233＞Ф235)的通孔237c。在由底部237的上表面237a和通孔231c的壁面所形成的凹部中嵌入透镜支架140。
在底部237的下表面237b安装有平板玻璃250。平板玻璃250是在玻璃主体252的表面上沿着玻璃主体252的外周以环状设置有低熔点玻璃251而成的结构。由于是环状，因此未在玻璃主体252的中央部设置低熔点玻璃251，能够透过光。通过利用低熔点玻璃251连接底部237和玻璃主体252，能够确保气密性。
盖部231在其侧面231d具备薄壁部238。薄壁部238是在侧面231d的中央所设置的槽，该槽是沿着盖部231的侧面231d延伸一圈的环状的槽。
如图14所示，该薄壁部238的剖面形状是由内侧面238a、238c以及内底面238b构成的槽。内底面238b和通孔231c的壁面之间的厚度设计成为，通过激光深熔焊能够将透镜支架140焊接在通孔231c的壁面上的厚度。
此外，本发明并不限定于此。也可以不像薄壁部238那样形成环状的槽，而是仅将薄壁部设置在侧面231d的一部分处。其理由在于，也可以仅在应实施激光深熔焊的部位处设置薄壁部。
[实施方式5的装置的制造方法]
图15是表示本发明的实施方式5所涉及的光模块的制造方法的流程图。图16是以时间序列表示本发明的实施方式5所涉及的光模块的制造工艺的图。
在图15所示的流程图中，首先，如图16(a)所示，进行部件准备工序、即准备镜筒230以及透镜支架140并组装的工序(步骤S300)。即，向由镜筒230的通孔231c的壁面以及底部237所形成的凹部中嵌入透镜支架140。在该时刻，在透镜支架140上未设置有透镜48。
然后，如图16(b)所示，进行激光深熔焊(步骤S301)。向薄壁部238照射YAG激光YA。然后，如图16(c)所示，将透镜用玻璃47设置在透镜安装孔144中(步骤S302)。然后，如图16(d)所示，利用冲压装置，利用模具夹持透镜用玻璃47而进行透镜成型(步骤S303)。其结果，如图16(e)所示，成型出透镜48。
然后，准备平板玻璃250(步骤S304)。向底部237的下表面237b固定低熔点玻璃251并使其熔融(步骤S305)。由此，如图16(f)所示，完成透镜盖220。
然后，与实施方式1的步骤S106相同地，对已经安装有激光二极管17等的芯柱12、插座用支架18以及插座19进行组装而完成光模块。
此外，也可以在透镜成型之前或之后，进行镀敷工序。
实施方式6.
实施方式6利用与实施方式5不同的制造方法制造实施方式5所涉及的光模块210。在实施方式5中，组装透镜支架140和镜筒230并进行激光深熔焊，而后对透镜48进行了冲压成型。与其相对，在实施方式6中，首先，在透镜支架140上对透镜48进行冲压成型。而后，将设置有透镜48的透镜支架140激光深熔焊接在镜筒230上。
图17是表示本发明的实施方式6所涉及的光模块的制造方法的流程图。图18是以时间序列表示本发明的实施方式6所涉及的光模块的制造工艺的图。
在图17的流程图中，首先，准备作为部件的透镜支架140(步骤S351)，向该透镜支架140上设置透镜用玻璃47(步骤S302)。由此成为图18(a)的状态。
然后，使用冲压装置，利用模具夹持透镜用玻璃47而进行透镜成型(步骤S352)。
然后，准备另一个部件即镜筒230(步骤S353)，向镜筒230中嵌入透镜支架140，与实施方式5的步骤S301相同地进行激光深熔焊。如图18(c)所示，将YAG激光YA向薄壁部238照射，进行焊接。
然后，与实施方式5的步骤S304相同地准备平板玻璃250，与实施方式5的步骤S305相同地进行低熔点玻璃的熔融工序，如图18(d)所示，完成透镜盖220。
然后，与实施方式1的步骤S106相同地，对已经安装有激光二极管17等的芯柱12、插座用支架18以及插座19进行组装，完成光模块。
实施方式7.
