CN104419378A - 一种铈基稀土抛光粉的掺氟方法 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 49
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 48
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 title claims abstract description 44
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 37
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 37
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 33
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 33
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 title claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims abstract description 15
- 230000032683 aging Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000001354 calcination Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 claims description 13
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 10
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 9
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N Ammonium bicarbonate Chemical compound [NH4+].OC([O-])=O ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 6
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 4
- 229910000013 Ammonium bicarbonate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 235000012538 ammonium bicarbonate Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000001099 ammonium carbonate Substances 0.000 claims description 3
- 229910001404 rare earth metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 2
- 230000029087 digestion Effects 0.000 claims description 2
- -1 rare earth chloride Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 9
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 6
- 239000012025 fluorinating agent Substances 0.000 abstract 3
- 239000012716 precipitator Substances 0.000 abstract 3
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 abstract 2
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 abstract 1
- 238000004513 sizing Methods 0.000 abstract 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000013019 agitation Methods 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 102220043159 rs587780996 Human genes 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonium chloride Substances [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000000975 co-precipitation Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- CNERRGRDMYRHEV-UHFFFAOYSA-H [Cl-].[La+3].[Ce+3].[Cl-].[Cl-].[Cl-].[Cl-].[Cl-] Chemical compound [Cl-].[La+3].[Ce+3].[Cl-].[Cl-].[Cl-].[Cl-].[Cl-] CNERRGRDMYRHEV-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- LEDZTLLWGZWUMH-UHFFFAOYSA-H cerium(3+) lanthanum(3+) trisulfate Chemical compound S(=O)(=O)([O-])[O-].[Ce+3].[La+3].S(=O)(=O)([O-])[O-].S(=O)(=O)([O-])[O-] LEDZTLLWGZWUMH-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- AMKLQLYNAGNCJE-UHFFFAOYSA-N cerium(3+);lanthanum(3+);hexanitrate Chemical compound [La+3].[Ce+3].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O AMKLQLYNAGNCJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004334 fluoridation Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N praseodymium atom Chemical compound [Pr] PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
Abstract
一种铈基稀土抛光粉的掺氟方法，包括以下步骤：(1)分别配制以铈为主的稀土盐溶液、沉淀剂和氟化剂；(2)将稀土盐溶液、沉淀剂、氟化剂以一定的流速并流加入到反应釜中，通过控制沉淀剂的流速控制反应体系的pH，通过控制氟化剂的流速控制掺氟的比例，反应过程中保持一定温度，并强烈搅拌，反应结束后，陈化，浆料经过滤、清洗、干燥得到铈基稀土抛光粉前驱体；(3)将制备的铈基稀土抛光粉前驱体煅烧，随炉冷却后得到掺氟的铈基稀土抛光粉材料。本发明的方法工艺简单，操作方便，适合产业化生产。采用本发明制备的铈基稀土抛光粉，颗粒形貌为类球形，产品粒径可控；可以根据不同用途稀土抛光粉的要求，制备不同粒径和粒径分布的产品。
Description
技术领域
本发明涉及一种铈基稀土抛光粉的掺氟方法。
背景技术
铈基稀土抛光粉是一种优良的抛光材料，因其独特的抛光性能而被广泛的用于光学玻璃、液晶屏、半导体硅片等领域。
现有的铈基稀土抛光粉中都添加氟，起到改善晶体结构，参与抛光过程中的化学吸附，提高抛光能力的作用。掺氟方式主要有两种：一种是先合成碳酸稀土，然后进行氟化处理，制备掺氟稀土抛光粉，如专利文献CN101899281A中提到的方法；另一种是先生成稀土氟化物，然后用碳酸氢盐沉淀，制备掺氟稀土抛光粉，如专利文献CN101381586A中提到的方法。这两种方法都容易造成氟化不均匀的现象，影响最终产品的晶体结构。同时，无论是前氟化，还是后氟化，都牵涉到两次沉淀生成过程，粒度及粒度分布很难控制。两种掺氟方法的缺陷，严重影响了稀土抛光粉的抛光速率和精度，限制其在液晶屏、半导体硅片等领域的应用。因此，需要开发一种新的掺氟方法。
发明内容
针对现有铈基稀土抛光粉掺氟方法中存在的缺陷，本发明的目的在于提供一种铈基稀土抛光粉掺氟的新方法，采用该方法所制备的铈基稀土抛光粉氟掺杂均匀，形貌为类球形，粒径及粒径分布可控，晶型可控。
为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
一种铈基稀土抛光粉的掺氟方法，包括以下步骤：
(1)分别配制以铈为主的稀土盐溶液、沉淀剂和氟化剂；
(2)将稀土盐溶液、沉淀剂、氟化剂以一定的流速并流加入到反应釜中，通过控制沉淀剂的流速控制反应体系的pH，通过控制氟化剂的流速控制掺氟的比例，反应过程中保持一定温度，并强烈搅拌，反应结束后，陈化，浆料经过滤、清洗、干燥得到铈基稀土抛光粉前驱体；
(3)将制备的铈基稀土抛光粉前驱体煅烧，随炉冷却后得到掺氟的铈基稀土抛光粉材料。
本发明采用共沉淀的方法制备铈基稀土抛光粉前驱体，将稀土盐溶液、沉淀剂、氟化剂并流加入到反应釜中，在生成稀土抛光粉前驱体沉淀的同时，氟元素进入到前驱体的晶格中，使氟添加的更加均匀，同时，前驱体沉淀一次生成，粒径和粒径分布容易控制，可以得粒度小，粒度分布窄的产品。
其中，所述的稀土盐溶液为稀土氯化物、硝酸盐或硫酸盐溶液，浓度为0.1～5mol／L。所述的沉淀剂为氢氧化钠、碳酸铵、碳酸氢氨或氨水溶液中的一种或一种以上，浓度为0.1～8mol／L。所述的氟化剂为氟硅酸、氢氟酸或氟化氨溶液中的一种，浓度为0.1～5mol／L。
在所述步骤(2)中，各溶液加入到反应釜的流速为0.01～100L／min，反应体系的pH控制为6～10，控制氟的质量占稀土氧化物总量的百分比(F／TREO)为1～10％，反应温度为30～90℃，陈化时间为0.5～2h。这里，稀土氧化物的总量为通过稀土元素物质的量计算得出的理论值。
在所述步骤(3)中，煅烧的温度为700～1100℃，煅烧时间为1～10h。
所述稀土元素以铈为主，可以添加镧、钕、镨等其它稀土元素。
本发明的优点在于：
