CN104395824A - 碱显影性感光性组合物 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种碱显影性感光性组合物,其含有红外线吸收色素(A)、具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)及溶剂(D),上述光聚合引发剂(C)含有肟酯化合物。上述光聚合引发剂(C)优选含有下述通式(I)表示的化合物,通式(I)中,R1、R2、R3、R4、X、a及b各自的定义请参照说明书。
Description
技术领域
本发明涉及含有红外线吸收色素的碱显影性感光性组合物、及使用了该碱显影性感光性组合物的近红外线吸收滤波器。
背景技术
含有红外线吸收色素的感光性组合物被用于各种用途。
专利文献1中公开了使用了照射近红外线光来进行固化的感光性着色组合物的滤色器,专利文献2中公开了能够遮蔽近红外区域的波长的等离子体显示面板用滤波器,专利文献3中公开了使用了包含碱可溶性树脂及红外线吸收染料的粒子状消光剂的红外线感光性平版印刷板,专利文献4中公开了使用了含有近红外吸收色素的固化性组合物的近红外吸收滤波器。
但是,这些文献中记载的感光性组合物在耐光性方面无法令人满意。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开平9-230126号公报
专利文献2:US2004090170A1
专利文献3:US2008035000A1
专利文献4:US2011070407A1
发明内容
发明所要解决的问题
因此,本发明的目的在于提供一种耐光性优异的碱显影性感光性组合物。另外,本发明的另一目的还在于提供一种使用了上述碱显影性感光性组合物的近红外吸收滤波器。
用于解决问题的方法
本发明者们反复进行了深入研究,结果发现,作为光聚合引发剂使用了肟酯化合物的碱显影性感光性组合物的固化物的耐光性优异,此外还发现,上述碱显影性感光性组合物适合于近红外吸收滤波器,从而完成了本发明。
本发明提供一种碱显影性感光性组合物,其含有红外线吸收色素(A)、具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)及溶剂(D),上述光聚合引发剂(C)含有肟酯化合物。
另外,本发明还提供一种上述碱显影性感光性组合物的固化物及使用该固化物而形成的近红外线吸收滤波器。
发明效果
根据本发明,含有肟酯化合物作为光聚合引发剂的碱显影性感光性组合物的耐光性优异。另外,使用其固化物形成的近红外线吸收滤波器在波长900~1100nm处透射率低且有效地屏蔽红外线,另外,由于固化物的耐碱性高,所以光刻特性优异。
具体实施方式
以下,基于优选的实施方式对本发明的碱显影性感光性组合物进行说明。
本发明的碱显影性感光性组合物含有红外线吸收色素(A)、具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)及溶剂(D)。以下,对各成分依次进行说明。
<红外线吸收色素(A)>
本发明的碱显影性感光性组合物中使用的红外线吸收色素(A)可以使用在红外区域具有特性吸收且以往被作为红外线吸收色素使用的物质,可列举出例如花青化合物、方酸内鎓化合物、卟啉化合物、金属二硫醇络合物、铬、钴金属络合盐化合物、蒽醌类、酞菁化合物、萘酞菁化合物、二亚铵化合物、无机氧化物粒子等,其中,二亚铵化合物由于红外线的吸收能力高且在可见光区域中的透明性高,所以优选。
上述二亚铵化合物中,下述通式(II)表示的化合物由于感光性组合物的固化物的耐光性优异,所以进一步优选。
(式中,R19、R20、R21、R22、R23、R24、R25及R26分别独立地表示氢原子或可以具有取代基的碳原子数为1~10的烷基,R27、R28、R29及R30分别独立地表示氢原子、卤素原子、可以具有取代基的碳原子数为1~10的烷基或可以具有取代基的氨基,上述烷基中的亚甲基也可以被-O-或-CH=CH-中断,t表示1~4的数,Anq-表示q价的阴离子,q表示1或2,p表示将电荷保持在中性的系数。)
上述通式(II)中,作为R19、R20、R21、R22、R23、R24、R25、R26、R27、R28、R29及R30表示的可以具有取代基的碳原子数为1~10的烷基,可列举出甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、仲丁基、叔丁基、异丁基、戊基、异戊基、叔戊基、己基、环己基、环己基甲基、环己基乙基、庚基、异庚基、叔庚基、正辛基、异辛基、叔辛基、2-乙基己基、三氟甲基、三氯甲基、三溴甲基、1,2-二氯乙基、3,3,3-三氟丙基、丙-1-烯-1-基等,
作为R27、R28、R29及R30表示的卤素原子,可列举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等,
作为R27、R28、R29及R30表示的可以具有取代基的氨基,可列举出氨基、乙基氨基、二甲基氨基、二乙基氨基、丁基氨基、环戊基氨基、2-乙基己基氨基、十二烷基氨基、苯胺基、氯苯基氨基、甲苯氨基、茴香氨基、N-甲基-苯胺基、二苯基氨基、萘基氨基、2-吡啶基氨基、甲氧基羰基氨基、苯氧基羰基氨基、乙酰基氨基、苯甲酰基氨基、甲酰基氨基、新戊酰基氨基、月桂酰基氨基、氨基甲酰基氨基、N,N-二甲基氨基羰基氨基、N,N-二乙基氨基羰基氨基、吗啉代羰基氨基、甲氧基羰基氨基、乙氧基羰基氨基、叔丁氧基羰基氨基、正十八烷氧基羰基氨基、N-甲基-甲氧基羰基氨基、苯氧基羰基氨基、氨磺酰基氨基、N,N-二甲基氨基磺酰基氨基、甲基磺酰基氨基、丁基磺酰基氨基、苯基磺酰基氨基等。
作为上述通式(II)中的pAnq-表示的q价的阴离子,除了甲磺酸根阴离子、十二烷基磺酸根阴离子、苯磺酸根阴离子、甲苯磺酸根阴离子、三氟甲磺酸根阴离子、萘磺酸根阴离子、二苯基胺-4-磺酸根阴离子、2-氨基-4-甲基-5-氯苯磺酸根阴离子、2-氨基-5-硝基苯磺酸根阴离子、日本特开平10-235999号公报、日本特开平10-337959号公报、日本特开平11-102088号公报、日本特开2000-108510号公报、日本特开2000-168223号公报、日本特开2001-209969号公报、日本特开2001-322354号公报、日本特开2006-248180号公报、日本特开2006-297907号公报、日本特开平8-253705号公报、日本特表2004-503379号公报、日本特开2005-336150号公报、国际公开2006/28006号公报等中记载的磺酸根阴离子等有机磺酸根阴离子以外,还可列举出氯化物离子、溴化物离子、碘化物离子、氟化物离子、氯酸根离子、硫氰酸根离子、高氯酸根离子、六氟磷酸根离子、六氟锑酸根离子、四氟硼酸根离子、辛基磷酸根离子、十二烷基磷酸根离子、十八烷基磷酸根离子、苯基磷酸根离子、壬基苯基磷酸根离子、2,2’-亚甲基双(4,6-二叔丁基苯基)膦酸根离子、四(五氟苯基)硼酸根离子、磺酰基酰亚胺阴离子、具有使处于激发状态的活性分子脱激发(猝灭)的功能的猝灭剂阴离子、在环戊二烯环上具有羧基、膦酸基、磺酸基等阴离子性基团的二茂铁、二茂钌等茂金属化合物阴离子等。
