CN104428103A - 夹紧装置 - Google Patents

Abstract

设置被插入工件的孔，且可将该孔的内周面卡紧的多个卡合部件(20)，夹紧杆(15)的楔面(32)从上侧卡合在上述的卡合部件(20)的内周。从活塞(12)的活塞主体(54)向上方突出的活塞杆(55)的上部与夹紧杆(15)的下部连结。上述卡合部件(20)、夹紧杆(15)和活塞(12)被设置在壳体(2)。在该壳体(2)和活塞杆(55)之间装配环状的阀部件(78)。在上述活塞(12)向锁止方向的下限区域移动了时，设置在活塞杆(55)上的操作部(89)经设置在上述阀部件(78)上的被操作部(99)，使该阀部件(78)向下方开阀。

Description

夹紧装置

技术领域

本发明涉及通过给形成在工件、金属模等被固定物上的孔的内周面安装内衬，而将上述的被固定物夹紧在工作台等的固定侧部件上的装置，更详细地说，涉及在该夹紧装置设置动作异常的检测机构的技术。

背景技术

在这种夹紧装置中，以往有专利文献1(日本国·专利第4297511号公报)记载的夹紧装置。该以往技术构成如下。

在壳体内上下地配置夹紧杆和活塞，在该夹紧杆的上部的外周向周方向配置多个卡合部件(卡钳)。上述卡合部件通过作用于环状受压部件的向上的油压力，被保持在上升位置。

在进行锁止驱动时，首先，相对于上述的多个卡合部件使工件下降，将该工件的孔外嵌在卡合部件。然后，上述活塞使夹紧杆下降。这样一来，设置在夹紧杆的上部的楔面使由环状受压部件保持在上升位置的卡合部件向半径方向的外方移动，设置在上述卡合部件的上部的薄壁的卡紧部将工件的孔的内周面强力卡紧。接着，在该卡紧状态下，活塞经夹紧杆的楔面使上述卡合部件以及环状受压部件一体地下降(锁止行程)，该卡合部件将工件向下方拉拽，固定在固定侧部件。该锁止状态的活塞在上述锁止行程的下侧形成锁止富余行程。

在上述结构的以往技术中，当在夹紧杆锁止下降时，卡合部件的卡紧部相对于工件的孔的内周面向下方打滑的情况下，与该卡合部件楔状卡合的夹紧杆以及活塞超过锁止行程的区域，向锁止富余行程的区域下降，上述的卡合部件以及环状受压部件也成为一体而下降。据此，设置在该环状受压部件的上部的凸缘将阀部件向下方推开，与此同时，上述的凸缘被设置在壳体上的挡块部阻挡(参见专利文献1的图5以及图6)。

因为检测用的加压空气的压力因上述的阀部件的开阀而低下，所以，通过由压力开关检测该压力低下，检测因上述打滑而产生的动作异常。

即，在上述的以往技术中，与卡合部件(卡钳)一体地下降的环状受压部件作为动作异常的操作部发挥功能。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本国专利公报「专利第4297511号公报」

上述的以往技术存在下面的问题。

当在前述工件未运入的状态下对夹紧装置进行了锁止驱动的情况(空夹紧的情况)下，通过作用于环状受压部件的向上的油压力保持在上升位置的多个卡合部件虽然通过夹紧杆的楔面向半径方向的外方移动，但是，因为被工件的孔的内周面阻挡，所以，过度地扩径。为此，上述夹紧杆以及活塞下降，但将上述的卡合部件以及环状受压部件留置在上升位置。因此，作为操作部的环状受压部件不能检测上述的动作异常。

另外，在由夹紧装置的卡合部件将工件固定在固定侧部件的锁止状态下，在形成在夹紧杆的中途高度部的细径部因金属疲劳等而断裂的情况下，该断裂了的夹紧杆的下半部和活塞逐渐下降，但将上述的卡合部件以及环状受压部件留置。因此，在这种情况下，作为操作部的环状受压部件也不能检测上述的动作异常。

但是，在使工件相对于上述夹紧装置的多个卡合部件下降，将工件的孔外嵌在该卡合部件时，该孔的周壁的下部与某个卡合部件碰撞，存在形成为薄壁的前述卡紧部因该碰撞时的冲击而缺损的可能性。

若未注意上述卡紧部的缺损就对夹紧装置进行锁止驱动，则缺损了该卡紧部的卡合部件未被工件的孔的内周面阻挡，而是过度地扩径，其余的卡合部件也几乎没有使卡紧力作用于上述孔的内周面。因为在该卡紧异常状态下，卡合部件由环状受压部件保持在上升位置，所以，夹紧杆以及活塞逐渐下降，但将上述卡合部件以及环状受压部件留置。因此，在这种情况下，作为操作部的上述的环状受压部件也不能检测上述的动作异常。

本发明的目的是提供一种能够消除上述的问题点的夹紧装置。

发明内容

为了实现上述的目的，本发明例如分别如图1到图3或图7、图9到图12、图13A和图13B、图14、图15A到图18、图20所示，像下述那样构成夹紧装置。

被插入被固定物17的孔18并可将该孔18的内周面卡紧的卡合部件20由向周方向空开规定的间隔配置的多个卡合部件或者向周方向环状地配置的一体形的卡合部件构成。夹紧杆15的楔部32从前端侧被卡合在上述的卡合部件20的内周。使上述夹紧杆15向轴心方向移动的活塞12具有为了与上述夹紧杆15连结而向前端方向突出的活塞杆55。上述卡合部件20、夹紧杆15和活塞12被设置在壳体2。在上述壳体2内配置由上述活塞杆55或上述夹紧杆15操作的阀机构76。该阀机构76在该活塞12移动到上述活塞12的整个行程T中的锁止方向的末期行程区域时被开阀或者闭阀。可向上述阀机构76的入口86供给加压空气地构成。