[实施方式7的装置的结构]
实施方式7所涉及的光模块除了将透镜盖20替换为透镜盖221这一点以外，具备与实施方式1所涉及的光模块10相同的结构部件。因此，在以下的说明中，对与实施方式1相同或者相当的结构标注相同的标号而进行说明，并且以与实施方式1的不同点为中心进行说明，对于共同事项，简化或者省略说明。
图19是表示本发明的实施方式7所涉及的光模块用透镜盖221的剖面图。图20是将本发明的实施方式7所涉及的光模块用透镜盖221分解而示出的剖面图。
将图19与图14进行比较可知，在透镜盖220和透镜盖221中，透镜支架140和平板玻璃250的安装位置反转。即，在透镜盖221中，将透镜支架140收容在筒部32的内侧。
透镜盖221与透镜盖220相同地具备透镜支架140、平板玻璃250。然而，透镜盖221在具备镜筒260而不是镜筒230这一点与透镜盖220不同。
镜筒260在具备筒部32这一点与镜筒230相同。然而，盖部261的构造与盖部231不同。盖部261具备上表面261a、下表面261b、通孔261c以及侧面261d。在盖部261中的筒部32的内侧设置有通孔261c。从该通孔261c的壁面凸出有与实施方式6的底部237相同的底部267。在底部267上形成有通孔267c。在由底部267的下表面267b和通孔261c的壁面构成的凹部中嵌入透镜支架140。
平板玻璃250通过其低熔点玻璃251而固定在底部267的上表面267a，确保气密性。
在镜筒260的侧面261d设置有与实施方式6所示的镜筒230相同的薄壁部238。
[实施方式7的装置的制造方法]
实施方式7所涉及的透镜盖221以及具备该透镜盖221的光模块的制造方法，可以与上述的实施方式5所涉及的制造方法相同。即，预先对透镜支架140和镜筒260进行激光深熔焊而使它们一体化。然后，可以以镜筒260为定位基准，通过向透镜支架140加压冲压而进行透镜成型。
或者，也可以根据与上述的实施方式6相同的制造方法，制造透镜盖221以及具备该透镜盖221的光模块。即，预先向透镜支架14加压冲压而进行透镜成型。然后，可以对成型出透镜48后的透镜支架140和镜筒260进行激光深熔焊而使它们一体化。
实施方式8.
实施方式8涉及实施了凸焊焊接的透镜盖、具备该透镜盖的光模块以及它们的制造方法。实施方式8所涉及的透镜盖以及光模块具备形状以及材料与上述各实施方式相同的部件。但是，在为了组装透镜盖而使用凸焊焊接这一点，与上述的各实施方式不同。
图21(a)以及图21(b)是表示利用本发明的实施方式8所涉及的制造方法制造的光模块用透镜盖80、120的剖面图。在实施方式3中，对透镜盖80进行钎焊，在实施方式4中，对透镜盖120进行钎焊。与其相对，在实施方式8中，作为其固定方法，取代钎焊而使用凸焊焊接。如图21(a)、(b)所示，取代钎焊层22而分别设置有凸焊焊接部410、420。
图22是表示本发明的实施方式8所涉及的光模块的制造方法的流程图。图22的流程图除了步骤S403以外，与实施方式1所涉及的图4的流程图相同。
与实施方式1的步骤S101相同地对镜筒50和透镜支架60进行组装，而后对它们进行凸焊焊接(步骤S403)。利用焊接实现的固定与钎焊相同地，能够确保高气密性和接合可靠性。并且，如果是焊接，则不会产生钎焊时所担心的变色、He吸附的问题，因此无需利用镀敷覆盖接合部。另外，环状凸焊焊接由于通过一次施加电压而能够将支架和镜筒间的接触部焊接，因此也具有与YAG焊接相比生产率良好的特征。
然后，与实施方式1相同地进行步骤S104所涉及的透镜用玻璃准备以及步骤S105所涉及的透镜成型。最后，与实施方式1的步骤S106相同地，对已经安装有激光二极管17等的芯柱12、插座用支架18以及插座19进行组装，完成光模块。
此外，在上述的实施方式8中，例示出透镜盖80、120，但本发明并不限定于此。在透镜盖20、220、221中，也可以对各自的透镜支架和镜筒之间的连接采用凸焊焊接。
实施方式9.
图23是表示本发明的实施方式9所涉及的光模块的制造方法的流程图。图23的流程图除了将步骤S102替换为步骤S404这一点以及删除了步骤S103这一点以外，与实施方式2所涉及的图6的流程图相同。
进行与实施方式1的步骤S104、S112以及S114相同的工序，在透镜支架60上预先设置透镜48。然后，将设置有透镜48的透镜支架60凸焊焊接于在步骤S113中所准备的部件即镜筒50上(步骤S404)。
然后，与实施方式1的步骤S106相同地，对已经安装有激光二极管17等的芯柱12、插座用支架18以及插座19进行组装，完成光模块。
实施方式10.