本发明采用共沉淀的方法制备掺氟的铈基稀土抛光粉，氟元素均匀的分布于抛光粉的晶格中，不存在单独的氟化物颗粒，将其用于抛光时，不会产生影响抛光速率和抛光精度的游离态氟离子。本发明的方法工艺简单，操作方便，适合产业化生产。
采用本发明制备的铈基稀土抛光粉，颗粒形貌为类球形，产品粒径可控；可以根据不同用途稀土抛光粉的要求，制备不同粒径和粒径分布的产品。
采用本发明制备的铈基稀土抛光粉可用于光学玻璃、液晶屏、半导体硅片等器件的抛光。产品切削力强，抛光速度快，划痕少，抛光精度容易得到控制，耐磨性好，使用时间长。
附图说明
图1为本发明实施例1的铈基稀土抛光粉的粒度分析图。
图2为本发明实施例1的铈基稀土抛光粉的扫描电镜图。
图3为本发明实施例1的铈基稀土抛光粉的XRD图。
具体实施方式
以下用实施例对本发明的方法及其应用作进一步说明。
实施例1
分别配制浓度为2.0mol／L氯化镧铈溶液、浓度为2.5mol／L的碳酸氨溶液、浓度为1.0mol／L的氟硅酸溶液。在持续搅拌的状态下，将上述原料溶液并流连续加入到反应釜中。调节氟硅酸溶液的流速，控制F／TREO为5％，调节碳酸氨溶液的流速，控制反应体系的pH为8.50±0.05，控制反应釜的温度为40℃。反应完成后陈化1h。陈化后的浆料过滤、洗涤，在90℃下烘干后，得到抛光粉前驱体。
将制得的抛光粉前驱体在900℃下焙烧3h，得到抛光粉成品。对样品进行粒度分析、扫描电镜分析和XRD分析，分析结果如图1～3所示，样品的粒度D50=0.136μm，形貌为类球形。
实施例2
分别配制浓度为1.5mol／L氯化镧铈钕溶液、浓度为2.0mol／L的碳酸氢氨溶液、浓度为0.5mol／L的氟化氨溶液。在持续搅拌状况下，将上述原料溶液并流连续加入到反应釜中。调节氟化氨溶液的流速，控制F／TREO为6％，调节碳酸氨的流速，控制反应体系的pH为8.00±0.05，控制反应釜的温度为50℃。反应完成后陈化1h。陈化后的浆料过滤、洗涤，在90℃下烘干后，得到抛光粉前驱体。
将制得的抛光粉前驱体在950℃下焙烧2h，得到抛光粉成品。样品的粒度D50=0.857μm。
实施例3
分别配制浓度为2.5mol／L硝酸镧铈溶液、浓度为4.0mol／L的氢氧化钠溶液、浓度为1.5mol／L的氢氟酸溶液。在持续搅拌状况下，将上述原料溶液并流连续加入到反应釜中。调节氟化氨溶液的流速，控制F／TREO为6.5％，调节氢氧化钠的流速，控制反应体系的pH为9.00±0.05，控制反应釜的温度为55℃。反应完成后陈化1.5h。陈化后的浆料过滤、洗涤，在90℃下烘干后，得到抛光粉前驱体。
将制得的抛光粉前驱体在1000℃下焙烧2h，得到抛光粉成品。样品的粒度D50=1.235μm。
实施例4
分别配制浓度为1.5mol／L硫酸镧铈溶液、浓度为8.0mol／L的氨水溶液、浓度为2.5mol／L的氟硅酸溶液。在持续搅拌状况下，将上述原料溶液并流连续加入到反应釜中。调节氟硅酸溶液的流速，控制F／TREO为7％，调节氨水的流速，控制反应体系的pH为9.50±0.05，控制反应釜的温度为70℃。反应完成后陈化0.5h。陈化后的浆料过滤、洗涤，在90℃下烘干后，得到抛光粉前驱体。
将制得的抛光粉前驱体在1050℃下焙烧2h，得到抛光粉成品。样品的粒度D50=2.368μm。
Claims (6)
1.一种铈基稀土抛光粉的掺氟方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)分别配制以铈为主的稀土盐溶液、沉淀剂和氟化剂；
(2)将稀土盐溶液、沉淀剂、氟化剂以一定的流速并流加入到反应釜中，通过控制沉淀剂的流速控制反应过程中的pH，通过控制氟化剂的流速控制掺氟的比例，反应过程中保持一定温度，并强烈搅拌，反应结束后，陈化，浆料经过滤、清洗、干燥得到铈基稀土抛光粉前驱体；
(3)将制备的铈基稀土抛光粉前驱体煅烧，随炉冷却后得到掺氟的铈基稀土抛光粉材料。
2.根据权利要求1所述的铈基稀土抛光粉的掺氟方法，其特征在于，所述步骤(1)中的稀土盐溶液为稀土氯化物、硝酸盐或硫酸盐溶液，浓度为0.1～5mol／L。
3.根据权利要求1所述的铈基稀土抛光粉的掺氟方法，其特征在于，所述步骤(1)中的沉淀剂为氢氧化钠、碳酸铵、碳酸氢氨或氨水溶液中的一种或一种以上，浓度为0.1～8mol／L。
4.根据权利要求1所述的铈基稀土抛光粉的掺氟方法，其特征在于，所述步骤(1)中的氟化剂为氟硅酸、氢氟酸或氟化氨溶液中的一种，浓度为0.1～5mol／L。
5.根据权利要求1所述的铈基稀土抛光粉的掺氟方法，其特征在于，所述步骤(2)中的各溶液加入到反应釜的流速为0.01～100L／min，反应体系的pH控制为6～10，控制氟的质量占稀土氧化物总量的百分比为1％～10％，反应温度为30～90℃，陈化时间为0.5～2h。
6.根据权利要求1所述的铈基稀土抛光粉的掺氟方法，其特征在于，所述步骤(3)中的煅烧的温度为700～1100℃，煅烧时间为1～10h。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310403538.2A CN104419378B (zh) | 2013-09-06 | 2013-09-06 | 一种铈基稀土抛光粉的掺氟方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310403538.2A CN104419378B (zh) | 2013-09-06 | 2013-09-06 | 一种铈基稀土抛光粉的掺氟方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104419378A true CN104419378A (zh) | 2015-03-18 |