附图说明

图1表示本发明的第1实施方式，是夹紧装置的释放状态的立面视的剖视图。

图2表示上述夹紧装置的锁止状态，是与上述图1类似的图。

图3表示上述夹紧装置的空夹紧状态(动作异常状态)，是与上述图1类似的图。

图4表示上述夹紧装置的第1变形例，是与上述图1相当的图。

图5表示上述夹紧装置的第2变形例，是与上述图1相当的图。

图6表示上述夹紧装置的第3变形例，是与上述图1相当的图。

图7表示本发明的第2实施方式，是表示夹紧装置的释放状态的图。

图8表示上述第2实施方式的变形例，是与上述图7相当的图。

图9表示本发明的第3实施方式，是表示夹紧装置的释放状态的图。

图10是表示上述夹紧装置的锁止状态的图。

图11是表示设置在上述夹紧装置上的卡合部件的打滑状态(动作异常状态)的图。

图12是表示上述夹紧装置的空夹紧状态(动作异常状态)的图。

图13中，图13A表示本发明的第4实施方式，是表示夹紧装置的释放状态的图。图13B是上述图13A中的13B-13B的剖视图。

图14表示本发明的第5实施方式，是表示夹紧装置的释放状态的图。

图15中，图15A表示本发明的第6实施方式，是表示夹紧装置的释放状态的图。图15B是上述图15A中的15B-15B的剖视图。

图16是表示上述夹紧装置的锁止状态的图。

图17是表示上述夹紧装置的打滑状态(动作异常状态)的图。

图18是表示上述夹紧装置的空夹紧状态(动作异常状态)的图。

图19中，图19A表示上述第6实施方式的变形例，是表示夹紧装置的释放状态的局部图。图19B是表示上述变形例的夹紧装置的空夹紧状态(动作异常状态)的局部图。

图20表示本发明的第7实施方式，是表示夹紧装置的释放状态的图。

具体实施方式

图1到图3是表示本发明的夹紧装置的第1实施方式。

首先，主要根据图1，说明夹紧装置的构造。

在被载置在机床的工作台上的底座板1固定夹紧装置的壳体2。该壳体2具备下壳体3和上壳体4。

下壳体3的下半部被密闭状地插入底座板1的安装孔1a。该下壳体3的上半部由多个安装螺栓(未图示出)固定在上述底座板1的上面。

上壳体4由多个紧固螺栓(未图示出)固定在凹陷地形成在下壳体3的上部的装配孔6的底面。

在上述壳体2的下部内配置作为驱动机构的油压缸10。该油压缸10具备从下壳体3的下面向上形成的缸孔11和被插入该缸孔11的活塞12。

该活塞12的整个行程T(参见图1和图3)具有锁止行程L和富余行程S(参见图2)。该富余行程S是向下方按次序形成的锁止富余行程和异常行程的总和(均未标注参考符号)。即，该异常行程的区域相当于上述的整个行程T中的锁止方向的末期行程的区域(下限区域)。

在上述壳体2的上部内，如后所述，可向上下方向(轴心方向)移动且可向水平方向(半径方向)移动地配置夹紧杆15。另外，在该第1实施方式(以及后述的另外的实施方式)中，夹紧杆15通过活塞12向上方(前端方向)移动，据此，被释放驱动，通过上述活塞12向下方(基端方向)移动，据此，被锁止驱动。

在上述夹紧杆15的上部的外周，上下地配置被插入工件(被固定物)17的孔18的多个卡合部件20和筒状的支撑部件21。在上述卡合部件20的外周侧，在上壳体4的上面环状地形成阻挡工件17的下面的落位面23。

在该实施方式中，上述卡合部件20向周方向空开规定的间隔配置4个。各卡合部件20具备设置在上部的薄壁的卡紧部26、设置在中途高度的主干部27和下法兰28。在上述卡紧部26的外周向上下方向形成多个锯齿状的突起29。另外，在各卡紧部26的内周形成随着去向下方而挨近轴心的倾斜面30。

从上侧与上述倾斜面30卡合的楔面(楔部)32被形成在夹紧杆15的上部。该楔面32与上述倾斜面30对应地设置4个。在该实施方式中，上述的楔面32和倾斜面30由平面构成。

在上述4个卡合部件20的主干部27装配由橡胶等弹性体构成的薄壁的圆环34。该圆环34的弹力将卡合部件20向半径方向的内方弹压。

另外，在上壳体4的上孔4a的周壁装配防尘密封件36。该防尘密封件36的弹力将上述夹紧杆15以及卡合部件20朝向活塞12的轴心向半径方向的内方弹压。

前述的筒状的支撑部件21具备从下方阻挡上述4个卡合部件20的上壁40、从该上壁40的外周部向下方突出的环状壁41和从该环状壁41的下部向半径方向的外方突出的法兰42。上述支撑部件21可上下移动地被插入设于壳体2的靠上部的收容孔44。另外，在配置在支撑部件21的下侧的弹簧室46装配由压缩螺旋弹簧构成的前进弹簧47，该前进弹簧47经支撑部件21向上方弹压卡合部件20。即，在该实施方式中，上述前进弹簧47和支撑部件21构成以规定的力上推卡合部件20的支撑机构49。

另外，在下壳体3的筒孔的上端部装配止动圈50。该止动圈50是在进行夹紧装置的组装时，用于在壳体2内临时安装支撑机构49等的部件。

前述缸孔11具备向上按次序形成的大径孔51和小径孔52。

前述活塞12具备密闭状被插入大径孔51的活塞主体54和从该活塞主体54向上方突出的活塞杆55。该活塞杆55的中途高度部经封闭部件60密闭状地被插入下壳体3的杆孔3a。夹紧杆15的下部可向半径方向(水平方向)移动地被嵌合在上述活塞杆55的上部。

在上述活塞主体54的上侧形成锁止室62，且在该活塞主体54的下侧形成释放室63。上述锁止室62经过下壳体3内的纵路65以及横路66向锁止用的供排口(未图示出)连通。另外，上述释放室63向释放用的供排口67连通。

另外，在形成在上壳体4的上部的前述的落位面23开口有落位用的检测孔70。该检测孔70经过空气供给路71向异常检测用的加压空气的供给口(未图示出)连通。

再有，喷射空气用的通路73在前述弹簧室46的下部被开口。向上述的通路73供给的喷射空气用的加压空气在弹簧室46和形成在支撑部件21的上壁40和活塞杆55的上端部之间的间隙、比邻的卡合部件20彼此之间的间隙等穿过，向壳体2的外侧排出。

在上述结构的夹紧装置设置动作异常(夹紧不良)的检测机构。该检测机构如图1到图3所示，构成如下。

在前述缸孔11的小径孔52和前述活塞杆55之间形成环状空间，由该环状空间构成阀机构76的阀室77。筒状的阀部件78经内封闭部件79以及外封闭部件80被密闭状地插入该阀室77。该阀部件78的外径尺寸被设定为比前述活塞主体54的外径尺寸小的值。

在上述的小径孔52和前述杆孔3a之间形成阶梯部83，在形成在该阶梯部83的下部的向下的环状端面84开口有阀机构76的入口86。该入口86经过入口路87与前述空气供给路71连通。

在上述阀部件78的上端面(前端侧的端面)设置阀面81。该阀面81从下侧与设置在上述入口86的开口端的周围的阀座88面对面。

另外，阀机构76的出口91形成在前述阶梯部83的内周面和活塞杆55的外周面之间。该出口91经配置在出口路92的单向阀93向壳体2的外侧连通。

上述单向阀93具备设置在出口路92上的阀座94、从外侧抵接该阀座94的滚珠95、以弱的力将该滚珠95向阀座94弹压的弹簧96和阻挡该弹簧96的左端部的箱体97。在该箱体97形成向外部空间连通的出口孔98。

再有，在上述活塞杆55的中途高度部外嵌由止动圈构成的操作部89。该操作部89如后述的图3所示，在活塞12向异常行程的区域(整个行程T中的作为锁止方向的末期行程区域的下限区域)下降时，发挥作用，经设置在阀部件78上的被操作部99，使该阀部件78下降。