[实施方式10的装置的结构]
图24是表示本发明的实施方式10所涉及的光模块用透镜盖520的剖面图。实施方式10所涉及的光模块除了将透镜盖20替换为透镜盖520这一点以外，具备与实施方式1所涉及的光模块10相同的结构部件。因此，在以下的说明中，对与实施方式1相同或者相当的结构标注相同的标号而进行说明，并且以与实施方式1的不同点为中心进行说明，对于共同事项，简化或者省略说明。
图25是透镜盖520的分解图。透镜盖520具备镜筒530、透镜支架540以及平板玻璃250。在透镜盖520中，镜筒530以及透镜支架540通过热铆接而进行固定这一点与上述的各实施方式不同。
镜筒530利用与实施方式1所涉及的镜筒30相同的材料而形成。透镜支架540利用与实施方式1所涉及的透镜支架40相同的材料形成。
镜筒530与实施方式1所涉及的镜筒30相同地具备筒部32，在该筒部32的一端具备盖部531。盖部531具备上表面531a以及下表面531b，具备贯穿它们的通孔531c。在盖部531的外周侧，沿其外周设置有降低了一个台阶的阶差部538。阶差部538由侧面538a以及底面538b构成。
透镜支架540具备平面形状为圆形即平板状的主体部541。主体部541具备彼此反向的上表面541a以及下表面541b，具备贯穿它们的透镜安装孔544。上表面541a以及下表面541b在外周侧由侧面541c连结。
在下表面541b设置有内侧凸部542以及外侧凸部543。内侧凸部542是沿着透镜安装孔544的边缘而凸出的部分。外侧凸部543是与内侧凸部542分离、且从主体部541的外周端部向与内侧凸部542相同的方向凸出的部分。图25是剖面图，内侧凸部542以及外侧凸部543在俯视观察时分别为环状的凸部。
盖部531在筒部32的内侧的下表面531b具备阶差部539。该阶差部539是为了安装平板玻璃250而设置的。
内侧凸部542嵌入通孔531c，外侧凸部543嵌入阶差部538，由此，透镜支架540嵌入镜筒530。
在实施方式10中，通过利用了线膨胀系数差的热铆接，将透镜支架540固定于镜筒530。透镜支架540的材料的线膨胀系数比镜筒530的材料的线膨胀系数大。因此，为了能够在透镜支架540冷却的过程中进行热铆接，设置外侧凸部543并在镜筒530的外周覆盖有透镜支架540。此外，考虑在热铆接中气密性的下降，利用低熔点玻璃251将平板玻璃250安装在镜筒530侧。
[实施方式10的装置的制造方法]
图26是表示本发明的实施方式10所涉及的光模块的制造方法的流程图。图27是以时间序列表示本发明的实施方式10所涉及的光模块的制造工艺的图。图26的流程图是将实施方式5所涉及的图15的流程图中的步骤S301替换为步骤S505的图。除此以外的步骤的作业内容，除了取代镜筒230以及透镜支架140而组装透镜支架540以及镜筒530这一点以外，与图15的流程图相同。
在图26所示的流程图中，首先，如图27(a)以及图27(b)所示，准备镜筒530以及透镜支架540(步骤S300)。
(步骤S505)
此时，将透镜支架540和镜筒530一起加热而将内侧凸部542嵌入通孔531c，将外侧凸部543嵌入阶差部538，由此，组装透镜支架540和镜筒530。加热温度在本实施方式中优选大于或等于800℃。嵌入后，通过冷却获得热铆接效果。在该时刻，在透镜支架540上未设置透镜48。
然后，如图27(c)所示，将透镜用玻璃47设置在透镜安装孔544中(步骤S302)。然后，如图27(d)所示，使用冲压装置，利用模具夹持透镜用玻璃47而进行透镜成型(步骤S303)。其结果，如图27(e)所示，成型出透镜48。
然后，准备平板玻璃250(步骤S304)。向盖部531的下表面531b固定低熔点玻璃251并使其熔融(步骤S305)。由此，如图27(f)所示，完成透镜盖520。
然后，与实施方式1的步骤S106相同地，对已经安装有激光二极管17等的芯柱12、插座用支架18以及插座19进行组装，完成光模块。
根据以上所说明的实施方式10所涉及的透镜盖520以及具备该透镜盖520的光模块的制造方法，能够利用部件间的线膨胀系数的差而进行热铆接，能够将透镜支架540固定于镜筒530。并且，由于仅通过热铆接存在气密性不充分的问题，因此也能够利用低熔点玻璃251对平板玻璃250进行固定而确保气密性。
另外，热铆接可以通过采用玻璃熔融炉而实现。因此，如果采用热铆接，具有可以不准备诸如YAG焊接机、凸焊焊接机的新的设备的优点。
实施方式11.