| CN104419378B CN104419378B (zh) | 2016-09-14 |
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ID=52969511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310403538.2A Expired - Fee Related CN104419378B (zh) | 2013-09-06 | 2013-09-06 | 一种铈基稀土抛光粉的掺氟方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN104419378B (zh) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104877573A (zh) * | 2015-06-08 | 2015-09-02 | 四川大学 | 一种球形纳米掺氟CeO2抛光粉的制备方法 |
| CN105038604A (zh) * | 2015-06-01 | 2015-11-11 | 华东理工大学 | 一种含氟稀土复合氧化物的组成及制备方法 |
| CN106978090A (zh) * | 2017-04-20 | 2017-07-25 | 德米特（苏州）电子环保材料有限公司 | 一种氟化稀土抛光粉的制备方法 |
| CN107254259A (zh) * | 2017-06-08 | 2017-10-17 | 包头海亮科技有限责任公司 | 新型稀土抛光粉及其制备方法 |
| CN109111854A (zh) * | 2018-08-24 | 2019-01-01 | 甘肃稀土新材料股份有限公司 | 一种钇铈稀土抛光粉及其制备工艺 |
| CN111004580A (zh) * | 2019-12-16 | 2020-04-14 | 德米特（苏州）电子环保材料有限公司 | 氟化稀土抛光粉及氟化稀土抛光液的制备方法 |
| CN111252798A (zh) * | 2020-01-21 | 2020-06-09 | 包头稀土研究院 | 碱性条件下制备稀土氟化物颗粒的方法及碱性物质的用途 |
| CN114539928A (zh) * | 2022-03-16 | 2022-05-27 | 深圳市瑞来稀土材料有限公司 | 一种用于光学玻璃抛光处理的稀土抛光粉及其制备方法 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002302667A (ja) * | 2001-12-28 | 2002-10-18 | Seimi Chem Co Ltd | セリウム研摩材の製造方法 |
| JP2007106890A (ja) * | 2005-10-13 | 2007-04-26 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | セリウム系研摩材 |
| US20070258875A1 (en) * | 2004-09-03 | 2007-11-08 | Showa Denko K.K. | Mixed Rare Earth Oxide, Mixed Rare Earth Fluoride, Cerium-Based Abrasive Using the Materials and Production Processes Thereof |
| CN101284983A (zh) * | 2007-04-12 | 2008-10-15 | 北京有色金属研究总院 | 一种超细、球化稀土抛光粉及其制备工艺 |
| CN101381586A (zh) * | 2007-09-07 | 2009-03-11 | 上海界龙稀土精细研磨材料有限公司 | 一种液晶显示器抛光粉的生产方法 |
| CN101550318A (zh) * | 2008-04-03 | 2009-10-07 | 北京有色金属研究总院 | 一种含Ce3+的稀土抛光粉及其制备方法 |
| CN101899281A (zh) * | 2009-05-25 | 2010-12-01 | 甘肃稀土新材料股份有限公司 | 稀土抛光粉及其制造方法 |
| CN102559138A (zh) * | 2010-12-23 | 2012-07-11 | 北京有色金属研究总院 | 一种掺杂氟离子和金属离子的氧化铈基纳米紫外屏蔽材料及其制备方法 |
| CN102850938A (zh) * | 2011-12-19 | 2013-01-02 | 南昌大学 | 一种球型复合稀土抛光粉的制备方法 |
| US20130125476A1 (en) * | 2005-10-19 | 2013-05-23 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | Cerium oxide slurry, cerium oxide polishing slurry and method for polishing substrate using the same |
-
2013