上述结构的夹紧装置如图1到图3所示，像下述那样工作。

在图1的释放状态下，将前述锁止室62的压力油排出，且向释放室63供给压力油。据此，前述活塞12以及夹紧杆15上升，前述的支撑部件21和多个卡合部件20被前进弹簧47保持在上升位置，上述卡合部件20通过圆环34的弹力被切换为缩径状态。

另外，卡合部件20以及夹紧杆15通过防尘密封件36的弹力，位于与活塞12的轴心同轴上。

再有，阀机构76的阀部件78因设置在活塞主体54的上端面的靠中央部的环状突出部54a而上升，阀面81将阀座88关闭。在该活塞主体54的上端面的外周部和锁止室62的上壁之间形成抵接间隙G。

在上述释放状态下，通过某种升降构件或自重使工件17下降，使卡合部件20逐渐插入该工件17的孔18。这样一来，上述工件17的下面被壳体2的落位面23阻挡，且将落位用的检测孔70关闭。

在将夹紧装置从上述图1的释放状态向图2的锁止状态切换时，将释放室63的压力油排出，且向锁止室62供给压力油。

这样一来，活塞12以及夹紧杆15相对于通过前进弹簧47的弹压力被保持在上升位置的支撑部件21以及卡合部件20逐渐下降。

据此，如图2的锁止状态所示，卡合部件20因夹紧杆15的楔面32而被扩径(向半径方向的外方移动)，该卡合部件20与工件17的孔18的内周面卡合。然后，通过夹紧杆15的下降力，紧贴在孔18的内周面的状态下的上述卡合部件20经上述的孔18向下拉拽工件17，与此同时，卡合部件20以及支撑部件21抵抗前进弹簧47的弹压力而下降。据此，工件17被强力地推压在上述的落位面23。

在上述图2的锁止状态下，前述阀机构76的阀部件78因锁止室62的压力而上升，阀面81将阀座88关闭，落位用的检测孔70也被工件17的下面关闭。

因此，在上述锁止状态下，因为被供给到空气供给路71的异常检测用的加压空气的压力上升，所以，能够确认夹紧装置的动作正常。

另外，在将夹紧装置从上述图2的锁止状态向图1的释放状态切换时，只要将锁止室62的压力油排出，并向释放室63供给压力油即可。据此，夹紧装置与上述的锁止动作以大致相反的顺序被切换到释放状态。

上述夹紧装置在动作异常时像下述那样工作。

在前述工件17未运入的状态(或该工件17未被运入规定位置的状态)下，由于该工件17没有将前述的落位用的检测孔70关闭，所以，空气供给路71的加压空气穿过上述的检测孔70向壳体2的外侧排出。为此，前述空气供给路71的压力没有达到设定值，能够检测工件17是落位异常的情况。

但是，在切粉等异物将上述检测孔70堵塞的情况下，因为即使是工件17未运入的状态，空气供给路71的压力也达到设定值，所以，不能检测工件17是落位异常。另外，在运入了孔18的内径比允许范围大的工件17的情况下，因为该工件17的下面将前述的检测孔70关闭，空气供给路71的压力达到设定值，所以，不能检测具有过大的孔径的工件17被运入的情况。

当在上述工件17未运入状态、具有过大的孔径的工件17被运入的状态下对夹紧装置进行了锁止驱动的情况下(空夹紧的情况下)，如图3所示，通过前进弹簧47的弹压力被保持在上升位置的多个卡合部件20虽然因夹紧杆15的楔面32而向半径方向的外方移动，但是，因为没有被工件17的孔18(参见图1或图2)的内周面阻挡，所以，过度地扩径。在该过度的扩径状态下，上述夹紧杆15以及活塞12逐渐下降，但将上述的卡合部件20以及支撑部件21留置在上升位置。

而且，在上述活塞12向作为锁止方向的末期行程区域(下限区域)的异常行程区域下降了时，设置在活塞杆55上的前述操作部89经设置在阀部件78上的被操作部99使该阀部件78下降，且上述活塞12的下面被前述释放室63的底壁(底座板1的安装孔1a的底壁)阻挡。

这样一来，供给到空气供给路71的异常检测用的加压空气按次序在阀机构76的入口86和阀室77的内部空间的上部及出口91穿过，向出口路92流出，接着，使配置在该出口路92的单向阀93的滚珠95抵抗弹簧96从阀座94离开，此后，穿过出口孔98向壳体2的外侧排出。

为此，空气供给路71的压力没有达到设定值，通过由压力开关等检测其压力低下，能够检测夹紧装置是动作异常的情况。

另外，在由夹紧装置固定了工件17的锁止状态(参见图2)下，例如，当在夹紧杆15的中途高度部形成在前述楔面32的下侧的细径部15a因金属疲劳等而断裂的情况下，该断裂了的夹紧杆15的下半部和活塞12逐渐下降，但将通过前进弹簧47的弹压力将被保持在上升位置的支撑部件21以及卡合部件20留置。这样一来，与上述图3的空夹紧时同样，因为设置在活塞杆55上的前述操作部89经被操作部99使阀部件78下降，所以，空气供给路71的压力没有达到设定值，能够检测夹紧装置的动作异常。

但是，如图1所示，在使工件17相对于上述夹紧装置的多个卡合部件20下降，将工件17的孔18外嵌在该卡合部件20时，该孔18的周壁的下部碰撞某个卡合部件20，前述的薄壁的卡紧部26因该碰撞时的冲击而缺损，在这种情况下，像下述那样工作。

若未注意上述卡紧部26的缺损就对夹紧装置进行锁止驱动，则缺损了该卡紧部26的卡合部件20与图3同样，未被工件17的孔18的内周面阻挡，过度地扩径，其余的卡合部件20也几乎没有使卡紧力作用于上述孔18的内周面。在该卡紧异常状态下，因为卡合部件20被支撑部件21保持在上升位置，所以，夹紧杆15以及活塞12逐渐下降，但将上述卡合部件20以及支撑部件21留置。这样一来，因为与上述的空夹紧时同样，设置在活塞杆55上的前述操作部89经被操作部99使阀部件78下降，所以，空气供给路71的压力没有达到设定值，能够检测夹紧装置的动作异常。

图4到图20表示上述第1实施方式的变形例、另外的实施方式。在这些变形例、另外的实施方式中，原则上对与上述的第1实施方式的构成部件相同的部件(或者类似的部件)标注相同的参考数字。

图4表示上述的第1实施方式的第1变形例，是与前述的图1相当的图。该图4的第1变形例表示前述夹紧杆15和活塞杆55的连结构造的具体例，对与上述图1的构造不同的构成要素标注参考数字，进行说明。

即，前述活塞杆55具备杆主体56和被螺纹拧紧在该杆主体56的上部的保持螺母57。在上述杆主体56的上部和保持螺母57的上部之间，可向半径方向移动地嵌合着螺纹拧紧在夹紧杆15的下部的底脚螺母58。在上述保持螺母57的下端部一体地设置前述操作部89。另外，在阀部件78的筒孔的上部设置前述的被操作部99。