实施方式11在对具备镜筒530以及透镜支架540的透镜盖520进行制造，并将该透镜盖520安装在光模块中这一点与实施方式10相同。然而，透镜盖520的制造方法与实施方式10不同。
图28是表示本发明的实施方式11所涉及的光模块的制造方法的流程图。图29是以时间序列表示本发明的实施方式11所涉及的光模块的制造工艺的图。图28的流程图是将实施方式6所涉及的图17的流程图中的步骤S301变更后的图。除此以外的步骤的作业内容，除了取代镜筒230以及透镜支架140而组装透镜支架540以及镜筒530这一点以外，与图17的流程图相同。
根据图28的流程图，首先，准备透镜支架540(步骤S351)，向该透镜支架540上设置透镜用玻璃47(步骤S302)。由此，成为图29(a)的状态。然后，如图29(b)所示，使用冲压装置，利用模具夹持透镜用玻璃47而进行透镜成型(步骤S352)。
然后，如图29(c)所示，准备镜筒530(步骤S353)，向镜筒530嵌入透镜支架540。也准备平板玻璃250的结构部件即玻璃主体252以及用于固定该玻璃主体252的低熔点玻璃251，并向镜筒530安装(步骤S304)。
此处，进行热铆接(步骤S505)。具体而言，使组合后的镜筒530、透镜支架540以及镜筒530上升至低熔点玻璃熔融温度为止。通过玻璃熔融时的温度上升，透镜支架540和镜筒530分别热膨胀。然后，进行冷却，在冷却过程中，利用热铆接效果将透镜支架540和镜筒530牢固地固定。其结果，如图29(d)所示，完成透镜盖520。
然后，与实施方式1的步骤S106相同地，对已经安装有激光二极管17等的芯柱12、插座用支架18以及插座19进行组装，完成光模块。
根据以上说明的实施方式11所涉及的透镜盖520以及具备该透镜盖520的光模块的制造方法，与实施方式10相同地，能够进行热铆接而将透镜支架540固定于镜筒530。
实施方式12.
在实施方式1～11中，针对每个实施方式，通过将透镜支架的一部分或者全部嵌入镜筒，并利用它们的线膨胀系数的差，从而使透镜支架以及镜筒间的间隙变窄，修正这些部件间的位置。然而，本发明并不限定于此。也可以为不将透镜支架的一部分或者全部嵌入镜筒的实施方式。
图30是表示利用本发明的实施方式12所涉及的光模块的制造方法所制造的光模块用透镜盖620的剖面图。透镜盖620具备镜筒630以及透镜支架640。镜筒630由与实施方式1所涉及的镜筒30相同的材料形成，透镜支架640由与实施方式1所涉及的透镜支架40相同的材料形成。
镜筒630与实施方式1的镜筒30相同地具备筒部32，在该筒部32的一端具备盖部631，并且，筒部32的另一端开放。在盖部631设置有通孔633。
实施方式12所涉及的透镜盖620，与在实施方式1～11中透镜支架和镜筒嵌合的方式不同，透镜支架640的底面642被载置并钎焊在镜筒630中的盖部631的上表面631a。底面642以及上表面631a均是平坦的，未设置阶差部。
透镜盖620是按照实施方式1所涉及的光模块的制造方法(图4参照)制造的。即，与图4的流程图的步骤S101相同地，准备镜筒630以及透镜支架640。一边将未图示的钎料70夹入至镜筒630中的盖部631的上表面631a和透镜支架640的下表面642之间，一边将透镜支架640载置在镜筒630上。
然后，与步骤S102相同地，通过对组装后的镜筒630以及透镜支架640进行加热，使钎料70熔融，而实施钎焊。由此，镜筒630以及透镜支架640被一体化，完成透镜48安装前的透镜盖620。
此外，与步骤S103相同地，也可以对钎焊后的透镜盖620实施镀敷(Ni、Au等)。镀敷也可以在对透镜48进行成型后(即，后述的步骤S105之后)实施。
然后，与步骤S104相同地，将透镜用玻璃47设置于透镜安装孔44中。