作为本发明的上述通式(II)表示的化合物的具体例子,可列举出下述化合物No.1-1~1-8。其中,在以下的例示中,以省略了阴离子的阳离子进行表示。
上述红外线吸收色素(A)可以单独使用或将多种组合使用。
上述红外线吸收色素(A)中,上述通式(II)表示的化合物的含量优选为50~100质量%,更优选为70~100质量%。若上述通式(II)表示的化合物的含量小于50质量%,则有在溶剂中的溶解性降低或固化物的稳定性降低的情况。
在本发明的碱显影性感光性组合物中,上述红外线吸收色素(A)的含量优选为0.01~50质量%,更优选为0.05~30质量%。
上述红外线吸收色素(A)优选固化物的最大吸收波长(λmax)为700nm以上,进一步优选为780~850nm。若固化物的最大吸收波长(λmax)低于700nm,则不会吸收目标波长的光,所以不优选。
<具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)>
作为具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B),没有特别限定,可以使用以往在碱显影性感光性组合物中使用的化合物,可以使用例如(甲基)丙烯酸、α-氯丙烯酸、衣康酸、马来酸、柠康酸、富马酸、腐植酸、巴豆酸、异巴豆酸、乙烯基醋酸、烯丙基醋酸、肉桂酸、山梨酸、中康酸、琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、邻苯二甲酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯等两末端具有羧基和羟基的聚合物的单(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸·马来酸羟基乙酯、(甲基)丙烯酸·马来酸羟基丙酯、二环戊二烯·马来酸酯或具有1个羧基和2个以上的(甲基)丙烯酰基的多官能(甲基)丙烯酸酯等不饱和多元酸;季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯等含有羟基的多官能丙烯酸酯与琥珀酸酐、邻苯二甲酸酐、四氢邻苯二甲酸酐等二元酸酐的反应物即具有酸值的多官能丙烯酸酯;(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯等(甲基)丙烯酸酯类;N-乙烯基吡咯烷酮;苯乙烯及其衍生物、α-甲基苯乙烯等苯乙烯类;(甲基)丙烯酰胺、羟甲基(甲基)丙烯酰胺、烷氧基羟甲基(甲基)丙烯酰胺、二丙酮(甲基)丙烯酰胺等丙烯酰胺类;(甲基)丙烯腈、乙烯、丙烯、丁烯、氯乙烯、醋酸乙烯酯等其他的乙烯基化合物、及聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体、聚苯乙烯大分子单体等大分子单体类、三环癸烷骨架的单甲基丙烯酸酯、N-苯基马来酰亚胺、甲基丙烯酰氧基甲基-3-乙基氧杂环丁烷等与(甲基)丙烯酸的共聚物及使它们与昭和电工社制KarenzMOI、AOI等具有不饱和键的异氰酸酯化合物反应而得到的(甲基)丙烯酸的共聚物,或者使酚和/或甲酚酚醛清漆环氧树脂、具有联苯骨架、萘骨架的酚醛清漆环氧树脂、双酚A酚醛清漆型环氧化合物、二环戊二烯酚醛清漆型环氧化合物等酚醛清漆型环氧化合物、具有多官能环氧基的聚苯基甲烷型环氧树脂、下述通式(1)表示的环氧化合物等的环氧基与不饱和一元酸作用并进一步与多元酸酐作用而得到的树脂。这些单体可以单独使用1种,或将2种以上混合使用。另外,上述具有碱显影性的、具有烯键式不饱和键的化合物(B)优选含有0.2~1.0当量的不饱和基团。
(式中,X1表示直接键合、亚甲基、碳原子数为1~4的次烷基、碳原子数为3~20的脂环式烃基、-O-、-S-、-SO2-、-SS-、-SO-、-CO-、-OCO-或下述式(a)、(b)或(c)表示的取代基,该次烷基也可以被卤素原子取代,R31、R32、R33及R34分别独立地表示氢原子、碳原子数为1~5的烷基、碳原子数为1~8的烷氧基、碳原子数为2~5的链烯基或卤素原子,上述烷基、烷氧基及链烯基也可以被卤素原子取代,m为0~10的整数。)
(式中,Z1表示氢原子、可以被碳原子数为1~10的烷基或碳原子数为1~10的烷氧基取代的苯基、或可以被碳原子数为1~10的烷基或碳原子数为1~10的烷氧基取代的碳原子数为3~10的环烷基,Y1表示碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为1~10的烷氧基、碳原子数为2~10的链烯基或卤素原子,上述烷基、烷氧基及链烯基也可以被卤素原子取代,d为0~5的整数。)
(式中,Y2及Z2分别独立地表示可以被卤素原子取代的碳原子数为1~10的烷基、可以被卤素原子取代的碳原子数为6~20的芳基、可以被卤素原子取代的碳原子数为6~20的芳氧基、可以被卤素原子取代的碳原子数为6~20的芳硫基、可以被卤素原子取代的碳原子数为6~20的芳基链烯基、可以被卤素原子取代的碳原子数为7~20的芳基烷基、可以被卤素原子取代的碳原子数为2~20的杂环基、或卤素原子,上述烷基及芳基烷基中的亚烷基部分也可以被不饱和键、-O-或-S-中断,Z2也可以由邻接的Z2彼此形成环,p表示0~4的整数,q表示0~8的整数,r表示0~4的整数,s表示0~4的整数,r与s的数的合计为2~4的整数。)
作为与上述环氧化合物的环氧基作用的上述不饱和一元酸,可列举出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、肉桂酸、山梨酸、甲基丙烯酸·马来酸羟基乙酯等。可列举出丙烯酸·马来酸羟基乙酯、甲基丙烯酸·马来酸羟基丙酯、丙烯酸·马来酸羟基丙酯、二环戊二烯·马来酸酯等。