另外，上述夹紧杆15和活塞杆55的连结构造除上述图4的具体例以外，当然也可以考虑各种构造。这点在后述的另外的实施方式中也同样。

图5表示上述的第1实施方式的第2变形例，是与前述的图1相当的图。在该图5的第2变形例中，也对与上述图1的构造不同的构成部件标注参考数字，进行说明。

即，在前述缸孔11和前述活塞杆55之间，环状的分隔壁101经内封闭部件79和外封闭部件80被密闭状地插入前述锁止室62的上侧。在该环状的分隔壁101和活塞杆55之间形成环状空间，筒状的阀部件78可向上下方向移动地被插入该环状空间。在设置在前述阶梯部83的向下的环状端面84开口有阀机构76的入口86。阀部件78构成为可从下侧与该入口86面对面，在该阀部件78的上端侧的端面设置阀面81。

在阀部件78的下部和分隔壁101的上部之间装配下封闭部件103，且在阀部件78的上部外周和下壳体3之间装配上封闭部件104。该阀部件78通过上述的下封闭部件103的弹力，与阀座88抵接。阀机构76的出口91被环状地形成在上述的筒状的阀部件78的中途高度部的外周侧，经出口路92和单向阀93向壳体2的外侧连通。

根据上述构造，在从图5的释放状态开始进行锁止驱动时，向锁止室62供给的压力流体的压力经分隔壁101被上述阶梯部83阻挡，不会作用在上述的阀部件78。而且，在夹紧装置空夹紧时，前述的操作部89经被操作部99使阀部件78抵抗下封闭部件103而下降。

这样一来，供给到空气供给路71的异常检测用的加压空气按阀机构76的入口86、阀室77的内部空间的上部和出口91的次序穿过，向出口路92流出，此后，向壳体2的外侧排出。

为此，空气供给路71的压力没有达到设定值，能够检测夹紧装置的动作异常。

图6表示上述的第1实施方式的第3变形例，是与前述的图1相当的图。在该图6的第3变形例中，也对与上述图1的构造不同的构成部件标注参考数字，进行说明。

即，在前述的下壳体3的杆孔3a的周壁，向周方向空开间隔形成多个贯通孔107(这里，仅表示1个贯通孔107)，以便将前述弹簧室46和阀室77连通。操作销108被插入上述的各贯通孔107。

在图6的释放状态下，前述活塞12的活塞主体54使上述操作销108上升，在该操作销108的上端部和前述支撑部件21的法兰42之间形成规定的抵接间隙。

当在进行锁止驱动时，前述的卡合部件20的卡紧部26相对于前述工件17的孔18的内周面打滑的情况下，因为卡合部件20以及支撑部件21下降，所以，上述法兰42经操作销108将阀部件78向下方推开。因为空气供给路71的异常检测用的加压空气的压力因该阀部件78的开阀而低下，所以，因上述打滑而产生的动作异常被检测。

另外，在前述的空夹紧等动作异常时，因为与前述的第1实施方式同样，设置在活塞杆55上的前述的操作部89经被操作部99将阀部件78向下方推开，所以，能够检测上述的动作异常。

将因上述打滑而造成的支撑部件21的下降经例示的操作销108等向阀部件78传递的构造优选应用在前述图5的第2变形例。

图7表示本发明的第2实施方式，是表示夹紧装置的释放状态的图。该第2实施方式与上述的第1实施方式的图1相比，下述方面不同。

在前述活塞杆55的外周侧，在前述的下壳体3与该活塞杆55平行状且圆柱状地形成阀机构76的阀室77。阀部件78经封闭部件111可摆动且密闭状地被插入该圆柱状的阀室77。该阀部件78被弹簧(弹性体)112向下方(闭阀方向)弹压。

阀机构76的入口86在上述阀室77向上开口。另外，与该入口86面对面的阀面81被设置在前述阀部件78的下端。再有，阀部件78的上部朝向活塞杆55的轴心向半径方向的内方突出。在该突出部设置被操作部99。

在前述的空夹紧等动作异常时，与前述的第1实施方式同样，设置在活塞杆55上的操作部89经被操作部99使阀部件78向顺时针的方向摆动。这样一来，供给到空气供给路71的异常检测用的加压空气按次序穿过阀机构76的入口86、阀室77的下部空间、出口91和出口路92，向壳体2的外侧排出。为此，空气供给路71的压力没有达到设定值，能够检测夹紧装置的动作异常。

另外，阀机构76也可以替代上述图7所示的配置构造，配置成使入口86向下开口，且向上弹压阀部件78。

图8表示上述的第2实施方式的变形例。该变形例与上述的图7的第2实施方式相比，在下述方面不同。

在图8的释放状态下，设置在活塞杆55上的另外的操作部115经上述被操作部99使阀部件78向逆时针的方向摆动。据此，供给到空气供给路71的异常检测用的加压空气按次序穿过阀机构76的入口86、阀室77的下部空间、出口91和出口路92，向壳体2的外侧排出。为此，空气供给路71的压力没有达到设定值，能够检测夹紧装置为释放状态的情况。

在从上述图8的释放状态向锁止状态(未图示出)切换时，因为被操作部99位于被形成于前述操作部89和另外的操作部115之间的槽116的上下方向的中途部，所以，阀部件78通过弹簧(弹性体)112与阀座88抵接。为此，空气供给路71的压力达到设定值，能够检测是锁止状态的情况。

再有，在前述的空夹紧等动作异常时，与前述图7的第2实施方式同样，因为操作部89经被操作部99使阀部件78向顺时针的方向摆动，供给到空气供给路71的异常检测用的加压空气向壳体2的外侧排出，所以，能够检测夹紧装置的动作异常。

图9到图12表示本发明的第3实施方式。该第3实施方式与前述的第1实施方式相比，在下述方面不同。

如图9的释放状态所示，贯通孔121沿上下方向形成在前述活塞12，前述夹紧杆15的下部可向半径方向移动地被插入该贯通孔121的上部。由密闭状地插入贯通孔121的保持杆122以及止动圈123防止该夹紧杆15下降。这点在前述图7(以及图8)的实施方式中也同样。

前述支撑部件21经内封闭部件126和外封闭部件127被密闭状地插入上壳体4和夹紧杆15之间。

前述阀机构76具备被形成在下壳体3和上壳体4的接合端面之间的小径的阀室77和可上下移动地被密闭状地插入该阀室77的筒状的阀部件78。由该阀部件78的上端面构成阀面81，在上壳体4的下端面形成阀座88。设置在上述阀室77的下部的入口86与前述空气供给路71连通。

另外，在夹紧杆15的中途高度部设置由止动圈构成的操作部89，且在前述支撑部件21的筒孔的中途高度部设置前述的被操作部99。

在图9的释放状态下，与前述的第1实施方式同样，前述活塞12以及夹紧杆15上升，前述的支撑部件21和多个卡合部件20由前进弹簧47保持在上升位置，上述卡合部件20通过圆环34的弹力被切换为缩径状态。阀部件78因来自空气供给路71的加压空气而上升，将阀座88关闭。另外，工件17的下面被壳体2的落位面23阻挡，将落位用的检测孔70关闭。