然后，与步骤S105相同地，使用冲压装置，利用模具夹持透镜用玻璃47而对透镜48进行冲压成型。此时，冲压成型的定位以镜筒630为基准而进行。
在600℃～800℃的高温下进行透镜成型后，进行冷却。由此，在透镜支架640上设置透镜48，完成透镜盖620。通过利用透镜用玻璃47和透镜支架640的材料之间的热收缩量的不同所实现的热铆接，对透镜48进行固定。通过透镜支架640使用线膨胀系数大的材料，从而能够获得对透镜用玻璃47进行成型后的热铆接效果。
然后，与步骤S106相同地，使在至此为止的工序中制造出的透镜盖620覆盖并固定在已经安装有激光二极管17等的芯柱12上。并且，通过安装插座用支架18以及插座19，从而完成光模块。
如以上说明所示，根据实施方式12，能够在对线膨胀系数不同的镜筒630和透镜支架640进行组装后，一边以具有较小的线膨胀系数的镜筒630为基准进行定位，一边在具有较高的热膨胀率的透镜支架640上对透镜用玻璃进行冲压成型。

Claims (23)

1.一种光模块的制造方法，其特征在于，
具备：
准备工序，在该工序中，准备镜筒以及透镜支架，其中，该镜筒具备筒部、以及具有在所述筒部的一端设置的通孔的盖部，所述筒部的另一端开口，该镜筒由具有第1线膨胀系数的材料形成，该透镜支架具备透镜安装孔，并由具有比所述第1线膨胀系数大的第2线膨胀系数的材料形成；
组装工序，在该工序中，以所述通孔和所述透镜安装孔的位置对准的方式，组装所述镜筒和所述透镜支架；以及
透镜成型工序，在该工序中，通过在组装所述镜筒和所述透镜支架之后，一边利用所述镜筒进行定位，一边在所述透镜安装孔内对透镜用玻璃进行冲压成型、冷却，从而在所述透镜支架上设置透镜，其中，所述透镜用玻璃具有比所述第2线膨胀系数小的第3线膨胀系数。
2.一种光模块的制造方法，其特征在于，
具备：
准备工序，在该工序中，准备镜筒以及透镜支架，其中，该镜筒具备筒部、以及具有在所述筒部的一端设置的通孔的盖部，所述筒部的另一端开口，该镜筒由具有第1线膨胀系数的材料形成，该透镜支架具备透镜安装孔，并由具有比所述第1线膨胀系数大的第2线膨胀系数的材料形成；
组装工序，在该工序中，以所述通孔和所述透镜安装孔的位置对准的方式，组装所述镜筒和所述透镜支架；以及
透镜成型工序，该工序在所述组装工序之前或者之后，在所述透镜支架上设置透镜，
所述透镜支架具备沿着所述透镜安装孔的边缘的凸部，
将所述凸部嵌入所述通孔中。
3.一种光模块的制造方法，其特征在于，
具备：
准备工序，在该工序中，准备镜筒以及透镜支架，其中，该镜筒具备筒部、以及具有在所述筒部的一端设置的通孔的盖部，所述筒部的另一端开口，该镜筒由具有第1线膨胀系数的材料形成，该透镜支架具备透镜安装孔，并由具有比所述第1线膨胀系数大的第2线膨胀系数的材料形成；
组装工序，在该工序中，以所述通孔和所述透镜安装孔的位置对准的方式，组装所述镜筒和所述透镜支架；以及
透镜成型工序，该工序在所述组装工序之前或者之后，在所述透镜支架上设置透镜，
在所述盖部设置凹部，
将所述透镜支架的一部分或者全部嵌入所述凹部中。
4.根据权利要求3所述的光模块的制造方法，其特征在于，
所述透镜支架具备凸部，该凸部在所述透镜安装孔的延伸方向上凸出，
所述凸部嵌入所述凹部中。
5.根据权利要求2至4中任一项所述的光模块的制造方法，其特征在于，
在所述透镜成型工序中，通过在所述组装工序之后，一边利用所述镜筒进行定位，一边在所述透镜安装孔内对透镜用玻璃进行冲压成型、冷却，从而在所述透镜支架上设置透镜，其中，所述该透镜用玻璃具有比所述第2线膨胀系数小的第3线膨胀系数。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的光模块的制造方法，其特征在于，
在所述组装工序中，设置对所述盖部和所述透镜支架之间进行钎焊的钎焊层。
7.根据权利要求6所述的光模块的制造方法，其特征在于，
在所述盖部和所述透镜支架之间的钎焊部位、和所述透镜安装孔的边缘之间，在所述边缘侧设置有凸起的阶差部。
8.根据权利要求6所述的光模块的制造方法，其特征在于，
在所述组装工序之后，以覆盖所述钎焊层的方式在所述镜筒以及所述透镜支架上设置镀层。
9.根据权利要求1至3中任一项所述的光模块的制造方法，其特征在于，
在所述组装工序中，对所述盖部和所述透镜支架进行凸焊焊接。
10.根据权利要求1至3中任一项所述的光模块的制造方法，其特征在于，
在所述组装工序中，对所述镜筒和所述透镜支架进行热铆接。
11.根据权利要求1至3中任一项所述的光模块的制造方法，其特征在于，
将所述透镜支架嵌入所述镜筒的筒部内。
12.根据权利要求1至3中任一项所述的光模块的制造方法，其特征在于，
所述镜筒和所述透镜支架的至少一方，在所述镜筒和所述透镜支架接触的部分处具有薄壁部，
在所述组装工序中，对所述薄壁部实施激光深熔焊。
13.一种光模块，其特征在于，
具备：
镜筒，其具备筒部、以及具有在所述筒部的一端设置的通孔的盖部，所述筒部的另一端开口，该镜筒由具有第1线膨胀系数的材料形成；
透镜支架，其具备透镜安装孔，并由具有比所述第1线膨胀系数大的第2线膨胀系数的材料形成；
透镜，其是通过在所述透镜安装孔内对透镜用玻璃进行冲压成型而设置的，该透镜用玻璃具有比所述第2线膨胀系数小的第3线膨胀系数；以及
芯柱，其具备上表面以及设置在所述上表面上的光学元件，在所述光学元件上覆盖所述镜筒，所述另一端与所述上表面接合，
所述透镜支架具备沿着所述透镜安装孔的边缘的凸部，
所述凸部嵌入所述通孔中。
14.一种光模块，其特征在于，
具备：
镜筒，其具备筒部、以及具有在所述筒部的一端设置的通孔的盖部，所述筒部的另一端开口，该镜筒由具有第1线膨胀系数的材料形成；
透镜支架，其具备透镜安装孔，并由具有比所述第1线膨胀系数大的第2线膨胀系数的材料形成；
透镜，其是通过在所述透镜安装孔内对透镜用玻璃进行冲压成型而设置的，该透镜用玻璃具有比所述第2线膨胀系数小的第3线膨胀系数；以及
芯柱，其具备上表面以及设置在所述上表面上的光学元件，在所述光学元件上覆盖所述镜筒，所述另一端与所述上表面接合，
在所述盖部上设置凹部，
所述透镜支架的一部分或者全部嵌入所述凹部中。
15.根据权利要求14所述的光模块，其特征在于，
所述透镜支架具备在所述透镜安装孔的延伸的方向上凸出的凸部，
所述凸部嵌入所述凹部中。
16.根据权利要求15所述的光模块，其特征在于，
所述盖部具备：外侧面，其朝向所述筒部的外侧；以及内侧面，其朝向所述筒部的内侧，
所述凹部设置在所述内侧面，
以将所述凸部嵌入所述凹部中的方式，将所述透镜支架嵌入所述筒部内。
17.根据权利要求15所述的光模块，其特征在于，
所述凹部设置在所述盖部的端部，
所述凸部设置在所述透镜支架的外周侧，并嵌入所述凹部中。
18.根据权利要求13至17中任一项所述的光模块，其特征在于，
具备对所述盖部和所述透镜支架进行钎焊的钎焊层。
19.根据权利要求18所述的光模块，其特征在于，
在所述盖部和所述透镜支架之间的钎焊部位、和所述透镜安装孔的边缘之间，在所述边缘侧设置有凸起的阶差部。
20.根据权利要求18所述的光模块，其特征在于，
以覆盖所述钎焊层的方式在所述镜筒以及所述透镜支架上设置镀层。
21.根据权利要求13或14所述的光模块，其特征在于，
具备将所述盖部和所述透镜支架连接的凸焊焊接部。
22.根据权利要求13或14所述的光模块，其特征在于，
镜筒和所述透镜支架被热铆接。
23.根据权利要求13或14所述的光模块，其特征在于，
所述镜筒和所述透镜支架的至少一方，在所述镜筒和所述透镜支架接触的部分处具有薄壁部，
对所述薄壁部施加激光深熔焊。
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