另外,作为使上述不饱和一元酸作用后作用的上述多元酸酐,可列举出联苯基四羧酸二酐、四氢邻苯二甲酸酐、琥珀酸酐、马来酸酐、偏苯三酸酐、均苯四甲酸酐、2,2'-3,3'-二苯甲酮四羧酸酐、乙二醇双偏苯三酸酐酯、甘油三偏苯三酸酐酯、六氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐、纳迪克酸酐、甲基纳迪克酸酐、三烷基四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、5-(2,5-二氧代四氢呋喃基)-3-甲基-3-环己烯-1,2-二羧酸酐、三烷基四氢邻苯二甲酸酐-马来酸酐加成物、十二碳烯基琥珀酸酐、甲基腐植酸酐等。
上述环氧化合物、上述不饱和一元酸及上述多元酸酐的反应摩尔比优选如下所述设定。即,优选按照在具有上述不饱和一元酸的羧基相对于上述环氧化合物的1个环氧基以0.1~1.0个加成而成的结构的环氧加成物中,相对于该环氧加成物的1个羟基,上述多元酸酐的酸酐结构达到0.1~1.0个的比率的方式设定。
上述环氧化合物、上述不饱和一元酸及上述多元酸酐的反应可以按照常规方法来进行。
为了进行酸值调整来改良本发明的碱显影性感光性组合物的显影性,可以与上述具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的化合物(B)一起进一步使用单官能或多官能环氧化合物。上述具有烯键式不饱和键的碱显影性化合物优选固体成分的酸值为5~120mgKOH/g的范围,单官能或多官能环氧化合物的用量优选按照满足上述酸值的方式选择。
作为上述单官能环氧化合物,可列举出甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基缩水甘油醚、乙基缩水甘油醚、丙基缩水甘油醚、异丙基缩水甘油醚、丁基缩水甘油醚、异丁基缩水甘油醚、叔丁基缩水甘油醚、戊基缩水甘油醚、己基缩水甘油醚、庚基缩水甘油醚、辛基缩水甘油醚、壬基缩水甘油醚、癸基缩水甘油醚、十一烷基缩水甘油醚、十二烷基缩水甘油醚、十三烷基缩水甘油醚、十四烷基缩水甘油醚、十五烷基缩水甘油醚、十六烷基缩水甘油醚、2-乙基己基缩水甘油醚、烯丙基缩水甘油醚、炔丙基缩水甘油醚、对甲氧基乙基缩水甘油醚、苯基缩水甘油醚、对甲氧基缩水甘油醚、对丁基苯酚缩水甘油醚、甲酚缩水甘油醚、2-甲基甲酚缩水甘油醚、4-壬基苯基缩水甘油醚、苄基缩水甘油醚、对枯基苯基缩水甘油醚、三苯甲基缩水甘油醚、2,3-环氧基丙基甲基丙烯酸酯、环氧化大豆油、环氧化亚麻籽油、丁酸缩水甘油酯、一氧化乙烯基环己烷、1,2-环氧基-4-乙烯基环己烷、氧化苯乙烯、氧化蒎烯、氧化甲基苯乙烯、氧化环己烯、氧化丙烯、下述化合物No.A2、No.A3等。
作为上述多官能环氧化合物,由于若使用选自由双酚型环氧化合物及缩水甘油醚类组成的组中的一种以上,则能够得到特性进一步良好的碱显影性感光性组合物,所以优选。作为该双酚型环氧化合物,除了可以使用上述通式(1)表示的环氧化合物以外,还可以使用例如氢化双酚型环氧化合物等双酚型环氧化合物。作为该缩水甘油醚类,可列举出乙二醇二缩水甘油醚、丙二醇二缩水甘油醚、1,4-丁二醇二缩水甘油醚、1,6-己二醇二缩水甘油醚、1,8-辛二醇二缩水甘油醚、1,10-癸二醇二缩水甘油醚、2,2-二甲基-1,3-丙二醇二缩水甘油醚、二乙二醇二缩水甘油醚、三乙二醇二缩水甘油醚、四乙二醇二缩水甘油醚、六乙二醇二缩水甘油醚、1,4-环己烷二甲醇二缩水甘油醚、1,1,1-三(缩水甘油基氧基甲基)丙烷、1,1,1-三(缩水甘油基氧基甲基)乙烷、1,1,1-三(缩水甘油基氧基甲基)甲烷、1,1,1,1-四(缩水甘油基氧基甲基)甲烷。
另外,还可以使用苯酚酚醛清漆型环氧化合物、联苯基酚醛清漆型环氧化合物、甲酚酚醛清漆型环氧化合物、双酚A酚醛清漆型环氧化合物、二环戊二烯酚醛清漆型环氧化合物等酚醛清漆型环氧化合物;3,4-环氧基-6-甲基环己基甲基-3,4-环氧基-6-甲基环己烷羧酸酯、3,4-环氧基环己基甲基-3,4-环氧基环己烷羧酸酯、1-环氧基乙基-3,4-环氧基环己烷等脂环式环氧化合物;邻苯二甲酸二缩水甘油酯、四氢邻苯二甲酸二缩水甘油酯、二聚物酸缩水甘油酯等缩水甘油酯类;四缩水甘油基二氨基二苯基甲烷、三缩水甘油基-对氨基苯酚、N,N-二缩水甘油基苯胺等缩水甘油胺类;1,3-二缩水甘油基-5,5-二甲基乙内酰脲、三缩水甘油基异氰脲酸酯等杂环式环氧化合物;二氧化二环戊二烯等二氧化物化合物;萘型环氧化合物、三苯基甲烷型环氧化合物、二环戊二烯型环氧化合物等。
上述具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)中,从相容性、碱显影性及耐热性的角度出发,优选不饱和多元酸、具有酸值的多官能丙烯酸酯、使环氧基与不饱和一元酸作用并进一步与多元酸酐作用而得到的树脂,更优选不饱和多元酸。
本发明的感光性组合物中,上述具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)的含量在本发明的碱显影性感光性组合物的固体物质中优选为30~99质量%,特别优选为60~95质量%。若上述具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)的含量小于30质量%,则有固化物的力学强度不足而产生裂缝或引起显影不良的情况,若大于99质量%,则有由曝光引起的固化变得不充分而发生粘性或显影时间变长而固化部分也因碱而引起膜受损的情况。
<光聚合引发剂(C)>
作为上述光聚合引发剂(C),可以使用以往已知的化合物,可列举出例如苯乙酮化合物、二苯甲酮化合物、苯偶姻化合物、苄基化合物、苯偶酰缩酮化合物、肟酯化合物、酰基膦化合物、三嗪化合物、呫吨酮化合物、噻吨酮化合物、苯醌化合物、蒽醌化合物、二硫化物化合物、联咪唑化合物、4,4-偶氮双异丁腈、樟脑醌、过氧化苯甲酰等,作为市售品,可列举出N-1414、N-1717、N-1919、PZ-408、NCI-831、NCI-930(ADEKA公司制)、IRGACURE369、IRGACURE907、IRGACUREOXE01、IRGACUREOXE02(BASF公司制)等。
上述光聚合引发剂(C)中,从感度及色调的角度出发,优选肟酯化合物,进一步优选下述通式(I)表示的化合物。
(式中,R1及R2分别独立地表示氢原子、氰基、可以具有取代基的碳原子数为1~20的烷基、可以具有取代基的碳原子数为6~30的芳基、可以具有取代基的碳原子数为7~30的芳基烷基或可以具有取代基的碳原子数为2~20的杂环基,
R3及R4分别独立地表示氢原子、卤素原子、硝基、氰基、羟基、羧基、R5、OR6、SR7、NR8R9、COR10、SOR11、SO2R12或CONR13R14,
R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13及R14分别独立地表示可以具有取代基的碳原子数为1~20的烷基、可以具有取代基的碳原子数为6~30的芳基、可以具有取代基的碳原子数为7~30的芳基烷基或可以具有取代基的碳原子数为2~20的杂环基,
X表示氧原子、硫原子、硒原子、CR15R16、CO、NR17或PR18,
R15、R16、R17及R18分别独立地表示氢原子、可以具有取代基的碳原子数为1~20的烷基、可以具有取代基的碳原子数为6~30的芳基或可以具有取代基的碳原子数为7~30的芳基烷基,上述烷基或芳基烷基中的亚甲基也可以被-O-中断,
R15、R16、R17及R18也可以分别独立地与邻接的任一苯环一起形成环,
a表示0~4的整数,
b表示1~5的整数。)
作为上述通式(I)中的R1、R2、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17及R18表示的碳原子数为1~20的烷基,可列举出例如甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、异戊基、叔戊基、己基、庚基、辛基、异辛基、2-乙基己基、叔辛基、壬基、异壬基、癸基、异癸基、十一烷基、十二烷基、十四烷基、十六烷基、十八烷基、二十烷基、环戊基、环己基、环己基甲基等。
作为上述通式(I)中的R1、R2、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17及R18表示的碳原子数为6~30的芳基,可列举出例如苯基、甲苯基、二甲苯基、乙基苯基、萘基、蒽基、菲基、被1个以上的上述烷基取代的苯基、联苯基、萘基、蒽基等。
作为上述通式(I)中的R1、R2、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17及R18表示的碳原子数为7~30的芳基烷基,可列举出例如苄基、α-甲基苄基、α,α-二甲基苄基、苯基乙基等。
作为上述通式(I)中的R1、R2、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17及R18表示的碳原子数为2~20的杂环基,优选可列举出例如吡啶基、嘧啶基、呋喃基、噻嗯基、四氢呋喃基、二氧杂环戊烷基、苯并噁唑-2-基、四氢吡喃基、吡咯烷基、咪唑烷基、吡唑烷基、噻唑烷基、异噻唑烷基、噁唑烷基、异噁唑烷基、哌啶基、哌嗪基、吗啉基等5~7元杂环。
上述通式(I)中,作为R15、R16、R17及R18与邻接的苯环一起可形成的环,优选可列举出例如环戊烷环、环己烷环、环戊烯环、苯环、哌啶环、吗啉环、内酯环、内酰胺环等5~7元环。
另外,上述通式(I)中,作为R3、R4表示的卤素原子,可列举出氟、氯、溴、碘。
作为本发明的上述通式(I)表示的化合物的具体例子,可列举出下述化合物No.2-1~2-19。
本发明的碱显影性感光性组合物中,上述光聚合引发剂(C)的含量在本发明的碱显影性感光性组合物中,优选为0.1~30质量%,特别优选为0.5~10质量%。若上述光聚合引发剂(C)的含量小于0.1质量%,则有由曝光引起的固化变得不充分的情况,若大于30质量%,则有在碱显影性感光性组合物中光聚合引发剂(C)析出的情况。
上述光聚合引发剂(C)中的肟酯化合物的比例在碱显影性感光性组合物的固体成分中,优选为0.1~30质量%,进一步优选为0.5~10质量%。
<溶剂(D)>
本发明的碱显影性感光性组合物中可以进一步添加溶剂(D)。作为该溶剂,可列举出通常根据需要可溶解或分散上述各成分(本发明的红外线吸收色素(A)等)的溶剂,例如甲乙酮、甲基戊基酮、二乙酮、丙酮、甲基异丙基酮、甲基异丁基酮、环己酮、2-庚酮、二丙酮醇等酮类;乙醚、二噁烷、四氢呋喃、1,2-二甲氧基乙烷、1,2-二乙氧基乙烷、二丙二醇二甲基醚等醚系溶剂;醋酸甲酯、醋酸乙酯、醋酸正丙酯、醋酸异丙酯、醋酸正丁酯、醋酸环己酯、乳酸乙酯、琥珀酸二甲酯、Texanol(2,2,4-三甲基-1,3戊二醇单异丁酸酯)等酯系溶剂;乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙醚等溶纤剂系溶剂;甲醇、乙醇、异丙醇或正丙醇、异丁醇或正丁醇、戊醇等醇系溶剂;乙二醇单甲基醋酸酯、乙二醇单乙基醋酸酯、丙二醇-1-单甲基醚-2-醋酸酯(PGMEA)、二丙二醇单甲基醚醋酸酯、3-甲氧基丁基醋酸酯、乙氧基乙基丙酸酯等醚酯系溶剂;苯、甲苯、二甲苯等BTX系溶剂;己烷、庚烷、辛烷、环己烷等脂肪族烃系溶剂;松节油、D-柠檬烯、蒎烯等萜烯系烃油;矿油精、Swasol#310(COSMO松山石油)、Solvesso#100(Exon化学)等石蜡系溶剂;四氯化碳、氯仿、三氯乙烯、二氯甲烷、1,2-二氯乙烷等卤代脂肪族烃系溶剂;氯苯等卤代芳香族烃系溶剂;卡必醇系溶剂、苯胺、三乙胺、吡啶、醋酸、乙腈、二硫化碳、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲基亚砜、水等,这些溶剂可以1种或作为2种以上的混合溶剂来使用。其中,酮类、醚酯系溶剂等、特别是丙二醇-1-单甲基醚-2-醋酸酯、环己酮、二甲基乙酰胺、甲乙酮、二丙酮醇等由于在碱显影性感光性组合物中与抗蚀剂和光聚合引发剂的相容性良好,所以优选。
本发明的碱显影性感光性组合物中,上述溶剂(D)的用量优选使除溶剂(D)以外的组合物的浓度达到5~30质量%,在小于5质量%的情况下,由于难以增大膜厚而无法充分地吸收所期望的波长光,所以不优选,在超过30质量%的情况下,由于因组合物的析出而引起组合物的保存性降低或粘度提高,所以处理性降低,因此不优选。
本发明的碱显影性感光性组合物中,也可以进一步含有无机色材和/或有机色材。这些色材可以单独使用或将2种以上混合使用。
作为上述无机色材和/或有机色材,可以使用例如亚硝基化合物、硝基化合物、偶氮化合物、重氮化合物、呫吨化合物、喹啉化合物、蒽醌化合物、香豆素化合物、酞菁化合物、异吲哚啉酮化合物、异吲哚啉化合物、喹吖酮化合物、二并蒽酮化合物、紫环酮化合物、苝化合物、二酮吡咯并吡咯化合物、硫靛化合物、二噁嗪化合物、三苯基甲烷化合物、喹酞酮化合物、萘四羧酸;偶氮染料、花青染料的金属络合物化合物;色淀颜料;利用炉法、槽法、热法得到的炭黑、或乙炔炭黑、科琴导电炭黑或灯烟法炭黑等炭黑;将上述炭黑用环氧树脂调整、被覆而得到的物质、将上述炭黑预先在溶剂中用树脂进行分散处理、使其吸附20~200mg/g的树脂而得到的物质、将上述炭黑进行酸性或碱性表面处理而得到的物质、平均粒径为8nm以上且DBP吸油量为90ml/100g以下的物质、由950℃下的挥发成分中的CO、CO2算出的总氧量每100m2炭黑的表面积为9mg以上的物质;石墨、石墨化炭黑、活性炭、碳纤维、碳纳米管、微螺旋碳纤维、碳纳米角、碳气凝胶、富勒烯;苯胺黑、颜料黑7、钛黑;疏水性树脂、氧化铬绿、米洛丽蓝、钴绿、钴蓝、锰系、亚铁氰化物、磷酸盐群青、普鲁士蓝、佛青、青天蓝、铬绿、翡翠绿、硫酸铅、黄色铅、锌黄、氧化铁红(红色氧化铁(III))、镉红、合成铁黑、棕土等无机颜料或有机颜料。
本发明的碱显影性感光性组合物中可以进一步含有无机化合物。作为该无机化合物,可列举出例如氧化镍、氧化铁、氧化铱、氧化钛、氧化锌、氧化镁、氧化钙、氧化钾、二氧化硅、氧化铝等金属氧化物;层状粘土矿物、米洛丽蓝、碳酸钙、碳酸镁、钴系、锰系、玻璃粉末、云母、滑石、高岭土、亚铁氰化物、各种金属硫酸盐、硫化物、硒化物、硅酸铝、硅酸钙、氢氧化铝、铂、金、银、铜等,其中,优选氧化钛、二氧化硅、层状粘土矿物、银等。
这些无机化合物例如作为填充剂、防反射剂、导电剂、稳定剂、阻燃剂、机械强度提高剂、特殊波长吸收剂、防油墨剂等使用。
本发明的碱显影性感光性组合物中,在使用颜料和/或无机化合物的情况下,可以添加分散剂。作为该分散剂,只要是能够将色材、无机化合物分散、稳定化的物质则任何物质均可,可以使用市售的分散剂、例如BYK-Chemie公司制、BYK系列等,优选使用由具有碱性官能团的聚酯、聚醚、聚氨酯构成的高分子分散剂、具有氮原子作为碱性官能团且具有氮原子的官能团为胺和/或其季盐、胺值为1~100mgKOH/g的物质。
另外,本发明的碱显影性感光性组合物中根据需要还可以添加对茴香醚、氢醌、焦儿茶酚、叔丁基儿茶酚、吩噻嗪等热聚合抑制剂,增塑剂,粘接促进剂,填充剂,消泡剂,流平剂,表面调节剂,抗氧化剂,紫外线吸收剂,分散助剂,抗凝聚剂,催化剂,效果促进剂,交联剂,增稠剂等惯用的添加物。
本发明的碱显影性感光性组合物中,除红外线吸收色素(A)、具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)及光聚合引发剂(C)以外的任意成分(其中,除溶剂(D)以外)的含量根据其使用目的而适当选择,没有特别限制,但优选相对于上述具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)的含量100质量份合计为50质量份以下。
另外,通过与上述具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)一起使用其他的有机聚合物,还可以改善由本发明的碱显影性感光性组合物构成的固化物的特性。作为上述有机聚合物,可列举出例如聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯-丙烯酸乙酯共聚物、聚(甲基)丙烯酸、苯乙烯-(甲基)丙烯酸共聚物、(甲基)丙烯酸-甲基丙烯酸甲酯共聚物、乙烯-氯乙烯共聚物、乙烯-乙烯基共聚物、聚氯乙烯树脂、ABS树脂、尼龙6、尼龙66、尼龙12、聚氨酯树脂、聚碳酸酯聚乙烯醇缩丁醛、纤维素酯、聚丙烯酰胺、饱和聚酯、酚醛树脂、苯氧树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚酰胺酸树脂、环氧树脂等,其中,优选聚苯乙烯、(甲基)丙烯酸-甲基丙烯酸甲酯共聚物、环氧树脂。
本发明的碱显影性感光性组合物中可以进一步并用具有不饱和键的单体、链转移剂、增感剂、表面活性剂、硅烷偶联剂、三聚氰胺化合物等。
作为上述具有不饱和键的单体,可列举出丙烯酸-2-羟基乙酯、丙烯酸-2-羟基丙酯、丙烯酸异丁酯、丙烯酸正辛酯、丙烯酸异辛酯、丙烯酸异壬基酯、丙烯酸硬脂酯、丙烯酸甲氧基乙酯、丙烯酸二甲基氨基乙酯、丙烯酸锌、1,6-己二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、甲基丙烯酸-2-羟基乙酯、甲基丙烯酸-2-羟基丙酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸环己酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、双酚A二缩水甘油醚(甲基)丙烯酸酯、双酚F二缩水甘油醚(甲基)丙烯酸酯、双酚Z二缩水甘油醚(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯等。
作为上述链转移剂、增感剂,通常使用含硫原子的化合物。可列举出例如巯基乙酸、硫代苹果酸、硫代水杨酸、2-巯基丙酸、3-巯基丙酸、3-巯基丁酸、N-(2-巯基丙酰基)甘氨酸、2-巯基烟酸、3-[N-(2-巯基乙基)氨基甲酰基]丙酸、3-[N-(2-巯基乙基)氨基]丙酸、N-(3-巯基丙酰基)丙氨酸、2-巯基乙磺酸、3-巯基丙磺酸、4-巯基丁磺酸、十二烷基(4-甲硫基)苯基醚、2-巯基乙醇、3-巯基-1,2-丙二醇、1-巯基-2-丙醇、3-巯基-2-丁醇、巯基苯酚、2-巯基乙胺、2-巯基咪唑、2-巯基苯并咪唑、2-巯基-3-吡啶醇、2-巯基苯并噻唑、巯基醋酸、三羟甲基丙烷三(3-巯基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)等巯基化合物、将该巯基化合物氧化而得到的二硫化物化合物、碘醋酸、碘丙酸、2-碘乙醇、2-碘乙磺酸、3-碘丙磺酸等碘代烷基化合物、三羟甲基丙烷三(3-巯基异丁酸酯)、丁二醇双(3-巯基异丁酸酯)、己二硫醇、癸二硫醇、1,4-二甲基巯基苯、丁二醇双硫代丙酸酯、丁二醇双巯基乙酸酯、乙二醇双巯基乙酸酯、三羟甲基丙烷三巯基乙酸酯、丁二醇双硫代丙酸酯、三羟甲基丙烷三硫代丙酸酯、三羟甲基丙烷三巯基乙酸酯、季戊四醇四硫代丙酸酯、季戊四醇四巯基乙酸酯、三羟基乙基三硫代丙酸酯、下述化合物No.C1、三巯基丙酸三(2-羟基乙基)异氰脲酸酯等脂肪族多官能硫醇化合物、昭和电工株式会社制Karenz MT BD1、PE1、NR1等。
作为上述表面活性剂,可以使用全氟烷基磷酸酯、全氟烷基羧酸盐等氟表面活性剂、高级脂肪酸碱盐、烷基磺酸盐、烷基硫酸盐等阴离子系表面活性剂、高级胺卤酸盐、季铵盐等阳离子系表面活性剂、聚乙二醇烷基醚、聚乙二醇脂肪酸酯、脱水山梨糖醇脂肪酸酯、脂肪酸单甘油酯等非离子表面活性剂、两性表面活性剂、硅酮系表面活性剂等表面活性剂,它们也可以组合使用。
作为上述硅烷偶联剂,可以使用例如信越化学公司制硅烷偶联剂,其中,优选使用KBE-9007、KBM-502、KBE-403等具有异氰酸酯基、甲基丙烯酰基、环氧基的硅烷偶联剂。
作为上述三聚氰胺化合物,可列举出(聚)羟甲基三聚氰胺、(聚)羟甲基甘脲、(聚)羟甲基苯并胍胺、(聚)羟甲基脲等氮化合物中的活性羟甲基(CH2OH基)的全部或一部分(至少2个)被烷基醚化的化合物。其中,作为构成烷基醚的烷基,可列举出甲基、乙基或丁基,彼此可以相同,也可以不同。另外,没有被烷基醚化的羟甲基可以在一分子内进行自缩合,也可以在两分子间缩合,其结果是形成低聚物成分。具体而言,可以使用六甲氧基甲基三聚氰胺、六丁氧基甲基三聚氰胺、四甲氧基甲基甘脲、四丁氧基甲基甘脲等。其中,优选六甲氧基甲基三聚氰胺、六丁氧基甲基三聚氰胺等被烷基醚化的三聚氰胺。
本发明的碱显影性感光性组合物可以通过旋涂机、辊涂机、棒涂机、模涂机、帘式涂布机、各种印刷、浸渍等公知的手段施用于钠玻璃、石英玻璃、半导体基板、金属、纸、塑料等支撑基体上。另外,也可以暂时施用于薄膜等支撑基体上后转印到其他的支撑基体上,对其施用方法没有限制。
另外,作为使本发明的碱显影性感光性组合物固化时使用的活性光的光源,可以使用发射波长为300~450nm的光的光源,例如可以使用超高压汞、汞蒸气弧、碳弧、氙弧等。
此外,通过在曝光光源中使用激光,从而在不使用掩模的情况下,由电脑等的数字信息直接形成图像的激光直接描绘法不仅可谋求生产率的提高,还可谋求分辨率、位置精度等的提高,所以是有用的,作为该激光,优选使用340~430nm的波长的光,但也可以使用氩离子激光器、氦氖激光器、YAG激光器、及半导体激光器等发射可见到红外区域的光的激光器。在使用这些激光器的情况下,可以加入吸收可见到红外的该区域的增感色素。
本发明的碱显影性感光性组合物(或其固化物)可以用于光固化性涂料或清漆、光固化性粘接剂、印刷基板、或彩电、PC监视器、便携式信息终端、数码相机等彩色显示的液晶显示面板中的滤色器、CCD图像传感器的滤色器或红外线吸收滤波器、等离子体显示面板用的电极材料、粉末涂料、印刷油墨、印刷版、粘接剂、牙科用组合物、光造型用树脂、凝胶漆、电子工程学用的光致抗蚀剂、电镀抗蚀剂、蚀刻抗蚀剂、液状及干燥膜这两者、软钎料抗蚀剂、用于制造各种显示用途用的滤色器的或在等离子体显示面板、电发光显示装置及LCD的制造工序中用于形成结构的抗蚀剂、用于封入电气及电子部件的组合物、阻焊剂、磁记录材料、微小机械部件、波导路、光开关、镀覆用掩模、蚀刻掩模、色彩试验体系、玻璃纤维电缆涂料、丝网印刷用模版、用于通过立体光刻来制造三维物体的材料、全息照相记录用材料、图像记录材料、微细电子电路、脱色材料、用于图像记录材料的脱色材料、使用微胶囊的图像记录材料用的脱色材料、印刷布线板用光致抗蚀剂材料、UV及可见激光直接图像系用的光致抗蚀剂材料、印刷电路基板的逐次层叠中的介电体层形成中使用的光致抗蚀剂材料或保护膜等各种用途中,对其用途没有特别限制。
本发明的碱显影性感光性组合物作为用于形成近红外线吸收滤波器的碱显影性感光性组合物是有用的。
上述近红外线吸收滤波器优选通过以下工序来形成:(1)在基板上形成本发明的碱显影性感光性组合物的涂膜的工序,(2)隔着具有规定的图案形状的掩模对该涂膜照射活性光的工序,(3)将曝光后的被膜用显影液(特别是碱显影液)进行显影的工序,(4)对显影后的该被膜进行加热的工序。另外,本发明的碱显影性感光性组合物作为无显影工序的喷墨方式、转印方式的感光性组合物也是有用的。
实施例
以下,列举出实施例对本发明进一步进行详细说明,但本发明并不限定于这些实施例。
[实施例1]碱显影性感光性组合物No.1的制备
添加作为(A)成分的0.16g化合物No.1-1的双(三氟甲磺酰基)亚胺盐、作为(D)成分的一部分的3.70g二甲基乙酰胺,搅拌并溶解。之后,将作为(B)成分的4.95g ACA Z250(DAICEL-CYTEC公司制)以及1.96gAronix M-450(东亚合成公司制)、作为(C)成分的0.07g OXE-01(BASF公司制)、作为(D)成分的一部分的2.92g PGMEA、作为其他成分的0.001gFZ2122(Toray Dow Corning公司制)混合,搅拌至不溶物消失,得到碱显影性感光性组合物No.1。
[实施例2~13及比较例1~3]碱显影性感光性组合物No.2~No.13及比较碱显影性感光性组合物No.1~No.3的制备
按照与实施例1同样的步骤,以表1所示的配方将各成分混合,得到碱显影性感光性组合物No.2~No.13及比较碱显影性感光性组合物No.1~No.3。
表1
*1:V259Me:新日铁化学公司制
*2:JET2000:大阪有机化学工业公司制
*3:SPC-1000:昭和电工公司制
*4:SPC-3000:昭和电工公司制
*5:WR-301:ADEKA公司制
*6:OXE-02:BASF公司制
*7:NCI-930:ADEKA公司制
*8:NCI-831:ADEKA公司制
*9:N-1919:ADEKA公司制
*10:Irg-907:BASF公司制
*11:BP:二苯甲酮
*12:DMAc:二甲基乙酰胺
*13:PGMEA:丙二醇-1-单甲基醚-2-醋酸酯
*14:DAA:二丙酮醇
*15:MEK:甲乙酮
[实施例14~26及比较例4~6]近红外线吸收滤波器No.1~No.13及比较近红外线吸收滤波器No.1~No.3的制造
在玻璃基板上滴加2.5mL实施例1~13及比较例1~3中得到的碱显影性感光性组合物No.1~No.13及比较碱显影性感光性组合物No.1~No.3,以250rpm×10秒的条件进行旋涂,然后在90℃下干燥100秒钟,用高压汞灯进行300mJ/cm2曝光,制作近红外线吸收滤波器No.1~No.13及比较近红外线吸收滤波器No.1~No.3。
[评价例1-1~1-13及比较评价例1-1~1-2]近红外线吸收滤波器No.1~No.13及比较近红外线吸收滤波器No.1~No.2的耐碱试验
对实施例14~26中得到的近红外线吸收滤波器No.1~No.13及比较例4~5中得到的比较近红外线吸收滤波器No.1~No.2喷雾2.5%碳酸钾水溶液180秒钟,测定喷雾前后的膜厚,算出膜厚减少率作为耐碱试验的结果。将结果示于表2中。
表2
[评价例2-1~2-13及比较评价例2-1]近红外线吸收滤波器No.1~No.13及比较近红外线吸收滤波器No.3的透射率测定
对实施例14~26中得到的近红外线吸收滤波器No.1~No.13及比较例6中得到的比较近红外线吸收滤波器No.3使用日本分光公司制紫外可见近红外分光光度计V-570测定900nm、1000nm、1100nm的透射率。将结果示于表3中。
表3
[评价例3-1~3-4及比较评价例3-1]
对实施例14、16、19、24及比较例6中得到的近红外线吸收滤波器No.1、No.3、No.6、No.9及比较近红外线吸收滤波器No.3利用Suga试验机制氙耐光性试验机Table Sun XT-1500L实施耐光性试验50小时,评价900nm透射率的变化量。具体而言,该变化量为将耐光性试验后的透射率减去耐光性试验前的透射率所得的值除以耐光性试验前的透射率而得到的值。耐光性试验前及耐光性试验后的透射率使用日本分光公司制紫外可见近红外分光光度计V-570进行测定。将评价结果示于表4中。
表4
根据表3及表4的结果可知,使用本发明的碱显影性感光性组合物的固化物形成的近红外线吸收滤波器在波长900~1100nm处透射率低,即有效地屏蔽红外线,并且耐光性高。另外,由于固化物的耐碱性高,所以光刻特性优异。
Claims (6)
1.一种碱显影性感光性组合物,其特征在于,其含有红外线吸收色素(A)、具有赋予碱显影性的碱可溶性的取代基的、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)及溶剂(D),
所述光聚合引发剂(C)含有肟酯化合物。
2.根据权利要求1所述的碱显影性感光性组合物,其特征在于,所述光聚合引发剂(C)含有下述通式(I)表示的化合物,
通式(I)中,R1及R2分别独立地表示氢原子、氰基、可以具有取代基的碳原子数为1~20的烷基、可以具有取代基的碳原子数为6~30的芳基、可以具有取代基的碳原子数为7~30的芳基烷基或可以具有取代基的碳原子数为2~20的杂环基,
R3及R4分别独立地表示氢原子、卤素原子、硝基、氰基、羟基、羧基、R5、OR6、SR7、NR8R9、COR10、SOR11、SO2R12或CONR13R14,
R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13及R14分别独立地表示可以具有取代基的碳原子数为1~20的烷基、可以具有取代基的碳原子数为6~30的芳基、可以具有取代基的碳原子数为7~30的芳基烷基或可以具有取代基的碳原子数为2~20的杂环基,
X表示氧原子、硫原子、硒原子、CR15R16、CO、NR17或PR18,
R15、R16、R17及R18分别独立地表示氢原子、可以具有取代基的碳原子数为1~20的烷基、可以具有取代基的碳原子数为6~30的芳基或可以具有取代基的碳原子数为7~30的芳基烷基,所述烷基或芳基烷基中的亚甲基也可以被-O-中断,
R15、R16、R17及R18也可以分别独立地与邻接的任一苯环一起形成环,
a表示0~4的整数,
b表示1~5的整数。
3.根据权利要求1或2所述的碱显影性感光性组合物,其特征在于,所述红外线吸收色素(A)为二亚铵化合物。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的碱显影性感光性组合物,其特征在于,所述红外线吸收色素(A)用下述通式(II)表示,
通式(II)中,R19、R20、R21、R22、R23、R24、R25及R26分别独立地表示氢原子或可以具有取代基的碳原子数为1~10的烷基,R27、R28、R29及R30分别独立地表示氢原子、卤素原子、可以具有取代基的碳原子数为1~10的烷基或可以具有取代基的氨基,所述烷基中的亚甲基也可以被-O-或-CH=CH-中断,t表示1~4的数,Anq-表示q价的阴离子,q表示1或2,p表示将电荷保持在中性的系数。
5.一种固化物,其是权利要求1~4中任一项所述的碱显影性感光性组合物的固化物。
6.一种近红外线吸收滤波器,其是使用权利要求5所述的固化物形成的。
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Cited By (2)
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CN106019840A (zh) * | 2015-03-30 | 2016-10-12 | 东友精细化工有限公司 | 着色固化性树脂组合物 |
CN108475019A (zh) * | 2016-03-29 | 2018-08-31 | 株式会社艾迪科 | 黑色感光性树脂组合物 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6754591B2 (ja) * | 2015-03-30 | 2020-09-16 | 東友ファインケム株式会社Dongwoo Fine−Chem Co., Ltd. | 着色硬化性樹脂組成物 |
WO2017057813A1 (ko) * | 2015-10-01 | 2017-04-06 | 타코마테크놀러지 주식회사 | 바인더 수지 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 |
TWI744286B (zh) * | 2016-02-26 | 2021-11-01 | 日商富士軟片股份有限公司 | 感放射線性組成物、光學濾波器、積層體、圖案形成方法、固體攝像元件、圖像顯示裝置及紅外線感測器 |
KR102344035B1 (ko) * | 2016-03-07 | 2021-12-28 | 동우 화인켐 주식회사 | 청색 감광성 수지 조성물, 이를 포함하는 청색 컬러필터 및 표시장치 |
KR102364788B1 (ko) * | 2016-03-24 | 2022-02-18 | 동우 화인켐 주식회사 | 착색 감광성 수지 조성물, 이를 포함하는 컬러필터 및 표시장치 |
CN109791357B (zh) * | 2016-09-16 | 2023-01-10 | 三菱化学株式会社 | 感光性树脂组合物、固化物及图像显示装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1306507A (zh) * | 1998-06-23 | 2001-08-01 | 日本化药株式会社 | 铵盐或二亚铵盐化合物及其用途 |
WO2011092950A1 (ja) * | 2010-01-27 | 2011-08-04 | 富士フイルム株式会社 | ソルダーレジスト用重合性組成物及びソルダーレジストパターンの形成方法 |
WO2011118171A1 (ja) * | 2010-03-26 | 2011-09-29 | 住友ベークライト株式会社 | 感光性樹脂組成物及び受光装置 |
WO2012132558A1 (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-04 | 株式会社Adeka | オキシムエステル化合物及び該化合物を含有する光重合開始剤 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09230126A (ja) | 1996-02-23 | 1997-09-05 | Kansai Paint Co Ltd | カラーフィルタ用近赤外光感光性着色組成物及びこの組成物を用いたカラーフィルタの製造方法 |
JP2000081511A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-03-21 | Nippon Kayaku Co Ltd | 赤外線カットフィルタ― |
KR100582275B1 (ko) | 2002-11-06 | 2006-05-23 | 삼성코닝 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널용 필터 및, 그것의 제조 방법 |
JP4442292B2 (ja) * | 2003-06-10 | 2010-03-31 | 三菱化学株式会社 | 光重合性組成物、カラーフィルター及び液晶表示装置 |
JP2005215147A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 重合性組成物 |
JP2007114221A (ja) | 2004-10-08 | 2007-05-10 | Kodak Polychrome Graphics Japan Ltd | 赤外線感光性平版印刷版用マット剤及びその用途 |
JP5512095B2 (ja) * | 2008-04-28 | 2014-06-04 | 富士フイルム株式会社 | 感光性組成物、固体撮像素子用感光性組成物、固体撮像素子用遮光性カラーフィルタ、及び固体撮像素子 |
JP5490475B2 (ja) | 2009-09-24 | 2014-05-14 | 富士フイルム株式会社 | 近赤外吸収性色素を含有する硬化性組成物、インク用組成物および近赤外線吸収フィルタの製造方法 |
JP5813325B2 (ja) * | 2010-10-04 | 2015-11-17 | 富士フイルム株式会社 | 黒色重合性組成物、及び、黒色層の作製方法 |
JP2013109236A (ja) * | 2011-11-22 | 2013-06-06 | Hitachi Chemical Co Ltd | 感光性樹脂組成物、感光性フィルム及び電子部品 |
JP2013155353A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Fujifilm Corp | 赤外線吸収性液状組成物、これを用いた赤外線カットフィルタ及びその製造方法、並びに、カメラモジュール及びその製造方法 |
-
2013
- 2013-10-09 KR KR1020147035975A patent/KR102093446B1/ko active IP Right Grant
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- 2013-10-16 TW TW102137346A patent/TWI619760B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1306507A (zh) * | 1998-06-23 | 2001-08-01 | 日本化药株式会社 | 铵盐或二亚铵盐化合物及其用途 |
WO2011092950A1 (ja) * | 2010-01-27 | 2011-08-04 | 富士フイルム株式会社 | ソルダーレジスト用重合性組成物及びソルダーレジストパターンの形成方法 |
WO2011118171A1 (ja) * | 2010-03-26 | 2011-09-29 | 住友ベークライト株式会社 | 感光性樹脂組成物及び受光装置 |
WO2012132558A1 (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-04 | 株式会社Adeka | オキシムエステル化合物及び該化合物を含有する光重合開始剤 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106019840A (zh) * | 2015-03-30 | 2016-10-12 | 东友精细化工有限公司 | 着色固化性树脂组合物 |
CN108475019A (zh) * | 2016-03-29 | 2018-08-31 | 株式会社艾迪科 | 黑色感光性树脂组合物 |
CN108475019B (zh) * | 2016-03-29 | 2022-02-11 | 株式会社艾迪科 | 黑色感光性树脂组合物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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