在将夹紧装置从上述图9的释放状态向图10的锁止状态切换时，若排出释放室63的压力油，且向锁止室62供给压力油，则夹紧装置与前述的第1实施方式同样地进行工作。即，如图10的锁止状态所示，前述工件17经孔18被强力地推压在落位面23。另外，在支撑部件21的下面和阀部件78的上端面之间形成规定的抵接间隙，阀部件78的阀面81与阀座88抵接。

在上述锁止状态下，因为供给到空气供给路71的异常检测用的加压空气的压力上升到设定值，所以，能够确认夹紧装置的动作为正常的情况。

上述夹紧装置在动作异常时，像下述那样工作。

当在夹紧杆15锁止下降时，卡合部件20的卡紧部26相对于工件17的孔18的内周面向下方打滑的情况下，如图11所示，上述卡合部件20以及支撑部件21成为一体而下降。据此，该支撑部件21的下端面将阀部件78向下方推开。这样一来，供给到空气供给路71的异常检测用的加压空气按次序穿过阀机构76的入口86、阀面81和阀座88之间的打开间隙、出口91、内封闭部件126的唇部和活塞杆55的外周面之间等，向壳体2的外侧排出。为此，空气供给路71的压力没有达到设定值，检测因上述打滑而产生的动作异常。

另外，在上述图11的打滑异常的状态下，在前述操作部89和前述被操作部99之间，在上下方向形成规定的操作行程D。

另外，当在工件17的未运入状态下对夹紧装置进行了锁止驱动的情况(空夹紧的情况)下，夹紧装置与前述的第1实施方式同样地工作。即，如图12所示，夹紧杆15以及活塞12在将卡合部件20以及支撑部件21留置在上升位置的状态下，逐渐向作为锁止方向的末期行程区域(下限区域)的异常行程区域下降，因此，夹紧杆15的操作部89经前述的被操作部99使支撑部件21下降，该支撑部件21的下端面使阀部件78开阀。

这样一来，与前述图11的打滑异常时同样，空气供给路71的压力没有达到设定值，能够检测夹紧装置是空夹紧状态的情况。

另外，当在夹紧杆15的中途高度部被形成在前述楔面32的下侧的细径部15a因金属疲劳等而断裂的情况下、被形成为薄壁的前述卡紧部26缺损的情况下，夹紧装置也与上述的空夹紧时同样地工作，能够检测动作异常。

图13A和图13B表示本发明的第4实施方式。图13A表示夹紧装置的释放状态。图13B是图13A中的13B-13B的剖视图。

该第4实施方式与前述图9到图12的第3实施方式相比，在下述方面不同。

前述壳体2未被上下分割，而是由一体物构成。

如图13A(以及参见后述的图15B)所示，筒状的罩部件131被外嵌在前述夹紧杆15的上部。在该罩部件131的周壁向周方向空开规定的间隔贯通有多个横孔132。卡合部件20向水平方向(半径方向)移动自由地被插入各横孔132。各卡合部件20通过设置在夹紧杆15的上部的楔面32(楔部)向半径方向的外方移动。在卡合部件20的上半部形成前述卡紧部26。

在前述活塞主体54的上侧，环状的分隔壁101密闭状地被插入前述缸孔11。在该分隔壁101和活塞主体54之间形成前述锁止室62。该锁止室62经分隔壁101内的贯通孔133与前述的纵路65连通。在上述分隔壁101的靠上的部内，阀机构76的阀室77被形成为俯视时为长方形状。长方形状的阀部件78被插入该阀室77，该阀部件78通过弹簧(弹性体)112与阀座88抵接。

当在工件17未运入状态下对夹紧装置进行了锁止驱动的情况(空夹紧的情况)下，夹紧装置与前述图12的第3实施方式同样地工作。即，夹紧杆15以及活塞12在将卡合部件20和罩部件131以及支撑部件21留置在上升位置的状态下，逐渐向作为锁止方向的末期行程区域(下限区域)的异常行程区域下降，因此，活塞杆55的操作部89经设置在阀部件78的半径方向的内端部的被操作部99使该阀部件78开阀。据此，空气供给路71的压力没有达到设定值，能够检测夹紧装置是空夹紧状态的情况。

图14表示本发明的第5实施方式，是表示夹紧装置的释放状态的图。该图14的第5实施方式与上述图13A以及图13B的第4实施方式相比，在下述方面不同。

在密闭状地插入缸孔11的前述分隔壁101的内周面开口有阀机构76的入口86。另外，在活塞杆55的外周面设置开闭上述入口86的阀面81。

在图14的释放状态下，通过经推送弹簧136和推送板137将活塞杆55向上述入口86弹压，阀面81确实地将入口86封住。

在空夹紧时，夹紧装置与前述图12的第3实施方式同样，夹紧杆15以及活塞12在将卡合部件20和罩部件131以及支撑部件21留置在上升位置的状态下，逐渐向作为锁止方向的末期行程区域(下限区域)的异常行程区域下降，因此，设置在活塞杆55的阀面81的上侧的周槽138与前述入口86面对面。据此，向空气供给路71供给的检测用的加压空气的压力没有达到设定值，能够检测夹紧装置是空夹紧状态的情况。

图15A到图18表示本发明的第6实施方式。图15A是表示夹紧装置的释放状态的图。图15B是上述图15A中的15B-15B的剖视图。

上述的第6实施方式是将图14的第5实施方式像下述那样变更了的实施方式。

如图15A的释放状态所示，在前述支撑机构49的弹簧室46向上开口有喷射空气用的通路73，该开口部作为阀机构76的入口86被构成。喷射空气用的加压空气从上述喷射空气用的通路73穿过弹簧室46、支撑部件21内的歪斜路141、罩部件131内、前述横孔132和卡合部件20的嵌合间隙等，向壳体2的外侧排出。

在该图15A的释放状态下，前进弹簧47的弹压力经支撑部件21将罩部件131以及卡合部件20保持在上升位置，工件17被设置在上述的卡合部件20上的工件搭载面143阻挡。为此，在壳体4的上端的落位面23和工件17的下面之间，形成规定的落位间隙C。

在将夹紧装置从上述图15A的释放状态向图16的锁止状态切换时，若排出释放室63的压力油，且向锁止室62供给压力油，则夹紧装置与前述的各实施方式同样地工作。即，如图16的锁止状态所示，夹紧杆15的楔面(楔部)32使卡合部件20的卡紧部26卡合在工件17的孔18的内周面，且使卡合部件20和罩部件131以及支撑部件21抵抗上述前进弹簧47的弹压力而下降。在该图16的锁止状态下，前述工件17经孔18被强力地推压在落位面23。另外，在设置在入口86的外周的阀座88和设置在支撑部件21的下端面的阀面81之间形成规定的打开间隙。

在上述图16的锁止状态下，供给到喷射空气用的通路73的加压空气的压力没有达到设定压力，据此，能够确认夹紧装置的动作为正常的情况。

上述夹紧装置在异常时像下述那样工作。

当在夹紧杆15锁止下降时，卡合部件20的卡紧部26相对于工件17的孔18的内周面向下方打滑了的情况下，如图17所示，上述卡合部件20和罩部件131以及支撑部件21成为一体而下降。据此，因为设置在该支撑部件21的下端面的阀面81与阀座88抵接，所以，供给到喷射空气用的通路73的加压空气的压力上升到设定值，检测因上述打滑而产生的动作异常。

另外，在上述图17的打滑异常的状态下，在设置在夹紧杆15上的操作部89和设置在支撑部件21上的被操作部99之间，在上下方向形成规定的操作行程D。

在夹紧装置空夹紧时，如图18所示，因为夹紧杆15以及活塞12逐渐向作为锁止方向的末期行程区域(下限区域)的异常行程区域下降，所以，上述的操作部89经被操作部99使支撑部件21下降，设置在该支撑部件21的下端面的阀面81抵接阀座88，因此，供给到喷射空气用的通路73的加压空气的压力上升到设定值，能够检测夹紧装置是空夹紧状态的情况。

另外，当在夹紧杆15的中途高度部形成在前述楔面32的下侧的细径部15a因金属疲劳等而断裂了的情况下、被形成为薄壁的前述卡紧部26缺损的情况下，夹紧装置也与上述的空夹紧时同样地工作，能够检测夹紧装置的动作异常。

另外，优选在前述的上壳体4的落位面23与前述的第1实施方式同样地开口有落位用的检测孔70(参见图1)。这点在后述的各实施方式中也同样。

另外，如前述图15A的释放状态所示，由设置在卡合部件20等上的工件搭载面143阻挡工件17并形成落位间隙C的构造在前述的各实施方式、后述的各实施方式中也可以利用。

图19A和图19B表示上述第6实施方式的变形例。图19A是表示夹紧装置的释放状态的局部图。图19B是表示上述夹紧装置的空夹紧状态(动作异常状态)的局部图。

如图19A的释放状态所示，被供给到喷射空气用的通路73的加压空气经凹陷地形成在下壳体3的上部的前述的装配孔6的底转角部、设置在上壳体4的下部的连通槽148和前述支撑机构49的弹簧室46向支撑部件21内的歪斜路141供给。上述的连通槽148的半径方向的内端部作为阀机构76的入口86被构成。在该连通槽148的半径方向的内方，在上述装配孔6的底面形成阀机构76的阀座88。

在图19A的释放状态下，在设置在支撑部件21的下端面的阀面81和上述阀座88之间形成规定的打开间隙。

在图19B的空夹紧时，与前述图18同样，因为上述的阀面81与阀座88抵接，所以，供给到喷射空气用的通路73的加压空气的压力上升到设定值，能够检测夹紧装置是空夹紧状态的情况。

图20表示本发明的第7实施方式，是表示夹紧装置的释放状态的图。

在该第7实施方式中，也是被供给到喷射空气用的通路73的加压空气经前述支撑机构49的弹簧室46、筒状的支撑部件21和活塞杆55之间的嵌合间隙、设置在夹紧杆15的中途高度部的法兰151的上端面和卡合部件20的下端面之间的间隙、比邻的卡合部件20彼此之间的间隙，向壳体2的外侧排出。

支撑部件21的筒孔的靠下部向半径方向的内方突出，由该突出部152的上面构成阀机构76的阀座88。另外，在上述法兰151的下端面形成阀面81。而且，由上述突出部152的半径方向的内方空间构成阀机构76的入口86。

夹紧装置的空夹紧时，因为将被保持在上升位置的卡合部件20以及支撑部件21留置，夹紧杆15以及活塞12向前述的末期行程区域(下限区域)后退，所以，设置在夹紧杆15上的阀面81与前述阀座88抵接。据此，供给到喷射空气用的通路73的加压空气的压力上升到设定值，能够检测夹紧装置是空夹紧状态的情况。

另外，也可以替代上述结构，在突出部152设置阀面81，且在法兰151设置阀座88。

上述的各实施方式、变形例还能够像下面那样变更。

前述卡合部件20也可以配置2个或3个或5个，以替代向周方向配置4个的情况。另外，卡合部件20也可以由设置了狭缝的一体形的环状夹头构成，以替代配置多个的情况。

前述夹紧杆15和活塞杆55这两者的连结构造也可以是将上述两者平行地配置，且经横向的连结件相互连结，以替代将这些两者同一轴心状地连结。

前述的支撑机构49也可以利用油压力、空压力等流体压力，以替代利用例示的弹簧等弹性体的弹压力的情况。

动作异常的检测也可以由流量开关检测加压空气的流量，以替代由压力开关检测加压空气的压力的情况。

也可以省略前述底座板1的安装孔1a。在这种情况下，下壳体3的下面经封闭件(未图示出)被固定在底座板1的上面。

前述驱动机构也可以是空压缸，以替代例示的油压缸10。流体压缸也可以考虑以压力流体进行锁止驱动，且由弹簧力进行释放驱动的情况和由弹簧力进行锁止驱动，且由压力流体进行释放驱动的情况，以替代例示的双动式。

夹紧装置也可以上下相反地配置或横向配置或斜向配置，以替代在上下方向配置的情况。

本发明所应用的被固定物也可以是工件托盘、金属模等，以替代例示的工件17。

此外，当然能够在本领域技术人员能够设想的范围进行各种变更。

用于实现前述的目的的本发明的概要如下，例如如图1到图3或图7、图9到图12、图13A和图13B、图14、图15A到图18、图20分别所示那样，像下述那样构成夹紧装置。

被插入被固定物17的孔18，且可将该孔18的内周面卡紧的卡合部件20由向周方向空开规定的间隔被配置的多个卡合部件或者向周方向环状地配置的一体形的卡合部件构成。夹紧杆15的楔部32从前端侧卡合在上述的卡合部件20的内周。使上述夹紧杆15向轴心方向移动的活塞12具有为与上述夹紧杆15连结而向前端方向突出的活塞杆55。上述卡合部件20、夹紧杆15和活塞12被设置在壳体2。在上述壳体2内配置由上述活塞杆55或上述夹紧杆15操作的阀机构76。该阀机构76在该活塞12移动到上述活塞12的整个行程T中的锁止方向的末期行程区域时，被开阀或者闭阀。可向上述阀机构76的入口86供给加压空气地构成。

另外，在上述结构中，作为前述的加压空气，可以考虑为了进行异常检测而专门供给的加压空气、为了对前述的比邻的多个卡合部件彼此之间的间隙等进行喷射而供给的清洗用的加压空气等。

本发明由于像上述那样构成，所以，发挥下面的作用效果。

当在工件等被固定物未运入的状态(或上述的被固定物未被运入规定位置的状态)下、被运入的被固定物的孔的内径比允许范围大的状态下等，对夹紧装置进行了锁止驱动的情况(下面，也称为“空夹紧”)下，卡合部件虽然通过夹紧杆的楔部向半径方向的外方移动，但是，因为没有被被固定物的孔的内周面阻挡，所以，过度地扩径。在该过度的扩径状态下，上述的夹紧杆以及活塞逐渐向基端方向移动，但将上述的卡合部件留置。

而且，在上述活塞向作为锁止方向的末期行程区域(下限区域)的异常行程区域下降了时，活塞杆或夹紧杆使阀机构开阀或者闭阀。

这样一来，因为供给到阀机构的入口的加压空气的压力比设定压力低下或上升到设定压力(或加压空气的出口流量比设定值多或比设定值少)，所以，通过检测该状态的变化，能够检测夹紧装置的动作为异常的情况。

另外，当在由夹紧装置将被固定物固定了的锁止状态下，夹紧杆的中途高度部例如因金属疲劳等而断裂了的情况下，该断裂了的夹紧杆的下半部和活塞逐渐下降，但将卡合部件留置。在上述活塞向作为锁止方向的末期行程区域(下限区域)的异常行程区域下降了时，与上述的空夹紧时同样，因为活塞杆或夹紧杆使阀机构开阀或者闭阀，所以，能够检测夹紧装置的动作是异常的情况。

再有，若没有注意到设置在卡合部件上的卡紧部等的缺损就对夹紧装置进行锁止驱动，则卡合部件没有被被固定物的孔的内周面阻挡，过度地扩径，几乎没有使卡紧力作用于上述孔的内周面。在该卡紧异常状态下，夹紧杆以及活塞逐渐下降，但将上述卡合部件留置。因为在上述活塞向作为锁止方向的末期行程区域(下限区域)的异常行程区域下降了时，与上述的空夹紧时同样，活塞杆或夹紧杆使阀机构开阀或者闭阀，所以，能够检测夹紧装置的动作是异常的情况。

另外，根据本发明，因为被构成为为了与夹紧杆连结而向前端方向突出的活塞杆或上述夹紧杆使阀机构开阀或者闭阀，所以，能够将该阀机构配置在上述活塞杆或夹紧杆的外周空间，可有效地利用前述壳体内的剩余空间，紧凑地制造夹紧装置。

在本发明中，例如像前述的各图所示，优选像下述那样构成。

即，设置以规定的力将前述卡合部件20向前端方向推送的支撑机构49。在该支撑机构49设置与上述的卡合部件20一起向轴心方向移动的筒状的支撑部件21。将前述夹紧杆15插入该支撑部件21的筒孔内。

在这种情况下，在进行夹紧装置的锁止驱动时，因为能够通过支撑机构的推送力经支撑部件将卡合部件保持在前端方向的规定位置，所以，夹紧杆的楔部能够对卡合部件确实地进行锁止驱动。

在本发明中，例如如图1到图3或图7、图13A和图13B分别所示那样，优选在向前端方向突出的前述活塞杆55设置在前述活塞12移动到前述的末期行程区域时对前述阀机构76进行开阀或者闭阀的操作部89。

在这种情况下，因为能够简洁地构成夹紧异常的检测装置，所以，紧凑地制造夹紧装置。

在本发明中，例如如图1到图3所示，优选像下述那样构成。

在前述壳体2的缸孔11和前述活塞杆55之间形成环状空间，且将前述阀机构76的阀部件78形成为筒状。将前述的筒状的阀部件78可向轴心方向移动且密闭状地插入前述的环状空间。在设置在前述缸孔11的阶梯部83的基端侧的环状端面84开口有前述阀机构76的入口86，且可从基端侧与该入口86面对面地构成前述阀部件78。在该阀部件78的前端侧的端面设置阀面81。

在这种情况下，因为也能够简洁地构成阀机构，所以，紧凑地制造夹紧装置。

在本发明中，例如如图5所示，优选像下述那样构成。

将环状的分隔壁101密闭状地插入前述壳体2的缸孔11和前述活塞杆55之间。在该环状的分隔壁101的筒孔和前述活塞杆55之间形成环状空间，且将前述阀机构76的阀部件78形成为筒状。将前述的筒状的阀部件78可向轴心方向移动地插入前述的环状空间。在设置在前述缸孔11的阶梯部83的基端侧的环状端面84开口有前述阀机构76的入口86，且可从基端侧与该入口86面对面地构成前述阀部件78。在该阀部件78的前端侧的端面设置阀面81。

在这种情况下，在进行夹紧装置的锁止驱动时，能够通过上述分隔壁防止锁止用的压力流体的压力作用于阀部件。为此，能够使阀部件圆滑开阀或者闭阀，能够确实地检测夹紧装置的动作异常。

在本发明中，例如，如图7或图8所示，也可以像下述那样构成。

在前述活塞杆55的外周侧，在前述壳体2上与该活塞杆55平行状地形成前述阀机构76的阀室77。将阀部件78可摆动且密闭状地插入该阀室77。设置将该阀部件78向闭阀方向弹压的弹性体112。在上述阀室77开口有前述阀机构76的入口86，且将与该入口86面对面的阀面81设置在前述阀部件78。使前述阀部件78朝向前述活塞杆55向半径方向的内方突出，在该突出部设置空开规定的间隔与前述操作部89面对面的被操作部99。

本发明中，例如，如图9到图12或图15A到图18所示，也可以像下述那样构成。

在前述夹紧杆15设置使前述阀机构76开阀或者闭阀的操作部89，且将可由该操作部89在轴心方向抵接的被操作部99设置在前述支撑部件21。构成为在前述活塞12移动到前述的末期行程区域时，前述操作部89经前述的被操作部99使前述阀机构76开阀或者闭阀。

在本发明中，例如，如上述的图9到图12或图15A到图18所示，优选像下述那样构成。

构成为，当在进行前述活塞12的锁止驱动时，前述卡合部件20相对于前述的被固定物17的孔18的内周面打滑的情况下，前述活塞12经前述夹紧杆15的前述楔部32、前述卡合部件20和前述支撑部件21，使前述阀机构76开阀或者闭阀，且在前述操作部89和前述被操作部99之间设置规定的操作行程D。将前述的操作行程D的尺寸设定为比前述活塞12的前述的末期行程区域的尺寸小的值，在该活塞12向末期行程区域移动了时，前述操作部89经前述被操作部99使前述阀机构76开阀或者闭阀。

在本发明中，例如，如图14所示，也可以在前述壳体2的缸孔11的内周面开口有前述阀机构76的入口86，且在前述活塞杆55设置开闭上述入口86的阀面81。

在本发明中，例如，如图20所示，也可以构成为，在前述支撑部件21和前述夹紧杆15这两者中的一方设置前述阀机构76的阀座88，且在前述两者中的另一方设置该阀机构76的阀面81，在前述活塞12移动到前述的末期行程区域时，前述阀面81抵接前述阀座88。

符号说明

2：壳体；11：缸孔；12：活塞；15：夹紧杆；17：被固定物(工件)；18：孔；20：卡合部件；21：支撑部件；32：楔部(楔面)；49：支撑机构；54：活塞主体；55：活塞杆；76：阀机构；77：阀室；78：阀部件；81：阀面；83：阶梯部；84：环状端面；86：入口；88：阀座；89：操作部；99：被操作部；101：分隔壁；112：弹性体(弹簧)；D：操作行程；T：活塞12的整个行程。

Claims (13)

1.一种夹紧装置，其特征在于，具备卡合部件(20)、夹紧杆(15)、活塞(12)和壳体(2)，

所述卡合部件(20)被插入被固定物(17)的孔(18)，且可将该孔(18)的内周面卡紧，是向周方向空开规定的间隔配置的多个卡合部件或者向周方向环状地配置的一体形的卡合部件；所述夹紧杆(15)具有从前端侧卡合在该卡合部件(20)的内周的楔部(32)；所述活塞(12)使该夹紧杆(15)向轴心方向移动，是具有为与上述夹紧杆(15)连结而向前端方向突出的活塞杆(55)的活塞(12)；所述壳体(2)设有上述卡合部件(20)、夹紧杆(15)和活塞(12)，

具备阀机构(76)，所述阀机构(76)配置在上述壳体(2)内，以便被上述活塞杆(55)或上述夹紧杆(15)操作，该阀机构(76)在该活塞(12)移动到上述活塞(12)的整个行程(T)中的锁止方向的末期行程区域时，被开阀或者闭阀，

可向上述阀机构(76)的入口(86)供给加压空气地构成。

2.如权利要求1所述的夹紧装置，

其特征在于，

具备支撑机构(49)，所述支撑机构(49)以规定的力将前述卡合部件(20)向前端方向推送，具有与该卡合部件(20)一起向轴心方向移动的筒状的支撑部件(21)，

将前述夹紧杆(15)插入前述支撑部件(21)的筒孔内。

3.如权利要求2所述的夹紧装置，

其特征在于，

在向前端方向突出的前述活塞杆(55)设置在前述活塞(12)移动到前述的末期行程区域时，使前述阀机构(76)开阀或者闭阀的操作部(89)。

4.如权利要求3所述的夹紧装置，

其特征在于，

在前述壳体(2)的缸孔(11)和前述活塞杆(55)之间形成环状空间，且将前述阀机构(76)的阀部件(78)形成为筒状，将前述的筒状的阀部件(78)可向轴心方向移动且密闭状插入前述的环状空间，

在设置在前述缸孔(11)的阶梯部(83)的基端侧的环状端面(84)开口有前述阀机构(76)的入口(86)，且将前述阀部件(78)构成为可从基端侧与该入口(86)面对面，在该阀部件(78)的前端侧的端面设置阀面(81)。

5.如权利要求3所述的夹紧装置，

其特征在于，

将环状的分隔壁(101)密闭状地插入前述壳体(2)的缸孔(11)和前述活塞杆(55)之间，在该环状的分隔壁(101)的筒孔和前述活塞杆(55)之间形成环状空间，且将前述阀机构(76)的阀部件(78)形成为筒状，将前述的筒状的阀部件(78)可向轴心方向移动地插入前述的环状空间，

在设置在前述缸孔(11)的阶梯部(83)的基端侧的环状端面(84)开口有前述阀机构(76)的入口(86)，且将前述阀部件(78)构成为可从基端侧与该入口(86)面对面，在该阀部件(78)的前端侧的端面设置阀面(81)。

6.如权利要求3所述的夹紧装置，其特征在于，

其特征在于，

在前述活塞杆(55)的外周侧，在前述壳体(2)上与该活塞杆(55)平行状地形成前述阀机构(76)的阀室(77)，将阀部件(78)可摆动且密闭状插入该阀室(77)，设置将该阀部件(78)向闭阀方向弹压的弹性体(112)，

在上述阀室(77)开口有前述阀机构(76)的入口(86)，且将与该入口(86)面对面的阀面(81)设置在前述阀部件(78)，

使前述阀部件(78)朝向前述活塞杆(55)向半径方向的内方突出，在该突出部设置空开规定的间隔与前述操作部(89)面对面的被操作部(99)。

7.如权利要求2所述的夹紧装置，其特征在于，

在前述夹紧杆(15)设置使前述阀机构(76)开阀或者闭阀的操作部(89)，且将由该操作部(89)可在轴心方向抵接的被操作部(99)设置在前述支撑部件(21)，

构成为，在前述活塞(12)移动到前述的末期行程区域时，前述操作部(89)经前述的被操作部(99)使前述阀机构(76)开阀或者闭阀。

8.如权利要求7所述的夹紧装置，

其特征在于，

构成为，当在进行前述活塞(12)的锁止驱动时，前述卡合部件(20)相对于前述的被固定物(17)的孔(18)的内周面打滑的情况下，前述活塞(12)经前述夹紧杆(15)的前述楔部(32)、前述卡合部件(20)和前述支撑部件(21)，使前述阀机构(76)开阀或者闭阀，且在前述操作部(89)和前述被操作部(99)之间设置规定的操作行程(D)，

将前述的操作行程(D)的尺寸设定为比前述活塞(12)的前述的末期行程区域的尺寸小的值，在该活塞(12)向末期行程区域移动时，前述操作部(89)经前述被操作部(99)，使前述阀机构(76)开阀或者闭阀。

9.如权利要求2所述的夹紧装置，其特征在于，

在前述壳体(2)的缸孔(11)的内周面开口有前述阀机构(76)的入口(86)，且在前述活塞杆(55)设置开闭上述入口(86)的阀面(81)。

10.如权利要求2所述的夹紧装置，其特征在于，

在前述支撑部件(21)和前述夹紧杆(15)这两者中的一方设置前述阀机构(76)的阀座(88)，且在前述两者中的另一方设置该阀机构(76)的阀面(81)，

构成为在前述活塞(12)移动到前述的末期行程区域时，前述阀面(81)抵接前述阀座(88)。

11.如权利要求1至3中的任一项所述的夹紧装置，其特征在于，

前述的加压空气是为检测前述活塞(12)的异常状态而被供给的异常检测用空气。

12.如权利要求1至3中的任一项所述的夹紧装置，

其特征在于，

前述的加压空气是用于对至少前述的比邻的多个卡合部件(20)彼此之间的间隙或者形成在前述的环状，且一体形的卡合部件(20)的周壁上的狭缝的间隙进行喷射空气的清洗用的空气。

13.如权利要求2所述的夹紧装置，

其特征在于，

在前述壳体(2)上形成由前述活塞杆(55)插入的杆孔(3a)，

在前述杆孔(3a)的周壁上，在轴心方向形成与前述支撑部件(21)和前述阀机构(76)相向的贯通孔(107)，

当在进行前述活塞(12)的锁止驱动时，前述卡合部件(20)相对于前述被固定物(17)的孔(18)的内周面打滑的情况下，将与前述卡合部件(20)以及前述支撑部件(21)向基端方向的移动相应地使前述阀机构(76)开阀的操作销(108)插入前述贯通孔(107)。