- 2013-09-06 CN CN201310403538.2A patent/CN104419378B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002302667A (ja) * | 2001-12-28 | 2002-10-18 | Seimi Chem Co Ltd | セリウム研摩材の製造方法 |
| US20070258875A1 (en) * | 2004-09-03 | 2007-11-08 | Showa Denko K.K. | Mixed Rare Earth Oxide, Mixed Rare Earth Fluoride, Cerium-Based Abrasive Using the Materials and Production Processes Thereof |
| JP2007106890A (ja) * | 2005-10-13 | 2007-04-26 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | セリウム系研摩材 |
| US20130125476A1 (en) * | 2005-10-19 | 2013-05-23 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | Cerium oxide slurry, cerium oxide polishing slurry and method for polishing substrate using the same |
| CN101284983A (zh) * | 2007-04-12 | 2008-10-15 | 北京有色金属研究总院 | 一种超细、球化稀土抛光粉及其制备工艺 |
| CN101381586A (zh) * | 2007-09-07 | 2009-03-11 | 上海界龙稀土精细研磨材料有限公司 | 一种液晶显示器抛光粉的生产方法 |
| CN101550318A (zh) * | 2008-04-03 | 2009-10-07 | 北京有色金属研究总院 | 一种含Ce3+的稀土抛光粉及其制备方法 |
| CN101899281A (zh) * | 2009-05-25 | 2010-12-01 | 甘肃稀土新材料股份有限公司 | 稀土抛光粉及其制造方法 |
| CN102559138A (zh) * | 2010-12-23 | 2012-07-11 | 北京有色金属研究总院 | 一种掺杂氟离子和金属离子的氧化铈基纳米紫外屏蔽材料及其制备方法 |
| CN102850938A (zh) * | 2011-12-19 | 2013-01-02 | 南昌大学 | 一种球型复合稀土抛光粉的制备方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 吴锦绣等: "含氟稀土抛光粉制备工艺条件的研究", 《第十七届（2013年）全国冶金反应工程学学术会议论文集》 * |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105038604A (zh) * | 2015-06-01 | 2015-11-11 | 华东理工大学 | 一种含氟稀土复合氧化物的组成及制备方法 |
| CN104877573A (zh) * | 2015-06-08 | 2015-09-02 | 四川大学 | 一种球形纳米掺氟CeO2抛光粉的制备方法 |
| CN104877573B (zh) * | 2015-06-08 | 2017-07-14 | 四川大学 | 一种球形纳米掺氟CeO2抛光粉的制备方法 |
| CN106978090A (zh) * | 2017-04-20 | 2017-07-25 | 德米特（苏州）电子环保材料有限公司 | 一种氟化稀土抛光粉的制备方法 |
| CN107254259A (zh) * | 2017-06-08 | 2017-10-17 | 包头海亮科技有限责任公司 | 新型稀土抛光粉及其制备方法 |
| CN109111854A (zh) * | 2018-08-24 | 2019-01-01 | 甘肃稀土新材料股份有限公司 | 一种钇铈稀土抛光粉及其制备工艺 |
| CN111004580A (zh) * | 2019-12-16 | 2020-04-14 | 德米特（苏州）电子环保材料有限公司 | 氟化稀土抛光粉及氟化稀土抛光液的制备方法 |
| CN111252798A (zh) * | 2020-01-21 | 2020-06-09 | 包头稀土研究院 | 碱性条件下制备稀土氟化物颗粒的方法及碱性物质的用途 |
| CN111252798B (zh) * | 2020-01-21 | 2022-05-24 | 包头稀土研究院 | 碱性条件下制备稀土氟化物颗粒的方法及碱性物质的用途 |
| CN114539928A (zh) * | 2022-03-16 | 2022-05-27 | 深圳市瑞来稀土材料有限公司 | 一种用于光学玻璃抛光处理的稀土抛光粉及其制备方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN104419378B (zh) | 2016-09-14 |
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| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |